JP2001153747A - 簡易交換型真空センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子部品や半導体製造品の製造に用いられる
真空装置内の圧力を測定する真空センサにおいて、真空
センサの構成部品の中で、測定環境からのダメージを受
けやすい圧力検出素子部が破損した場合であっても、真
空センサ部全体を新しい真空センサと交換する必要のな
い簡易交換型真空センサを提供する。 【解決手段】 圧力が測定される真空装置に、センサケ
ースの一端側の接続部を介して接続されると共に、当該
センサケースの他端側に真空装置の圧力を測定する電気
回路に接続される圧力検出部が配備される真空センサに
おいて、真空センサの中で最も寿命の短い圧力検出部が
形成されている基板を、前記センサケースの他端側に着
脱自在とし、且つ、前記圧力検出部が形成されている基
板を、前記センサケースの他端側に装着した時に、真空
センサの真空シールが保たれると共に、前記電気回路と
基板上に形成されている圧力検出部との電気的接続も自
動的に行えるように構成して課題を解決した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、電子部品や半導
体製造品の製造に用いられる真空装置内の圧力を測定す
る真空センサに関し、特に、真空センサの構成部品の中
で、測定環境からのダメージを受けやすい圧力検出素子
部が形成された基板のみを簡単に装着、取り外しできる
真空センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】電子部品や半導体製造品を製造する過程
においては、真空装置内で薄膜を形成したりあるいはエ
ッチングするプロセスは不可欠である。この際に、真空
装置内圧力は常にモニタされる必要があり、また、真空
装置内の到達圧力や排気中の圧力推移によって真空装置
の状態は管理されるため、真空装置には圧力を測定する
ための真空センサが不可欠である。

【０００３】真空センサの種類としては比較的低真空度
を測定するものや、高真空度を測定するものなど様々で
あり、また気体のイオン化、気体の熱伝導を利用したも
のなど動作原理も様々である。

【０００４】図６に従来のピラニ型真空センサの一例を
示す。圧力を測定すべき真空装置２に真空センサを構成
するセンサケース５をその接続部分４を介して接続す
る。真空装置２に連通する領域３に細い金属線１を張
り、それを加熱しておくと圧力の変化に対応して細い金
属線１から周辺気体への熱伝導の様子が変わり金属線１
の温度が変わる。ピラニ型真空センサは導線８、８を通
してこの温度変化を細い金属線１の電気抵抗の変化とし
て検知して、電気回路１１で圧力を測り、これを出力端
子１３から出力する方式のものである。このピラニ型真
空センサでは使用する過程で細い金属線１の特性が変化
したりあるいは断線することがあり、この場合には真空
装置２から接続部分４を切り離し、センサケース５およ
び細い金属線１を含め真空センサ部全体を新しい真空セ
ンサと交換しなければならない。

【０００５】次に、図７に従来の静電容量型真空センサ
の一例を示す。圧力を測定すべき真空装置２に真空セン
サを構成するセンサケース５をその接続部分４を介して
接続する。真空装置２に連通する領域３と、高真空に保
たれている窪み２６を隔てるようにダイヤフラム電極１
４を配置しておくと、測定対象領域となる真空装置２に
連通する領域３内の圧力変化に伴い、ダイヤフラム電極
１４は形状変化する。

【０００６】したがって、真空装置２に連通する領域３
と窪み２６を隔てるダイヤフラム電極１４と、それに対
向する窪み２６内の平面に配置された固定電極１９との
ギャップが圧力とともに変化し、前記固定電極１９と前
記ダイヤフラム電極１４の間の静電容量が変化する。静
電容量型真空センサは導線８、８を通してこの静電容量
の変化を検知し、電気回路１１で圧力を測り、これを出
力端子１３から出力する方式のものである。

【０００７】静電容量型真空センサの場合もピラニ型真
空センサと同様に、ダイヤフラムの劣化などにより正確
な圧力が測定できなくなった場合には、真空装置２から
接続部分４を切り離し、センサケース５およびダイヤフ
ラム電極１４を含む真空センサ部全体を新しい真空セン
サと交換しなければならない。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】真空センサの寿命は圧
力検出に使われている部品の寿命でほぼ決まる。ピラニ
型真空センサの場合には細い金属線、静電容量型真空セ
ンサの場合にはダイヤフラム電極の寿命であり、センサ
ケースや圧力測定のための電気回路および信号出力部な
どの寿命はこの細い金属線およびダイヤフラム電極の寿
命よりはるかに長いのが普通である。したがって、細い
金属線やダイヤフラム電極の寿命がくる度真空センサ部
全体を新しい真空センサと交換し、まだ使用可能な電気
回路やセンサケースまでも廃棄してしまうことになるの
で、省資源や製品コストの面で問題があった。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、圧力が測定さ
れる真空装置に、センサケースの一端側の接続部を介し
て接続されると共に、当該センサケースの他端側に真空
装置の圧力を測定する電気回路に接続される圧力検出部
が配備される真空センサにおいて、真空センサの中で最
も寿命の短い圧力検出部が形成されている基板を、前記
センサケースの他端側に着脱自在とし、且つ、前記圧力
検出部が形成されている基板を、前記センサケースの他
端側に装着した時に、真空装置の真空シールがなされる
と共に、前記電気回路と基板上に形成されている圧力検
出部との電気的接続も自動的に行えるように構成するこ
とによって、前記従来の問題点を解決したのである。

【００１０】

【発明の実施の形態】すなわち、添付図面を参照して説
明すると、本発明が提案する真空センサは、センサケー
ス５の一端側の接続部４を介して圧力を測定すべき真空
装置２に接続され、当該センサケース５の他端側に真空
装置２の圧力を測定する電気回路１１に接続される圧力
検出部が配備される真空センサにおいて、前記圧力検出
部が形成されている基板７が、前記センサケース５の他
端側に着脱自在とされていることを特徴とする簡易交換
型真空センサである。

【００１１】真空センサを前記のように構成することに
よって、真空センサの中でも最も寿命の短い圧力検出部
の細い金属線やダイヤフラム電極などの寿命が来た場合
には、圧力検出部が形成されている基板７をセンサケー
ス５の他端側から取り外し、圧力検出部が形成されてい
る新しい基板７をここに装着するだけで、真空センサを
使用し続けることができる。そこで、真空センサ部全体
を新しい真空センサと交換し、まだ使用可能な電気回路
やセンサケースまでも廃棄しなけらばならないという無
駄を省くことができる。すなわち、真空センサにおいて
交換する必要のない部分はそのまま使用し、交換する必
要のある部分（最も寿命が短く、破損してしまった圧力
検出部）のみを交換できるようにしたものである。

【００１２】また、本発明が提案する他の真空センサ
は、前記の真空センサにおいて、圧力検出部が形成され
ている基板７をセンサケース５の他端側に装着した際
に、当該基板７のセンサケース５他端側に装着される側
の面の周縁部と、当該周縁部に圧接されるセンサケース
５他端側のシール部材とによって、圧力が測定される真
空装置２内への気体の侵入を防止する真空シールが行わ
れるように構成されている真空センサである。

【００１３】前記において、センサケース５他端側のシ
ール部材としては、基板７が装着される側の開口部の溝
１５内に保持されている弾力性を有する部材、例えば、
弾力性を有するＯリング６、又は、基板７が装着される
側の開口部内周に保持されている弾力性を有するガスケ
ット１６若しくはメタルガスケット１６ａなど、この技
術分野で公知のシール部材を用いることができる。

【００１４】なお、このような真空シールをより確実な
らしめる上で、シール部材が弾力性を有するＯリング
６、弾力性を有するガスケット１６である時には、基板
７のセンサケース５他端側に装着される側の面の少なく
とも周縁部及び、Ｏリング６、弾力性を有するガスケッ
ト１６の表面は、滑らかな面に形成されていることが望
ましい。

【００１５】真空センサをこのように構成することによ
り、圧力検出部が形成されている基板７をセンサケース
５の他端側に装着すると、真空装置２内への空気などの
気体の侵入を防止でき、前記基板７を新品と交換しても
との場所に装着するだけで、真空センサの真空シールを
基板７の交換前と同様に保つことができる。

【００１６】本発明が提案する更に他の真空センサは、
前記の真空センサにおいて、圧力検出部が形成されてい
る基板７のセンサケース５他端側への装着は、圧力検出
部に備えられている導線８、８と、真空装置２の圧力を
測定する電気回路１１とを電気的に接続する導電性ピン
１０、１０を備えた押さえ板１２にて、基板７をセンサ
ケース５他端側に押さえつけることによって達成され、
これによって前記真空シールがなされると共に、前記導
電性ピン１０、１０を介して圧力検出部に備えられてい
る導線８、８と、真空装置２の圧力を測定する電気回路
１１とが電気的に接続されるように構成されている真空
センサである。

【００１７】真空センサをこのように構成することによ
り、圧力検出部が形成されている基板７を新品と交換し
てもとの場所に装着するだけで、真空センサの真空シー
ルを達成することができると共に、圧力検出部と、圧力
測定のための電気回路１１および外部出力端子との電気
的接続も自ずと、すなわち、自動的に、行えるようにで
きる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の実施例について添付図面を参
照して説明する。

【００１９】図１、図２、図４は、センサケース５の一
端側の接続部４を介して圧力を測定すべき真空装置２に
接続され、当該センサケース５の他端側に真空装置２の
圧力を測定する電気回路１１に接続される圧力検出部が
配備される真空センサを表しており、図１、図２は、ピ
ラニ型真空センサに本発明が適用された実施例、図４
は、静電容量型真空センサに本発明が適用された実施例
を表すものである。

【００２０】図１、図２、図４いずれの実施例において
も、従来公知のように、センサケース５内の符号３で現
される領域は、真空装置２に連通する領域であり、この
領域の圧力は真空装置２の圧力にほぼ等しくなってい
る。

【００２１】図１、図２図示の本発明が適用されたピラ
ニ型真空センサにおいては、基板（この実施例では、ガ
ラス基板）７に圧力検出部が形成されており、ガラス基
板７が、センサケース５の他端側、すなわち真空装置２
に接続されている側の反対側に着脱自在、すなわち装
着、取り外し可能とされている。

【００２２】ガラス基板７への圧力検出部の形成は以下
のように行われている。すなわち、図１、図２図示のよ
うに、ガラス基板７の上側表面（すなわち、真空装置２
に接続されている側の反対側の表面）に面した一端か
ら、ガラス基板７内部を貫通し、ガラス基板７の下側表
面（すなわち、真空装置２に接続されている側の表面）
より、真空装置２に連通する領域３方向に突出している
少なくとも二つ以上の導線８、８が形成されており、こ
こに、細い金属線１が張られて圧力検出部が形成されて
いる。

【００２３】なお、図１、図２図示のように、ガラス基
板７内部を貫通する導線８、８は、ガラス基板７の上面
に配置されている電極パッド９、９と電気的に導通して
いる。 この細い金属線１を加熱しておくと真空装置２
に連通した領域３内の圧力変化に対応して金属線１から
その周辺への熱伝導の様子が変わり、細い金属線１の温
度が変わる。細い金属線１は、従来のピラニ型真空セン
サにおいて公知のように、温度によってその電気抵抗が
変化しやすい素材でできているが、その電気抵抗変化は
導線８、８を通して最終的に電気回路１１で検知され、
真空装置２の圧力として出力端子１３より外部へ出力さ
れる。

【００２４】図４図示の本発明が適用された静電容量型
真空センサにおいては、基板（この実施例では、ガラス
基板）７に圧力検出部が形成されており、このガラス基
板７が、センサケース５の他端側、すなわち真空装置２
に接続されている側の反対側に着脱自在、すなわち装
着、取り外し可能とされている。

【００２５】ガラス基板７への圧力検出部の形成は以下
のように行われている。すなわち、図４図示のように、
ガラス基板７の片側表面に窪み２６が形成され、前記窪
み２６内の平面に固定電極１９が配置され、固定電極１
９に平行に、且つ窪み２６と真空装置に連通する領域３
を隔てるように、ダイヤフラム電極１４が配置されて形
成されている。なお、この時、窪み２６内は従来の静電
容量型真空センサにおいて公知のように高真空に保たれ
ている。また、固定電極１９、ダイヤフラム電極１４
は、ガラス基板７の窪み２６の形成された面とは反対の
表面に配置された接続部電極パッド９、９とガラス基板
７を貫通する導線８、８によってそれぞれ電気的に導通
されるようになっている。

【００２６】窪み２６内の圧力と測定対象領域である真
空装置２に連通する領域３の圧力の差により、固定電極
１９とダイヤフラム電極１４との間のギャップの変化に
伴う静電容量の変化を、導線８、８を通して最終的に電
気回路１１で検出させ、真空装置２内の圧力として出力
端子１３より外部へ出力するものである。

【００２７】本発明の真空センサにおいて、圧力検出部
が形成されているガラス基板７のセンサケース５への装
着は、図１、図２、図４図示のように、ガラス基板７
を、センサケース５の他端側、すなわち真空装置２に接
続されている側と反対の側の開口に嵌装し、図示してい
ないネジ等の固定手段によって、押さえ板１２をセンサ
ケース５の他端側に、前記ガラス基板７が破損しない程
度の力で、押さえつけることによって行われる。

【００２８】この際、図１、図４図示のように、センサ
ケース５の他端側開口部の内周壁に設けられている溝１
５、１５に保持されている弾力性のある材料からなるシ
ール部材、例えば、弾力性のあるＯリング６が、ガラス
基板７のセンサケース５に装着される側の面の周縁部
に、前記の押さえ板１２を押さえ付ける力によって圧接
され、真空装置２内への気体の侵入を防止する真空シー
ルが達成される。

【００２９】なお、図２図示のように、基板７が装着さ
れる側の開口部内周の段部２５、２５に弾力性のある材
料からなるシール部材、例えば、弾力性のあるガスケッ
ト１６又は、メタルガスケット１６ａを載置しておき、
ガラス基板７のセンサケース５に装着される側の面の周
縁部を当該弾力性のあるガスケット１６又は、メタルガ
スケット１６ａに、前記の押さえ板１２を押さえ付ける
力によって圧接させ、真空装置２内への気体の侵入を防
止する真空シールを達成することもできる。

【００３０】図３（ａ）は、図２図示の実施例の真空シ
ール部を拡大して表した図であって、ガラス基板７が、
押さえ板１２を押さえ付ける力によって、段部２５に載
置された弾力性のあるガスケット１６に圧接される前の
状態を表すものである。図３（ｂ）、（ｃ）は、図３
（ａ）と同一の部分を表す図であって、シール部材とし
てメタルガスケット１６ａが採用されている例を表すも
のである。圧力検出部が形成されている基板の強度が十
分にある場合には、図２図示の実施例の真空シール部に
採用されるシール部材として、図３（ｂ）、（ｃ）図示
のようなメタルガスケット１６ａを採用することが可能
である。

【００３１】ここで、前記のように、弾力性のある材料
からなるシール部材、例えば、弾力性のあるＯリング６
あるいは弾力性のあるガスケット１６を採用する場合、
前述した真空シールをより確実ならしめるために、ガラ
ス基板７のセンサケース５に装着される側の面の少なく
とも周縁部を、滑らかな面に加工しておくと共に、当該
弾力性のあるＯリング６、弾力性のあるガスケット１６
も、表面が滑らかで弾力性のあるもの、例えば、いずれ
もデュポン社製のＯリングであるバイトン（商標）やカ
ルレッツ（商標）を採用したり、バイトン（商標）やカ
ルレッツ（商標）製の表面が滑らかで弾力性のあるガス
ケットとすることが好ましい。

【００３２】本発明の真空センサにおいては、押さえ板
１２は圧力検出部の導線８、８と真空装置２の圧力を測
定する電気回路１１とを電気的に接続する導電性ピン１
０、１０を備えている。導電性ピン１０、１０は、基板
７内を貫通している導線８、８に電気的に導通している
電極パッド９、９と電気的に接続するのに十分な接触面
を有するように構成されているが、更に、弾力性を有す
る導電性ピンとしておけば、この自らが備えている弾力
性によって、電極パッド９、９に対して十分に密着し、
電極パッド９、９に対する導電性ピン１０、１０の電気
的接続を確実ならしめる上で好ましい。

【００３３】以上説明したように、本発明の真空センサ
においては、圧力検出部が形成されているガラス基板７
は、センサケース５に対して装着、取り外しが自由であ
る。

【００３４】またセンサケース５の真空装置に接続され
ているのと反対側に設けられている開口に、当該ガラス
基板７を嵌装し、その裏側（真空装置２に接続される方
向と反対側）に、圧力検出部の導線８、８と真空装置２
の圧力を測定する電気回路１１とを電気的に接続する導
電性ピン１０、１０、好ましくは弾力性を有する導電性
ピン１０、１０、を備えている押さえ板１２を装着する
ことによって、ガラス基板７上の圧力検出部は自ずと
（自動的に）電気回路１１に接続され、しかもセンサケ
ース５の真空装置２に接続されている側と反対の側の開
口部内周に保持されているシール部材、例えば、弾力性
のあるＯリング６又は、弾力性のあるガスケット１６若
しくはメタルガスケット１６ａと、ガラス基板７のセン
サケース５に装着される側の面の周縁部とが圧接して、
真空装置２の真空シールも自ずと（自動的に）保たれる
ことになる。

【００３５】次に、内部に電気回路を持たない、または
必要としない真空センサに適用される本発明の実施例と
して、サーモカップル型真空センサを例に説明する。

【００３６】図５図示の本発明が適用されたサーモカッ
プル型真空センサにおいては、基板（この実施例では、
ガラス基板）７に圧力検出部が形成されており、このガ
ラス基板７が、センサケース５の他端側、すなわち真空
装置２に接続されている側の反対側に着脱自在、すなわ
ち装着、取り外し可能とされている。

【００３７】ガラス基板７への圧力検出部の形成は以下
のように行われている。すなわち、図５図示のように、
ガラス基板７の上下面を貫通するように少なくとも四本
以上形成された導線８のうち二本のガラス基板７の下面
側端に、細い金属線２８の先端部を電気的に接続する。
この細い金属線２８を、真空装置２に連通した領域３内
で端を持たせず、任意の箇所で湾曲させ、その湾曲した
部分を真空装置２に連通した領域３内で、真空センサと
真空装置２とを接続するために設けられた開口方向へ引
き伸ばされた形状に形成する。この細い金属線２８の湾
曲部には熱電対２９、２９の一端がそれぞれ接続され、
熱電対２９、２９の他の一端は、細い金属線２８が接続
されていない導線８、８にそれぞれ接続される。真空装
置内の圧力を検出する電気回路に接続される導線８への
細い金属線２８、熱電対２９の接続、真空センサを構成
するセンサケース内でのこのような細い金属線２８、熱
電対２９、２９の形成、配置などは、従来のサーモカッ
プル型真空センサにおいて公知のものである。

【００３８】なお、ガラス基板７の真空装置２に連通し
た領域３側の面とは反対の側、すなわちガラス基板７の
上側表面に、各導線８と電気的に導通されている電極パ
ッド９が配置されている。

【００３９】センサケース５の真空装置２に接続されて
いる側と反対の側への図５図示の圧力検出部が形成され
ているガラス基板７の着脱は、図１乃至図４図示の他の
真空センサの場合と同様に行われる。

【００４０】すなわち、センサケース５に形成された開
口に、押さえ板１２によって破損しない程度の力で、ガ
ラス基板７が上から押さえつけられている。押さえ板１
２は、弾力性のある導電性ピン１０を備えており、ま
た、ガラス基板７のセンサケース５に装着される下側面
の周縁部が、センサケース５の真空装置２に接続されて
いる側と反対側の開口部内周に保持されているシール部
材、この実施例では弾力性のあるＯリング６と圧接し、
真空装置２に連通した領域３への空気などの気体の流入
が防がれる。

【００４１】また、ガラス基板７を押さえ板１２で押さ
えた時に、前記の弾力性のある導電性ピン１０は、電極
パッド９と電気的に接続するに十分な接触面で、さらに
導電性ピン１０の弾力性によって十分な密着力を有して
電気的に接続されている。

【００４２】図５図示の実施例において、弾力性のある
導電性ピン１０は、電極パッド９と電気的に接続される
一端とは反対の押さえ板１２の上側表面を突出した一端
から、真空装置２の圧力を検出するための電気回路を有
する外部の検出器への出力端子としての機能も有してい
る。

【００４３】以上、図１乃至図５を用いて説明した本発
明の真空センサにおいては、ガラス基板７の真空装置２
に連通した領域３側の面とは反対の側、すなわちガラス
基板７の上側表面に、各導線８、８と電気的に導通され
ている電極パッド９、９が配置されている構成を説明し
た。しかし、電極パッド９、９は、導電性ピン１０と導
線８、８との間の電気的な接続を確実ならしめるために
具備されていることが望ましいものであるので、電極パ
ッド９、９を配備しない構成とすることも可能である。

【００４４】以上、本発明の好ましい実施例を添付図面
を参照して説明したが、本発明はこれらに限定されるも
のではなく、この明細書に記載した技術的思想の創作の
範囲内において種々の態様に変更可能である。

【００４５】

【発明の効果】本発明の真空センサによれば、真空セン
サの構成部品において最も寿命の短い圧力検出部が破損
した際に、圧力検出部が形成されている基板のみを取り
替えるだけで、新品同様の真空センサとして使用し続け
ることができ、圧力検出部の金属配線やダイヤフラム電
極の寿命がきても、まだ使用可能である電気回路やセン
サケースは廃棄することなく、そのまま使用し続けるこ
とができるので、必要最小限の部品のみの交換で新品同
様の真空センサとなり、真空センサ交換時の製品コスト
を低くすることができるので経済的である。

【００４６】また圧力検出部の金属配線やダイヤフラム
電極の寿命がきても、まだ使用可能である電気回路やセ
ンサケースなどの破損していない部品は、そのまま使用
できるので、省資源化の面においても効果がある。

【００４７】さらに、実施例で説明した以外の真空セン
サなどへの応用も可能であり、これらセンサの圧力検出
部を同じ規格の基板上に形成することにより、各真空セ
ンサの部品の共通化などによる製品の低コスト化ができ
るなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明が適用されているピラニ型真空センサの
実施例を表す図。

【図２】本発明が適用されているピラニ型真空センサの
他の実施例を表す図。

【図３】（ａ）図２の実施例における真空シール部の、
基板とシール部材との圧接がなされる前を説明する一部
拡大図。 （ｂ）図２の実施例における他の真空シール部の、基板
とシール部材との圧接がなされる前を説明する一部拡大
図。 （ｃ）図３（ｂ）の真空シール部の、基板とシール部材
との圧接がなされた状態を説明する一部拡大図。

【図４】本発明が適用されている静電容量型真空センサ
の実施例を表す図。

【図５】 本発明が適用されているサーモカップル型真
空センサの実施例を表す図。

【図６】ピラニ型真空センサの従来例を表す図。

【図７】静電容量型真空センサの従来例を表す図。

【符号の説明】

２ 真空装置 ４ センサケースの真空装置への接続部 ５ センサケース ６ シール部材（Ｏリング） ７ 基板（ガラス基板） ８ 導線 ９ 電極パッド １０ 弾力性を有する導電性ピン １１ 電気回路 １２ 押さえ板 １６ シール部材（弾力性のあるガスケット） １６ａ シール部材（メタルガスケット）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】圧力が測定される真空装置に、センサケー
   スの一端側の接続部を介して接続されると共に、当該セ
   ンサケースの他端側に真空装置の圧力を測定する電気回
   路に接続される圧力検出部が配備される真空センサにお
   いて、前記圧力検出部が形成されている基板が、前記セ
   ンサケースの他端側に着脱自在とされていることを特徴
   とする簡易交換型真空センサ。
2. 【請求項２】圧力検出部が形成されている基板をセンサ
   ケースの他端側に装着した際に、当該基板のセンサケー
   ス他端側に装着される側の面の周縁部と、当該周縁部に
   圧接されるセンサケース他端側のシール部材とによっ
   て、圧力が測定される真空装置内への気体の侵入を防止
   する真空シールが行われることを特徴とする請求項１記
   載の簡易交換型真空センサ。
3. 【請求項３】圧力検出部が形成されている基板のセンサ
   ケース他端側への装着は、圧力検出部に備えられている
   導線と、真空装置の圧力を測定する電気回路とを電気的
   に接続する導電性ピンを備えた押さえ板にて、前記基板
   をセンサケース他端側に押さえつけることによって達成
   され、これによって前記真空シールがなされると共に、
   前記導電性ピンを介して圧力検出部に備えられている導
   線と、真空装置の圧力を測定する電気回路とが電気的に
   接続されることを特徴とする請求項２記載の簡易交換型
   真空センサ。