JP2001151329A - 粉体供給装置 - Google Patents
粉体供給装置Info
- Publication number
- JP2001151329A JP2001151329A JP34073299A JP34073299A JP2001151329A JP 2001151329 A JP2001151329 A JP 2001151329A JP 34073299 A JP34073299 A JP 34073299A JP 34073299 A JP34073299 A JP 34073299A JP 2001151329 A JP2001151329 A JP 2001151329A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voice coil
- coil motor
- trough
- powder
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Jigging Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 トラフを振動させる電磁加振手段の上下方向
の振動に起因する粉体供給の不具合を低減する。 【解決手段】 図示せぬ振動部材を水平方向である図の
左右方向にボイスコイルモータ２は、４つの弾性体１１
１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄによって架台１に
支持されている。ここで、４つの弾性体は、同一のバネ
定数を有する同一形状の部材であり、同一の姿勢でボイ
スコイルモータ２を支持している。また、４つの弾性体
のボイスコイルモータ２を支持する部分１１１ａｓと部
分１１１ｃｓ、および部分１１１ｂｓと部分１１１ｄｓ
は、ボイスコイルモータ２の重心Ｇを通る振動部材の移
動方向線Ｓ１に対して線対称となる位置に配置されてい
る。
の振動に起因する粉体供給の不具合を低減する。 【解決手段】 図示せぬ振動部材を水平方向である図の
左右方向にボイスコイルモータ２は、４つの弾性体１１
１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄによって架台１に
支持されている。ここで、４つの弾性体は、同一のバネ
定数を有する同一形状の部材であり、同一の姿勢でボイ
スコイルモータ２を支持している。また、４つの弾性体
のボイスコイルモータ２を支持する部分１１１ａｓと部
分１１１ｃｓ、および部分１１１ｂｓと部分１１１ｄｓ
は、ボイスコイルモータ２の重心Ｇを通る振動部材の移
動方向線Ｓ１に対して線対称となる位置に配置されてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、トラフを振動させ
て粉体を供給する粉体供給装置に関する。
て粉体を供給する粉体供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、桶状のトラフを加振してトラ
フから粉体を落下させて所定量の粉体を供給する粉体供
給装置が用いられており、このような粉体供給装置とし
ては、例えば特開平２−２０６７２７号公報に開示され
た装置などがある。
フから粉体を落下させて所定量の粉体を供給する粉体供
給装置が用いられており、このような粉体供給装置とし
ては、例えば特開平２−２０６７２７号公報に開示され
た装置などがある。
【０００３】ここで、図１に上記公報に記載された粉体
供給装置の構成を示す。同図に示すように、この粉体供
給装置は、架台１と、架台１に固定部材１００を介して
固定されたボイスコイルモータ２と、ボイスコイルモー
タ２によって水平方向（図の左右方向）に振動させられ
る振動部材３と、振動部材３の振動方向である水平方向
に振動可能に支持されたトラフ４とを備えている。そし
て、図示せぬ制御システムから供給される推力指令（非
対称波形）、電流指令によってボイスコイルモータ２が
振動部材３を振動させることにより、トラフ４を振動さ
せている。これにより、ホッパー５から供給された粉体
６がトラフ４から落下するようになっている。
供給装置の構成を示す。同図に示すように、この粉体供
給装置は、架台１と、架台１に固定部材１００を介して
固定されたボイスコイルモータ２と、ボイスコイルモー
タ２によって水平方向（図の左右方向）に振動させられ
る振動部材３と、振動部材３の振動方向である水平方向
に振動可能に支持されたトラフ４とを備えている。そし
て、図示せぬ制御システムから供給される推力指令（非
対称波形）、電流指令によってボイスコイルモータ２が
振動部材３を振動させることにより、トラフ４を振動さ
せている。これにより、ホッパー５から供給された粉体
６がトラフ４から落下するようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した粉
体供給装置では、ボイスコイルモータ２を架台１に固定
支持する固定部材１００として、比較的剛性の高い金属
板材などが用いられている。しかし、このような剛性の
高い金属板材等を固定部材１００として採用すると、以
下に説明するような問題が生じる。
体供給装置では、ボイスコイルモータ２を架台１に固定
支持する固定部材１００として、比較的剛性の高い金属
板材などが用いられている。しかし、このような剛性の
高い金属板材等を固定部材１００として採用すると、以
下に説明するような問題が生じる。
【０００５】まず、ボイスコイルモータ２は、振動部材
３を水平方向に振動させるものであるため、その推力の
反力もボイスコイルモータ２に対して水平方向に作用す
る。このような反力が作用すると、ボイスコイルモータ
２自体が変位するため、これを支持する固定部材１００
が弾性変形することになる。このように固定部材１００
が弾性変形すると、固定部材１００の復元力がボイスコ
イルモータ２に作用する。図２（ａ）に示すように、従
来のボイスコイルモータ２はその底面部において固定部
材１００に支持されているため、つまりボイスコイルモ
ータ２の重心Ｇから離れた位置で固定部材１００に支持
されているため、固定部材１００の復元力の水平方向の
作用線が反力の作用線と一致しない。従って、ボイスコ
イルモータ２には、Ｘ方向（水平方向）の力だけでな
く、Ｙ軸（紙面垂直方向）まわりのモーメントＭが作用
する。これにより、図２（ｂ）に示すように、ボイスコ
イルモータ２の重心Ｇを中心としたＹ軸まわりの回転振
動が発生してしまうことになる。なお、図２中に記載し
たばねは、固定部材１００のバネ定数を擬似的に表した
ものであり、上記のような反力が加わった場合、水平方
向および垂直方向に固定部材１００のバネ定数に応じた
復元力が作用していることを示す。
３を水平方向に振動させるものであるため、その推力の
反力もボイスコイルモータ２に対して水平方向に作用す
る。このような反力が作用すると、ボイスコイルモータ
２自体が変位するため、これを支持する固定部材１００
が弾性変形することになる。このように固定部材１００
が弾性変形すると、固定部材１００の復元力がボイスコ
イルモータ２に作用する。図２（ａ）に示すように、従
来のボイスコイルモータ２はその底面部において固定部
材１００に支持されているため、つまりボイスコイルモ
ータ２の重心Ｇから離れた位置で固定部材１００に支持
されているため、固定部材１００の復元力の水平方向の
作用線が反力の作用線と一致しない。従って、ボイスコ
イルモータ２には、Ｘ方向（水平方向）の力だけでな
く、Ｙ軸（紙面垂直方向）まわりのモーメントＭが作用
する。これにより、図２（ｂ）に示すように、ボイスコ
イルモータ２の重心Ｇを中心としたＹ軸まわりの回転振
動が発生してしまうことになる。なお、図２中に記載し
たばねは、固定部材１００のバネ定数を擬似的に表した
ものであり、上記のような反力が加わった場合、水平方
向および垂直方向に固定部材１００のバネ定数に応じた
復元力が作用していることを示す。
【０００６】このようにボイスコイルモータ２がＹ軸ま
わりに回転すると、トラフ４（図１参照）が上下方向に
変位することになり、トラフ４上の粉体６が跳ねたり、
飛んだりしていまうこともあり得る。また、このような
上下動がトラフ４の曲げ振動を励起してしまい、粉体供
給に支障をきたすこともあり得る。
わりに回転すると、トラフ４（図１参照）が上下方向に
変位することになり、トラフ４上の粉体６が跳ねたり、
飛んだりしていまうこともあり得る。また、このような
上下動がトラフ４の曲げ振動を励起してしまい、粉体供
給に支障をきたすこともあり得る。
【０００７】本発明は、上記の事情を考慮してなされた
ものであり、トラフを振動させる電磁加振手段の上下方
向の振動に起因する粉体供給の不具合を低減することが
可能な粉体供給装置を提供することを目的とする。
ものであり、トラフを振動させる電磁加振手段の上下方
向の振動に起因する粉体供給の不具合を低減することが
可能な粉体供給装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項１に記載の粉体供給装置は、支持体
と、電磁加振手段と、前記電磁加振手段により、水平方
向に振動させられる振動部材と、前記振動部材の振動方
向に振動可能に設けられ、前記振動部材の振動に伴って
振動するトラフとを備え、前記トラフを振動させること
により、該トラフから粉体を落下させて供給する粉体供
給装置において、前記電磁加振手段を前記支持体に支持
する機構であって、前記支持体と前記電磁加振手段の間
に配置される同一のバネ定数を有する４つの弾性体を備
えた１または複数の支持機構を備え、４つの前記弾性体
は、前記電磁加振手段を挟んで対向する位置にそれぞれ
２つずつ配置されており、４つの前記弾性体における前
記電磁加振手段を支持する支持部が、前記電磁加振手段
の重心を含む同一平面上に配置され、かつ前記電磁加振
手段を挟んで対向配置される２つの前記弾性体の前記支
持部が前記重心を通る前記振動部材の振動方向線に対し
て線対称の位置にあることを特徴としている。
め、本発明の請求項１に記載の粉体供給装置は、支持体
と、電磁加振手段と、前記電磁加振手段により、水平方
向に振動させられる振動部材と、前記振動部材の振動方
向に振動可能に設けられ、前記振動部材の振動に伴って
振動するトラフとを備え、前記トラフを振動させること
により、該トラフから粉体を落下させて供給する粉体供
給装置において、前記電磁加振手段を前記支持体に支持
する機構であって、前記支持体と前記電磁加振手段の間
に配置される同一のバネ定数を有する４つの弾性体を備
えた１または複数の支持機構を備え、４つの前記弾性体
は、前記電磁加振手段を挟んで対向する位置にそれぞれ
２つずつ配置されており、４つの前記弾性体における前
記電磁加振手段を支持する支持部が、前記電磁加振手段
の重心を含む同一平面上に配置され、かつ前記電磁加振
手段を挟んで対向配置される２つの前記弾性体の前記支
持部が前記重心を通る前記振動部材の振動方向線に対し
て線対称の位置にあることを特徴としている。
【０００９】また、請求項２に記載の粉体供給装置は、
請求項１に記載の粉体供給装置において、４つの前記弾
性体の前記支持部の位置は、前記重心から等距離の位置
にあることを特徴としている。
請求項１に記載の粉体供給装置において、４つの前記弾
性体の前記支持部の位置は、前記重心から等距離の位置
にあることを特徴としている。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。 Ａ．粉体供給装置の全体構成 まず、図３は本発明の一実施形態に係る粉体供給装置の
構成を示す。同図に示すように、この粉体供給装置は、
架台（支持体）１と、架台１に支持機構１１０により固
定されたボイスコイルモータ２と、ボイスコイルモータ
２によって水平方向（図の左右方向）に振動させられる
振動部材３と、振動部材３の振動方向に振動可能に支持
されたトラフ４とを備えている。そして、ボイスコイル
モータ２によって振動部材３が振動させられることによ
り、トラフ４が振動させられる。これにより、ホッパー
５から供給された粉体６がトラフ４から落下するように
なっている。
施形態について説明する。 Ａ．粉体供給装置の全体構成 まず、図３は本発明の一実施形態に係る粉体供給装置の
構成を示す。同図に示すように、この粉体供給装置は、
架台（支持体）１と、架台１に支持機構１１０により固
定されたボイスコイルモータ２と、ボイスコイルモータ
２によって水平方向（図の左右方向）に振動させられる
振動部材３と、振動部材３の振動方向に振動可能に支持
されたトラフ４とを備えている。そして、ボイスコイル
モータ２によって振動部材３が振動させられることによ
り、トラフ４が振動させられる。これにより、ホッパー
５から供給された粉体６がトラフ４から落下するように
なっている。
【００１１】次に、上述したようにトラフ４から落下さ
れる粉体６の質量を制御する粉体供給装置の制御構成に
ついて説明する。この粉体供給装置は、粉体６の落下量
を制御する構成として、質量検出器７と、減算器８と、
補償器９と、非対称波形発生器１０と、増幅器１１とを
備えている。
れる粉体６の質量を制御する粉体供給装置の制御構成に
ついて説明する。この粉体供給装置は、粉体６の落下量
を制御する構成として、質量検出器７と、減算器８と、
補償器９と、非対称波形発生器１０と、増幅器１１とを
備えている。
【００１２】質量検出器７は、トラフ４から落下した粉
体６の質量を検出し、減算器８に出力する。減算器８
は、予め設定された質量設定値から質量検出器７によっ
て検出された質量検出値を減算し、その減算結果を補償
器９に出力する。補償器９は、減算器８から入力される
減算結果に応じて波形の振幅の大きさを示す指令信号を
生成し、非対称波形発生器１０に供給する。非対称波形
発生器１０は、補償器９からの指令に基づいた波形振幅
を有する非対称波形信号（図５参照）を生成し、増幅器
１１を介してボイスコイルモータ２に供給する。このよ
うに非対称波形発生器１０から増幅器１１を介して供給
された電流指令（推力指令）によってボイスコイルモー
タ２を励磁し、振動部材３を振動させてトラフ４から粉
体６を落下させている。ここで、補償器９は、予め設定
された質量設定値の粉体６が落下するように非対称波形
発生器１０の発生する波形信号を制御し、これにより設
定された値の粉体６を供給することができるようになっ
ている。
体６の質量を検出し、減算器８に出力する。減算器８
は、予め設定された質量設定値から質量検出器７によっ
て検出された質量検出値を減算し、その減算結果を補償
器９に出力する。補償器９は、減算器８から入力される
減算結果に応じて波形の振幅の大きさを示す指令信号を
生成し、非対称波形発生器１０に供給する。非対称波形
発生器１０は、補償器９からの指令に基づいた波形振幅
を有する非対称波形信号（図５参照）を生成し、増幅器
１１を介してボイスコイルモータ２に供給する。このよ
うに非対称波形発生器１０から増幅器１１を介して供給
された電流指令（推力指令）によってボイスコイルモー
タ２を励磁し、振動部材３を振動させてトラフ４から粉
体６を落下させている。ここで、補償器９は、予め設定
された質量設定値の粉体６が落下するように非対称波形
発生器１０の発生する波形信号を制御し、これにより設
定された値の粉体６を供給することができるようになっ
ている。
【００１３】次に、上記構成の粉体供給装置によるトラ
フ４の振動、およびこれによる粉体６の落下動作につい
て説明する。まず、振動時におけるトラフ４上の粉体６
に作用する力を図４に示す。同図に示すように、トラフ
４上の粉体６には、振動によって慣性力ｍａが生じるこ
とになる（ｍは粉体の質量、ａは加速度）。ここで、慣
性力ｍａがμSｍｇより小さい場合には、粉体６はトラ
フ４上に静止し、トラフ４と粉体６との間に相対的な運
動は生じない（μSはトラフ４の表面の静止摩擦係数、
ｇは重力加速度）。
フ４の振動、およびこれによる粉体６の落下動作につい
て説明する。まず、振動時におけるトラフ４上の粉体６
に作用する力を図４に示す。同図に示すように、トラフ
４上の粉体６には、振動によって慣性力ｍａが生じるこ
とになる（ｍは粉体の質量、ａは加速度）。ここで、慣
性力ｍａがμSｍｇより小さい場合には、粉体６はトラ
フ４上に静止し、トラフ４と粉体６との間に相対的な運
動は生じない（μSはトラフ４の表面の静止摩擦係数、
ｇは重力加速度）。
【００１４】一方、慣性力ｍａがμSｍｇよりも大きい
場合には、粉体６とトラフ４との間にすべりが生じるこ
とになり、両者の間に相対的な運動が生じる。このと
き、粉体６にはμkｍｇの力が作用する（μkは、トラフ
４の表面の動摩擦係数）。上記粉体供給装置は、このよ
うな原理を利用したものであり、トラフ４を振動させる
際に、ある方向への移動時には、慣性力ｍａがμSｍｇ
よりも小さくなる加速度でトラフ４を移動させ、逆方向
への移動時に慣性力ｍａがμSｍｇよりも大きくなる加
速度でトラフ４を移動させる。このようにすることによ
り、逆方向への移動時にのみ粉体６がトラフ４に対して
相対移動することになり、トラフ４上で粉体６を一方向
に搬送することができる。
場合には、粉体６とトラフ４との間にすべりが生じるこ
とになり、両者の間に相対的な運動が生じる。このと
き、粉体６にはμkｍｇの力が作用する（μkは、トラフ
４の表面の動摩擦係数）。上記粉体供給装置は、このよ
うな原理を利用したものであり、トラフ４を振動させる
際に、ある方向への移動時には、慣性力ｍａがμSｍｇ
よりも小さくなる加速度でトラフ４を移動させ、逆方向
への移動時に慣性力ｍａがμSｍｇよりも大きくなる加
速度でトラフ４を移動させる。このようにすることによ
り、逆方向への移動時にのみ粉体６がトラフ４に対して
相対移動することになり、トラフ４上で粉体６を一方向
に搬送することができる。
【００１５】そして、このような振動をトラフ４に生じ
させるために、非対称波形発生器１０が図５（ａ）に示
すような非対称波形信号をボイスコイルモータ２に供給
している。図５（ａ）に示すような非対称波形信号を供
給した場合、ボイスコイルモータ２は、図５（ｂ）、
（ｃ）にそれぞれ示すような加速度および速度で振動部
材３（これに支持されるトラフ４）を振動させることに
なる。図５（ｂ）、（ｃ）において、「右」、「左」は
図３におけるトラフ４の移動方向を示すものであり、ト
ラフ４が左方向へ移動するときにのみ慣性力ｍａがμS
ｍｇを越えるような加速度ａ２で移動し、右方向への移
動時には慣性力ｍａがμSｍｇを越えない加速度ａ１で
移動するようになっている。なお、図５（ａ）におい
て、一点鎖線は、トラフ４の加速度が０となるときの信
号のレベル値である。このような振動を加えると、図５
（ｃ）に示すように、トラフ４が左方向への移動時にの
みトラフ４と粉体６との間に速度差（すべり）が生じ、
その速度差の積分値（図５（ｃ）において斜線で示す部
分の面積）の分だけ粉体６がトラフ４上を移動すること
になる。
させるために、非対称波形発生器１０が図５（ａ）に示
すような非対称波形信号をボイスコイルモータ２に供給
している。図５（ａ）に示すような非対称波形信号を供
給した場合、ボイスコイルモータ２は、図５（ｂ）、
（ｃ）にそれぞれ示すような加速度および速度で振動部
材３（これに支持されるトラフ４）を振動させることに
なる。図５（ｂ）、（ｃ）において、「右」、「左」は
図３におけるトラフ４の移動方向を示すものであり、ト
ラフ４が左方向へ移動するときにのみ慣性力ｍａがμS
ｍｇを越えるような加速度ａ２で移動し、右方向への移
動時には慣性力ｍａがμSｍｇを越えない加速度ａ１で
移動するようになっている。なお、図５（ａ）におい
て、一点鎖線は、トラフ４の加速度が０となるときの信
号のレベル値である。このような振動を加えると、図５
（ｃ）に示すように、トラフ４が左方向への移動時にの
みトラフ４と粉体６との間に速度差（すべり）が生じ、
その速度差の積分値（図５（ｃ）において斜線で示す部
分の面積）の分だけ粉体６がトラフ４上を移動すること
になる。
【００１６】このような動作原理の下、設定された質量
値と、質量検出器７により検出された質量値とが一致す
るように、非対称波形発生器１０が発生させるボイスコ
イルモータ２駆動用の非対称波形の振幅等を調整するこ
とにより、トラフ４の振動状態を制御して粉体供給能力
を調整している。
値と、質量検出器７により検出された質量値とが一致す
るように、非対称波形発生器１０が発生させるボイスコ
イルモータ２駆動用の非対称波形の振幅等を調整するこ
とにより、トラフ４の振動状態を制御して粉体供給能力
を調整している。
【００１７】Ｂ．ボイスコイルモータの支持機構 次に、ボイスコイルモータ２を支持機構１１０に固定支
持する支持機構１１０について図６を参照しながら詳細
に説明する。同図に示すように、この支持機構１１０
は、架台１とボイスコイルモータ２との間に配置される
４つの弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄ
を備えている。ここで、弾性体１１１としては、バネ定
数の小さいものが用いられることが好ましく、例えば防
振ゴムや空気バネなどを用いるようにすればよい。ま
た、４つの各弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１
１１ｄのバネ定数は同一であり、また形状も同一であ
る。さらに、各弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，
１１１ｄがボイスコイルモータ２を支持する姿勢も全て
揃えられている。
持する支持機構１１０について図６を参照しながら詳細
に説明する。同図に示すように、この支持機構１１０
は、架台１とボイスコイルモータ２との間に配置される
４つの弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄ
を備えている。ここで、弾性体１１１としては、バネ定
数の小さいものが用いられることが好ましく、例えば防
振ゴムや空気バネなどを用いるようにすればよい。ま
た、４つの各弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１
１１ｄのバネ定数は同一であり、また形状も同一であ
る。さらに、各弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，
１１１ｄがボイスコイルモータ２を支持する姿勢も全て
揃えられている。
【００１８】次に、４つの弾性体１１１ａ，１１１ｂ，
１１１ｃ，１１１ｄの配置位置について説明する。図示
のように各弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１
１ｄのボイスコイルモータ２を支持する側の部分（支持
部）１１１ａｓ，１１１ｂｓ，１１１ｃｓ，１１１ｄｓ
が以下に説明するような条件を満たすように各弾性体１
１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄが配置されてい
る。ここで、実際には弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１
１ｃ，１１１ｄは点ではなく面でボイスコイルモータ２
を支持しているが、部分１１１ａｓ，１１１ｂｓ，１１
１ｃｓ，１１１ｄｓとは、これらの面全体に作用する力
関係等を点に置き換えた場合に力が作用する部分であ
る。
１１１ｃ，１１１ｄの配置位置について説明する。図示
のように各弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１
１ｄのボイスコイルモータ２を支持する側の部分（支持
部）１１１ａｓ，１１１ｂｓ，１１１ｃｓ，１１１ｄｓ
が以下に説明するような条件を満たすように各弾性体１
１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄが配置されてい
る。ここで、実際には弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１
１ｃ，１１１ｄは点ではなく面でボイスコイルモータ２
を支持しているが、部分１１１ａｓ，１１１ｂｓ，１１
１ｃｓ，１１１ｄｓとは、これらの面全体に作用する力
関係等を点に置き換えた場合に力が作用する部分であ
る。
【００１９】まず、弾性体１１１ｃ，１１１ａはボイス
コイルモータ２の上下にそれぞれボイスコイルモータ２
を挟んで対向する位置に配置されており、弾性体１１１
ｄ，１１１ｂはボイスコイルモータ２の上下にそれぞれ
ボイスコイルモータ２を挟んで対向する位置に配置され
ている。ここで、４つの部分１１１ａｓ，１１１ｂｓ，
１１１ｃｓ，１１１ｄｓと、ボイスコイルモータ２の重
心Ｇとは１つの平面Ｈ（図６（ｂ）参照）上に位置する
ようになっている。
コイルモータ２の上下にそれぞれボイスコイルモータ２
を挟んで対向する位置に配置されており、弾性体１１１
ｄ，１１１ｂはボイスコイルモータ２の上下にそれぞれ
ボイスコイルモータ２を挟んで対向する位置に配置され
ている。ここで、４つの部分１１１ａｓ，１１１ｂｓ，
１１１ｃｓ，１１１ｄｓと、ボイスコイルモータ２の重
心Ｇとは１つの平面Ｈ（図６（ｂ）参照）上に位置する
ようになっている。
【００２０】また、対向配置される弾性体１１１ｃ，１
１１ａおよび弾性体１１１ｄ，１１１ｂは、それぞれボ
イスコイルモータ２の重心Ｇを通る振動部材３（図３参
照）の移動方向（水平方向）線Ｓ１に対して線対称とな
るようになっている。ボイスコイルモータ２の重心Ｇが
図６（ａ）に示す方向から視てボイスコイルモータ２の
中央に位置する場合には、移動方向線Ｓ１から部分１１
１ａｓと部分１１１ｃｓとの垂線距離（Ｙ0）が等しく
なる。
１１ａおよび弾性体１１１ｄ，１１１ｂは、それぞれボ
イスコイルモータ２の重心Ｇを通る振動部材３（図３参
照）の移動方向（水平方向）線Ｓ１に対して線対称とな
るようになっている。ボイスコイルモータ２の重心Ｇが
図６（ａ）に示す方向から視てボイスコイルモータ２の
中央に位置する場合には、移動方向線Ｓ１から部分１１
１ａｓと部分１１１ｃｓとの垂線距離（Ｙ0）が等しく
なる。
【００２１】また、本実施形態では、上記条件に加えて
重心Ｇから部分１１１ａｓ，１１１ｂｓ，１１１ｃｓ，
１１１ｄｓまでの直線距離が全て等しくなるようになっ
ている。つまり、部分１１１ａｓと１１１ｄｓとが重心
Ｇに対して点対称となり、部分１１１ｂｓと部分１１１
ｃｓとが重心Ｇに対して点対称となるように、各弾性体
１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄが配置されて
いる。従って、図６（ａ）に示すように、ボイスコイル
モータ２の重心Ｇがボイスコイルモータ２の中央に位置
する場合には、部分１１１ａｓと部分１１１ｄｓと重心
Ｇを通る垂直方向線Ｓ２との垂線距離（Ｘ0）が等しく
なる。
重心Ｇから部分１１１ａｓ，１１１ｂｓ，１１１ｃｓ，
１１１ｄｓまでの直線距離が全て等しくなるようになっ
ている。つまり、部分１１１ａｓと１１１ｄｓとが重心
Ｇに対して点対称となり、部分１１１ｂｓと部分１１１
ｃｓとが重心Ｇに対して点対称となるように、各弾性体
１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄが配置されて
いる。従って、図６（ａ）に示すように、ボイスコイル
モータ２の重心Ｇがボイスコイルモータ２の中央に位置
する場合には、部分１１１ａｓと部分１１１ｄｓと重心
Ｇを通る垂直方向線Ｓ２との垂線距離（Ｘ0）が等しく
なる。
【００２２】Ｃ．振動時の支持機構の作用 次に、ボイスコイルモータ２が振動部材３を振動させて
いる時に、上述した支持機構１１０に作用する力につい
て図７を参照しながら説明する。なお、図７中に記載し
たばねは、各弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１
１１ｄのバネ定数を擬似的に表したものであり、反力が
加わった場合、水平方向および垂直方向に各弾性体のバ
ネ定数に応じた復元力が作用していることを示す。
いる時に、上述した支持機構１１０に作用する力につい
て図７を参照しながら説明する。なお、図７中に記載し
たばねは、各弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１
１１ｄのバネ定数を擬似的に表したものであり、反力が
加わった場合、水平方向および垂直方向に各弾性体のバ
ネ定数に応じた復元力が作用していることを示す。
【００２３】同図に示すように、ボイスコイルモータ２
が振動部材３を振動させた場合、ボイスコイルモータ２
にはその推力の反力が水平方向に作用することになる。
ここで、ボイスコイルモータ２の推力の反力としてＦ0X
が水平方向に作用し、また弾性体１１１ａ，１１１ｂ，
１１１ｃ，１１１ｄの各部分１１１ａｓ，１１１ｂｓ，
１１１ｃｓ，１１１ｄｓにおけるＸ方向のバネ定数をｋ
Xとした場合、架台１に伝達される反力の水平方向成分
ＦTXは、次の式により近似される。 ＦTX＝Ｆ0X／（１−（Ｍω／４ｋX）2） ここで、ωはＦTXの角周波数であり、Ｍはボイスコイル
モータ２の質量を示す。従って、架台１に伝達される力
Ｆ0Xは、ボイスコイルモータ２に加わる反力Ｆ 0Xの値だ
けでなく、ｋXの値によっても変化するものであること
がわかる。具体的には、ｋXが大きければ大きいほど、
ＦTXは大きくなる。このため、ｋX＜＜Ｍωの場合に
は、ＦTXは微少な値となり、架台１へ伝達される反力が
ほとんどなくなる。一方、ｋX＞＞Ｍωの場合には、Ｆ
TXがＦ0Xに近づく、つまり架台１への反力の伝達率が１
００％に近づくことになる。
が振動部材３を振動させた場合、ボイスコイルモータ２
にはその推力の反力が水平方向に作用することになる。
ここで、ボイスコイルモータ２の推力の反力としてＦ0X
が水平方向に作用し、また弾性体１１１ａ，１１１ｂ，
１１１ｃ，１１１ｄの各部分１１１ａｓ，１１１ｂｓ，
１１１ｃｓ，１１１ｄｓにおけるＸ方向のバネ定数をｋ
Xとした場合、架台１に伝達される反力の水平方向成分
ＦTXは、次の式により近似される。 ＦTX＝Ｆ0X／（１−（Ｍω／４ｋX）2） ここで、ωはＦTXの角周波数であり、Ｍはボイスコイル
モータ２の質量を示す。従って、架台１に伝達される力
Ｆ0Xは、ボイスコイルモータ２に加わる反力Ｆ 0Xの値だ
けでなく、ｋXの値によっても変化するものであること
がわかる。具体的には、ｋXが大きければ大きいほど、
ＦTXは大きくなる。このため、ｋX＜＜Ｍωの場合に
は、ＦTXは微少な値となり、架台１へ伝達される反力が
ほとんどなくなる。一方、ｋX＞＞Ｍωの場合には、Ｆ
TXがＦ0Xに近づく、つまり架台１への反力の伝達率が１
００％に近づくことになる。
【００２４】ここで、本実施形態のように弾性体１１１
ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄの部分１１１ａｓ，
１１１ｂｓ，１１１ｃｓ，１１１ｄｓにおけるＸ方向の
バネ定数ｋXの小さいもの（上述した防振ゴムや空気バ
ネなど）を用いることにより、架台１の反力の伝達力Ｆ
TXを微少なものとすることができる。これにより、以下
に説明するような効果が得られる。
ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄの部分１１１ａｓ，
１１１ｂｓ，１１１ｃｓ，１１１ｄｓにおけるＸ方向の
バネ定数ｋXの小さいもの（上述した防振ゴムや空気バ
ネなど）を用いることにより、架台１の反力の伝達力Ｆ
TXを微少なものとすることができる。これにより、以下
に説明するような効果が得られる。
【００２５】上述したような反力が支持機構１１０を介
して架台１に伝達された場合、支持機構１１０の剛性が
高い場合には、上述した反力の架台１への伝達量は大き
くなり、架台１と、これを固定する基礎（図示略）との
取り付け剛性が低い場合には、架台１が大きく振動して
しまうこともある。また、架台１と基礎の取り付け剛性
が高い場合には、基礎に対する架台１の振動を抑制する
ことができるが、基礎が振動してしまうこともある。ま
た、様々な設置条件の下、常に架台１と基礎とを高い剛
性をもって取り付けることができるとは限らない。これ
に対し、本実施形態では、上述したように架台１への反
力の伝達を微少なものとすることができるので、上述し
たような問題を解消することができる。
して架台１に伝達された場合、支持機構１１０の剛性が
高い場合には、上述した反力の架台１への伝達量は大き
くなり、架台１と、これを固定する基礎（図示略）との
取り付け剛性が低い場合には、架台１が大きく振動して
しまうこともある。また、架台１と基礎の取り付け剛性
が高い場合には、基礎に対する架台１の振動を抑制する
ことができるが、基礎が振動してしまうこともある。ま
た、様々な設置条件の下、常に架台１と基礎とを高い剛
性をもって取り付けることができるとは限らない。これ
に対し、本実施形態では、上述したように架台１への反
力の伝達を微少なものとすることができるので、上述し
たような問題を解消することができる。
【００２６】また、本実施形態では、各弾性体１１１
ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄの部分１１１ａｓ，
１１１ｂｓ，１１１ｃｓ，１１１ｄｓが上述した条件を
満たす位置に配置されるようになっているが、これによ
る作用効果について説明する。
ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄの部分１１１ａｓ，
１１１ｂｓ，１１１ｃｓ，１１１ｄｓが上述した条件を
満たす位置に配置されるようになっているが、これによ
る作用効果について説明する。
【００２７】ボイスコイルモータ２に推力の反力Ｆ0Xが
加わり、ボイスコイルモータ２が水平方向にΔＸ変位し
た場合、各弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１
１ｄの水平方向の復元力はｋX＊ΔＸとなる。この際、
各弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄの復
元力の作用線は、ボイスコイルモータ２の重心Ｇを通ら
ないので、個々の弾性体のみの復元力に着眼すると、Ｙ
軸まわりのモーメントが発生することになる。しかしな
がら、本実施形態では、上述したように弾性体１１１ａ
の部分１１１ａｓと弾性体１１１ｃの部分１１１ｃｓが
移動方向線Ｓ１に対して線対称となるように配置されて
いるので、両者の復元力によって作用するＹ軸まわりの
モーメントは逆極性となり、これにより両者の復元力に
よるモーメントが相殺する。また、弾性体１１１ｂの部
分１１１ｂｓと弾性体１１１ｄの部分１１１ｄｓが移動
方向線Ｓ１に対して線対称となるように配置されている
ので、両者の復元力によって作用するＹ軸まわりのモー
メントが相殺する。従って、４つの弾性体１１１ａ，１
１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄの全体としての復元力に着
眼すると、ボイスコイルモータ２にはＹ軸まわりのモー
メントが作用しない。すなわち、ボイスコイルモータ２
にはＸ方向のみ復元力が作用するが、この復元力も上述
したようにバネ定数の小さい弾性体を用いることにより
微少なものとなっている。
加わり、ボイスコイルモータ２が水平方向にΔＸ変位し
た場合、各弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１
１ｄの水平方向の復元力はｋX＊ΔＸとなる。この際、
各弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄの復
元力の作用線は、ボイスコイルモータ２の重心Ｇを通ら
ないので、個々の弾性体のみの復元力に着眼すると、Ｙ
軸まわりのモーメントが発生することになる。しかしな
がら、本実施形態では、上述したように弾性体１１１ａ
の部分１１１ａｓと弾性体１１１ｃの部分１１１ｃｓが
移動方向線Ｓ１に対して線対称となるように配置されて
いるので、両者の復元力によって作用するＹ軸まわりの
モーメントは逆極性となり、これにより両者の復元力に
よるモーメントが相殺する。また、弾性体１１１ｂの部
分１１１ｂｓと弾性体１１１ｄの部分１１１ｄｓが移動
方向線Ｓ１に対して線対称となるように配置されている
ので、両者の復元力によって作用するＹ軸まわりのモー
メントが相殺する。従って、４つの弾性体１１１ａ，１
１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄの全体としての復元力に着
眼すると、ボイスコイルモータ２にはＹ軸まわりのモー
メントが作用しない。すなわち、ボイスコイルモータ２
にはＸ方向のみ復元力が作用するが、この復元力も上述
したようにバネ定数の小さい弾性体を用いることにより
微少なものとなっている。
【００２８】従って、本実施形態によれば、ボイスコイ
ルモータ２に作用する推力の反力によって上下方向にボ
イスコイルモータ２が移動したりすることが抑制され、
トラフ４を水平方向に振動させることにより行われる粉
体供給のボイスコイルモータ２の上下動に起因する誤動
作等を低減することができる。
ルモータ２に作用する推力の反力によって上下方向にボ
イスコイルモータ２が移動したりすることが抑制され、
トラフ４を水平方向に振動させることにより行われる粉
体供給のボイスコイルモータ２の上下動に起因する誤動
作等を低減することができる。
【００２９】Ｃ．変形例なお、本発明は、上述した実施
形態に限定されるものではなく、以下のような種々の変
形が可能である。
形態に限定されるものではなく、以下のような種々の変
形が可能である。
【００３０】（１）上述した実施形態においては、２つ
の弾性体がそれぞれ上下からボイスコイルモータ２を支
持するようにしていたが、これに限らず、図８に示すよ
うに、ボイスコイルモータ２を左右２つずつの弾性体１
２１で支持する（水平方向で支持する）ような支持機構
１２０を用いるようにしてもよい。この場合も、上述し
た実施形態と同様に同じバネ定数を有する防振ゴムなど
の４つの弾性体１２１の支持点１２１ｓがボイスコイル
モータ２の重心Ｇを含む１つの平面Ｈ上に配置される等
の上述した実施形態と同様の条件を満たすように配置す
れば（平面Ｈで切った断面図が図６（ａ）と同様になる
ようにすれば）、上記実施形態と同様の作用効果が得ら
れる。また、ボイスコイルモータ２を支持する機構の支
持方向は、このような水平方向や上記実施形態の垂直方
向に限らず、上述した実施形態と同様の条件を満たすの
であれば斜め方向であってもよい。
の弾性体がそれぞれ上下からボイスコイルモータ２を支
持するようにしていたが、これに限らず、図８に示すよ
うに、ボイスコイルモータ２を左右２つずつの弾性体１
２１で支持する（水平方向で支持する）ような支持機構
１２０を用いるようにしてもよい。この場合も、上述し
た実施形態と同様に同じバネ定数を有する防振ゴムなど
の４つの弾性体１２１の支持点１２１ｓがボイスコイル
モータ２の重心Ｇを含む１つの平面Ｈ上に配置される等
の上述した実施形態と同様の条件を満たすように配置す
れば（平面Ｈで切った断面図が図６（ａ）と同様になる
ようにすれば）、上記実施形態と同様の作用効果が得ら
れる。また、ボイスコイルモータ２を支持する機構の支
持方向は、このような水平方向や上記実施形態の垂直方
向に限らず、上述した実施形態と同様の条件を満たすの
であれば斜め方向であってもよい。
【００３１】（２）また、上述した支持機構１１０に代
えて、図９に示すような支持機構を用いるようにしても
よい。同図に示すように、この支持機構では、上述した
実施形態と同様に同じバネ定数を有する防振ゴムなどの
４つのの弾性体１３１が取り付け治具１５０を介してボ
イスコイルモータ２を支持している。この場合も、上記
実施形態と同様に各取り付け治具１５０のボイスコイル
モータ２を支持する点が重心Ｇを含んだ１つの平面Ｈ上
に配置される等の上記実施形態と同様の条件を満たすよ
うに配置すれば、上記実施形態と同様の作用効果が得ら
れる。
えて、図９に示すような支持機構を用いるようにしても
よい。同図に示すように、この支持機構では、上述した
実施形態と同様に同じバネ定数を有する防振ゴムなどの
４つのの弾性体１３１が取り付け治具１５０を介してボ
イスコイルモータ２を支持している。この場合も、上記
実施形態と同様に各取り付け治具１５０のボイスコイル
モータ２を支持する点が重心Ｇを含んだ１つの平面Ｈ上
に配置される等の上記実施形態と同様の条件を満たすよ
うに配置すれば、上記実施形態と同様の作用効果が得ら
れる。
【００３２】（３）また、図１０に示すように、４つの
弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄを有す
る支持機構１１０に加えて、水平方向からボイスコイル
モータ２を支持する４つの弾性体を有する支持機構１２
０を設けるようにしてもよい。ここで、上記変形例
（１）において説明したように、支持機構１２０を構成
する４つの弾性体１２１の支持点１２１ｓが上述した実
施形態と同様の条件を満たすように配置されている。こ
のように垂直方向でボイスコイルモータ２を支持する支
持機構１１０と、水平方向でボイスコイルモータ２を支
持する支持機構１２０とを組み合わせるようにしてもよ
い。また、斜め方向にボイスコイルモータ２を支持する
支持機構を組み合わせるようにしてもよい。
弾性体１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１ｄを有す
る支持機構１１０に加えて、水平方向からボイスコイル
モータ２を支持する４つの弾性体を有する支持機構１２
０を設けるようにしてもよい。ここで、上記変形例
（１）において説明したように、支持機構１２０を構成
する４つの弾性体１２１の支持点１２１ｓが上述した実
施形態と同様の条件を満たすように配置されている。こ
のように垂直方向でボイスコイルモータ２を支持する支
持機構１１０と、水平方向でボイスコイルモータ２を支
持する支持機構１２０とを組み合わせるようにしてもよ
い。また、斜め方向にボイスコイルモータ２を支持する
支持機構を組み合わせるようにしてもよい。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
トラフを振動させる電磁加振手段の上下方向の振動に起
因する粉体供給の不具合を低減することが可能となる。
トラフを振動させる電磁加振手段の上下方向の振動に起
因する粉体供給の不具合を低減することが可能となる。
【図１】 従来の粉体供給装置の構成を示す図である。
【図２】 従来の粉体供給装置の構成要素であるボイス
コイルモータの支持機構に作用する力を説明するための
図である。
コイルモータの支持機構に作用する力を説明するための
図である。
【図３】 本発明の一実施形態に係る粉体供給装置の構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図４】 実施形態に係る前記粉体供給装置による粉体
供給原理を説明するための図である。
供給原理を説明するための図である。
【図５】 実施形態に係る前記粉体供給装置による粉体
供給原理を説明するための図である。
供給原理を説明するための図である。
【図６】 実施形態に係る前記粉体供給装置の構成要素
であるボイスコイルモータ２の支持機構付近を示す図で
ある。
であるボイスコイルモータ２の支持機構付近を示す図で
ある。
【図７】 前記ボイスコイルモータ動作時の、実施形態
に係る前記粉体供給装置の前記支持機構に作用する力を
説明するための図である。
に係る前記粉体供給装置の前記支持機構に作用する力を
説明するための図である。
【図８】 実施形態に係る前記粉体供給装置の変形例に
おける前記支持機構付近を示す側面図である。
おける前記支持機構付近を示す側面図である。
【図９】 実施形態に係る前記粉体供給装置の他の変形
例における前記支持機構付近を示す側面図である。
例における前記支持機構付近を示す側面図である。
【図１０】 実施形態に係る前記粉体供給装置のその他
の変形例における前記支持機構付近を示す側面図であ
る。
の変形例における前記支持機構付近を示す側面図であ
る。
１……架台（支持体）、２……ボイスコイルモータ（電
磁加振手段）、３……振動部材、４……トラフ、５……
ホッパー、６……粉体、７……質量検出器、８……減算
器、９……減算器、１０……非対称波形発生器、１１０
……支持機構、１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１
ｄ……弾性体、１１１ａｓ，１１１ｂｓ，１１１ｃｓ，
１１１ｄｓ……部分（支持部）、１２０……支持機構、
１２１……弾性体、１２１ｓ……支持点、１３１……弾
性体
磁加振手段）、３……振動部材、４……トラフ、５……
ホッパー、６……粉体、７……質量検出器、８……減算
器、９……減算器、１０……非対称波形発生器、１１０
……支持機構、１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｃ，１１１
ｄ……弾性体、１１１ａｓ，１１１ｂｓ，１１１ｃｓ，
１１１ｄｓ……部分（支持部）、１２０……支持機構、
１２１……弾性体、１２１ｓ……支持点、１３１……弾
性体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斉藤 伸浩 三重県伊勢市竹ケ鼻町100 神鋼電機株式 会社伊勢事業所内 Ｆターム(参考） 3F037 BA03 CA11 CB03
Claims (2)
- 【請求項１】 支持体と、 電磁加振手段と、 前記電磁加振手段により、水平方向に振動させられる振
動部材と、 前記振動部材の振動方向に振動可能に設けられ、前記振
動部材の振動に伴って振動するトラフとを備え、 前記トラフを振動させることにより、該トラフから粉体
を落下させて供給する粉体供給装置において、 前記電磁加振手段を前記支持体に支持する機構であっ
て、前記支持体と前記電磁加振手段の間に配置される同
一のバネ定数を有する４つの弾性体を備えた１または複
数の支持機構を備え、 ４つの前記弾性体は、前記電磁加振手段を挟んで対向す
る位置にそれぞれ２つずつ配置されており、 ４つの前記弾性体における前記電磁加振手段を支持する
支持部が、前記電磁加振手段の重心を含む同一平面上に
配置され、かつ前記電磁加振手段を挟んで対向配置され
る２つの前記弾性体の前記支持部が前記重心を通る前記
振動部材の振動方向線に対して線対称の位置にあること
を特徴とする粉体供給装置。 - 【請求項２】 ４つの前記弾性体の前記支持部の位置
は、前記重心から等距離の位置にあることを特徴とする
請求項１に記載の粉体供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34073299A JP4543461B2 (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | 粉体供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34073299A JP4543461B2 (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | 粉体供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001151329A true JP2001151329A (ja) | 2001-06-05 |
| JP4543461B2 JP4543461B2 (ja) | 2010-09-15 |
Family
ID=18339791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34073299A Expired - Fee Related JP4543461B2 (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | 粉体供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4543461B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109649964A (zh) * | 2018-12-17 | 2019-04-19 | 东北大学 | 一种三机驱动亚共振自同步振动输送机装置的参数确定方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6382210A (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-13 | Shinko Electric Co Ltd | 振動フィ−ダ |
| JPH02206727A (ja) * | 1989-02-06 | 1990-08-16 | Taiyo Keisoku Kk | 粉体供給用振動フイーダ |
| JPH04354714A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-09 | Shinko Electric Co Ltd | 加振装置 |
-
1999
- 1999-11-30 JP JP34073299A patent/JP4543461B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6382210A (ja) * | 1986-09-24 | 1988-04-13 | Shinko Electric Co Ltd | 振動フィ−ダ |
| JPH02206727A (ja) * | 1989-02-06 | 1990-08-16 | Taiyo Keisoku Kk | 粉体供給用振動フイーダ |
| JPH04354714A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-09 | Shinko Electric Co Ltd | 加振装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109649964A (zh) * | 2018-12-17 | 2019-04-19 | 东北大学 | 一种三机驱动亚共振自同步振动输送机装置的参数确定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4543461B2 (ja) | 2010-09-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3825869B2 (ja) | 能動除振装置 | |
| JP6038506B2 (ja) | 振動の絶縁 | |
| US5433422A (en) | Active vibration control through sensing and controlling forces on an intermediate body | |
| JP5227449B2 (ja) | 振動式搬送装置 | |
| KR101337063B1 (ko) | 진동식 반송장치 | |
| CN108883703B (zh) | 用于设备、特别是用于车辆组件的操作单元 | |
| US6522388B1 (en) | Vibration eliminator, exposure apparatus and projection exposure method | |
| JP2002079178A (ja) | 能動振動減衰電磁加振機及び能動振動減衰制御方法 | |
| JP2001027280A (ja) | アクティブ除振装置 | |
| KR20130018610A (ko) | 제진 장치 | |
| JPH037816B2 (ja) | ||
| JPH11150062A (ja) | 除振装置及び露光装置並びに除振台の除振方法 | |
| JP2004302639A (ja) | 振動制御装置 | |
| JPS5997341A (ja) | 構造物の振動抑制装置 | |
| JP2001151329A (ja) | 粉体供給装置 | |
| CN112984044A (zh) | 位移抑制机构以及除振装置 | |
| JP2007188251A (ja) | ステージ装置 | |
| JP5649876B2 (ja) | アクティブ除振装置 | |
| JP7128639B2 (ja) | 増振器、および振動発電装置 | |
| JP2001271871A (ja) | アクティブ防振装置 | |
| WO2011115488A1 (en) | Active vibration isolation system, arrangement and method | |
| JPH07168631A (ja) | 振動制振装置 | |
| JP2004332847A (ja) | 制振装置 | |
| JPH0520473Y2 (ja) | ||
| JP5882698B2 (ja) | 情報記憶装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061130 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091118 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091124 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100125 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100413 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100520 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100608 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130709 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100621 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |