JP2001150344A - Grinding method and grinding device for magnetic member, and disposal method and disposal device for waste liquid - Google Patents

Grinding method and grinding device for magnetic member, and disposal method and disposal device for waste liquid

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JP2001150344A
JP2001150344A JP2000181988A JP2000181988A JP2001150344A JP 2001150344 A JP2001150344 A JP 2001150344A JP 2000181988 A JP2000181988 A JP 2000181988A JP 2000181988 A JP2000181988 A JP 2000181988A JP 2001150344 A JP2001150344 A JP 2001150344A
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JP
Japan
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grinding
sludge
magnetic member
waste liquid
magnetic
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JP2000181988A
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Japanese (ja)
Inventor
Masanori Takeuma
正則 竹馬
Sadahiko Kondo
禎彦 近藤
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Hitachi Metals Ltd
Original Assignee
Sumitomo Special Metals Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a grinding method and a grinding device for a magnetic member, and a disposal method and a disposal device for waste liquid, capable of being miniaturized and effective in separating fine sludge. SOLUTION: A grinding device 10 is provided with a cutting blade 38 having a cutting edge 44 containing a heat resistant resin 44b and abrasive grains 44a. A magnetic member 54 containing rare earth alloy is ground by using the cutting blade 38 while grinding liquid 58 taking water as a main component is supplied to a grinding part 60. Sludge 90 is magnetically separated form the spend grinding liquid 58 by a magnet separator 74 having the surface magnetic flux density of not less than 0.25T. When the grinding liquid 58 is supplied to a tank 92, the sludge 90 contained in the grinding liquid 58 is aggregated and precipitated. The grinding liquid 58 from which the sludge 90 is separated is used. When the sludge containing a rare earth alloy is separated from waste liquid, separating process is similarly performed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は磁性部材の研削方
法および研削装置ならびに廃液の処理方法および処理装
置に関し、特にたとえば研削時に発生するスラッジを含
んだ研削廃液を浄化して再利用する、磁性部材の研削方
法および研削装置ならびに廃液の処理方法および処理装
置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for grinding a magnetic member, and a method and an apparatus for treating a waste liquid, and more particularly, to a method for purifying and reusing a grinding waste liquid containing sludge generated during grinding. The present invention relates to a grinding method and a grinding apparatus, a waste liquid treatment method and a treatment apparatus.

【従来の技術】研削液を浄化する技術の一例が特開平1
0−309647号において開示されている。ここで
は、異物が混入した研削液がタンク内に貯蔵され、その
研削液がノズルによって攪拌されて研削液からスラッジ
および砥粒が分離され、さらにマグネットセパレータに
よってスラッジがタンク外に排出される技術が提案され
ている。また、関連技術の他の例が特開平8−2997
17号において開示されている。ここでは、研削液を浄
化するために濾材を用いる技術が提案されている。
2. Description of the Related Art An example of a technique for purifying a grinding fluid is disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei.
No. 0-309647. Here, there is a technology in which a grinding fluid mixed with foreign matter is stored in a tank, the grinding fluid is stirred by a nozzle to separate sludge and abrasive grains from the grinding fluid, and the sludge is discharged out of the tank by a magnetic separator. Proposed. Another example of the related art is disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No.
No. 17 discloses. Here, a technique using a filter medium to purify the grinding fluid is proposed.

【0002】[0002]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前者の関連技
術では、細かいスラッジを十分に取り除くことができな
かった。細かいスラッジを沈澱させて十分に取り除こう
とすれば、一台の装置につき3000リットル程度の大
容量のタンクが必要であり、装置が大型化するという問
題点があった。また、磁性部材、特に希土類合金を研削
したときに発生するスラッジは2、3μm程度の細かい
ものであるが、濾材を用いる後者の関連技術では、目づ
まりを起こし、このような細かいスラッジを効率よく除
去することが困難であった。さらに、十分にスラッジを
除去していない研削液を用いて、磁性部材を耐熱性樹脂
と超砥粒とを含む研削刃で切断する場合、刃先の摩耗が
早くなる。それゆえに、この発明の主たる目的は、小型
化できかつ細かいスラッジの分離に有効な、磁性部材の
研削方法および研削装置ならびに廃液の処理方法および
処理装置を提供することである。
However, with the former related technique, fine sludge cannot be sufficiently removed. In order to settle fine sludge and sufficiently remove the sludge, a large-capacity tank of about 3000 liters is required for one apparatus, and there is a problem that the apparatus becomes large. In addition, the sludge generated when grinding a magnetic member, particularly a rare earth alloy, is as fine as a few μm. However, the latter related technology using a filter medium causes clogging and efficiently removes such fine sludge. It was difficult to do. Furthermore, when the magnetic member is cut with a grinding blade containing a heat-resistant resin and superabrasive grains using a grinding fluid from which sludge has not been sufficiently removed, wear of the cutting edge is accelerated. Therefore, a main object of the present invention is to provide a magnetic member grinding method and a grinding device, and a waste liquid treatment method and a treatment device, which can be reduced in size and effective in separating fine sludge.

【0003】[0003]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に記載の磁性部材の研削方法は、研削液を
研削部に供給しながら、耐熱性樹脂と超砥粒とを含む刃
先を有する研削手段を用いて磁性部材を研削する第1ス
テップ、および研削部から排出される研削液からスラッ
ジを磁気的に分離する第2ステップを備える。請求項2
に記載の磁性部材の研削方法は、請求項1に記載の磁性
部材の研削方法において、研削液に含まれるスラッジを
沈澱させて研削液から分離する第3ステップをさらに含
むものである。請求項3に記載の磁性部材の研削方法
は、請求項1に記載の磁性部材の研削方法において、磁
性部材は希土類合金を含み、第2ステップでは、表面磁
束密度が0.25T以上である磁気分離手段を用いてス
ラッジを分離するものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for grinding a magnetic member, comprising: a heat-resistant resin and superabrasive grains while supplying a grinding fluid to a grinding portion. The method includes a first step of grinding a magnetic member using a grinding means having a cutting edge, and a second step of magnetically separating sludge from a grinding fluid discharged from a grinding unit. Claim 2
The method of grinding a magnetic member according to the first aspect further includes a third step of precipitating sludge contained in the grinding fluid and separating the sludge from the grinding fluid in the method of grinding a magnetic member according to the first aspect. According to a third aspect of the present invention, in the method for grinding a magnetic member according to the first aspect, the magnetic member includes a rare earth alloy, and in the second step, the surface magnetic flux density is 0.25T or more. The sludge is separated using a separating means.

【0004】請求項4に記載の磁性部材の研削方法は、
請求項1に記載の磁性部材の研削方法において、研削液
は水を主成分とするものである。請求項5に記載の磁性
部材の研削方法は、請求項1に記載の磁性部材の研削方
法において、スラッジの分離処理が施された研削液を研
削部に供給して循環使用するものである。請求項6に記
載の廃液の処理方法は、表面磁束密度が0.25T以上
である磁気分離手段を用いて廃液から希土類合金を含む
スラッジを分離するものである。
[0004] The method for grinding a magnetic member according to claim 4 is characterized in that:
In the method for grinding a magnetic member according to the first aspect, the grinding fluid contains water as a main component. According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method of grinding a magnetic member according to the first aspect, wherein the grinding fluid subjected to the sludge separation treatment is supplied to the grinding section and is circulated for use. According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a method for separating a waste liquid from a waste liquid using a magnetic separation means having a surface magnetic flux density of 0.25 T or more.

【0005】請求項7に記載の廃液の処理方法は、請求
項6に記載の廃液の処理方法において、さらに、廃液に
含まれるスラッジを沈澱させて廃液から分離するもので
ある。請求項8に記載の磁性部材の研削装置は、研削液
を研削部に供給しながら、耐熱性樹脂と超砥粒とを含む
刃先を有する研削手段を用いて磁性部材を研削するため
の研削処理手段、および研削部から排出される研削液か
らスラッジを分離するための磁気分離手段を備える。請
求項9に記載の磁性部材の研削装置は、請求項8に記載
の磁性部材の研削装置において、磁気分離手段の下流側
に配置されかつ研削液が供給されるタンクをさらに含む
ものである。請求項10に記載の磁性部材の研削装置
は、請求項8に記載の磁性部材の研削装置において、磁
性部材は希土類合金を含み、磁気分離手段の表面磁束密
度が0.25T以上であるものである。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a method of treating a waste liquid according to the sixth aspect, wherein sludge contained in the waste liquid is further precipitated and separated from the waste liquid. The grinding apparatus for a magnetic member according to claim 8, wherein a grinding process for grinding the magnetic member using a grinding unit having a cutting edge including a heat-resistant resin and superabrasive grains while supplying a grinding fluid to the grinding unit. Means and magnetic separation means for separating sludge from the grinding fluid discharged from the grinding section. The apparatus for grinding a magnetic member according to a ninth aspect of the present invention is the apparatus for grinding a magnetic member according to the eighth aspect, further comprising a tank disposed downstream of the magnetic separation means and supplied with a grinding fluid. A magnetic member grinding apparatus according to a tenth aspect is the magnetic member grinding apparatus according to the eighth aspect, wherein the magnetic member includes a rare earth alloy, and a surface magnetic flux density of the magnetic separation unit is 0.25T or more. is there.

【0006】請求項11に記載の磁性部材の研削装置
は、請求項8に記載の磁性部材の研削装置において、研
削液は水を主成分とするものである。請求項12に記載
の磁性部材の研削装置は、請求項8に記載の磁性部材の
研削装置において、スラッジの分離処理が施された研削
液を研削部に供給して循環使用するための循環手段をさ
らに含むものである。請求項13に記載の廃液の処理装
置は、表面磁束密度が0.25T以上でありかつ廃液か
ら希土類合金を含むスラッジを分離するための磁気分離
手段を備える。請求項14に記載の廃液の処理装置は、
請求項13に記載の廃液の処理装置において、磁気分離
手段の下流側に配置されかつ廃液が供給されるタンクを
さらに含むものである。請求項15に記載の希土類磁石
は、研削液を研削部に供給しながら、耐熱性樹脂と超砥
粒とを含む刃先を有する研削手段を用いて磁性部材を研
削する第1ステップ、および研削部から排出される研削
液からスラッジを磁気的に分離する第2ステップを備え
る磁性部材の研削方法を用いて得られるものである。
According to a magnetic member grinding apparatus according to an eleventh aspect, in the magnetic member grinding apparatus according to the eighth aspect, the grinding fluid contains water as a main component. According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided the magnetic member grinding apparatus according to the ninth aspect, wherein the circulating means for supplying the circulating fluid subjected to the sludge separation treatment to the grinding unit for circulating use. Is further included. A waste liquid treatment apparatus according to a thirteenth aspect is provided with a magnetic separation means having a surface magnetic flux density of 0.25 T or more and separating sludge containing a rare earth alloy from the waste liquid. The waste liquid treatment device according to claim 14,
The waste liquid processing apparatus according to claim 13, further comprising a tank disposed downstream of the magnetic separation means and supplied with the waste liquid. The first step of grinding the magnetic member using a grinding means having a cutting edge including a heat-resistant resin and superabrasive grains while supplying a grinding fluid to the grinding section, and the grinding section, wherein the rare earth magnet according to claim 15 is provided. Obtained by using a method for grinding a magnetic member comprising a second step of magnetically separating sludge from a grinding fluid discharged from a grinding wheel.

【0007】請求項1に記載の磁性部材の研削方法で
は、たとえばマグネットセパレータなどの磁気分離手段
によって、使用済みの研削液からスラッジを磁気的に分
離できるので、従来とは異なり大きなタンクを用いる必
要はなく、装置を小型化できる。また、研削手段が耐熱
性樹脂と超砥粒とを含む刃先を有する場合には、研削液
中に細かいスラッジが含まれると刃先が異常摩耗しやす
いが、この発明は研削液から細かいスラッジをも分離で
きるのでそのような弊害の発生を抑制でき、特に有効と
なる。さらに、この発明は、請求項15に記載するよう
に希土類磁石を得る場合に効果的である。請求項8に記
載の磁性部材の研削装置についても同様である。また、
研削液に磁気的な分離処理を施すと、研削液から分離さ
れなかったスラッジも同じく磁化されている。したがっ
て、請求項2に記載の磁性部材の研削方法では、たとえ
ば研削液をタンクに供給することによって、研削液に含
まれる磁化されたスラッジを凝集させてタンク内で早く
沈澱させることができる。このとき、沈澱し難い細かい
スラッジであっても凝集して沈澱し研削液から早く分離
できる。したがって、大きなタンクを用いる必要はな
い。請求項9に記載の磁性部材の研削装置についても同
様である。
In the method for grinding a magnetic member according to the first aspect, the sludge can be magnetically separated from the used grinding fluid by a magnetic separation means such as a magnet separator. However, the device can be downsized. Further, when the grinding means has a cutting edge containing a heat-resistant resin and super-abrasive grains, the cutting edge is liable to abnormally wear when fine sludge is contained in the grinding fluid, but the present invention also removes fine sludge from the grinding fluid. Since the separation can be performed, the occurrence of such an adverse effect can be suppressed, which is particularly effective. Further, the present invention is effective when obtaining a rare earth magnet as described in claim 15. The same applies to the magnetic member grinding apparatus according to the eighth aspect. Also,
When the grinding fluid is subjected to a magnetic separation treatment, sludge not separated from the grinding fluid is also magnetized. Therefore, in the method for grinding a magnetic member according to the second aspect, for example, by supplying the grinding fluid to the tank, the magnetized sludge contained in the grinding fluid can be agglomerated and quickly precipitated in the tank. At this time, even fine sludge which is difficult to settle is aggregated and settled, and can be quickly separated from the grinding fluid. Therefore, it is not necessary to use a large tank. The same applies to the magnetic member grinding apparatus according to the ninth aspect.

【0008】希土類合金は酸化しやすく、スラッジにな
ると一層酸化が進みやすく非磁性部分が多くなり、磁力
の影響を受け難くなると考えられるので、希土類合金を
含むスラッジは磁気的に吸引し難い。しかし、請求項3
に記載の磁性部材の研削方法では、表面磁束密度が0.
25T以上である磁気分離手段を用いることによって、
スラッジの分離能力を高め、その結果、切削手段の摩耗
を少なくできる。請求項10に記載の磁性部材の研削装
置についても同様である。請求項4に記載の磁性部材の
研削方法のように、研削液の主成分を水にすれば、油に
比べて粘度が低く、吸引時の抵抗が少ないため、より低
い磁束密度でスラッジを吸引できる。請求項11に記載
の磁性部材の研削装置についても同様である。請求項5
に記載の磁性部材の研削方法では、スラッジの分離処理
が施された研削液を研削部に供給して循環使用すること
によって、研削液を有効利用できる。請求項12に記載
の磁性部材の研削装置についても同様である。
Rare earth alloys are liable to be oxidized, and if sludge is formed, it is considered that oxidation is more likely to proceed and non-magnetic portions are increased, so that the sludge containing the rare earth alloy is hard to be magnetically attracted. However, claim 3
In the method for grinding a magnetic member described in 1 above, the surface magnetic flux density is set to 0.
By using magnetic separation means of 25T or more,
The ability to separate sludge is increased, and as a result, the wear of the cutting means can be reduced. The same applies to the magnetic member grinding apparatus according to the tenth aspect. If the main component of the grinding fluid is water as in the method of grinding a magnetic member according to claim 4, the viscosity is lower than that of oil and the resistance at the time of suction is low, so that the sludge is sucked with a lower magnetic flux density. it can. The same applies to the magnetic member grinding apparatus according to the eleventh aspect. Claim 5
In the method for grinding a magnetic member described in (1), the grinding fluid subjected to the sludge separation treatment is supplied to the grinding unit and circulated for use, whereby the grinding fluid can be effectively used. The same applies to the magnetic member grinding apparatus according to the twelfth aspect.

【0009】請求項6に記載の廃液の処理方法では、表
面磁束密度が0.25T以上である磁気分離手段を用い
ることによって、吸引困難な希土類合金を含むスラッジ
を廃液から分離し易くなる。請求項13に記載の廃液の
処理装置についても同様である。また、廃液に磁気的な
分離処理を施すと、磁気分離手段に吸着されなかったス
ラッジについても磁化されているので、請求項7に記載
の廃液の処理方法では、たとえば磁気分離後の廃液をタ
ンクに供給することによって、廃液に含まれる磁化され
たスラッジを凝集させてタンク内で早く沈澱させる。こ
のとき、沈澱しにくい細かいスラッジであっても凝集し
て沈澱し廃液から早く分離できる。したがって、大きな
タンクを用いる必要はない。請求項14に記載の廃液の
処理装置についても同様である。
In the waste liquid treatment method according to the sixth aspect, the use of the magnetic separation means having a surface magnetic flux density of 0.25 T or more facilitates separation of sludge containing a rare earth alloy, which is difficult to attract, from the waste liquid. The same applies to the waste liquid treatment apparatus according to the thirteenth aspect. Further, when the waste liquid is subjected to a magnetic separation treatment, the sludge not adsorbed by the magnetic separation means is also magnetized. Therefore, in the waste liquid treatment method according to claim 7, for example, the waste liquid after the magnetic separation is stored in a tank. , The magnetized sludge contained in the waste liquid is agglomerated and precipitated quickly in the tank. At this time, even fine sludge which does not easily precipitate is flocculated and precipitated, and can be quickly separated from the waste liquid. Therefore, it is not necessary to use a large tank. The same applies to the waste liquid treatment apparatus according to the fourteenth aspect.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施形態について説明する。図1を参照して、この発
明の一実施形態の磁性部材の研削装置10は、磁性部材
54(後述)を研削する研削処理部12、研削処理部1
2での使用済みの研削液58からスラッジ90(ともに
後述)を分離し研削液58を浄化する浄化部14、およ
び浄化された研削液58を再び研削処理部12に供給す
る循環部16を含む。研削処理部12はベース18を含
み、ベース18上には、研削液58を排出するための排
出口20を有しかつ上面開口のパン22が配置される。
パン22には研削液58が外部に飛散しないようにプレ
ート24が立設される。パン22上には、いわゆる片持
ちタイプの一種であるオーバーハング型のXフィード方
式切断機25が設けられる。切断機25は、パン22上
に配置されるコラム26を含む。コラム26の一側面に
は支持部(図示せず)が設けられ、支持部によって回転
軸28が回動可能に支持される。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Referring to FIG. 1, a magnetic member grinding apparatus 10 according to an embodiment of the present invention includes a grinding processing unit 12 and a grinding processing unit 1 for grinding a magnetic member 54 (described later).
2 includes a purification unit 14 for separating sludge 90 (both described below) from the used grinding fluid 58 and purifying the grinding fluid 58, and a circulation unit 16 for supplying the purified grinding fluid 58 to the grinding processing unit 12 again. . The grinding processing section 12 includes a base 18, and a pan 22 having an outlet 20 for discharging a grinding fluid 58 and having an upper surface opening is disposed on the base 18.
The plate 24 is provided upright on the pan 22 so that the grinding fluid 58 does not scatter outside. On the pan 22, an overhang type X feed type cutting machine 25, which is a kind of so-called cantilever type, is provided. The cutting machine 25 includes a column 26 arranged on the pan 22. A support portion (not shown) is provided on one side surface of the column 26, and the rotation shaft 28 is rotatably supported by the support portion.

【0011】回転軸28には切断刃ブロック30が取り
付けられ、回転軸28の一端はサポートアーム32によ
って支持され、回転軸28の他端にはプーリ34が取り
付けられる。プーリ34にはベルト36が装着され、ベ
ルト36を回転軸モータ(図示せず)によって回転させ
ることによって、回転軸28、切断刃ブロック30がた
とえば矢印A方向に回転される。図2(a)を参照し
て、切断刃ブロック30は、複数の切断刃38を含み、
各切断刃38間には環状のスペーサ40が介挿される。
切断刃38は中空円板状の台板42を含み、台板42の
外周縁には刃先44が装着される。台板42としては、
たとえばタングステンカーバイドなどの超硬合金や高速
度鋼等が用いられる。また、台板42としては、特開平
8−109431号や特開平8−109432号に示す
ような、ダイヤモンドまたはcBN(立方晶窒化ホウ
素)等と超硬合金とを焼結処理したダイヤモンド焼結体
合金製の台板も使用できる。
A cutting blade block 30 is mounted on the rotating shaft 28, one end of the rotating shaft 28 is supported by a support arm 32, and a pulley 34 is mounted on the other end of the rotating shaft 28. A belt 36 is mounted on the pulley 34, and the rotating shaft 28 and the cutting blade block 30 are rotated, for example, in the direction of arrow A by rotating the belt 36 by a rotating shaft motor (not shown). Referring to FIG. 2A, the cutting blade block 30 includes a plurality of cutting blades 38,
An annular spacer 40 is interposed between the cutting blades 38.
The cutting blade 38 includes a base plate 42 having a hollow disk shape, and a cutting edge 44 is attached to an outer peripheral edge of the base plate 42. As the base plate 42,
For example, a cemented carbide such as tungsten carbide, high-speed steel, or the like is used. The base plate 42 is a diamond sintered body obtained by sintering diamond or cBN (cubic boron nitride) or the like and a cemented carbide as disclosed in JP-A-8-109431 and JP-A-8-109432. Alloy base plates can also be used.

【0012】また、図2(b)に示すように、刃先44
は、砥粒44aと耐熱性樹脂44bとを混合して構成さ
れる。すなわち、砥粒44aが耐熱性樹脂44bによっ
て台板42に被着される。砥粒44aにはたとえば超砥
粒が用いられる。この超砥粒としては、天然または合成
工業用ダイヤモンド粉末や、cBN粉末や、天然または
合成工業用ダイヤモンド粉末−cBN粉末の混合物など
が用いられる。砥粒44aの粒径は160μm〜250
μm程度に設定される。耐熱性樹脂44bには、たとえ
ばフェノール樹脂やポリイミド樹脂等の熱硬化性樹脂が
用いられる。また、耐熱性樹脂44bに数ミクロン程度
の金属粉を含ませてもよい。
Further, as shown in FIG.
Is formed by mixing abrasive grains 44a and heat-resistant resin 44b. That is, the abrasive grains 44a are adhered to the base plate 42 by the heat-resistant resin 44b. For example, super-abrasive grains are used as abrasive grains 44a. As the superabrasive grains, natural or synthetic industrial diamond powder, cBN powder, a mixture of natural or synthetic industrial diamond powder-cBN powder, or the like is used. The grain size of the abrasive grains 44a is 160 μm to 250
It is set to about μm. As the heat resistant resin 44b, a thermosetting resin such as a phenol resin or a polyimide resin is used. Further, the heat-resistant resin 44b may contain metal powder of about several microns.

【0013】図1に戻って、パン22上には2本のレー
ル46が敷設され、レール46には摺動可能にXスライ
ダ48が装着される。Xスライダ48上にはチャックテ
ーブル50、その上に貼付板52が取り付けられ、研削
時には、貼付板52上に接着剤によって磁性部材54が
固定される。磁性部材54としては、たとえばボイスコ
イルモータ(VCM)用の希土類合金磁石部材が用いら
れる。このような希土類合金磁石部材は硬い主相とねば
りの強い粒界相とを含むため非常に研削抵抗が高い。こ
のような材料を樹脂と砥粒とで構成された刃先で研削す
るとき、刃先の摩耗が特に問題となる。
Returning to FIG. 1, two rails 46 are laid on the pan 22, and an X slider 48 is slidably mounted on the rails 46. A chuck table 50 is mounted on the X slider 48, and a sticking plate 52 is mounted thereon. A magnetic member 54 is fixed on the sticking plate 52 by an adhesive during grinding. As the magnetic member 54, for example, a rare earth alloy magnet member for a voice coil motor (VCM) is used. Such a rare earth alloy magnet member has a very high grinding resistance because it contains a hard main phase and a strongly sticky grain boundary phase. When such a material is ground with a cutting edge made of resin and abrasive grains, wear of the cutting edge is particularly problematic.

【0014】ここでいうボイスコイルモータは、たとえ
ば米国特許第5,448,437号の図9に示されるよ
うなディスクドライブに用いられる。この図9において
ボイスコイルモータには37の参照番号が付されてい
る。希土類合金磁石部材が切断刃38で切断されたのち
表面処理されると、希土類磁石が得られる。このような
希土類磁石は、たとえば米国特許第5,448,437
号の図1、2の参照番号3、4、5、6に示される磁石
に用いられる。Nd−Fe−B系の希土類磁石の製造方
法等は米国特許第4,770,723号、第4,79
2,368号に示されている。希土類磁石はR−T−
(M)−B系磁石を含み、RはYを含む希土類元素、T
はFeまたはFeとCo、Mは添加物、Bはボロンであ
る。
The voice coil motor mentioned here is used, for example, in a disk drive as shown in FIG. 9 of US Pat. No. 5,448,437. In FIG. 9, the voice coil motor is denoted by reference numeral 37. When the rare earth alloy magnet member is cut by the cutting blade 38 and then subjected to surface treatment, a rare earth magnet is obtained. Such rare earth magnets are disclosed, for example, in US Pat. No. 5,448,437.
It is used for the magnets indicated by reference numerals 3, 4, 5, 6 in FIGS. No. 4,770,723 and U.S. Pat. No. 4,795,723 disclose a method for producing an Nd--Fe--B rare earth magnet.
No. 2,368. Rare earth magnet is RT-
(M) -B based magnet, R is a rare earth element containing Y, T
Is Fe or Fe and Co, M is an additive, and B is boron.

【0015】そして、Xスライダ48を矢印B方向(X
軸方向)に摺動させ、磁性部材54を、矢印A方向に回
転している切断刃ブロック30に向かって一定速度で相
対移動させることによって、磁性部材54を所定の寸法
に切断できる。磁性部材54の切断によってスラッジ9
0が発生する。磁性部材54の切断時には、図3にも示
すように、切断刃38の近傍に配置される研削液吐出装
置56から研削液58が研削部60に供給される。
Then, the X slider 48 is moved in the direction of arrow B (X
By sliding the magnetic member 54 at a constant speed toward the cutting blade block 30 rotating in the direction of arrow A, the magnetic member 54 can be cut to a predetermined size. The sludge 9 is cut by cutting the magnetic member 54.
0 occurs. At the time of cutting the magnetic member 54, as shown in FIG. 3, a grinding liquid 58 is supplied to the grinding unit 60 from a grinding liquid discharge device 56 arranged near the cutting blade 38.

【0016】使用する研削液58は水を主成分とする。
たとえば油であれば粘度が高いので研削液58中でスラ
ッジ90が移動し難くなるが、水であれば粘度が低いの
でスラッジ90の移動が容易になる。したがって、研削
液58の主成分を水にすれば、より低い磁束密度でスラ
ッジ90を吸引できる。研削液吐出装置56は、研削液
供給路62に接続される滞留部64を含み、滞留部64
には、研削液供給路62からの研削液58が供給され
る。研削液58は、滞留部64の先端に形成される吐出
口66から2αPa〜10αPa(α=9.80665
×104)の圧力で研削部60に吐出される。なお、吐
出口66は、切断刃38の大きさに応じてその角度を調
整することができる。
The grinding fluid 58 used contains water as a main component.
For example, oil has a high viscosity, so that the sludge 90 is hard to move in the grinding fluid 58, whereas water has a low viscosity, so that the sludge 90 can be easily moved. Therefore, if the main component of the grinding fluid 58 is water, the sludge 90 can be sucked at a lower magnetic flux density. The grinding fluid discharge device 56 includes a retaining portion 64 connected to the grinding fluid supply path 62, and the retaining portion 64
Is supplied with a grinding liquid 58 from a grinding liquid supply path 62. Grinding liquid 58 is supplied from discharge port 66 formed at the tip of stagnation section 64 to 2αPa to 10αPa (α = 9.80665).
It is discharged to the grinding unit 60 at a pressure of × 10 4 ). The angle of the discharge port 66 can be adjusted according to the size of the cutting blade 38.

【0017】図1に戻って、研削処理部12で使用済み
の研削液58はパン22の排出口20から研削液排出路
68を介して、浄化部14の貯留槽70に供給される。
貯留槽70内には、研削液58に含まれるスラッジ90
の沈澱を促進すべく障壁部材72が設けられ、さらに障
壁部材72の近傍にはマグネットセパレータ74が配置
される。マグネットセパレータ74は、スラッジ90を
吸着させるマグネットロール76とマグネットロール7
6上のスラッジ90と研削液58とを分離する絞りロー
ル78とを含む。なお、障壁部材72は、研削液58が
マグネットロール76に接触し易いように上部に反りあ
がるように形成される。
Returning to FIG. 1, the grinding fluid 58 used in the grinding processing section 12 is supplied from the discharge port 20 of the pan 22 to the storage tank 70 of the purification section 14 via the grinding fluid discharge path 68.
Sludge 90 contained in the grinding fluid 58 is stored in the storage tank 70.
A barrier member 72 is provided in order to promote the sedimentation, and a magnet separator 74 is arranged near the barrier member 72. The magnet separator 74 includes a magnet roll 76 for adsorbing sludge 90 and a magnet roll 7.
6 includes a squeeze roll 78 for separating the sludge 90 and the grinding fluid 58 from each other. Note that the barrier member 72 is formed so as to warp upward so that the grinding fluid 58 easily contacts the magnet roll 76.

【0018】マグネットロール76は、図4(a)に示
すように、中空状の円筒体80を含み、円筒体80内に
は、主軸81が貫通された円柱体82が配置される。円
柱体82の外周面には、たとえば、軸方向および周方向
にそれぞれ略等間隔で4個ずつ、計16個の磁石84が
配置される。図4(b)に示すように、磁石84として
は、それぞれ厚さ方向に磁化されている2種類の磁石が
用いられる。周方向に隣接する磁石84は異極が対応す
るように、軸方向に隣接する磁石84も異極が対応する
ように、それぞれ配置される。磁石84は、たとえば米
国特許第4,770,723号に示されるようなネオジ
ム磁石等によって構成される。スラッジ90は、磁石8
4によって吸引され、円筒体80の表面に吸着される。
なお、円筒体80外周面の表面磁束密度が0.25T
(テスラ)以上であれば、磁石84で吸引し難い希土類
合金を含むスラッジであっても研削液58から分離し易
くなる。マグネットロール76は図示しないモータによ
ってたとえば矢印C方向(図5参照)に回転される。円
筒体80の表面磁束密度は、たとえばガウスメータとプ
ルーブ(ともにベル社製、販売元:東陽通商株式会社)
とを用い、プルーブを被測定物に接触させて測定され
る。
As shown in FIG. 4A, the magnet roll 76 includes a hollow cylindrical body 80, in which a cylindrical body 82 having a main shaft 81 penetrated is disposed. On the outer peripheral surface of the cylindrical body 82, for example, four magnets 84 are arranged at substantially equal intervals in the axial direction and the circumferential direction, respectively, for a total of 16 magnets 84. As shown in FIG. 4B, two types of magnets, each magnetized in the thickness direction, are used as the magnet 84. The magnets 84 adjacent in the circumferential direction are arranged so that the different poles correspond, and the magnets 84 adjacent in the axial direction also correspond to the different poles. The magnet 84 is composed of, for example, a neodymium magnet as shown in U.S. Pat. No. 4,770,723. The sludge 90 is a magnet 8
4 and is adsorbed on the surface of the cylindrical body 80.
The surface magnetic flux density of the outer peripheral surface of the cylindrical body 80 is 0.25T.
If it is (Tesla) or more, even sludge containing a rare earth alloy which is difficult to be attracted by the magnet 84 is easily separated from the grinding fluid 58. The magnet roll 76 is rotated, for example, in the direction of arrow C (see FIG. 5) by a motor (not shown). The surface magnetic flux density of the cylindrical body 80 is, for example, Gauss meter and probe (both manufactured by Bell Inc., sales agency: Toyo Tsusho Co., Ltd.)
The measurement is performed by bringing the probe into contact with the object to be measured using

【0019】図1および図5を参照して、スラッジ90
を含む研削液58は、障壁部材72の上端から溢れるよ
うにしてマグネットセパレータ74に与えられる。スラ
ッジ90は、マグネットロール76に吸着され、その
後、マグネットロール76上の研削液58が絞りロール
78によって取り除かれる。さらに、マグネットロール
76の外表面に当接されたスクレーパ86によって、マ
グネットロール76に吸着されたスラッジ90が掻き取
られ、スラッジ受け88に排出される。このようにして
マグネットセパレータ74によって、使用済みの研削液
58からスラッジ90が磁気的に分離される。マグネッ
トセパレータ74は、特に、細かいスラッジの分離に有
効となる。
Referring to FIGS. 1 and 5, sludge 90
Is supplied to the magnet separator 74 so as to overflow from the upper end of the barrier member 72. The sludge 90 is attracted to the magnet roll 76, and then the grinding fluid 58 on the magnet roll 76 is removed by the squeeze roll 78. Further, the sludge 90 adsorbed on the magnet roll 76 is scraped off by the scraper 86 in contact with the outer surface of the magnet roll 76, and is discharged to the sludge receiver 88. Thus, the sludge 90 is magnetically separated from the used grinding fluid 58 by the magnetic separator 74. The magnet separator 74 is particularly effective for separating fine sludge.

【0020】マグネットロール76を通過した研削液5
8は、マグネットロール76の下方に設けられた排出口
(図示せず)を介してマグネットセパレータ74および
貯留槽70の下流側に配置されるタンク92(障壁板9
4で仕切られたタンク92の右側)に流入される。希土
類合金のスラッジ90は小さいながらも磁石としての保
磁力を有しているためマグネットロール76に吸着され
なかったスラッジ90もマグネットロール76によって
磁化されているので、スラッジ90どうしが凝集しタン
ク92内で早く沈澱する。さらに、タンク92内には、
スラッジ90の移動を阻止するための障壁板94、96
および98が配置され、流路が長くなることによってス
ラッジ90の沈澱が促進される。このとき、研削液58
は矢印Dに示すような経路で流れる。したがって、タン
ク92を通過する過程においてスラッジ90はタンク9
2で沈澱し、スラッジ90と研削液58との分離がさら
に促進される。また、細かいスラッジであっても凝集し
て沈澱し研削液58から早く分離できる。その結果、研
削液58からスラッジ90を分離させるのに大きなタン
クが不要となり、装置を小型化できる。このようにして
スラッジ90の分離処理が施され浄化されたタンク92
内の研削液58は、循環部16を構成するポンプ100
によって汲み上げられ、研削液供給路62を介して研削
液吐出装置56に供給され、循環使用される。
Grinding fluid 5 that has passed magnet roll 76
Reference numeral 8 denotes a tank 92 (barrier plate 9) disposed downstream of the magnet separator 74 and the storage tank 70 via a discharge port (not shown) provided below the magnet roll 76.
4 (to the right of the tank 92). Since the sludge 90 of the rare earth alloy has a small but coercive force as a magnet, the sludge 90 that has not been attracted to the magnet roll 76 is also magnetized by the magnet roll 76, so that the sludge 90 aggregates and forms inside the tank 92. Precipitates quickly. Further, in the tank 92,
Barrier plates 94 and 96 for preventing movement of sludge 90
And 98 are disposed, and the longer flow path promotes sedimentation of the sludge 90. At this time, the grinding fluid 58
Flows in a path as shown by arrow D. Therefore, in the process of passing through the tank 92, the sludge 90
2 and the separation of the sludge 90 and the grinding fluid 58 is further promoted. Further, even fine sludge is aggregated and precipitated and can be separated from the grinding fluid 58 quickly. As a result, a large tank is not required for separating the sludge 90 from the grinding fluid 58, and the apparatus can be downsized. In this way, the tank 92 which has been subjected to the separation treatment of the sludge 90 and purified is provided.
The grinding fluid 58 inside the pump 100
Is supplied to the grinding fluid discharge device 56 through the grinding fluid supply path 62 and is circulated for use.

【0021】このような研削装置10の動作を簡単に説
明する。まず、研削処理部12において研削液58を研
削部60に供給しながら切断刃38によって磁性部材5
4が切断された後、スラッジ90を含んだ研削液58が
研削液排出路68を介して貯留槽70に流入される。そ
の研削液58はマグネットセパレータ74の表面に供給
され、マグネットセパレータ74の表面にスラッジ90
等の異物が吸着される。マグネットセパレータ74を通
過した研削液58はタンク92内に流入される。研削液
58中に残ったスラッジ90等の異物がタンク92内で
沈澱される。このようにして得られたタンク92内の上
澄み液だけをポンプ100で汲み上げて再循環させる。
なお、タンク92内に沈澱したスラッジ90等の異物
は、任意の手段によって適時掻き取られる。このように
スラッジ90を除去した研削液58を循環使用して磁性
部材54を切断することによって、刃先44の寿命をの
ばすことができる。ここで、研削装置10についての実
験例について説明する。実験条件を表1に示す。
The operation of the grinding device 10 will be briefly described. First, the grinding member 58 is supplied to the grinding unit 60 by the cutting blade 38 while supplying the grinding fluid 58 to the grinding unit 60.
After cutting 4, grinding fluid 58 containing sludge 90 flows into storage tank 70 via grinding fluid discharge passage 68. The grinding fluid 58 is supplied to the surface of the magnet separator 74, and the sludge 90
And other foreign substances are adsorbed. The grinding fluid 58 that has passed through the magnet separator 74 flows into the tank 92. Foreign matter such as sludge 90 remaining in the grinding fluid 58 is precipitated in the tank 92. Only the supernatant liquid in the tank 92 thus obtained is pumped up by the pump 100 and recirculated.
In addition, foreign substances such as sludge 90 settled in the tank 92 are scraped off as appropriate by any means. By cutting the magnetic member 54 by circulating and using the grinding fluid 58 from which the sludge 90 has been removed, the life of the cutting edge 44 can be extended. Here, an experimental example of the grinding device 10 will be described. Table 1 shows the experimental conditions.

【0022】[0022]

【表1】 [Table 1]

【0023】表1に示すようにこの実験例では、刃先4
4はフェノール樹脂とダイヤモンド砥粒(体積率20
%)とを含む。切断刃38の外径は125mm、刃先4
4の厚みは1.0mm、台板42の厚みは0.9mm、
台板42の内径は40mm、刃先量(刃先44の高さ)
は3mm〜4mmである。また、切断刃38の回転速度
(周速)は2070m/min、切断速度は10mm/
minである。研削液58には、たとえばカストロール
社製のJP−0497Nを水で2%(重量%)希釈した
ものが用いられる。切断部材は希土類合金磁石部材であ
り、住友特殊金属株式会社製のネオマックス44Hが用
いられる。
As shown in Table 1, in this experimental example, the cutting edge 4
4 is a phenol resin and diamond abrasive grains (volume ratio 20
%). The outer diameter of the cutting blade 38 is 125 mm and the cutting edge 4
4 is 1.0 mm, the thickness of the base plate 42 is 0.9 mm,
The inner diameter of the base plate 42 is 40 mm, and the amount of the cutting edge (the height of the cutting edge 44)
Is 3 mm to 4 mm. The rotation speed (peripheral speed) of the cutting blade 38 is 2070 m / min, and the cutting speed is 10 mm / min.
min. As the grinding fluid 58, for example, JP-0497N manufactured by Castrol diluted with water by 2% (% by weight) is used. The cutting member is a rare earth alloy magnet member, and Neomax 44H manufactured by Sumitomo Special Metals Co., Ltd. is used.

【0024】実験によって、図6〜図8に示す結果が得
られた。ここで、「表面磁束密度」とは、マグネットセ
パレータ74の円筒体80外表面の磁束密度をいう。
「スラッジ除去率」とは、研削処理直後の使用済み研削
液58をマグネットセパレータ74に通すことによっ
て、研削液58中に含まれるスラッジ90がどの程度除
去できたかを示す値をいう。「加工除去量」とは、具体
的には切断300pass当たりの、磁性部材54を切
断してスラッジ90にされた部分の体積(切断刃38の
1枚当たり)をいう。「切断刃摩耗量」とは、具体的に
は切断300pass当たりの、切断刃38の刃先44
が擦り減った部分の体積(切断刃38の1枚当たり)を
いう。「沈澱量」とは、測定量(本件では研削液58が
500cc)当たりの、研削液58に含まれているスラ
ッジ90の量をいう。「スラッジ含有率」とは、研削液
58が500cc当たりに含むスラッジ90の重量割合
をいう。
Through the experiment, the results shown in FIGS. 6 to 8 were obtained. Here, “surface magnetic flux density” refers to the magnetic flux density on the outer surface of the cylindrical body 80 of the magnet separator 74.
The “sludge removal rate” refers to a value indicating how much sludge 90 contained in the grinding fluid 58 has been removed by passing the used grinding fluid 58 immediately after the grinding process through the magnet separator 74. The “processing removal amount” specifically refers to the volume (per one cutting blade 38) of a portion of the magnetic member 54 that has been cut into sludge 90 per 300 passes of cutting. The “amount of cutting blade wear” specifically refers to the cutting edge 44 of the cutting blade 38 per 300 passes of cutting.
Refers to the volume of the part that has been worn away (per one cutting blade 38). The “precipitation amount” refers to the amount of sludge 90 contained in the grinding fluid 58 per measured amount (in this case, 500 cc of the grinding fluid 58). The “sludge content ratio” refers to the weight ratio of the sludge 90 contained in the grinding fluid 58 per 500 cc.

【0025】表1に示す条件下で、以下の各実験を行っ
た。まず、実験1では、次の〜の各場合における加
工除去量と切断刃摩耗量とを比較した(図6(a)およ
び(b))。 マグネットセパレータが1つ(表面磁束密度0.3
T)+タンク、 マグネットセパレータが1つ(表面磁束密度0.25
T)+タンク、 マグネットセパレータが1つ(表面磁束密度0.2
T)+タンク、 マグネットセパレータなし+タンク 図6(a)および(b)に示すように、マグネットセパ
レータ74の表面磁束密度が大きくなるほど切断刃摩耗
量が少なくなる傾向がある。また、加工除去量が増える
ほどすなわち切断回数が増えるほど、〜の各場合の
切断刃摩耗量の差が大きくなる。マグネットセパレータ
74を使用している場合でも、特に、磁束密度が0.2
5T以上であるとスラッジ90が効率よく除去され、切
断刃38の寿命を長くできる。
The following experiments were performed under the conditions shown in Table 1. First, in Experiment 1, the amount of machining removal and the amount of wear of the cutting blade in the following cases (1) to (4) were compared (FIGS. 6A and 6B). One magnet separator (surface magnetic flux density 0.3
T) + tank, one magnet separator (surface magnetic flux density 0.25
T) + 1 tank, 1 magnetic separator (surface magnetic flux density 0.2
T) + Tank, No Magnet Separator + Tank As shown in FIGS. 6A and 6B, as the surface magnetic flux density of the magnet separator 74 increases, the cutting blade wear amount tends to decrease. Further, as the amount of processing removal increases, that is, as the number of times of cutting increases, the difference in the amount of wear of the cutting blade in each of the cases (1) to (4) increases. Even when the magnet separator 74 is used, in particular, when the magnetic flux density is 0.2
If it is 5T or more, the sludge 90 is efficiently removed, and the life of the cutting blade 38 can be extended.

【0026】ついで、実験2では、次のおよびの場
合についてマグネットセパレータ74の設置数による効
果の変化を比較した(図7(a)および(b))。な
お、この実験では、マグネットセパレータ74の表面磁
束密度を0.3Tとした。 マグネットセパレータが1つ+タンク、 マグネットセパレータが2つ+タンク 図7(a)および(b)に示すように、マグネットセパ
レータ74を増やすほどスラッジ90を除去できること
がわかる。
Next, in Experiment 2, changes in the effect due to the number of the magnet separators 74 were compared in the following cases (FIGS. 7A and 7B). In this experiment, the surface magnetic flux density of the magnet separator 74 was set to 0.3T. One magnet separator + tank, two magnet separators + tank As shown in FIGS. 7A and 7B, it can be seen that sludge 90 can be removed by increasing the number of magnet separators 74.

【0027】さらに、実験3では、次のおよびの場
合について、マグネットセパレータ74の表面磁束密度
の違いによるスラッジ90の分離効果を比較した(図8
(a)および(b))。 マグネットセパレータが1つでタンクなし、 マグネットセパレータが1つ+タンク で、それぞれ研削液吐出装置56におけるスラッジ除去
率を測定した。図8(a)および(b)に示すように、
磁束密度0.25T以上になるとスラッジ90の除去率
が飛躍的に伸びていることがわかる。また、よりの
場合の方がスラッジ除去率が高くなることがわかる。こ
れより、マグネットセパレータ74でスラッジ90を除
去した後、タンク92内でスラッジ90を沈澱させるこ
とによって、さらにスラッジ90を分離できることがわ
かる。
Further, in Experiment 3, in the following cases, the effect of separating the sludge 90 due to the difference in the surface magnetic flux density of the magnet separator 74 was compared (FIG. 8).
(A) and (b)). With one magnet separator and no tank, and one magnet separator + tank, the sludge removal rate in the grinding fluid discharging device 56 was measured. As shown in FIGS. 8A and 8B,
It can be seen that when the magnetic flux density becomes 0.25 T or more, the removal rate of the sludge 90 is dramatically increased. In addition, it can be seen that the sludge removal rate is higher in the case. This indicates that the sludge 90 can be further separated by removing the sludge 90 with the magnet separator 74 and then settling the sludge 90 in the tank 92.

【0028】以上の実験例からもわかるように、研削装
置10によれば、研削液58中のスラッジ90を多く取
り除くことができるので、研削液58を循環使用でき
る。すなわち、一般に、刃先が熱硬化性樹脂と超砥粒
(ダイヤモンド系砥粒)とからなる切断刃を用いた研削
装置では、スラッジを含んだ研削液が研削部に供給され
ると、研削部においてあるいは刃先と切断すべき磁性部
材との間にスラッジが溜まることによって、切断刃の表
面が目詰まりを起こしたり、研削時のスラッジの排出性
が悪くなる。また、その際、切断抵抗も大きくなり、切
断刃の樹脂部分が異常摩耗を起こし超砥粒が脱粒するの
で、切断効率も悪くなる。切断する磁性部材が硬い主相
と粘りのある粒界相とからなる希土類合金磁石部材では
切断負荷が特に大きく、切断効率は極めて悪くなる。そ
の状況が続くと、研削液を循環させるポンプにおいても
スラッジが入り込んで異常摩耗を引き起こし、研削液の
温度が上昇してしまうという弊害があった。
As can be seen from the above experimental examples, according to the grinding apparatus 10, since a large amount of sludge 90 in the grinding fluid 58 can be removed, the grinding fluid 58 can be recycled. That is, in general, in a grinding apparatus using a cutting blade having a cutting edge composed of a thermosetting resin and superabrasive grains (diamond-based abrasive grains), when a grinding fluid containing sludge is supplied to the grinding section, Alternatively, sludge accumulates between the cutting edge and the magnetic member to be cut, thereby causing clogging of the surface of the cutting blade or deteriorating sludge discharge during grinding. Further, at that time, the cutting resistance also increases, and the resin portion of the cutting blade causes abnormal wear, and the superabrasive grains are shed, so that the cutting efficiency also deteriorates. In a rare-earth alloy magnet member in which the magnetic member to be cut is composed of a hard main phase and a sticky grain boundary phase, the cutting load is particularly large and the cutting efficiency is extremely poor. If the situation continues, there is a problem that sludge gets into the pump for circulating the grinding fluid and causes abnormal wear, thereby increasing the temperature of the grinding fluid.

【0029】しかし、研削装置10では、研削液58か
らスラッジ90を十分に取り除くことができるので、研
削液58を循環利用しても上述のような弊害の発生を抑
制でき、切断刃38の寿命を延ばすことができる。ま
た、研削液58を循環させるポンプ100に混入するス
ラッジ90の量も減るので、ポンプ100のつまりがな
くなり、その結果、ホンプ100の異常摩耗を抑制する
ことができる。さらに、研削液58を循環使用できるの
で、研削液58を有効利用できる。また、研削装置10
によれば、マグネットセパレータ74によってスラッジ
90を除去しさらに凝集させて容易に沈澱させることが
できるので、従来とは異なり、大きなタンクを用いなく
てもよく、装置を小型化できる。たとえば、従来では、
3000リットル程度の大容量のタンクを要していた
が、研削装置10で用いるタンク92は、600リット
ル程度の容量のもので足りる。
However, in the grinding apparatus 10, since the sludge 90 can be sufficiently removed from the grinding fluid 58, even if the grinding fluid 58 is circulated, the above-mentioned adverse effects can be suppressed, and the life of the cutting blade 38 can be reduced. Can be extended. Further, since the amount of the sludge 90 mixed in the pump 100 for circulating the grinding fluid 58 is also reduced, the pump 100 is not clogged, and as a result, abnormal wear of the pump 100 can be suppressed. Further, since the grinding fluid 58 can be circulated and used, the grinding fluid 58 can be effectively used. The grinding device 10
According to this method, the sludge 90 can be removed by the magnet separator 74, and the sludge 90 can be further aggregated and easily settled. Therefore, unlike the related art, a large tank is not required, and the apparatus can be downsized. For example, in the past,
Although a large-capacity tank of about 3000 liters was required, the tank 92 used in the grinding device 10 may have a capacity of about 600 liters.

【0030】さらに、マグネットセパレータ74の表面
磁束密度を0.25T以上にすればスラッジ90の分離
能力が高まるので、研削時に、スラッジ90による耐熱
性樹脂44bの摩耗が少なくなる。特に、切断刃38の
刃先44が耐熱硬化性樹脂とダイヤモンド系砥粒とから
なる場合に効果が大きくなる。希土類合金を含むスラッ
ジは凝集しやすいので、目詰まりを起こしやすく錆やす
い。したがって、フィルタ式の浄化装置では、フィルタ
をたびたび交換しなければならず、能率が悪かった。そ
の点、研削装置10では、フィルタを使用しないので、
その取り替えも不要となり、操業コストを大幅に低減で
きる。
Furthermore, if the surface magnetic flux density of the magnet separator 74 is set to 0.25 T or more, the separating ability of the sludge 90 is increased, and therefore, the abrasion of the heat-resistant resin 44b by the sludge 90 during grinding is reduced. In particular, when the cutting edge 44 of the cutting blade 38 is made of a heat-curable resin and diamond-based abrasive grains, the effect is enhanced. Sludge containing rare earth alloys is liable to agglomerate and easily clogs and rusts easily. Therefore, in the filter-type purifying device, the filter has to be replaced frequently, which is inefficient. In that regard, the grinding device 10 does not use a filter,
The replacement is not required, and the operating cost can be greatly reduced.

【0031】なお、上述の実施形態では、磁気分離手段
としてのマグネットセパレータ74に永久磁石が用いら
れた場合について説明したが、これに限定されず、電磁
石等が用いられてもよい。また、研削手段としては、切
断刃38だけではなく任意の研削手段を用いることがで
きる。他の研削手段としては、0.1mm〜0.3mm
程度の硬鋼線(ピアノ線)に粒径が30μm〜60μm
の超砥粒を厚さ30μm〜60μmのフェノール樹脂等
で固定したワイヤがあげられる。このワイヤを用いてワ
イヤソーを行う場合にも本発明は適用できる。また、こ
の発明は、研削液58からスラッジ90を分離する場合
だけではなく、任意の廃液から希土類合金を含むスラッ
ジを分離する場合に適用できる。
In the above-described embodiment, a case has been described in which a permanent magnet is used for the magnet separator 74 as the magnetic separation means. However, the present invention is not limited to this, and an electromagnet or the like may be used. As the grinding means, not only the cutting blade 38 but also any grinding means can be used. As other grinding means, 0.1 mm to 0.3 mm
Hard steel wire (piano wire) of about 30 to 60μm particle size
Wire fixed with a phenolic resin or the like having a thickness of 30 μm to 60 μm. The present invention can be applied to a case where a wire saw is performed using this wire. The present invention can be applied not only to the case where the sludge 90 is separated from the grinding fluid 58 but also to the case where a sludge containing a rare earth alloy is separated from any waste liquid.

【0032】[0032]

【発明の効果】この発明によれば、磁気的に研削液から
スラッジを分離できるので、従来とは異なり大きなタン
クを用いる必要はなく、装置を小型化できる。また、研
削手段が耐熱性樹脂と超砥粒とを含む刃先を有する場合
には、研削液中に細かいスラッジが含まれると刃先が異
常摩耗しやすいが、この発明は研削液から細かいスラッ
ジをも分離できるのでそのような弊害の発生を抑制で
き、特に有効となる。さらに、この発明は、希土類磁石
を得る場合に効果的である。
According to the present invention, since sludge can be magnetically separated from the grinding fluid, it is not necessary to use a large tank unlike the conventional one, and the apparatus can be downsized. Further, when the grinding means has a cutting edge containing a heat-resistant resin and super-abrasive grains, the cutting edge is liable to abnormally wear when fine sludge is contained in the grinding fluid, but the present invention also removes fine sludge from the grinding fluid. Since the separation can be performed, the occurrence of such an adverse effect can be suppressed, which is particularly effective. Further, the present invention is effective in obtaining a rare earth magnet.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施形態を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.

【図2】(a)は切断刃ブロックを模式的に示す断面図
であり、(b)は刃先を模式的に示す部分断面図であ
る。
2A is a cross-sectional view schematically showing a cutting blade block, and FIG. 2B is a partial cross-sectional view schematically showing a cutting edge.

【図3】切断刃の近傍に配置された研削液吐出装置を示
す図解図である。
FIG. 3 is an illustrative view showing a grinding fluid discharging device arranged near a cutting blade;

【図4】(a)はマグネットロールを示す斜視図であ
り、(b)は磁石を示す斜視図である。
FIG. 4A is a perspective view showing a magnet roll, and FIG. 4B is a perspective view showing a magnet.

【図5】スクレーパの機能を説明するための図解図であ
る。
FIG. 5 is an illustrative view for explaining a function of a scraper;

【図6】(a)は実験1による結果を示すテーブル、
(b)はそのグラフである。
FIG. 6 (a) is a table showing the results of Experiment 1;
(B) is the graph.

【図7】(a)は実験2による結果を示すテーブル、
(b)はそのグラフである。
FIG. 7 (a) is a table showing the results of Experiment 2;
(B) is the graph.

【図8】(a)は実験3による結果を示すテーブル、
(b)はそのグラフである。
FIG. 8A is a table showing a result of Experiment 3;
(B) is the graph.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 研削装置 12 研削処理部 14 浄化部 16 循環部 30 切断刃ブロック 38 切断刃 44 刃先 44a 砥粒 44b 耐熱性樹脂 54 磁性部材 56 研削液吐出装置 58 研削液 60 研削部 62 研削液供給路 68 研削液排出路 70 貯留槽 74 マグネットセパレータ 90 スラッジ 92 タンク 100 ポンプ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Grinding apparatus 12 Grinding processing part 14 Purification part 16 Circulation part 30 Cutting blade block 38 Cutting blade 44 Cutting edge 44a Abrasive grain 44b Heat resistant resin 54 Magnetic member 56 Grinding liquid discharge device 58 Grinding liquid 60 Grinding part 62 Grinding liquid supply path 68 Grinding Liquid discharge path 70 Storage tank 74 Magnet separator 90 Sludge 92 Tank 100 Pump

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3C047 FF06 GG13 GG17 3C058 AA03 AA09 AA14 AA18 AC01 AC04 CA01 CB03 CB05 CB09 CB10  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 3C047 FF06 GG13 GG17 3C058 AA03 AA09 AA14 AA18 AC01 AC04 CA01 CB03 CB05 CB09 CB10

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 研削液を研削部に供給しながら、耐熱性
樹脂と超砥粒とを含む刃先を有する研削手段を用いて磁
性部材を研削する第1ステップ、および前記研削部から
排出される研削液からスラッジを磁気的に分離する第2
ステップを備える、磁性部材の研削方法。
1. A first step of grinding a magnetic member using a grinding means having a cutting edge including a heat-resistant resin and superabrasive grains while supplying a grinding fluid to a grinding section, and discharging the grinding member from the grinding section. Second to magnetically separate sludge from grinding fluid
A method for grinding a magnetic member, comprising:
【請求項2】 前記研削液に含まれるスラッジを沈澱さ
せて前記研削液から分離する第3ステップをさらに含
む、請求項1に記載の磁性部材の研削方法。
2. The method for grinding a magnetic member according to claim 1, further comprising a third step of precipitating sludge contained in the grinding fluid and separating the sludge from the grinding fluid.
【請求項3】 前記磁性部材は希土類合金を含み、 前記第2ステップでは、表面磁束密度が0.25T以上
である磁気分離手段を用いて前記スラッジを分離する、
請求項1に記載の磁性部材の研削方法。
3. The method according to claim 2, wherein the magnetic member includes a rare earth alloy, and in the second step, the sludge is separated using a magnetic separation unit having a surface magnetic flux density of 0.25 T or more.
The method for grinding a magnetic member according to claim 1.
【請求項4】 前記研削液は水を主成分とする、請求項
1に記載の磁性部材の研削方法。
4. The method for grinding a magnetic member according to claim 1, wherein the grinding fluid contains water as a main component.
【請求項5】 前記スラッジの分離処理が施された研削
液を前記研削部に供給して循環使用する、請求項1に記
載の磁性部材の研削方法。
5. The method for grinding a magnetic member according to claim 1, wherein the grinding fluid subjected to the sludge separation treatment is supplied to the grinding section and circulated for use.
【請求項6】 表面磁束密度が0.25T以上である磁
気分離手段を用いて廃液から希土類合金を含むスラッジ
を分離する、廃液の処理方法。
6. A waste liquid treatment method comprising separating sludge containing a rare earth alloy from waste liquid using a magnetic separation means having a surface magnetic flux density of 0.25 T or more.
【請求項7】 さらに、前記廃液に含まれるスラッジを
沈澱させて前記廃液から分離する、請求項6に記載の廃
液の処理方法。
7. The method for treating waste liquid according to claim 6, wherein sludge contained in the waste liquid is further precipitated and separated from the waste liquid.
【請求項8】 研削液を研削部に供給しながら、耐熱性
樹脂と超砥粒とを含む刃先を有する研削手段を用いて磁
性部材を研削するための研削処理手段、および前記研削
部から排出される研削液からスラッジを分離するための
磁気分離手段を備える、磁性部材の研削装置。
8. A grinding processing means for grinding a magnetic member using a grinding means having a cutting edge containing a heat-resistant resin and superabrasive grains while supplying a grinding fluid to a grinding section, and discharging from the grinding section. An apparatus for grinding a magnetic member, comprising: a magnetic separation unit for separating sludge from a grinding fluid to be performed.
【請求項9】 前記磁気分離手段の下流側に配置されか
つ前記研削液が供給されるタンクをさらに含む、請求項
8に記載の磁性部材の研削装置。
9. The apparatus for grinding a magnetic member according to claim 8, further comprising a tank disposed downstream of said magnetic separation means and to which said grinding fluid is supplied.
【請求項10】 前記磁性部材は希土類合金を含み、前
記磁気分離手段の表面磁束密度が0.25T以上であ
る、請求項8に記載の磁性部材の研削装置。
10. The magnetic member grinding apparatus according to claim 8, wherein the magnetic member contains a rare earth alloy, and a surface magnetic flux density of the magnetic separation means is 0.25 T or more.
【請求項11】 前記研削液は水を主成分とする、請求
項8に記載の磁性部材の研削装置。
11. The apparatus for grinding a magnetic member according to claim 8, wherein the grinding fluid contains water as a main component.
【請求項12】 前記スラッジの分離処理が施された研
削液を前記研削部に供給して循環使用するための循環手
段をさらに含む、請求項8に記載の磁性部材の研削装
置。
12. The magnetic member grinding apparatus according to claim 8, further comprising a circulating means for supplying the grinding fluid having undergone the sludge separation treatment to the grinding section for circulating use.
【請求項13】 表面磁束密度が0.25T以上であり
かつ廃液から希土類合金を含むスラッジを分離するため
の磁気分離手段を備える、廃液の処理装置。
13. An apparatus for treating waste liquid, comprising a magnetic separation means having a surface magnetic flux density of 0.25 T or more and separating sludge containing a rare earth alloy from the waste liquid.
【請求項14】 前記磁気分離手段の下流側に配置され
かつ前記廃液が供給されるタンクをさらに含む、請求項
13に記載の廃液の処理装置。
14. The waste liquid processing apparatus according to claim 13, further comprising a tank disposed downstream of said magnetic separation means and to which said waste liquid is supplied.
【請求項15】 研削液を研削部に供給しながら、耐熱
性樹脂と超砥粒とを含む刃先を有する研削手段を用いて
磁性部材を研削する第1ステップ、および前記研削部か
ら排出される研削液からスラッジを磁気的に分離する第
2ステップを備える磁性部材の研削方法を用いて得られ
る、希土類磁石。
15. A first step of grinding a magnetic member using a grinding means having a cutting edge containing a heat-resistant resin and superabrasive grains while supplying a grinding fluid to a grinding section, and discharging from the grinding section. A rare earth magnet obtained by using a magnetic member grinding method including a second step of magnetically separating sludge from a grinding fluid.
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