JP2001148485A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2001148485A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 信号を高速且つ正確に伝送することが可能な
半導体装置を提供する。 【解決手段】 本発明に係る半導体装置は、半導体チッ
プ11に形成された、光信号を受ける光源受動素子と、
当該光源受動素子に接続され、前記半導体チップ11内
に光信号を伝送するための光信号伝送手段としてのガラ
スファイバー15と、を具備するものである。これによ
り、信号を高速且つ正確に伝送することが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置に関わ
り、特に、信号を高速且つ正確に伝送することが可能な
半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】以下、従来の半導体装置について説明す
る。従来、製品システム基板上には導線等をプリントし
た配線パターンが形成されている。システム基板には複
数の半導体チップが実装されており、これら半導体チッ
プには電気信号を受け渡す電極パッドが形成されてい
る。前記電極パッドはボンディングワイヤによりリード
フレームと電気的に接続されている。そして、前記半導
体チップ、ボンディングワイヤ及びリードフレームの一
端は、モールド樹脂により封止されている。一方リード
フレームの他端は、前記配線パターンに半田付け又は圧
着により接続されている。そして、半導体チップの相互
間における信号の受け渡し(入出力)は、配線パターン
及びリードフレームを介して電気信号により行われてい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
半導体装置では、電気信号のON、OFFによりデジタ
ル信号を生成し、信号の受け渡しを行っている。このた
め、高周波、高速動作又は低電圧化(2V)によってノ
イズの影響を受け易いという問題がある。また、電圧の
変動等により誤動作が発生する可能性もある。
【0004】また、上記従来の半導体装置では、モール
ド樹脂(半導体パッケージ)から突出しているリード部
とシステム基板上の配線パターンとを半田付け又は圧着
により接合し、半導体チップに入出力する信号としては
配線パターンによって伝送する電気信号を用いている。
このため、配線パターン等の伝送素子の物性(銅等の物
性)に多大な影響を受け、信号本来の特性を維持し続け
ることが難しいという問題がある。つまり、隣接する配
線の線間容量等の物性の影響で伝搬信号がなまったり、
振幅が不安定となったり、また、次段の装置が誤動作す
る等といった弊害が生じることがある。
【0005】特に、半導体装置に入出力するクロック信
号等に関しては、この影響を考慮して回路を設計しなけ
ればならない。また、隣接する信号間の電気的な影響を
無視することができないので、誤動作防止回路や信号の
制御を行う必要もある。また、半導体パッケージから突
出しているリードは、その長さや位置の自由度が少ない
ため、システム基板上の限られた場所にしか接続するこ
とができない。
【0006】本発明は上記のような事情を考慮してなさ
れたものであり、その目的は、信号を高速且つ正確に伝
送することが可能な半導体装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る半導体装置は、半導体チップに形成さ
れた、光信号を受ける光源受動素子と、前記光源受動素
子に接続され、前記半導体チップ内に光信号を伝送する
ための光信号伝送手段と、を具備することを特徴とす
る。
【0008】この半導体装置では、半導体チップに光源
受動素子を介して光信号伝送手段を接続し、半導体チッ
プ内に入力する信号として光信号を用いている。光信号
は電気信号と比較して振幅の減衰が少なく、伝送速度も
高速なため、正確な信号伝送が可能となり、信号を高速
且つ正確に伝送することが可能となる。また、前記光信
号伝送手段が、例えばガラスファイバーのような光ファ
イバーであることが好ましい。
【0009】また、前記半導体チップ及び前記光ファイ
バーの一部を封止するパッケージをさらに含むことが好
ましい。また、前記半導体チップが実装基板上に実装さ
れていることが好ましい。また、本発明に係る半導体装
置は、実装基板内に配置された、光信号を伝送するため
の光信号伝送手段と、前記実装基板上に実装された複数
の半導体チップと、当該半導体チップに形成され、前記
光信号伝送手段に接続された光信号を受ける光源受動素
子と、を具備し、前記複数の半導体チップの相互間にお
ける信号の受け渡しを前記光信号伝送手段により行うこ
とを特徴とする。
【0010】さらに、本発明に係る半導体装置は、半導
体チップに形成された、光信号を受ける光源受動素子
と、当該光源受動素子に接続され、前記半導体チップ内
に演算処理装置からの信号を光信号で伝送するための光
信号伝送手段と、を具備することを特徴とする。この半
導体装置では、半導体チップに光源受動素子を介して光
信号伝送手段を接続し、演算処理装置から半導体チップ
内に入力する信号として光信号を用いている。光信号は
電気信号と比較して振幅の減衰が少なく、伝送速度も高
速なため、正確な信号伝送が可能となり、信号を高速且
つ正確に伝送することが可能となる。
【0011】特に、前記演算処理装置から半導体チップ
内に入力する信号としてクロック信号を適用すれば、高
精度なクロック信号を半導体チップに伝送することが可
能となり好適である。また、前記光信号伝送手段を、前
記半導体チップが実装された実装基板に埋め込む等、実
装基板内に設けるようにしてもよい。
【0012】また、前記実装基板上或いは実装基板内に
発光素子面を構成し、これを前記光信号伝送手段として
用いるようにしてもよい。つまり、例えば実装基板上に
発光素子面を形成し、入力される光信号に応じて実装基
板面全体を発光させるようにしてもよい。このようにす
ることによって、実装基板上における半導体チップの実
装位置を考慮することなく光信号伝送手段を配設するこ
とが可能となる。
【0013】また、実装基板全体に発光素子面を形成す
るのではなく、前記光信号伝送手段を、格子状に形成し
これを前記実装基板に配設するようにしてもよい。ま
た、このとき、前記光源受動素子を前記半導体チップの
前記実装基板と対向する側に凸状に形成し、前記光源受
動素子を、面状或いは格子状に配設された前記光信号伝
送手段に差し込むことにより前記光源受動素子と前記光
信号伝送手段とを接続するようにしてもよい。このよう
にすることによって、光源受動素子と光信号伝送手段と
を容易確実に接続することが可能となる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図1は、本発明の第1の実
施の形態による半導体装置の一部を示す断面図でる。こ
の半導体装置は半導体チップ11を有している。半導体
チップ11には、レーザー(赤外線)等による光信号を
受ける光源受動素子(図示せず)が形成されている。光
源受動素子には、光信号伝送手段として例えば指向性素
子であるガラスファイバー15の一端が光透過性の接着
剤によって接続されている。光信号伝送手段は、半導体
チップ11内に光信号を伝送するためのものであり。半
導体チップ11、光源受動素子及びガラスファイバー1
5の一端は、モールド樹脂13により封止されている。
【0015】上記半導体装置においては、ガラスファイ
バー15から光信号が光源受動素子を介して半導体チッ
プ11内に導入される。即ち、この光信号は、光源受動
素子によって受け渡され、半導体チップ11内に導入さ
れる。上記第1の実施の形態によれば、半導体チップ1
1に光源受動素子を介してガラスファイバー15を接続
し、半導体チップ11内に入力する信号としてレーザー
光等の光信号を用いている。光信号は電気信号と比較し
て振幅の減衰が少なく、伝送速度も高速なため、正確な
信号伝送が可能となり、光信号伝送手段であるガラスフ
ァイバー15の物性(伝達物性)の影響をほとんど受け
る事なく、信号を高速且つ正確に伝送することが可能と
なる。
【0016】また、光信号を用いることにより、電気信
号に比べてノイズの影響を受け難く、電圧の変動等によ
る誤動作も発生し難い。また、光信号の場合、伝送素子
であるガラスファイバー15の物性に影響を受けること
がなく、信号本来の特性を維持し続ける事が容易であ
る。また、光信号では、隣接するガラスファイバー間の
物性の影響で伝送する光信号がなまることがなく、振幅
が不安定となることもない。
【0017】なお、上記第1の実施の形態では、ガラス
ファイバー15の一端と光源受動素子とを光透過性の接
着剤によって接続しているが、ガラスファイバーの一端
と光源受動素子とをモールドによる圧着によって接続す
ることも可能である。図2は、本発明の第2の実施の形
態による半導体装置の一部を示す平面図であり、図1に
示す半導体チップ11が実装基板であるシステム基板に
実装されている様子を示す平面図である。
【0018】半導体チップ11の表面には、複数の電極
パッド23が形成されており、電極パッド23の一部
は、ボンディングワイヤ25によりリード26〜30に
電気的に接続されている。また、電極パッド23の一部
は、光信号伝送手段としてのガラスファイバー15の一
端に光源受動素子(図示せず)を介して接続されてい
る。半導体チップ13、ボンディングワイヤ25、リー
ドの一部及びガラスファイバー15の一端はモールド樹
脂13により封止されている。
【0019】また、システム基板21上には、導線等が
プリントされた配線パターン36〜39が形成されてい
る。また、システム基板21上には、半導体パッケージ
13が実装されている。この半導体パッケージ13から
突出しているリード26〜30は半田付け又は圧着によ
り配線パターン36〜39に接続されている。上記半導
体装置においては、ガラスファイバー15から光信号が
入力され、半導体チップ11内で光信号が電気信号に変
化されるようになっている。例えば、光信号が変換され
た電気信号を供給する信号ラインに、光信号ONで電源
からV DD電位が供給され、光信号OFFでGNDから接
地電位が供給されるように構成することも可能である。
【0020】上記第2の実施の形態においても第1の実
施の形態と同様の効果を得ることができる。また、この
第2の実施の形態では、半導体チップ11にガラスファ
イバー15を接続する構成を用いているため、リード部
に比べて配置の自由度を大きくすることができる。つま
り、半導体パッケージ13から突出しているリードは、
その長さや位置が決まっており、システム基板21上の
限られた場所の配線パターンにしか接続できない。ま
た、システム基板21においては、配線パターン36、
37の相互の間隔Lが一定以上必要である。このため、
リード及び配線パターンのみを用いるのでは、回路構成
が制限される。しかしながら、半導体チップ11に信号
を供給する手段としてさらにガラスファイバー15を用
いると、回路構成の自由度を上げることができる。
【0021】また、リード(ピン)の相互の間隔も一定
以上必要であるため、ピン数を無制限に増やすことはで
きないので回路構成が制限される。しかしながら、半導
体チップ11に信号を供給する手段としてさらにガラス
ファイバー15を用いると、回路構成の自由度を上げる
ことができる。なお、上記第2の実施の形態では、1本
のガラスファイバー15を半導体チップ11に接続して
いるが、複数のガラスファイバーを半導体チップに接続
することも可能であり、ガラスファイバーはどこに設置
してもよい。
【0022】図3は、本発明の第3の実施の形態による
半導体装置を模式的に示す平面図である。システム基板
41内には、光信号を伝送する手段として例えば指向性
素子であるガラスファイバー45〜47が配置されてい
る。システム基板41上には複数の半導体チップ42、
43が実装されている。半導体チップ42、43には、
レーザー(赤外線)等による光信号を受ける光源受動素
子及び光信号を発光する発光素子51〜56が形成され
ている。
【0023】半導体チップの相互間42、43は、光源
受動素子及び発光素子51〜56を介してガラスファイ
バー45〜47によって接続されている。ガラスファイ
バーは導線等の配線と同様に使用するものである。すな
わち、ガラスファイバー47の一端は光源受動素子51
を介して半導体チップ42に接続され、ガラスファイバ
ー47の他端は発光素子52を介して半導体チップ43
に接続され、半導体チップ43から光源半導体チップ4
2に信号が出力されるようになっている。また、ガラス
ファイバー46の一端は光源受動素子53を介して半導
体チップ42に接続され、ガラスファイバー46の他端
は発光素子54を介して半導体チップ43に接続されて
いる。ガラスファイバー45の一端は発光素子55を介
して半導体チップ42に接続され、ガラスファイバー4
5の他端は光源受動素子56を介して半導体チップ43
に接続され、半導体チップ42から半導体チップ43に
信号が出力されるようになっている。
【0024】上記半導体装置においては、半導体チップ
42、43の相互間をガラスファイバー45〜47及び
光源受動素子51〜56を介して光信号が伝送される。
つまり、光信号は、光源受動素子51〜56によって受
け渡され、半導体チップ42、43内に導入される。し
たがって、この第3の実施の形態においても上記第1の
実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【0025】特に、演算処理装置と記憶装置等との間
で、クロック信号を伝送する場合等には、クロック信号
の位相ずれが生じることがないから好適である。また、
この第3の実施の形態では、システム基板41内に予め
半導体製品の接続配線材としてガラスファイバー45〜
47等の指向性物質で配線を行うため、従来の半導体装
置のようなリード部分が不要となる。したがって、シス
テム基板上において半田接合部分が不要となり、半田不
良による装置の誤動作を防ぐことができる。
【0026】図4は、本発明の第4の実施の形態による
半導体装置を示す。この第4の実施の形態においては、
システム基板61は例えばフィルム基板で構成されてい
る。そして、このシステム基板61内には、光信号伝送
手段としてのガラスファイバー62が格子状に接続され
て埋め込まれており、ガラスファイバー62の何れかの
場所において信号を発生させると、その信号がガラスフ
ァイバー62全域に伝達可能に構成されている。このシ
ステム基板61は、例えば、システム基板61を形成す
る際にガラスファイバー62を埋め込むことにより形成
するようになっている。
【0027】そして、このシステム基板61に実装され
る演算処理装置63には、クロック信号を送信するため
の発光素子67が形成され、演算処理装置63からのク
ロック信号を受信する記憶装置64、65等の半導体チ
ップには、レーザー(赤外線)等による光信号を受光す
る光源受動素子68、69が形成されている。また、上
述のようにしてガラスファイバー62が形成されたシス
テム基板61上の、半導体チップ63〜65の実装位置
に、その光源受動素子又は発光素子67〜69とガラス
ファイバー62とが対向するようにコンタクトホール6
1aが形成されている。そして、前記コンタクトホール
61aに光源受動素子及び発光素子67〜69を差し込
み、図5に示すように、ガラスファイバー62に光源受
動素子及び発光素子67〜69を圧着させることによっ
て、光源受動素子及び発光素子67〜69とガラスファ
イバー62とを接続するようになっている。
【0028】これによって、半導体チップ63〜65
は、光源受動素子及び発光素子67〜69を介してガラ
スファイバー62に接続される。そして、演算処理装置
である半導体チップ63からのクロック信号は、その発
光素子67を介してガラスファイバー62に伝達され、
半導体チップ64、65では、ガラスファイバー62か
らの信号をその光源受動素子68、69で受けるから、
クロック信号はガラスファイバー62から記憶装置6
4、65に取り込まれることになる。
【0029】なお、クロック信号以外の信号は、例えば
システム基板61上に配線パターンを形成し、この配線
パターンを介して伝送するようにすればよい。したがっ
て、この場合も上記各実施の形態と同様の効果を得るこ
とができる。また、この半導体装置においては、システ
ム基板61に格子状にガラスファイバー62を形成して
いるから、システム基板61を作成するときに、半導体
チップの配置位置等を考慮してガラスファイバー62を
埋め込む必要はなく、システム基板61を容易に作成す
ることができる。
【0030】また、システム基板61はフィルム基板で
形成されているから、ある程度折り曲げることも可能で
あり、且つ低コスト化を期待することができる。なお、
上記第4の実施の形態においては、ガラスファイバー6
2をシステム基板61の全域にわたって形成するように
した場合について説明したが、これに限るものではな
く、例えばシステム基板61の半導体チップの実装位置
を含む領域等、一部分にのみ形成するようにしてもよ
い。
【0031】また、格子の間隔を小さくするほど、半導
体チップを実装する際にガラスファイバー62の位置を
考慮しなくてもよいが、実装する半導体チップの設置間
隔に応じて格子間隔を決定するようにしてもよい。図6
は、本発明の第5の実施の形態による半導体装置を示
す。この第5の実施の形態は、上記第4の実施の形態に
おいてシステム基板61に代えてシステム基板71を用
いるようになっている。
【0032】この第5の実施の形態におけるシステム基
板71はフィルム基板で構成され、このシステム基板7
1上には、例えば発光ダイオード等の発光素子で構成さ
れる発光面72が形成されている。この発光面72に
は、発光面72への外部からの光の進入を防止するため
の光阻止膜が形成されている。なお、この発光面72
は、前記システム基板71内に形成してもよく、また、
システム基板71を発光素子で形成し、システム基板7
1を発光面72として用いるようにしてもよい。
【0033】そして、システム基板71上の前記半導体
チップ63〜65の実装位置には、その光源受動素子又
は発光素子67〜69と対向する位置にコンタクトホー
ル71aが形成されている。このコンタクトホール71
aに光源受動素子及び発光素子67〜69を差し込み、
発光面72に光源受動素子及び発光素子67〜69を圧
着させることによって、光源受動素子及び発光素子67
〜69と発光面72とを接続する。
【0034】これによって、半導体チップ63〜65
は、光源受動素子及び発光素子67〜69を介して発光
面72に接続される。そして、演算処理装置である半導
体チップ63からのクロック信号は、その発光素子67
を介して発光面72に伝達され、発光面72からの信号
を半導体チップ64、65の光源受動素子68、69で
受けるから、クロック信号は発光面72から記憶装置6
4、65に取り込まれることになる。
【0035】なお、クロック信号以外の信号は、システ
ム基板71上、或いはシステム基板71の上に発光面7
2が形成されているならば発光面72上に配線パターン
を形成し、この配線パターンを介して伝送するようにす
ればよい。したがって、この場合も上記第4の実施の形
態と同様の効果を得ることができる。また、この半導体
装置においては、システム基板71全域に発光面72が
形成されているから、システム基板71に半導体チップ
を実装する場合であっても、ガラスファイバーを配設し
た場合のようにその配設位置を考慮する必要はない。
【0036】なお、上記第5の実施の形態においては、
発光面72をシステム基板71の全域にわたって形成す
るようにした場合について説明したが、これに限るもの
ではなく、例えばシステム基板71の半導体チップの実
装位置を含む領域等、一部分にのみ形成するようにして
もよい。また、例えば発光面72を複数積層し、各層毎
に信号を割り当てて、クロック信号だけでなく、例えば
イネーブル信号等といった他の信号をも伝送するように
してもよい。この場合には、例えば発光面間にも光阻止
膜を形成し、外部からの光信号だけでなく、他の発光面
における光信号が進入しないようにすればよい。また、
各光源受動素子及び発光素子を、それぞれ対応する発光
面にのみ信号を伝達し、また対応する発光面のみから信
号を受けるようにし、対応しない発光面に対しては光信
号を伝達せず、また光信号を受けないように形成すれば
よい。
【0037】なお、本発明は上記実施の形態に限定され
ず、種々変更して実施することが可能である。
【0038】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、半
導体チップに光源受動素子を介して光信号伝送手段を接
続し、半導体チップ内に入力する信号として光信号を用
いるようにしたから、信号を高速且つ正確に伝送するこ
とが可能な半導体装置を提供することができる。
【0039】また、演算処理装置から半導体チップへ入
力する信号を光信号として送信するようにしたから、特
にクロック信号を伝送する場合等には、クロック信号の
位相ずれを回避し、高精度にクロック信号を伝送するこ
とができる。また、実装基板に格子状に光信号伝送手段
を形成したり、或いは実装基板に発光素子面を形成しこ
れを光信号伝送手段として用いることにより、実装基板
上における半導体チップの実装位置を考慮することなく
光信号伝送手段を配設することができる。
【0040】また、このとき、前記光源受動素子を前記
半導体チップの前記実装基板と対向する側に凸状に形成
し、前記光源受動素子を、前記光信号伝送手段に差し込
むことにより前記光源受動素子と前記光信号伝送手段と
を接続するようにすれば、光源受動素子と光信号伝送手
段とを容易確実に接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態による半導体装置の
一部を示す断面図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態による半導体装置の
一部を示す平面図である。
【図3】本発明の第3の実施の形態による半導体装置を
模式的に示す平面図である。
【図4】本発明の第4の実施の形態による半導体装置を
模式的に示す平面図である。
【図5】発光素子又は光源受動素子とガラスファイバー
との接続方法を示す説明図である。
【図6】本発明の第5の実施の形態による半導体装置を
模式的に示す平面図である。
【符号の説明】
11 半導体チップ 13 モールド樹脂(半導体パッケージ) 15 ガラスファイバー 21 システム基板 23 電極パッド 25 ボンディングワイヤ 26〜30 リード 36〜39 配線パターン 41 システム基板 42、43 半導体チップ 45〜47 ガラスファイバー 51〜56 光源受動素子

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体チップに形成された、光信号を受
    ける光源受動素子と、 前記光源受動素子に接続され、前記半導体チップ内に光
    信号を伝送するための光信号伝送手段と、 を具備することを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 前記光信号伝送手段が、光ファイバーで
    あることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記半導体チップ及び前記光ファイバー
    の一部を封止するパッケージをさらに含むことを特徴と
    する請求項2記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記半導体チップが実装基板上に実装さ
    れていることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記
    載の半導体装置。
  5. 【請求項5】 実装基板内に配置された、光信号を伝送
    するための光信号伝送手段と、 前記実装基板上に実装された複数の半導体チップと、 当該半導体チップに形成され、前記光信号伝送手段に接
    続された光信号を受ける光源受動素子と、 を具備し、 前記複数の半導体チップの相互間における信号の受け渡
    しを前記光信号伝送手段により行うことを特徴とする半
    導体装置。
  6. 【請求項6】 半導体チップに形成された、光信号を受
    ける光源受動素子と、 当該光源受動素子に接続され、前記半導体チップ内に演
    算処理装置からの信号を光信号で伝送するための光信号
    伝送手段と、 を具備することを特徴とする半導体装置。
  7. 【請求項7】 前記信号はクロック信号であることを特
    徴とする請求項6記載の半導体装置。
  8. 【請求項8】 前記光信号伝送手段は、前記半導体チッ
    プが実装された実装基板内に設けられていることを特徴
    とする請求項6又は7記載の半導体装置。
  9. 【請求項9】 前記光信号伝送手段は、前記実装基板に
    形成された発光素子面であることを特徴とする請求項6
    乃至8の何れかに記載の半導体装置。
  10. 【請求項10】 前記光信号伝送手段は、格子状に形成
    されて前記実装基板に配設されていることを特徴とする
    請求項6乃至8の何れかに記載の半導体装置。
  11. 【請求項11】 前記光源受動素子は前記半導体チップ
    の前記実装基板と対向する側に凸状に形成され、前記光
    源受動素子を前記光信号伝送手段に差し込むことにより
    前記光源受動素子と前記光信号伝送手段とを接続するよ
    うになっていることを特徴とする請求項8乃至10の何
    れかに記載の半導体装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9962534B2 (en) 2013-03-15 2018-05-08 Corium International, Inc. Microarray for delivery of therapeutic agent, methods of use, and methods of making

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9531645B2 (en) 2014-07-29 2016-12-27 Mellanox Technologies Ltd. Cable backplane
US10365445B2 (en) 2017-04-24 2019-07-30 Mellanox Technologies, Ltd. Optical modules integrated into an IC package of a network switch having electrical connections extend on different planes
US10116074B1 (en) 2017-04-30 2018-10-30 Mellanox Technologies, Ltd. Graded midplane

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5009476A (en) * 1984-01-16 1991-04-23 Texas Instruments Incorporated Semiconductor layer with optical communication between chips disposed therein
US5159700A (en) * 1984-01-16 1992-10-27 Texas Instruments Incorporated Substrate with optical communication systems between chips mounted thereon and monolithic integration of optical I/O on silicon substrates
JPH0734483B2 (ja) 1987-03-25 1995-04-12 日本電気株式会社 半導体装置
JPS649667A (en) 1987-07-01 1989-01-12 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor device
JPH03142866A (ja) 1989-10-27 1991-06-18 Nec Ic Microcomput Syst Ltd 半導体集積回路装置
US5834841A (en) * 1990-09-28 1998-11-10 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor device enabling temperature control in the chip thereof
US5119451A (en) * 1990-12-31 1992-06-02 Texas Instruments Incorporated Optical waveguides as interconnects from integrated circuit to integrated circuit and packaging method using same
US5250816A (en) * 1991-04-08 1993-10-05 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Multichip system and method of supplying clock signal therefor
US5442475A (en) * 1991-07-15 1995-08-15 Cray Research, Inc. Optical clock distribution method and apparatus
US5199087A (en) * 1991-12-31 1993-03-30 Texas Instruments Incorporated Optoelectronic integrated circuit for transmitting optical and electrical signals and method of forming same
US5371822A (en) * 1992-06-09 1994-12-06 Digital Equipment Corporation Method of packaging and assembling opto-electronic integrated circuits
WO1994006052A1 (en) * 1992-09-10 1994-03-17 Fujitsu Limited Optical circuit system and its constituents
JPH07131063A (ja) 1993-11-01 1995-05-19 Nec Corp マルチチップモジュール
US6259840B1 (en) * 1999-03-31 2001-07-10 International Business Machines Corporation Printed circuit board having fluid-linked optical pathways for coupling surface mounted optoelectric semiconductor devices

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9962534B2 (en) 2013-03-15 2018-05-08 Corium International, Inc. Microarray for delivery of therapeutic agent, methods of use, and methods of making

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