JP2001148118A - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体およびその製造方法Info
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Abstract
録媒体およびその製造方法を提供。 【解決手段】 磁気記録媒体の製造方法は、スパッタリ
ング法を用いて、円環状の非磁性基板上にCrを含む非
磁性下地層とCoを含む磁性記録層とを積層することに
よって、円環状の積層基板を設ける第1の工程と、積層
基板上にバイアスを印加するプラズマ−CVD法を用い
て、磁性記録層を保護するための保護膜を積層基板上に
成膜する第2の工程とを有する。そこで、第2の工程を
実施する際に、円環状の積層基板と同心的かつ平行し
て、所定の電位が印加された円環状のエッジシールドが
積層基板の両側に所定の距離離間して配置され、さらに
エッジシールドの内径は積層基板の外径よりも大きい。
このような製造方法によって、膜厚が均一な磁気記録媒
体を得ることが可能となる。
Description
情報機器用記憶装置(例:内蔵型または外付け型のハー
ドディスク)で使用される磁気記録媒体およびその製造
方法に関する。
記憶装置に関して、記憶容量を高める一方で小型化が求
められている。例えば、職場のみならず一般家庭へのパ
ーソナルコンピュータの普及にともなって、より軽量か
つ小型のコンピュータ本体が求められると同時に、小型
でありながらより記憶容量の大きいハードディスクドラ
イブが求められている。
ある磁気記録媒体は、情報を磁気的に記録する部品であ
り、非磁性基板上にCr下地膜、CoCrTa系合金磁
性膜、カーボン系保護膜(C系保護膜)を成膜すること
により形成されている。磁気記録密度向上の観点からカ
ーボン系保護膜の薄膜化が急激に進み、これを実現する
成膜手法として、これまでのスパッタ法からプラズマ−
CVD法に代わりつつある。
室(真空容器)内に導入し、高周波や電子流等によって
ガスをプラズマ化させ、その中のイオンを基板に堆積し
ている。しかし、ただ堆積するだけでは良質な膜が得ら
れず、一般的には基板に100〜400Vの負の電位を
印加する形をとっている。プラズマ−CVD法に適用さ
れる装置の一例を図6に示す。
面図である。ECR−プラズマCVD装置の真空容器1
0にはECR−プラズマを形成するキャビティ23が備
えられており、キャビティ23の底にはマイクロ波電源
21(周波数2.45GHz)から発せられるマイクロ
波を伝送する導波管22および原料ガス(メタンガス)
を供給するガス流量制御器3が設けられている。導波管
22とキャビティ23の境界にはマイクロ波を透過さ
せ、ガスを透過させない絶縁窓25が嵌めてある。ま
た、真空容器10には内部の圧力を制御する排気装置
(図示せず)が接続されている。キャビティ23の外側
には電子サイクロトロン共鳴(ECR)を起こすための
コイル24が設けられている。真空容器10内には、積
層基板2を直接支持する複数の導電性の支持治具42を
有する導電性の基板ホルダ41が装着されている。バイ
アス電源5は基板ホルダ41に接続されており、支持治
具42を介して積層基板2はバイアス電位とされる。
録密度を向上させるには、保護膜の薄膜化が必要不可欠
である。これまでのところ、耐久性の向上には、バイア
ス電位として、積層基板に負電位を印加する方法が有効
とされている。耐久性は印加する負電位が大きいほど向
上していくが、印加する負電位が大きくなるにしたがっ
て積層基板外周部において電界の集中が発生し、イオン
が外周部に引きつけられる。これによって、積層基板
(すなわち磁気記録媒体)の外周部において膜厚の増加
という現象が発生し、磁気ヘッドの浮上特性および電磁
変換特性の悪化を招くため、保護膜の膜厚を一定にする
ことが解決すべき課題としてある。このような課題を解
決するための一手段として、特開平10−172140
号公報では、プラズマCVDの反応圧力を3.5Pa以
下にしてECR−プラズマを実施する磁気記録媒体の製
造方法や、直接接触して基板を支持する支持治具の、直
接プラズマに接触する表面を絶縁シールドで被覆するこ
とが開示されている。このような製造方法はたいへん優
れたものではあるが、圧力を低下させると不安定になる
という問題点を有しており、新たな製造方法が求められ
ている。
題を解決し、均一な膜厚を有する保護膜が施された磁気
記録媒体およびその製造方法を提供することである。
の本発明の第1の実施態様は、スパッタリング法を用い
て、円環状の非磁性基板上にCrを含む非磁性下地層
と、Coを含む磁性記録層とを積層することによって、
円環状の積層基板を設ける第1の工程と、前記積層基板
上にバイアスを印加するプラズマ−CVD法を用いて、
前記磁性記録層を保護するための保護膜を前記積層基板
上に成膜する第2の工程とを有する磁気記録媒体の製造
方法であって、前記第2の工程を実施する際に、前記円
環状の積層基板と同心的かつ平行して、所定の電位が印
加された円環状のエッジシールドが前記積層基板の両側
に所定の距離離間して配置され、さらに前記エッジシー
ルドの内径は前記積層基板の外径よりも大きいことを特
徴とする磁気記録媒体の製造方法である。
層基板との離間距離は、4mmから6mmの範囲内であ
り、また前記エッジシールドの内径と前記積層基板の外
径との寸法差は1.5mmから3.0mmの範囲内であ
る。
が成膜された前記磁気記録媒体は、前記保護膜の半径方
向の膜厚面内分布が2.0%以下である。
法は、イオンビーム法である。
エッジシールドの電位を0Vとする。
様の製造方法で製造されたことを特徴とする磁気記録媒
体である。
気記録媒体の製造方法は、スパッタリング法を用いて、
中心部に円弧状の開口部が形成された円板状(本明細書
中において、円環状と称する)の非磁性基板上にCrを
含む非磁性下地層とCoを含む磁性記録層とを積層する
ことによって、円環状の積層基板を設ける第1の工程
と、積層基板上にバイアスを印加するプラズマ−CVD
法を用いて、磁性記録層を保護するための保護膜を積層
基板上に成膜する第2の工程とを有する。さらに、第2
の工程を実施する際に、円環状の積層基板と同心的かつ
平行して、所定の電位が印加された円環状のエッジシー
ルドを積層基板の両側に所定の距離離間して配置し、さ
らにエッジシールドの内径を積層基板の外径よりも大き
くする(図1参照)。
のCrを含む非磁性下地層およびCoを含む磁性記録層
の積層は、当該技術において知られている方法を用いて
行うことができる。
してカーボンを含む。
て、プラズマの発生方法として、高周波グロー放電法、
ECR法などの当該技術において知られている方法を用
いることができる。あるいはまた、イオンビーム法を用
いることもできる。なお、本発明におけるイオンビーム
法とは、発生させたプラズマから所望の電荷のイオンの
みを取り出し、それをビームとして積層基板に照射する
ものである。また、用いられる装置は、本発明のエッジ
シールドを取り付けることができる限りにおいて、当該
技術において知られている装置を用いることができる。
アルミ合金製の円環状プレートからなり、成膜時に積層
基板2の両側に該積層基板を挟みこむかたちで配置する
ことによりイオンの流れを制御する。エッジシールド1
の内径は積層基板2の外径よりも大きい。具体的には、
例えば積層基板2の内径を20mm、外径を64mmと
した場合、エッジシールド1の内径は65.5mmから
67.0mmの範囲内、また外径は172mmから18
0mmの範囲内である。すなわち、エッジシールド1の
内径と積層基板2の外径との寸法差は1.5mmから
3.0mmの範囲内である。エッジシールドの外径の寸
法は、積層基板2の外径よりも充分に大きいことが好ま
しい。さらに、エッジシールド1と積層基板2との離間
距離は、4mmから6mmの範囲内とする。
合金は、成膜によって付着した保護膜の剥離を防止する
加工を施すことが好ましい。そのような加工は、たとえ
ば、サンドブラストした後に、Alを溶射することによ
るエッジシールド表面の粗面化を含む。
環状の積層基板は、バイアスとして、アース電位に対し
て0〜150Vの、好ましくは60〜120Vの電位を
印加される。一方、エッジシールドは、アース電位とす
ることが好ましい。エッジシールドの電位をアース電位
とすることにより、積層基板(すなわち磁気記録媒体)
に対する付着物(パーティクル)の発生を防止するのに
有効である。
CVD成膜中において、成膜室(真空容器)内にエッジ
シールドを配置することにより、積層基板バイアスによ
り引き寄せられるイオンが選択的に積層基板の外周部に
集中するのを防ぐことにより、積層基板(すなわち磁気
記録媒体)への付着物の増加を抑制しつつ、膜厚の内外
周差を改善することができる。
含む非磁性下地層とCoを含む磁製記録層を積層したア
ルミ合金製基板に対する保護膜の形成を、以下のように
して行った。イオンビーム法(後述)を用いるプラズマ
−CVD装置中に前記の積層基板を配置し、そしてその
積層基板から5mm離隔して、前記積層基板の両側に内
径66mmおよび外径176mmを有するアルミ合金製
エッジシールドを、前記積層基板と平行になるように配
置した。エッジシールドは、サンドブラスト後にAlを
溶射することにより、その表面を粗面化したものを用い
た。次に表1に示す条件にてプラズマ−CVD装置を運
転し、積層基板上の保護膜(厚さ8nm)を作成した。
なお、表1中の電位は、全てアース電位に対する電位で
ある。
を除いて上記の手順を繰り返して、比較のための保護膜
を作成した。
磁気記録媒体の表面の状態を光学表面分析装置(Optica
l Surface Analyzer、以下、OSAと呼ぶ)による光学的
手法によって評価する。
て表される磁気記録媒体表面全体を示す平面図であり、
図2はエッジシールドを用いない場合、図3はエッジシ
ールドを用いた場合を示す。これらの図において、該媒
体上の濃淡は、保護膜の分布を示し、色の濃い部分ほど
膜厚が厚いことに相当する。エッジシールド無しの状態
(図2)で保護膜の成膜を行った場合は、磁気記録媒体
最外周部において膜厚が急激に増加していることが読み
取れる。一方、エッジシールドを用いた場合、色の濃淡
から外周部の膜厚の急激な増加が大幅に改善されている
ことが解る。
ものを示す。図4はエッジシールド有りの場合、図5は
エッジシールド無しの場合である。これらの図の縦軸は
磁気記録媒体の反射率を表しているが、これは保護膜の
膜厚と相関を持ち、反射率が低いほど保護膜が厚いこと
を示している。横軸は磁気記録媒体中心からの距離(内
側の縁から外側の縁に向けた半径方向の距離)を表す。
なお、反射率の最大値および最小値は、磁気記録媒体中
心からの特定の距離にある円周上における反射率の最大
値および最小値をプロットしたものであり、円周方向の
膜厚分布を示すものである。
状態では(図5参照)、外周部(40mm以上)で膜厚
が大きく変動しているのに加え、反射率の最大値・最小
値の幅が大きく、外周部における円周方向の分布も悪い
ことを示唆している。一方、本発明のエッジシールドの
ある状態においては(図4参照)、外周部での膜厚の変
動が小さく、および磁気記録媒体中心からのいずれの距
離においても、膜厚の最大値と最小値との差が小さくな
っていることから、円周方向の膜厚分布も改善されてい
ることが読みとれる。
とろ、エッジシールドの付加によって膜厚面内分布が
2.0%から1.6%に改善されたことが解った。膜厚
面内分布とは、磁気記録媒体中心からの距離に対する保
護膜の膜厚の変化率を意味する。これは、図4および図
5に示すようなグラフにおいて、反射率を膜厚に変換し
た後に1次直線によるカーブフィッティングを行い、得
られる直線の傾きに相当する。
曲線に見られるピークの存在は、磁気記録媒体上の付着
物(パーティクル)の存在を示唆するものである。図4
と図5との比較において、エッジシールドを用いた場合
に、エッジシールドを用いない場合よりもパーティクル
の数が少ないことがわかる。すなわち、エッジシールド
という物体を成膜室に配置しても、連続成膜の過程でエ
ッジシールドに堆積した膜が剥がれ落ち、磁気記録媒体
上のパーティクルが増加する等の副次的に発生する悪影
響がないことを示唆している。
用いることにより保護膜の膜厚の変動、すなわち面内分
布の差を小さくすることができた。また、磁気記録媒体
上の付着物が少ないことも好適である。したがって、本
発明のエッジシールドを用いることにより、保護膜で被
覆される積層基板のバイアスを高くして、保護膜の耐久
性を向上させることができる。
膜を形成するイオンの発生において、プラズマ−CVD
法としてイオンビーム法を用いることができる。
ラズマを発生させるためのカソードとしては、タングス
テン合金製のフィラメントを用いることができ、ここか
ら電子を放出してプラズマを形成する。次に、アノード
に0〜200V(対アース電位)を印加して、所望のイ
オンを、所望の方向すなわち積層基板の方向に加速して
照射する。この際に、反対電荷のイオンは積層基板と反
対の方向に加速され、積層基板には到達しない。さら
に、積層基板に対して0〜−150V(積層基板に照射
するイオンが正に荷電している場合、対アース電位)の
バイアスを印加することにより、積層基板表面に良好に
保護膜を形成することができる。なお、この際にアノー
ドおよび積層基板に高周波の直流パルスを与えることに
より所望の電位を与えてもよい。アノードおよび積層基
板に与える直流パルスは、独立的に制御可能であること
が好ましい。
体は、磁気記録媒体外周部での膜厚の変動が小さく、か
つ面内の膜厚の分布差も小さいので、コンピュータ等の
情報機器用記憶装置で使用するのに適当である。また付
着物(パーティクル)が少ないことも、該用途にとって
適切である。
積層基板バイアスを印加した際に生ずる磁気記録媒体外
周部での保護膜の膜厚変動および面内の保護膜の膜厚の
分布差を、磁気記録媒体上にパーティクルを増加させる
ことなく減少することが可能となる。このことはさらな
る積層基板への高バイアス印加を可能にし、耐久性の向
上が達成可能となる。
エッジシールドの構成を説明するための模式的斜視図で
ある。
にもとづいて製造された磁気記録媒体のOSA測定結果
として表される基板表面全体を示す平面図である。
にもとづいて製造された磁気記録媒体のOSA測定結果
として表される基板表面全体を示す平面図である。
された磁気記録媒体のOSA測定結果を数値化して表し
たグラフである。
れた磁気記録媒体のOSA測定結果を数値化して表した
グラフである。
CR−プラズマCVD装置の構成を説明するための模式
的断面図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 スパッタリング法を用いて、円環状の非
磁性基板上にCrを含む非磁性下地層と、Coを含む磁
性記録層とを積層することによって、円環状の積層基板
を設ける第1の工程と、前記積層基板にバイアスを印加
するプラズマ−CVD法を用いて、前記磁性記録層を保
護するための保護膜を前記積層基板上に成膜する第2の
工程とを有する磁気記録媒体の製造方法であって、 前記第2の工程を実施する際に、前記円環状の積層基板
と同心的かつ平行して、所定の電位が印加された円環状
のエッジシールドが前記積層基板の両側に所定の距離離
間して配置され、さらに前記エッジシールドの内径は前
記積層基板の外径よりも大きいことを特徴とする磁気記
録媒体の製造方法。 - 【請求項2】 前記エッジシールドと前記積層基板との
離間距離は、4mmから6mmの範囲内であり、また前
記エッジシールドの内径と前記積層基板の外径との寸法
差は1.5mmから3.0mmの範囲内であることを特
徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項3】 前記第2の工程で前記保護膜が成膜され
た前記磁気記録媒体は、前記保護膜の半径方向の膜厚面
内分布が2.0%以下であることを特徴とする請求項1
または2に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項4】 前記プラズマ−CVD法は、イオンビー
ム法であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれ
か一項に磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項5】 前記保護膜の形成の際、前記エッジシー
ルドの電位を0Vとすることを特徴とする請求項1ない
し4のいずれか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項6】 請求項1ないし5のいずれか一項の製造
方法で製造されたことを特徴とする磁気記録媒体。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33030599A JP3644586B2 (ja) | 1999-11-19 | 1999-11-19 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2001148118A true JP2001148118A (ja) | 2001-05-29 |
JP3644586B2 JP3644586B2 (ja) | 2005-04-27 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002371362A (ja) * | 2001-06-15 | 2002-12-26 | Fuji Electric Co Ltd | プラズマcvd装置および磁気記録媒体の保護膜形成方法 |
JP2003030823A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-31 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 |
US8389071B2 (en) | 2007-09-19 | 2013-03-05 | Fuji Electric Co., Ltd. | Apparatus and method for forming carbon protective layer |
-
1999
- 1999-11-19 JP JP33030599A patent/JP3644586B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP4696405B2 (ja) * | 2001-06-15 | 2011-06-08 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | プラズマcvd装置および磁気記録媒体の保護膜形成方法 |
JP2003030823A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-31 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 |
US8389071B2 (en) | 2007-09-19 | 2013-03-05 | Fuji Electric Co., Ltd. | Apparatus and method for forming carbon protective layer |
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