JP2001144411A - Drilling method for printed wiring board and surface treatment agent used therefor - Google Patents

Drilling method for printed wiring board and surface treatment agent used therefor

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JP2001144411A
JP2001144411A JP2000013092A JP2000013092A JP2001144411A JP 2001144411 A JP2001144411 A JP 2001144411A JP 2000013092 A JP2000013092 A JP 2000013092A JP 2000013092 A JP2000013092 A JP 2000013092A JP 2001144411 A JP2001144411 A JP 2001144411A
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copper
wiring board
printed wiring
laser light
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Minoru Otani
稔 王谷
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MEC Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drilling method for a printed wiring board wherein, with less processes, drilling with the printed wiring board is performed only with infrared ray laser beam irradiation. SOLUTION: A laser beam absorption coat 7 which provides copper with thermal energy that absorbs infrared ray laser beam to evaporate copper is formed on the surface of the copper 5 of a printed wiring board 3, and then a hole 9 is opened by the irradiation of infrared ray laser beam 8.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板の
孔あけをレーザ光により行なう方法およびそれに用いる
表面処理剤に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for making holes in a printed wiring board by using a laser beam and a surface treating agent used for the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント配線板は導電層と絶縁層との積
層体であるが、導電層として銅がひろく使用されてい
る。たとえば、一般的な多層プリント配線板は、絶縁層
を挟んで両面に銅からなる回路が形成された内層基板
が、プリプレグを挟んで他の内層基板や銅箔と積層され
て製造されている。これらのプリント配線板の製造にお
いては、絶縁層で隔てられた導電層と導電層とを電気的
に接続するスルホールを形成するために、孔あけが行わ
れている。この孔あけは、従来より機械的なドリルで行
なわれてきた。しかしながら、近年の配線の高密度化に
より孔径が小さくなり、ドリルで孔あけすることが困難
になってきている。
2. Description of the Related Art A printed wiring board is a laminate of a conductive layer and an insulating layer, and copper is widely used as the conductive layer. For example, a general multilayer printed wiring board is manufactured by laminating an inner layer substrate having a circuit made of copper on both sides with an insulating layer interposed therebetween and another inner layer substrate or copper foil with a prepreg interposed therebetween. In the production of these printed wiring boards, holes are formed in order to form through holes that electrically connect conductive layers separated by insulating layers to conductive layers. This drilling has conventionally been performed with a mechanical drill. However, the hole diameter has been reduced due to the recent increase in wiring density, and it has become difficult to drill holes with a drill.

【0003】また、内層基板に樹脂付き銅箔を積層して
製造されるビルドアップ配線板のビルドアップ層の孔あ
けは、孔をあける部分の銅箔を化学エッチングで除去し
たのち、絶縁層に赤外線レーザを照射することによりを
行なわれている。しかしながら、この方法では化学エッ
チングによる銅箔の孔と、赤外線レーザによる絶縁層の
孔との位置ずれが生じやすいという問題がある。なお、
銅箔を化学エッチングで予め孔をあけるのは、赤外線レ
ーザは銅表面でほとんど反射されてしまい、効率よく孔
あけできないためである。赤外線レーザで銅箔と絶縁層
を一括して孔あけをするために高いエネルギーを照射す
ると、絶縁層が大きくえぐれて除去され、次のめっき工
程で良好なめっきができなくなったり、あけられた孔の
径が一定でなくなったりする。
[0003] In addition, the drilling of the build-up layer of a build-up wiring board manufactured by laminating a copper foil with a resin on an inner layer substrate is performed by removing the copper foil at the portion to be drilled by chemical etching and then forming the insulating layer on the insulating layer. It is performed by irradiating an infrared laser. However, this method has a problem that the positional deviation between the hole in the copper foil due to the chemical etching and the hole in the insulating layer due to the infrared laser is apt to occur. In addition,
The reason why holes are previously formed in the copper foil by chemical etching is that the infrared laser is almost reflected on the copper surface and cannot be efficiently drilled. When high energy is applied to collectively drill the copper foil and the insulating layer with an infrared laser, the insulating layer is largely removed and removed, making it impossible to perform good plating in the next plating step, Or the diameter of the is not constant.

【0004】また、紫外線は赤外線に比べて銅表面での
反射が少ないため、高エネルギーの紫外線レーザ(波長
180nm〜400nm)を用いて銅箔と絶縁層の孔
開けを一括して行なうことも検討されているが、高エネ
ルギーの紫外線レーザを照射できる装置は高価であり、
加工効率が低いため実用的でない。
[0004] Further, since ultraviolet rays are less reflected on the copper surface than infrared rays, it is also considered to collectively punch holes in the copper foil and the insulating layer using a high energy ultraviolet laser (wavelength: 180 nm to 400 nm). However, equipment that can irradiate high-energy ultraviolet laser is expensive,
Not practical due to low processing efficiency.

【0005】そこで特許第2881515号には、赤外
線レーザ(炭酸ガスレーザ)のみで銅箔と絶縁層に孔を
あける方法として、銅箔の表面に厚さ数μmの凹凸の多
いめっき膜を形成し、さらに赤外線レーザ光のエネルギ
ーを吸収させるエポキシ系またはゴム系の合成樹脂膜を
形成した後、レーザ光を照射する方法が開示されてい
る。
Japanese Patent No. 2881515 discloses a method for making holes in a copper foil and an insulating layer only by an infrared laser (carbon dioxide laser) by forming a plating film having a thickness of several μm and having many irregularities on the surface of the copper foil. Further, there is disclosed a method of irradiating a laser beam after forming an epoxy-based or rubber-based synthetic resin film for absorbing energy of an infrared laser beam.

【0006】また、特開平3−57583号公報には、
銅箔表面を酸化処理した後、レーザ光を照射する方法が
開示されている。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-57583 discloses that
A method of irradiating laser light after oxidizing a copper foil surface is disclosed.

【0007】また、特開平11−266067号公報に
は、銅箔の表面に金属化合物粉またはカーボン粉を含有
させたポリビニルアルコールやでんぷんなどからなる皮
膜を形成した後、レーザ光を照射する方法が開示されて
いる。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-266067 discloses a method of irradiating a laser beam after forming a film made of polyvinyl alcohol or starch containing a metal compound powder or carbon powder on the surface of a copper foil. It has been disclosed.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特許第
2881515号に記載の方法では、めっき膜と合成樹
脂膜の2種の膜を形成する必要があり、処理工程が多く
なる、また、めっき膜の形成によって導電層が厚くな
り、回路の細線化に不利である。
However, in the method described in Japanese Patent No. 2881515, it is necessary to form two types of films, a plating film and a synthetic resin film, which increases the number of processing steps and increases the number of processing steps. The formation increases the thickness of the conductive layer, which is disadvantageous for thinning a circuit.

【0009】また、特開平3−57583号公報に記載
の方法では、レーザ光を照射して孔をあけたとき、孔の
周囲に飛散した銅が付着する。この付着した銅は通常の
酸性水溶液による洗浄では除去できないので、ブラシな
どで研磨して除去する必要がある。
In the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-57583, when a laser beam is applied to form a hole, scattered copper adheres around the hole. Since the attached copper cannot be removed by washing with a normal acidic aqueous solution, it is necessary to remove the copper by polishing with a brush or the like.

【0010】また、特開平11−266067号公報に
記載の方法では、金属化合物粉またはカーボン粉を含有
させた厚い(実施例によれば60μmまたは25μm)
皮膜を形成し、これをレーザ光で分解、蒸発させるため
に大きなエネルギーが消費されるため、強いレーザ光
(実施例によれば40mJまたは30mJ)の照射が必
要である。さらに孔あけ後、エッチングにより銅箔の厚
さを1/2〜1/3にする必要がある。
Further, in the method described in JP-A-11-266067, a thick (60 μm or 25 μm according to the embodiment) containing a metal compound powder or a carbon powder is contained.
Since a large amount of energy is consumed to form a film and decompose and evaporate the film with a laser beam, it is necessary to irradiate a strong laser beam (40 mJ or 30 mJ according to the embodiment). Further, after drilling, it is necessary to reduce the thickness of the copper foil to 1/2 to 1/3 by etching.

【0011】したがって本発明は、従来技術の欠点を克
服し、処理工程を短くして、赤外線レーザ光の照射のみ
でプリント配線板の孔あけを行なうことができるプリン
ト配線板の孔あけ法を提供する。
Accordingly, the present invention provides a method of punching a printed wiring board which overcomes the drawbacks of the prior art, shortens the processing steps, and allows the printed wiring board to be punched only by irradiating an infrared laser beam. I do.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意検討
の結果、下記の構成により上記従来技術の欠点を克服す
るに至った。すなわち、本発明は、プリント配線板の銅
の表面に、赤外線レーザ光を吸収して銅を蒸発させる熱
エネルギーを銅に与えるレーザ光吸収層を形成した後、
赤外線レーザ光を照射して孔あけを行なうプリント配線
板の孔あけ法であって、前記レーザ光吸収層が、銅硫化
物、銅ハロゲン化物、銅セレン化物および銅リン酸塩よ
りなる群から選ばれた一種または二種以上の銅化合物を
含む層であるプリント配線板の孔あけ法、ならびにプリ
ント配線板の銅の表面に、赤外線レーザ光で孔をあける
ため、前記銅の表面に銅ハロゲン化物の層を形成させる
表面処理剤であって、ハロゲン化第二銅3〜50%(重
量%、以下同様)および有機皮膜形成成分0.1〜10
%を含む水溶液からなる表面処理剤に関する。
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies, the present inventors have overcome the above-mentioned disadvantages of the prior art by the following constitution. That is, the present invention, on the surface of the copper of the printed wiring board, after forming a laser light absorbing layer that gives the copper thermal energy to absorb infrared laser light and evaporate copper,
A method for piercing a printed wiring board by piercing by irradiating an infrared laser beam, wherein the laser beam absorbing layer is selected from the group consisting of copper sulfide, copper halide, copper selenide and copper phosphate. Method for drilling a printed wiring board that is a layer containing one or more types of copper compounds, and for drilling holes on the copper surface of the printed wiring board with infrared laser light, so that a copper halide is formed on the copper surface. A surface treating agent for forming a layer consisting of 3 to 50% (by weight, the same applies hereinafter) of cupric halide and 0.1 to 10 of an organic film forming component
% Of a surface treatment agent comprising an aqueous solution.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の孔あけ法が適用されるプ
リント配線板の銅は、絶縁層に張合わされた圧延銅箔や
電解銅箔などの銅箔であってもよく、絶縁層上に電気め
っきや無電解めっきでめっきされた銅であってもよい。
前記銅の厚さは18μm以下が好ましく、3〜6μmが
さらに好ましい。銅の厚さが厚くなるとレーザ光で除去
する銅の量が多くなり、大きなエネルギーが必要になり
絶縁層にダメージを与えるようになる。銅は薄いほど孔
あけ時のエネルギーが少なくて済み、また微細な配線の
形成にも有利であるが、ピンホールなどの欠陥のない銅
でなければならない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The copper of a printed wiring board to which the drilling method of the present invention is applied may be a copper foil such as a rolled copper foil or an electrolytic copper foil bonded to an insulating layer. May be copper plated by electroplating or electroless plating.
The thickness of the copper is preferably 18 μm or less, more preferably 3 to 6 μm. As the thickness of copper increases, the amount of copper removed by laser light increases, requiring large energy and damaging the insulating layer. The thinner the copper is, the less energy is required when drilling and it is advantageous for forming fine wiring, but copper must be free from defects such as pinholes.

【0014】前記銅の表面にレーザ光吸収層を形成する
にあたり、予め銅表面を種々の薬品で処理してもよい。
例えば銅箔表面には保管時のさびの発生を抑えるために
防錆処理がなされている。このため、均一なレーザ光吸
収層ができない場合がある。このような場合には予め銅
箔表面をマイクロエッチングするなどして、防錆剤など
を除去しておくのが好ましい。
In forming the laser light absorbing layer on the copper surface, the copper surface may be treated with various chemicals in advance.
For example, a copper foil surface is subjected to a rust-preventive treatment in order to suppress the generation of rust during storage. Therefore, a uniform laser light absorbing layer may not be formed. In such a case, it is preferable to remove a rust preventive or the like by microetching the surface of the copper foil in advance.

【0015】本発明の孔あけ法においては、銅の表面に
レーザ光吸収層が形成される。前記レーザ光吸収層は、
赤外線レーザ(波長0.8〜15μm)エネルギーの吸
収性に優れ、銅を蒸発させる熱エネルギーを銅に与えう
る層であり、銅硫化物、銅ハロゲン化物、銅セレン化物
および銅リン酸塩よりなる群から選ばれた一種または二
種以上を含む層である。
In the drilling method of the present invention, a laser light absorbing layer is formed on the surface of copper. The laser light absorbing layer,
This layer has excellent infrared laser (wavelength: 0.8 to 15 μm) energy absorption and can give copper heat energy to evaporate copper. It is made of copper sulfide, copper halide, copper selenide and copper phosphate. It is a layer containing one or more selected from the group.

【0016】前記銅硫化物としては、硫化銅、硫化銅ア
ンモニウム、硫化銅カリウムなどがあげられる。前記銅
硫化物は、原子価を複数とりうるものがあるが、本発明
においてはいずれも使用しうる。銅の表面に前記銅硫化
物を含む層を形成する方法としては、例えば硫化ナトリ
ウム、硫化アンモニウム、硫化カリウム、硫化水素、硫
化水素アンモニウム、硫化水素カリウム、硫化水素カル
シウム、硫化水素ナトリウムおよび硫黄よりなる群から
選ばれた一種または二種以上の蒸気に暴露させる方法や
それらを0.1〜10%含む溶液を塗布する方法があげ
られる。前記塗布法としては、浸漬法、スプレー法、ロ
ールコート法、印刷法などがあげられる。
Examples of the copper sulfide include copper sulfide, copper ammonium sulfide, and copper potassium sulfide. The copper sulfide may have a plurality of valences, and any of them may be used in the present invention. As a method of forming the layer containing copper sulfide on the surface of copper, for example, sodium sulfide, ammonium sulfide, potassium sulfide, hydrogen sulfide, ammonium hydrogen sulfide, potassium hydrogen sulfide, calcium hydrogen sulfide, sodium hydrogen sulfide and sulfur Examples include a method of exposing to one or more kinds of vapors selected from the group and a method of applying a solution containing 0.1 to 10% thereof. Examples of the coating method include a dipping method, a spray method, a roll coating method, and a printing method.

【0017】前記銅ハロゲン化物としては、例えばフッ
化銅、塩化銅、シュウ化銅、ヨウ化銅があげられる。前
記銅ハロゲン化物は、原子価を複数とりうるものがある
が、本発明においてはいずれも使用しうる。銅表面に前
記銅ハロゲン化物を含む層を形成する方法としては、例
えば塩化第二銅、フッ化第二銅、臭化第二銅、臭素およ
びヨウ素よりなる群から選ばれた一種または二種以上の
蒸気に暴露させる方法やそれらを0.1%以上、好まし
くは3〜50%含む溶液を塗布する方法があげられる。
前記塗布法としては、浸漬法、スプレー法、ロールコー
ト法、印刷法などがあげられる。
Examples of the copper halide include copper fluoride, copper chloride, copper oxalate, and copper iodide. Some of the copper halides can have a plurality of valences, and any of them can be used in the present invention. As a method of forming a layer containing the copper halide on the copper surface, for example, one or two or more selected from the group consisting of cupric chloride, cupric fluoride, cupric bromide, bromine and iodine And a method of applying a solution containing 0.1% or more, preferably 3 to 50% of these.
Examples of the coating method include a dipping method, a spray method, a roll coating method, and a printing method.

【0018】前記銅ハロゲン化物を含む層を形成する方
法のうちでは、銅表面にハロゲン化第二銅3〜50%お
よび有機皮膜形成成分0.1〜10%を含む水溶液を塗
布して銅表面とハロゲン化第二銅を反応させ、ついで乾
燥させて有機皮膜を形成する方法が、作業性がよい、レ
ーザエネルギー吸収性が向上するなどの点から好まし
い。さらに、前記水溶液を塗布し、5〜120秒間おい
た後、乾燥させるのが、レーザエネルギー吸収性がさら
に向上するので好ましい。また、形成される有機皮膜の
厚さは20μm以下、さらには0.1〜10μmが好ま
しい。有機皮膜の厚さが20μmを超えると有機皮膜の
分解、蒸発に消費されるレーザエネルギーが大きくなり
すぎ、高いエネルギーを照射する必要が生じる。
In the method for forming a layer containing a copper halide, an aqueous solution containing 3 to 50% of cupric halide and 0.1 to 10% of an organic film-forming component is applied to the copper surface to form a copper surface. And a cupric halide are reacted with each other, and then dried to form an organic film, from the viewpoints of good workability and improved laser energy absorption. Further, it is preferable to apply the aqueous solution, leave it for 5 to 120 seconds, and then dry it, because the laser energy absorption is further improved. Further, the thickness of the formed organic film is preferably 20 μm or less, more preferably 0.1 to 10 μm. When the thickness of the organic film exceeds 20 μm, laser energy consumed for decomposition and evaporation of the organic film becomes too large, and it becomes necessary to irradiate high energy.

【0019】前記ハロゲン化第二銅としては、塩化第二
銅、臭化第二銅などが好ましい。前記有機皮膜形成成分
としては、メチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロ
ース、ヒドロキシプロピルセルロースなどのセルロース
エーテル類、ポリエチレンオキサイド、ポリビニルアル
コール、ポリビニルピロリドンなどの水溶性の有機化合
物の一種または二種以上が好ましい。
The cupric halide is preferably cupric chloride, cupric bromide or the like. As the organic film-forming component, one or more of water-soluble organic compounds such as cellulose ethers such as methylcellulose, hydroxyethylcellulose, and hydroxypropylcellulose, and polyethylene oxide, polyvinyl alcohol, and polyvinylpyrrolidone are preferable.

【0020】前記銅セレン化物としては、例えばセレン
化銅、セレン酸銅、亜セレン酸銅があげられる。前記銅
セレン化物は、原子価を複数とりうるものがあるが、本
発明においてはいずれも使用しうる。銅表面に前記銅セ
レン化物を含む層を形成する方法としては、例えばセレ
ン酸、亜セレン酸、セレン、二酸化セレン、セレン酸
銅、セレン化銅および亜セレン酸銅よりなる群から選ば
れた一種または二種以上を0.1〜50%を含む溶液を
塗布する方法があげられる。前記塗布法としては、浸漬
法、スプレー法、ロールコート法、印刷法などがあげら
れる。
Examples of the copper selenide include copper selenide, copper selenate, and copper selenite. The copper selenide may have a plurality of valences, but any of them can be used in the present invention. As a method of forming a layer containing the copper selenide on the copper surface, for example, selenic acid, selenous acid, selenium, selenium dioxide, copper selenate, one selected from the group consisting of copper selenide and copper selenite Alternatively, a method of applying a solution containing 0.1 to 50% of two or more kinds may be mentioned. Examples of the coating method include a dipping method, a spray method, a roll coating method, and a printing method.

【0021】前記銅リン酸塩としては、例えばリン酸銅
があげられる。前記銅リン酸塩は、原子価を複数とりう
るものがあるが、本発明においてはいずれも使用しう
る。銅表面に前記銅リン酸塩を含む層を形成する方法と
しては、例えばリン酸、リン酸水素2カリウムおよびリ
ン酸水素2アンモニウムよりなる群から選ばれた一種ま
たは二種以上を10〜70%を含む溶液を塗布する方法
があげられる。前記塗布法としては、浸漬法、スプレー
法、ロールコート法、印刷法などがあげられる。
The copper phosphate is, for example, copper phosphate. Some of the copper phosphates can have a plurality of valences, and any of them can be used in the present invention. As a method for forming the layer containing the copper phosphate on the copper surface, for example, one or two or more selected from the group consisting of phosphoric acid, dipotassium hydrogen phosphate and diammonium hydrogen phosphate may be used in an amount of 10 to 70%. Is applied. Examples of the coating method include a dipping method, a spray method, a roll coating method, and a printing method.

【0022】前記レーザ光吸収層のうちでは、銅ハロゲ
ン化物を含む層が該層形成作業時の安全性などの点から
好ましい。また、レーザ光吸収層の形成が前記塗布法で
行われる場合には、塗布液の調製のために前記有機皮膜
形成成分のほか、濡れ性や塗布作業性を向上させる界面
活性剤、粘度調製剤、有機溶剤、消泡剤などを配合して
もよい。
Among the laser light absorbing layers, a layer containing a copper halide is preferable from the viewpoint of safety in forming the layer. Further, when the laser light absorbing layer is formed by the coating method, in addition to the organic film forming component for preparing a coating solution, a surfactant for improving wettability and coating workability, a viscosity adjusting agent , An organic solvent, an antifoaming agent, and the like.

【0023】上記のように、銅表面にレーザ光吸収層を
形成することにより、金属材料の加工に汎用されている
炭酸ガスレーザで銅の孔あけができるようになる。
As described above, by forming the laser light absorbing layer on the copper surface, it becomes possible to make holes in copper with a carbon dioxide laser generally used for processing metal materials.

【0024】つぎに、前記層が形成された銅にレーザ光
が照射され、孔があけられる。前記レーザ光としては、
炭酸ガスレーザやYAGレーザのような赤外線レーザの
ほか、可視光レーザや紫外線レーザがあげられるが、本
発明においては、金属材料の加工に汎用されている赤外
線レーザであって、高いエネルギーが取り出せる炭酸ガ
スレーザが好ましい。レーザ光のエネルギーは5〜20
mJが好ましく、7〜15mJがさらに好ましい。前記
エネルギーの大きさや照射のショット数は、銅の厚さ、
絶縁層の厚さや種類により適宜調整される。
Next, the copper on which the layer is formed is irradiated with a laser beam to make holes. As the laser light,
In addition to infrared lasers such as a carbon dioxide laser and a YAG laser, there are visible lasers and ultraviolet lasers. In the present invention, a carbon dioxide laser that is widely used for processing metal materials and can extract high energy is used. Is preferred. Laser light energy is 5-20
mJ is preferable, and 7 to 15 mJ is more preferable. The size of the energy and the number of shots of irradiation, the thickness of copper,
It is appropriately adjusted depending on the thickness and type of the insulating layer.

【0025】孔あけを行なった後は、水、塩酸などの
酸、アンモニア水などのアルカリ性溶液、アルコールな
どの有機溶剤のごときレーザ光吸収層を溶解することの
できる液で洗浄することにより、孔の周りの銅表面に残
っているレーザ光吸収層が除去される。また、該層上に
樹脂の炭化物、微小な銅粉などが付着している場合に
は、それらが除去される。
After the hole is formed, the hole is washed with a solution that can dissolve the laser light absorbing layer, such as an acid such as water or hydrochloric acid, an alkaline solution such as aqueous ammonia, or an organic solvent such as alcohol. The laser light absorbing layer remaining on the copper surface around the substrate is removed. In addition, if carbides of resin, fine copper powder, and the like are attached to the layer, they are removed.

【0026】[0026]

【実施例】実施例1 両面に厚さ18μmの銅箔を張合わせたガラス布基材エ
ポキシ樹脂含浸銅張積層板(FR−4グレード)3の両
面に、樹脂付き銅箔(厚さ4μmの銅箔5にエポキシ樹
脂4を厚さ70μmになるようにコーティングしたもの
(三井金属鉱業(株)製のMR−600x4))6を積
層した(図1)。図中、1は絶縁層、2は銅箔である。
えられた積層板を、塩化第二銅・2水和物の10%水溶
液に20℃で1分間浸漬したのち、水洗し、乾燥するこ
とにより、銅箔5の表面に褐色の塩化銅の層7を形成し
た(図2)。つぎに層7に炭酸ガスレーザを10mJの出
力で1ショット照射することにより、樹脂付き銅箔の銅
箔5と樹脂4に径80μmの孔を開けることができた
(図3)。また、孔の周りの銅が飛散することはなかっ
た。
EXAMPLES Example 1 A resin-coated copper foil (4 μm thick) was coated on both sides of a glass cloth-based epoxy resin-impregnated copper-clad laminate (FR-4 grade) 3 in which copper foil having a thickness of 18 μm was laminated on both sides. A copper foil 5 coated with epoxy resin 4 to a thickness of 70 μm (MR-600 × 4 manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.)) 6 was laminated (FIG. 1). In the drawing, 1 is an insulating layer, and 2 is a copper foil.
The obtained laminate is immersed in a 10% aqueous solution of cupric chloride dihydrate at 20 ° C. for 1 minute, washed with water and dried to form a brown copper chloride layer on the surface of the copper foil 5. 7 was formed (FIG. 2). Next, the layer 7 was irradiated with one shot of a carbon dioxide gas laser at an output of 10 mJ, whereby a hole having a diameter of 80 μm could be formed in the copper foil 5 and the resin 4 of the copper foil with resin (FIG. 3). Further, the copper around the hole was not scattered.

【0027】実施例2 両面に厚さ18μmの銅箔を張合わせたガラス布基材エ
ポキシ樹脂含浸銅張積層板(FR−4グレード)3の両
面に、樹脂付き銅箔(厚さ12μmの銅箔5にエポキシ
樹脂4を厚さ70μmになるようにコーティングしたも
の(三井金属鉱業(株)製のMR−600−80V1
2))6を積層した(図1)。つぎに銅箔5の表面を、
メック(株)製のエッチング液HE−7000でエッチ
ングし、銅箔5の厚さを6μmにした。えられた積層板
を、硫化ナトリウム・9水和物1%および塩化アンモニ
ウム10%を含有する水溶液に20℃で1分間浸漬した
のち、水洗し、乾燥することにより、銅箔5の表面に硫
化銅の層7を形成した。つぎに層7に炭酸ガスレーザを
15mJの出力で1ショット照射することにより、樹脂
付き銅箔の銅箔5と樹脂4に径80μmの孔を開けるこ
とができた(図3)。また、孔の周りの銅が飛散するこ
とはなかった。
Example 2 A resin-coated copper foil (12 μm thick copper) was coated on both sides of an epoxy resin-impregnated copper-clad laminate (FR-4 grade) 3 having a 18 μm thick copper foil laminated on both sides. Foil 5 coated with epoxy resin 4 to a thickness of 70 μm (MR-600-80V1 manufactured by Mitsui Kinzoku Mining Co., Ltd.)
2)) 6 were laminated (FIG. 1). Next, the surface of the copper foil 5 is
The copper foil 5 was etched with an etching solution HE-7000 manufactured by Mec Co., Ltd. to a thickness of 6 μm. The obtained laminate is immersed in an aqueous solution containing 1% of sodium sulfide / 9-hydrate and 10% of ammonium chloride at 20 ° C. for 1 minute, washed with water and dried to form a sulfide on the surface of the copper foil 5. A copper layer 7 was formed. Next, by irradiating the layer 7 with one shot of a carbon dioxide gas laser at an output of 15 mJ, a hole having a diameter of 80 μm could be formed in the copper foil 5 and the resin 4 of the copper foil with resin (FIG. 3). Further, the copper around the hole was not scattered.

【0028】実施例3 臭化第二銅10%およびヒドロキシプロピルセルロース
1%を含有する水溶液を調製した。得られた水溶液を、
実施例2と同じ積層板の厚さ6μmの銅箔5の表面に、
厚さが10μmになるように印刷法で塗布し、一分間放
置した後乾燥させることにより、銅箔5の表面に臭化銅
を含む層7を形成した。つぎに層7に炭酸ガスレーザを
15mJの出力で1ショット照射することにより、樹脂
付き銅箔の銅箔5と樹脂4に径80μmの孔を開けるこ
とができた(図3)。また、孔の周りの銅が飛散するこ
とはなかった。
Example 3 An aqueous solution containing 10% cupric bromide and 1% hydroxypropylcellulose was prepared. The obtained aqueous solution is
On the surface of a 6 μm thick copper foil 5 of the same laminate as in Example 2,
A layer 7 containing copper bromide was formed on the surface of the copper foil 5 by applying by a printing method so that the thickness became 10 μm, leaving it to stand for one minute, and then drying. Next, by irradiating the layer 7 with one shot of carbon dioxide laser at an output of 15 mJ, a hole having a diameter of 80 μm could be formed in the copper foil 5 and the resin 4 of the copper foil with resin (FIG. 3). Further, the copper around the hole was not scattered.

【0029】比較例1 実施例1と同じ基板の銅箔5の表面に、レーザ光吸収層
を形成せず、実施例1と同じ条件で炭酸ガスレーザを照
射した。しかし、銅箔に孔を開けることはできなかっ
た。
Comparative Example 1 The surface of the copper foil 5 on the same substrate as in Example 1 was irradiated with a carbon dioxide gas laser under the same conditions as in Example 1 without forming a laser light absorbing layer. However, holes could not be made in the copper foil.

【0030】比較例2 実施例1と同じ基板を亜塩素酸塩を含む液に浸漬するこ
とにより、銅箔5の表面に褐色の酸化銅の層を形成し
た。つぎに実施例1と同じ条件で炭酸ガスレーザを照射
した。その結果、銅箔に孔を開けることができたが、孔
の周囲の銅箔の表面に銅が飛散し、それを除去するため
に研磨する必要があった。
Comparative Example 2 The same substrate as in Example 1 was immersed in a solution containing chlorite to form a brown copper oxide layer on the surface of the copper foil 5. Next, a carbon dioxide gas laser was irradiated under the same conditions as in Example 1. As a result, a hole could be formed in the copper foil, but copper was scattered on the surface of the copper foil around the hole, and it was necessary to polish the copper foil to remove it.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明によれば、銅表面に、特定の赤外
線レーザ光吸収層を形成することにより、処理工程を少
なくして、赤外線レーザ光の照射のみで銅と絶縁層に同
時に孔を開けることができる。
According to the present invention, by forming a specific infrared laser light absorbing layer on the copper surface, the number of processing steps can be reduced, and holes can be simultaneously formed in the copper and the insulating layer only by irradiating the infrared laser light. Can be opened.

【0032】[0032]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例の孔あけ法に適用するプリント配線板の
断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a printed wiring board applied to a drilling method according to an embodiment.

【図2】実施例の孔あけ法のためのプリント配線板の断
面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a printed wiring board for a drilling method according to an embodiment.

【図3】図2で示したプリント配線板に炭酸ガスレーザ
を照射することにより孔をあけたことを示す概念図であ
る。
FIG. 3 is a conceptual diagram showing that holes are made by irradiating the printed wiring board shown in FIG. 2 with a carbon dioxide gas laser.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 絶縁層 2 銅箔 3 両面に銅箔を張り合わせたガラス布基材エポキシ
樹脂含浸銅張積層板 4 エポキシ樹脂 5 銅箔 6 樹脂付き銅箔 7 レーザ光吸収剤層 8 炭酸ガスレーザ 9 孔
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Insulation layer 2 Copper foil 3 Glass cloth base material epoxy resin impregnated copper-clad laminate with copper foil laminated on both sides 4 Epoxy resin 5 Copper foil 6 Resin-coated copper foil 7 Laser light absorber layer 8 Carbon dioxide laser 9 Hole

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プリント配線板の銅の表面に、赤外線レ
ーザ光を吸収して銅を蒸発させる熱エネルギーを銅に与
えるレーザ光吸収層を形成した後、赤外線レーザ光を照
射して孔あけを行なうプリント配線板の孔あけ法であっ
て、前記レーザ光吸収層が、銅硫化物、銅ハロゲン化
物、銅セレン化物および銅リン酸塩よりなる群から選ば
れた一種または二種以上の銅化合物を含む層であること
を特徴とするプリント配線板の孔あけ法。
1. A method for forming a laser light absorbing layer on a copper surface of a printed wiring board, the method comprising: applying a thermal energy to copper for absorbing infrared laser light and evaporating copper; In the method of making a hole in a printed wiring board, the laser light absorbing layer comprises one or more copper compounds selected from the group consisting of copper sulfide, copper halide, copper selenide and copper phosphate. A method for forming a hole in a printed wiring board, comprising:
【請求項2】 前記レーザ光吸収層の形成が、銅表面に
硫化ナトリウム、硫化アンモニウム、硫化カリウム、硫
化水素、硫化水素アンモニウム、硫化水素カリウム、硫
化水素カルシウム、硫化水素ナトリウムおよび硫黄より
なる群から選ばれた一種または二種以上の蒸気またはそ
れらを0.1〜10重量%含む溶液と接触させる、塩化
第二銅、フッ化第二銅、臭化第二銅、臭素およびヨウ素
よりなる群から選ばれた一種または二種以上の蒸気また
はそれらを少なくとも0.1重量%含む溶液と接触させ
る、セレン酸、亜セレン酸、セレン、二酸化セレン、セ
レン酸銅、セレン化銅および亜セレン酸銅よりなる群か
ら選ばれた一種または二種以上を0.1〜50重量%含
む溶液と接触させる、またはリン酸、リン酸水素2カリ
ウムおよびリン酸水素2アンモニウムよりなる群から選
ばれた一種または二種以上を10〜70重量%含む溶液
と接触させることにより行われることを特徴とする請求
項1記載の孔あけ法。
2. The method according to claim 1, wherein the laser light absorbing layer is formed on the surface of copper by a group consisting of sodium sulfide, ammonium sulfide, potassium sulfide, hydrogen sulfide, ammonium hydrogen sulfide, potassium hydrogen sulfide, calcium hydrogen sulfide, sodium hydrogen sulfide and sulfur. One or more selected vapors or a solution containing 0.1 to 10% by weight thereof in contact with cupric chloride, cupric fluoride, cupric bromide, bromine and iodine Contacting with one or more selected vapors or a solution containing at least 0.1% by weight thereof, from selenic acid, selenite, selenium, selenium dioxide, copper selenate, copper selenide and copper selenite Contacting with a solution containing 0.1 to 50% by weight of one or more selected from the group consisting of phosphoric acid, dipotassium hydrogen phosphate and phosphoric acid water 2. The method according to claim 1, wherein the method is carried out by contacting with a solution containing 10 to 70% by weight of one or more selected from the group consisting of diammonium hydrogen.
【請求項3】 前記レーザ光吸収層が銅ハロゲン化物で
あり、その形成が銅表面にハロゲン化第二銅3〜50重
量%および有機皮膜形成成分0.1〜10重量%を含む
水溶液を塗布し、乾燥させることにより行われることを
特徴とする請求項1記載の孔あけ法。
3. The laser light absorbing layer is a copper halide, and is formed by applying an aqueous solution containing 3 to 50% by weight of cupric halide and 0.1 to 10% by weight of an organic film forming component on a copper surface. 2. The method according to claim 1, wherein the drying is performed by drying.
【請求項4】 プリント配線板の銅の表面に、赤外線レ
ーザ光で孔をあけるため、前記銅の表面に銅ハロゲン化
物の層を形成させる表面処理剤であって、ハロゲン化第
二銅3〜50重量%および有機皮膜形成成分0.1〜1
0重量%を含む水溶液からなることを特徴とする表面処
理剤。
4. A surface treating agent for forming a copper halide layer on the surface of said copper to form a hole on the surface of said printed wiring board with infrared laser light. 50% by weight and organic film-forming component 0.1-1
A surface treating agent comprising an aqueous solution containing 0% by weight.
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