JP2001139824A - Paste for calcination - Google Patents
Paste for calcinationInfo
- Publication number
- JP2001139824A JP2001139824A JP32483799A JP32483799A JP2001139824A JP 2001139824 A JP2001139824 A JP 2001139824A JP 32483799 A JP32483799 A JP 32483799A JP 32483799 A JP32483799 A JP 32483799A JP 2001139824 A JP2001139824 A JP 2001139824A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- paste
- rib
- weight
- frit
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Glass Compositions (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルやプラズマアドレス液晶ディスプレイなどの
基板にサンドブラスト法でリブを形成する際に用いられ
る焼成用ペーストに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a firing paste used for forming ribs on a substrate such as a plasma display panel or a plasma addressed liquid crystal display by a sandblast method.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般にプラズマディスプレイパネル(以
下、PDPと記す)は、2枚の対向するガラス基板にそ
れぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、その間にN
e,Xe等を主体とするガスを封入した構造になってい
る。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周辺
の微小なセル内で放電を発生させることにより、各セル
を発光させて表示を行うようにしている。情報表示をす
るためには、規則的に並んだセルを選択的に放電発光さ
せる。このPDPには、電極が放電空間に露出している
直流型(DC型)と絶縁層で覆われている交流型(AC
型)の2タイプがあり、双方とも表示機能や駆動方法の
違いによって、さらにリフレッシュ駆動方式とメモリー
駆動方式とに分類される。2. Description of the Related Art Generally, a plasma display panel (hereinafter, referred to as a PDP) is provided with a pair of regularly arranged electrodes on two opposing glass substrates, and an N-electrode therebetween.
It has a structure in which a gas mainly composed of e, Xe or the like is sealed. Then, a voltage is applied between these electrodes, and a discharge is generated in minute cells around the electrodes, so that each cell emits light and display is performed. In order to display information, regularly arranged cells are selectively caused to emit light. This PDP has a direct current type (DC type) in which electrodes are exposed to the discharge space and an alternating current type (AC type) in which electrodes are covered with an insulating layer.
Type), both of which are further classified into a refresh driving method and a memory driving method according to the difference in display function and driving method.
【0003】図1にAC型PDPの一構成例を示す。こ
の図は前面板と背面板を離した状態で示したもので、図
示のように2枚のガラス基板1,2が互いに平行に且つ
対向して配設されており、両者は背面板となるガラス基
板2上に互いに平行に設けられたリブ3により一定の間
隔に保持されるようになっている。前面板となるガラス
基板1の背面側には透明電極である維持電極4と金属電
極であるバス電極5とで構成される複合電極が互いに平
行に形成され、これを覆って誘電体層6が形成されてお
り、さらにその上に保護層7(MgO層)が形成されて
いる。また、背面板となるガラス基板2の前面側には前
記複合電極と直交するようにリブ3の間に位置してアド
レス電極8が互いに平行に形成されており、これを覆っ
て誘電体層9が形成され、さらにリブ3の壁面とセル底
面を覆うようにして蛍光体10が設けられている。この
AC型PDPは面放電型であって、前面板上の複合電極
間に交流電圧を印加し、放電させる構造である。そして
この放電により生じる紫外線により蛍光体10を発光さ
せ、前面板を透過する光を観察者が視認するようになっ
ている。FIG. 1 shows a configuration example of an AC type PDP. This figure shows the front plate and the back plate separated from each other. As shown in the figure, two glass substrates 1 and 2 are arranged in parallel and opposed to each other, and both become the back plate. The ribs 3 provided on the glass substrate 2 in parallel with each other are held at regular intervals. On the back side of the glass substrate 1 serving as a front plate, composite electrodes composed of a sustain electrode 4 which is a transparent electrode and a bus electrode 5 which is a metal electrode are formed in parallel with each other, and a dielectric layer 6 is covered thereover. The protective layer 7 (MgO layer) is further formed thereon. On the front side of the glass substrate 2 serving as the back plate, address electrodes 8 are formed between the ribs 3 so as to be orthogonal to the composite electrodes and are formed in parallel with each other. Are formed, and a phosphor 10 is provided so as to cover the wall surface of the rib 3 and the cell bottom surface. This AC type PDP is of a surface discharge type, and has a structure in which an AC voltage is applied between composite electrodes on the front panel to discharge. Then, the phosphor 10 emits light by the ultraviolet light generated by the discharge, so that an observer can visually recognize the light transmitted through the front plate.
【0004】上記の如きPDPにおけるリブは、低融点
ガラス中にアルミナ等の金属酸化物が分散したものから
構成されている。そのリブを形成するためには、低融点
ガラス粉末、無機質充填剤粉末(フィラー)及び溶剤に
溶解した樹脂溶液等を混練して得られるペーストを用い
てパターン印刷するほか、ペーストを基板全面に塗工し
て乾燥させることでリブ形成材料層を形成し、その上に
ドライフィルムと呼ばれる感光性レジストを積層し、露
光とそれに続く現像を行ってレジストパターンを形成し
た後、サンドブラストによって不要部分を除去する方法
によりリブ形成層をパターニングする。そして、このよ
うにしてリブ形成層をパターニングした後、焼成炉の中
を通して、樹脂分及び溶剤分を燃焼させて除去するとと
もに、低融点ガラス粉末を溶融させることによりリブを
形成する。[0004] The ribs in the above-mentioned PDP are made of low melting glass in which a metal oxide such as alumina is dispersed. To form the ribs, pattern printing is performed using a paste obtained by kneading a low-melting glass powder, an inorganic filler powder (filler), a resin solution dissolved in a solvent, and the like. After forming a rib forming material layer by processing and drying, laminating a photosensitive resist called a dry film on it, performing exposure and subsequent development to form a resist pattern, and removing unnecessary parts by sandblasting The rib forming layer is patterned by the method described above. Then, after the rib forming layer is patterned in this way, the resin and the solvent are removed by burning through a firing furnace, and the rib is formed by melting the low melting point glass powder.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記したサンドブラス
ト法によりリブを形成する方法は、良好な線幅精度が得
られる点で優れているが、大量の研削されたリブフリッ
トが発生するという欠点を有している。そこで、コスト
と環境問題の観点から、この研削されたリブフリットを
再利用することが望まれている。再利用に関しては、ま
ずサンドブラストの研削材と研削されたリブフリットを
分離する必要があるが、この点については、ブラスト装
置に付属するサイクロンによりエアーセパレータ分級し
た後に更なる分級装置を用いることにより、研削された
リブフリットのみを抽出することができる。しかしなが
ら、抽出したリブフリットに多少の組成調整を行い、溶
剤に再溶解して再ペースト化する時に、新規ペーストと
同様な固形分比でペーストを作製すると、新品ペースト
と比べてかなり粘度が低いペーストとなり、塗工等のプ
ロセスを変更せざるを得ない。また、この問題点とは別
に、サンドブラスト法によるリブ形成では、サンドブラ
ストを行った後に基板をシャワー水洗し、その後でアル
カリ液を作用させてドライフィルムを剥離し、さらにア
ルカリ分の除去を目的としたシャワー水洗を行う等の工
程が必要である。これらいずれかの工程で、密着力が弱
ったり水が浸透したりして、リブの一部が除かれたり或
いは倒れたりすることが起こる。The method of forming ribs by the above-mentioned sand blast method is excellent in that good line width accuracy can be obtained, but has a disadvantage that a large amount of ground rib frit is generated. ing. Therefore, it is desired to reuse the ground rib frit from the viewpoint of cost and environmental problems. Regarding reuse, it is necessary to first separate the sandblasted abrasive and the ground rib frit, but in this regard, the air separator is classified by the cyclone attached to the blasting device, and then the grinding is performed by using a further classification device. Only the rib frit obtained can be extracted. However, when making a slight composition adjustment to the extracted rib frit, re-dissolving in a solvent and re-pasting, if the paste is made with the same solid content ratio as the new paste, the paste becomes considerably lower in viscosity than the new paste. Process, such as coating, must be changed. In addition, apart from this problem, in the rib formation by the sand blast method, the substrate was washed with shower water after sand blasting, and then the dry film was peeled off by applying an alkali solution, and the purpose was to further remove alkali components. A process such as shower water washing is required. In any of these steps, a part of the rib is removed or falls down due to weak adhesion or penetration of water.
【0006】抽出したリブフリットで再ペースト化する
時に、新規ペーストと同様な固形分比でペーストを作製
すると、新品ペーストと比べてかなり粘度が低いペース
トになる理由としては、含有している樹脂成分が、ペー
ストを塗工して乾燥する際に150℃程度の熱処理がな
されて熱劣化を起こしていることが考えられる。具体的
には、樹脂成分の分子量が低下したことに起因する劣化
である。ペーストの粘度が多少(±20%程度)変動す
る程度ならば対応が可能であるが、それ以上になると対
応できなくなる。また、対応できたとしても、プロセス
の安定化という観点では問題が残る。[0006] When the paste is prepared with the same solid content ratio as the new paste when re-pasting with the extracted rib frit, the reason for the paste having a considerably lower viscosity than the new paste is that the contained resin component is It is conceivable that a heat treatment of about 150 ° C. was performed when the paste was applied and dried, resulting in thermal deterioration. Specifically, the deterioration is caused by a decrease in the molecular weight of the resin component. If the viscosity of the paste fluctuates a little (about ± 20%), it is possible to cope with it. Even if the measures can be taken, problems remain from the viewpoint of stabilizing the process.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ため、本発明は、リブ形成用の焼成用ペーストの樹脂成
分として、低分子量タイプのものを用いることとし、中
でも、ワックス類との相溶性が良好で、皮膜としたとき
に強靱性、熱安定性、耐アルカリ性に優れた樹脂を使用
することとしている。このような樹脂を成分とするペー
ストを用いてサンドブラスト法によりリブを形成したと
すると、塗膜の乾燥時に樹脂劣化(分子量の低下)が起
こらず、したがって研削されたリブフリットを再利用し
た場合に起こるペーストの粘度低下が改善される。ま
た、研削されたリブフリットを再利用したペーストを使
用しても、水洗やアルカリ液への浸漬の際にリブの一部
が欠けたり倒れたりすることがなくなる。In order to solve the above problems, the present invention uses a low molecular weight type resin component as a resin component of a firing paste for forming ribs. A resin having good compatibility and excellent in toughness, heat stability and alkali resistance when formed into a film is to be used. If ribs are formed by sandblasting using a paste containing such a resin as a component, resin deterioration (decrease in molecular weight) does not occur when the coating film is dried, and thus occurs when the ground rib frit is reused. The viscosity reduction of the paste is improved. In addition, even when a paste in which the ground rib frit is reused is used, a part of the rib is not chipped or falls during washing with water or immersion in an alkaline solution.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】本発明に係る焼成用ペーストは、
少なくとも低融点ガラス粉末、樹脂、溶剤から構成され
る焼成用ペーストであって、バインダーとしての樹脂成
分の数平均分子量(Mn)が30000以下であること
を特徴とする。すなわち、数平均分子量(Mn)が30
000を越えるような樹脂をバインダーに用いた場合、
ペーストを塗工して乾燥する際に樹脂が熱劣化を起こし
て相対的に粘度が低下してしまうが、数平均分子量(M
n)が30000以下の樹脂をバインダーに用いたペー
ストでは、塗工して乾燥する際に熱劣化を起こす割合が
少なく、それ程大きな粘度の低下は起こらない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The firing paste according to the present invention comprises:
A firing paste comprising at least a low-melting glass powder, a resin, and a solvent, wherein the resin component as a binder has a number average molecular weight (Mn) of 30,000 or less. That is, the number average molecular weight (Mn) is 30
When using a resin that exceeds 000 for the binder,
When the paste is applied and dried, the resin undergoes thermal deterioration and the viscosity relatively decreases, but the number average molecular weight (M
In a paste using a resin having n) of 30,000 or less as a binder, the rate of causing thermal deterioration when coating and drying is small, and the viscosity does not decrease so much.
【0009】従来の焼成用ペーストは、そのバインダー
に主としてエチルセルロース(「STD100」(Mn
=68000))を用いている。この「STD100」
の熱による粘度の変化を見るために、150℃で熱処理
した後でフリットを加えてペースト化すると、熱処理を
しない「STD100」にフリットを加えてペースト化
したものと比べて、ペースト評価での粘度が96Pas
→76Pas(−20.8%)と低下する。この変化の
度合いは大きいので、塗工条件が変わってしまう。そこ
で、数平均分子量が30000以下のエチルセルロース
である「STD10」(Mn=27000)と「STD
4」(Mn=14000)について、同じ条件で熱によ
る粘度の変化を見ると、ペースト評価での粘度がそれぞ
れ96Pas→82Pas(−14.5%)、96Pa
s→90Pas(−0.06%)と小幅で低下し、この
程度の粘度の変化では塗工条件を変える必要はない。Conventional baking pastes mainly use ethyl cellulose (“STD100” (Mn)) as a binder.
= 68000)). This "STD100"
In order to see the change in viscosity due to heat, when heat-treated at 150 ° C. and then frit was added to make a paste, the viscosity in the paste evaluation was compared to that obtained by adding a frit to the non-heat-treated “STD100” and pasting. Is 96 Pas
→ It decreases to 76 Pas (-20.8%). Since the degree of this change is large, the coating conditions change. Therefore, "STD10" (Mn = 27000), which is ethyl cellulose having a number average molecular weight of 30,000 or less, and "STD10"
For "4" (Mn = 14000), the change in viscosity due to heat under the same conditions is as follows. The viscosity in the paste evaluation is 96 Pas → 82 Pas (−14.5%) and 96 Pas, respectively.
s → 90 Pas (-0.06%), which is a small decrease, and it is not necessary to change the coating conditions for such a change in viscosity.
【0010】本発明の焼成用ペーストに用いるバインダ
ー用の樹脂としては、セルロース誘導体であるエチルセ
ルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、メチルセル
ロース、ニトロセルロース、酢酸セルロース、または酪
酢酸セルロース等が適しているほか、ポリビニルホルマ
ール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、各種のアクリル
樹脂、またはポリエステル系樹脂(例えば、アルキッド
樹脂等)等も使用することができる。As the resin for the binder used in the firing paste of the present invention, cellulose derivatives such as ethylcellulose, hydroxypropylcellulose, methylcellulose, nitrocellulose, cellulose acetate and cellulose butyrate are suitable. , Polyvinyl butyral resin, various acrylic resins, or polyester resins (for example, alkyd resins) can also be used.
【0011】上記した樹脂の中でもエチルセルロースを
使用するのが望ましい。エチルセルロースは、分子中に
含まれるエトキシ基の含有量により、STD(スタンダ
ード)、MED(メジアム)、HE(ハイエトキシ)の
3種類があり、さらに各タイプには様々な粘度を示す品
種がある。例えば「STD100」は、スタンダードタ
イプで粘度が100cpsのエチルセルロースであるこ
とを表している。ここで各タイプの特長を示すと表1の
ようである。この表1を見れば、皮膜の強靱性、引張強
度、硬度、耐磨耗性からして、ペーストのバインダーと
しては、STD型とMED型が選択されることが分か
る。一方、各タイプのエトキシ基含有量は、STD型が
48〜49.5%、MED型が45〜46.5%、HE
型が49.5〜52%であり、このことと表1とを勘案
すれば、エトキシ基(−OC2 H5)の含有量が49.
5%以下のエチルセルロースを使用するのが好ましいこ
とが分かる。It is desirable to use ethyl cellulose among the above resins. Ethyl cellulose is classified into three types, STD (standard), MED (medium), and HE (high ethoxy), depending on the content of ethoxy groups contained in the molecule. Further, each type has a variety exhibiting various viscosities. For example, “STD100” indicates that it is a standard type ethyl cellulose having a viscosity of 100 cps. Table 1 shows the features of each type. From Table 1, it can be seen that STD type and MED type are selected as the paste binder in view of the toughness, tensile strength, hardness and abrasion resistance of the film. On the other hand, the ethoxy group content of each type is 48-49.5% for the STD type, 45-46.5% for the MED type, and HE
The type is 49.5 to 52%, and considering this and Table 1, the content of the ethoxy group (—OC 2 H 5 ) is 49.
It can be seen that it is preferable to use 5% or less of ethyl cellulose.
【0012】[0012]
【表1】 [Table 1]
【0013】ペーストに用いる低融点ガラス粉末は、焼
成後のリブにおいてはリブを構成するバインダーのよう
な働きをするもので、そのガラス転移点(Tg)は、ペ
ースト中の樹脂が焼成により完全に消失する温度以上で
なければならず、また低融点ガラス粉末の軟化点は、ガ
ラスを基板としてリブを形成する際には基板のガラスが
変形する温度以下でなければならない。通常、低融点ガ
ラス粉末のガラス転移点は350〜500℃、軟化点は
400〜600℃である。The low-melting glass powder used in the paste functions as a binder constituting the ribs in the fired ribs, and its glass transition point (Tg) is determined by the fact that the resin in the paste is completely fired. The softening point of the low melting glass powder must be lower than the temperature at which the glass of the substrate is deformed when ribs are formed using glass as a substrate. Usually, the glass transition point of the low melting glass powder is 350 to 500 ° C, and the softening point is 400 to 600 ° C.
【0014】本発明の焼成用ペーストにおける低融点ガ
ラス粉末は、鉛系のものを用いる場合、少なくとも次の
組成物を含むものとすることができる。 (1)酸化鉛:35〜60重量% (2)酸化珪素:5〜25重量% (3)酸化ホウ素:13〜10重量%When the low melting glass powder in the firing paste of the present invention uses a lead-based glass powder, it can contain at least the following composition. (1) Lead oxide: 35 to 60% by weight (2) Silicon oxide: 5 to 25% by weight (3) Boron oxide: 13 to 10% by weight
【0015】また、本発明の焼成用ペーストにおける低
融点ガラス粉末は、非鉛系のものを用いる場合、少なく
とも次の組成物を含むものとすることができる。 (1)酸化ホウ素:1〜15重量% (2)酸化亜鉛:15〜35重量% (3)酸化ビスマス:5〜25重量%When a low-melting glass powder in the firing paste of the present invention is a lead-free glass powder, it may contain at least the following composition. (1) Boron oxide: 1 to 15% by weight (2) Zinc oxide: 15 to 35% by weight (3) Bismuth oxide: 5 to 25% by weight
【0016】いずれの低融点ガラス粉末の場合も、各成
分が上記の範囲外だと、PDP用のリブペーストとして
採用することができない。すなわち、量が少ないと軟化
点が高くなって焼成温度で軟化しなくなり、逆に量が多
いと軟化点が低くなってリブが焼成時に倒れてしまう。In any of the low melting point glass powders, if each component is out of the above range, it cannot be used as a rib paste for PDP. That is, when the amount is small, the softening point becomes high and the softening point is not softened at the sintering temperature.
【0017】ペーストに用いる溶剤としては、取扱上の
観点から高沸点のものが好ましく、α−、β−、もしく
はγ−テルピネオールのようなテルペン類、エチレング
リコールモノアルキルエーテル類、エチレングリコール
ジアルキルエーテル類、ジエチレングリコールモノアル
キルエーテル類、ジエチレングリコールジアルキルエー
テル類、エチレングリコールモノアルキルエーテルアセ
テート類、エチレングリコールジアルキルエーテルアセ
テート類、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル
アセテート類、ジエチレングリコールジアルキルエーテ
ルアセテート類、プロピレングリコールモノアルキルエ
ーテル類、プロピレングリコールジアルキルエーテル
類、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテ
ート類、プロピレングリコールジアルキルエーテルアセ
テート類、メタノール、エタノール、イソプロパノー
ル、2−エチルヘキサノール、1−ブトキシ−2−プロ
パノール等のアルコールを単独で、または任意に選択し
た2種類以上を混合して使用する。The solvent used for the paste is preferably a solvent having a high boiling point from the viewpoint of handling. Terpenes such as α-, β- or γ-terpineol, ethylene glycol monoalkyl ethers, ethylene glycol dialkyl ethers , Diethylene glycol monoalkyl ethers, diethylene glycol dialkyl ethers, ethylene glycol monoalkyl ether acetates, ethylene glycol dialkyl ether acetates, diethylene glycol monoalkyl ether acetates, diethylene glycol dialkyl ether acetates, propylene glycol monoalkyl ethers, propylene glycol dialkyl Ethers, propylene glycol monoalkyl ether acetates, propylene glycol Call dialkyl ether acetates, methanol, ethanol, isopropanol, 2-ethylhexanol, alone alcohol such as 1-butoxy-2-propanol, or optionally used in combination of two or more kinds selected.
【0018】上記した樹脂と高沸点溶剤とは、溶解性を
考慮して選択した上で、溶解して樹脂溶液とし、この中
に種々の添加剤や粉末状の粒子を溶解ないし分散させ、
ペーストとする。The above-mentioned resin and high-boiling-point solvent are selected in consideration of solubility and dissolved to form a resin solution, in which various additives and powdery particles are dissolved or dispersed.
Paste.
【0019】本発明の焼成用ペーストには、分散安定剤
を添加するのが好ましい。その分散安定剤としては、ポ
リカルボン酸(脂肪族系多価カルボン酸)もしくはその
塩、リン酸エステル、ポリアミドアマイドリン酸もしく
はその塩、またはポリアミドアマイドと高分子酸ポリエ
ステルとの塩が適しており、これらのうちでも、リン酸
エステルを主成分とする界面活性剤は、ペーストに塗布
に適した流動性を与え、かつ、保存安定性を向上させる
意味で特に好ましい。It is preferable to add a dispersion stabilizer to the firing paste of the present invention. As the dispersion stabilizer, a polycarboxylic acid (aliphatic polycarboxylic acid) or a salt thereof, a phosphoric acid ester, a polyamide amide phosphoric acid or a salt thereof, or a salt of a polyamide amide and a polymer acid polyester is suitable. Among them, a surfactant containing a phosphate ester as a main component is particularly preferable in terms of imparting fluidity suitable for application to the paste and improving storage stability.
【0020】本発明の焼成用ペーストには、用途による
必要性に応じて、金属粉末、金属酸化物粉末、導電性物
質粉末、誘電体粉末、顔料等を添加することができる。To the firing paste of the present invention, a metal powder, a metal oxide powder, a conductive substance powder, a dielectric powder, a pigment, and the like can be added as required according to the application.
【0021】このうち、金属酸化物粉末は、骨材として
も使用することができる。骨材は、焼成して形成される
リブの形態および強度を維持する役割を持つ。例えば、
ジルコン、ジルコニア、アルミナ、チタニア、シリカ、
酸化チタン、マグネシア、ムライト、コージュライト
(もしくはコージーライト)、炭化ケイ素、窒化アルミ
ニウム、もしくはチタン酸バリウム等の酸化物系もしく
は非酸化物系のセラミックスがある。ガラスも骨材とし
ての役割を果たす。Among them, the metal oxide powder can be used as an aggregate. The aggregate plays a role in maintaining the shape and strength of the ribs formed by firing. For example,
Zircon, zirconia, alumina, titania, silica,
There are oxide or non-oxide ceramics such as titanium oxide, magnesia, mullite, cordierite (or cordierite), silicon carbide, aluminum nitride, and barium titanate. Glass also serves as an aggregate.
【0022】金属粉末としては、プラズマディスプレイ
パネルの前面板に陰極を形成する際に用いるアルミニウ
ム粉末、背面板のリブ電極を形成する際に用いるルテニ
ウム等が用いられる。導電性物質粉末としては、金、
銀、銅、クロム、ニッケル、アルミニウム等の金属粉
末、In2 O3 /Sn、ZnO/Al、TiOX 、K2
O・TiOX 、もしくはSnO2 /Sb等の導電性無機
酸化物がある。誘電体粉末としては、その誘電体の大き
さに応じて使い分けることができるが、チタニア、アル
ミナ、ジルコニア等の無機酸化物がある。As the metal powder, aluminum powder used for forming a cathode on a front plate of a plasma display panel, ruthenium used for forming a rib electrode on a back plate, and the like are used. As the conductive substance powder, gold,
Metal powders such as silver, copper, chromium, nickel, and aluminum, In 2 O 3 / Sn, ZnO / Al, TiO x , K 2
There is a conductive inorganic oxide such as O.TiO x or SnO 2 / Sb. The dielectric powder can be properly used depending on the size of the dielectric, and includes inorganic oxides such as titania, alumina, and zirconia.
【0023】本発明の焼成用ペーストには、着色を目的
として積極的に着色剤を添加することがある。この場
合、焼成温度以上の温度での耐熱性があることが望まし
いことから通常は無機質系の顔料が使用される。顔料と
しては、2種以上の金属の酸化物からなる複合酸化物系
顔料(金属としては、Cu、Co、Ni、Fe、Mn、
Cu、Sb、As、Bi、Ti、Cd、Al、Ca、S
i、Mg、もしくはBa等から2種以上選択され
る。)、酸化チタン、アルミナ、シリカ、マグネシア、
チタン酸鉛、チタン酸カリウム、硫セレン化カドミウ
ム、弁柄(Fe2 O3 )、亜酸化銅、カドミウム水銀赤
(CdS+HgS)、クロムバーミリオン、銀朱、アン
チモン赤、ヨード赤、ジンクアイアンレッド、モリブデ
ン赤、鉛丹、カドミウムレッド、クロムグリーン、亜鉛
緑、コバルトグリーン、酸化クロム、ビリジアン、エメ
ラルドグリーン群青、紺青、コバルトブルー、セルリア
ンブルー、硫化銅、チタンイエロー、チタンブラック、
黒色酸化鉄(Fe3 O4 )、黄色酸化鉄、カドミウムイ
エロー、もしくは黄鉛等が使用でき、目的に合わせて適
宜に選択して用いる。In the firing paste of the present invention, a coloring agent may be positively added for the purpose of coloring. In this case, since it is desirable to have heat resistance at a temperature higher than the firing temperature, an inorganic pigment is usually used. As the pigment, a composite oxide-based pigment composed of oxides of two or more metals (metals such as Cu, Co, Ni, Fe, Mn,
Cu, Sb, As, Bi, Ti, Cd, Al, Ca, S
Two or more kinds are selected from i, Mg, Ba and the like. ), Titanium oxide, alumina, silica, magnesia,
Lead titanate, potassium titanate, cadmium sulfate selenide, red iron oxide (Fe 2 O 3 ), cuprous oxide, cadmium mercury red (CdS + HgS), chrome vermilion, silver vermilion, antimony red, iodine red, zinc iron red, molybdenum Red, lead red, cadmium red, chrome green, zinc green, cobalt green, chromium oxide, viridian, emerald green ultramarine, navy blue, cobalt blue, cerulean blue, copper sulfide, titanium yellow, titanium black,
Black iron oxide (Fe 3 O 4 ), yellow iron oxide, cadmium yellow, or graphite can be used, and is appropriately selected and used according to the purpose.
【0024】本発明の焼成用ペーストには、シランカッ
プリング剤などのカップリング剤は添加しない。すなわ
ち、ペーストにおける樹脂分を多くすることでリブ倒れ
を防ぐことができるからである。もし、このような添加
剤を入れると、熱により効果がなくなるので、再ペース
ト化のときに新たに添加することになる。そうすると熱
劣化分を含め、無機分(Si)が再生のたびに増加して
しまうが、増えると残骸が増加して組成が変わってしま
うことにもなる。No coupling agent such as a silane coupling agent is added to the firing paste of the present invention. That is, the rib fall can be prevented by increasing the resin content in the paste. If such an additive is added, the effect is lost due to heat, so that it must be newly added at the time of repasting. Then, the inorganic component (Si), including the thermal degradation component, increases each time the material is regenerated, but if it increases, the debris increases and the composition changes.
【0025】本発明の焼成用ペーストは、プラズマディ
スプレイパネルの背面板にサンドブラスト法によりリブ
を形成するに際して特に好適に使用される。その方法
は、具体的には、本発明になる焼成用ペーストを基板上
に塗工して乾燥させ、その上にドライフィルムをラミネ
ートした後、パターン露光とそれに続く現像を行うこと
により所望のリブパターン用マスクを形成し、次いで、
そのマスクが形成されていない部分をサンドブラスト法
で研削した後、マスクを除去してから、基板の焼成を行
う。The firing paste of the present invention is particularly suitably used when forming ribs on the back plate of a plasma display panel by a sandblast method. Specifically, the method comprises applying the firing paste according to the present invention to a substrate, drying the applied paste, laminating a dry film thereon, and performing pattern exposure and subsequent development to obtain a desired rib. Form a mask for the pattern, then
After the portion where the mask is not formed is ground by sandblasting, the mask is removed, and then the substrate is baked.
【0026】サンドブラスト加工時に生じる研削粉末は
回収され、ブラスト装置に付属するサイクロンによりエ
アーセパレータ分級した後に更なる分級装置を用いるこ
とにより、研削材と研削されたリブフリットとに分離さ
れる。このリブフリットを用いて再ペースト化するに際
して、リブフリットには研削材の微粉末が混入している
ため、組成調整を行って再ペーストの作製に再利用す
る。この場合、リブフリットには既に樹脂が混入してい
るので、再ペースト化に際しては組成調整のみならず、
樹脂量の調整も必要となる。したがって、再ペーストの
作製方法は新品とは異なり、樹脂混入フリットに不足成
分のビヒクルとそれに対応する希釈溶剤を混合してペー
スト化した後に、所定割合で新品ペーストを混合する。
このようにして作製した再ペーストは、樹脂成分が殆ど
熱劣化を起こしていないことから、新品ペーストに比べ
て粘度低下が少なく、塗工等のプロセスを変更すること
なく使用できる。The grinding powder generated during the sand blasting process is collected, separated by an air separator by a cyclone attached to the blasting device, and then separated into abrasive and ground rib frit by using a further classifying device. At the time of re-pasting using the rib frit, since fine powder of an abrasive is mixed in the rib frit, the composition is adjusted and reused for producing a re-paste. In this case, the resin is already mixed in the rib frit, so not only the composition adjustment but also the re-pasting is performed.
It is also necessary to adjust the amount of resin. Therefore, the method of producing the re-paste is different from a new one, in which a vehicle with insufficient components and a corresponding diluent solvent are mixed into a resin-mixed frit to form a paste, and then a new paste is mixed at a predetermined ratio.
Since the re-paste thus produced hardly undergoes thermal deterioration of the resin component, the viscosity of the re-paste is less reduced than that of a new paste, and can be used without changing processes such as coating.
【0027】[0027]
【実施例】以下、PDPの基板上に高精細リブを形成す
る一連の工程を挙げて本発明の実施例を説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to a series of steps for forming high-definition ribs on a PDP substrate.
【0028】(実施例1)平面的な大きさが1000×
600mmで厚さが2.8mmであるガラス基板を用意
し、その片側の表面に150μmの間隔で平行なストラ
イプ状をなす多数の電極をスクリーン印刷で形成する。
そして、このガラス基板の電極側の全表面に、下記組成
Aの焼成用ペーストをダイコーターで一括コーティング
し、150℃で30分間乾燥して固化させてリブ形成材
料層を形成する。(Embodiment 1) The planar size is 1000 ×
A glass substrate having a thickness of 600 mm and a thickness of 2.8 mm is prepared, and a large number of parallel striped electrodes are formed on one surface by screen printing at intervals of 150 μm.
Then, the entire surface on the electrode side of the glass substrate is collectively coated with a firing paste having the following composition A by a die coater, dried at 150 ° C. for 30 minutes and solidified to form a rib-forming material layer.
【0029】 <組成A> ・ガラスフリット 100重量部 (旭ガラス(株)製「RFB024D1」) ・無機質充填剤 14重量部 (住友化学工業(株)製「スミコランタ゛ム AA−07」) ・顔料(Cu−Cr系) 11重量部 (大日精化工業(株)製「タ゛イヒ゜ロキサイト゛フ゛ラック#9510」) ・エチルセルロース 2重量部 (日新化成(株)製「エトセルMED100」) ・テルピネオール 21重量部 ・ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート 21重量部<Composition A>-100 parts by weight of glass frit ("RFB024D1" manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.)-14 parts by weight of inorganic filler ("Sumikorantam AA-07" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.)-Pigment ( 11 parts by weight (Daiichi Seikagaku Kogyo Co., Ltd. “Thai Peroxysite Frac # 9510”) ・ Ethyl cellulose 2 parts by weight (Nissin Kasei Co., Ltd. “Ethocel MED100”) ・ Terpineol 21 parts by weight ・Diethylene glycol monobutyl ether acetate 21 parts by weight
【0030】次いで、リブ形成材料層の全表面にドライ
フィルム(東京応化工業(株)製「オーディルBF60
3」)をラミネートし、露光とそれに続く現像を行い、
リブ形成材料層上にサンドブラスト用マスクとしてパタ
ーン状のレジスト層を形成する。現像液は炭酸ナトリウ
ム0.2%水溶液を使用する。なお、本実施例のレジス
ト層のパターンは、幅50μmで間隔100μmの平行
なストライプ状をなしており、ガラス基板の表面上の電
極がレジスト層の間隔100μmの間のほぼ中央に位置
するように配置した。Next, a dry film ("Audil BF60" manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) is formed on the entire surface of the rib forming material layer.
3)), exposure and subsequent development,
A patterned resist layer is formed on the rib forming material layer as a sandblast mask. As the developing solution, a 0.2% aqueous solution of sodium carbonate is used. Note that the pattern of the resist layer of the present example has a parallel stripe shape with a width of 50 μm and an interval of 100 μm, and the electrode on the surface of the glass substrate is located almost in the center between the intervals of 100 μm between the resist layers. Placed.
【0031】続いて、サンドブラスト加工工程によりリ
ブのパターニングを行う。具体的には、基板は多数の搬
送ローラ上を搬送されてブラスト加工室内に搬入され
る。そして、基板、すなわちガラス基板の表面にリブ形
成材料層とレジスト層を形成した被加工物におけるリブ
形成材料層とレジスト層の側に向けて噴射ノズルから研
削材(褐色溶融アルミナ#400)を噴出圧力3kg/m2
で噴射する。噴射ノズルは、被加工物の搬送方向に直交
する方向に往復移動するタイプのものを8本設けてい
る。各噴射ノズルは拡散型の噴射ノズルであり、研削材
の噴射形状を通常の3倍に拡散するもので、基板の搬送
速度及び各噴射ノズルの移動速度の組合せによるブラス
ト加工速度を上げてもブラスト加工の均一性を維持でき
る。加工室内では、上記ガラス基板におけるレジスト層
及びリブ形成材料層の側に研削材を圧空と伴に噴射し
て、レジスト層の真下のリブ形成材料層以外の部分のリ
ブ形成材料層を研削除去してリブを形成する。このよう
にして形成したリブは、幅が50μm、高さが150μ
mで、各リブ間の間隔は100μmである。Subsequently, the ribs are patterned by a sandblasting process. Specifically, the substrate is transported over a number of transport rollers and is loaded into the blasting chamber. Then, an abrasive (brown fused alumina # 400) is ejected from the ejection nozzle toward the rib-forming material layer and the resist layer side of the workpiece in which the rib-forming material layer and the resist layer are formed on the surface of the substrate, that is, the glass substrate. Pressure 3kg / m 2
Inject with. Eight injection nozzles are provided that are capable of reciprocating in a direction perpendicular to the direction of transport of the workpiece. Each spray nozzle is a diffusion-type spray nozzle, which diffuses the abrasive shape of the abrasive three times as much as usual. Even if the blast processing speed is increased by the combination of the substrate transfer speed and the moving speed of each spray nozzle, Processing uniformity can be maintained. In the processing chamber, an abrasive is sprayed together with the air to the resist layer and the rib forming material layer side of the glass substrate to grind and remove the rib forming material layer in a portion other than the rib forming material layer immediately below the resist layer. To form ribs. The rib thus formed has a width of 50 μm and a height of 150 μm.
m, the spacing between each rib is 100 μm.
【0032】噴射ノズルから基板へ向けて噴射した研削
材は、リブ形成材料の研削粉末との混合粉体となってブ
ラスト加工室の下方のホッパへ落下し、ホッパの下端か
ら導管内に生じている気流に乗って分離タンクへ運ばれ
る。そして、この分離タンクで研削材の中に混入した1
00μm以上の大きさの異物が除去され、次いで連通管
を介してサイクロンへ送給される。なお、ブラスト加工
室内の気流は集塵装置のブロワにより空気が吸引されて
生じる。すなわち、気流は順にホッパ、導管、分離タン
ク、連通管、サイクロン、集塵装置へ流れる。The abrasive sprayed from the spray nozzle toward the substrate becomes a mixed powder with the grinding powder of the rib forming material, falls into a hopper below the blasting chamber, and is generated in the conduit from the lower end of the hopper. Transported to the separation tank in the air stream. Then, in this separation tank, the 1
Foreign matter having a size of 00 μm or more is removed, and then sent to the cyclone via a communication pipe. The air flow in the blasting chamber is generated by suction of air by a blower of a dust collector. That is, the airflow flows sequentially to the hopper, the conduit, the separation tank, the communication pipe, the cyclone, and the dust collector.
【0033】図2はリブ形成材料の回収工程に組み込ん
だサイクロンと集塵装置の一例を示す概略構成図であ
る。ブラスト加工室からホッパに落下し、分離タンクで
100μm以上の大きさの異物が除去された混合粉体
は、連通管11を通ってサイクロン12に運ばれる。こ
のサイクロン12において、再使用可能な研削材と、破
砕された研削材及び基板から研削されたリブ形成材料の
破片でなる粉塵とが分級される。再使用可能な研削材は
サイクロン12の下部にある分配器13に滞留し、一
方、粉塵はサイクロン12内の中央を気流に乗って上昇
し、上部中央に連通するダクト14を介して集塵装置1
5へ送給され、集塵装置15では粉塵が回収されて清浄
なエアがブロワ16により大気中へ排出される。そし
て、サイクロン12の下部の分配器13に滞留した研削
材はサイクロンの下端に連結する研削材タンク17内へ
集められ、研削材タンク17内の研削材は噴射ノズル1
8へ再び供給される。研削材はノズル部の圧空により引
き込まれて噴射ノズル18から圧空と伴に噴射される。
このように研削材は以上の工程を繰り返して噴射ノズル
18から基板へ向けて噴射されブラスト処理に供され
る。FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing an example of a cyclone and a dust collecting device incorporated in the step of collecting the rib forming material. The mixed powder that has fallen from the blasting chamber to the hopper and has a foreign matter having a size of 100 μm or more removed in the separation tank is transported to the cyclone 12 through the communication pipe 11. In the cyclone 12, the reusable abrasive and the dust composed of the crushed abrasive and the pieces of the rib-forming material ground from the substrate are classified. The reusable abrasive stays in the distributor 13 below the cyclone 12, while the dust rises in the center of the cyclone 12 by airflow and passes through the duct 14 communicating with the upper center. 1
The dust is collected by the dust collector 15 and the clean air is discharged to the atmosphere by the blower 16. The abrasive remaining in the distributor 13 below the cyclone 12 is collected in an abrasive tank 17 connected to the lower end of the cyclone.
8 again. The abrasive is drawn by the compressed air in the nozzle portion and is ejected from the ejection nozzle 18 together with the compressed air.
In this way, the abrasive is injected from the injection nozzle 18 toward the substrate by repeating the above steps, and is subjected to blast processing.
【0034】集塵装置15ではフィルター15aの表面
に粉塵が付着した状態になる。そこで、サイクロン12
と集塵装置15の間のダクト14にあるバルブ19を閉
状態にし、集塵装置15とブロワ16の間のバルブ20
を切り換えてエアーを送り込むことにより、フィルター
15aの表面に付着した粉塵を落下させ、下方のタンク
15bに集める。このようにして集塵装置15の粉塵タ
ンク21に回収された粉塵は、乾式の分級器(例えば、
ホソカワミクロン製「ターボフレックス」)を使用して
粗粉(再使用可能な研削材)と微粉(研削材のかけらと
研削されたリブ粉)とに分級する。ここで、分離された
粗粉は研削材として再使用し、微粉は前述のように組成
調整して再生に回すことにより、基板から研削されたリ
ブ形成材料の破片からなる粉体(リブフリット)を確実
に回収することができ再利用に回すことができる。In the dust collector 15, dust is attached to the surface of the filter 15a. Therefore, Cyclone 12
The valve 19 in the duct 14 between the dust collector 15 and the dust collector 15 is closed, and the valve 20 between the dust collector 15 and
Is switched to supply air, so that dust adhering to the surface of the filter 15a is dropped and collected in the lower tank 15b. The dust collected in the dust tank 21 of the dust collector 15 in this manner is a dry classifier (for example,
Using Hosokawa Micron's “Turboflex”, the powder is classified into coarse powder (reusable abrasive) and fine powder (abrasive powder and ground rib powder). Here, the separated coarse powder is reused as an abrasive, and the fine powder is adjusted in composition as described above and is recycled, so that powder (rib frit) made of pieces of the rib forming material ground from the substrate is removed. It can be collected reliably and reused.
【0035】サンドブラスト処理を終了した後、基板を
シャワー水洗してから、水酸化ナトリウム1wt%水溶
液でサンドブラストマスクをスプレー剥離する。さらに
シャワー水洗を行ってアルカリ分を除去する。そして最
後に、ガラス基板の表面にリブを形成した被加工物は、
低融点ガラスが完全に溶融してバインダーが焼却する温
度まで徐々に加熱することにより、リブを構成する低融
点ガラスとレジストの各バインダーが完全に燃焼され且
つ低融点ガラスが溶解して焼成されてリブが形成され
る。After the completion of the sandblasting treatment, the substrate is washed with shower water, and then the sandblasting mask is sprayed off with a 1 wt% aqueous solution of sodium hydroxide. Further, alkali washing is performed by performing shower water washing. And finally, the workpiece with ribs formed on the surface of the glass substrate,
By gradually heating the low-melting glass to a temperature at which the low-melting glass is completely melted and the binder is incinerated, the low-melting glass constituting the rib and each binder of the resist are completely burned, and the low-melting glass is melted and fired. A rib is formed.
【0036】一方、リブ形成材料の回収工程にて抽出し
たリブフリットを再ペースト化する。具体的には、リブ
フリットに溶剤(ターピネオール:ブチルカルビトール
アセテート=1:1)を、組成Aと同様な固形分比とな
るように加える。この再ペーストを使用して前述したの
と同様の工程でリブ形成とリブ形成材料の回収を行う。
そして、この再ペースト化とそのペーストを使用したリ
ブ形成のサイクルを3回繰り返す。On the other hand, the rib frit extracted in the step of collecting the rib forming material is re-pasted. Specifically, a solvent (terpineol: butyl carbitol acetate = 1: 1) is added to the rib frit so as to have a solid content ratio similar to that of the composition A. Using this re-paste, the rib formation and the recovery of the rib formation material are performed in the same steps as described above.
Then, the cycle of the re-pasting and the rib formation using the paste is repeated three times.
【0037】(実施例2)組成Aのエチルセルロースを
日新化成(株)製「エトセルSTD4」に変更した以外
は実施例1と同様にしてリブを形成し、その後、回収し
たリブフリットの再ペースト化とリブ形成のサイクルを
3回繰り返した。(Example 2) A rib was formed in the same manner as in Example 1 except that the ethyl cellulose having the composition A was changed to "Ethocel STD4" manufactured by Nissin Kasei Co., Ltd., and then the recovered rib frit was repasted. And the cycle of rib formation were repeated three times.
【0038】(比較例1)組成Aのエチルセルロースを
日新化成(株)製「エトセルSTD100」に変更した
以外は実施例1と同様にしてリブを形成し、その後、回
収したリブフリットの再ペースト化とリブ形成のサイク
ルを3回繰り返した。(Comparative Example 1) A rib was formed in the same manner as in Example 1 except that the ethyl cellulose of the composition A was changed to "Ethocel STD100" manufactured by Nissin Kasei Co., Ltd., and then the recovered rib frit was re-pasted. And the cycle of rib formation were repeated three times.
【0039】(比較例2)組成Aのエチルセルロースを
日新化成(株)製「エトセルHE100」に変更した以
外は実施例1と同様にしてリブを形成し、その後、回収
したリブフリットの再ペースト化とリブ形成のサイクル
を3回繰り返した。Comparative Example 2 Ribs were formed in the same manner as in Example 1 except that ethyl cellulose having composition A was changed to "Ethocel HE100" manufactured by Nissin Chemical Co., Ltd., and then the recovered rib frit was repasted. And the cycle of rib formation were repeated three times.
【0040】実施例1,2と比較例1,2で用いた樹脂
の数平均分子量及びエトキシ基含有量と、それぞれで最
終的に形成されリブの状態と、ペーストの粘度変化(プ
ロセス適性)と、総合判断を表2に示す。The number average molecular weight and ethoxy group content of the resins used in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2, the state of the ribs finally formed, the change in the viscosity of the paste (process suitability), and the like. Table 2 shows the overall judgment.
【0041】[0041]
【表2】 [Table 2]
【0042】実施例1では、エトキシ基含有量を少なく
することによりリブ倒れを防止することができた。実施
例2では、バインダーに低分子量の樹脂を使うことで粘
度変化を少なくできた。また、固形分が同じ量だと粘度
が低くなるので、プロセス適性のある粘度を得るために
樹脂量を多くした結果、密着力が向上してリブ倒れが防
止できた。なお、比較例1,2のように、リブ倒れが
「有」、粘度(プロセス適性)が「×」というのは、塗
工条件を変えれば使用できる可能性はある。In Example 1, rib falling could be prevented by reducing the ethoxy group content. In Example 2, the change in viscosity could be reduced by using a low molecular weight resin for the binder. Further, since the viscosity becomes low when the solid content is the same, the amount of the resin is increased to obtain a viscosity suitable for the process. As a result, the adhesive strength is improved and the rib can be prevented from falling down. Note that, as in Comparative Examples 1 and 2, the fact that the rib has fallen down and the viscosity (process suitability) is “x” may be used if the coating conditions are changed.
【0043】[0043]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の焼成用ペ
ーストは、少なくとも低融点ガラス粉末、樹脂、溶剤か
ら構成される焼成用ペーストであって、バインダーとし
ての樹脂成分の数平均分子量(Mn)が30000以下
である構成としたことにより、このペーストを用いてサ
ンドブラスト法でリブを形成する際に、塗膜の乾燥時に
樹脂劣化が起こらず、研削されたリブフリットを再利用
した場合に起こるペーストの粘度低下が改善されること
から、研削されたリブフリットを再ペースト化して再利
用できることから、サンドブラスト廃材の廃棄による環
境問題を回避することができる。As described above, the firing paste of the present invention is a firing paste composed of at least a low-melting glass powder, a resin and a solvent, and has a number average molecular weight (Mn) of a resin component as a binder. ) Is not more than 30,000, so that when a rib is formed by sandblasting using this paste, resin deterioration does not occur when the coating film is dried, and paste that occurs when the ground rib frit is reused. Since the decrease in viscosity is improved, the ground rib frit can be re-pasted and reused, thereby avoiding environmental problems caused by disposal of sandblast waste.
【図1】プラズマディスプレイパネルの一例をその前面
板と背面板とを離間状態で示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an example of a plasma display panel in which a front plate and a back plate are separated from each other.
【図2】リブ形成材料の回収工程に組み込んだサイクロ
ンと集塵装置の一例を示す概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a cyclone and a dust collecting device incorporated in a rib forming material collecting step.
1,2 ガラス基板 3 リブ 4 維持電極 5 バス電極 6 誘電体槽 7 保護槽 8 アドレス電極 9 誘電体槽 10 蛍光体 11 連通管 12 サイクロン 13 分配器 14 ダクト 15 集塵装置 15a フィルター 16 ブロワ 17 研削材タンク 18 噴射ノズル 19 バルブ 20 バルブ 21 粉塵タンク 1, glass substrate 3 rib 4 sustain electrode 5 bus electrode 6 dielectric tank 7 protection tank 8 address electrode 9 dielectric tank 10 phosphor 11 communication pipe 12 cyclone 13 distributor 14 duct 15 dust collector 15a filter 16 blower 17 grinding Material tank 18 Injection nozzle 19 Valve 20 Valve 21 Dust tank
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01J 11/02 H01J 11/02 B Fターム(参考) 4G062 AA08 AA09 AA15 BB04 BB08 DA03 DA04 DB01 DC03 DC04 DD01 DE04 DE05 DF05 DF06 EA01 EA10 EB01 EC01 ED01 EE01 EF01 EG01 FA01 FA10 FB01 FC01 FD01 FE01 FF01 FG01 FH01 FJ01 FK01 FL01 GA03 GA04 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH05 HH07 HH09 HH11 HH13 HH15 HH17 HH20 JJ01 JJ03 JJ05 JJ07 JJ10 KK01 KK03 KK05 KK07 KK10 MM07 MM10 MM12 NN32 PP13 PP14 PP16 4J002 AB011 AB031 DL006 EC037 ED027 EH157 FD206 FD207 5C027 AA09 5C040 FA01 FA04 FA07 GA03 GA09 GF02 GF18 GF19 JA15 JA17 KA14 MA30 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI Theme coat ゛ (Reference) H01J 11/02 H01J 11/02 BF Term (Reference) 4G062 AA08 AA09 AA15 BB04 BB08 DA03 DA04 DB01 DC03 DC04 DD01 DE04 DE05 DF05 DF06 EA01 EA10 EB01 EC01 ED01 EE01 EF01 EG01 FA01 FA10 FB01 FC01 FD01 FE01 FF01 FG01 FH01 FJ01 FK01 FL01 GA03 GA04 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH05 HH07 H03 KKHJ KK MM10 MM12 NN32 PP13 PP14 PP16 4J002 AB011 AB031 DL006 EC037 ED027 EH157 FD206 FD207 5C027 AA09 5C040 FA01 FA04 FA07 GA03 GA09 GF02 GF18 GF19 JA15 JA17 KA14 MA30
Claims (6)
剤から構成される焼成用ペーストであって、バインダー
としての樹脂成分の数平均分子量(Mn)が30000
以下であることを特徴とする焼成用ペースト。1. A baking paste comprising at least a low-melting glass powder, a resin and a solvent, wherein the resin component as a binder has a number average molecular weight (Mn) of 30,000.
A firing paste, characterized in that:
項1に記載の焼成用ペースト。2. The firing paste according to claim 1, wherein the resin component is ethyl cellulose.
%以下である請求項2に記載の焼成用ペースト。3. An ethoxy group content of the resin component is 49.5.
% Or less.
物を含む請求項1〜3のいずれかに記載の焼成用ペース
ト。 (1)酸化鉛:35〜60重量% (2)酸化珪素:5〜25重量% (3)酸化ホウ素:13〜10重量%4. The firing paste according to claim 1, wherein the low melting glass powder contains at least the following composition. (1) Lead oxide: 35 to 60% by weight (2) Silicon oxide: 5 to 25% by weight (3) Boron oxide: 13 to 10% by weight
物を含む請求項1〜3のいずれかに記載の焼成用ペース
ト。 (1)酸化ホウ素:1〜15重量% (2)酸化亜鉛:15〜35重量% (3)酸化ビスマス:5〜25重量%5. The firing paste according to claim 1, wherein the low melting point glass powder contains at least the following composition. (1) Boron oxide: 1 to 15% by weight (2) Zinc oxide: 15 to 35% by weight (3) Bismuth oxide: 5 to 25% by weight
ペーストを基板上に塗工して乾燥させ、その上にドライ
フィルムをラミネートした後、パターン露光とそれに続
く現像を行うことにより所望のリブパターン用マスクを
形成し、次いで、そのマスクが形成されていない部分を
サンドブラスト法で研削した後、マスクを除去してか
ら、基板の焼成を行うことを特徴とするプラズマディス
プレイ用基板のリブ形成方法。6. The method according to claim 1, wherein the firing paste is applied to a substrate, dried, laminated with a dry film, and then subjected to pattern exposure and subsequent development. A desired rib pattern mask is formed, and then a portion where the mask is not formed is ground by a sandblast method, the mask is removed, and then the substrate is baked. Rib forming method.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32483799A JP2001139824A (en) | 1999-11-16 | 1999-11-16 | Paste for calcination |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32483799A JP2001139824A (en) | 1999-11-16 | 1999-11-16 | Paste for calcination |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001139824A true JP2001139824A (en) | 2001-05-22 |
Family
ID=18170244
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32483799A Pending JP2001139824A (en) | 1999-11-16 | 1999-11-16 | Paste for calcination |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001139824A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007224275A (en) * | 2006-01-30 | 2007-09-06 | Nippon Electric Glass Co Ltd | Glass paste for forming partitioning wall |
-
1999
- 1999-11-16 JP JP32483799A patent/JP2001139824A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007224275A (en) * | 2006-01-30 | 2007-09-06 | Nippon Electric Glass Co Ltd | Glass paste for forming partitioning wall |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007126350A (en) | Barrier rib forming material for plasma display panel and glass composition for barrier rib forming material | |
JP4135259B2 (en) | Bulkhead forming material for plasma display panel | |
JP2001139824A (en) | Paste for calcination | |
JP2004115783A (en) | Paste for use in partition, and method for manufacturing plasma display panel | |
JP2008150272A (en) | Partition wall-forming material for plasma display panel and glass composition for partition wall-forming material | |
JP4139519B2 (en) | Ink composition for baking | |
JP4247945B2 (en) | Sandblast abrasive for rib formation of plasma display panel, rib formation method, and rib formation material recovery and reuse method | |
JP4116676B2 (en) | Insulator composition, green tape, and method for forming partition wall of plasma display device using them | |
JP3722185B2 (en) | Bulkhead forming material for plasma display panel | |
KR20060086747A (en) | Fabrication method of electrode for plasma display panel using precoating solution | |
JP2001113464A (en) | Rib forming sand blast abrasive of plasma display panel, rib forming method and rib forming material recovering method | |
JP4016269B2 (en) | Partition wall material for plasma display panel and partition wall forming method | |
JP2001151535A (en) | Barrier rib material for plasma display panel and powdery filler | |
JPH09245629A (en) | Pattern forming material, thick film pattern forming method and plasma display panel | |
JP4214377B2 (en) | Partition wall material for plasma display panel and partition wall forming method | |
JPH09109026A (en) | High precision rib and forming method therefor | |
EP1220263A1 (en) | Method of fabricating rear plate in plasma display panel | |
JP4268240B2 (en) | Panel back plate for forming plasma display panel, method for producing plasma display panel using the same, and coating composition for forming plasma display panel | |
JPH1111978A (en) | Barrier rib forming material for plasma display | |
KR100684824B1 (en) | Plasma display panel | |
JP2005035850A (en) | Paste for barrier, method for producing base plate having barrier, and plasma display panel | |
WO2005086199A1 (en) | Paste for diaphragm and process for producing plasma display panel | |
JP4461779B2 (en) | Reuse method of inorganic powder | |
KR100651672B1 (en) | Inorganic film, a member for pdp using the same and method of manufacturing them | |
JPH1186741A (en) | Thick-film pattern composition, thick-film pattern forming coating composition, and plasma display panel |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050603 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071018 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20071024 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080311 |