JP2001135544A - Dielectric porcelain composition and electric component - Google Patents

Dielectric porcelain composition and electric component

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JP2001135544A
JP2001135544A JP31168399A JP31168399A JP2001135544A JP 2001135544 A JP2001135544 A JP 2001135544A JP 31168399 A JP31168399 A JP 31168399A JP 31168399 A JP31168399 A JP 31168399A JP 2001135544 A JP2001135544 A JP 2001135544A
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dielectric
temperature
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composition
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Shigeki Sato
佐藤  茂樹
Yoshinori Fujikawa
佳則 藤川
Yoshihiro Terada
佳弘 寺田
Akiko Nagai
亜紀子 永井
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dielectric porcelain composition, with which a dielectric constant is high, capacity temperature characteristics satisfy the X8R characteristics of EIA standard (within -55 to 150 deg.C and ΔC=±15%) and sintering in a reduced atmosphere is enabled, and an electronic component such as laminate ceramic capacitor using this dielectric porcelain composition. SOLUTION: Concerning the dielectric porcelain composition having a main component containing barium titanate, in the case of observation with an electronic transmission microscope, this composition contains crystal grains having interference stripes more than 30% of the field of observation view.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、耐還元性を有する
誘電体磁器組成物と、これを用いた積層セラミックコン
デンサなどの電子部品とに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric ceramic composition having reduction resistance and electronic components such as a multilayer ceramic capacitor using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品としての積層セラミックコンデ
ンサは、小型、大容量、高信頼性の電子部品として広く
利用されており、1台の電子機器の中で使用される個数
も多数にのぼる。近年、機器の小型・高性能化にともな
い、積層セラミックコンデンサに対する更なる小型化、
大容量化、低価格化、高信頼性化への要求はますます厳
しくなっている。
2. Description of the Related Art Multilayer ceramic capacitors as electronic components are widely used as small, large-capacity, high-reliability electronic components, and the number used in one electronic device is large. In recent years, with the miniaturization and high performance of equipment, further miniaturization of multilayer ceramic capacitors,
Demands for higher capacity, lower price, and higher reliability are becoming more and more severe.

【0003】積層セラミックコンデンサは、通常、内部
電極層用のペーストと誘電体層用のペーストとをシート
法や印刷法等により積層し、積層体中の内部電極層と誘
電体層とを同時に焼成して製造される。
In a multilayer ceramic capacitor, usually, a paste for an internal electrode layer and a paste for a dielectric layer are laminated by a sheet method, a printing method, or the like, and the internal electrode layer and the dielectric layer in the laminate are simultaneously fired. Manufactured.

【0004】内部電極層の導電材としては、一般にPd
やPd合金が用いられているが、Pdは高価であるた
め、比較的安価なNiやNi合金等の卑金属が使用され
るようになってきている。内部電極層の導電材として卑
金属を用いる場合、大気中で焼成を行なうと内部電極層
が酸化してしまうため、誘電体層と内部電極層との同時
焼成を、還元性雰囲気中で行なう必要がある。しかし、
還元性雰囲気中で焼成すると、誘電体層が還元され、比
抵抗が低くなってしまう。このため、非還元性の誘電体
材料が開発されている。
The conductive material of the internal electrode layer is generally Pd
However, since Pd is expensive, relatively inexpensive base metals such as Ni and Ni alloys have been used. When a base metal is used as the conductive material of the internal electrode layer, if the firing is performed in the air, the internal electrode layer is oxidized. Therefore, the simultaneous firing of the dielectric layer and the internal electrode layer must be performed in a reducing atmosphere. is there. But,
When firing in a reducing atmosphere, the dielectric layer is reduced and the specific resistance decreases. For this reason, non-reducing dielectric materials have been developed.

【0005】しかし、非還元性の誘電体材料を用いた積
層セラミックコンデンサは、電界の印加によるIR(絶
縁抵抗)の劣化が著しく、すなわち、IR寿命が短く、
信頼性が低いという問題がある。
However, a multilayer ceramic capacitor using a non-reducing dielectric material has a remarkable deterioration in IR (insulation resistance) due to application of an electric field, that is, has a short IR life.
There is a problem that reliability is low.

【0006】また、誘電体を直流電界にさらすと、比誘
電率εrが経時的に低下するという問題が生じる。ま
た、コンデンサには、直流電圧を重畳して使用する場合
があり、一般に強誘電体を主成分とする誘電体を有する
コンデンサに直流電圧を印加すると、容量値が低下する
という問題もある(DCバイアス特性)。チップコンデ
ンサを小型および大容量化するために誘電体層を薄くす
ると、直流電圧を印加したときの誘電体層にかかる電界
が強くなるため、比誘電率εrの経時変化、すなわち容
量の経時変化が著しく大きくなってしまったり、DCバ
イアス特性が劣化してしまう。
Further, when the dielectric is exposed to a DC electric field, there arises a problem that the relative permittivity εr decreases with time. Further, a capacitor may be used by superimposing a DC voltage. In general, when a DC voltage is applied to a capacitor having a dielectric mainly composed of a ferroelectric substance, there is a problem that the capacitance value is reduced (DC). Bias characteristics). If the dielectric layer is made thinner to reduce the size and capacitance of the chip capacitor, the electric field applied to the dielectric layer when a DC voltage is applied becomes stronger. It becomes extremely large or the DC bias characteristics deteriorate.

【0007】さらに、コンデンサには、温度特性が良好
であることも要求され、特に、用途によっては、厳しい
条件下で温度特性が平坦であることが求められる。近
年、自動車のエンジンルーム内に搭載するエンジン電子
制御ユニット(ECU)、クランク角センサ、アンチロ
ックブレーキシステム(ABS)モジュールなどの各種
電子装置に積層セラミックコンデンサが使用されるよう
になってきている。これらの電子装置は、エンジン制
御、駆動制御およびブレーキ制御を安定して行うための
ものなので、回路の温度安定性が良好であることが要求
される。
Further, the capacitor is required to have good temperature characteristics. In particular, depending on the application, it is required that the temperature characteristics be flat under severe conditions. 2. Description of the Related Art In recent years, multilayer ceramic capacitors have been used in various electronic devices such as an engine electronic control unit (ECU), a crank angle sensor, and an antilock brake system (ABS) module mounted in an engine room of an automobile. Since these electronic devices are for stably performing engine control, drive control, and brake control, they are required to have good circuit temperature stability.

【0008】これらの電子装置が使用される環境は、寒
冷地の冬季には−20℃程度以下まで温度が下がり、ま
た、エンジン始動後には、夏季では+130℃程度以上
まで温度が上がることが予想される。最近では電子装置
とその制御対象機器とをつなぐワイヤハーネスを削減す
る傾向にあり、電子装置が車外に設置されることもある
ので、電子装置にとっての環境はますます厳しくなって
いる。したがって、これらの電子装置に用いられるコン
デンサは、広い温度範囲において温度特性が平坦である
必要がある。
In an environment where these electronic devices are used, it is expected that the temperature drops to about −20 ° C. or less in winter in a cold region, and that the temperature rises to about + 130 ° C. or more in summer after the engine is started. Is done. Recently, there has been a tendency to reduce the number of wire harnesses connecting electronic devices and their controlled devices, and the electronic devices are sometimes installed outside the vehicle, so the environment for the electronic devices is becoming increasingly severe. Therefore, capacitors used in these electronic devices need to have flat temperature characteristics over a wide temperature range.

【0009】温度特性に優れた温度補償用コンデンサ材
料としては、(Sr,Ca)(Ti,Zr)O系、
Ca(Ti,Zr)O系、Nd−2Ti
系、La−2TiO系等が一般に知
られているが、これらの組成物は比誘電率が非常に低い
(一般には100以下)ので、容量の大きいコンデンサ
を作製することが実質的に不可能である。
A capacitor material for temperature compensation having excellent temperature characteristics.
(Sr, Ca) (Ti, Zr) O3system,
Ca (Ti, Zr) O3System, Nd2O3-2Ti
O2 System, La2O3-2TiO2System is generally known
But these compositions have very low dielectric constants
(Generally 100 or less), large capacitor
Is virtually impossible to produce.

【0010】誘電率が高く、平坦な容量温度特性を有す
る誘電体磁器組成物として、BaTiOを主成分と
し、Nb−Co、MgO−Y、希
土類元素(Dy,Ho等)、Bi−TiO
などを添加した組成が知られている。容量温度特性
を平坦化させるメカニズムは、必ずしも明らかにされて
いないが、特公平7−118431号公報では、コア−
シェル構造の内部にMgや希土類元素を固溶させること
により、容量温度特性を平坦化させることが提案されて
いる。しかしながら、文献「Key Engineering Material
s Vols 17-24,157-158(1999) ; A study on Capacitanc
e Aging in Ni-Electroded , BaTiO -Based MLCCs
with X7R Characteristics 」では、容量温度特性が、
EIA規格のX7R特性(−55〜125℃、ΔC=±
15%以内)を満足するためには、コア−シェル構造は
必須ではないことが報告されている。
As a dielectric ceramic composition having a high dielectric constant and a flat capacitance-temperature characteristic, BaTiO 3 is used as a main component, Nb 2 O 5 —Co 3 O 4 , MgO—Y, a rare earth element (Dy, Ho, etc.) ), Bi 2 O 3 -TiO
2 and the like are known. Although the mechanism for flattening the capacitance-temperature characteristics is not necessarily clarified, Japanese Patent Publication No. Hei 7-118431 discloses a
It has been proposed to flatten the capacitance-temperature characteristic by dissolving Mg or a rare earth element in the shell structure. However, the document "Key Engineering Material
s Vols 17-24,157-158 (1999); A study on Capacitanc
e Aging in Ni-Electroded, BaTiO 3 -Based MLCCs
with X7R Characteristics ''
EIA standard X7R characteristics (-55 to 125 ° C, ΔC = ±
It is reported that a core-shell structure is not essential to satisfy (15% or less).

【0011】また、これらBaTiOを主成分とす
る誘電体磁器組成物の温度特性は、BaTiOのキ
ュリー温度が約130℃付近にあるため、それ以上の高
温領域で容量温度特性のR特性(ΔC=±15%以内)
を満足することが非常に難しい。このため、BaTiO
系の高誘電率材料は、EIA規格のX7R特性(−
55〜125℃、ΔC=±15%以内)を満足すること
しかできなかった。X7R特性を満足するだけでは、上
記した厳しい環境で使用される自動車の電子装置には対
応できない。上記電子装置には、EIA規格のX8R特
性(−55〜150℃、ΔC=±15%以内)を満足す
る誘電体磁器組成物が必要とされる。
The temperature characteristics of these dielectric ceramic compositions containing BaTiO 3 as a main component are as follows. Since the Curie temperature of BaTiO 3 is around 130 ° C., the R characteristics of the capacitance-temperature characteristics in a higher temperature region (above). ΔC = within ± 15%)
It is very difficult to satisfy. For this reason, BaTiO
The 3 series high dielectric constant materials are based on the EIA standard X7R characteristics (-
55-125 ° C., ΔC = ± 15%). Satisfying the X7R characteristic alone cannot be used for electronic devices of automobiles used in the above-mentioned harsh environment. The electronic device requires a dielectric ceramic composition that satisfies the EIA standard X8R characteristic (−55 to 150 ° C., ΔC = ± 15%).

【0012】BaTiOを主成分とする誘電体磁器
組成物においてX8R特性を満足させるために、BaT
iO中のBaをBi,Pbなどで置換することによ
り、キュリー温度を高温側にシフトさせることが提案さ
れている(特開平10−25157号公報、同9−40
465号公報)。また、BaTiO+CaZrO
+ZnO+Nb系の組成を選択すること
によりX8R特性を満足させることも提案されている
(特開平4−295048号公報、同4−292458
号公報、同4−292459号公報、同5−10931
9公報、同6−243721号公報)。
BaTiO3-Based dielectric porcelain
In order to satisfy X8R characteristics in the composition, BaT
iO3By replacing Ba in the sample with Bi, Pb, etc.
It is suggested that the Curie temperature be shifted to higher temperatures.
(JP-A-10-25157, 9-40)
465). In addition, BaTiO3+ CaZrO
3+ ZnO + Nb2O5Choosing the composition of the system
To satisfy the X8R characteristic by
(JP-A-4-295048, JP-A-4-292458)
Gazette, JP-A-4-292459, JP-A-5-10931
9 and 6-243721).

【0013】しかし、これらのいずれの組成系において
も、蒸発飛散しやすいPb,Bi,Znを使用するた
め、空気中等の酸化性雰囲気での焼成が前提となる。こ
のため、コンデンサの内部電極に安価なNi等の卑金属
を使用することができず、Pd,Au,Ag等の高価な
貴金属を使用しなければならないという問題がある。
However, in any of these composition systems, since Pb, Bi, and Zn, which are easily evaporated and scattered, are used, firing in an oxidizing atmosphere such as in air is a prerequisite. For this reason, there is a problem that an inexpensive base metal such as Ni cannot be used for the internal electrode of the capacitor, and an expensive noble metal such as Pd, Au, or Ag must be used.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、比誘
電率が高く、容量温度特性がEIA規格のX8R特性
(−55〜150℃、ΔC=±15%以内)を満足し、
還元性雰囲気中での焼成が可能である誘電体磁器組成物
およびこれを用いた積層セラミックコンデンサなどの電
子部品を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a capacitor having a high relative dielectric constant and satisfying the X8R characteristics (-55 to 150 ° C., ΔC = ± 15%) of the EIA standard,
An object of the present invention is to provide a dielectric ceramic composition which can be fired in a reducing atmosphere and an electronic component such as a multilayer ceramic capacitor using the same.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の第1の観点に係る誘電体磁器組成物は、チ
タン酸バリウムを含む主成分を少なくとも有する誘電体
磁器組成物であって、透過電子顕微鏡により観察した際
に、干渉縞を有する結晶粒子を観察視野の30%以上含
有する。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, a dielectric ceramic composition according to a first aspect of the present invention is a dielectric ceramic composition having at least a main component containing barium titanate. When observed with a transmission electron microscope, crystal particles having interference fringes are contained in 30% or more of the observation visual field.

【0016】好ましくは、干渉縞が応力により生じたも
のである。
Preferably, the interference fringes are caused by stress.

【0017】上記目的を達成するために、本発明の第2
の観点に係る誘電体磁器組成物は、チタン酸バリウムを
含む主成分と、Mg、Ca、BaおよびSiから選択さ
れる少なくとも1種の第1元素(M1)の酸化物を含む
第1副成分と、Er、Sc、Tm、YbおよびLuから
選択される少なくとも1種の第2元素(R1)の酸化物
を含む第2副成分とを少なくとも有する誘電体磁器組成
物であって、前記第2副成分の第2元素のモル数に対す
る第1副成分の第1元素のモル数の比(M1/R1)
が、0<(M1/R1)≦2である。
In order to achieve the above object, a second aspect of the present invention is provided.
The dielectric ceramic composition according to the aspect of the present invention comprises a main component containing barium titanate and a first subcomponent containing an oxide of at least one first element (M1) selected from Mg, Ca, Ba and Si. A dielectric ceramic composition comprising at least a second subcomponent containing an oxide of at least one kind of a second element (R1) selected from Er, Sc, Tm, Yb, and Lu; Ratio of the number of moles of the first element of the first subcomponent to the number of moles of the second element of the subcomponent (M1 / R1)
Is 0 <(M1 / R1) ≦ 2.

【0018】好ましくは、チタン酸バリウムを含む主成
分100モルに対する各副成分の比率が、第1副成分:
0.1〜3モル、第2副成分:0.5〜7モル(ただ
し、第4副成分のモル数は、R1単独での比率である)
である。
Preferably, the ratio of each subcomponent to 100 mol of the main component containing barium titanate is the first subcomponent:
0.1 to 3 mol, second subcomponent: 0.5 to 7 mol (however, the number of moles of the fourth subcomponent is a ratio of R1 alone)
It is.

【0019】好ましくは、第3副成分として、酸化シリ
コンをさらに含み、前記第3副成分の含有量が、チタン
酸バリウムを含む主成分100モルに対し2〜10モル
である。
Preferably, silicon oxide is further included as the third subcomponent, and the content of the third subcomponent is 2 to 10 mol with respect to 100 mol of the main component containing barium titanate.

【0020】好ましくは、前記第3副成分が、(Ba,
Ca)SiO2+x (ただし、x=0.7〜1.
2)で表されるものである。この場合において、Baと
Caとの比率は任意であり、一方だけを含有するもので
あってもよい。
Preferably, the third subcomponent is (Ba,
Ca) x SiO 2 + x (where x = 0.7-1.
2). In this case, the ratio between Ba and Ca is arbitrary, and only one of them may be contained.

【0021】好ましくは、第4副成分として、V
,MoOおよびWOから選択される少なく
とも1種を有し、前記第4副成分の含有量が、チタン酸
バリウムを含む主成分100モルに対し0.01〜0.
5モルである。
Preferably, V 4 O is used as the fourth subcomponent.
5 , MoO 3 and WO 3 , wherein the content of the fourth subcomponent is 0.01 to 0.1 with respect to 100 mol of the main component containing barium titanate.
5 moles.

【0022】好ましくは、第5副成分として、R2の酸
化物(ただし、R2はY、Dy、Ho、Tb、Gdおよ
びEuから選択される少なくとも一種)をさらに有し、
前記第5副成分の含有量が、チタン酸バリウムを含む主
成分100モルに対し9モル以下、より好ましくは0.
5〜9モル(ただし、第5副成分のモル数は、R2単独
での比率である)である。
Preferably, the composition further comprises, as a fifth subcomponent, an oxide of R2 (where R2 is at least one selected from Y, Dy, Ho, Tb, Gd and Eu),
The content of the fifth subcomponent is preferably 9 mol or less, more preferably 0.1 mol, per 100 mol of the main component containing barium titanate.
5 to 9 moles (however, the number of moles of the fifth subcomponent is a ratio of R2 alone).

【0023】好ましくは、第2副成分および第5副成分
の合計の含有量が、チタン酸バリウムを含む主成分10
0モルに対し13モル以下、より好ましくは10モル以
下(ただし、第2副成分および第5副成分のモル数は、
R1およびR2単独での比率である)である。
Preferably, the total content of the second sub-component and the fifth sub-component is 10% of the main component containing barium titanate.
13 mol or less, more preferably 10 mol or less with respect to 0 mol (provided that the number of moles of the second subcomponent and the fifth subcomponent is
R1 and R2 alone).

【0024】好ましくは、第6副成分としてMnOをさ
らに有し、前記第6副成分の含有量が、チタン酸バリウ
ムを含む主成分100モルに対し0.5モル以下であ
る。
Preferably, MnO is further included as a sixth subcomponent, and the content of the sixth subcomponent is 0.5 mol or less based on 100 mol of the main component containing barium titanate.

【0025】好ましくは、チタン酸バリウムとしては、
組成式BaTiO2+m で表され、前記組成式中
のmが0.995≦m≦1.010であり、BaとTi
との比が0.995≦Ba/Ti≦1.010である。
Preferably, as barium titanate,
Expressed by a composition formula Ba m TiO 2 + m, m in the composition formula is 0.995 ≦ m ≦ 1.010, Ba and Ti
And 0.995 ≦ Ba / Ti ≦ 1.010.

【0026】本発明に係る電子部品は、誘電体層を有す
る電子部品であれば、特に限定されず、たとえば誘電体
層と共に内部電極層とが交互に積層してあるコンデンサ
素子本体を有する積層セラミックコンデンサ素子であ
る。本発明では、前記誘電体層が、上記いずれかの誘電
体磁器組成物で構成してある。内部電極層に含まれる導
電材としては、特に限定されないが、たとえばNiまた
はNi合金である。
The electronic component according to the present invention is not particularly limited as long as it has a dielectric layer. For example, a multilayer ceramic having a capacitor element body in which dielectric layers and internal electrode layers are alternately laminated. It is a capacitor element. In the present invention, the dielectric layer is made of any one of the above dielectric ceramic compositions. The conductive material contained in the internal electrode layer is not particularly limited, but is, for example, Ni or a Ni alloy.

【0027】[0027]

【作用】本発明者らは、X8R特性を満足する誘電体磁
器組成物を得るために鋭意検討した結果、透過電子顕微
鏡により観察した際に、観察視野の30%以上が干渉縞
を有する結晶粒子で構成してある誘電体磁器組成物が、
X8R特性を満足することを見出した。
The present inventors have conducted intensive studies to obtain a dielectric porcelain composition satisfying the X8R characteristic. As a result, when observed by a transmission electron microscope, 30% or more of the observation field has crystal grains having interference fringes. The dielectric porcelain composition constituted by
It has been found that the X8R characteristics are satisfied.

【0028】本発明に係る誘電体磁器組成物は、比誘電
率が高く、容量温度特性がEIA規格のX8R特性を満
足し、還元性雰囲気中での焼成が可能であり、直流電界
下での容量の経時変化が小さく、絶縁抵抗の寿命が長
い。
The dielectric porcelain composition according to the present invention has a high relative dielectric constant, a capacity-temperature characteristic satisfying the EIA standard X8R characteristic, can be fired in a reducing atmosphere, and can be used under a DC electric field. The capacitance changes with time are small, and the life of the insulation resistance is long.

【0029】したがって、本発明の誘電体磁器組成物を
用いることで、優れた特性を有する積層セラミックコン
デンサなどの電子部品を提供することが容易である。
Therefore, by using the dielectric ceramic composition of the present invention, it is easy to provide electronic parts such as a multilayer ceramic capacitor having excellent characteristics.

【0030】[0030]

【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面に示す実施
形態に基づき説明する。図1は本発明の一実施形態に係
る積層セラミックコンデンサの断面図、図2はコンデン
サの容量温度特性を表すグラフ、図3(A)および
(B)はそれぞれ試料3および試料1のTEM写真、図
4は試料3と試料1の誘電体磁器組成物の温度−DDS
C曲線を示すグラフ、図5はBaTiO+MgO+
(R=Gd、Tb、Dy、Y、Ho、E
r、Sc、Tm、Yb、Luから選択される少なくとも
1種)+MnO+V+(BaCa)SiO
系の(002)および(200)結晶面のX線回折
(XRD)チャートを示す図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a graph showing capacitance-temperature characteristics of the capacitor, FIGS. 3A and 3B are TEM photographs of Samples 3 and 1, respectively. FIG. 4 shows the temperature-DDS of the dielectric ceramic compositions of Samples 3 and 1.
5 is a graph showing a C curve, and FIG. 5 is BaTiO 3 + MgO +
R 2 O 3 (R = Gd, Tb, Dy, Y, Ho, E
at least one selected from r, Sc, Tm, Yb and Lu) + MnO + V 2 O 5 + (BaCa) SiO
It is a figure which shows the X-ray-diffraction (XRD) chart of the (002) and (200) crystal plane of 3 system.

【0031】積層セラミックコンデンサ 図1に示されるように、本発明の一実施形態に係る積層
セラミックコンデンサ1は、誘電体層2と内部電極層3
とが交互に積層された構成のコンデンサ素子本体10を
有する。このコンデンサ素子本体10の両端部には、素
子本体10の内部で交互に配置された内部電極層3と各
々導通する一対の外部電極4が形成してある。コンデン
サ素子本体10の形状に特に制限はないが、通常、直方
体状とされる。また、その寸法にも特に制限はなく、用
途に応じて適当な寸法とすればよいが、通常、(0.6
〜5.6mm)×(0.3〜5.0mm)×(0.3〜
1.9mm)程度である。
As shown in FIG. 1, a multilayer ceramic capacitor 1 according to one embodiment of the present invention has a dielectric layer 2 and an internal electrode layer 3.
And the capacitor element body 10 having a configuration in which the capacitor element bodies are alternately stacked. At both ends of the capacitor element body 10, a pair of external electrodes 4 are formed which are electrically connected to the internal electrode layers 3 alternately arranged inside the element body 10. The shape of the capacitor element body 10 is not particularly limited, but is generally a rectangular parallelepiped. The size is not particularly limited, and may be an appropriate size depending on the application.
~ 5.6 mm) x (0.3 to 5.0 mm) x (0.3 to
(1.9 mm).

【0032】内部電極層3は、各端面がコンデンサ素子
本体10の対向する2端部の表面に交互に露出するよう
に積層してある。一対の外部電極4は、コンデンサ素子
本体10の両端部に形成され、交互に配置された内部電
極層3の露出端面に接続されて、コンデンサ回路を構成
する。
The internal electrode layers 3 are laminated so that each end face is alternately exposed on the surfaces of two opposing ends of the capacitor element body 10. The pair of external electrodes 4 are formed at both ends of the capacitor element body 10 and connected to the exposed end faces of the alternately arranged internal electrode layers 3 to form a capacitor circuit.

【0033】誘電体層 誘電体層2は、本発明の誘電体磁器組成物を含有する。
本発明の誘電体磁器組成物は、チタン酸バリウム(好ま
しくは、組成式Ba TiO2+m で表され、mが
0.995≦m≦1.010であり、BaとTiとの比
が0.995≦Ba/Ti≦1.010である)を含む
主成分を少なくとも有し、透過電子顕微鏡により観察し
た際に、干渉縞を有する結晶粒子を観察視野の30%以
上、好ましくは50%以上含有する。
[0033]Dielectric layer The dielectric layer 2 contains the dielectric ceramic composition of the present invention.
The dielectric porcelain composition of the present invention comprises barium titanate (preferably).
Or the composition formula Bam TiO2 + mWhere m is
0.995 ≦ m ≦ 1.010, and the ratio of Ba to Ti
Is 0.995 ≦ Ba / Ti ≦ 1.010)
It has at least the main components and is observed with a transmission electron microscope.
In this case, the crystal particles having interference fringes are reduced to 30% or less of the observation field.
Above, preferably 50% or more.

【0034】干渉縞を有する結晶粒子の含有量が、透過
電子顕微鏡による観察視野の30%未満であると、X8
R特性を満足することができない。
If the content of the crystal particles having interference fringes is less than 30% of the visual field observed by the transmission electron microscope, X8
The R characteristics cannot be satisfied.

【0035】干渉縞が観察される原因は必ずしも明らか
ではないが、添加物が部分的に反応、拡散したために、
歪み、応力が発生したためなどの理由により生じた応力
干渉縞であると考えられる。
Although the cause of the observation of the interference fringes is not necessarily clear, since the additive partially reacted and diffused,
This is considered to be a stress interference fringe generated due to, for example, distortion or stress.

【0036】本発明の誘電体磁器組成物の平均結晶粒径
は、特に限定されず、誘電体層の厚さなどに応じて例え
ば0.1〜3μmの範囲から適宜決定すればよい。容量
温度特性は、誘電体層が薄いほど悪化し、また、平均結
晶粒径を小さくするほど悪化する傾向にある。このた
め、本発明の誘電体磁器組成物は、平均結晶粒径を小さ
くする必要がある場合に、具体的には、平均結晶粒径が
0.1〜0.5μmである場合に特に有効である。ま
た、平均結晶粒径を小さくすれば、IR寿命が長くな
り、また、直流電界下での容量の経時変化が少なくなる
ため、この点からも平均結晶粒径は上記のように小さい
ことが好ましい。
The average crystal grain size of the dielectric ceramic composition of the present invention is not particularly limited, and may be appropriately determined, for example, in the range of 0.1 to 3 μm according to the thickness of the dielectric layer. The capacitance-temperature characteristics tend to be worse as the dielectric layer is thinner, and worse as the average crystal grain size is smaller. For this reason, the dielectric ceramic composition of the present invention is particularly effective when the average crystal grain size needs to be reduced, specifically, when the average crystal grain size is 0.1 to 0.5 μm. is there. In addition, if the average crystal grain size is reduced, the IR life is prolonged, and the change with time in the capacity under a DC electric field is reduced, and from this point, the average crystal grain size is preferably small as described above. .

【0037】本発明の誘電体磁器組成物のキュリー温度
(強誘電体から常誘電体への相転移温度)は、組成を選
択することにより変更することができるが、X8R特性
を満足するためには、好ましくは120℃以上、より好
ましくは123℃以上とする。なお、キュリー温度は、
DSC(示差走査熱量測定)などによって測定すること
ができる。
The Curie temperature (phase transition temperature from ferroelectric to paraelectric) of the dielectric porcelain composition of the present invention can be changed by selecting the composition, but in order to satisfy the X8R characteristic. Is preferably 120 ° C. or higher, more preferably 123 ° C. or higher. The Curie temperature is
It can be measured by DSC (differential scanning calorimetry) or the like.

【0038】本発明の誘電体磁器組成物から構成される
誘電体層の厚さは、一層あたり、通常、40μm以下、
特に30μm以下である。厚さの下限は、通常、2μm
程度である。本発明の誘電体磁器組成物は、このような
薄層化した誘電体層を有する積層セラミックコンデンサ
の容量温度特性の改善に有効である。なお、誘電体層の
積層数は、通常、2〜300程度とする。
The thickness of the dielectric layer composed of the dielectric ceramic composition of the present invention is usually 40 μm or less per layer.
In particular, it is 30 μm or less. The lower limit of the thickness is usually 2 μm
It is about. The dielectric ceramic composition of the present invention is effective for improving the capacitance-temperature characteristics of a multilayer ceramic capacitor having such a thin dielectric layer. The number of stacked dielectric layers is usually about 2 to 300.

【0039】本発明の誘電体磁器組成物を用いた積層セ
ラミックコンデンサは、80℃以上、特に125〜15
0℃の環境下で使用される機器用電子部品として用いて
好適である。そして、このような温度範囲において、容
量の温度特性がEIA規格のR特性を満足し、さらに、
X8R特性も満足する。また、EIAJ規格のB特性
[−25〜85℃で容量変化率±10%以内(基準温度
20℃)]、EIA規格のX7R特性(−55〜125
℃、ΔC=±15%以内)も同時に満足することが可能
である。
The multilayer ceramic capacitor using the dielectric ceramic composition of the present invention has a temperature of 80.degree.
It is suitable for use as an electronic component for equipment used in an environment of 0 ° C. In such a temperature range, the temperature characteristic of the capacitance satisfies the R characteristic of the EIA standard.
The X8R characteristics are also satisfied. In addition, the EIAJ standard B characteristic [capacity change rate within ± 10% at −25 to 85 ° C. (reference temperature 20 ° C.)] and the EIA standard X7R characteristic (−55 to 125
° C, ΔC = within ± 15%) at the same time.

【0040】積層セラミックコンデンサでは、誘電体層
に、通常、0.02V/μm以上、特に0.2V/μm
以上、さらには0.5V/μm以上、一般に5V/μm
程度以下の交流電界と、これに重畳して5V/μm以下
の直流電界とが加えられるが、このような電界が加わっ
ても、容量の温度特性は極めて安定である。
In the case of a multilayer ceramic capacitor, the dielectric layer usually has a thickness of 0.02 V / μm or more, particularly 0.2 V / μm or more.
Above, more than 0.5V / μm, generally 5V / μm
An AC electric field of less than about and a DC electric field of 5 V / μm or less are superimposed on the AC electric field. Even when such an electric field is applied, the temperature characteristics of the capacitance are extremely stable.

【0041】また、本発明の誘電体磁器組成物におい
て、透過電子顕微鏡により観察した際に、干渉縞が観察
される条件の組成の一例を以下に示す。
In the dielectric porcelain composition of the present invention, an example of a composition under the condition where interference fringes are observed when observed with a transmission electron microscope is shown below.

【0042】すなわち、このような組成物は、チタン酸
バリウム(好ましくは、組成式Ba TiO2+m
で表され、mが0.995≦m≦1.010であり、B
aとTiとの比が0.995≦Ba/Ti≦1.010
である)を含む主成分と、Mg、Ca、BaおよびSi
から選択される少なくとも1種の第1元素(M1)の酸
化物を含む第1副成分と、Er、Sc、Tm、Ybおよ
びLuから選択される少なくとも1種の第2元素(R
1)の酸化物を含む第2副成分とを少なくとも有し、前
記第2副成分の第2元素のモル数に対する第1副成分の
第1元素のモル数の比(M1/R1)が、0<(M1/
R1)≦2、好ましくは0.1≦(M1/R1)≦1で
ある。
That is, such a composition comprises titanic acid
Barium (preferably, the composition formula Ba mTiO2 + m
Where m is 0.995 ≦ m ≦ 1.010, and B
The ratio of a to Ti is 0.995 ≦ Ba / Ti ≦ 1.010
And Mg, Ca, Ba and Si
Acid of at least one first element (M1) selected from
A first sub-component containing an oxide, Er, Sc, Tm, Yb and
And at least one second element (R
1) having at least a second subcomponent containing an oxide of
The amount of the first subcomponent with respect to the number of moles of the second element of the second subcomponent is
The ratio (M1 / R1) of the number of moles of the first element is 0 <(M1 /
R1) ≦ 2, preferably 0.1 ≦ (M1 / R1) ≦ 1
is there.

【0043】好ましくは、チタン酸バリウムを含む主成
分100モルに対する各副成分の比率が、第1副成分:
0.1〜3モル(好ましくは0.5〜2.5モル)、第
2副成分:0.5〜7モル(好ましくは0.5〜5モ
ル)である。
Preferably, the ratio of each subcomponent to 100 mol of the main component containing barium titanate is the first subcomponent:
0.1 to 3 mol (preferably 0.5 to 2.5 mol) and the second subcomponent: 0.5 to 7 mol (preferably 0.5 to 5 mol).

【0044】なお、第2副成分の比率は、R1酸化物の
モル比ではなく、R1単独のモル比である。すなわち、
例えば第2副成分としてYbの酸化物を用いた場合、第
2副成分の比率が1モルであることは、Yb
の比率が1モルなのではなく、Ybの比率が1モルであ
ることを意味する。
The ratio of the second subcomponent is not the molar ratio of R1 oxide but the molar ratio of R1 alone. That is,
For example, when an oxide of Yb is used as the second subcomponent, the fact that the ratio of the second subcomponent is 1 mol means that Yb 2 O 3
Is not 1 mol, but the ratio of Yb is 1 mol.

【0045】本明細書では、主成分および各副成分を構
成する各酸化物を化学量論組成で表しているが、各酸化
物の酸化状態は、化学量論組成から外れるものであって
もよい。ただし、各副成分の上記比率は、各副成分を構
成する酸化物に含有される金属量から上記化学量論組成
の酸化物に換算して求める。
In the present specification, each oxide constituting the main component and each subcomponent is represented by a stoichiometric composition. However, the oxidation state of each oxide may deviate from the stoichiometric composition. Good. However, the above ratio of each subcomponent is determined by converting the amount of metal contained in the oxide constituting each subcomponent to an oxide having the above stoichiometric composition.

【0046】上記各副成分の含有量の限定理由は以下の
とおりである。第1副成分(Mg、Ca、BaおよびS
iから選択される少なくとも1種の第1元素(M1)の
酸化物)の含有量が少なすぎると、容量温度変化率が大
きくなってしまう。一方、含有量が多すぎると、焼結性
が悪化する。なお、第1副成分中における各酸化物の構
成比率は任意である。
The reasons for limiting the contents of the respective subcomponents are as follows. First subcomponents (Mg, Ca, Ba and S
If the content of at least one oxide of the first element (M1) selected from i) is too small, the rate of change in capacitance with temperature will increase. On the other hand, if the content is too large, the sinterability deteriorates. Note that the constituent ratio of each oxide in the first subcomponent is arbitrary.

【0047】第2副成分(Er、Sc、Tm、Ybおよ
びLuから選択される少なくとも1種の第2元素(R
1)の酸化物)は、キュリー温度を高温側へシフトさせ
る効果と、容量温度特性を平坦化する効果とを示す。第
2副成分の含有量が少なすぎると、このような効果が不
十分となり、容量温度特性が悪くなってしまう。一方、
含有量が多すぎると、焼結性が悪化する傾向にある。第
2副成分のうちでは、特性改善効果が高く、安価である
ことから、Yb酸化物が好ましい。
The second sub-component (Er, Sc, Tm, Yb, and Lu, at least one second element (R
The oxide 1) has an effect of shifting the Curie temperature to a higher temperature side and an effect of flattening the capacity-temperature characteristic. If the content of the second subcomponent is too small, such an effect becomes insufficient, and the capacity-temperature characteristics deteriorate. on the other hand,
If the content is too large, sinterability tends to deteriorate. Among the second subcomponents, a Yb oxide is preferable because it has a high property improving effect and is inexpensive.

【0048】第2副成分に対する第1副成分の割合を上
記範囲に調整することで、上記干渉縞が観察されるよう
な組成物を得ることができ、容量温度特性(X8R特
性)を平坦化し、CR積および焼結性をも改善すること
ができる。
By adjusting the ratio of the first sub-component to the second sub-component within the above range, it is possible to obtain a composition in which the above-mentioned interference fringes are observed, and to flatten the capacity-temperature characteristic (X8R characteristic). , CR product and sinterability can also be improved.

【0049】本発明の誘電体磁器組成物には、必要に応
じ、酸化シリコンを含む第3副成分が、チタン酸バリウ
ムを含む主成分100モルに対し2〜10モル(より好
ましくは2〜5モル)含有されていることが好ましい。
なお、前記第3副成分は、(Ba,Ca)SiO
2+x (ただし、x=0.7〜1.2)で表されるも
のであることが好ましい。この場合において、BaとC
aとの比率は任意であり、一方だけを含有するものであ
ってもよい。第3副成分(酸化シリコン)の含有量が少
なすぎると、容量温度特性が悪くなり、また、IR(絶
縁抵抗)が低下する傾向がある。一方、含有量が多すぎ
ると、IR寿命が不十分となるほか、誘電率の急激な低
下が生じてしまう傾向がある。第3副成分のより好まし
い態様としての[(Ba,Ca)SiO2+x
中のBaOおよびCaOは第1副成分にも含まれるが、
複合酸化物である(Ba,Ca)SiO2+x
融点が低いため主成分に対する反応性が良好なので、本
発明ではBaOおよび/またはCaOを上記複合酸化物
としても添加することが好ましい。第3副成分の好まし
い態様としての(Ba,Ca)SiO2+x にお
けるxは、好ましくは0.7〜1.2であり、より好ま
しくは0.8〜1.1である。xが小さすぎると、すな
わちSiOが多すぎると、主成分のBaTiO
と反応して誘電体特性を悪化させてしまう。一方、xが
大きすぎると、融点が高くなって焼結性を悪化させるた
め、好ましくない。なお、BaとCaとの比率は任意で
あり、一方だけを含有するものであってもよい。
In the dielectric porcelain composition of the present invention, if necessary, the third subcomponent containing silicon oxide may be contained in an amount of 2 to 10 mol (more preferably 2 to 5 mol) per 100 mol of the main component containing barium titanate. Mol).
The third subcomponent is (Ba, Ca) x SiO
2 + x (where x = 0.7 to 1.2) is preferable. In this case, Ba and C
The ratio with a is arbitrary, and may contain only one. If the content of the third subcomponent (silicon oxide) is too small, the capacitance-temperature characteristics are deteriorated, and the IR (insulation resistance) tends to decrease. On the other hand, if the content is too large, the IR life tends to be insufficient and the dielectric constant tends to sharply decrease. [(Ba, Ca) x SiO 2 + x ] as a more preferred embodiment of the third subcomponent
Although BaO and CaO in it are also contained in the first subcomponent,
Since (Ba, Ca) x SiO 2 + x , which is a composite oxide, has a low melting point and good reactivity with the main component, it is preferable to add BaO and / or CaO as the composite oxide in the present invention. X in (Ba, Ca) xSiO2 + x as a preferable embodiment of the third subcomponent is preferably 0.7 to 1.2, and more preferably 0.8 to 1.1. If x is too small, that is, if there is too much SiO 2 , the main component BaTiO 3
And the dielectric properties are degraded. On the other hand, if x is too large, the melting point becomes high and the sinterability deteriorates, which is not preferable. The ratio between Ba and Ca is arbitrary, and may contain only one of them.

【0050】本発明の誘電体磁器組成物には、必要に応
じ、V,MoOおよびWOから選択
される少なくとも1種を含む第4副成分が、チタン酸バ
リウムを含む主成分100モルに対し0.01〜0.5
モル(より好ましくは0.1〜0.4モル)含有されて
いることが好ましい。第4副成分(V,Mo
およびWO)は、キュリー温度以上での容量
温度特性を平坦化する効果と、IR寿命を向上させる効
果とを示す。第4副成分の含有量が少なすぎると、この
ような効果が不十分となる傾向がある。一方、含有量が
多すぎると、IRが著しく低下する傾向がある。なお、
第3副成分中における各酸化物の構成比率は任意であ
る。
In the dielectric ceramic composition of the present invention, if necessary, the fourth subcomponent containing at least one selected from V 2 O 5 , MoO 3 and WO 3 may contain a main component containing barium titanate. 0.01 to 0.5 per 100 mol
Mole (more preferably 0.1 to 0.4 mole). Fourth subcomponent (V 2 O 5 , Mo
O 3 and WO 3 ) show an effect of flattening the capacitance-temperature characteristics at the Curie temperature or higher and an effect of improving the IR life. If the content of the fourth subcomponent is too small, such an effect tends to be insufficient. On the other hand, if the content is too large, the IR tends to decrease significantly. In addition,
The constituent ratio of each oxide in the third subcomponent is arbitrary.

【0051】本発明の誘電体磁器組成物には、必要に応
じ、第5副成分として、R2酸化物(ただし、R2は
Y、Dy、Ho、Tb、GdおよびEuから選択される
少なくとも一種)が9モル以下(より好ましくは0.5
〜9モル)含有されていることが好ましい。この第5副
成分(R2酸化物)は、IRおよびIR寿命を改善する
効果を示し、容量温度特性への悪影響も少ない。ただ
し、R2酸化物の含有量が多すぎると、焼結性が悪化す
る傾向にある。第5副成分のうちでは、特性改善効果が
高く、しかも安価であることから、Y酸化物が好まし
い。
In the dielectric porcelain composition of the present invention, if necessary, R2 oxide (where R2 is at least one selected from Y, Dy, Ho, Tb, Gd and Eu) may be used as a fifth subcomponent. Is 9 mol or less (more preferably 0.5 mol
To 9 mol). The fifth subcomponent (R2 oxide) has an effect of improving IR and IR life, and has little adverse effect on the capacity-temperature characteristics. However, when the content of the R2 oxide is too large, the sinterability tends to deteriorate. Among the fifth subcomponents, a Y oxide is preferable because it has a high property improving effect and is inexpensive.

【0052】第2副成分および第5副成分の合計の含有
量は、チタン酸バリウムを含む主成分100モルに対
し、好ましくは13モル以下、さらに好ましくは10モ
ル以下(ただし、第2副成分および第5副成分のモル数
は、R1およびR2単独での比率である)である。焼結
性を良好に保つためである。
The total content of the second subcomponent and the fifth subcomponent is preferably 13 mol or less, more preferably 10 mol or less with respect to 100 mol of the main component containing barium titanate (provided that the second subcomponent is not more than 10 mol). And the number of moles of the fifth subcomponent is the ratio of R1 and R2 alone). This is for maintaining good sinterability.

【0053】また、本発明の誘電体磁器組成物には、第
6副成分としてMnOが含有されていてもよい。この第
6副成分は、焼結を促進する効果と、IRを高くする効
果と、IR寿命を向上させる効果とを示す。このような
効果を十分に得るためには、チタン酸バリウムを含む主
成分100モルに対する第6副成分の比率が0.01モ
ル以上であることが好ましい。ただし、第6副成分の含
有量が多すぎると容量温度特性に悪影響を与えるので、
好ましくは0.5モル以下とする。
Further, the dielectric ceramic composition of the present invention may contain MnO as a sixth subcomponent. The sixth subcomponent has the effect of promoting sintering, the effect of increasing IR, and the effect of improving IR life. In order to sufficiently obtain such an effect, it is preferable that the ratio of the sixth subcomponent to 100 mol of the main component containing barium titanate is 0.01 mol or more. However, if the content of the sixth subcomponent is too large, the capacity-temperature characteristics are adversely affected.
Preferably, it is 0.5 mol or less.

【0054】また、本発明の誘電体磁器組成物中には、
上記各酸化物のほか、Al が含まれていてもよ
い。Alは容量温度特性にあまり影響を与え
ず、焼結性、IRおよびIR寿命を改善する効果を示
す。ただし、Alの含有量が多すぎると焼結性
が悪化してIRが低くなるため、Alは、好
ましくは、チタン酸バリウムを含む主成分100モルに
対して1モル以下、さらに好ましくは、誘電体磁器組成
物全体の1モル以下である。
In the dielectric porcelain composition of the present invention,
In addition to the above oxides, Al2O3 May be included
No. Al2O3Has a large effect on the capacitance-temperature characteristics
And has the effect of improving sinterability, IR and IR life.
You. Where Al2O3Too high content of sintering
Deteriorates and the IR decreases, so that Al2O3Is good
More preferably, 100 moles of the main component containing barium titanate
1 mole or less, more preferably, dielectric ceramic composition
1 mol or less of the whole product.

【0055】なお、Sr,ZrおよびSnの少なくとも
1種が、ペロブスカイト構造を構成する主成分中のBa
またはTiを置換している場合、キュリー温度が低温側
にシフトするため、125℃以上での容量温度特性が悪
くなる。このため、これらの元素を含むBaTiO
[例えば(Ba,Sr)TiO]を主成分として用
いないことが好ましい。ただし、不純物として含有され
るレベル(誘電体磁器組成物全体の0.1モル%程度以
下)であれば、特に問題はない。
At least one of Sr, Zr and Sn is composed of Ba in the main component of the perovskite structure.
Alternatively, when Ti is substituted, the Curie temperature shifts to a lower temperature side, so that the capacity-temperature characteristics at 125 ° C. or higher deteriorate. Therefore, BaTiO 3 containing these elements is used.
It is preferable not to use [for example, (Ba, Sr) TiO 3 ] as a main component. However, there is no particular problem as long as it is contained as an impurity (about 0.1 mol% or less of the whole dielectric ceramic composition).

【0056】このような条件を満足することにより、干
渉縞が表れ、容量温度特性が改善され、X8R特性を満
足することが可能である。
By satisfying such conditions, interference fringes appear, the capacitance-temperature characteristics are improved, and the X8R characteristics can be satisfied.

【0057】上記干渉縞が観察される結晶粒子を所定量
以上含有する誘電体磁器組成物は、上記組成条件を満足
できるが、他の物性の誘電体磁器組成物であっても、組
成や製造条件を適宜制御することにより、上記特性(干
渉縞を有する結晶粒子30%以上)を満足することはで
きる。
The dielectric porcelain composition containing the crystal grains in which the interference fringes are observed in a predetermined amount or more can satisfy the above composition conditions. The above characteristics (30% or more of crystal grains having interference fringes) can be satisfied by appropriately controlling the conditions.

【0058】内部電極層 内部電極層3に含有される導電材は特に限定されない
が、誘電体層2の構成材料が耐還元性を有するため、卑
金属を用いることができる。導電材として用いる卑金属
としては、NiまたはNi合金が好ましい。Ni合金と
しては、Mn,Cr,CoおよびAlから選択される1
種以上の元素とNiとの合金が好ましく、合金中のNi
含有量は95重量%以上であることが好ましい。なお、
NiまたはNi合金中には、P等の各種微量成分が0.
1重量%程度以下含まれていてもよい。内部電極層の厚
さは用途等に応じて適宜決定すればよいが、通常、0.
5〜5μm、特に0.5〜2.5μm程度であることが
好ましい。
[0058] Without being limited internal electrode layer conductive material included in the internal electrode layer 3 in particular, since the material constituting the dielectric layer 2 has reduction resistance, a base metal can be used. As the base metal used as the conductive material, Ni or a Ni alloy is preferable. The Ni alloy is selected from Mn, Cr, Co and Al.
An alloy of at least one kind of element and Ni is preferable.
The content is preferably at least 95% by weight. In addition,
Various trace components such as P are contained in Ni or Ni alloy in an amount of 0.1%.
It may be contained up to about 1% by weight. The thickness of the internal electrode layer may be appropriately determined according to the application and the like.
It is preferably about 5 to 5 μm, particularly about 0.5 to 2.5 μm.

【0059】外部電極 外部電極4に含有される導電材は特に限定されないが、
本発明では安価なNi,Cuや、これらの合金を用いる
ことができる。外部電極の厚さは用途等に応じて適宜決
定されればよいが、通常、10〜50μm程度であるこ
とが好ましい。
[0059] A conductive material included in the external electrode external electrode 4 is not particularly limited,
In the present invention, inexpensive Ni, Cu and their alloys can be used. The thickness of the external electrode may be appropriately determined according to the use or the like, but is usually preferably about 10 to 50 μm.

【0060】積層セラミックコンデンサの製造方法 本発明の誘電体磁器組成物を用いた積層セラミックコン
デンサは、従来の積層セラミックコンデンサと同様に、
ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグリー
ンチップを作製し、これを焼成した後、外部電極を印刷
または転写して焼成することにより製造される。以下、
製造方法について具体的に説明する。
Manufacturing Method of Multilayer Ceramic Capacitor A multilayer ceramic capacitor using the dielectric ceramic composition of the present invention can be produced in the same manner as a conventional multilayer ceramic capacitor.
A green chip is produced by a normal printing method or a sheet method using a paste, fired, and then external electrodes are printed or transferred and fired. Less than,
The manufacturing method will be specifically described.

【0061】誘電体層用ペーストは、誘電体原料と有機
ビヒクルとを混練した有機系の塗料であってもよく、水
系の塗料であってもよい。
The dielectric layer paste may be an organic paint obtained by kneading a dielectric material and an organic vehicle, or may be an aqueous paint.

【0062】誘電体原料には、上記した酸化物やその混
合物、複合酸化物を用いることができるが、その他、焼
成により上記した酸化物や複合酸化物となる各種化合
物、例えば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、
有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いること
ができる。誘電体原料中の各化合物の含有量は、焼成後
に上記した誘電体磁器組成物の組成となるように決定す
ればよい。
As the dielectric material, the above-mentioned oxides, mixtures thereof, and composite oxides can be used. In addition, various compounds that become the above-mentioned oxides and composite oxides by firing, such as carbonates and oxalates, can be used. Acid salts, nitrates, hydroxides,
They can be appropriately selected from organometallic compounds and the like, and used by mixing. The content of each compound in the dielectric raw material may be determined so that the composition of the dielectric ceramic composition described above after firing is obtained.

【0063】誘電体原料は、通常、平均粒径0.1〜3
μm程度の粉末として用いられる。
The dielectric material usually has an average particle size of 0.1 to 3
Used as a powder of about μm.

【0064】有機ビヒクルとは、バインダを有機溶剤中
に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバインダ
は特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニルブチ
ラール等の通常の各種バインダから適宜選択すればよ
い。また、用いる有機溶剤も特に限定されず、印刷法や
シート法など、利用する方法に応じて、テルピネオー
ル、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等の各種
有機溶剤から適宜選択すればよい。
The organic vehicle is obtained by dissolving a binder in an organic solvent. The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and may be appropriately selected from various ordinary binders such as ethyl cellulose and polyvinyl butyral. In addition, the organic solvent to be used is not particularly limited, and may be appropriately selected from various organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, and toluene according to a method to be used such as a printing method and a sheet method.

【0065】また、誘電体層用ペーストを水系の塗料と
する場合には、水溶性のバインダや分散剤などを水に溶
解させた水系ビヒクルと、誘電体原料とを混練すればよ
い。水系ビヒクルに用いる水溶性バインダは特に限定さ
れず、例えば、ポリビニルアルコール、セルロース、水
溶性アクリル樹脂などを用いればよい。
In the case where the paste for the dielectric layer is an aqueous paint, an aqueous vehicle in which a water-soluble binder or dispersant is dissolved in water may be kneaded with a dielectric material. The water-soluble binder used for the aqueous vehicle is not particularly limited, and for example, polyvinyl alcohol, cellulose, a water-soluble acrylic resin, or the like may be used.

【0066】内部電極層用ペーストは、上記した各種誘
電性金属や合金からなる導電材、あるいは焼成後に上記
した導電材となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネ
ート等と、上記した有機ビヒクルとを混練して調製す
る。外部電極用ペーストは、上記した内部電極層用ペー
ストと同様にして調製すればよい。
The internal electrode layer paste is prepared by mixing the above-mentioned organic vehicle with the above-mentioned conductive material made of various dielectric metals or alloys, or various kinds of oxides, organometallic compounds, resinates, etc. which become the above-mentioned conductive material after firing. It is prepared by kneading. The external electrode paste may be prepared in the same manner as the internal electrode layer paste described above.

【0067】上記した各ペースト中の有機ビヒクルの含
有量に特に制限はなく、通常の含有量、例えば、バイン
ダは1〜5重量%程度、溶剤は10〜50重量%程度と
すればよい。また、各ペースト中には、必要に応じて各
種分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁体等から選択される添
加物が含有されていてもよい。これらの総含有量は、1
0重量%以下とすることが好ましい。
The content of the organic vehicle in each of the above-mentioned pastes is not particularly limited, and may be a usual content, for example, about 1 to 5% by weight of a binder and about 10 to 50% by weight of a solvent. Further, each paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, insulators, and the like, as necessary. Their total content is 1
The content is preferably 0% by weight or less.

【0068】印刷法を用いる場合、誘電体層用ペースト
および内部電極層用ペーストを、PET等の基板上に積
層印刷し、所定形状に切断した後、基板から剥離してグ
リーンチップとする。
When the printing method is used, the dielectric layer paste and the internal electrode layer paste are laminated and printed on a substrate such as PET, cut into a predetermined shape, and then separated from the substrate to form a green chip.

【0069】また、シート法を用いる場合、誘電体層用
ペーストを用いてグリーンシートを形成し、この上に内
部電極層用ペーストを印刷した後、これらを積層してグ
リーンチップとする。
When a sheet method is used, a green sheet is formed by using a dielectric layer paste, and an internal electrode layer paste is printed thereon, and these are laminated to form a green chip.

【0070】焼成前に、グリーンチップに脱バインダ処
理を施す。脱バインダ処理は、通常の条件で行えばよい
が、内部電極層の導電材にNiやNi合金等の卑金属を
用いる場合には、空気雰囲気において、昇温速度を好ま
しくは5〜300℃/時間、より好ましくは10〜10
0℃/時間、保持温度を好ましくは180〜400℃、
より好ましくは200〜300℃、温度保持時間を好ま
しくは0.5〜24時間、より好ましくは5〜20時間
とする。
Before firing, the green chip is subjected to a binder removal treatment. The binder removal treatment may be performed under ordinary conditions. However, when a base metal such as Ni or a Ni alloy is used as the conductive material of the internal electrode layer, the temperature is preferably increased at a rate of 5 to 300 ° C./hour in an air atmosphere. , More preferably 10 to 10
0 ° C./hour, the holding temperature is preferably 180 to 400 ° C.,
More preferably, the temperature is maintained at 200 to 300 ° C., and the temperature holding time is preferably 0.5 to 24 hours, more preferably 5 to 20 hours.

【0071】グリーンチップ焼成時の雰囲気は、内部電
極層用ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定され
ればよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を
用いる場合、焼成雰囲気中の酸素分圧は、10−8〜1
−12 気圧とすることが好ましい。酸素分圧が前記
範囲未満であると、内部電極層の導電材が異常焼結を起
こし、途切れてしまうことがある。また、酸素分圧が前
記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にある。
The atmosphere at the time of firing the green chip may be appropriately determined according to the type of the conductive material in the internal electrode layer paste, but when a base metal such as Ni or a Ni alloy is used as the conductive material, the firing atmosphere may be changed. Oxygen partial pressure is 10 −8 to 1
Preferably, the pressure is 0-12 atm. If the oxygen partial pressure is less than the above range, the conductive material of the internal electrode layer may abnormally sinter and be interrupted. If the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.

【0072】また、焼成時の保持温度は、好ましくは1
100〜1400℃、より好ましくは1200〜136
0℃、さらに好ましくは1200〜1320℃である。
保持温度が前記範囲未満であると緻密化が不十分とな
り、前記範囲を超えると、内部電極層の異常焼結による
電極の途切れや、内部電極層構成材料の拡散による容量
温度特性の悪化、誘電体磁器組成物の還元が生じやすく
なる。
The holding temperature during firing is preferably 1
100-1400 ° C, more preferably 1200-136
0 ° C, more preferably 1200 to 1320 ° C.
If the holding temperature is less than the above range, the densification becomes insufficient, and if the holding temperature exceeds the above range, the electrode is interrupted due to abnormal sintering of the internal electrode layer, the deterioration of the capacitance temperature characteristic due to the diffusion of the internal electrode layer constituent material, the dielectric Reduction of the body porcelain composition is likely to occur.

【0073】これ以外の焼成条件としては、昇温速度を
好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは20
0〜300℃/時間、温度保持時間を好ましくは0.5
〜8時間、より好ましくは1〜3時間、冷却速度を好ま
しくは50〜500℃/時間、より好ましくは200〜
300℃/時間とする。また、焼成雰囲気は還元性雰囲
気とすることが好ましく、雰囲気ガスとしてはたとえ
ば、NとHとの混合ガスを加湿して用いること
が好ましい。
Other firing conditions include a heating rate of preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 20 to 500 ° C./hour.
0 to 300 ° C./hour, the temperature holding time is preferably 0.5
-8 hours, more preferably 1-3 hours, the cooling rate is preferably 50-500 ° C./hour, more preferably 200-500 ° C./hour.
300 ° C./hour. The firing atmosphere is preferably a reducing atmosphere. As the atmosphere gas, for example, a mixed gas of N 2 and H 2 is preferably used after being humidified.

【0074】還元性雰囲気中で焼成した場合、コンデン
サ素子本体にはアニールを施すことが好ましい。アニー
ルは、誘電体層を再酸化するための処理であり、これに
よりIR寿命を著しく長くすることができるので、信頼
性が向上する。
When firing in a reducing atmosphere, the capacitor element body is preferably annealed. Annealing is a process for re-oxidizing the dielectric layer, which can significantly increase the IR life, thereby improving reliability.

【0075】アニール雰囲気中の酸素分圧は、10−6
気圧以上、特に10−5〜10−4気圧とすることが好
ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると誘電体層の再
酸化が困難であり、前記範囲を超えると内部電極層が酸
化する傾向にある。
The oxygen partial pressure in the annealing atmosphere is 10 −6
It is preferable that the pressure be equal to or higher than the atmospheric pressure, particularly, 10 −5 to 10 −4 atm. When the oxygen partial pressure is less than the above range, it is difficult to reoxidize the dielectric layer, and when the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.

【0076】アニールの際の保持温度は、1100℃以
下、特に500〜1100℃とすることが好ましい。保
持温度が前記範囲未満であると誘電体層の酸化が不十分
となるので、IRが低く、また、IR寿命が短くなりや
すい。一方、保持温度が前記範囲を超えると、内部電極
層が酸化して容量が低下するだけでなく、内部電極層が
誘電体素地と反応してしまい、容量温度特性の悪化、I
Rの低下、IR寿命の低下が生じやすくなる。なお、ア
ニールは昇温過程および降温過程だけから構成してもよ
い。すなわち、温度保持時間を零としてもよい。この場
合、保持温度は最高温度と同義である。
The holding temperature at the time of annealing is preferably 1100 ° C. or less, particularly preferably 500 to 1100 ° C. If the holding temperature is lower than the above range, the oxidation of the dielectric layer becomes insufficient, so that the IR is low and the IR life tends to be short. On the other hand, when the holding temperature exceeds the above-mentioned range, not only the internal electrode layer is oxidized and the capacity is reduced, but also the internal electrode layer reacts with the dielectric substrate, so that the capacity-temperature characteristic deteriorates and I
A reduction in R and a reduction in IR life are likely to occur. Note that the annealing may include only the temperature increasing process and the temperature decreasing process. That is, the temperature holding time may be set to zero. In this case, the holding temperature is synonymous with the maximum temperature.

【0077】これ以外のアニール条件としては、温度保
持時間を好ましくは0〜20時間、より好ましくは6〜
10時間、冷却速度を好ましくは50〜500℃/時
間、より好ましくは100〜300℃/時間とする。ま
た、アニールの雰囲気ガスとしては、たとえば、加湿し
たNガス等を用いることが好ましい。
As other annealing conditions, the temperature holding time is preferably 0 to 20 hours, more preferably 6 to 20 hours.
For 10 hours, the cooling rate is preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 100 to 300 ° C./hour. It is preferable to use, for example, humidified N 2 gas or the like as an atmosphere gas for annealing.

【0078】上記した脱バインダ処理、焼成およびアニ
ールにおいて、Nガスや混合ガス等を加湿するに
は、例えばウェッター等を使用すればよい。この場合、
水温は5〜75℃程度が好ましい。
In the above-mentioned binder removal processing, firing and annealing, for example, a wetter or the like may be used to humidify the N 2 gas or the mixed gas. in this case,
The water temperature is preferably about 5 to 75C.

【0079】脱バインダ処理、焼成およびアニールは、
連続して行なっても、独立に行なってもよい。これらを
連続して行なう場合、脱バインダ処理後、冷却せずに雰
囲気を変更し、続いて焼成の際の保持温度まで昇温して
焼成を行ない、次いで冷却し、アニールの保持温度に達
したときに雰囲気を変更してアニールを行なうことが好
ましい。一方、これらを独立して行なう場合、焼成に際
しては、脱バインダ処理時の保持温度までNガスあ
るいは加湿したNガス雰囲気下で昇温した後、雰囲
気を変更してさらに昇温を続けることが好ましく、アニ
ール時の保持温度まで冷却した後は、再びNガスあ
るいは加湿したNガス雰囲気に変更して冷却を続け
ることが好ましい。また、アニールに際しては、N
ガス雰囲気下で保持温度まで昇温した後、雰囲気を変更
してもよく、アニールの全過程を加湿したNガス雰
囲気としてもよい。
The binder removal treatment, firing and annealing are as follows.
It may be performed continuously or independently. When these are continuously performed, after removing the binder, the atmosphere is changed without cooling, and then the temperature is raised to the holding temperature at the time of firing, firing is performed, and then cooling is performed, and the temperature reaches the holding temperature of annealing. It is preferable to perform the annealing while changing the atmosphere. On the other hand, when performing these independently, at the time of firing, after raising the temperature under N 2 gas atmosphere with N 2 gas or wet to the holding temperature of the binder removal processing, further continuing the heating to change the atmosphere After cooling to the holding temperature at the time of annealing, it is preferable to change to an N 2 gas or humidified N 2 gas atmosphere again and continue cooling. In annealing, N 2
After the temperature is raised to the holding temperature in the gas atmosphere, the atmosphere may be changed, or the entire annealing process may be performed in a humidified N 2 gas atmosphere.

【0080】上記のようにして得られたコンデンサ素子
本体に、例えばバレル研磨やサンドブラストなどにより
端面研磨を施し、外部電極用ペーストを印刷または転写
して焼成し、外部電極4を形成する。外部電極用ペース
トの焼成条件は、例えば、加湿したNとHとの
混合ガス中で600〜800℃にて10分間〜1時間程
度とすることが好ましい。そして、必要に応じ、外部電
極4表面に、めっき等により被覆層を形成する。このよ
うにして製造された本発明の積層セラミックコンデンサ
は、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、
各種電子機器等に使用される。
The end of the capacitor element body obtained as described above is polished by, for example, barrel polishing or sand blasting, and the external electrode paste is printed or transferred and baked to form the external electrode 4. The firing condition of the external electrode paste is preferably, for example, about 600 minutes to about 800 ° C. for about 10 minutes to about 1 hour in a humidified mixed gas of N 2 and H 2 . Then, if necessary, a coating layer is formed on the surface of the external electrode 4 by plating or the like. The multilayer ceramic capacitor of the present invention thus manufactured is mounted on a printed circuit board by soldering or the like,
Used for various electronic devices.

【0081】以上本発明の実施形態について説明してき
たが、本発明はこうした実施形態に何等限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種
々なる態様で実施し得ることは勿論である。
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments at all, and it goes without saying that the present invention can be implemented in various modes without departing from the gist of the present invention. It is.

【0082】たとえば、上述した実施形態では、本発明
に係る電子部品として積層セラミックコンデンサを例示
したが、本発明に係る電子部品としては、積層セラミッ
クコンデンサに限定されず、上記組成の誘電体磁器組成
物で構成してある誘電体層を有するものであれば何でも
良い。
For example, in the above-described embodiment, the multilayer ceramic capacitor is exemplified as the electronic component according to the present invention. However, the electronic component according to the present invention is not limited to the multilayer ceramic capacitor, but may be a dielectric ceramic composition having the above composition. Any material may be used as long as it has a dielectric layer made of a material.

【0083】[0083]

【実施例】次に、本発明の実施の形態をより具体化した
実施例を挙げ、本発明をさらに詳細に説明する。ただ
し、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものでは
ない。
Next, the present invention will be described in more detail by way of examples which embody the embodiments of the present invention. However, the present invention is not limited to only these examples.

【0084】実施例1 それぞれ粒径0.1〜1μmの主成分原料および副成分
原料を用意した。MgOおよびMnOの原料には炭酸塩
を用い、他の原料には酸化物を用いた。また、第2副成
分の原料には、(Ba0.6 Ca0.4 )SiO
を用いた。なお、(Ba0.6 Ca0.4 )S
iOは、BaCO,CaCOおよびSiO
をボールミルにより16時間湿式混合し、乾燥後、
1150℃で空気中で焼成し、さらに、ボールミルによ
り100時間湿式粉砕することにより製造した。
Example 1 A main component raw material and a subcomponent raw material each having a particle size of 0.1 to 1 μm were prepared. Carbonate was used as a raw material for MgO and MnO, and oxides were used for other raw materials. The raw material of the second subcomponent is (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO
3 was used. Note that (Ba 0.6 Ca 0.4 ) S
iO 3 is composed of BaCO 3 , CaCO 3 and SiO
2 was wet-mixed with a ball mill for 16 hours, dried,
It was manufactured by firing at 1150 ° C. in the air and further wet grinding with a ball mill for 100 hours.

【0085】なお、主成分であるBaTiOは、B
aCOおよびTiOをそれぞれ秤量し、ボール
ミルを用いて約16時間湿式混合し、これを乾燥したの
ち、1100℃の温度で空気中にて焼成したものをボー
ルミルにより約16時間湿式粉砕して作製したものを用
いても同様の特性が得られた。また、主成分であるBa
TiOは、水熱合成粉、蓚酸塩法などによって作製
されたものを用いても同様の特性が得られた。
The main component, BaTiO 3, is composed of B
aCO 3 and TiO 2 are each weighed, wet-mixed using a ball mill for about 16 hours, dried, fired in air at a temperature of 1100 ° C. and wet-pulverized for about 16 hours by a ball mill to produce Similar characteristics were obtained by using the obtained material. In addition, the main component Ba
Similar characteristics were obtained by using TiO 3 produced by hydrothermal synthesis powder, oxalate method or the like.

【0086】これらの原料を、焼成後の組成が、主成分
であるBaTiO100モルに対して、下記表1に
示すものとなるように配合して、ボールミルにより16
時湿式混合し、乾燥させて誘電体材料とした。次いで、
得られた乾燥後の誘電体原料100重量部と、アクリル
樹脂4.8重量部と、塩化メチレン40重量部と、酢酸
エチル20重量部と、ミネラルスピリット6重量部と、
アセトン4重量部とをボールミルで混合してペースト化
し、誘電体層用ペーストを得た。
These raw materials were blended such that the composition after firing was as shown in Table 1 below with respect to 100 mol of BaTiO 3 as the main component, and the mixture was mixed by a ball mill.
The mixture was wet-mixed and dried to obtain a dielectric material. Then
100 parts by weight of the obtained dielectric material after drying, 4.8 parts by weight of acrylic resin, 40 parts by weight of methylene chloride, 20 parts by weight of ethyl acetate, 6 parts by weight of mineral spirit,
4 parts by weight of acetone were mixed with a ball mill to form a paste, thereby obtaining a dielectric layer paste.

【0087】次いで、平均粒径0.2〜0.8μmのN
i粒子100重量部と、有機ビヒクル(エチルセルロー
ス8重量部をブチルカルビトール92重量部に溶解した
もの)40重量部と、ブチルカルビトール10重量部と
を3本ロールにより混練してペースト化し、内部電極層
用ペーストを得た。
Next, N having an average particle size of 0.2 to 0.8 μm
100 parts by weight of i-particles, 40 parts by weight of an organic vehicle (8 parts by weight of ethyl cellulose dissolved in 92 parts by weight of butyl carbitol), and 10 parts by weight of butyl carbitol are kneaded with a three-roll mill to form a paste. An electrode layer paste was obtained.

【0088】次いで、平均粒径0.5μmのCu粒子1
00重量部と、有機ビヒクル(エチルセルロース樹脂8
重量部をブチルカルビトール92重量部に溶解したも
の)35重量部およびブチルカルビトール7重量部とを
混練してペースト化し、外部電極用ペーストを得た。
Next, Cu particles 1 having an average particle size of 0.5 μm
00 parts by weight and an organic vehicle (ethyl cellulose resin 8
35 parts by weight of butyl carbitol dissolved in 92 parts by weight of butyl carbitol) and 7 parts by weight of butyl carbitol were kneaded into a paste to obtain a paste for an external electrode.

【0089】次いで、上記誘電体層用ペーストを用いて
PETフィルム上に、厚さ15μmのグリーンシートを
形成し、この上に内部電極層用ペーストを印刷したの
ち、PETフィルムからグリーンシートを剥離した。次
いで、これらのグリーンシートと保護用グリーンシート
(内部電極層用ペーストを印刷しないもの)とを積層、
圧着して、グリーンチップを得た。内部電極を有するシ
ートの積層数は4層とした。
Next, a 15 μm-thick green sheet was formed on a PET film using the above-mentioned dielectric layer paste, and after the internal electrode layer paste was printed thereon, the green sheet was peeled off from the PET film. . Next, these green sheets and protective green sheets (without printing the internal electrode layer paste) are laminated,
Crimping was performed to obtain a green chip. The number of stacked sheets having internal electrodes was four.

【0090】次いで、グリーンチップを所定サイズに切
断し、脱バインダ処理、焼成およびアニールを行って、
積層セラミック焼成体を得た。
Next, the green chip is cut into a predetermined size, and a binder removal process, firing and annealing are performed.
A laminated ceramic fired body was obtained.

【0091】脱バインダ処理は、昇温時間15℃/時
間、保持温度280℃、保持時間8時間、空気雰囲気の
条件で行った。
The binder removal treatment was performed under the conditions of a heating time of 15 ° C./hour, a holding temperature of 280 ° C., a holding time of 8 hours, and an air atmosphere.

【0092】焼成は、昇温速度200℃/時間、保持温
度1280℃、保持時間2時間、冷却速度300℃/時
間、加湿したN+H混合ガス雰囲気(酸素分圧
は10−9気圧)の条件で行った。
The firing is performed at a temperature rising rate of 200 ° C./hour, a holding temperature of 1280 ° C., a holding time of 2 hours, a cooling rate of 300 ° C./hour, a humidified N 2 + H 2 mixed gas atmosphere (oxygen partial pressure is 10 −9 atm). Was performed under the following conditions.

【0093】アニールは、保持温度900℃、温度保持
時間9時間、冷却速度300℃/時間、加湿したN
ガス雰囲気(酸素分圧は10−5気圧)の条件で行っ
た。なお、焼成およびアニールの際の雰囲気ガスの加湿
には、水温を35℃としたウェッターを用いた。
Annealing was performed at a holding temperature of 900 ° C., a temperature holding time of 9 hours, a cooling rate of 300 ° C./hour, and humidified N 2.
The test was performed under a gas atmosphere (oxygen partial pressure was 10 −5 atm). Note that a wetter with a water temperature of 35 ° C. was used for humidifying the atmosphere gas during firing and annealing.

【0094】次いで、積層セラミック焼成体の端面をサ
ンドブラストにて研磨したのち、外部電極用ペーストを
端面に転写し、加湿したN+H雰囲気中におい
て、800℃にて10分間焼成して外部電極を形成し、
図1に示される構成の積層セラミックコンデンサのサン
プルを得た。
Next, after polishing the end face of the laminated ceramic fired body by sand blasting, the external electrode paste was transferred to the end face, and fired at 800 ° C. for 10 minutes in a humidified N 2 + H 2 atmosphere. To form
A sample of the multilayer ceramic capacitor having the configuration shown in FIG. 1 was obtained.

【0095】このようにして得られた各サンプルのサイ
ズは、3.2mm×1.6mm×0.6mmであり、内
部電極層に挟まれた誘電体層の数は4、その厚さは10
μmであり、内部電極層の厚さは1.5μmであった。
The size of each sample thus obtained was 3.2 mm × 1.6 mm × 0.6 mm, the number of dielectric layers sandwiched between the internal electrode layers was 4, and its thickness was 10
μm, and the thickness of the internal electrode layer was 1.5 μm.

【0096】また、コンデンサのサンプルのほかに、円
板状サンプルも作製した。この円板状サンプルは、上記
各コンデンサのサンプルの誘電体層と同組成で、かつ焼
成条件が同じであり、直径5mmのIn−Ga電極をサ
ンプルの両面に塗布したものである。
In addition to the capacitor sample, a disk-shaped sample was also prepared. This disc-shaped sample has the same composition as the dielectric layer of each capacitor sample and the same sintering conditions, and is obtained by coating an In-Ga electrode having a diameter of 5 mm on both surfaces of the sample.

【0097】各サンプルについて下記特性の評価を行っ
た。
Each sample was evaluated for the following characteristics.

【0098】比誘電率(εr)、誘電損失(tanδ) 円板状サンプルに対し、25℃において、LCRメータ
により1kHz,1Vrmsの条件下で容量およびta
nδを測定した。そして、容量、電極寸法およびサンプ
ルの厚さから、比誘電率を算出した。結果を各表に示
す。
Specific dielectric constant (εr), dielectric loss (tan δ) The capacitance and ta of a disk-shaped sample were measured at 25 ° C. under the conditions of 1 kHz and 1 Vrms by an LCR meter.
nδ was measured. Then, the relative dielectric constant was calculated from the capacitance, the electrode dimensions, and the thickness of the sample. The results are shown in each table.

【0099】絶縁抵抗(IR) 円板状サンプルに対し、25℃における比抵抗を測定し
た。比抵抗の測定は、絶縁抵抗計((株)アドバンテス
ト社製R8340A(50V−1分値))により行っ
た。結果を各表に示す。
Insulation Resistance (IR) The specific resistance at 25 ° C. of the disc-shaped sample was measured. The specific resistance was measured by an insulation resistance meter (R8340A (50 V-1 minute value) manufactured by Advantest Corporation). The results are shown in each table.

【0100】容量の温度特性 コンデンサのサンプルに対し、−55〜160℃の温度
範囲で容量を測定し、X8R特性を満足するかどうかを
調べた。また、本発明の実施例としてYbを含有するサ
ンプル(試料3)を選び、比較例としてYを含有するサ
ンプル(試料1)を選び、これらのサンプルの−55℃
〜160℃における容量温度特性を図2に示した。図2
には、X7R特性を満足する矩形範囲(図2における内
側の矩形)、X8R特性を満足する矩形範囲(図2にお
ける外側の矩形)を併記した。なお、測定には、LCR
メータ(HP4284A)を用い、測定電圧は1Vとし
た。
Temperature Characteristics of Capacitance The capacitance of the capacitor sample was measured in a temperature range of -55 to 160 ° C., and it was examined whether the X8R characteristic was satisfied. In addition, a sample containing Yb (sample 3) was selected as an example of the present invention, and a sample containing Y (sample 1) was selected as a comparative example.
FIG. 2 shows the capacity-temperature characteristics at -160 ° C. FIG.
, A rectangular range satisfying the X7R characteristic (the inner rectangle in FIG. 2) and a rectangular range satisfying the X8R characteristic (the outer rectangle in FIG. 2) are also described. In addition, LCR was used for measurement.
The measurement voltage was 1 V using a meter (HP4284A).

【0101】TEM(Transmission Electron Microsco
pe)による誘電体組織の観察 観察試料の作成方法は、本実施例では、下記の様な手順
にて観察試料を作成した。なお、特に観察試料に加工の
影響が入らないように注意した。
TEM (Transmission Electron Microsco
Observation of dielectric structure by pe) In this example, an observation sample was prepared by the following procedure. In particular, care was taken so that the observation sample was not affected by the processing.

【0102】コンデンサのサンプルに対し、まず、ダイ
ヤモンドソー、サンドペーパー、で約100μm程度ま
でに研磨加工した。次いで、1μm以下のダイヤモンド
パウダーを懸濁させた溶液を用いて試料面をバフ研磨し
た。次いで、ディプルグラインダーを用いて約20μm
の厚みに研磨を行い、さらにイオンミリングによって研
磨して、観察試料を作製した。このイオンミリングによ
る加工時は、試料の温度上昇を防ぐために、液体窒素を
用いて試料ステージを冷却した。
First, the capacitor sample was polished to about 100 μm with a diamond saw and sandpaper. Next, the sample surface was buffed using a solution in which diamond powder of 1 μm or less was suspended. Then, about 20 μm using a dip grinder
Was polished to a thickness of, and further polished by ion milling to produce an observation sample. During processing by ion milling, the sample stage was cooled using liquid nitrogen to prevent the temperature of the sample from rising.

【0103】次いで、得られた観察試料を、TEM(日
本電子製のJEM−2000FXII)の試料ホルダーに
固定し、セットされた観察試料の組織を、加速電圧20
0kV、倍率20000〜50000の条件で観察し、
干渉縞を有する結晶粒子を観察視野の30%以上含有す
るかどうかを調べた。満足するものを○、満足しないも
のを×とし、各表に示した。
Next, the obtained observation sample was fixed to a sample holder of a TEM (JEM-2000FXII manufactured by JEOL Ltd.), and the tissue of the observation sample set was subjected to an acceleration voltage of 20 μm.
0kV, observed under the conditions of magnification 20,000 to 50,000,
It was examined whether crystal grains having interference fringes were contained in 30% or more of the observation visual field. Those satisfying the condition are indicated by “○”, and those not satisfying the condition are indicated by “×”.

【0104】また、本実施例の代表的な組成である試料
3についてのTEM写真を図3(A)に示す。これを見
ると、観察視野(写真全体の面積)の30%以上である
55%に、応力干渉縞を有する結晶粒子を含有している
ことが分かる。比較のために、試料1についてのTEM
写真を図3(B)に示したが、応力干渉縞を含有する結
晶粒子は観察されなかった。
FIG. 3A shows a TEM photograph of Sample 3 which is a typical composition of this example. From this, it can be seen that crystal grains having stress interference fringes are contained in 55%, which is 30% or more of the observation visual field (the entire area of the photograph). For comparison, the TEM for Sample 1 was
The photograph is shown in FIG. 3 (B), but no crystal particles containing stress interference fringes were observed.

【0105】なお、干渉縞の含有値は、干渉縞が観察さ
れた部分面積の合計を、観察視野全体の面積で割る(除
算する)ことにより求めた。応力干渉縞と、試料厚みに
よる干渉縞との判別は、傾斜角度を変化させて確認し
た。ドメインの判別方法は、試料の傾斜角度を可変して
ドメインの消滅を確認する事によって判別した。なお、
試料の傾斜角度の変更は±5度で行った。
The value of the interference fringes was determined by dividing (dividing) the total area of the partial areas where the interference fringes were observed by the area of the entire observation visual field. The discrimination between the stress interference fringes and the interference fringes based on the sample thickness was confirmed by changing the inclination angle. The domain was determined by varying the tilt angle of the sample and confirming disappearance of the domain. In addition,
The inclination angle of the sample was changed at ± 5 degrees.

【0106】直流電界下でのIR寿命 コンデンサのサンプルに対し、200℃にて10V/μ
mの電界下で加速試験を行い、絶縁抵抗が1MΩ以下に
なるまでの時間を寿命時間とし、各表に示した。
10 V / μm at 200 ° C. for a sample of an IR life capacitor under a DC electric field.
The acceleration test was performed under an electric field of m, and the time until the insulation resistance became 1 MΩ or less was defined as the life time, and is shown in each table.

【0107】DSCによる測定 円板状サンプル(試料1,3)について、DSC(示差
走査熱量測定)により吸熱ピークを測定し、キュリー温
度を求めた。なお、サンプルの温度−DDSC曲線を図
4に示す。これを見ると、実施例のサンプルでは、比較
例のサンプルと比較して、キュリー温度の高温側へのシ
フト、温度特性の改善が認められることも確認できた。
Measurement by DSC The endothermic peaks of the disc-shaped samples (samples 1 and 3) were measured by DSC (differential scanning calorimetry) to determine the Curie temperature. FIG. 4 shows a temperature-DDSC curve of the sample. From this, it was also confirmed that the sample of the example exhibited a shift in Curie temperature to a higher temperature side and an improvement in temperature characteristics as compared with the sample of the comparative example.

【0108】[0108]

【表1】 [Table 1]

【0109】上記表中、絶縁抵抗(IR)の数値におい
て、「mE+n」は「m×10+n」を意味する。
In the above table, in the numerical value of the insulation resistance (IR), “mE + n” means “m × 10 + n ”.

【0110】上記表に示される結果から、第1副成分中
のMgと第2副成分中のYとのモル比(Mg/Y)が所
定範囲内の場合に、応力干渉縞が観察される結晶粒子が
観察視野の30%以上となり、それらの本実施例のサン
プルは、X8R特性を満足し、しかも、比誘電率および
絶縁抵抗が十分に高く、かつ、誘電損失も問題ないこと
が判明した。なお、本実施例のサンプルは、X8R特性
のほか、前記したEIAJ規格のB特性およびEIA規
格のX7R特性も満足していた。
From the results shown in the above table, when the molar ratio (Mg / Y) between Mg in the first subcomponent and Y in the second subcomponent is within a predetermined range, stress interference fringes are observed. The crystal grains accounted for 30% or more of the observation visual field, and it was found that the samples of the present example satisfied the X8R characteristics, had sufficiently high relative permittivity and insulation resistance, and had no problem with dielectric loss. . In addition, the sample of this example satisfied not only the X8R characteristic but also the B characteristic of the EIAJ standard and the X7R characteristic of the EIA standard described above.

【0111】また、第2副成分を含有することにより、
十分なIR寿命が得られることが確認できた。なお、こ
の条件下では、寿命時間が1時間以上であれば、IR寿
命が十分であるといえる。
Also, by containing the second subcomponent,
It was confirmed that a sufficient IR life was obtained. Under this condition, if the lifetime is 1 hour or more, it can be said that the IR lifetime is sufficient.

【0112】なお、別途サンプルを作製し、このサンプ
ルについて走査型電子顕微鏡による組織の観察および密
度測定を行った結果、第2副成分の含有量が10モル以
上になると、焼成温度1280℃の範囲では焼結性が不
十分となることも確認された。焼結性が不十分である
と、誘電損失、比誘電率、IR寿命などの特性が低くな
ってしまい、また、耐湿性や強度も不十分となる。な
お、焼成温度をさらに高くすることによって焼結性を向
上させることは可能であるが、1320℃を超えるよう
な高温で焼成した場合、内部電極層の途切れや誘電体磁
器組成物の還元が生じやすくなってしまう。
A sample was prepared separately, and the structure was observed with a scanning electron microscope and the density of the sample was measured. As a result, when the content of the second subcomponent became 10 mol or more, the firing temperature range was 1280 ° C. It was also confirmed that the sinterability was insufficient. If the sinterability is insufficient, characteristics such as dielectric loss, relative dielectric constant, and IR life will be reduced, and moisture resistance and strength will also be insufficient. Although it is possible to improve the sinterability by further raising the firing temperature, firing at a high temperature exceeding 1320 ° C. may cause interruption of the internal electrode layer and reduction of the dielectric ceramic composition. It will be easier.

【0113】実施例2 第2副成分として、Yb、Tm、Lu、Sc、Erを
4.26モル添加した以外は、実施例1の試料番号3と
同様にして、本実施例の円板状サンプルを作製した(試
料3−1,6〜9)。また、第2副成分として、何も添
加しない、または本発明の範囲外のY、La、Ce、P
r、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、DyまたはHoを
4.26モル添加した以外は、実施例1の試料番号3と
同様にして、比較例に係る円板状サンプルを作製した
(試料10〜21)。これら円板状サンプルについて、
実施例1と同様な測定を行った。結果を表2に示す。
Example 2 A disc-shaped sample of this example was prepared in the same manner as in Sample No. 3 of Example 1 except that 4.26 mol of Yb, Tm, Lu, Sc, and Er were added as second subcomponents. Samples were prepared (Samples 3-1 and 6-9). Further, as a second subcomponent, nothing is added, or Y, La, Ce, P
A disc-shaped sample according to a comparative example was prepared in the same manner as in Sample No. 3 of Example 1 except that 4.26 mol of r, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy or Ho was added (Sample 10-21). For these disc-shaped samples,
The same measurement as in Example 1 was performed. Table 2 shows the results.

【0114】[0114]

【表2】 [Table 2]

【0115】表2に示される結果から、第2副成分とし
て何も添加しない、またはY、La、Ce、Pr、N
d、Sm、Eu、Gd、Tb、DyまたはHoを添加し
た比較例に係るサンプルと比較して、第2副成分として
Yb、Tm、Lu、ScまたはErを含有するサンプル
では、応力干渉縞が観察される結晶粒子が観察視野の3
0%以上となり、それらの本実施例のサンプルは、実施
例1と同様に、X8R特性を満足することが確認でき
た。
From the results shown in Table 2, nothing was added as the second subcomponent, or Y, La, Ce, Pr, N
As compared to the sample according to the comparative example to which d, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy or Ho was added, in the sample containing Yb, Tm, Lu, Sc or Er as the second subcomponent, the stress interference fringe was reduced. The observed crystal particles are 3
0% or more, and it was confirmed that the samples of the present example satisfied the X8R characteristic similarly to Example 1.

【0116】実施例3 第5副成分としてのYをさらに添加し、第2
副成分を4.26モル添加した以外は、実施例1の試料
番号3と同様にしてサンプルを作製し(試料番号22〜
24)、実施例1と同様な測定を行った。結果を表3に
示す。参考までに、試料1も併せて示す。なお、焼成温
度は1320℃とした。
Example 3 Y 2 O 3 as a fifth subcomponent was further added,
Samples were prepared in the same manner as in Sample No. 3 of Example 1 except that 4.26 mol of the subcomponent was added (Sample Nos. 22 to 22).
24), the same measurement as in Example 1 was performed. Table 3 shows the results. Sample 1 is also shown for reference. The firing temperature was 1320 ° C.

【0117】[0117]

【表3】 [Table 3]

【0118】表3に示される結果から、Yb酸化物(第
2副成分)に加えて、Y酸化物(第5副成分)を添加す
ることにより、IR寿命が向上することが確認できた。
また、Y酸化物添加による他の特性への悪影響も認めら
れないことも確認できた。
From the results shown in Table 3, it was confirmed that the IR life was improved by adding the Y oxide (fifth subcomponent) in addition to the Yb oxide (second subcomponent).
It was also confirmed that the addition of Y oxide did not adversely affect other characteristics.

【0119】実施例4 第2副成分として、Sc、Er、Tm、Yb、Luを4
モル添加した以外は、実施例1の試料番号3と同様にし
て、本実施例の円板状サンプルを作製した。また、第2
副成分として、本発明の範囲外のGd、Tb、Dy、Y
またはHoを4モル添加した以外は、実施例1の試料番
号3と同様にして、比較例に係る円板状サンプルを作製
した。これら円板状サンプルについて、(002)およ
び(200)結晶面のX線回折(XRD)を測定した結
果を図5に示す。これを見ると、第2副成分として、E
r、Sc、Tm、Yb、Luから選択される少なくとも
1種を添加することによって、(200)および(00
2)結晶面のピーク位置が広がっていることが確認され
た。これは、a−c軸比が大きくなっており、すなわち
BaTiOの結晶軸が歪んでいることを示している
と考えられる。換言すれば、BaTiO表面の一部
にこれら(Er、Sc、Tm、Yb、Luから選択され
る少なくとも1種)が固溶していくことによって、Ba
TiOの結晶が歪んでくる。このため、BaTiO
の結晶内部に歪み、応力が発生し、TEM観察時に
干渉縞が認められると考えられる。
Example 4 Sc, Er, Tm, Yb, and Lu were used as the second subcomponents.
A disk-shaped sample of this example was produced in the same manner as in Sample No. 3 of Example 1, except that the addition was made in molar. Also, the second
Gd, Tb, Dy, Y outside the scope of the present invention as subcomponents
Alternatively, a disc-shaped sample according to a comparative example was prepared in the same manner as in Sample No. 3 of Example 1 except that 4 mol of Ho was added. FIG. 5 shows the results of X-ray diffraction (XRD) measurement of the (002) and (200) crystal planes of these disc-shaped samples. Looking at this, as the second subcomponent, E
(200) and (00) by adding at least one selected from r, Sc, Tm, Yb and Lu.
2) It was confirmed that the peak position of the crystal plane was widened. This is considered to indicate that the ac axis ratio is large, that is, the crystal axis of BaTiO 3 is distorted. In other words, these (at least one selected from Er, Sc, Tm, Yb, and Lu) form a solid solution on a part of the BaTiO 3 surface, so that Ba is formed.
The TiO 3 crystal is distorted. For this reason, BaTiO
It is considered that strain and stress are generated inside the crystal of No. 3 and interference fringes are observed during TEM observation.

【0120】本実施例の円板状サンプルを用いて、実施
例1と同様にしてX8R特性を満足するかどうかを評価
したところ、いずれもX8R特性を満足していた。
The disc samples of this example were used to evaluate whether or not the X8R characteristics were satisfied in the same manner as in Example 1. As a result, all of them satisfied the X8R characteristics.

【0121】なお、BaTiOは強誘電体であるの
で、歪み応力によってキュリー温度や容量温度特性が変
化すると考えられる。
Since BaTiO 3 is a ferroelectric substance, it is considered that the Curie temperature and the capacitance temperature characteristic change due to the strain stress.

【0122】実施例5 第2副成分として、Sc、Er、Tm、Yb、Luを2
モルまたは4.26モル添加した以外は、実施例1の試
料番号3(表1参照)と同様にして、本実施例のサンプ
ルを作製した。また、第2副成分として、本発明の範囲
外のYを2モルまたは4.26モル添加した以外は、実
施例1の試料番号3と同様にして、比較例に係るサンプ
ルを作製した。
Example 5 Sc, Er, Tm, Yb, and Lu were 2
A sample of this example was prepared in the same manner as in Sample No. 3 of Example 1 (see Table 1) except that 4 mol or 4.26 mol was added. Further, a sample according to a comparative example was prepared in the same manner as in Sample No. 3 of Example 1, except that 2 mol or 4.26 mol of Y out of the range of the present invention was added as the second subcomponent.

【0123】これらサンプルを、150℃で1時間熱処
理し、無負荷状態で室温(25℃)にて24時間放置し
た後、LCRメーターにより測定電圧1kHz,1Vr
msで初期容量Cを測定した。次に、誘電体層1層
あたり6.3Vの直流電界を40℃にて100時間印加
した後、無負荷状態で室温(25℃)にて放置した。放
置開始から24時間後および111時間後に、C
定の際と同じ条件で容量を測定し、初期容量Cから
の変化量ΔCを求めて、容量変化率ΔC /C
を算出した。
These samples were heat treated at 150 ° C. for 1 hour.
And left at room temperature (25 ° C.) for 24 hours with no load
After that, measured voltage 1kHz, 1Vr by LCR meter
Initial capacity C in ms0Was measured. Next, one dielectric layer
DC electric field of 6.3V per hour at 40 ° C for 100 hours
After that, it was left at room temperature (25 ° C.) with no load. Release
24 hours and 111 hours after the start of the0Measurement
Measure the capacity under the same conditions as whenoFrom
Of change ΔC1And the capacitance change rate ΔC1 / C0
Was calculated.

【0124】その結果、Yを含有し、X7R特性を満足
する比較例に係るサンプルに比較して、本実施例のサン
プルは、直流電界下での容量の経時変化が比較例のサン
プルと同等または小さくなり、信頼性が十分に高いこと
が確認できた。
As a result, as compared with the sample according to the comparative example which contains Y and satisfies the X7R characteristic, the sample according to the present embodiment has the same capacity as that of the sample according to the comparative example in the change with time in the capacity under a DC electric field. It was confirmed that the size was small and the reliability was sufficiently high.

【0125】[0125]

【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、比誘電率が高く、容量温度特性がEIA規格のX8
R特性(−55〜150℃、ΔC=±15%以内)を満
足し、還元性雰囲気中での焼成が可能であり、直流電界
下での容量の経時変化が小さく、また絶縁抵抗の寿命を
長くすることが可能な誘電体磁器組成物を提供すること
ができる。
As described above, according to the present invention, the dielectric constant is high, and the capacitance-temperature characteristic is X8 of EIA standard.
Satisfies R characteristics (−55 to 150 ° C., ΔC = ± 15% or less), can be fired in a reducing atmosphere, has a small capacity change with time under a DC electric field, and has a long life of insulation resistance. It is possible to provide a dielectric ceramic composition that can be lengthened.

【0126】この誘電体磁器組成物で構成された誘電体
層を有する積層セラミックコンデンサなどの電子部品
は、自動車の電子装置のように厳しい環境下で使用され
る各種機器内において安定した動作が可能であるため、
適用される機器の信頼性を著しく向上させる。
Electronic components such as multilayer ceramic capacitors having a dielectric layer composed of the dielectric ceramic composition can operate stably in various devices used under severe environments such as automobile electronic devices. Because
Significantly improve the reliability of applied equipment.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミ
ックコンデンサの断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.

【図2】 図2はコンデンサの容量温度特性を表すグラ
フである。
FIG. 2 is a graph showing capacitance-temperature characteristics of a capacitor.

【図3】 図3(A)は試料3のTEM写真、図3
(B)は試料1のTEM写真である。
FIG. 3A is a TEM photograph of Sample 3, FIG.
(B) is a TEM photograph of Sample 1.

【図4】 図4は試料3と試料1の誘電体磁器組成物の
温度−DDSC曲線を示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing the temperature-DDSC curves of the dielectric ceramic compositions of Sample 3 and Sample 1.

【図5】 図5はBaTiO+MgO+R
(R=Gd、Tb、Dy、Y、Ho、Er、Sc、
Tm、Yb、Luから選択される少なくとも1種)+M
nO+V+(BaCa)SiO系の(0
02)および(200)結晶面のX線回折(XRD)チ
ャートを示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing BaTiO 3 + MgO + R 2 O
3 (R = Gd, Tb, Dy, Y, Ho, Er, Sc,
At least one selected from Tm, Yb, and Lu) + M
nO + V 2 O 5 + (BaCa) SiO 3 based (0
It is a figure which shows the X-ray-diffraction (XRD) chart of a (02) and (200) crystal plane.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1… 積層セラミックコンデンサ 10… コンデンサ素子本体 2… 誘電体層 3… 内部電極層 4… 外部電極 REFERENCE SIGNS LIST 1 multilayer ceramic capacitor 10 capacitor element body 2 dielectric layer 3 internal electrode layer 4 external electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺田 佳弘 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 永井 亜紀子 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 Fターム(参考) 4G031 AA03 AA04 AA06 AA07 AA11 AA30 BA09 BA26 CA03 5E001 AB03 AC03 AC09 AD03 AE00 AE02 AE03 AE04 AF06 AH01 AH05 AH09 AJ01 AJ02 5G303 AA01 AB06 AB11 AB20 BA12 CA01 CB03 CB06 CB17 CB30 CB35 CB43  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Yoshihiro Terada 1-13-1, Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo Inside TDK Corporation (72) Inventor Akiko Nagai 1-13-1 Nihonbashi, Chuo-ku, Tokyo TDK In-house F term (reference) 4G031 AA03 AA04 AA06 AA07 AA11 AA30 BA09 BA26 CA03 5E001 AB03 AC03 AC09 AD03 AE00 AE02 AE03 AE04 AF06 AH01 AH05 AH09 AJ01 AJ02 5G303 AA01 AB06 AB11 AB20 BA12 CA01 CB03 CB03 CB03 CB03

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 チタン酸バリウムを含む主成分を有する
誘電体磁器組成物であって、 透過電子顕微鏡により観察した際に、干渉縞を有する結
晶粒子を観察視野の30%以上含有する誘電体磁器組成
物。
1. A dielectric ceramic composition having a main component containing barium titanate, wherein the dielectric ceramic composition contains, when observed by a transmission electron microscope, crystal grains having interference fringes of 30% or more of an observation field. Composition.
【請求項2】 チタン酸バリウムを含む主成分と、 Mg、Ca、BaおよびSiから選択される少なくとも
1種の第1元素(M1)の酸化物を含む第1副成分と、 Er、Sc、Tm、YbおよびLuから選択される少な
くとも1種の第2元素(R1)の酸化物を含む第2副成
分とを少なくとも有する誘電体磁器組成物であって、 前記第2副成分の第2元素のモル数に対する第1副成分
の第1元素のモル数の比(M1/R1)が、0<(M1
/R1)≦2である誘電体磁器組成物。
2. A main component containing barium titanate; a first subcomponent containing an oxide of at least one first element (M1) selected from Mg, Ca, Ba and Si; and Er, Sc, A dielectric ceramic composition comprising at least a second subcomponent including an oxide of at least one type of second element (R1) selected from Tm, Yb, and Lu, wherein the second element of the second subcomponent is The ratio of the number of moles of the first element of the first subcomponent to the number of moles of (M1 / R1) is 0 <(M1
/ R1) dielectric ceramic composition satisfying ≦ 2.
【請求項3】 誘電体層を有する電子部品であって、 前記誘電体層が、チタン酸バリウムを含む主成分を有す
る誘電体磁器組成物で構成してあり、 前記誘電体磁器組成物が、透過電子顕微鏡により観察し
た際に、干渉縞を有する結晶粒子を観察視野の30%以
上含有する電子部品。
3. An electronic component having a dielectric layer, wherein the dielectric layer is made of a dielectric porcelain composition having a main component containing barium titanate, wherein the dielectric porcelain composition comprises: An electronic component containing, when observed with a transmission electron microscope, crystal grains having interference fringes of 30% or more of the observation field.
【請求項4】 誘電体層を有する電子部品であって、 前記誘電体層が、チタン酸バリウムを含む主成分を有す
る誘電体磁器組成物で構成してあり、 前記誘電体磁器組成物が、チタン酸バリウムを含む主成
分と、 Mg、Ca、BaおよびSiから選択される少なくとも
1種の第1元素(M1)の酸化物を含む第1副成分と、 Er、Sc、Tm、YbおよびLuから選択される少な
くとも1種の第2元素(R1)の酸化物を含む第2副成
分とを少なくとも有し、 前記第2副成分の第2元素のモル数に対する第1副成分
の第1元素のモル数の比(M1/R1)が、0<(M1
/R1)≦2である電子部品。
4. An electronic component having a dielectric layer, wherein the dielectric layer is composed of a dielectric porcelain composition having a main component containing barium titanate, wherein the dielectric porcelain composition comprises: A main component containing barium titanate; a first subcomponent containing an oxide of at least one first element (M1) selected from Mg, Ca, Ba and Si; Er, Sc, Tm, Yb and Lu And at least one second subcomponent containing an oxide of a second element (R1) selected from the group consisting of: a first element of the first subcomponent with respect to a mole number of the second element of the second subcomponent. The ratio of the number of moles (M1 / R1) is 0 <(M1
/ R1) ≦ 2 electronic components.
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