JP2001133704A - 光軸補正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光軸補正装置のミラーとその保持部材との接
着において、接着剤が硬化して生じる応力によるミラー
の反射面の歪み、およびミラーと保持部材の熱膨張特性
の違いから生じる応力によるミラーの歪みを解消する。 【解決手段】 ミラーの反射面１２ａおよび１２ｂと、
支持部材と接続する接続部１２ｃとを一体に構成するミ
ラー部１２を用いることにより、接着剤を使用しないの
で、接着剤の硬化によるミラーの歪みを解消できる。ま
た、同材料で一体に形成したので、熱膨張性の違いによ
るミラーの歪みを解消できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光空間伝送装置内で
光軸の補正を行うための光軸補正装置に関し、特にミラ
ーの反射角を制御することによって光軸の補正を行う光
軸補正装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、電波資源の不足や、無線または有
線による通信回線設置のためには煩雑な手続きが必要な
ことから、光を用いた空間伝送による通信の実用化の研
究が盛んになっている。しかし、キロメートルにもおよ
ぶ長距離間の光空間伝送装置に関しては、未だ十分な性
能を有する装置が得られていないのが現状である。

【０００３】特に、このように光を用いた通信では、正
確なビーム送受信を行うために、常に送信側と受信側の
光軸が一致していることが必要である。しかし、風など
の外的要因、装置内部で発生する振動、さらには温度変
化などにより光学系が影響を受けて光軸のずれが生じ
る。長距離通信においては微小な光軸のずれも通信に支
障をきたすため、常に光軸の補正を行うことが必要とな
る。

【０００４】このような要請にこたえるために、出願人
は発明の名称を光軸補正装置とする特願平１０−０１４
５３３号を出願している。図６に、上記の光軸補正装置
を含む、双方向の光通信が可能な光空間伝送装置の光学
系部分の概略構成を示す。

【０００５】この光空間伝送装置では、送信信号に基づ
いて変調された発光素子１のビームが、レンズ２によっ
て平行光にされ、ビームスプリッタ３ａに入射される。
ここで反射されたビームは光軸補正装置７０のミラー７
２に入射し、反射光が光入出力側の凹型のレンズ４に入
射され、レンズ４で拡大されたビームは、レンズ４とと
もに主レンズ部を構成するレンズ５で平行光に変換され
て送信先の光空間伝送装置に向けて出力される。

【０００６】これに対し、相手側から受信したビームは
レンズ５が受け、レンズ４で平行光に変換された後、光
軸補正装置７０のミラー７２に入射する。その反射光は
ビームスプリッタ３ａを通過してビームスプリッタ３ｂ
に入射される。ビームスプリッタ３ｂは、入射したビー
ムを位置検出側と受信側とに振り分ける。このうち位置
検出側に振り分けられたビームは、レンズ６で集光さ
れ、位置検出センサ７に入射する。位置検出センサ７
は、入射した光の位置を検出し、その検出信号を図示し
ない制御回路に送信する。制御回路側では、検出信号に
基づいて後述する角度制御を行う。

【０００７】一方、受信側に振り分けられたビームは、
レンズ８で集光され、受光素子９に入射する。受光素子
９は、入射したビームを電気信号に変換し、受信信号と
して図示しない受信回路側に送る。受信回路側では、受
信信号を復調し、元のデータに復元する。

【０００８】この光学系で、光軸補正装置７０は、レン
ズ４からミラー７２に入射したビームの反射光を、ビー
ムスプリッタ３ａに正確に入射させるように、ミラー７
２の角度を調節する。

【０００９】図７は従来の光軸補正装置の平面図であ
る。この光軸補正装置７０は、入力ビームをミラー７２
に入射させ、ミラー７２の角度を変化させて、反射光の
光軸を補正して入力素子に入射させる。

【００１０】光軸補正装置７０は、後述する枠体の上面
に２軸スプリング７１を取り付けた構成となっている。
２軸スプリング７１は、薄型の弾性を有する円板状の部
材で、同軸の３つのリング７１１，７１２，７１３を有
している。最も外側の外側リング７１１は、枠体に固定
されている。外側リング７１１と中間リング７１２との
間には隙間が空けられており、中間リング７１２はＹ軸
ブリッジ７１ｙによって、外側リング７１１とねじれ回
転可能な状態で連結されている。これにより中間リング
７１２は、外側リング７１１に対してＹ軸まわりに回動
可能となっている。また同様に、最も内側の内側リング
７１３と中間リング７１２との間には隙間が空けられ、
内側リング７１３はＸ軸ブリッジ７１ｘによって、中間
リング７１２とねじれ回転可能な状態で連結されてい
る。これにより内側リング７１３は、中間リング７１２
に対してＸ軸まわりに回動可能となっている。この内側
リング７１３には、円形のミラー７２が固定されてい
る。

【００１１】図８は図７のＦ−Ｆ線に沿った断面図であ
る。前述したように、２軸スプリング７１は、枠体７３
の上面に固定されている。内側リング７１３の下面に
は、ミラーホルダ７４が固定され、ミラー７２を保持し
ている。このとき、ミラー７２は、その反射面７２ａが
２軸スプリング７１の板厚の中心面と一致するように取
り付けられている。

【００１２】枠体７３の下端面には、ベースプレート７
５が固定され、さらに環状のスペーサ７６を介して基板
７７が固定されている。ベースプレート７５上には、ミ
ラーホルダ７４を回動させる駆動機構部が設けられてい
る。この駆動機構部として、ミラーホルダ７４をＸ軸ま
わりに回動させるＸ軸駆動機構部７８Ｘと、Ｙ軸まわり
に回動させるＹ軸駆動機構部７８Ｙとがそれぞれ２個ず
つあり、Ｘ軸駆動機構部７８Ｘどうし、およびＹ軸駆動
機構部７８Ｙどうしは、それぞれＸ軸とＹ軸の交点、す
なわち原点をはさんで互いに対向する位置に設けられて
いる。ただし、図８では、Ｘ軸駆動機構部７８Ｘの一方
は図面手前側のため図示されていない。

【００１３】Ｙ軸駆動機構部７８Ｙは、いわゆるムービ
ングマグネット型のボイスコイルモータで、主に、ベー
スプレート７５に固定されるボビン７８Ｙａ、ボビン７
８Ｙに巻かれたコイル７８Ｙｂ、ミラーホルダ７４側に
固定されるヨーク７８Ｙｃ、およびヨーク７８Ｙｃの内
側に固定されるマグネット７８Ｙｄから構成されてい
る。光軸補正装置７０では、２つのＹ軸駆動機構部７８
Ｙの駆動を制御することにより、ミラーホルダ７４のＹ
軸まわりの回動角度を制御する。

【００１４】同様に、Ｘ軸駆動機構部７８Ｘもボビン
と、コイルと、ヨークと、マグネットから構成されてお
り、これにより、ミラーホルダ７４のＸ軸まわりの回動
角度が制御される。

【００１５】ベースプレート７５上には、Ｘ軸角度セン
サ７９ＸとＹ軸角度センサ７９Ｙが固定されている。光
軸補正装置７０では、これらＸ軸角度センサ７９ＸやＹ
軸角度センサ７９Ｙなどからの角度検出信号に基づい
て、Ｘ軸駆動機構部７８ＸおよびＹ軸駆動機構部７８Ｙ
を制御し、ミラー７２の反射面７２ａの角度を制御す
る。これにより光軸の補正制御がなされる。

【００１６】なお、上記のＸ軸駆動機構部７８Ｘおよび
Ｙ軸駆動機構部７８Ｙのボイスコイルモータは、マグネ
ットが駆動するムービングマグネット型であるが、コイ
ルが駆動するムービングコイル型でもよい。この場合
は、ボビンおよびコイルがミラーホルダに固定され、ヨ
ークおよびマグネットがベースプレートに固定される。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、光軸補正装
置７０において、ミラー７２はミラーホルダ７４に接着
剤で固定されている。図９にミラー７２のミラーホルダ
７４への取り付け構造を示す。（ａ）は平面図で、
（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ線に沿った断面図である。

【００１８】ミラーホルダ７４は、ミラー７２の中心と
回転中心が一致するように、ミラー７２を正確に位置決
めして保持している。このため図９（ｂ）において、ミ
ラーホルダ７４にミラー７２をはめ込んだときに、ミラ
ー７２の側面が隙間無くミラーホルダ７４の位置決め部
７４ｃに密着するように形成されている。そして、位置
決め部７４ｃの上部には、接着部７４ｂとして示した切
り欠きが設けられており、ここに接着剤を流し込んでミ
ラー７２を接着している。つまり図９（ａ）の接着部７
４ｂに示すように、ミラー７２の側面部の全周にわたっ
て接着剤が注入されることになる。

【００１９】しかし、ミラー７２とミラーホルダ７４が
密着した位置決め部７４ｃには接着剤が入らない。つま
り、ミラー７２は接着部７４ｂでのみミラーホルダ７４
と接着されており、ミラー７２の側面全体が接着されて
いるわけではない。このため、接着剤が硬化したときの
体積の変化によって発生する応力が、ミラー７２の側面
の上部にのみ作用し、ミラー７２の反射面７２ａに歪み
が生じてしまうことがある。

【００２０】従来では、このような接着剤の硬化による
ミラー７２の歪みを低減するために、完全硬化しない接
着剤を用いることで、ミラー７２に作用する応力を抑え
ていたが、十分な解決法ではなかった。

【００２１】また、ミラーホルダ７４は可動部を軽量化
しミラー７２の応答性を高めるため、密度の小さい樹脂
製としているが、ミラーホルダ７４とミラー７２をネジ
締結せず接着によって固定することで、より軽量な可動
部が実現されている。これに対して、可動部の質量を増
加させずに、接着以外の方法でミラー７２を固定するこ
とは困難である。

【００２２】さらに、接着後に歪んだ反射面７２ａを、
接着後に再加工して必要な平面度を確保する方法も考え
られるが、製造コストが増加し、適当な方法とはいえな
い。また、ミラー７２の反射面７２ａに歪みが生じる第
２の原因として、ミラー７２とミラーホルダ７４の材質
の違いが挙げられる。ミラー７２に使用しているガラス
とミラーホルダ７４に使用している樹脂とでは、熱膨張
係数が３倍以上異なる。このため、接着したときの温度
に対して使用環境の温度が異なると、熱膨張係数の差に
よってミラー７２に歪みが生じる可能性がある。

【００２３】ミラーの反射面の歪みは、光空間伝送の光
学系に影響を及ぼす。図１０に、ミラーの反射面が歪ん
だ場合の反射光について示す。（ａ）は反射面が凸型に
変形した場合、（ｂ）は反射面が凹型に変形した場合で
ある。

【００２４】図１０（ａ）のように、接着後のミラー７
２の反射面７２ａが凸型に変形した場合、反射面７２ａ
に入射した平行光１０１は、反射すると矢印で示した反
射光１０２のように拡散する光になる。また、図１０
（ｂ）のように反射面７２ａが凹型に変形した場合は、
平行光１０１の入射に対して反射光１０３は収束する光
になる。

【００２５】このように反射面に歪みが生じたミラーを
光空間伝送に用いると、ミラーによる反射光の光径の変
化によって、受光部でのレーザ光の検出に支障をきた
す。例えば、レーザ光源から出射した平行光をミラーに
よって反射し、離れた位置にある相手装置に伝送する場
合、ミラーの歪みによって平行光でなくなったレーザ光
は、相手装置において大きく光径が変化してしまう。光
径の変化は、受光部による受光量の変化となって現れ
る。また、位置検出センサにおいてレーザ光がスポット
として結像しないなど、光軸の検出にも支障が生じるこ
とになる。

【００２６】このようなミラーの反射面の歪みによる影
響に対し、従来では光学系と光軸補正装置を１対１で組
み合わせて、レーザダイオードや受光素子などの光学素
子側で調整・吸収する方法がとられていた。しかし、光
軸補正装置に問題が生じて部品を交換する場合などに
は、光学系全体を調整し直す必要があり、量産品として
は問題があった。また、ミラーとミラーホルダの熱膨張
特性の違いによる歪みは、光学素子側の調整では排除す
ることができない。

【００２７】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、ミラーの歪みを解消し、光軸補正の精度を向
上させた光軸補正装置を提供することを目的とする。

【００２８】

【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、光空間伝送装置内で光軸の補正を行うた
めの光軸補正装置において、レーザ光を反射するミラー
と枠とが一体であるミラー部と、前記ミラー部を、前記
ミラーの反射面と平行な面上の第１の軸および第２の軸
まわりに回動自在に支持する支持部材と、前記ミラーを
前記第１の軸および第２の軸まわりにそれぞれ独立して
回動させるための、前記ミラー部側に設けられたマグネ
ット、および前記マグネットを駆動するコイルを有する
回動機構部と、前記ミラーの前記各軸まわりの回動角度
を検出する回動角度検出機構部と、前記ミラーの前記第
１の軸および第２の軸まわりの回動角度がそれぞれ所望
の角度となるように前記回動機構部を制御する回動制御
手段と、を有することを特徴とする光軸補正装置が提供
される。

【００２９】このような光軸補正装置では、ミラーとミ
ラー支持部材を接続する接続部分がミラーと一体に構成
されているので、接着剤の使用によるミラーの歪みや、
材料の違いによる熱膨張特性の差から生じるミラーの歪
みが生じないので、光軸補正の精度を向上させることが
できる。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図２は本発明の光軸補正装置を示
す平面図である。光軸補正装置１０は、入力ビームをミ
ラーの反射面１２ａに入射させ、反射面１２ａの角度を
変化させて、反射光の光軸を補正して入力素子に入射さ
せる装置であり、基本的な構造は従来例と同じである。

【００３１】光軸補正装置１０は、後述する枠体の上面
に２軸スプリング１１を取り付けた構成となっている。
２軸スプリング１１は、薄型の弾性を有する円板状の部
材で、同軸の３つのリング１１１，１１２，１１３を有
している。最も外側の外側リング１１１は、枠体に固定
されている。外側リング１１１と中間リング１１２との
間には隙間が空けられており、中間リング１１２はＹ軸
ブリッジ１１ｙによって、外側リング１１１とねじれ回
転可能な状態で連結されている。これにより、中間リン
グ１１２は、外側リング１１１に対してＹ軸まわりに回
動可能となっている。

【００３２】最も内側の内側リング１１３と中間リング
１１２との間には隙間が空けられている。内側リング１
１３は、Ｘ軸ブリッジ１１ｘによって、中間リング１１
２とねじれ回転可能な状態で連結されている。これによ
り、内側リング１１３は、中間リング１１２に対してＸ
軸まわりに回動可能となっている。また、この内側リン
グ１１３には、円形のミラー部１２が接着またはネジ止
めによって固定されている。

【００３３】図３は図２のＢ−Ｂ線に沿う断面図であ
る。前述したように、２軸スプリング１１は、枠体１３
の上面に固定されている。内側リング１１３の下面に
は、両面ミラーとこれを保持し他の部品と接続する保持
部材とが一体に構成されたミラー部１２が固定されてい
る。このとき、ミラー部１２は、その反射面１２ａが２
軸スプリング１１の板厚の中心面と一致するように取り
付けられている。

【００３４】また、枠体１３の下端面には、ベースプレ
ート１５が固定されている。さらに、環状のスペーサ１
６を介して基板１７が固定されている。ベースプレート
１５上には、Ｘ軸角度センサ１９ＸとＹ軸角度センサ１
９Ｙが固定されている。Ｘ軸角度センサ１９ＸおよびＹ
軸角度センサ１９Ｙは光学式のセンサであり、発光素子
と受光素子が一体に設けられている。発光素子からの光
をミラー部１２の裏面のミラーで反射させ、その反射光
を受光素子が検出することにより、それぞれがミラー部
１２のＸ軸まわり、Ｙ軸まわりの回動角度を検出する。

【００３５】さらに、ベースプレート１５から少し高い
位置には、中間プレート１４が設けられている。中間プ
レート１４の上面には、ミラー部１２を回動させる駆動
機構部が設けられている。

【００３６】この駆動機構部として、ミラー部１２をＸ
軸まわりに回動させるＸ軸駆動機構部１８Ｘと、Ｙ軸ま
わりに回動させるＹ軸駆動機構部１８Ｙとがそれぞれ２
個ずつあり、Ｘ軸駆動機構部１８Ｘどうし、およびＹ軸
駆動機構部１８Ｙどうしは、それぞれＸ軸とＹ軸の交
点、すなわち原点をはさんで互いに対向する位置に設け
られている。ただし、図３では、Ｘ軸駆動機構部１８Ｘ
の一方は図面手前側のため図示されていない。

【００３７】Ｙ軸駆動機構部１８Ｙは、いわゆるムービ
ングマグネット型のボイスコイルモータで、主に、中間
プレート１４に固定されるボビン１８Ｙａと、ボビン１
８Ｙａに巻かれたコイル１８Ｙｂと、ミラー部１２にネ
ジ止め固定されるヨーク１８Ｙｃと、ヨーク１８Ｙｃの
内側に固定されるマグネット１８Ｙｄから構成されてい
る。光軸補正装置１０では、２つのＹ軸駆動機構部１８
Ｙの駆動を制御することにより、ミラー部１２のＹ軸ま
わりの回動角度を制御する。

【００３８】同様に、Ｘ軸駆動機構部１８Ｘもボビン
と、コイルと、ヨークと、マグネットから構成されてお
り、これにより、ミラー部１２のＸ軸まわりの回動角度
が制御される。

【００３９】光軸補正装置１０では、ベースプレート１
５上に固定されたＸ軸角度センサ１９ＸとＹ軸角度セン
サ１９Ｙなどからの角度検出信号に基づいて、Ｘ軸駆動
機構部１８ＸおよびＹ軸駆動機構部１８Ｙを制御し、ミ
ラー部１２の反射面１２ａの角度を制御する。これによ
り光軸の補正制御がなされる。

【００４０】図１にミラー部１２の詳細図を示す。
（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断
面図である。ミラー部１２は、上下両方の反射面１２ａ
および１２ｂを有する中央部のミラーと、その周囲で２
軸スプリングおよびマグネットのヨークと接続されるた
めの接続部１２ｃとを、一体に有する。接続部１２ｃに
は、ヨークあるいはヨークと２軸スプリングの両方を固
定するためのネジ穴１２ｄが設けられている。また、反
射面１２ａの周囲には全周にわたって環状の歪み防止溝
１２ｅが設けられている。

【００４１】このミラー部１２では、ミラーの反射面１
２ａおよび１２ｂと接続部１２ｃが一体なので、ミラー
を接着剤で固定することによって生じるミラーの歪みは
解消される。また、同一材料で一体に構成されているた
め、熱膨張特性の違いによるミラーの歪みも発生しな
い。

【００４２】しかし、ミラーと接続部１２ｃが一体にな
ったことによって、２軸スプリングおよびマグネットの
ヨークとの接続の影響を受ける。ミラー部１２では、こ
れを防止するために歪み防止溝１２ｅが設けられてい
る。

【００４３】図４は図３のＣ部の拡大図であり、ネジ締
結の場合のミラー部１２と２軸スプリング１１およびヨ
ーク１８Ｙｃとの接続構造を示す。図４のように、ミラ
ー部１２の接続部１２ｃのネジ穴１２ｄには、上面の２
軸スプリング１１と，下面のナットの機能を有するヨー
ク１８Ｙｃとを、ネジ４０とヨーク１８Ｙｃのナットに
よって接続している。このとき、ネジ４０を締める力に
よって、間にあるミラー部１２には圧縮応力が作用す
る。ミラー部１２とヨーク１８Ｙｃとの接触面積は比較
的大きく、圧縮応力はある程度分散されて小さくなる
が、ネジ４０は接触面積が小さいため、局部的に比較的
大きな圧縮応力を生ずる。

【００４４】もしミラーの反射面１２ａと２軸スプリン
グ１１の取り付け面が同一平面上にあると、上記の圧縮
応力によって反射面１２ａに歪みが生じる。そこで、反
射面１２ａの周囲に環状の歪み防止溝１２ｅを設け、ネ
ジ締結にともなう応力の範囲を溝の外側の応力作用範囲
Ｄに限定し、反射面１２ａに応力が作用しないようにす
ることで、反射面１２ａの歪みを防止している。

【００４５】またミラー部１２と２軸スプリング１１と
を接着する場合も、接着剤の均一性にバラツキがあれ
ば、接着剤が硬化するときの体積の変化によって生じる
応力が、反射面１２ａに対して不均一に作用して、反射
面１２ａに歪みを生じる。これに対しても、歪み防止溝
１２ｅによって応力が及ぶ範囲を限定することで、歪み
を防止することができる。

【００４６】ところで、ミラー部１２に設けた歪み防止
用の溝の形状は、２軸スプリング１１をネジ締結、ある
いは接着する際に生じる応力の範囲を限定し、ミラーの
反射面１２ａへの応力の作用を防止できる形状であれ
ば、上記の形状に限らず有効である。

【００４７】図５に歪み防止溝の他の形状例を示す。
（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ線に沿った断
面図である。ミラー部２２では、２軸スプリングとネジ
締結することを前提としている。基本的な構成は図１の
ミラー部１２と同様で、上面の反射面２２ａおよび下面
の反射面２２ｂを有するミラーと、２軸スプリングとの
接続部２２ｃとが一体に構成されている。接続部２２ｃ
にネジ穴２２ｄを設け、このネジ穴２２ｄを囲むように
歪み防止溝２２ｅが設けられている。この歪み防止溝２
２ｅによって、ネジを締めることで生じる圧縮応力の範
囲を、環状の溝の内側に限定することで、反射面２２ａ
の歪みを防止している。

【００４８】次に、上記のミラーと接続部を一体とした
ミラー部の、材料と製造方法について説明する。ミラー
部の材質は、従来のミラーとミラーホルダの接着部品の
質量と同等か、またはさらに軽量化することができ、加
工が容易で、要求される反射面の形状精度（平面度）を
得られやすいという基準を満たす、アルミニウムあるい
はマグネシウムとした。

【００４９】材質をマグネシウムとした場合のミラー部
の製造方法は、まずダイキャストによって外形およびネ
ジ穴、歪み防止溝等を成形する。その後２軸スプリング
およびマグネットヨークの取り付け部分を加工し、さら
に両反射面が平行になるように鏡面加工する。反射面に
は、必要に応じてコーティングあるいは金メッキ（蒸
着）を施す。

【００５０】材質をマグネシウムとした場合の製造方法
は、ダイキャストあるいはチクソモールディングによっ
て外形・ネジ穴・歪み防止溝を成形し、あとはアルミニ
ウムと同様に、ヨークの取り付け部分、両反射面を加工
する。

【００５１】チクソモールディング成形は、あらかじめ
炉で溶かした金属を金型に流し込むダイキャスト成形に
対して、金属の小さなチップ（長さ４〜５ｍｍ、径２ｍ
ｍ程度）を射出成形機内で加熱して溶解させ、溶解した
と同時に高圧をかけて金型内に射出し、成形する方法で
ある。また、アルミニウムやマグネシウムのダイキャス
ト成形あるいはチクソモールディング成形は、高い寸法
精度を必要としないネジ穴や歪み防止溝を、機械加工す
ることなく１度に成形することができ、量産性に優れて
いる。

【００５２】図１に示したミラー部をアルミニウムおよ
びマグネシウムを使用し上記の方法で製作したものの質
量と、従来のガラス製のミラーと樹脂製ミラーホルダの
接着部品の質量を比較すると、次のようになる。

【００５３】 従来のミラーとミラーホルダ：約９ｇ アルミニウム製のミラー部 ：約９ｇ マグネシウム製のミラー部 ：約６ｇ このように、従来のミラー部品とアルミニウム製のミラ
ー部の質量はほぼ同等であり、マグネシウム製のミラー
部の場合は質量を２／３に低減することができる。

【００５４】ミラーの回動応答性は、２軸スプリングの
ブリッジ部のねじり剛性と、可動部の回転軸に対する慣
性モーメントの大きさに依存している。アルミニウム製
のミラー部の質量は、従来のミラー部品とほぼ同等であ
るが、図１（ｂ）でもわかるとおり従来型と比較して薄
い形状になっており、それにともなってマグネットやヨ
ークがミラーの回転中心に近づき、すなわち回転半径が
小さくなって、結果として慣性モーメントが小さくな
り、ミラーの回転応答性が向上する。また、マグネシウ
ム製のミラー部の場合は、これに加えて可動部の質量も
小さくなっており、一層ミラーの回転応答性が向上す
る。

【００５５】なお、上記の説明では、ミラー部の回動機
構部にマグネットが駆動するムービングマグネット方式
のボイスコイルモータを使用した例を用いたが、マグネ
ットおよびヨークを中間プレートに固定し、コイルおよ
びボビンをミラー部下部に固定して駆動させるムービン
グコイル方式のボイスコイルモータを用いた場合にも適
用できる。

【００５６】

【発明の効果】以上説明したように本発明の光軸補正装
置では、レーザ光を反射するミラーと支持部材などとの
接続部を一体に構成したミラー部を用いたので、接着剤
が硬化したときの応力によるミラーの歪みや、異なる材
料を使用しその熱膨張性の違いから生じる応力によるミ
ラーの歪みを防止することができ、光軸補正の精度を向
上させることができる。

【００５７】また、ミラー部のミラーの周囲に歪み防止
溝を設けたので、支持部材との接着あるいはネジ締結に
よって生じる応力の作用する範囲が限定され、ミラーの
歪みを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のミラー部の詳細図であり、（ａ）は平
面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図であ
る。

【図２】本発明の光軸補正装置を示す平面図である。

【図３】図２のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。

【図４】図３のＣ部の拡大図である。

【図５】歪み防止溝の他の形状例であり、(a)は平面
図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ線に沿った断面図である。

【図６】従来の光空間伝送装置の光学系を示す図であ
る。

【図７】従来の光軸補正装置の平面図である。

【図８】図７のＦ−Ｆ線に沿った断面図である。

【図９】ミラーのミラーホルダへの取り付け構造を示す
図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ線
に沿った断面図である。

【図１０】ミラーの反射面が歪んだ場合の反射光につい
て示す図であり、（ａ）は反射面が凸型に変形した場
合、（ｂ）は反射面が凹型に変形した場合を示す図であ
る。

【符号の説明】

１１……２軸スプリング、１２……ミラー部、１２ａ…
…反射面、１２ｂ……反射面、１２ｃ……接続部、１２
ｄ……ネジ穴、１２ｅ……歪み防止溝、１８Ｙ……Ｙ軸
駆動機構部、１８Ｙａ……ボビン、１８Ｙｂ……コイ
ル、１８Ｙｃ……ヨーク、１８Ｙｄ……マグネット

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光空間伝送装置内で光軸の補正を行うた
   めの光軸補正装置において、 レーザ光を反射するミラーと枠とが一体であるミラー部
   と、 前記ミラー部を、前記ミラーの反射面と平行な面上の第
   １の軸および第２の軸まわりに回動自在に支持する支持
   部材と、 前記ミラーを前記第１の軸および第２の軸まわりにそれ
   ぞれ独立して回動させるための、前記ミラー部側に設け
   られたマグネットと、前記マグネットを駆動するコイル
   とを有する回動機構部と、 前記ミラーの前記各軸まわりの回動角度を検出する回動
   角度検出機構部と、 前記ミラーの前記第１の軸および第２の軸まわりの回動
   角度がそれぞれ所望の角度となるように前記回動機構部
   を制御する回動制御手段と、 を有することを特徴とする光軸補正装置。
2. 【請求項２】 前記ミラー部の前記保持部材およびマグ
   ネットヨークをネジ締結するためのネジ穴より内側の円
   周上に歪み防止溝を設けたことを特徴とする請求項１記
   載の光軸補正装置。
3. 【請求項３】 前記ミラー部の前記保持部材およびマグ
   ネットヨークをネジ締結するためのネジ穴の周囲に歪み
   防止溝を設けたことを特徴とする請求項１記載の光軸補
   正装置。
4. 【請求項４】 前記ミラー部の材質をアルミニウムとし
   たことを特徴とする請求項１記載の光軸補正装置。
5. 【請求項５】 前記ミラー部の材質をマグネシウムとし
   たことを特徴とする請求項１記載の光軸補正装置。