JP2001129393A - 活性炭吸着剤およびその製造方法 - Google Patents

活性炭吸着剤およびその製造方法

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Akira Yatsuyanagi
晃 八柳
Tomoaki Kajima
智明 梶間
Yoshinobu Suzuki
良延 鈴木
Hiroshi Harada
博司 原田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 活性炭吸着剤を無発塵化する。 【解決手段】 活性炭粒子の表面を微細孔を有する樹脂
薄膜からなるコーティング層により被覆する。コーティ
ング層をアクリル樹脂により形成する。コーティング層
により活性炭粒子どうしを一体に成形する。活性炭粒子
に酸性ガスあるいは塩基性ガスを吸着する薬剤を添着せ
しめる。その製造は、処理液を活性炭粒子に含浸せしめ
る工程と、活性炭粒子の表面に樹脂溶液を付着させる工
程と、加熱乾燥によりコーティング層を形成すると同時
に処理液を蒸発させて微細孔を形成する工程とを有す
る。コーティング層を形成すると同時にそのコーティン
グ層により活性炭粒子どうしを接着せしめて一体に成形
する。処理液として酸性ガスあるいは塩基性ガスを吸着
する薬剤の溶液を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ケミカルフィルタ
等として使用される活性炭吸着剤およびその製造方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】周知のように、半導体製造工場や液晶製
造工場等におけるクリーンルームではガス状の汚染物質
による分子汚染が問題となっており、それらの汚染物質
をケミカルフィルタにより除去することが一般化してい
る。ケミカルフィルタとしては活性炭素繊維によるもの
やイオン交換繊維によるもの、活性炭吸着剤によるもの
等があり、除去対象のガスに応じて有機ガス用のもの、
酸性ガス用のもの、塩基性ガス用のものが選択されて使
用される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来一般に
使用されているケミカルフィルタのうち、活性炭吸着剤
によるものは優れた吸着性能を有するのみならず安価で
しかも長寿命である点で有効である反面、活性炭粒子か
ら微粉が発生するという発塵性を有しているので高度の
清浄度が要求されるクリーンルーム内では使用できない
ものであった。そのため、クリーンルーム内に適用する
ケミカルフィルタとしては発塵性のない活性炭素繊維や
イオン交換繊維によるものを使用せざるを得ないが、こ
れらは活性炭吸着剤に比較してかなり高価でありかつ寿
命も短く、それが設備費および運転費、保守費の軽減を
図る上での障害となっている。
【0004】上記事情に鑑み、本発明の目的は、ガス状
の汚染物質の吸着性能に優れ安価で長寿命であることに
加えて、クリーンルーム内に対しても適用可能な無発塵
の活性炭吸着剤とその製造方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明の活性炭
吸着剤は、活性炭粒子の表面を微細孔を有する樹脂薄膜
からなるコーティング層により被覆してなるものであ
る。すなわち、この活性炭吸着剤は、無数の微細孔が形
成されているポーラスなコーティング層によって活性炭
粒子の表面全体を被覆したものである。これによれば、
吸着対象のガス状の汚染物質の分子はコーティング層の
微細孔を支障なく通過して活性炭粒子に吸着され、した
がって従来の活性炭吸着剤と同等の吸着性能を維持し得
る。また、コーティング層によって活性炭粒子表面の強
度が向上して割れや剥離、脱落が防止されるとともに、
活性炭粒子から発生する微粉は微細孔を通過することが
できない大きさであるのでコーティング層内に封じ込ま
れ、したがって無発塵化が実現されてクリーンルーム内
においても使用することが可能となる。
【0006】請求項2の発明の活性炭吸着剤は、前記コ
ーティング層をアクリル樹脂により形成したものであ
る。
【0007】請求項3の発明の活性炭吸着剤は、前記コ
ーティング層により活性炭粒子どうしを一体に成形した
ものである。
【0008】請求項4の発明の活性炭吸着剤は、活性炭
粒子に酸性ガスあるいは塩基性ガスを吸着する薬剤を添
着せしめて、酸性ガスあるいは塩基性ガスを吸着除去可
能としたものである。
【0009】請求項5の発明は、前記の活性炭吸着剤を
製造する方法であって、処理液に活性炭粒子を浸漬して
該処理液を活性炭粒子に含浸せしめる処理液含浸工程
と、処理液を含浸した活性炭粒子を樹脂溶液中に浸漬し
て活性炭粒子の表面に樹脂溶液を付着させる樹脂溶液付
着工程と、処理液を含浸し樹脂溶液が付着した活性炭粒
子を加熱乾燥させることにより、活性炭粒子の表面にコ
ーティング層を形成すると同時に活性炭粒子に含浸され
ていた処理液を蒸発させて該コーティング層に微細孔を
形成する加熱乾燥工程とを有するものである。
【0010】請求項6の発明の製造方法は、前記加熱乾
燥工程においてコーティング層を形成すると同時に該コ
ーティング層により活性炭粒子どうしを接着せしめて一
体に成形するものである。
【0011】請求項7の発明の製造方法は、前記処理液
として酸性ガスあるいは塩基性ガスを吸着する薬剤の溶
液を用いることにより、活性炭粒子に該薬剤を添着せし
めるものである。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態である活
性炭吸着剤とその製造方法の具体例を説明する。
【0013】(1)使用材料 本実施形態では基材としての活性炭粒子として汎用のヤ
シ殻活性炭の破砕炭あるいは所定粒度に成形した成形活
性炭を用いる。また、コーティング層を形成するための
樹脂としてはそれ自体が発塵したり汚染ガスを発生する
ものでないことが必要であり、ここではアクリル樹脂、
たとえば酢酸ビニルアクリルエマルション(酢酸ビニル
/アクリル酸エステル共重合体)あるいはオールアクリ
ルエマルション(スチレン/アクリル酸エステル共重合
体)の水溶液を用いる。アクリル樹脂水溶液の希釈倍率
は適宜で良いが、酢酸ビニルアクリルエマルションでは
5〜70倍程度、オールアクリルエマルションでは3〜
60倍程度とすることが好適である(後述するように、
樹脂をバインダーとして活性炭粒子どうしを接着して一
体に成形する場合には希釈倍率は低い方が良い)。ま
た、処理液として純水を用いる。
【0014】(2)処理液含浸工程 処理液としての純水中に活性炭粒子を浸漬して適宜攪拌
あるいは超音波振動を与え、活性炭粒子の細孔内に処理
液を十分に含浸させる。浸漬時間は1時間〜半日程度と
する。
【0015】(3)樹脂溶液付着工程 処理液への浸漬終了後、十分な水切りを行った後に、上
記の樹脂水溶液中に活性炭粒子を浸漬し、活性炭粒子の
表面に樹脂溶液を十分に付着させる。浸漬時間は30分
〜1時間程度で良い。
【0016】(4)加熱乾燥工程 樹脂水溶液への浸漬終了後、十分な水切りを行い、30
分〜1時間程度室内に放置して常温での予備乾燥を行っ
た後、100〜150゜Cに加熱して強制乾燥させる。
加熱時間は数時間〜半日程度とする。この工程により、
活性炭粒子の表面の樹脂溶液が漸次硬化していって表面
全体にコーティング層が形成されていくが、その過程で
活性炭粒子の細孔内に含浸されていた処理液が蒸発し、
その水分子が形成されつつあるコーティング層を通過し
て放出され、それによりコーティング層には無数の微細
孔が形成される。すなわちポーラスなコーティング層に
より活性炭粒子の表面全体が被覆される。
【0017】以上の製造方法により製造される上記構造
の活性炭吸着剤は、吸着対象のガス状の汚染物質の分子
はコーティング層の微細孔を支障なく通過して活性炭粒
子に吸着され、したがって従来の活性炭吸着剤と同等の
吸着性能を維持し得るものである。また、コーティング
層によって活性炭粒子表面の強度が向上してその割れや
剥離、脱落が防止されるとともに、活性炭粒子から発生
する微粉は微細孔を通過することができない大きさであ
るのでコーティング層内に封じ込まれてしまい、これに
より無発塵化が実現される。勿論、コーティング層とし
ての樹脂薄膜からの発塵や汚染物質の発生は問題となら
ない。
【0018】したがって上記の活性炭吸着剤は、従来の
活性炭吸着剤が本来的に有している安価で長寿命である
という利点に加えて、最大の欠点であった発塵性を解消
しており、それ故にこれをクリーンルーム内において使
用することが可能となり、それによりクリーンルームの
設備費、運転費、保守費の軽減を実現することが可能で
ある。勿論、上記のように汎用のヤシ殻活性炭等を水溶
性塗料として多用されている安価なアクリル樹脂等に単
に浸漬して加熱乾燥するという単純な工程のみで容易か
つ効率的に形成できることから、この活性炭吸着剤の製
造コストは些少である。
【0019】なお、上記の加熱乾燥工程において、活性
炭粒子を静置した状態でコーティング層を形成すれば、
そのコーティング層をバインダーとして活性炭粒子どう
しを接着して所望の形状に一体に成形することが可能で
ある。したがって、活性炭粒子を適宜の成形容器内に充
填して所定厚さの平板状の形態に成形すれば、その成形
品それ自体をケミカルフィルタとして使用することも可
能となる。つまり、従来一般の活性炭系ケミカルフィル
タは通気性を有する袋体や容器内に活性炭吸着剤を詰め
込んで充填した形態とされることが通常であるが、上記
のような成形品とすることで袋体や容器を不要とでき
る。
【0020】逆に、加熱乾燥工程において活性炭粒子に
振動を与える等して個々の活性炭粒子どうしが接着され
ないようにすれば、個々の活性炭粒子がばらばらに独立
した状態のままでそれぞれにコーティング層が形成され
るから、これは従来の活性炭吸着剤と同様に取り扱うこ
とができるし、従来の活性炭吸着剤に代えて使用するこ
とができる。つまり、従来一般の活性炭系ケミカルフィ
ルタにおける袋体や容器をそのまま用いて活性炭吸着剤
のみを上記のコーティング層を形成したものに置換する
ことで、従来の活性炭系ケミカルフィルタを無発塵性の
ものに交換できることになる。
【0021】また、上記実施形態では処理液として純水
を用いたが、処理液として酸性ガスあるいは塩基性ガス
を吸着する薬剤の溶液を用いれば、処理液含浸工程にお
いてそれら薬剤を活性炭粒子に添着できることになり、
したがってそのようにして製造される活性炭吸着剤は酸
性ガスあるいは塩基性ガスを吸着除去できるものとな
り、酸性ガス除去用あるいは塩基性ガス除去用のケミカ
ルフィルタとして使用できるものとなる。
【0022】図1〜図4に、従来の活性炭吸着剤(以
下、従来品)と、上記のコーティング層を形成した活性
炭吸着剤(以下、本発明品)との性能比較を示す。
【0023】図1は発塵量を比較するものであり、面風
速1.0m/s、SV=120,000/hの条件で、
それぞれの活性炭吸着剤を通過した後の空気の清浄度を
測定したものである。これによれば、粒径0.1μmに
おいて従来品は2000個/m3以上であるのに対し、
本発明品は35個/m3程度であり、約1/100に激
減している。これはJISのクラス1〜2の間に対応し
ている。
【0024】図2は有機ガスの除去性能を比較するもの
で、測定条件は入口濃度60μg・C/m3、SV=3
0,000/hである。図2から本発明品はコーティン
グ層が形成されているにも拘わらず従来品と同等の除去
率が確保されており、コーティング層に形成されている
微細孔を通しての有機ガス吸着が支障なく行われている
ことが明らかである。
【0025】図3は酸性ガス吸着用の薬剤を添着した酸
性ガス除去用の活性炭吸着剤における陰イオンの除去性
能を比較するもので、測定条件はSV=60,000/
hである。図3から、NO2 -、NO3 -、SO4 2-のいず
れについても、本発明品が従来品に勝る除去率を有して
いることが分かる。
【0026】図4は塩基性ガス吸着用の薬剤を添着した
塩基性ガス除去用の活性炭吸着剤における陽イオン(N
4 +)の除去性能を比較するもので、測定条件は入口濃
度7000ng/m3、SV=60,000/hであ
る。図4から本発明品が従来品と同等以上の除去率を有
していることが分かる。
【0027】なお、図示していないが、図3に示した本
発明品の酸性ガス除去用の活性炭吸着剤や図4に示した
本発明品の塩基性ガス除去用の活性炭吸着剤において
は、吸着除去対象の酸性ガスや塩基性ガス以外の有機ガ
スについても十分な除去性能を有している。
【0028】
【発明の効果】請求項1の発明の活性炭吸着剤は、活性
炭粒子の表面を微細孔を有する樹脂薄膜からなるポーラ
スなコーティング層により被覆してなるものであるか
ら、吸着対象のガス状の汚染物質の分子はコーティング
層の微細孔を支障なく通過して活性炭粒子に吸着される
ので従来の活性炭吸着剤と同等の吸着性能を維持し得る
ものであり、かつ、コーティング層によって活性炭粒子
表面の強度が向上して割れや剥離、脱落が防止されると
ともに、活性炭粒子から発生する微粉はコーティング層
内に封じ込まれて無発塵化が実現される。したがってこ
の活性炭吸着剤は、優れた吸着性能を有し安価で長寿命
であることに加えて無発塵のものとなり、クリーンルー
ム内において使用するケミカルフィルタとして最適であ
る。
【0029】請求項2の発明の活性炭吸着剤は、コーテ
ィング層を汎用かつ安価なアクリル樹脂により形成した
ので、十分に安価かつ効率的に製造することができる
し、コーティング層自体が発塵したり汚染物質を発生す
ることもない。
【0030】請求項3の発明の活性炭吸着剤は、コーテ
ィング層により活性炭粒子どうしを一体に成形したの
で、所望の形状の成形品とすることができ、それ自体を
ケミカルフィルタとしての形態に成形することも可能で
ある。
【0031】請求項4の発明の活性炭吸着剤は、活性炭
粒子に酸性ガスあるいは塩基性ガスを吸着する薬剤を添
着せしめるので、特定の酸性ガスあるいは塩基性ガスを
吸着除去できるものであり、酸性ガス除去用あるいは塩
基性ガス除去用のケミカルフィルタとして使用すること
ができる。
【0032】請求項5の発明は、処理液に活性炭粒子を
浸漬して該処理液を活性炭粒子に含浸せしめる処理液含
浸工程と、処理液を含浸した活性炭粒子を樹脂溶液中に
浸漬して活性炭粒子の表面に樹脂溶液を付着させる樹脂
溶液付着工程と、処理液を含浸し樹脂溶液が付着した活
性炭粒子を加熱乾燥させることにより、活性炭粒子の表
面にコーティング層を形成すると同時に活性炭粒子に含
浸されていた処理液を蒸発させて該コーティング層に微
細孔を形成する加熱乾燥工程とを有するので、上記の活
性炭吸着剤を単純な工程で容易にかつ効率的に製造する
ことができる。
【0033】請求項6の発明の製造方法は、加熱乾燥工
程においてコーティング層を形成すると同時にコーティ
ング層により活性炭粒子どうしを接着せしめて一体に成
形するので、活性炭吸着剤を所望の形態の成形品として
容易にかつ効率的に製造することができる。
【0034】請求項7の発明の製造方法は、処理液とし
て酸性ガスあるいは塩基性ガスを吸着する薬剤の溶液を
用いることにより活性炭粒子に該薬剤を添着せしめるの
で、酸性ガス除去用あるいは塩基性ガス除去用の活性炭
吸着剤を容易にかつ効率的に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の活性炭吸着剤の発塵性を従来品と比
較して示す図である。
【図2】 本発明の活性炭吸着剤の有機ガス除去性能を
従来品と比較して示す図である。
【図3】 本発明の酸性ガス除去用の活性炭吸着剤の陰
イオン除去性能を従来品と比較して示す図である。
【図4】 本発明の塩基性ガス除去用の活性炭吸着剤の
陽イオン除去性能を従来品と比較して示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B08B 15/00 B08B 15/00 C01B 31/08 C01B 31/08 A Z H01L 21/02 H01L 21/02 D (72)発明者 鈴木 良延 東京都港区芝浦一丁目2番3号 清水建設 株式会社内 (72)発明者 原田 博司 東京都港区芝浦一丁目2番3号 清水建設 株式会社内 Fターム(参考) 3B117 AA01 BA51 4D012 BA03 4G004 BA00 4G046 HA03 HA04 HC08 HC14 4G066 AA05B AC17D CA07 CA08 CA23 CA27 CA28 DA03 FA12 FA21 FA25 FA40

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 活性炭粒子の表面を微細孔を有する樹脂
    薄膜からなるコーティング層により被覆してなることを
    特徴とする活性炭吸着剤。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の活性炭吸着剤であって、
    前記コーティング層がアクリル樹脂からなることを特徴
    とする活性炭吸着剤。
  3. 【請求項3】 請求項1または2記載の活性炭吸着剤で
    あって、前記コーティング層により活性炭粒子どうしを
    一体に成形してなることを特徴とする活性炭吸着剤。
  4. 【請求項4】 請求項1,2または3記載の活性炭吸着
    剤であって、活性炭粒子に酸性ガスあるいは塩基性ガス
    を吸着する薬剤を添着せしめてなることを特徴とする活
    性炭吸着剤。
  5. 【請求項5】 活性炭粒子の表面を微細孔を有する樹脂
    薄膜からなるコーティング層により被覆してなる活性炭
    吸着剤を製造する方法であって、 処理液に活性炭粒子を浸漬して該処理液を活性炭粒子に
    含浸せしめる処理液含浸工程と、 処理液を含浸した活性炭粒子を樹脂溶液中に浸漬して活
    性炭粒子の表面に樹脂溶液を付着させる樹脂溶液付着工
    程と、 処理液を含浸し樹脂溶液が付着した活性炭粒子を加熱乾
    燥させることにより、活性炭粒子の表面にコーティング
    層を形成すると同時に活性炭粒子に含浸されていた処理
    液を蒸発させて該コーティング層に微細孔を形成する加
    熱乾燥工程とを有することを特徴とする活性炭吸着剤の
    製造方法。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の活性炭吸着剤の製造方法
    であって、前記加熱乾燥工程においてコーティング層を
    形成すると同時に該コーティング層により活性炭粒子ど
    うしを接着せしめて一体に成形することを特徴とする活
    性炭吸着剤の製造方法。
  7. 【請求項7】 請求項5または6記載の活性炭吸着剤の
    製造方法であって、前記処理液として酸性ガスあるいは
    塩基性ガスを吸着する薬剤の溶液を用いることにより、
    活性炭粒子に該薬剤を添着せしめることを特徴とする活
    性炭吸着剤の製造方法。
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Cited By (5)

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