JP2001127117A - Method for manufacturing tab tape - Google Patents

Method for manufacturing tab tape

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JP2001127117A
JP2001127117A JP30389699A JP30389699A JP2001127117A JP 2001127117 A JP2001127117 A JP 2001127117A JP 30389699 A JP30389699 A JP 30389699A JP 30389699 A JP30389699 A JP 30389699A JP 2001127117 A JP2001127117 A JP 2001127117A
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JP
Japan
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tape
wiring pattern
tab tape
insulating film
cover coat
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JP30389699A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshimitsu Ishida
良光 石田
Kenji Yamaguchi
健司 山口
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Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a tab tape which can enhance the efficiency in bonding a filmy solder resist without loosing the positional precision of the solder resist. SOLUTION: For manufacturing a TAB tape by bonding a metal foil to one face or both faces of a tape base material 1 made of an insulating film to form it into a wiring pattern 3 by photoetching, and by forming an insulating film in a region on the wiring pattern 3 except an inner lead 4 and an outer lead 5, a tapelike cover coat material is punched into a filmy cover coat material 20 of a necessary areal form enough to form the above-mentioned insulating film and bonded onto the above-mentioned wiring pattern 3 simultaneously with punching.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、TAB(Tape Aut
omated Bonding)テープ、特に表面保護コート層として
の絶縁膜の付けられたTABテープの製造方法に関する
ものである。
The present invention relates to a TAB (Tape Aut)
The present invention relates to a method for producing an OMated tape, particularly a TAB tape provided with an insulating film as a surface protective coating layer.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、液晶表示ディスプレイ(LCD)
の市場拡大に伴い、その駆動用LSIを搭載するための
TABテープの需要も急増している。液晶表示ディスプ
レイは高精度化する傾向にあり、TABテープも軽薄短
小化が急激に進んでいる。
2. Description of the Related Art Recently, a liquid crystal display (LCD) has been developed.
As the market expands, the demand for TAB tapes for mounting the driving LSIs is also increasing rapidly. Liquid crystal displays tend to have higher precision, and TAB tapes are also rapidly becoming lighter and thinner.

【0003】TABは、高集積ICの実装を効率よく行
うために開発された実装方式であり、長尺状のTAB用
テープキャリア(TABテープ)上にICを連続的に実
装するものである。最近では、液晶パネル用だけでな
く、CSP(Chip Scale Package)用のTABテープも
注目されている。
[0003] The TAB is a mounting method developed for efficiently mounting a highly integrated IC, and continuously mounts the IC on a long TAB tape carrier (TAB tape). Recently, not only liquid crystal panels but also TAB tapes for CSP (Chip Scale Package) have attracted attention.

【0004】図6に従来の液晶パネル用TABテープの
表面構造を示す。
FIG. 6 shows the surface structure of a conventional TAB tape for a liquid crystal panel.

【0005】このTABテープ10の製造方法は、まず
ポリイミド樹脂製等の絶縁フィルムから成るテープ基材
1の片面又は両面に、接着剤2を介して配線パターン3
用の銅箔を貼り付ける。そして、パンチングで、素子搭
載部たるデバイスホール6と、送り穴たるパーフォレー
ションホール7と、アウターリードホール8等を打ち抜
く。次に、この銅箔貼テープの銅箔の表面に、フォトエ
ッチングによって信号層3aを含む所定の配線パターン
3を形成する。具体的には、フォトレジストをコートし
てプレキュアを行い露光して現像し、ポストキュア後、
銅箔のエッチングを行い配線パターン3を形成する。
A method of manufacturing this TAB tape 10 is as follows. First, a wiring pattern 3 is formed on one or both sides of a tape base 1 made of an insulating film made of polyimide resin or the like via an adhesive 2.
Paste copper foil. Then, a device hole 6 serving as an element mounting portion, a perforation hole 7 serving as a feed hole, an outer lead hole 8 and the like are punched out by punching. Next, a predetermined wiring pattern 3 including the signal layer 3a is formed on the surface of the copper foil of the copper foil adhesive tape by photoetching. Specifically, a photoresist is coated, pre-cured, exposed and developed, and post-cured.
The wiring pattern 3 is formed by etching the copper foil.

【0006】次いで、この配線体テープにおける配線パ
ターン3のインナーリード4、アウターリード5を除い
た部分に、絶縁膜としてソルダレジスト9を塗布する。
即ち、液状のフォトソルダレジストあるいはエポキシ系
ソルダレジストを印刷コートし、露光、現像しあるいは
ポストベークを行い、以て上記配線上に絶縁性の表面保
護コート層を形成する。その後、ソルダレジスト9の形
成されていない部分、即ちインナーリード4及びアウタ
ーリード5部分にSn,Au等のメッキ層を形成する。
Next, a solder resist 9 is applied as an insulating film to a portion of the wiring body tape other than the inner leads 4 and the outer leads 5 of the wiring pattern 3.
That is, a liquid photo solder resist or an epoxy solder resist is print-coated, exposed, developed or post-baked to form an insulating surface protective coat layer on the wiring. Thereafter, a plating layer of Sn, Au, or the like is formed on a portion where the solder resist 9 is not formed, that is, on the inner lead 4 and the outer lead 5.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上記のようにTABテ
ープの表面保護コート層は、一般に絶縁性のある液状の
エポキシ系ソルダレジスト(インク)をスクリーン印刷
法により塗布し、このインクをポストキュア(加熱硬
化)することで形成され、ポストキュア後、厚さがCu
配線上で20μm以下を目標に塗布している。
As described above, the surface protective coating layer of the TAB tape is generally formed by applying a liquid epoxy solder resist (ink) having an insulating property by a screen printing method, and then applying the ink to a post cure ( After curing, the thickness is Cu
20 μm or less is applied as a target on the wiring.

【0008】ところが、液状のソルダレジストを用いて
いるため、図7に液状ソルダレジストの流れ出し範囲9
1として示すように、印刷位置92に対して塗布したソ
ルダレジスト9の端部が流れ出してしまい、配線パター
ン3に対する表面保護コート層の形成位置が所定の形成
領域からずれ、いわゆる寸法公差がはずれ不良となって
しまう。このため、表面保護コート層たるソルダレジス
ト9が、例えば、アウターリード5の接合部まで形成さ
れていると、液晶パネルへの実装時において、液晶パネ
ルのITO電極に異方性導電フィルムを介して出力用ア
ウターリード5を接続する際、異方性導電フィルムと出
力用アウターリード5の接合部の間に表面保護コート層
が入ってしまい、接続不良を起こす原因となる。
However, since a liquid solder resist is used, FIG.
As indicated by 1, the end of the solder resist 9 applied to the printing position 92 flows out, and the formation position of the surface protection coat layer with respect to the wiring pattern 3 is shifted from a predetermined formation region, that is, the so-called dimensional tolerance is deviated. Will be. For this reason, if the solder resist 9 serving as the surface protection coat layer is formed up to, for example, the joint portion of the outer lead 5, at the time of mounting on the liquid crystal panel, the ITO electrode of the liquid crystal panel is interposed through the anisotropic conductive film. When connecting the output outer lead 5, a surface protective coating layer enters between the joints between the anisotropic conductive film and the output outer lead 5, which causes a connection failure.

【0009】また、スクリーン印刷法を用いて塗布して
いるため、Cuパターンによっては、厚さが均一にでき
ず、図8に配線の露出部93として示すようにCu配線
が露出してしまう。このように配線パターン3が露出し
ていると、実装後において導電性異物等によって短絡不
良を起こす原因となる。
Further, since the coating is performed using the screen printing method, depending on the Cu pattern, the thickness cannot be made uniform, and the Cu wiring is exposed as shown by a wiring exposed portion 93 in FIG. If the wiring pattern 3 is exposed as described above, it may cause a short circuit failure due to a conductive foreign substance or the like after mounting.

【0010】更に、ポストキュアするため、乾燥後のソ
ルダレジスト塗布部の熱収縮による反りが大きい。特
に、配線ピッチが80μm以下ではTABテープの反り
が大きく、液晶パネルあるいはCSP用のTABテープ
の実装の生産性が悪い。
Further, since post-curing is performed, the solder resist-coated portion after drying is largely warped due to heat shrinkage. In particular, when the wiring pitch is 80 μm or less, the warpage of the TAB tape is large, and the productivity of mounting the TAB tape for a liquid crystal panel or CSP is low.

【0011】これらの問題は、液状のソルダレジストを
用いていることに起因する。そこで、その解決法とし
て、特開平5−183013号公報に開示されているよ
うに、インナーリード、アウターリードを除くデバイス
ホール周辺に必要な面積部の形状をしたフィルム状ソル
ダレジストを貼付することが考えられる。このフィルム
状ソルダレジストを貼付する方式によれば、ソルダレジ
ストに流れ出しや、にじみがなく、細かい配線部へソル
ダレジストが入り易くなって、ソルダレジスト作業を容
易にすると共に、ソルダレジストの量を必要最小限に抑
えることができる。更に、ソルダレジストの位置精度に
ついて、従来のスクリーン印刷における位置精度が±
0.3mmであったものが、±0.05mm以内と大幅に向
上し得るという、長所が得られる。
[0011] These problems result from the use of a liquid solder resist. Therefore, as a solution to this, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-183013, a film-shaped solder resist having a required area around the device hole excluding the inner lead and the outer lead is attached. Conceivable. According to the method of attaching the film-shaped solder resist, the solder resist does not flow into the solder resist and does not bleed, making it easier for the solder resist to enter fine wiring sections, making the solder resist work easier and requiring an amount of solder resist. Can be minimized. Furthermore, regarding the positional accuracy of the solder resist, the positional accuracy in the conventional screen printing is ±
An advantage is obtained that the thickness is 0.3 mm, which can be greatly improved to within ± 0.05 mm.

【0012】しかしながら、その貼付方法は、通常の熱
貼付により行うものであるため、生産効率が悪かった。
However, since the sticking method is performed by normal heat sticking, the production efficiency is low.

【0013】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、ソルダレジストの位置精度を低下させずに、フィル
ム状ソルダレジストの貼付作業の効率を高めることがで
きるTABテープの製造方法を提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide a method of manufacturing a TAB tape capable of increasing the efficiency of the operation of attaching a film-shaped solder resist without lowering the positional accuracy of the solder resist. It is in.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、次のように構成したものである。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.

【0015】(1)請求項1に記載の発明は、絶縁フィ
ルムから成るテープ基材の片面又は両面に金属箔を貼り
合わせてフォトエッチングにより配線パターンを形成
し、その配線パターン上のインナーリード、アウターリ
ードを除く領域に絶縁膜を形成してなるTABテープの
製造方法において、前記絶縁膜の形成は、テープ状のカ
バーコート材を必要な面積部の形状に打ち抜き、その打
ち抜いたフィルム状カバーコート材を、打ち抜きと同時
に前記配線パターン上に貼り合せることで行うものであ
る。
(1) According to the first aspect of the present invention, a wiring pattern is formed by photoetching by attaching a metal foil to one or both surfaces of a tape base made of an insulating film, and inner leads on the wiring pattern are formed. In the method of manufacturing a TAB tape, in which an insulating film is formed in a region excluding outer leads, the insulating film is formed by punching a tape-shaped cover coating material into a required area shape, and forming the punched film-shaped cover coating. This is performed by bonding a material onto the wiring pattern at the same time as punching.

【0016】この製造方法は、前提として、次の形態を
含むものである。第1は、接着剤レス片面銅貼り1層C
CL(Copper Clad Laminate)又は接着剤レス両面銅貼
り2層CCLのように、テープ基材の片面又は両面に接
着剤なしで金属箔を貼り合わせた形態である。第2は、
接着剤使用の片面銅貼り1層CCL又は接着剤使用の両
面銅貼り2層CCLのように、テープ基材の片面又は両
面に接着剤を用いて金属箔を貼り合わせた形態である。
This manufacturing method presupposes the following modes. The first is an adhesive-less single-sided copper-clad single layer C
This is a form in which a metal foil is stuck to one or both sides of a tape base material without an adhesive, such as CL (Copper Clad Laminate) or a double-sided copper-clad two-layer CCL without an adhesive. Second,
This is a form in which a metal foil is attached to one or both sides of a tape base material using an adhesive, such as a single-sided copper-clad single-layer CCL using an adhesive or a double-sided copper-clad two-layer CCL using an adhesive.

【0017】また本発明の製造方法は、デバイスホール
を持つ形態と、デバイスホールを持たない形態のいずれ
をも含むものである。前者の場合は、絶縁フィルムから
成るテープ基材の片面又は両面に金属箔を接着剤あり又
は接着剤なしの形で貼り合わせてフォトエッチングによ
り配線パターンを形成し、その配線パターン上のインナ
ーリード、アウターリードを除くデバイスホール周辺に
必要な面積部の形状で絶縁膜を形成してなるTABテー
プの製造方法に係ることになる。
Further, the manufacturing method of the present invention includes both a mode having a device hole and a mode having no device hole. In the former case, a metal foil is bonded to one or both sides of a tape base made of an insulating film with or without an adhesive to form a wiring pattern by photoetching, and inner leads on the wiring pattern are formed. The present invention relates to a method for manufacturing a TAB tape in which an insulating film is formed in a shape of a necessary area around a device hole excluding outer leads.

【0018】いずれの形態においても、本発明に従い、
上記のようにテープ状にしてあるカバーコート材を使用
し、これをシート状に打ち抜き、その打ち抜いたフィル
ム状カバーコート材を、打ち抜きと同時に貼り合せるこ
とにより、別々の工程により打ち抜きと貼り合せとを行
う場合に比べ、効率良く、絶縁膜付きのTABテープを
製造することができる。
In any form, according to the present invention,
Using the tape-shaped cover coat material as described above, punching this into a sheet, and bonding the punched film-shaped cover coat material at the same time as punching, punching and bonding in separate steps. , A TAB tape with an insulating film can be manufactured more efficiently.

【0019】また、予めフィルム状としたカバーコート
材で配線パターン上を覆うこととなるため、液状のソル
ダレジストを印刷法により塗布する場合に比べ、厚さが
均一にでき、配線の露出を防止することができる。また
フィルム状カバーコート材を貼り付けるものであるた
め、液状のソルダレジストを塗布する場合のような流れ
出しがないため、寸法公差はずれが少なくなる。
Further, since the wiring pattern is covered with a film-form cover coat material in advance, the thickness can be made uniform and the exposure of the wiring can be prevented as compared with a case where a liquid solder resist is applied by a printing method. can do. In addition, since the film-like cover coat material is adhered, there is no outflow as in the case of applying a liquid solder resist, and the dimensional tolerance is less shifted.

【0020】ここでテープ状にしたカバーコート材とし
ては、例えばエポキシ系,ポリイミド系のソルダレジス
トあるいは感光性のエポキシ・アクリレートあるいはフ
ルオレン系等で200℃以下のポストベークで硬化する
もの等がある。
The tape-shaped cover coat material is, for example, an epoxy-based or polyimide-based solder resist, or a photosensitive epoxy acrylate or fluorene-based material which is cured by post-baking at 200 ° C. or less.

【0021】(2)請求項2に記載の発明は、請求項1
記載の製造方法において、前記テープ状のカバーコート
材に半田ボールビアになる穴を予め開けておき、これを
所定の形状に打ち抜き、同時に貼り合せることを特徴と
する。
(2) The invention described in claim 2 is the first invention.
The manufacturing method described above is characterized in that a hole serving as a solder ball via is previously formed in the tape-shaped cover coating material, and the hole is punched into a predetermined shape, and is bonded at the same time.

【0022】この製造方法の特徴は、BGA(Ball Gri
d Array )構造のCSP半導体装置用TABテープの製
造に適したものであり、この特徴によれば、配線パター
ン領域のうち、半田ボールビアの部分には絶縁膜を付け
ないで残すという目的を、容易に達成することができ
る。
The feature of this manufacturing method is that BGA (Ball Gri
d Array) is suitable for manufacturing TAB tapes for CSP semiconductor devices. According to this feature, the purpose of leaving an insulating film unattached to a solder ball via portion in a wiring pattern region can be easily achieved. Can be achieved.

【0023】(3)請求項3に記載の発明は、請求項1
又は2記載の製造方法において、前記フィルム状カバー
コート材の貼り合せの後、そのカバーコート材に硬化処
理を施し、その後配線パターン上のカバーコート材で覆
われていない部分にSn,Ni,Au等のめっきを施す
ことを特徴とする。
(3) The invention according to claim 3 is the invention according to claim 1.
Or in the manufacturing method according to 2, after the laminating of the film-like cover coat material, a hardening treatment is applied to the cover coat material, and then Sn, Ni, Au are applied to portions of the wiring pattern which are not covered with the cover coat material. And the like.

【0024】この特徴によれば、硬化処理(ポストキュ
ア)するため熱収縮量を抑制できTABテープの反りの
改善と生産性を向上させることができる。
According to this feature, the amount of heat shrinkage can be suppressed due to the curing treatment (post-curing), so that the warpage and productivity of the TAB tape can be improved.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施形態に
基づいて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on the illustrated embodiment.

【0026】図1に本発明のTABテープの製造方法
を、図2にこれにより得られるLCD用TABテープの
表面構造を示す。
FIG. 1 shows a method for producing a TAB tape of the present invention, and FIG. 2 shows a surface structure of a TAB tape for LCD obtained by the method.

【0027】このTABテープは、有機ポリイミドテー
プ、ガラスエポキシテープ等の絶縁フィルムから成るテ
ープ基材1に、接着剤2(図4参照)を塗布又は貼り合
わせた後、パンチング加工により、パーフォレーション
ホール7と、ダイレクトボンディングするためのスリッ
トたるアウターリードホール8と、デバイスホール6と
を形成する。これに圧延銅箔、電解銅箔等の銅箔又は合
金箔といった金属箔を貼り合わせた後、フォトレジスト
・エッチングプロセスによってIC搭載用のインナーリ
ード4、入力側及び出力側のアウターリード5を含む所
定の配線パターン3を形成したものから構成される。な
お、11はテストパッドである。
This TAB tape is formed by applying or bonding an adhesive 2 (see FIG. 4) to a tape base 1 made of an insulating film such as an organic polyimide tape or a glass epoxy tape, and then punching the perforation holes 7. , An outer lead hole 8 serving as a slit for direct bonding, and a device hole 6. After laminating a copper foil such as a rolled copper foil or an electrolytic copper foil or a metal foil such as an alloy foil, the inner lead 4 for mounting the IC and the outer lead 5 on the input side and the output side are included by a photoresist etching process. It is composed of a predetermined wiring pattern 3 formed. Reference numeral 11 denotes a test pad.

【0028】次に、配線パターン3上のインナーリード
4、アウターリード5を除くデバイスホール6の周辺に
必要な面積部の形状で、表面保護コート層としての絶縁
膜を形成する。この工程を図1に従って説明する。
Next, an insulating film is formed as a surface protection coat layer in a required area around the device hole 6 excluding the inner leads 4 and the outer leads 5 on the wiring pattern 3. This step will be described with reference to FIG.

【0029】まずテープ状にしたカバーコート材(20
μm厚の絶縁フイルム)を用意する(図1(a))。こ
のテープ状のカバーコート材としては、エポキシ系,ポ
リイミド系のソルダレジストあるいは感光性のエポキシ
・アクリレートあるいはフルオレン系等で200℃以下
のポストベークで硬化するものを用いる。
First, a tape-shaped cover coat material (20
An insulating film having a thickness of μm is prepared (FIG. 1A). As the tape-shaped cover coating material, an epoxy-based or polyimide-based solder resist, or a photosensitive epoxy acrylate or fluorene-based material that is cured by post-baking at 200 ° C. or less is used.

【0030】次いで、テープ状のカバーコート材を必要
な面積部の形状(図2の場合は額縁状)に打ち抜き(図
1(b))、そのシート状に打ち抜いたフィルム状カバ
ーコート材20を、打ち抜きと同時に配線パターン3上
に貼り合せる(図1(c))。即ち、打ち抜きパンチで
テープ状のカバーコート材を所定の形状に打ち抜き剪断
した後、打ち抜いたフィルム状カバーコート材(絶縁フ
ィルム)20をそのまま下降させ、打ち抜きパンチの打
抜力を利用して配線パターン3上に図2に示す如く貼着
する。
Next, a tape-like cover coat material is punched into a required area shape (a frame shape in FIG. 2) (FIG. 1B), and the film-like cover coat material 20 punched into a sheet shape is removed. At the same time as the punching, it is bonded onto the wiring pattern 3 (FIG. 1C). That is, after punching and shearing a tape-shaped cover coat material into a predetermined shape with a punch, the punched film-like cover coat material (insulating film) 20 is lowered as it is, and the wiring pattern is formed using the punching force of the punch. 3 is stuck on as shown in FIG.

【0031】次いで、180℃でポストキュアを行い
(図1(d))、その後、Cu配線パターン3上に、S
n,Ni,Au等の電気めっき又は無電解めっきを行う
(図1(e))。
Next, a post cure is performed at 180 ° C. (FIG. 1D).
Electroplating or electroless plating of n, Ni, Au or the like is performed (FIG. 1 (e)).

【0032】上記のように、本実施形態のLCD用TA
Bテープは、テープ状にしてあるカバーコート材を使用
し、これをシート状に打ち抜いたフィルム状カバーコー
ト材20を、その打ち抜きと同時に貼り合せることによ
り製造されるので、打ち抜き工程と貼り合せ工程とを別
々の独立した工程として行う場合に比べ、高い生産効率
で、絶縁膜付きのTABテープを製造することができ
る。
As described above, the LCD TA of the present embodiment
The B tape is manufactured by using a cover coat material in the form of a tape and by sticking a film-like cover coat material 20 obtained by punching the cover coat material into a sheet at the same time as the punching. And TAB tape with an insulating film can be manufactured with higher production efficiency as compared with the case where the steps are performed as separate independent steps.

【0033】また、フィルム状カバーコート材20で被
覆するため、図4に示すように表面保護コート層たる絶
縁膜の厚さが均一になり、配線の露出を防止することが
できると共に、図3に示すように、従来の液状ソルダレ
ジストを使用した場合の流れ出し(図7)が生じないの
で、表面保護コート層の所望の形成位置に対する実際の
シート状カバーコート材20の形成位置のずれが小さく
なり、いわゆる寸法公差はずれが少なくなる。このカバ
ーコート材20を打ち抜きと同時に貼り合せる際の位置
ズレ精度は±100μm以内とすることが容易に達成可
能である。
Further, since the film is coated with the film-like cover coating material 20, the thickness of the insulating film as the surface protective coating layer becomes uniform as shown in FIG. As shown in FIG. 7, since the flow-out (FIG. 7) when the conventional liquid solder resist is used does not occur, the deviation of the actual formation position of the sheet-like cover coat material 20 from the desired formation position of the surface protective coat layer is small. And so-called dimensional tolerances are less likely to shift. It is easy to achieve a positional deviation accuracy of ± 100 μm or less when the cover coat material 20 is bonded simultaneously with punching.

【0034】また本実施形態のTABテープは、絶縁抵
抗性が高くまた、耐マイグレーション特性に優れてい
る。
The TAB tape of this embodiment has high insulation resistance and excellent migration resistance.

【0035】更に本実施形態のTABテープは、60μ
mピッチ以下の微細配線でソルダレジストの流れ出しが
無いためスリムな設計が可能となり小型化に容易な構造
のTABテープを供給することができる。
Further, the TAB tape of this embodiment has a size of 60 μm.
Since there is no outflow of the solder resist with fine wiring of m pitch or less, a slim design is possible and a TAB tape having a structure that is easy to miniaturize can be supplied.

【0036】また本実施形態のTABテープは、、液状
ソルダレジストに比べ歩留と生産性が向上し、安定して
量産供給することができる。
The TAB tape of the present embodiment has improved yield and productivity as compared with the liquid solder resist, and can be stably mass-produced.

【0037】<実施例1>エポキシ系接着剤2を貼り合
わせたポリイミド樹脂製のテープ基材1(厚さ75μ
m、幅70mm)に、パンチングでパーフォレーションホ
ール7、デバイスホール6等を打ち抜きした後、厚さ1
8μmの銅箔テープを用いてラミネートし、キュアし
た。そのパターン面の銅箔の厚さ18μmに対して、フ
ォトアプリケーション(露光・エッチング)により、イ
ンナーリード4,入力側及び出力側のアウターリード5
から成る配線パターン3を形成した。
<Example 1> A polyimide resin tape base material 1 (with a thickness of 75 μm)
m, width 70 mm), punched perforation holes 7, device holes 6, etc.
Lamination and curing were performed using an 8 μm copper foil tape. The inner leads 4 and the outer leads 5 on the input side and the output side are formed by photo application (exposure / etching) to a thickness of 18 μm of the copper foil on the pattern surface.
Was formed.

【0038】次に、ポリイミド系のカバーコート材(厚
さ20μm)を所定の寸法のシート状に打ち抜き、打ち
抜いたフィルム状カバーコート材20を、打ち抜きと同
時に配線パターン3上に貼り付けし、ポストキュアを1
80℃で実施した。
Next, a polyimide-based cover coat material (thickness: 20 μm) is punched into a sheet having a predetermined size, and the punched film-like cover coat material 20 is attached to the wiring pattern 3 simultaneously with the punching. Cure 1
Performed at 80 ° C.

【0039】次に、配線パターン3の領域のうち、フィ
ルム状カバーコート材20の樹脂層から露出している部
分に、無電解Snめっきを0.4μm厚さ施して完成品
のTABテープとした。
Next, in a region of the wiring pattern 3 which is exposed from the resin layer of the film-like cover coating material 20, electroless Sn plating is applied to a thickness of 0.4 μm to obtain a finished TAB tape. .

【0040】完成品のTABテープ10におけるテープ
反りは、従来の液状ポリイミド系のソルダレジストを用
いた場合と比較して、1/3以下に減少することを確認
した。また、銅配線の露出も全く無く、絶縁の良好な被
覆状態であった。また、貼り付け位置精度も40μm以
内と高精度であった。
It was confirmed that the warpage of the completed TAB tape 10 was reduced to 1/3 or less of the case where a conventional liquid polyimide solder resist was used. In addition, there was no exposure of the copper wiring, and the insulation was in a good covering state. Further, the bonding position accuracy was as high as 40 μm or less.

【0041】次に、耐マイグレーション特性は、配線パ
ターンの50μmピッチ部で、85℃×85%RH、3
0Vで1000時間実施したが、試験中の絶縁抵抗が高
く(10の9乗Ω以上あり)安定しており、信頼性に優
れていることが判明した。
Next, the anti-migration property was measured at 85 ° C. × 85% RH, 3
The test was carried out at 0 V for 1000 hours. It was found that the insulation resistance during the test was high (10 9 Ω or more), stable, and excellent in reliability.

【0042】次に半導体チップ(ここではLCD駆動用
LSI)を接合後、異方性導電膜による液晶パネルのプ
リント基板へのアウターリード接合を行ったが、接合は
良好で、液晶用パネルとして組み立てることができた。
Next, after bonding the semiconductor chip (here, the LSI for driving the LCD), the outer lead bonding of the liquid crystal panel to the printed circuit board using the anisotropic conductive film was performed. The bonding was good and the liquid crystal panel was assembled as a liquid crystal panel. I was able to.

【0043】<実施例2>エポキシ系接着剤を貼り合わ
せたポリイミドテープから成るテープ基材1(厚さ50
μm、幅35mm)に、パンチングでパーフォレーション
ホール7等を打ち抜きした後、厚さ18μmの銅箔テー
プを用いてラミネート・キュアした。その後、パターン
面の銅箔の厚さ18μmにフォトアプリケーションによ
るパターンを形成した後、エッチングで銅の配線パター
ン3を作成した。次に、新日鐵化学製フルオレン系の感
光性カバーコート材(厚さ20μm)を所定の寸法のシ
ート状に打ち抜き、打ち抜いたフィルム状カバーコート
材20を、打ち抜きと同時に貼り付けし、プレキュアし
た後、露光・現像して所定の絶縁性の表面保護コート層
を形成した。その後、ポストキュアを180℃で実施し
た。次に、フィルム状カバーコート材20で覆われず
に、そのカバーコート樹脂層から露出している配線パタ
ーン3の領域に、無電解Snめっきを0.4μm厚さ施
して完成品とした。
Example 2 A tape substrate 1 (thickness: 50) made of a polyimide tape to which an epoxy-based adhesive was bonded
After punching out perforation holes 7 and the like to a thickness of 35 μm and a width of 35 mm, lamination and curing were performed using a copper foil tape having a thickness of 18 μm. Then, after forming a pattern by a photo application on the copper foil having a thickness of 18 μm on the pattern surface, a copper wiring pattern 3 was formed by etching. Next, a fluorene-based photosensitive cover coating material (thickness: 20 μm) manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. was punched into a sheet having a predetermined size, and the punched film-shaped cover coating material 20 was attached and punched at the same time as the punching, and precured. Thereafter, exposure and development were performed to form a predetermined insulating surface protective coat layer. Thereafter, post cure was performed at 180 ° C. Next, the electroless Sn plating was applied to the region of the wiring pattern 3 which was not covered with the film-like cover coat material 20 and was exposed from the cover coat resin layer to a thickness of 0.4 μm to obtain a finished product.

【0044】得られたTABテープ10は、銅配線の露
出も全く無く良好であった。また、表面保護コート層の
絶縁膜の位置精度も10μm以内と高精度であった。
The obtained TAB tape 10 was good without any copper wiring being exposed. Further, the positional accuracy of the insulating film of the surface protective coating layer was as high as 10 μm or less.

【0045】次に半導体チップ(LCD駆動用LSI)
をフリップチップ(Flip Chip )接合後、異方性導電膜
による液晶パネルのプリント基板へのアウターリード接
合を行ったが、接合は良好で、液晶パネル用として組み
立てることができた。
Next, a semiconductor chip (LSI for driving LCD)
After flip chip bonding, outer lead bonding of the liquid crystal panel to the printed circuit board using an anisotropic conductive film was performed, but the bonding was good and the liquid crystal panel could be assembled.

【0046】<変形例>上記実施例では、テープ基材1
に接着剤を介して金属箔を貼り付けた形態のTABテー
プについて説明したが、本発明はこれに限定されるもの
ではなく、接着剤レスの両面配線のインナーリードボン
ディングタイプおよびワイヤボンディングタイプのTA
Bテープにも応用することが可能である。この両面配線
の場合は、カバーコート材を両面に貼ることになる。
<Modification> In the above embodiment, the tape base 1
A TAB tape having a form in which a metal foil is adhered to an adhesive via an adhesive has been described. However, the present invention is not limited to this, and an adhesive-less double-sided inner lead bonding type and a wire bonding type TAB are used.
It is also possible to apply to B tape. In the case of this double-sided wiring, a cover coat material is stuck on both sides.

【0047】なお、接着剤レス両面銅貼りポリイミドあ
るいはガラスエポキシテープとしては、構成厚さが銅箔
/ポリイミドテープ/銅箔が、9〜35μm/25〜1
50μm/9〜35μmの範囲のものが適当である。こ
れらは、接着剤レス両面銅貼りポリイミドテープの市販
品で一般的に入手可能な材料であるからである。
The adhesive-free double-sided copper-applied polyimide or glass epoxy tape is composed of copper foil / polyimide tape / copper foil of 9 to 35 μm / 25 to 1 μm.
Those having a range of 50 μm / 9 to 35 μm are suitable. This is because these materials are generally available as a commercial product of an adhesive-less double-sided copper-clad polyimide tape.

【0048】また本発明のTABテープは、テープ反り
が従来の液状のソルダレジストを用いた場合の1/3と
小さい上に、絶縁抵抗性が高く、また、耐マイグレーシ
ョン特性に優れた、微細配線(ピッチ50μm以下)の
デバイスホール無しのフリップチップ接続用およびデバ
イスホールありのビームリードタイプの液晶表示ディス
プレイ(LCD)用にも応用することが可能である。
In addition, the TAB tape of the present invention has a tape warpage that is as small as one-third that of a conventional liquid solder resist, has high insulation resistance, and has excellent migration resistance. The present invention can also be applied to flip-chip connection without device holes (with a pitch of 50 μm or less) and for beam lead type liquid crystal display (LCD) with device holes.

【0049】更に、上記実施例では、液晶パネル用TA
Bテープを例にして説明したが、図5に示すように、カ
バーコート材20に半田ボールビアになる直径50μm
〜800μmの穴(Via Hole)12を予め開けておき、
その穴12が所定の位置関係で存在するように、カバー
コート材20を所定の形状に打ち抜き、同時に貼り合せ
ることにより、BGA半導体装置用のTABテープ13
を得ることもできる。この形態においても、必要であれ
ば硬化処理を施した後、Sn,Ni,Au等のめっきを
行う。
Further, in the above embodiment, the TA for the liquid crystal panel is used.
The B tape was described as an example. However, as shown in FIG.
A hole (Via Hole) 12 of ~ 800 μm is opened in advance,
The cover coat material 20 is punched into a predetermined shape so that the holes 12 are present in a predetermined positional relationship, and are simultaneously bonded to form a TAB tape 13 for a BGA semiconductor device.
You can also get Also in this embodiment, after performing a hardening process if necessary, plating of Sn, Ni, Au or the like is performed.

【0050】[0050]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
のような優れた効果が得られる。
As described above, according to the present invention, the following excellent effects can be obtained.

【0051】(1)請求項1〜3に記載の発明によれ
ば、テープ状にしてあるカバーコート材を使用し、これ
を打ち抜きと同時に貼り合せるので、別々の工程により
打ち抜きと貼り合せとを行う場合に比べ、効率良く、絶
縁膜付きのTABテープを製造することができる。
(1) According to the first to third aspects of the present invention, since the tape-shaped cover coat material is used and bonded at the same time as punching, the punching and bonding can be performed in separate steps. A TAB tape with an insulating film can be manufactured more efficiently than in the case where the process is performed.

【0052】また、フィルム状カバーコート材で配線パ
ターン上を覆うため、銅配線の露出もなく均一な絶縁膜
層が得られるので、異方性導電フィルムにより液晶パネ
ルと出力用アウターリード間を接合する際、その間に表
面保護コート層が入って接続不良を起こしてしまう、と
いう不都合を回避することができる。
Further, since the wiring pattern is covered with the film-like cover coating material, a uniform insulating film layer can be obtained without exposing the copper wiring, so that the liquid crystal panel and the outer lead for output are joined by the anisotropic conductive film. In this case, it is possible to avoid the inconvenience that the surface protection coat layer enters during that time to cause a connection failure.

【0053】更にまた、必要な部分にカバーコート材を
打ち抜き、同時に貼り付けるという方法であるので、配
線パターンの表面保護コート層を所定の形成領域からず
れないように形成することが容易であり、いわゆる寸法
公差がはずれ不良とならない、寸法精度の安定した反り
の少ないTAB用テープを供給することができる。
Further, since a cover coat material is punched out at a necessary portion and is simultaneously attached, it is easy to form the surface protective coat layer of the wiring pattern so as not to be shifted from a predetermined formation area. It is possible to supply a TAB tape with stable dimensional accuracy and low warpage, which does not cause a so-called dimensional tolerance to be deviated.

【0054】(2)請求項2に記載の発明によれば、前
記テープ状のカバーコート材に半田ボールビアになる穴
を予め開けておき、これを所定の形状に打ち抜き、同時
に貼り合せるので、BGA構造のCSP半導体装置用T
ABテープの製造において、配線パターン領域のうち、
半田ボールビアの部分には絶縁膜を付けないで残すとい
う目的を容易に達成することができる。
(2) According to the second aspect of the present invention, a hole which becomes a solder ball via is previously formed in the tape-shaped cover coat material, and the hole is punched into a predetermined shape and bonded at the same time. T for CSP semiconductor device with structure
In the production of AB tape, of the wiring pattern area,
The purpose of leaving the solder ball via portion without attaching an insulating film can be easily achieved.

【0055】(3)請求項3に記載の発明によれば、フ
ィルム状カバーコート材の貼り合せの後、そのカバーコ
ート材に硬化処理を施すので、熱収縮量を抑制できTA
Bテープの反りの改善と生産性を向上させることができ
る。
(3) According to the third aspect of the invention, after the film-like cover coat material is bonded, the cover coat material is subjected to a curing treatment, so that the heat shrinkage can be suppressed.
It is possible to improve the warpage and productivity of the B tape.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のTABテープの製造方法を示す工程図
である。
FIG. 1 is a process chart showing a method for producing a TAB tape of the present invention.

【図2】本発明の実施例を示す平面図(パターン面)で
ある。
FIG. 2 is a plan view (pattern surface) showing an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施例を示すレジストの位置精度の説
明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of positional accuracy of a resist according to the embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施例を示すTABテープの部分横断
面図である。
FIG. 4 is a partial cross-sectional view of a TAB tape showing an embodiment of the present invention.

【図5】本発明の他の実施例を示すTABテープの部分
横断面図である。
FIG. 5 is a partial cross-sectional view of a TAB tape showing another embodiment of the present invention.

【図6】従来のTAB用テープの平面図である。FIG. 6 is a plan view of a conventional TAB tape.

【図7】従来のTAB用テープにおけるソルダレジスト
の流れ出しの説明図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram of a flow of solder resist in a conventional TAB tape.

【図8】従来のTAB用テープの部分横断面図である。FIG. 8 is a partial cross-sectional view of a conventional TAB tape.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 絶縁フィルムから成るテープ基材 2 接着剤 3 配線パターン 4 インナーリード 5 アウターリード 6 デバイスホール 7 パーフォレーションホール 8 アウターリードホール 9 ソルダレジスト 10 TABテープ 12 半田ボールビアになる穴 13 BGA用TABテープ 20 フィルム状カバーコート材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Tape base which consists of an insulating film 2 Adhesive 3 Wiring pattern 4 Inner lead 5 Outer lead 6 Device hole 7 Perforation hole 8 Outer lead hole 9 Solder resist 10 TAB tape 12 Hole which becomes a solder ball via 13 TAB tape for BGA 20 Film form Cover coat material

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】絶縁フィルムから成るテープ基材の片面又
は両面に金属箔を貼り合わせてフォトエッチングにより
配線パターンを形成し、その配線パターン上のインナー
リード、アウターリードを除く領域に絶縁膜を形成して
なるTABテープの製造方法において、前記絶縁膜の形
成は、テープ状のカバーコート材を必要な面積部の形状
に打ち抜き、その打ち抜いたフィルム状カバーコート材
を、打ち抜きと同時に前記配線パターン上に貼り合せる
ことで行うことを特徴とするTABテープの製造方法。
1. A wiring pattern is formed by photo-etching by bonding a metal foil to one or both sides of a tape base made of an insulating film, and an insulating film is formed on a region of the wiring pattern excluding inner leads and outer leads. In the method of manufacturing a TAB tape, the insulating film is formed by punching a tape-like cover coat material into a required area shape, and simultaneously punching the punched film-like cover coat material onto the wiring pattern. A method for producing a TAB tape, characterized in that the method is performed by laminating the TAB tape.
【請求項2】請求項1記載の製造方法において、前記テ
ープ状のカバーコート材に半田ボールビアになる穴を予
め開けておき、これを所定の形状に打ち抜き、同時に貼
り合せることを特徴とするTABテープの製造方法。
2. The TAB according to claim 1, wherein a hole to be used as a solder ball via is previously formed in said tape-shaped cover coating material, and is punched into a predetermined shape, and is simultaneously bonded. Tape manufacturing method.
【請求項3】請求項1又は2記載の製造方法において、
前記フィルム状カバーコート材の貼り合せの後、そのカ
バーコート材に硬化処理を施し、その後配線パターン上
のカバーコート材で覆われていない部分にSn,Ni,
Au等のめっきを施すことを特徴とするTABテープの
製造方法。
3. The method according to claim 1, wherein
After laminating the film-like cover coat material, the cover coat material is subjected to a hardening treatment, and then Sn, Ni,
A method for producing a TAB tape, comprising plating with Au or the like.
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