JP2001126852A - セラミックヒータの製造方法 - Google Patents
セラミックヒータの製造方法Info
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- JP2001126852A JP2001126852A JP30463999A JP30463999A JP2001126852A JP 2001126852 A JP2001126852 A JP 2001126852A JP 30463999 A JP30463999 A JP 30463999A JP 30463999 A JP30463999 A JP 30463999A JP 2001126852 A JP2001126852 A JP 2001126852A
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- ceramic
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 セラミック基板の間に発熱抵抗体が配設され
たセラミックヒータの製造において、グリーンシートの
積層圧着時の塵芥の残留を完全に防止することができる
セラミックヒータの方法を提供する。 【解決手段】 Ａｌ2Ｏ3粉末、ＳｉＯ2粉末、ＣａＣＯ3
粉末及びＭｇＣＯ3粉末からなるセラミック原料並びに
焼結助剤１００重量部に、１〜１０重量部の１−オクタ
デカノール、ポリビニルブチラール、軟化剤であるジブ
チルフタレート及びメチルエチルケトンとトルエンとの
混合溶剤を配合したスラリーをドクターブレード法によ
ってグリーンシートを作製し、ヒータパターンの形成さ
れた他のグリーンシートに積層後、圧着装置によって、
温度６５℃、圧力４ＭＰａで圧着し、碍管に巻き付け、
１５３０〜１５５０℃で１〜２時間焼成してセラミック
ヒータを得る。
たセラミックヒータの製造において、グリーンシートの
積層圧着時の塵芥の残留を完全に防止することができる
セラミックヒータの方法を提供する。 【解決手段】 Ａｌ2Ｏ3粉末、ＳｉＯ2粉末、ＣａＣＯ3
粉末及びＭｇＣＯ3粉末からなるセラミック原料並びに
焼結助剤１００重量部に、１〜１０重量部の１−オクタ
デカノール、ポリビニルブチラール、軟化剤であるジブ
チルフタレート及びメチルエチルケトンとトルエンとの
混合溶剤を配合したスラリーをドクターブレード法によ
ってグリーンシートを作製し、ヒータパターンの形成さ
れた他のグリーンシートに積層後、圧着装置によって、
温度６５℃、圧力４ＭＰａで圧着し、碍管に巻き付け、
１５３０〜１５５０℃で１〜２時間焼成してセラミック
ヒータを得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックヒータ
の製造方法に関し、耐久性の高いセラミックヒータを製
造する方法に関する。本発明によると、自動車用酸素セ
ンサ、グローシステム、半導体加熱用セラミックヒータ
及び石油ファンヒータ等に使用される石油気化用熱源等
として使用されるセラミックヒータを製造することがで
きる。
の製造方法に関し、耐久性の高いセラミックヒータを製
造する方法に関する。本発明によると、自動車用酸素セ
ンサ、グローシステム、半導体加熱用セラミックヒータ
及び石油ファンヒータ等に使用される石油気化用熱源等
として使用されるセラミックヒータを製造することがで
きる。
【０００２】
【従来の技術】セラミックヒータは、一般にグリーンシ
ートの表面にヒータパターンを印刷し、このヒータパタ
ーンを覆うように他のグリーンシートを積層し、その
後、一体に焼成して得ることができる。従来、このグリ
ーンシートの積層工程においては、グリーンシートの所
定の部位、通常、その全面に溶剤を塗布し、その後、余
剰の溶剤を拭き取り、次いで、グリーンシートを重ね合
わせ、圧着装置等により加圧して圧着している。
ートの表面にヒータパターンを印刷し、このヒータパタ
ーンを覆うように他のグリーンシートを積層し、その
後、一体に焼成して得ることができる。従来、このグリ
ーンシートの積層工程においては、グリーンシートの所
定の部位、通常、その全面に溶剤を塗布し、その後、余
剰の溶剤を拭き取り、次いで、グリーンシートを重ね合
わせ、圧着装置等により加圧して圧着している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
方法によりグリーンシートを積層する場合、布等による
溶剤の拭き取りの際に、グリーンシート上に塵埃が残留
し易く、焼成により塵芥の存在した部位は微細な空隙と
なる。この空隙は、時に連通することもあり、十分に発
熱抵抗体を密封し、酸化を防ぐことができないことがあ
った。そのため、発熱抵抗体の抵抗値の上昇や、発熱抵
抗体の断線を招くことがあった。本発明は、上記の問題
点を解決するものであり、塵芥をグリーンシート上に残
留させることなく、積層することができ、発熱抵抗体の
耐久性を長期にわたり保持することのできるセラミック
ヒータの製造方法を提供することを目的とする。
方法によりグリーンシートを積層する場合、布等による
溶剤の拭き取りの際に、グリーンシート上に塵埃が残留
し易く、焼成により塵芥の存在した部位は微細な空隙と
なる。この空隙は、時に連通することもあり、十分に発
熱抵抗体を密封し、酸化を防ぐことができないことがあ
った。そのため、発熱抵抗体の抵抗値の上昇や、発熱抵
抗体の断線を招くことがあった。本発明は、上記の問題
点を解決するものであり、塵芥をグリーンシート上に残
留させることなく、積層することができ、発熱抵抗体の
耐久性を長期にわたり保持することのできるセラミック
ヒータの製造方法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】第１発明のセラミックヒ
ータの製造方法は、一面に形成されるヒータパターンを
備える一のグリーンシートの、該一面に、他のグリーン
シートを圧着し、これらを一体に焼成するセラミックヒ
ータの製造方法において、該圧着する際に、該一のグリ
ーンシート及び該他のグリーンシートのうちの少なくと
も一方を、該グリーンシートに含まれるバインダの融点
のうちの最も低い融点を上回る温度に加熱して圧着する
ことを特徴とする。
ータの製造方法は、一面に形成されるヒータパターンを
備える一のグリーンシートの、該一面に、他のグリーン
シートを圧着し、これらを一体に焼成するセラミックヒ
ータの製造方法において、該圧着する際に、該一のグリ
ーンシート及び該他のグリーンシートのうちの少なくと
も一方を、該グリーンシートに含まれるバインダの融点
のうちの最も低い融点を上回る温度に加熱して圧着する
ことを特徴とする。
【０００５】上記「一のグリーンシート及び他のグリー
ンシート」には、少なくとも１種のバインダが含有され
ている。ヒータパターンを備える一のグリーンシート及
びこのグリーンシートに積層される他のグリーンシート
の少なくとも一方に含有されたバインダのうち、最も融
点の低いバインダ（以下、単に「低融点バインダ」とも
いう。）の融点を上回る温度に、この低融点バインダを
含有するグリーンシートを加熱後圧着することにより、
少なくとも一部の低融点バインダは、加熱によりグリー
ンシート外に滲みだし、圧着時に両グリーンシートを接
着する役目をはたす。圧着後、温度が低下すると共に低
融点バインダは固化し、２枚のグリーンシートは十分に
密着される。従って、溶剤の塗布及び拭き取りの工程は
必要とせず、塵埃の残留を防止することができる。
ンシート」には、少なくとも１種のバインダが含有され
ている。ヒータパターンを備える一のグリーンシート及
びこのグリーンシートに積層される他のグリーンシート
の少なくとも一方に含有されたバインダのうち、最も融
点の低いバインダ（以下、単に「低融点バインダ」とも
いう。）の融点を上回る温度に、この低融点バインダを
含有するグリーンシートを加熱後圧着することにより、
少なくとも一部の低融点バインダは、加熱によりグリー
ンシート外に滲みだし、圧着時に両グリーンシートを接
着する役目をはたす。圧着後、温度が低下すると共に低
融点バインダは固化し、２枚のグリーンシートは十分に
密着される。従って、溶剤の塗布及び拭き取りの工程は
必要とせず、塵埃の残留を防止することができる。
【０００６】この低融点バインダは、通常、圧着される
２枚のグリーンシートのうちの一方に含有されれば、そ
の効果は発揮されるが、両方に含有されてもよい。ま
た、この低融点バインダの融点は、所期の効果が得られ
る限り特に限定はされない。しかし、この融点が低すぎ
る場合はグリーンシートの保管、並びに室温においても
低融点バインダが滲出する場合があること等のように圧
着時の作業等において、取り扱い難くなるため好ましく
ない。一方、この融点が高すぎる場合は、圧着の温度を
高くする必要があり、必要以上のエネルギーを消費する
こととなる。従って、低融点バインダの融点は第２発明
のように、３０〜８０℃（より好ましくは５０〜７０
℃）であることが好ましい。この温度が、５０℃、特に
３０℃未満であると、室温が高い場合は圧着時以外にも
低融点バインダが滲出することがあり、７０℃、特に８
０℃を超えると耐熱性の高い治具を必要とする。
２枚のグリーンシートのうちの一方に含有されれば、そ
の効果は発揮されるが、両方に含有されてもよい。ま
た、この低融点バインダの融点は、所期の効果が得られ
る限り特に限定はされない。しかし、この融点が低すぎ
る場合はグリーンシートの保管、並びに室温においても
低融点バインダが滲出する場合があること等のように圧
着時の作業等において、取り扱い難くなるため好ましく
ない。一方、この融点が高すぎる場合は、圧着の温度を
高くする必要があり、必要以上のエネルギーを消費する
こととなる。従って、低融点バインダの融点は第２発明
のように、３０〜８０℃（より好ましくは５０〜７０
℃）であることが好ましい。この温度が、５０℃、特に
３０℃未満であると、室温が高い場合は圧着時以外にも
低融点バインダが滲出することがあり、７０℃、特に８
０℃を超えると耐熱性の高い治具を必要とする。
【０００７】このような低融点バインダとしては、１−
トリデカノール（融点；３０．６℃）、１−テトラデカ
ノール（融点；３６．４℃）、１−ヘキサデカノール
（融点；４９．５℃）及び１−オクタデカノール（融
点；５７℃）等の高級アルコールを使用することができ
る。また、カプリン酸（融点；３１．４℃）、ラウリン
酸（融点；４４℃）、ミリスチン酸（融点；５３．８℃
及び５７．５〜５８℃）、パルミチン酸（融点；６３〜
６４℃）、ステアリン酸（融点；６４〜７０℃）及びイ
コサン酸（融点；７５．５℃）等の高級カルボン酸、並
びにノナデカン（３２℃）、イコサン（融点；３６〜３
７℃）等の高級炭化水素等を挙げることができる。これ
らは２種以上を同時に使用することができる。
トリデカノール（融点；３０．６℃）、１−テトラデカ
ノール（融点；３６．４℃）、１−ヘキサデカノール
（融点；４９．５℃）及び１−オクタデカノール（融
点；５７℃）等の高級アルコールを使用することができ
る。また、カプリン酸（融点；３１．４℃）、ラウリン
酸（融点；４４℃）、ミリスチン酸（融点；５３．８℃
及び５７．５〜５８℃）、パルミチン酸（融点；６３〜
６４℃）、ステアリン酸（融点；６４〜７０℃）及びイ
コサン酸（融点；７５．５℃）等の高級カルボン酸、並
びにノナデカン（３２℃）、イコサン（融点；３６〜３
７℃）等の高級炭化水素等を挙げることができる。これ
らは２種以上を同時に使用することができる。
【０００８】更に、第３発明のように、最も低い融点を
有するバインダを含有するグリーンシートには、更に、
この融点を上回る融点又は分解温度を有するバインダ
（以下、単に「高融点バインダ」ともいう。）が含有さ
れることが好ましい。即ち、主にグリーンシート同士の
接着を行う低融点バインダと、これとは別に、グリーン
シートの形状維持を主に担う高融点バインダを含有する
ことが好ましい。これにより、グリーンシートの形状は
十分に保持し、且つ十分なグリーンシート同士の接着も
行われる。この高融点バインダの融点又は分解温度は、
低融点バインダの融点よりも、５℃以上高い温度である
ことが好ましい。この温度差が小さいと圧着不良を生じ
ることがあり好ましくない。
有するバインダを含有するグリーンシートには、更に、
この融点を上回る融点又は分解温度を有するバインダ
（以下、単に「高融点バインダ」ともいう。）が含有さ
れることが好ましい。即ち、主にグリーンシート同士の
接着を行う低融点バインダと、これとは別に、グリーン
シートの形状維持を主に担う高融点バインダを含有する
ことが好ましい。これにより、グリーンシートの形状は
十分に保持し、且つ十分なグリーンシート同士の接着も
行われる。この高融点バインダの融点又は分解温度は、
低融点バインダの融点よりも、５℃以上高い温度である
ことが好ましい。この温度差が小さいと圧着不良を生じ
ることがあり好ましくない。
【０００９】このような高融点バインダとしては、ポリ
ビニルブチラール、各種のセルロース、ポリエチレング
リコール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアセテー
ト、各種の石油樹脂等を挙げることができる。これらは
２種以上を同時に使用することができる。高融点バイン
ダが融解せず、且つ低融点バインダが融解し、流動し得
る温度範囲においてグリンシートを積層し、圧着するこ
とにより、圧着後のグリーンシートにおける膨れ、圧着
むら等が防止される。
ビニルブチラール、各種のセルロース、ポリエチレング
リコール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアセテー
ト、各種の石油樹脂等を挙げることができる。これらは
２種以上を同時に使用することができる。高融点バイン
ダが融解せず、且つ低融点バインダが融解し、流動し得
る温度範囲においてグリンシートを積層し、圧着するこ
とにより、圧着後のグリーンシートにおける膨れ、圧着
むら等が防止される。
【００１０】また、低融点バインダは第４発明のよう
に、セラミック原料及び焼結助剤の合計量を１００重量
部とした場合に、１〜１０重量部（より好ましくは２〜
５重量部）含有されることが好ましい。低融点バインダ
の含有量が１重量部未満であると加熱時に低融点バイン
ダが十分に滲出せず、グリーンシートを密着させ難い。
一方、この含有量が１０重量部を越えると、低融点バイ
ンダの滲出が過剰となり、圧着装置、使用する治具等が
汚損され易い。また、圧着後のグリーンシートに膨れ等
が発生することもあり好ましくない。
に、セラミック原料及び焼結助剤の合計量を１００重量
部とした場合に、１〜１０重量部（より好ましくは２〜
５重量部）含有されることが好ましい。低融点バインダ
の含有量が１重量部未満であると加熱時に低融点バイン
ダが十分に滲出せず、グリーンシートを密着させ難い。
一方、この含有量が１０重量部を越えると、低融点バイ
ンダの滲出が過剰となり、圧着装置、使用する治具等が
汚損され易い。また、圧着後のグリーンシートに膨れ等
が発生することもあり好ましくない。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、実施例によって本発明を詳
しく説明する。 ［１］セラミックヒータの構造 図１は、丸棒状セラミックヒータを分解し、展開した状
態を示す斜視図である。このセラミックヒータＡは、グ
リーンシートが焼成されてなるセラミック基板１ａ、１
ｂ、これらのセラミック基板の間に配設される発熱抵抗
体２、及びセラミック基板１ａ、１ｂ及び発熱抵抗体２
が一体に巻き付けられている碍管３を備える。
しく説明する。 ［１］セラミックヒータの構造 図１は、丸棒状セラミックヒータを分解し、展開した状
態を示す斜視図である。このセラミックヒータＡは、グ
リーンシートが焼成されてなるセラミック基板１ａ、１
ｂ、これらのセラミック基板の間に配設される発熱抵抗
体２、及びセラミック基板１ａ、１ｂ及び発熱抵抗体２
が一体に巻き付けられている碍管３を備える。
【００１２】［２］セラミックヒータの製造方法 （１）低融点バインダを含有しないグリーンシートａの
作製 ９０重量部のＡｌ2Ｏ3粉末（純度；９９．９％、平均粒
径；１．８μｍ）、５重量部のＳｉＯ2（純度；９９．
９％、平均粒径；１．４μｍ）、３重量部のＣａＣＯ3
（純度；９９．９％、平均粒径；３．２μｍ）及び２重
量部のＭｇＣＯ3（純度；９９．９％、平均粒径；４．
１μｍ）のセラミック原料並びに焼結助剤に、８重量部
のポリビニルブチラール（加温後分解）、４重量部の軟
化剤であるジブチルフタレート及び７０重量部のメチル
エチルケトンとトルエンとの混合溶剤を配合し、ボール
ミルによって混合し、スラリー状の混合物を調製した。
その後、これを減圧脱泡し、ドクターブレード法によっ
て厚さ０．３ｍｍのグリーンシートａを作製した。
作製 ９０重量部のＡｌ2Ｏ3粉末（純度；９９．９％、平均粒
径；１．８μｍ）、５重量部のＳｉＯ2（純度；９９．
９％、平均粒径；１．４μｍ）、３重量部のＣａＣＯ3
（純度；９９．９％、平均粒径；３．２μｍ）及び２重
量部のＭｇＣＯ3（純度；９９．９％、平均粒径；４．
１μｍ）のセラミック原料並びに焼結助剤に、８重量部
のポリビニルブチラール（加温後分解）、４重量部の軟
化剤であるジブチルフタレート及び７０重量部のメチル
エチルケトンとトルエンとの混合溶剤を配合し、ボール
ミルによって混合し、スラリー状の混合物を調製した。
その後、これを減圧脱泡し、ドクターブレード法によっ
て厚さ０．３ｍｍのグリーンシートａを作製した。
【００１３】（２）発熱抵抗体パターン及び配線パター
ンの印刷 タングステン粉末とアルミナ粉末を用いて調製したタン
グステンペーストを、厚膜印刷法によりグリーンシート
ａの一表面に印刷し、ヒータパターンを形成した。
ンの印刷 タングステン粉末とアルミナ粉末を用いて調製したタン
グステンペーストを、厚膜印刷法によりグリーンシート
ａの一表面に印刷し、ヒータパターンを形成した。
【００１４】（３）低融点バインダを含有するグリーン
シートｂの作製 （１）と同様な組成であり、その合計量が１００重量部
であるセラミック原料並びに焼結助剤に、表１に示す量
比の１−オクタデカノール（低融点バインダ、融点；５
７℃）、１３重量部のポリビニルブチラール及び７重量
部の軟化剤ジブチルフタレートを配合した。
シートｂの作製 （１）と同様な組成であり、その合計量が１００重量部
であるセラミック原料並びに焼結助剤に、表１に示す量
比の１−オクタデカノール（低融点バインダ、融点；５
７℃）、１３重量部のポリビニルブチラール及び７重量
部の軟化剤ジブチルフタレートを配合した。
【００１５】また、メチルエチルケトン及びトルエンに
エタノールを、上記セラミック原料及び焼結助剤の合計
量１００重量部に対して、７８重量部加えた。その後、
（１）と同様にしてセラミック基板１ｂを構成すること
となる厚さ０．２ｍｍのグリーンシートｂを、１−オク
タデカノールの含有量毎に１００枚ずつ作製した。上記
エタノールは、１−オクタデカノールを溶解させ、グリ
ーンシート中における１−オクタデカノールの分散性を
向上させることができる。
エタノールを、上記セラミック原料及び焼結助剤の合計
量１００重量部に対して、７８重量部加えた。その後、
（１）と同様にしてセラミック基板１ｂを構成すること
となる厚さ０．２ｍｍのグリーンシートｂを、１−オク
タデカノールの含有量毎に１００枚ずつ作製した。上記
エタノールは、１−オクタデカノールを溶解させ、グリ
ーンシート中における１−オクタデカノールの分散性を
向上させることができる。
【００１６】
【表１】 尚、実験例１は本発明の範囲外であり、低融点バインダ
を含有させず、溶剤を塗布して圧着した。
を含有させず、溶剤を塗布して圧着した。
【００１７】（４）セラミックヒータ成形体の作製及び
焼成 グリーンシートａのヒータパターンが形成された面に、
グリーンシートｂの一表面を重ね合わせ、これらを圧着
装置によって、温度６５℃、圧力４ＭＰａで１分間加熱
及び加圧して圧着した。その後、グリーンシートｂの他
表面にアルミナペーストを塗布し、この塗布面を内側と
して碍管に巻き付け、その外周を押圧してセラミックヒ
ータ成形体を作製した。得られたセラミックヒータ成形
体を、１５３０〜１５５０℃で１〜２時間焼成して、７
種類７００個のセラミックヒータを得た。
焼成 グリーンシートａのヒータパターンが形成された面に、
グリーンシートｂの一表面を重ね合わせ、これらを圧着
装置によって、温度６５℃、圧力４ＭＰａで１分間加熱
及び加圧して圧着した。その後、グリーンシートｂの他
表面にアルミナペーストを塗布し、この塗布面を内側と
して碍管に巻き付け、その外周を押圧してセラミックヒ
ータ成形体を作製した。得られたセラミックヒータ成形
体を、１５３０〜１５５０℃で１〜２時間焼成して、７
種類７００個のセラミックヒータを得た。
【００１８】（５）評価 （４）で得られたセラミックヒータの表面状態を目視に
て観察し、その状態を評価した。更に、これらのセラミ
ックヒータに１４Ｖの直流電圧を印加し、常温常圧で大
気中において２０００時間の連続通電試験を行った。そ
の結果を表１に併記する。
て観察し、その状態を評価した。更に、これらのセラミ
ックヒータに１４Ｖの直流電圧を印加し、常温常圧で大
気中において２０００時間の連続通電試験を行った。そ
の結果を表１に併記する。
【００１９】表１の結果によると、実験例１では、接着
状態はセラミックヒータ１００本中７本に膨れが認めら
れた。また、連続通電試験においては一部に断線が生じ
た。実験例２〜５では特に良好な接着状態であり、連続
通電試験による断線も生じなかった。実験例６では、１
００本中５本の接着状態に膨れが認められたが、連続通
電試験においては断線は生じず、十分に実用的であるこ
とが分かる。実験例７においては１００本中１０本の接
着状態に膨れが認められたが、連続通電試験においては
断線は生じず、十分に実用的であることが分かる。しか
し、生産性の面からは膨れの発生率が高く低融点バイン
ダは１０重量部以下の含有量とすることが好ましいこと
が分かる。
状態はセラミックヒータ１００本中７本に膨れが認めら
れた。また、連続通電試験においては一部に断線が生じ
た。実験例２〜５では特に良好な接着状態であり、連続
通電試験による断線も生じなかった。実験例６では、１
００本中５本の接着状態に膨れが認められたが、連続通
電試験においては断線は生じず、十分に実用的であるこ
とが分かる。実験例７においては１００本中１０本の接
着状態に膨れが認められたが、連続通電試験においては
断線は生じず、十分に実用的であることが分かる。しか
し、生産性の面からは膨れの発生率が高く低融点バイン
ダは１０重量部以下の含有量とすることが好ましいこと
が分かる。
【００２０】尚、本発明においては、上記の具体的な実
施例に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明
の範囲内で種々変更した実施例とすることができる。即
ち、低融点バインダは、前記に例示のものに限られず、
バインダの機能を有し、且つ融点の低い化合物であれ
ば、他のものも使用することができる。更に、低融点バ
インダとして１−オクタデカノールを使用する場合、こ
れを溶解させ、グリーンシート中における分散性を向上
させることができるエタノールは、メチルエチルケトン
及びトルエンの合計量を１００重量部とした場合に、１
０〜２０重量部とすることが好ましい。
施例に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明
の範囲内で種々変更した実施例とすることができる。即
ち、低融点バインダは、前記に例示のものに限られず、
バインダの機能を有し、且つ融点の低い化合物であれ
ば、他のものも使用することができる。更に、低融点バ
インダとして１−オクタデカノールを使用する場合、こ
れを溶解させ、グリーンシート中における分散性を向上
させることができるエタノールは、メチルエチルケトン
及びトルエンの合計量を１００重量部とした場合に、１
０〜２０重量部とすることが好ましい。
【００２１】
【発明の効果】第１発明によれば、長期にわたる使用に
おいても発熱抵抗体の劣化を防止することのできるセラ
ミックヒータを得ることができる。
おいても発熱抵抗体の劣化を防止することのできるセラ
ミックヒータを得ることができる。
【図１】 セラミックヒータの分解斜視図である。
Ａ；セラミックヒータ、１ａ、１ｂ；グリーンシート、
２；発熱抵抗体、３；碍管。
２；発熱抵抗体、３；碍管。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3K092 PP16 QA01 QA05 QB02 QB24 QB32 QB62 RA02 RB05 RD09 RF03 RF11 RF17 RF26 TT37 VV19 VV28 4G055 AA08 AB01 AC00 BA01 BA22 BA26 FA07
Claims (4)
- 【請求項１】 一面に形成されるヒータパターンを備え
る一のグリーンシートの、該一面に、他のグリーンシー
トを圧着し、これらを一体に焼成するセラミックヒータ
の製造方法において、該圧着する際に、該一のグリーン
シート及び該他のグリーンシートのうちの少なくとも一
方を、該グリーンシートに含まれるバインダの融点のう
ちの最も低い融点を上回る温度に加熱して圧着すること
を特徴とするセラミックヒータの製造方法。 - 【請求項２】 上記最も低い融点は３０〜８０℃である
請求項１記載のセラミックヒータの製造方法。 - 【請求項３】 上記最も低い融点を有するバインダを含
有する上記グリーンシートには、更に、該融点を上回る
融点又は分解温度を有するバインダが含有される請求項
１記載のセラミックヒータの製造方法。 - 【請求項４】 上記最も低い融点を有するバインダを含
有するグリーンシートに含有される該最も低い融点を有
するバインダは、セラミック原料及び焼結助剤の合計量
を１００重量部とした場合に、１〜１０重量部である請
求項１記載のセラミックヒータの製造方法。
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