JP2001124700A - Calibration method of inspection machine with line sensor camera - Google Patents
Calibration method of inspection machine with line sensor cameraInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ラインセンサーカ
メラを備えた検査機のキャリブレーション方法に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for calibrating an inspection machine having a line sensor camera.
【０００２】[0002]
【従来の技術】プリント基板への電子部品の実装におい
て、はんだ印刷後の印刷状態や、装着部品の装着状態
や、はんだ硬化後の部品やはんだ状態を検査する時など
には、撮像装置を備えた検査機が使用されている。その
内、エリアカメラを備えたタイプの検査機は、エリアカ
メラのＣＣＤ素子がｎ×ｎ画素であるため、矩形の撮像
領域を一括で撮像可能である。このタイプの検査機をキ
ャリブレーションする方法は種々あるが、たとえば図５
に示したように、エリアカメラ３１によって、その撮像
領域３２より少し小さい寸法であって寸法精度が保証さ
れたキャリブレーション用撮像対象物３３を撮像し、撮
像した画像３４を認識することにより画像上の寸法を算
出し、算出した寸法と撮像対象物３２の実寸法との比率
からカメラスケール、つまり１画素当たりの実際の寸法
を算出している。2. Description of the Related Art In mounting electronic components on a printed circuit board, an image pickup device is provided for inspecting a printed state after solder printing, a mounted state of mounted parts, and a state of parts and solder after solder curing. Inspection machine is used. Among them, the inspection machine of the type equipped with an area camera can collectively image a rectangular imaging area because the CCD of the area camera has n × n pixels. There are various methods for calibrating this type of inspection machine.
As shown in (2), the area camera 31 captures an image of the calibration target 33 whose dimensions are slightly smaller than the imaging region 32 and whose dimensional accuracy is guaranteed. Is calculated, and the camera scale, that is, the actual size per pixel is calculated from the ratio between the calculated size and the actual size of the imaging target 32.
【０００３】一方、ラインセンサーカメラを備えたタイ
プの検査機は、ラインセンサーカメラのＣＣＤ素子がｍ
×１画素（カラーラインセンサーカメラの場合はｎ×３
画素：３画素はそれぞれ赤・緑・青の素子を示す）なの
で、矩形の撮像領域を撮像するためにはラインセンサー
カメラ或いは撮像対象物を移動させることが必要であ
る。このタイプの検査機でもキャリブレーションは上記
と同様にして行っている。On the other hand, an inspection machine of the type equipped with a line sensor camera has a CCD element of the line sensor camera that has an m.
X 1 pixel (n x 3 for a color line sensor camera)
Pixel: Three pixels indicate red, green, and blue elements, respectively), so that it is necessary to move the line sensor camera or the imaging target in order to image a rectangular imaging area. In this type of inspection machine, calibration is performed in the same manner as described above.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したよ
うな各検査機では、撮像領域３２の端と端でカメラの傾
きがカメラスケールに影響する懸念があるが、エリアカ
メラの場合には、電子部品の実装工程での撮像領域３２
は数ミリ角程度の寸法になるので、カメラの傾きの影響
は無視できる範囲である。ところが、ラインセンサーカ
メラの場合には、画素数ｍのサイズが大きいことが多い
ので、カメラが傾いて取り付けられると１画素目とｍ画
素目のカメラスケールの違いは無視できなくなり、その
ため、キャリブレーションの際にカメラの取り付け上の
傾きも調整する必要があるという問題を有していた。By the way, in each of the inspection machines as described above, there is a concern that the inclination of the camera may affect the camera scale at the end of the imaging area 32. Imaging area 32 in component mounting process
Is about several mm square, so that the influence of the camera tilt is within a negligible range. However, in the case of a line sensor camera, the size of the number of pixels m is often large, so if the camera is mounted at an angle, the difference in camera scale between the first pixel and the m-th pixel cannot be ignored. In this case, there is a problem that it is necessary to adjust the inclination at the time of mounting the camera.
【０００５】本発明は上記問題を解決するもので、撮像
対象物に対するラインセンサーカメラの傾きを容易に調
整できるキャリブレーション方法を提供することを目的
とするものである。An object of the present invention is to solve the above problem and to provide a calibration method capable of easily adjusting the inclination of a line sensor camera with respect to an object to be imaged.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に本発明は、検査対象物に対して読み取り方向に沿って
相対移動することで一定領域を撮像するラインセンサー
カメラを備えた検査機をキャリブレーションするに際し
て、設置したキャリブレーション用の検査対象物の表面
に決められた任意の２検査ポイントの位置を教示すると
ともに、前記検査対象物上の２検査ポイントをラインセ
ンサーカメラにより撮像し、検査対象物上の２検査ポイ
ント間の距離Ｄ０と撮像画像上の対応する２検査ポイン
ト間の距離Ｄ１とを求め両距離の比Ｄ１／Ｄ０で表わさ
れるカメラスケールを算出し、撮像画像上の２検査ポイ
ントを結ぶ直線が読み取り方向と直交する直線との間に
なす角θで表わされるラインセンサーカメラの読み取り
方向側への傾きを前記比Ｄ１／Ｄ０を用いて算出し、算
出した角度θに基づいてラインセンサーカメラあるいは
画像処理手段を調整することを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an inspection machine provided with a line sensor camera for imaging a certain area by moving relative to an inspection object along a reading direction. At the time of calibration, the position of any two inspection points determined on the surface of the installed calibration inspection object is taught, and the two inspection points on the inspection object are imaged by a line sensor camera. The distance D0 between the two inspection points on the object and the distance D1 between the corresponding two inspection points on the captured image are obtained, and a camera scale represented by the ratio D1 / D0 of the two distances is calculated. The inclination of the line sensor camera in the reading direction, represented by the angle θ between the straight line connecting the points and the straight line Calculated using the serial ratio D1 / D0, and adjusts the line sensor camera or the image processing means based on the calculated angle theta.
【０００７】このようにすることにより、ラインセンサ
ーカメラの読み取り方向への傾きを調整することがで
き、その工程途中でカメラスケールも求めることができ
る。また本発明は、検査対象物に対して読み取り方向に
沿って相対移動することで一定領域を撮像するラインセ
ンサーカメラを備えた検査機をキャリブレーションする
に際して、設置したキャリブレーション用の検査対象物
の表面に等間隔をおいて決められた任意の３検査ポイン
トの内の中央検査ポイントの位置を教示するとともに、
前記検査対象物上の３検査ポイントをラインセンサーカ
メラにより撮像し、撮像画像上の対応する中央検査ポイ
ントに中心軸が一致するようにラインセンサーカメラを
相対移動させ、移動後のラインセンサーカメラにより前
記検査対象物上の３検査ポイントを撮像し、撮像画像上
の対応する３検査ポイントにつき隣接する検査ポイント
間の距離Ｄ２，Ｄ３を求め両距離の比Ｄ２／Ｄ３よりラ
インセンサーカメラの検査対象物側への傾きを算出し、
算出した角度θに基づいてラインセンサーカメラあるい
は画像処理手段を調整することを特徴とする。By doing so, the inclination of the line sensor camera in the reading direction can be adjusted, and the camera scale can be obtained during the process. Further, the present invention also provides a method of calibrating an inspection machine equipped with a line sensor camera that captures an image of a certain area by relatively moving the object to be inspected along the reading direction. While teaching the position of the central inspection point among any three inspection points determined at equal intervals on the surface,
The three inspection points on the inspection object are imaged by a line sensor camera, and the line sensor camera is relatively moved so that the central axis coincides with the corresponding central inspection point on the captured image. The three inspection points on the inspection object are imaged, and distances D2 and D3 between adjacent inspection points are obtained for the corresponding three inspection points on the captured image, and the inspection object side of the line sensor camera is obtained from a ratio D2 / D3 of both distances. Calculate the slope to
The line sensor camera or the image processing means is adjusted based on the calculated angle θ.
【０００８】このようにすることにより、ラインセンサ
ーカメラの検査対象物側への傾きを調整できる。In this manner, the inclination of the line sensor camera toward the inspection object can be adjusted.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき説明する。図１は、検査機のラインセンサーカ
メラ１の下方にキャリブレーション用の検査対象物２を
配置した状態を示す。ラインセンサーカメラ１は移動テ
ーブル３に取り付けられて検査対象物２に対向するＹ軸
方向に沿って設けられていて、移動テーブル３に設けら
れた駆動手段（図示せず）によりＸ軸方向に移動自在で
あり、Ｘ軸方向への１回のスキャンで直線状撮像エリア
４によって矩形撮像エリア５を撮像可能である。ここ
で、Ｘ軸方向およびＹ軸方向は上記したようなラインセ
ンサーカメラ１が移動する平面内において互いに直交す
る方向と定義し、Ｚ軸方向はラインセンサーカメラ１か
ら検査対象物２の方向と定義する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a state where an inspection object 2 for calibration is arranged below a line sensor camera 1 of an inspection machine. The line sensor camera 1 is attached to the moving table 3 and provided along the Y-axis direction facing the inspection object 2, and is moved in the X-axis direction by driving means (not shown) provided on the moving table 3. The rectangular imaging area 5 can be imaged by the linear imaging area 4 by one scan in the X-axis direction. Here, the X-axis direction and the Y-axis direction are defined as directions orthogonal to each other in the plane in which the line sensor camera 1 moves, and the Z-axis direction is defined as the direction from the line sensor camera 1 to the inspection object 2. I do.
【００１０】移動テーブル３には、移動テーブル３をＸ
−Ｙ方向に回転させる調整治具６と、Ｙ−Ｚ方向に回転
させる調整治具７とが設けられている。検査対象物２は
精度が確保された治具であって、矩形撮像エリア５内に
入るように検査ポイントａと検査ポイントｂと検査ポイ
ントｃとを等間隔で基板８上に配置しており、駆動手段
（図示せず）によってＹ軸方向に移動自在である。The moving table 3 has the X
An adjustment jig 6 for rotating in the −Y direction and an adjustment jig 7 for rotating in the YZ direction are provided. The inspection object 2 is a jig with high accuracy, and the inspection point a, the inspection point b, and the inspection point c are arranged on the substrate 8 at equal intervals so as to enter the rectangular imaging area 5. It is movable in the Y-axis direction by a driving means (not shown).
【００１１】以下、上記した検査機のキャリブレーショ
ン方法を図２のフローチャートを参照しながら説明す
る。まず、ラインセンサーカメラ１のＸ−Ｙ方向の傾き
を算出する。検査対象物の位置教示工程＃１において、
図３（ａ）に示すように、検査機正面から見たガラス基
板８の左手前コーナーを原点Ｏ（０，０）として設定
し、検査対象物２の検査ポイントａ、検査ポイントｂ、
検査ポイントｃの位置データを教示する。また、ａ’は
検査ポイントａの中心位置、ｃ’は検査ポイントｃの中
心位置の位置データを教示する。ここで、Ｌは中心位置
ａ’と中心位置ｃ’とを結ぶ直線であってＹ軸と平行を
なす直線を示す。Hereinafter, a method of calibrating the above-described inspection machine will be described with reference to a flowchart of FIG. First, the XY tilt of the line sensor camera 1 is calculated. In the position teaching step # 1 of the inspection object,
As shown in FIG. 3A, the left front corner of the glass substrate 8 viewed from the front of the inspection machine is set as the origin O (0, 0), and the inspection point a, the inspection point b,
The position data of the inspection point c is taught. Further, a 'teaches the position data of the center position of the inspection point a, and c' teaches position data of the center position of the inspection point c. Here, L is a straight line that connects the center position a ′ and the center position c ′, and indicates a straight line that is parallel to the Y axis.
【００１２】検査対象物の認識工程＃２において、ライ
ンセンサーカメラ１をＸ軸方向へ移動させることにより
検査ポイントａ，ｂ，ｃを撮像し、図３（ｂ）に示すよ
うな、検査ポイントａ，ｂ，ｃに対応する検査ポイント
ａ１，ｂ１，ｃ１を含んだ撮像画像９を得る。そして、
撮像画像９上の検査ポイントａ１の中心位置ａ１’と検
査ポイントｃ１の中心位置ｃ１’とを設計値のカメラス
ケールを用いて求める。In the inspection target object recognition step # 2, the inspection points a, b, and c are imaged by moving the line sensor camera 1 in the X-axis direction, and the inspection points a, b, and c as shown in FIG. , B, c, the captured image 9 including the inspection points a1, b1, c1 is obtained. And
The center position a1 'of the inspection point a1 and the center position c1' of the inspection point c1 on the captured image 9 are determined using the camera scale of the design value.
【００１３】次に、カメラスケール算出工程＃３におい
て、検査対象物２上の検査ポイントａの中心位置ａ’と
検査ポイントｃの中心位置ｃ’との間の距離Ｄ０を求め
るとともに、撮像画像９上の検査ポイントａ１の中心位
置ａ１’と検査ポイントｃ１の中心位置ｃ１’との距離
Ｄ１とを求め、両者の比で表わされるカメラスケールＤ
１／Ｄ０を算出する。Next, in a camera scale calculation step # 3, the distance D0 between the center position a 'of the inspection point a on the inspection object 2 and the center position c' of the inspection point c is determined, and the captured image 9 is obtained. The distance D1 between the center position a1 'of the upper inspection point a1 and the center position c1' of the inspection point c1 is obtained, and the camera scale D represented by the ratio between the two is obtained.
1 / D0 is calculated.
【００１４】次に、Ｘ−Ｙ平面の角度算出工程＃４にお
いて、撮像画像９上で検査ポイントａ１の中心位置ａ
１’を通るＹ軸方向に平行な直線Ｌ’と、検査ポイント
ａ１の中心位置ａ１’と検査ポイントｃ１の中心位置ｃ
１’とを結ぶ直線Ｌ１とを求め、直線Ｌ’と直線Ｌ１と
のなす角θをＬ’ｃｏｓθ＝Ｌ１を用いて求める。その
後に、Ｘ−Ｙ調整工程＃５において、求めた角度θに対
応する量だけ移動テーブル３を調整治具８によりＸ−Ｙ
方向に回転させ、それによりラインセンサーカメラ１の
Ｘ−Ｙ方向の傾きを調整する。Next, in an angle calculation step # 4 of the XY plane, the center position a of the inspection point a1 on the captured image 9 is determined.
1 ′, a straight line L ′ parallel to the Y-axis direction, a center position a1 ′ of the inspection point a1 and a center position c of the inspection point c1
1 ′ is obtained, and an angle θ between the straight line L ′ and the straight line L1 is obtained using L′ cos θ = L1. Thereafter, in the XY adjustment step # 5, the moving table 3 is moved by the adjustment jig 8 in the XY direction by an amount corresponding to the obtained angle θ.
Direction, thereby adjusting the tilt of the line sensor camera 1 in the X-Y direction.
【００１５】上記した＃１〜＃５の工程を、ラインセン
サーカメラ１のＸ−Ｙ方向の傾きが要求される精度を満
足するまで繰り返す。次に、ラインセンサーカメラ１の
Ｙ−Ｚ方向の傾きを算出する。ここでは、図４（ａ）上
部に示すように、検査ポイントａ，ｂ，ｃを含んだ検査
対象物２に対して、ラインセンサーカメラ１が、中心軸
１０がＹ−Ｚ方向に傾いている。The above steps # 1 to # 5 are repeated until the inclination of the line sensor camera 1 in the XY directions satisfies the required accuracy. Next, the inclination of the line sensor camera 1 in the YZ direction is calculated. Here, as shown in the upper part of FIG. 4A, the center axis 10 of the line sensor camera 1 is inclined in the YZ direction with respect to the inspection target 2 including the inspection points a, b, and c. .
【００１６】検査対象物の認識工程＃６において、ライ
ンセンサーカメラ１をＸ軸方向に移動させることにより
検査ポイントａ，ｂ，ｃを撮像し、図４（ａ）下部に示
したような、検査ポイントａ，ｂ，ｃに対応する検査ポ
イントａ２，ｂ２，ｃ２を含んだ撮像画像を得る。そし
て、この撮像画像上の検査ポイントｂ２の中心位置ｂ
２’をここでは設計値のカメラスケールを用いて求め
る。In the inspection object recognition step # 6, the inspection points a, b, and c are imaged by moving the line sensor camera 1 in the X-axis direction, and the inspection is performed as shown in the lower part of FIG. A captured image including inspection points a2, b2, and c2 corresponding to points a, b, and c is obtained. Then, the center position b of the inspection point b2 on the captured image
Here, 2 ′ is obtained using the camera scale of the design value.
【００１７】そして、カメラ中心位置合わせ工程＃７に
おいて、撮像画像上で検査ポイントｂ２の中心位置ｂ
２’とラインセンサーカメラ１の中心軸１０とが一致す
るように検査対象物２をＹ軸方向に移動させる。Ｙ−Ｚ
平面の角度算出工程＃８において、図４（ｂ）上部に示
した位置まで移動したラインセンサーカメラ１によって
再度検査ポイントａ，ｂ，ｃを撮像し、図４（ｂ）下部
に示すような、検査ポイントａ，ｂ，ｃに対応する検査
ポイントａ３，ｂ３，ｃ３を含んだ撮像画像を得る。Then, in the camera centering step # 7, the center position b of the inspection point b2 on the captured image
The inspection object 2 is moved in the Y-axis direction so that 2 ′ coincides with the central axis 10 of the line sensor camera 1. YZ
In the plane angle calculation step # 8, the inspection points a, b, and c are imaged again by the line sensor camera 1 moved to the position shown in the upper part of FIG. 4B, and as shown in the lower part of FIG. A captured image including the inspection points a3, b3, and c3 corresponding to the inspection points a, b, and c is obtained.
【００１８】そして、検査ポイントａ３のＹ軸方向の中
心位置ａ３’、検査ポイントｂ３のＹ軸方向の中心位置
ｂ３’、検査ポイントｃ３のＹ軸方向の中心位置ｃ３’
を求め、求めた中心位置ａ３’と中心位置ｂ３’との間
の距離Ｄ２と、中心位置ｂ３’と中心位置ｃ３’との間
の距離Ｄ３との比率を算出し、算出値に基づいてライン
センサーカメラ１のＹ−Ｚ方向の傾きを算出する。Then, the center position a3 'of the inspection point a3 in the Y-axis direction, the center position b3' of the inspection point b3 in the Y-axis direction, and the center position c3 'of the inspection point c3 in the Y-axis direction.
Is calculated, and the ratio of the calculated distance D2 between the center position a3 'and the center position b3' to the distance D3 between the center position b3 'and the center position c3' is calculated, and the line is calculated based on the calculated value. The inclination of the sensor camera 1 in the YZ direction is calculated.
【００１９】その後に、Ｙ−Ｚ調整工程＃９において、
求めた角度θに対応する量だけ調整治具９により移動テ
ーブル３をＹ−Ｚ方向に回転させ、それによりラインセ
ンサーカメラ１のＹ−Ｚ方向の傾きを調整する。上記＃
６〜＃９の工程を、ラインセンサーカメラ１のＹ−Ｚ方
向の傾きが要求される精度を満足するまで繰り返す。Thereafter, in the YZ adjustment step # 9,
The moving table 3 is rotated in the YZ direction by the adjustment jig 9 by an amount corresponding to the obtained angle θ, thereby adjusting the inclination of the line sensor camera 1 in the YZ direction. the above#
Steps 6 to # 9 are repeated until the inclination of the line sensor camera 1 in the YZ direction satisfies the required accuracy.
【００２０】以上のようにして、ラインセンサーカメラ
１を備えた検査機において、検査対象物２に対するライ
ンセンサーカメラ１の傾きを調整できるとともに、ライ
ンセンサーカメラ１独特の機構を利用して調整工程と中
にカメラスケールを正確に算出することができる。な
お、上記した実施の形態では、ラインセンサーカメラ１
をＸ軸方向に移動させ検査対象物２をＹ軸方向に移動さ
せる構成の検査機を例にとって説明したが、ラインセン
サーカメラ１をＹ軸方向へ移動させ検査対象物２をＸ軸
方向に移動させる構成、或いは、ラインセンサーカメラ
１が固定で検査対象物２をＸ軸方向とＹ軸方向とに移動
させる構成、或いは、検査対象物２が固定でラインセン
サーカメラ１をＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる構
成、の検査機であっても同様にしてキャリブレーション
を実施できる。As described above, in the inspection machine provided with the line sensor camera 1, the inclination of the line sensor camera 1 with respect to the inspection object 2 can be adjusted, and the adjustment process is performed by using a unique mechanism of the line sensor camera 1. The camera scale can be accurately calculated during. In the above-described embodiment, the line sensor camera 1
Is moved in the X-axis direction and the inspection object 2 is moved in the Y-axis direction by way of example, but the line sensor camera 1 is moved in the Y-axis direction and the inspection object 2 is moved in the X-axis direction. Or the line sensor camera 1 is fixed and the inspection object 2 is moved in the X-axis direction and the Y-axis direction, or the inspection object 2 is fixed and the line sensor camera 1 is moved in the X-axis direction and the Y-axis. Calibration can be performed in a similar manner even with an inspection machine having a configuration in which the inspection device is moved in both directions.
【００２１】また、ラインセンサーカメラ１のＹ−Ｚ方
向の傾きを調整した後に、Ｘ−Ｙ方向の傾きを調整する
ことも可能である。さらに、ラインセンサーカメラ１の
傾きの調整を、ラインセンサーカメラ１を回転させるの
でなく、画像処理手段の調整によって行うことも可能で
ある。After adjusting the inclination of the line sensor camera 1 in the YZ directions, it is also possible to adjust the inclination in the XY directions. Further, the inclination of the line sensor camera 1 can be adjusted not by rotating the line sensor camera 1 but by adjusting the image processing means.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、キャリブ
レーション用の検査対象物の表面に決められた検査ポイ
ントを位置教示し撮像によって認識させることにより、
ラインセンサーカメラと検査対象物との間の傾きを算出
して調整することができる。また、傾きを算出する工程
においてカメラスケールを求めることができる。As described above, according to the present invention, the position of the inspection point determined on the surface of the inspection object for calibration is taught and recognized by imaging.
The inclination between the line sensor camera and the inspection object can be calculated and adjusted. In addition, the camera scale can be obtained in the step of calculating the inclination.
【図１】本発明の一実施の形態におけるキャリブレーシ
ョン方法が実施されるラインセンサーカメラを備えた検
査機の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an inspection machine including a line sensor camera on which a calibration method according to an embodiment of the present invention is performed.
【図２】同キャリブレーション方法を説明するフローチ
ャートである。FIG. 2 is a flowchart illustrating the calibration method.
【図３】同キャリブレーション方法におけるＸ−Ｙ座標
系でのラインセンサーカメラの傾きの算出方法を示す説
明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a method of calculating a tilt of a line sensor camera in an XY coordinate system in the calibration method.
【図４】同キャリブレーション方法におけるＹ−Ｚ座標
系でのラインセンサーカメラの傾きの算出方法を示す説
明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a method of calculating the inclination of the line sensor camera in the YZ coordinate system in the calibration method.
【図５】エリアカメラを備えたタイプの検査機において
従来より行われているキャリブレーション方法を示す説
明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a calibration method conventionally performed in an inspection machine of a type having an area camera.
１ ラインセンサーカメラ ２ 検査対象物 ９ 撮像画像 10 中心軸 ａ，ｂ，ｃ 検査ポイント a1，b1，c1 検査ポイント a2，b2，c2 検査ポイント a3，b3，c3 検査ポイント DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Line sensor camera 2 Inspection object 9 Captured image 10 Central axis a, b, c Inspection point a1, b1, c1 Inspection point a2, b2, c2 Inspection point a3, b3, c3 Inspection point
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 梶山 正行 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 田中 末廣 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2F065 AA03 AA37 AA56 CC25 EE00 EE11 FF04 FF61 JJ02 JJ25 MM24 QQ26 TT02 2G051 AA65 AB20 AC15 AC30 CA03 EA30 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Masayuki Kajiyama 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Pref. Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Suehiro 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Pref. Terms (reference) 2F065 AA03 AA37 AA56 CC25 EE00 EE11 FF04 FF61 JJ02 JJ25 MM24 QQ26 TT02 2G051 AA65 AB20 AC15 AC30 CA03 EA30
Claims (2)
て相対移動することで一定領域を撮像するラインセンサ
ーカメラを備えた検査機をキャリブレーションするに際
して、 設置したキャリブレーション用の検査対象物の表面に決
められた任意の２検査ポイントの位置を教示するととも
に、 前記検査対象物上の２検査ポイントをラインセンサーカ
メラにより撮像し、 検査対象物上の２検査ポイント間の距離Ｄ０と撮像画像
上の対応する２検査ポイント間の距離Ｄ１とを求め両距
離の比Ｄ１／Ｄ０で表わされるカメラスケールを算出
し、 撮像画像上の２検査ポイントを結ぶ直線が読み取り方向
と直交する直線との間になす角θで表わされるラインセ
ンサーカメラの読み取り方向側への傾きを前記比Ｄ１／
Ｄ０を用いて算出し、 算出した角度θに基づいてラインセンサーカメラあるい
は画像処理手段を調整することを特徴とするラインセン
サーカメラを備えた検査機のキャリブレーション方法。When calibrating an inspection machine equipped with a line sensor camera that captures an image of a certain area by moving relative to an inspection object along a reading direction, a calibration inspection object installed is calibrated. While teaching the position of any two inspection points determined on the surface, the two inspection points on the inspection object are imaged by a line sensor camera, and the distance D0 between the two inspection points on the inspection object and the captured image And a camera scale represented by the ratio D1 / D0 of the two distances is calculated, and the distance between the straight line connecting the two inspection points on the captured image and the straight line orthogonal to the reading direction is calculated. The inclination of the line sensor camera in the reading direction represented by the angle θ
A method for calibrating an inspection machine equipped with a line sensor camera, comprising: calculating a line sensor camera or an image processing means based on the calculated angle θ by using D0.
て相対移動することで一定領域を撮像するラインセンサ
ーカメラを備えた検査機をキャリブレーションするに際
して、 設置したキャリブレーション用の検査対象物の表面に等
間隔をおいて決められた任意の３検査ポイントの内の中
央検査ポイントの位置を教示するとともに、 前記検査対象物上の３検査ポイントをラインセンサーカ
メラにより撮像し、 撮像画像上の対応する中央検査ポイントに中心軸が一致
するようにラインセンサーカメラを相対移動させ、 移動後のラインセンサーカメラにより前記検査対象物上
の３検査ポイントを撮像し、 撮像画像上の対応する３検査ポイントにつき隣接する検
査ポイント間の距離Ｄ２，Ｄ３を求め両距離の比Ｄ２／
Ｄ３よりラインセンサーカメラの検査対象物側への傾き
を算出し、 算出した角度θに基づいてラインセンサーカメラあるい
は画像処理手段を調整することを特徴とするラインセン
サーカメラを備えた検査機のキャリブレーション方法。2. When calibrating an inspection machine equipped with a line sensor camera that images a certain area by moving relative to the inspection object along a reading direction, the calibration inspection object installed is calibrated. While teaching the position of the central inspection point among any three inspection points determined at equal intervals on the surface, the three inspection points on the inspection object are imaged by a line sensor camera, and the correspondence on the captured image is taken. The line sensor camera is relatively moved so that the central axis coincides with the center inspection point to be moved, and the line sensor camera after moving images three inspection points on the inspection object. The distances D2 and D3 between adjacent inspection points are obtained, and the ratio D2 /
D3 calculates the tilt of the line sensor camera toward the object to be inspected, and adjusts the line sensor camera or the image processing means based on the calculated angle θ. Method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP30615399A JP4405009B2 (en) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | Calibration method of inspection machine with line sensor camera |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP30615399A JP4405009B2 (en) | 1999-10-28 | 1999-10-28 | Calibration method of inspection machine with line sensor camera |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001124700A true JP2001124700A (en) | 2001-05-11 |
| JP4405009B2 JP4405009B2 (en) | 2010-01-27 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4405009B2 (en) |
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| Publication number | Publication date |
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