JP2001124660A - Inspection method and inspection device of defect and foreign matter for flat panel flat display device - Google Patents
Inspection method and inspection device of defect and foreign matter for flat panel flat display deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示装置な
どの平面表示装置の欠陥・異物検査方法およびその欠陥
・異物検査装置に関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a defect / foreign matter inspection method and a defect / foreign matter inspection apparatus for a flat panel display such as a liquid crystal display.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、ブラウン管に代わる小型かつ軽量
の表示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）などの平面
表示装置（ＦＰＤ）が注目されるに至っている。そし
て、このＦＰＤの表示部の輝度分布や画素欠陥の検査な
どＦＰＤの性能を含めた品位を検査する装置として、Ｃ
ＣＤアレイセンサなどよりなるラインセンサを用いた平
面表示装置の品位検査装置（以下、単に検査装置とい
う）が開発され、この種の検査装置に関する出願も多数
行われるに至っている。2. Description of the Related Art In recent years, a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display (LCD) has been attracting attention as a small and lightweight display instead of a cathode ray tube. As an apparatus for inspecting the quality including the performance of the FPD, such as the inspection of the luminance distribution and the pixel defect of the display section of the FPD, C
A quality inspection device (hereinafter simply referred to as an inspection device) for a flat display device using a line sensor such as a CD array sensor has been developed, and many applications for this type of inspection device have been filed.
【０００３】ところで、上記検査装置においては、検査
対象であるＬＣＤなどのＦＰＤ（以下、ＬＣＤで代表さ
せる）の複数の素子（画素）を複数の検出素子（画素）
からなるラインセンサでスキャンして、ＬＣＤの各素子
の光量を計測し、この光量データに基づいてＬＣＤの各
素子の輝度の良否判定を行うようにしている。すなわ
ち、ＬＣＤの各画素の輝度を測定し、ＬＣＤの欠陥（点
欠陥、線欠陥、ムラなど）を検出している。In the above inspection apparatus, a plurality of elements (pixels) of an FPD (hereinafter, represented by an LCD) such as an LCD to be inspected are replaced with a plurality of detection elements (pixels).
, The light amount of each element of the LCD is measured, and the luminance of each element of the LCD is determined based on the light amount data. That is, the luminance of each pixel of the LCD is measured, and defects (point defects, line defects, unevenness, etc.) of the LCD are detected.
【０００４】図６はＬＣＤのセル６０の一例を示す。図
６において、ＬＣＤの平面視形状は、通常、矩形であ
り、ＬＣＤは、一対の上下ガラス基板６１，６２、上ガ
ラス基板６１の内面６１ａに形成されたカラーフィルタ
６７、各ガラス基板６１，６２の外面６１ｂ，６２ｂに
貼られた偏光板（フィルム）６４，６５、上下ガラス基
板６１，６２間に挟持される液晶６６、カラーフィルタ
アレー基板６８よりなるセル６０と、下偏光板６５の直
下に配置されたバックライト（図示せず）とよりなるモ
ジュールで構成されている。なお、２ａは、セル６０の
最上面、すなわち、ＬＣＤの画面である。FIG. 6 shows an example of a cell 60 of the LCD. In FIG. 6, the LCD has a generally rectangular shape in plan view. The LCD has a pair of upper and lower glass substrates 61 and 62, a color filter 67 formed on an inner surface 61a of the upper glass substrate 61, and respective glass substrates 61 and 62. Polarizers (films) 64, 65 attached to outer surfaces 61b, 62b of the above, a liquid crystal 66 sandwiched between upper and lower glass substrates 61, 62, a cell 60 composed of a color filter array substrate 68, and a cell 60 directly below the lower polarizer 65 It is composed of a module consisting of an arranged backlight (not shown). 2a is the uppermost surface of the cell 60, that is, the screen of the LCD.
【０００５】そして、この種の検査装置においては、カ
ラーフィルタ６７にラインセンサ２４の焦点位置Ｆ0 を
合わせ、バックライトを作動させた状態でＬＣＤの光量
を、ラインセンサ２４によって受光させている。すなわ
ち、ラインセンサ２４によってＬＣＤ２の各素子の光量
Ａを、ＬＣＤの画面２ａに対し垂直な方向（Ｂ方向）に
おいて計測し、この光量データに基づいてＬＣＤの各素
子の輝度の良否判定を行う。In this type of inspection apparatus, the focal point F 0 of the line sensor 24 is adjusted to the color filter 67, and the amount of light from the LCD is received by the line sensor 24 while the backlight is activated. That is, the light amount A of each element of the LCD 2 is measured by the line sensor 24 in a direction (direction B) perpendicular to the screen 2a of the LCD, and the quality of each element of the LCD is determined based on the light amount data.
【０００６】本出願人らは、例えば、特願平９−３２９
６２０号において、ＬＣＤの画面２ａとラインセンサと
の距離がＬＣＤの全面にわたって常に一定になるように
ＬＣＤを保持することができる品位検査装置を提案して
いる。The present applicants have disclosed, for example, Japanese Patent Application No. 9-329.
No. 620 proposes a quality inspection device capable of holding the LCD so that the distance between the LCD screen 2a and the line sensor is always constant over the entire surface of the LCD.
【０００７】図５はその全体構成を示すもので、モータ
２１によって両矢印Ｙで示す方向にスライド移動するス
キャンスライダ１３の保持部材１８にラインセンサ２４
が設けられている。このラインセンサ２４は、例えばＣ
ＣＤアレイセンサよりなるセンサ本体２５とその前面
（下方）に設けられるセルフォックレンズ（商品名）な
どの屈折率分布レンズをアレイ化した集光レンズアレイ
２６とからなり、ＬＣＤ２の全幅ａ（図５において両矢
印Ｘで示す方向の長さ）よりやや長い。このＬＣＤ２
は、回転機構１０の上部に回動可能に保持されているス
テージ本体１２の上に載置されており、ラインセンサ２
４は、ＬＣＤ２をその全幅ａをその全長ｂにわたってス
キャンするとともに、ＬＣＤ２の画面２ａに対し垂直な
方向において上下移動できるように構成されている。２
７はステージ本体１２上に載置されたＬＣＤ２の画面２
ａとラインセンサ２４との距離を測定する装置で、例え
ば超音波を利用した距離測定センサである。この距離測
定センサ２７は、スキャンスライダ１３の保持部材１８
に設けられたブラケット２８に取り付けられている。FIG. 5 shows the entire structure. A line sensor 24 is attached to a holding member 18 of a scan slider 13 which is slid in a direction indicated by a double arrow Y by a motor 21.
Is provided. This line sensor 24 is, for example, C
A sensor body 25 composed of a CD array sensor and a condensing lens array 26 in which a refractive index distribution lens such as a SELFOC lens (trade name) provided on the front (lower) side thereof are arranged. In the direction indicated by the double arrow X). This LCD2
Is mounted on a stage main body 12 rotatably held on the upper part of the rotation mechanism 10, and the line sensor 2
Numeral 4 is configured to scan the LCD 2 over its entire width a over its entire length b and to be able to move up and down in a direction perpendicular to the screen 2 a of the LCD 2. 2
7 is a screen 2 of the LCD 2 placed on the stage main body 12.
This is a device for measuring the distance between a and the line sensor 24, and is, for example, a distance measuring sensor using ultrasonic waves. The distance measuring sensor 27 is provided on the holding member 18 of the scan slider 13.
Is attached to a bracket 28 provided in the bracket.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＬＣＤ２の
製作工程においては、各ガラス基板６１，６２はガラス
基板搬送ラインを通過した後、各ガラス基板６１，６２
の外面６１ｂ，６２ｂに偏光板６４，６５を貼る作業が
施されることから、ガラス基板搬送ラインを通過中にガ
ラス基板６１，６２にゴミなどの異物が付着したり、あ
るいは、偏光板搬送ラインを通過する貼り付け前の偏光
板６４，６５にゴミなどの異物が付着していたりして、
偏光板６４およびガラス基板６１間ならびに偏光板６５
およびガラス基板６２間に前記異物が入る可能性があ
る。しかし、ＬＣＤ２の品位を検査する際に、従来で
は、ＬＣＤ２の各素子の輝度の良否判定を行うために、
カラーフィルタ６７にラインセンサ２４の焦点位置Ｆ0
を合わせているので、その欠陥がＬＣＤ２自体のものな
のか、それとも、前記異物によるものなのかが判別でき
なかった。仮に、その欠陥が異物に起因するものであれ
ばＬＣＤ２を高精度に品位検査することができないとい
う問題が生じる。In the manufacturing process of the LCD 2, each glass substrate 61, 62 passes through a glass substrate transfer line and then passes through the glass substrate 61, 62.
Since the operation of attaching the polarizing plates 64 and 65 to the outer surfaces 61b and 62b of the glass substrates 61 and 62b is performed, foreign matter such as dust adheres to the glass substrates 61 and 62 while passing through the glass substrate carrying line, or the polarizing plate carrying line Foreign matter such as dust adheres to the polarizing plates 64 and 65 before pasting,
Between the polarizing plate 64 and the glass substrate 61 and the polarizing plate 65
In addition, the foreign matter may enter between the glass substrates 62. However, when inspecting the quality of the LCD 2, conventionally, in order to determine the quality of each element of the LCD 2,
The focal position F 0 of the line sensor 24 is applied to the color filter 67.
Therefore, it was impossible to determine whether the defect was caused by the LCD 2 itself or the defect. If the defect is caused by a foreign substance, the quality of the LCD 2 cannot be inspected with high accuracy.
【０００９】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、ＬＣＤなどＦＰＤ自体の欠陥検
査と異物検査を区別して行うことができ、ＦＰＤの品位
検査の精度を向上できる平面表示装置の欠陥・異物検査
方法およびその検査装置を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above-mentioned matters, and an object of the present invention is to perform a defect inspection of a FPD itself such as an LCD and a foreign substance inspection separately, thereby improving the accuracy of the quality inspection of the FPD. An object of the present invention is to provide a method of inspecting a flat panel display device for defects and foreign matter and an inspection apparatus therefor.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、平面表示装置の複数の素子を複数の検
出素子からなるラインセンサでスキャンし、このライン
センサによって平面表示装置の各素子の光量を平面表示
装置の画面に対し垂直な方向において計測し、この光量
データに基づいて平面表示装置の各素子の輝度の良否判
定を行い平面表示装置の欠陥を検査するにあたり、その
欠陥検査と併せて平面表示装置に含まれる異物の検査も
行うようにしている。In order to achieve the above object, the present invention scans a plurality of elements of a flat panel display with a line sensor comprising a plurality of detecting elements, and uses the line sensors to scan each element of the flat panel display. Is measured in a direction perpendicular to the screen of the flat panel display device, and based on the light amount data, the quality of each element of the flat panel display device is determined to be good or bad, and the flat panel display device is inspected for defects. At the same time, inspection for foreign substances contained in the flat panel display is also performed.
【００１１】また、この発明は別の観点から、平面表示
装置の複数の素子を複数の検出素子からなるラインセン
サでスキャンし、このラインセンサによって平面表示装
置の各素子の光量を平面表示装置の画面に対し垂直な方
向において計測し、この光量データに基づいて平面表示
装置の各素子の輝度の良否判定を行い平面表示装置の欠
陥を検査するとともに、前記良否判定に用いる前記ライ
ンセンサとは焦点位置の異なる別のラインセンサを用い
て、平面表示装置に含まれる異物の検査を行うようにし
ている。According to another aspect of the present invention, a plurality of elements of the flat display device are scanned by a line sensor including a plurality of detection elements, and the light intensity of each element of the flat display device is measured by the line sensor. Measurement is performed in a direction perpendicular to the screen, and based on the light amount data, the brightness of each element of the flat panel display device is determined to be good or bad, and the flat panel display device is inspected for defects. Inspection of foreign substances contained in the flat panel display device is performed using another line sensor at a different position.
【００１２】また、この発明は、平面表示装置の複数の
素子を複数の検出素子からなるラインセンサでスキャン
し、このラインセンサによって平面表示装置の各素子の
光量を平面表示装置の画面に対し垂直な方向において計
測し、この光量データに基づいて平面表示装置の各素子
の輝度の良否判定を行い平面表示装置の欠陥を検査する
欠陥検査部と、平面表示装置に含まれる異物の検査を行
う異物検査部とを備えたことを特徴とする平面表示装置
の欠陥・異物検査装置を提供する。Further, according to the present invention, a plurality of elements of the flat display device are scanned by a line sensor composed of a plurality of detection elements, and the light intensity of each element of the flat display device is perpendicular to the screen of the flat display device by the line sensor. A defect inspection unit for measuring defects in various directions, determining the quality of each element of the flat display device based on the light quantity data, and inspecting the flat display device for defects, and a foreign object for inspecting foreign substances included in the flat display device. A defect / foreign matter inspection device for a flat panel display device, comprising: an inspection unit.
【００１３】更に、この発明は、平面表示装置の複数の
素子を複数の検出素子からなるラインセンサでスキャン
し、このラインセンサによって平面表示装置の各素子の
光量を平面表示装置の画面に対し垂直な方向において計
測し、この光量データに基づいて平面表示装置の各素子
の輝度の良否判定を行い平面表示装置の欠陥を検査する
欠陥検査部と、平面表示装置に含まれる異物の検査を行
う異物検査部とを備え、更に、前記異物検査部は、前記
良否判定に用いる前記ラインセンサとは焦点位置の異な
る別のラインセンサを有し、この別のラインセンサは前
記良否判定に用いる前記ラインセンサとともにスキャン
するよう構成されていることを特徴とする平面表示装置
の欠陥・異物検査装置を提供する。Further, according to the present invention, a plurality of elements of the flat display device are scanned by a line sensor composed of a plurality of detection elements, and the light intensity of each element of the flat display device is perpendicular to the screen of the flat display device by the line sensor. A defect inspection unit for measuring defects in various directions, determining the quality of each element of the flat display device based on the light quantity data, and inspecting the flat display device for defects, and a foreign object for inspecting foreign substances included in the flat display device. An inspection unit, and the foreign matter inspection unit has another line sensor having a different focus position from the line sensor used for the pass / fail judgment, and the other line sensor is the line sensor used for the pass / fail judgment And a defect / foreign matter inspection apparatus for a flat panel display device, wherein the inspection apparatus is configured to perform scanning.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を図面を参照し
ながら説明する。この発明と前述した特願平９−３２９
６２０号明細書、図面に記載の発明との相違点は以下の
通りである。すなわち、この発明では、（１）特願平９
−３２９６２０号明細書、図面に記載の発明のように平
面表示装置（例えばＬＣＤ）２の各素子の輝度の良否判
定に用いるラインセンサ２４の焦点位置Ｆ0 をカラーフ
ィルタ６７にだけ合わせる（図６参照）のではなく、図
１に示すように、ラインセンサ２４の焦点位置Ｆ1 をガ
ラス基板６１の外面６１ｂに合わせたり、ラインセンサ
２４の焦点位置Ｆ2 をガラス基板６２の外面６２ｂに合
わせるようにした点と、（２）平面表示装置（例えばＬ
ＣＤ）２の各素子の輝度の良否判定に用いるラインセン
サ２４とともにスキャンする、別のラインセンサ３０，
３１（図２参照）、あるいは、別のラインセンサ３２，
３３（図３参照）を設け、更に、この別のラインセンサ
３０，３１、３２，３３は、前記良否判定に用いる前記
ラインセンサ２４の焦点距離ｆ0 とは異なる焦点距離ｆ
1 ，ｆ2 ，ｆ3 ，ｆ4 を有するように構成した点であ
る。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. This invention and the aforementioned Japanese Patent Application No. 9-329.
The differences from the invention described in the specification of Japanese Patent No. 620 and drawings are as follows. That is, in the present invention, (1)
-329620 Pat focuses position F 0 of the line sensor 24 used for the quality judgment of the brightness of the elements of the flat display device (e.g. LCD) 2 as in the embodiment described in the drawings in the color filter 67 only (FIG. 6 1), the focal position F 1 of the line sensor 24 is adjusted to the outer surface 61 b of the glass substrate 61, or the focal position F 2 of the line sensor 24 is adjusted to the outer surface 62 b of the glass substrate 62, as shown in FIG. And (2) a flat display device (for example, L
CD), another line sensor 30, which scans together with the line sensor 24 used for judging the luminance of each element.
31 (see FIG. 2) or another line sensor 32,
33 (see FIG. 3), and the other line sensors 30, 31, 32, and 33 have a focal length f 0 different from the focal length f 0 of the line sensor 24 used for the pass / fail determination.
1 , f 2 , f 3 , and f 4 .
【００１５】図１は、ＬＣＤ２の各素子の輝度の良否判
定に用いるラインセンサ２４を上下移動させて偏光板６
４およびガラス基板６１間ならびに偏光板６５およびガ
ラス基板６２間に含まれる異物の検査を、ＬＣＤ２の欠
陥検査と併せて行うようにしたこの発明の第１の実施形
態を示す。なお、図１において、図５、図６で示された
符号と同一のものは、同一または相当物である。FIG. 1 shows that the line sensor 24 used for judging the brightness of each element of the LCD 2 is moved up and down to move the polarizing plate 6.
4 shows a first embodiment of the present invention in which the inspection of foreign substances included between the LCD substrate 4 and the glass substrate 61 and between the polarizing plate 65 and the glass substrate 62 is performed together with the defect inspection of the LCD 2. In FIG. 1, the same components as those shown in FIGS. 5 and 6 are the same or equivalent.
【００１６】前記ラインセンサ２４は、例えばＣＣＤア
レイセンサよりなるセンサ本体２５とその前面（下方）
に設けられるセルフォックレンズ（商品名）などの屈折
率分布レンズをアレイ化した集光レンズアレイ２６とか
らなる。この集光レンズアレイ２６はｆ0 の焦点距離を
有するよう構成されている。The line sensor 24 includes, for example, a sensor main body 25 composed of a CCD array sensor and its front surface (lower).
And a condenser lens array 26 in which refractive index distribution lenses such as a SELFOC lens (trade name) are arrayed. The condenser lens array 26 is configured to have a focal length of f 0.
【００１７】欠陥検査と異物の検査の手順の一例につい
て図５も参照して説明する。図１、図５において、ＬＣ
Ｄ２の画面２ａとラインセンサ２４とが画面２ａの全面
において等距離となるようにする、つまり、超音波を利
用した距離測定センサ２７を用いてＬＣＤ２のどの点に
おいてもＬＣＤ２の画面とラインセンサ２４とが平行に
なるように調整することにより、信号レベルにバラツキ
のない光量検出データが得られる。An example of a procedure of the defect inspection and the inspection of the foreign matter will be described with reference to FIG. 1 and 5, LC
The screen 2a of D2 and the line sensor 24 are made equidistant over the entire surface of the screen 2a, that is, the screen 2a of the LCD 2 and the line sensor 24 are used at any point of the LCD 2 using the distance measuring sensor 27 using ultrasonic waves. Are adjusted to be parallel to each other, so that light amount detection data having no variation in signal level can be obtained.
【００１８】上述のように調整した後、ＬＣＤ２を点灯
させ、その状態で、図５に示す状態のスキャンスライダ
１３をＬＣＤ２の長さｂ方向（Ｙ1 方向）に沿って移動
させて、ラインセンサ２４によってＬＣＤ２における全
ての素子における光量を受光する。この場合、各素子の
光量はＬＣＤ２の画面２ａに対し垂直な方向において計
測される。そして、前記ラインセンサ２４からの信号
は、センサ信号前処理ボード（図示せず）を経て例えば
コンピュータ（図示せず）に入力され、ＬＣＤ２の各素
子の輝度の良否判定が行われる。[0018] After adjusting as described above turns on the LCD 2, in this state, it is moved along the scan slider 13 in the state shown in FIG. 5 in the longitudinal direction b (Y 1 direction) of the LCD 2, the line sensor 24 receives the light amounts of all the elements in the LCD 2. In this case, the light amount of each element is measured in a direction perpendicular to the screen 2a of the LCD 2. Then, a signal from the line sensor 24 is input to, for example, a computer (not shown) via a sensor signal preprocessing board (not shown), and the quality of each element of the LCD 2 is determined.
【００１９】続いて、スキャンスライダ１３を例えば図
５に示す状態に戻した後、前記ラインセンサ２４を上方
向に移動させて前記ラインセンサ２４の焦点位置Ｆ1 を
ガラス基板６１の外面６１ｂに合わせる操作をスキャン
スライダ１３に施す。そして、前記画面２ａとラインセ
ンサ２４とが画面２ａの全面において等距離となるよう
に調整した後、スキャンスライダ１３をＹ1 方向に沿っ
て移動させて、ＬＣＤ２の画面２ａに対し垂直な方向に
おいてＬＣＤ２からの光量を計測する。そして、前記ラ
インセンサ２４からの信号は、センサ信号前処理ボード
（図示せず）を経て例えばコンピュータ（図示せず）に
入力され、異物の検査が行われる。Subsequently, after returning the scan slider 13 to, for example, the state shown in FIG. 5, the line sensor 24 is moved upward to adjust the focal position F 1 of the line sensor 24 to the outer surface 61 b of the glass substrate 61. An operation is performed on the scan slider 13. After said screen 2a and the line sensor 24 is adjusted to be equidistant over the entire surface of the screen 2a, the scan slider 13 is moved along the Y 1 direction, in the direction perpendicular to the screen 2a of LCD2 The light quantity from the LCD 2 is measured. The signal from the line sensor 24 is input to, for example, a computer (not shown) via a sensor signal pre-processing board (not shown), and a foreign substance is inspected.
【００２０】今度は、前記ラインセンサ２４を下方向に
移動させて前記ラインセンサ２４の焦点位置Ｆ2 をガラ
ス基板６２の外面６２ｂに合わせる操作をスキャンスラ
イダ１３に施して異物の検査が行われる。Next, an operation of moving the line sensor 24 downward to adjust the focal position F 2 of the line sensor 24 to the outer surface 62 b of the glass substrate 62 is performed on the scan slider 13 to inspect foreign matter.
【００２１】このように、ＬＣＤ２の各素子の輝度の良
否判定に用いるラインセンサ２４の焦点位置をＦ1 とＦ
2 に変えて測定することによりＬＣＤ２自体の欠陥か、
それとも、異物の欠陥なのかを判定できるとともに、異
物の欠陥であれば、その異物が画面２ａのどの位置（深
さ方向も含む）に存在するのかを検出できる。As described above, the focus positions of the line sensor 24 used for judging the brightness of each element of the LCD 2 are defined as F 1 and F 1.
If the measurement is changed to 2 , the LCD2 itself may be defective.
Alternatively, it is possible to determine whether the defect is a foreign matter, and if the defect is a foreign matter, it is possible to detect at which position (including the depth direction) the foreign matter exists on the screen 2a.
【００２２】図２は、良否判定に用いるラインセンサ２
４とともにスキャンする別のラインセンサ３０，３１を
用いて前記異物の検査を、ＬＣＤ２の欠陥検査と併せて
行うようにしたこの発明の第２の実施形態を示す。な
お、図２において、図５、図６で示された符号と同一の
ものは、同一または相当物である。FIG. 2 shows a line sensor 2 used for quality judgment.
4 shows a second embodiment of the present invention in which the inspection of the foreign matter is performed using another line sensor 30 and 31 that scans together with the LCD 4 together with the defect inspection of the LCD 2. In FIG. 2, the same components as those shown in FIGS. 5 and 6 are the same or equivalent.
【００２３】図２において、３０は、前記ラインセンサ
２４とは別のラインセンサである。この別のラインセン
サ３０の集光レンズアレイ２６ａはｆ1 （＜ｆ0 ）の焦
点距離を有するよう構成されている。３１は、前記ライ
ンセンサ２４とは別のラインセンサである。この別のラ
インセンサ３１の集光レンズアレイ２６ｂはｆ2 （＞ｆ
0 ＞ｆ1 ）の焦点距離を有するよう構成されている。こ
れら別のラインセンサ３０，３１は、図示しないが、例
えば図５に示したスキャンスライダ１３に前記ラインセ
ンサ２４とともに取り付けられている。したがって、別
のラインセンサ３０，３１は前記ラインセンサ２４とと
もにスキャンする。しかも、図２に示したように、この
３個のラインセンサ２４，３０，３１は、スキャンスラ
イダ１３に対して同一高さに取り付けられている。In FIG. 2, reference numeral 30 denotes a line sensor different from the line sensor 24. The condensing lens array 26a of this other line sensor 30 is configured to have a focal length of f 1 (<f 0 ). Reference numeral 31 denotes a line sensor different from the line sensor 24. The condensing lens array 26b of this other line sensor 31 has f 2 (> f
0 > f 1 ). Although not shown, these other line sensors 30 and 31 are attached to the scan slider 13 shown in FIG. 5 together with the line sensor 24, for example. Therefore, the other line sensors 30 and 31 scan together with the line sensor 24. Further, as shown in FIG. 2, the three line sensors 24, 30, 31 are mounted at the same height with respect to the scan slider 13.
【００２４】この場合、距離測定センサ２７を用いてＬ
ＣＤ２のどの点においてもＬＣＤ２の画面２ａと、ライ
ンセンサ２４，３０，３１とが平行になるように調整し
た後、スキャンスライダ１３をＹ1 方向に沿って１回移
動させるだけで、上記第１実施形態よりも短時間で異物
の検査を、ＬＣＤ２の欠陥検査と併せて行える。In this case, using the distance measuring sensor 27, L
And the screen 2a of LCD2 also in terms of CD2 throat, after which the line sensors 24,30,31 is adjusted to be parallel, with the scan slider 13 only by moving one along the Y 1 direction, the first Inspection of foreign substances can be performed in a shorter time than in the embodiment, together with the defect inspection of the LCD 2.
【００２５】図３は、良否判定に用いるラインセンサ２
４とともにスキャンする別のラインセンサ３２，３３を
用いて前記異物の検査を、ＬＣＤ２の欠陥検査と併せて
行うにあたり、これらラインセンサ２４，３２，３３を
異なる高さにセットするようにしたこの発明の第３の実
施形態を示す。なお、図３において、図５、図６で示さ
れた符号と同一のものは、同一または相当物である。FIG. 3 shows a line sensor 2 used for quality judgment.
In the present invention, the line sensors 24, 32, and 33 are set at different heights when the inspection of the foreign matter is performed by using the line sensors 32 and 33 that scan together with the LCD 4 together with the defect inspection of the LCD 2. 3 shows a third embodiment. In FIG. 3, the same components as those shown in FIGS. 5 and 6 are the same or equivalent.
【００２６】図３において、３２は、前記ラインセンサ
２４とは別のラインセンサである。この別のラインセン
サ３２の集光レンズアレイ２６ｃはｆ4 の焦点距離を有
するよう構成されている。３３は、前記ラインセンサ２
４とは別のラインセンサである。この別のラインセンサ
３３の集光レンズアレイ２６ｄはｆ3 の焦点距離を有す
るよう構成されている。これら別のラインセンサ３２，
３３は前記ラインセンサ２４とともにスキャンするよう
構成されている。なお、焦点距離ｆ0 ，ｆ3 ，ｆ4 の大
小は各ラインセンサ２４，３２，３３の高さ位置に応じ
て適宜設定される。In FIG. 3, reference numeral 32 denotes a line sensor different from the line sensor 24. Condenser lens array 26c of another line sensor 32 is configured to have a focal length of f 4. 33 is the line sensor 2
4 is a different line sensor. Condenser lens array 26d of another line sensor 33 is configured to have a focal length of f 3. These other line sensors 32,
33 is configured to scan together with the line sensor 24. The magnitudes of the focal lengths f 0 , f 3 , f 4 are appropriately set in accordance with the height positions of the line sensors 24, 32, 33.
【００２７】この場合も、上記第２実施形態と同様に、
ラインセンサ２４，３２，３３をＹ 1 方向に沿って１回
移動させるだけで、短時間で異物の検査を、ＬＣＤ２の
欠陥検査と併せて行える。Also in this case, similarly to the second embodiment,
Set the line sensors 24, 32, 33 to Y 1Once along the direction
Inspection of foreign substances in a short time just by moving
It can be performed together with defect inspection.
【００２８】なお、図２、図３において、ラインセンサ
２４，３２，３３間のＹ1 方向に沿う間隔およびライン
センサ２４，３２，３３間のＹ1 方向に沿う間隔は実際
は図２、図３に示した状態よりも更に小さいものであ
る。It should be noted, 2 and 3, actually the distance along the Y 1 direction between spacing and line sensors 24,32,33 along the Y 1 direction between the line sensor 24,32,33 Fig 2, Fig 3 Are smaller than those shown in FIG.
【００２９】図４は、ＬＣＤ２の製作工程において、サ
ンプルＳとしてのガラス基板６１，６２がガラス基板搬
送ライン通過中にゴミなどの異物が付着したり、あるい
は、サンプルＳとしての偏光板６４，６５が偏光板搬送
ライン通過中にゴミなどの異物が付着したままで次工程
に搬送されるのを防止するように構成したこの発明の第
４の実施形態を示す。なお、図４において、図１、図
２、図３、図５、図６で用いた符号と同一のものは同一
または相当物である。FIG. 4 shows that in the manufacturing process of the LCD 2, foreign substances such as dust adhere to the glass substrates 61 and 62 as the sample S while passing through the glass substrate transport line, or the polarizing plates 64 and 65 as the sample S. A fourth embodiment of the present invention is configured to prevent a foreign substance such as dust from adhering to the next step while passing through the polarizing plate conveying line. 4, the same reference numerals as those used in FIGS. 1, 2, 3, 5, and 6 denote the same or corresponding components.
【００３０】図４において、４０は、異物（ゴミ）検査
装置である。この異物検査装置４０は、例えばガラス基
板搬送ライン、偏光板搬送ラインの途中に設置されてお
り、ガラス基板６１，６２、偏光板６４，６５上の異物
（ゴミ）を事前に検出する。検出されたガラス基板６
１，６２、偏光板６４，６５は、次工程（貼り付け工
程）に送られる前に洗浄され、洗浄後ガラス基板６１，
６２、偏光板６４，６５は再度、ゴミ検査装置４０でチ
ェックを受け、ゴミが検出されなければ次工程（貼り付
け工程）に送られるIn FIG. 4, reference numeral 40 denotes a foreign matter (dust) inspection device. The foreign substance inspection device 40 is installed, for example, in the middle of a glass substrate transport line and a polarizing plate transport line, and detects foreign substances (dust) on the glass substrates 61 and 62 and the polarizing plates 64 and 65 in advance. Glass substrate 6 detected
1 and 62 and the polarizing plates 64 and 65 are washed before being sent to the next step (adhering step).
62, the polarizing plates 64 and 65 are checked again by the dust inspection device 40, and if no dust is detected, sent to the next step (sticking step).
【００３１】前記ゴミ検査装置４０の構成は以下の通り
である。図４において、４１はライン光源、４２はライ
ン光源４１の前方に設けられるシリンドリカルレンズな
どの屈折率分布レンズをアレイ化した集光レンズアレイ
である。The configuration of the dust inspection device 40 is as follows. In FIG. 4, reference numeral 41 denotes a line light source, and reference numeral 42 denotes a condenser lens array in which a refractive index distribution lens such as a cylindrical lens provided in front of the line light source 41 is arrayed.
【００３２】動作は以下の通りである。すなわち、ライ
ン光源４１から集光レンズアレイ４２を介して直線状に
集光させた光４４をサンプルＳに照射し、その反射光４
５をラインセンサ２４に集光して輝度を検出する。つま
り、反射光４５の光量をサンプルＳの表面４６に対し垂
直な方向において計測し、この光量データに基づいてサ
ンプルＳ上の異物（ゴミ）を検出する。The operation is as follows. That is, the sample S is irradiated with light 44 linearly condensed from the line light source 41 via the condenser lens array 42, and the reflected light 4
5 is condensed on the line sensor 24 to detect the luminance. That is, the light amount of the reflected light 45 is measured in a direction perpendicular to the surface 46 of the sample S, and a foreign substance (dust) on the sample S is detected based on the light amount data.
【００３３】なお、半導体製造工程において、ステッパ
に使用されるレチクルや、デバイスを作成するために使
用される光露光用のガラス基板（マスク）にも前記ゴミ
検査装置４０を適用できる。In the semiconductor manufacturing process, the dust inspection apparatus 40 can be applied to a reticle used for a stepper or a glass substrate (mask) for light exposure used for manufacturing a device.
【００３４】[0034]
【発明の効果】この発明では、平面表示装置の品位を検
査するにあたり、その欠陥が異物によるものかどうかを
判別できる。その結果、平面表示装置の修正作業を容易
に判断でき、平面表示装置の品位検査の精度を向上でき
る効果がある。According to the present invention, when inspecting the quality of a flat display device, it can be determined whether or not the defect is caused by a foreign substance. As a result, it is possible to easily determine the repair work of the flat display device, and it is possible to improve the accuracy of the quality inspection of the flat display device.
【図１】この発明の第１の実施形態を示す構成説明図で
ある。FIG. 1 is a configuration explanatory view showing a first embodiment of the present invention.
【図２】この発明の第２の実施形態を示す構成説明図で
ある。FIG. 2 is a configuration explanatory view showing a second embodiment of the present invention.
【図３】この発明の第３の実施形態を示す構成説明図で
ある。FIG. 3 is a configuration explanatory view showing a third embodiment of the present invention.
【図４】この発明の第４の実施形態を示す構成説明図で
ある。FIG. 4 is a configuration explanatory view showing a fourth embodiment of the present invention.
【図５】ＬＣＤの品位検査装置を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an LCD quality inspection apparatus.
【図６】ＬＣＤの欠陥検査を示す構成説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing a configuration of a defect inspection of the LCD.
２…ＬＣＤ（平面表示装置）、２４…ＬＣＤの各素子の
輝度の良否判定に用いるラインセンサ、３０，３１…別
のラインセンサ、ｆ0 ，ｆ1 ，ｆ2 …焦点距離、６０…
セル、６１，６２…ガラス基板、６１ｂ，６２ｂ…ガラ
ス基板の外面、６４，６５…偏光板。2 LCD (flat display device), 24 line sensors used for judging the brightness of each element of the LCD, 30, 31 different line sensors, f 0 , f 1 , f 2 ... focal length, 60 ...
Cell, 61, 62: glass substrate; 61b, 62b: outer surface of glass substrate; 64, 65: polarizing plate.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西條 豊 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 山田 芳孝 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 (72)発明者 細田 俊弘 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 (72)発明者 藤井 敏夫 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 Ｆターム(参考） 2G051 AA73 AB01 AB02 CA03 CB05 CB08 CC09 CD04 2G086 EE10 2H088 FA11 FA30 HA01 HA25 HA28 MA20 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Yutaka Saijo 2 Higashi-cho, Kichijoin-miya, Minami-ku, Kyoto, Kyoto Prefecture Inside Horiba, Ltd. (72) Inventor Yoshitaka Yamada 197-1 Horencho, Nara City, Nara Prefecture Technos Co., Ltd. Inside the company (72) Inventor Toshihiro Hosoda 197-1 Horencho, Nara-shi, Nara Prefecture Technos Co., Ltd. (72) Inventor Toshio Fujii 197-1 Horencho, Nara-shi, Nara Prefecture Technos Co., Ltd. F-term (reference) 2G051 AA73 AB01 AB02 CA03 CB05 CB08 CC09 CD04 2G086 EE10 2H088 FA11 FA30 HA01 HA25 HA28 MA20
Claims (6)
素子からなるラインセンサでスキャンし、このラインセ
ンサによって平面表示装置の各素子の光量を平面表示装
置の画面に対し垂直な方向において計測し、この光量デ
ータに基づいて平面表示装置の各素子の輝度の良否判定
を行い平面表示装置の欠陥を検査するにあたり、その欠
陥検査と併せて平面表示装置に含まれる異物の検査も行
うようにしたことを特徴とする平面表示装置の欠陥・異
物検査方法。A plurality of elements of a flat panel display are scanned by a line sensor comprising a plurality of detection elements, and the line sensors measure the light amounts of the respective elements of the flat panel display in a direction perpendicular to the screen of the flat panel display. When inspecting a defect of the flat display device by determining the quality of each element of the flat display device based on the light amount data and performing a defect inspection of the flat display device, a foreign substance included in the flat display device is also inspected together with the defect inspection. A defect / foreign matter inspection method for a flat panel display device, characterized in that:
素子からなるラインセンサでスキャンし、このラインセ
ンサによって平面表示装置の各素子の光量を平面表示装
置の画面に対し垂直な方向において計測し、この光量デ
ータに基づいて平面表示装置の各素子の輝度の良否判定
を行い平面表示装置の欠陥を検査するとともに、前記良
否判定に用いる前記ラインセンサとは焦点位置の異なる
別のラインセンサを用いて、平面表示装置に含まれる異
物の検査を行うようにしたことを特徴とする平面表示装
置の欠陥・異物検査方法。2. The method according to claim 1, wherein a plurality of elements of the flat display device are scanned by a line sensor including a plurality of detection elements, and the light intensity of each element of the flat display device is measured by the line sensor in a direction perpendicular to a screen of the flat display device. Then, based on the light amount data, while determining whether the brightness of each element of the flat display device is good or not, and inspecting the flat display device for defects, another line sensor having a different focus position from the line sensor used for the good or bad judgment is used. A defect / foreign matter inspection method for a flat display device, wherein a defect included in the flat display device is inspected by using the method.
素子からなるラインセンサでスキャンし、このラインセ
ンサによって平面表示装置の各素子の光量を平面表示装
置の画面に対し垂直な方向において計測し、この光量デ
ータに基づいて平面表示装置の各素子の輝度の良否判定
を行い平面表示装置の欠陥を検査する欠陥検査部と、平
面表示装置に含まれる異物の検査を行う異物検査部とを
備えたことを特徴とする平面表示装置の欠陥・異物検査
装置。3. A plurality of elements of the flat display device are scanned by a line sensor including a plurality of detection elements, and the line sensors measure the light amounts of the respective elements of the flat display device in a direction perpendicular to the screen of the flat display device. A defect inspection unit that determines whether or not the luminance of each element of the flat display device is good or bad based on the light amount data and inspects a defect of the flat display device, and a foreign matter inspection unit that inspects foreign matter included in the flat display device. A defect / foreign matter inspection device for a flat panel display, comprising:
素子からなるラインセンサでスキャンし、このラインセ
ンサによって平面表示装置の各素子の光量を平面表示装
置の画面に対し垂直な方向において計測し、この光量デ
ータに基づいて平面表示装置の各素子の輝度の良否判定
を行い平面表示装置の欠陥を検査する欠陥検査部と、平
面表示装置に含まれる異物の検査を行う異物検査部とを
備え、更に、前記異物検査部は、前記良否判定に用いる
前記ラインセンサとは焦点位置の異なる別のラインセン
サを有し、この別のラインセンサは前記良否判定に用い
る前記ラインセンサとともにスキャンするよう構成され
ていることを特徴とする平面表示装置の欠陥・異物検査
装置。4. A plurality of elements of the flat display device are scanned by a line sensor including a plurality of detection elements, and the line sensors measure the light amounts of the respective elements of the flat display device in a direction perpendicular to the screen of the flat display device. A defect inspection unit that determines whether or not the luminance of each element of the flat display device is good or bad based on the light amount data and inspects a defect of the flat display device, and a foreign matter inspection unit that inspects foreign matter included in the flat display device. In addition, the foreign matter inspection unit has another line sensor having a different focus position from the line sensor used for the pass / fail determination, and the another line sensor scans together with the line sensor used for the pass / fail determination. A defect / foreign matter inspection device for a flat panel display device, comprising:
基板、上ガラス基板の内面に形成されたカラーフィル
タ、前記各ガラス基板の外面に貼られた偏光板、前記上
下ガラス基板間に挟持される少なくとも液晶よりなるセ
ルと、バックライトとよりなるモジュールで構成される
請求項３または請求項４に記載の平面表示装置の欠陥・
異物検査装置。5. The flat display device includes a pair of upper and lower glass substrates, a color filter formed on an inner surface of the upper glass substrate, a polarizing plate attached to an outer surface of each of the glass substrates, and sandwiched between the upper and lower glass substrates. 5. The flat display device according to claim 3, wherein the flat display device comprises a module comprising at least a liquid crystal cell and a backlight.
Foreign matter inspection device.
の焦点位置を前記カラーフィルタに合わせて欠陥検査を
行う一方、前記別のラインセンサの焦点位置を前記各ガ
ラス基板の外面に合わせて異物検査を行う請求項５に記
載の平面表示装置の欠陥・異物検査装置。6. A defect inspection is performed by adjusting a focus position of the line sensor used for the pass / fail judgment to the color filter, and a foreign matter inspection is performed by adjusting a focus position of the another line sensor to an outer surface of each of the glass substrates. 6. The defect / foreign matter inspection device for a flat panel display device according to claim 5, wherein the inspection is performed.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30191799A JP2001124660A (en) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | Inspection method and inspection device of defect and foreign matter for flat panel flat display device |
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|---|---|
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