KR20060108829A - Thin film material testing apparatus and method for the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 박막형 검사대상체의 검사장치 및 그 동작방법에 관한 것으로서, 본 발명은 박막형 검사대상체의 불량여부를 검출할 수 있도록 박막형 검사대상체의 휨 정도를 검출하도록 박막형 검사대상체에 특정패턴을 조사하는 조사부와, 상기 박막형 검사대상체에 조사된 특정패턴을 촬상하여 검출하는 화상검출부와, 상기 화상검출부에 의하여 검출된 특정패턴의 모양으로부터 박막형 검사대상체의 불량여부를 판단하는 판별부로 구성되어, 박막형 검사대상체의 휨 정도로부터 상기 박막형 검사대상체의 불량여부를 쉽게 판단하는 효과가 있으며, 그 결과 평판 디스플레이 제조의 초기단계에서 불량을 사전에 검출할 수 있다.The present invention relates to an apparatus and method for inspecting a thin film type inspection object, and more particularly, to an inspection apparatus for inspecting a thin film type inspection object to detect a defective state of the thin film type inspection object, And a judging unit for judging whether or not the thin film type inspection object is defective based on the shape of the specific pattern detected by the image detecting unit, It is possible to easily determine whether or not the thin film type upper body is defective based on the degree of warpage. As a result, it is possible to detect the defect in the early stage of the flat panel display manufacturing.
박막형 검사대상체, 화상검출부, 베어글라스, 라인 스캔 카메라 Thin film type inspection body, image detecting part, bare glass, line scan camera
Description
도 1은 종래의 일반적인 자동검사장치가 도시된 구성도,1 is a block diagram showing a conventional automatic inspection apparatus,
도 2는 본 발명에 의한 박막형 검사대상체 검사장치가 도시된 블록도,FIG. 2 is a block diagram showing a thin film type inspection body inspection apparatus according to the present invention.
도 3은 본 발명에 의한 박막형 검사대상체 검사장치의 실시예가 도시된 사시도,3 is a perspective view showing an embodiment of a thin film type inspection body inspection apparatus according to the present invention,
도 4와 도 5는 본 발명에 의한 박막형 검사대상체 검사장치의 측정예가 도시된 도,4 and 5 are diagrams illustrating measurement examples of the thin film type inspection body inspection apparatus according to the present invention,
도 6는 본 발명에 의한 박막형 검사대상체 검사장치의 동작방법이 도시된 순서도이다.6 is a flowchart showing an operation method of the thin film type inspection body inspection apparatus according to the present invention.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS
11 : 검사 대상체 12 : AREA CCD 카메라11: Inspection object 12: AREA CCD camera
13 : 판별부 21 : 조사부13: discrimination unit 21:
22 : 화상검출부 23 : 판별부22: image detecting section 23:
24 : 저장부 25 : 휨 인식부24: storage part 25: warp recognition part
31 : 베어글라스 32 : 조명31: Bear Glass 32: Lighting
33 : 특정패턴 34 : 라인 스캔 카메라33: specific pattern 34: line scan camera
본 발명은 광학계를 이용하여 박막형 검사대상체의 이상여부를 검사하는 검사장치 및 검사방법에 관한 것으로서, 특히 박막형 검사대상체의 휨 정도를 검사할 수 있는 박막형 검사대상체 검사장치 및 동작방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus and an inspection method for inspecting an abnormality of a thin film type inspection object using an optical system, and more particularly, to a thin film type inspection object inspection apparatus and an operation method capable of inspecting a deflection degree of a thin film type inspection object.
LCD(초박막 액정표시장치)는 CRT(음극선관)과 달리 자기 발광성이 없어 후광이 필요하지만 동작 전압이 다소 낮아 소비 전력이 적고 휴대용으로 쓰일 수 있어 손목시계, 컴퓨터 등에 널리 쓰이고 있는 평판 디스플레이의 일종이다.LCD (ultra thin film liquid crystal display) is a kind of flat panel display which is widely used for wrist watches and computers because it does not have self-luminescence and has a back light, but has a low operating voltage because of its low power consumption and can be used for portable purposes .
근래에 널리 쓰이고 있는 박막트랜지스터 액정디스플레이는 박막트랜치스터와 화소 전극이 배열되어 있는 하판과, 색상을 나타내기 위한 컬러 필터 및 공통 전극으로 구성된 상판과, 양쪽면에는 가시광선을 선편광하여 주는 편광판으로 구성되며, 이러한 방식의 액정디스플레이를 TFT-LCD라고 한다.A thin film transistor liquid crystal display, which is widely used in recent years, is composed of a lower plate on which thin film transistors and pixel electrodes are arranged, a top plate composed of a color filter and a common electrode for displaying color, and a polarizer plate for polarizing visible light on both sides And a liquid crystal display of this type is referred to as a TFT-LCD.
LCD, PDP 등의 평판 디스플레이 제조 산업의 비중이 점점 증대 되는 상황에서 이들 제품의 기초가 되는 베어글라스(Bare Glass)의 초기 검사가 중요하게 되었다. 이에 디스플레이 제조업체는 자동 검사 장치를 갖추어 불량을 사전에 검출하여 제품의 품질 수준을 유지하는데 노력하고 있다.As the proportion of flat panel display manufacturing industries such as LCD and PDP is increasing, the initial inspection of bare glass as the basis of these products becomes important. Therefore, the display manufacturer is trying to maintain the quality level of the product by detecting the defect in advance with the automatic inspection device.
이러한 목적으로 사용되는 자동 검사 장치는 일반적으로 도1과 같이 구성된다. 검사 대상물인 평판 디스플레이(1)는 렌즈 및 AREA CCD 카메라로 이루어진 광학계(2)에 의해 촬상된다. 촬상된 화상은 판별부(3)로 전송되어 데이터화되고, 상기 데이터에 화상처리 및 화상인식 과정을 가하여 결함을 검출한다.An automatic inspection apparatus used for this purpose is generally constructed as shown in FIG. The flat panel display 1 to be inspected is picked up by the optical system 2 composed of a lens and an AREA CCD camera. The picked-up image is transmitted to the discrimination section 3 and is dataized, and image processing and image recognition process are applied to the data to detect defects.
현재 사용중인 박막형 검사대상체의 검사장치의 일종인 베어글라스검사기는 상기 서술한 방식으로 기포(bubble), 포유물(inclusion), 핀홀(pinhole), 스크라치(scratch), 크랙(crack) 등을 검사한다.The bare glass inspection apparatus, which is a kind of inspection apparatus for a thin film type inspection object currently in use, inspects bubbles, inclusions, pinholes, scratches, cracks and the like in the above-described manner.
그러나, 상기 베어글라스 검사기는 베어글라스와 같은 박막형 검사대상체의 전체적인 휨, 응력정도에 대해서는 검사할 수 없는 문제가 있다.However, the bare glass tester has a problem in that it can not be inspected as to the degree of bending and stress of the thin film type inspection object such as a bare glass.
전체적인 글라스의 휨 정도를 알 수 있는 검사가 필요한데도 불구하고 현재 베어글라스와 같은 투명한 박막형 검사대상체의 휨 정도를 검사하는 장치는 없는 문제가 있다.There is a problem in that there is no apparatus for checking the degree of warping of a transparent thin film type inspection body such as a bare glass at present, although it is necessary to inspect the degree of bending of the entire glass.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 박막형 검사대상체의 전체적인 휨 정도를 검사하여 디스플레이 제조 초기 단계에서 베어글라스와 같은 박막형 검사대상체의 불량여부를 발견하는 박막형 검사장치 및 작동방법을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art described above, and it is an object of the present invention to provide a thin film inspection apparatus and a thin film inspection apparatus for inspecting a defective state of a thin film type inspection body, such as a bare glass, The purpose of the method is to provide.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 박막형 검사대상체 검사장치는, 박막형 검사대상체의 휨 정도를 검출하도록 박막형 검사대상체에 특정패턴을 조사하는 조사부와, 상기 박막형 검사대상체에 조사된 특정패턴을 촬상하여 검출하는 화상검출부와, 상기 화상검출부에 의하여 검출된 패턴의 모양으로부터 박막형 검사대상체의 불량여부를 판단하는 판별부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned problems, the thin film type inspection body inspection apparatus according to the present invention includes an irradiation unit for irradiating a thin film type inspection object with a specific pattern to detect the degree of warpage of the thin film type inspection object, And a judgment unit for judging whether or not the thin film type inspection object is defective based on the shape of the pattern detected by the image detection unit.
또한, 상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 박막형 검사대상체 검사방법은 박막형 검사대상체에 특정패턴을 조사하는 제 1단계와, 상기 박막형 검사대상체에 조사된 상기 특정패턴의 모양을 촬상하여 화상을 검출하는 제 2단계와, 촬상하여 검출된 영상으로부터 박막형 검사대상체의 불량여부를 판단하는 제 3단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method for inspecting a thin film type of upper body, comprising the steps of: irradiating a thin film type inspection object with a specific pattern; imaging the shape of the specific pattern irradiated onto the thin film type inspection object; And a third step of judging whether or not the thin film type inspection object is defective based on the image detected and picked up.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 도 2는 본 발명에 의한 박막형 검사대상체 검사장치가 도시된 블록도이고, 도 3은 본 발명에 의한 박막형 검사대상체 검사장치의 일부가 도시된 사시도이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 2 is a block diagram showing a thin film type inspection body inspection apparatus according to the present invention, and FIG. 3 is a perspective view showing a part of the thin film inspection type inspection body inspection apparatus according to the present invention.
본 발명에 따른 박막형 검사대상체 검사장치는 도2에 도시된 바와 같이, 박막형 검사대상체에 특정패턴을 비추는 조사부(21)와, 상기 박막형 검사대상체의 일측 상단에 설치되어 상기 박막형 검사대상체에 조사된 상기 특정패턴을 촬상하여 화상을 검출하는 화상검출부(22)와, 상기 화상검출부(22)로부터 검출된 상기 특정 패턴의 모양의 왜곡여부를 기준으로 상기 박막형 검사대상체의 휨 정도를 판단하는 판별부(23)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 2, the thin film type inspection body inspection apparatus according to the present invention includes an inspection unit 21 for illuminating a specific pattern on a thin film type inspection object, a light irradiation unit 21 installed on an upper side of the thin film type inspection object, (23) for judging a degree of warpage of the thin film type inspection object based on whether or not the shape of the specific pattern detected by the image detection section (22) is distorted, an image detection section ).
상기 박막형 검사대상체는 초박막 트랜지스터, 초박막형 플라스틱 전기발광 디스플레이, 베어글라스 등이 있다.The thin film inspection table body includes an ultra thin film transistor, a super thin film type plastic electroluminescence display, and a bare glass.
특히, 상기 베어글라스는 바인더나 유기물이 부착되기 이전상태에 부싱(유리 섬유를 생산하기 위해 용융 글라스를 흘러내려 주게 하는 작은 구멍을 가진 판)으로부터 흘러내린 유리섬유를 말하는 것으로 주로 LCD패널의 유리기판으로 사용된다.In particular, the above-mentioned bare glass refers to glass fibers flowing from a bushing (a plate having a small hole for allowing a molten glass to flow to produce glass fiber) to be in a state before a binder or an organic matter is attached, .
상기 조사부(21)는 상기 박막형 검사대상체에 특정패턴을 조사하는 조명과, 상기 조명의 전면에 형성되는 특정패턴을 포함하여 구성되고, 상기 조사부(21)는 상기 박막형 검사대상체의 상단에 위치되어 상기 조명의 전면에 형성되거나 장착되는 상기 특정패턴을 상기 박막형 검사대상체로 조사한다.The inspection unit 21 is configured to include a light for illuminating a specific pattern on the thin film type inspection object and a specific pattern to be formed on the entire surface of the light. The inspection unit 21 is disposed at the upper end of the thin film type inspection object, And irradiates the specific pattern formed or mounted on the front surface of the illumination with the thin film type inspection object.
이때, 상기 특정패턴은 복수개의 수직선이 일정한 간격으로 균일하게 반복 배열된 모양을 말한다. 또한, 경우에 따라 복수개의 격자가 일정한 간격으로 균일하게 반복 배열될 수도 있다.At this time, the specific pattern refers to a shape in which a plurality of vertical lines are uniformly repeatedly arranged at regular intervals. Further, a plurality of gratings may be uniformly and repeatedly arranged at regular intervals in some cases.
상기 특정패턴은 조명 전면의 유리 표면에 형성될 수 있는 바, 상기 조사부(21)는 패턴이 전면에 형성된 조명으로 이루어진다.The specific pattern may be formed on the glass surface of the front surface of the illumination, and the irradiation unit 21 is formed of illumination having a pattern formed on the front surface.
이와는 달리 상기 조사부(21)는 조명과, 상기 조명의 전면에 탈부착 가능한 특정패턴틀로도 구성될 수 있다. 이 경우, 검사장치의 사용자는 검사하고자하는 검사대상체의 특성에 따라 상기 특정패턴틀을 변경할 수 있다.Alternatively, the irradiating unit 21 may include a light source and a specific pattern frame removably attachable to the front surface of the light source. In this case, the user of the inspection apparatus can change the specific pattern frame according to the characteristics of the inspection object to be inspected.
한편, 상기 특정패턴은 보다 정밀한 검사를 위해 수직선의 간격을 조정할 수도 있으며, 수직선이 아닌 다른 격자로 형성되는 경우에도 격자 간격을 조정할 수 있도록 형성된다.On the other hand, the specific pattern may be adjusted so as to adjust the interval of the vertical lines for more precise inspection or to adjust the lattice spacing even if it is formed as a grid other than a vertical line.
상기 화상검출부(22)는 상기 박막형 검사대상체의 일측 상단에 위치되어 일정 각도로 기울인 채로 상기 박막형 검사대상체에 조사되는 상기 특정패턴의 모양을 촬상하여 화상을 검출하는 장치로서 QVPAK화상측정기, CCD카메라, 라인 스캔 카메라 등이 사용될 수 있다.The image detecting unit 22 is a device for detecting an image by capturing the shape of the specific pattern irradiated on the thin film type inspection object while being positioned at the upper end of one side of the thin film type inspection object and inclined at a predetermined angle, A line scan camera or the like may be used.
특히, 상기 라인 스캔 카메라는 일차원 선형 구조의 센서를 이용하여 라인 단위로 스캔함으로써 이차원 이미지를 얻을 수 있으며, 고속으로 움직이는 대상체나 고해상도의 촬영 등에 효과적이다.Particularly, the line scan camera can obtain a two-dimensional image by scanning line-by-line by using a sensor having a one-dimensional linear structure, and is effective for a moving object at a high speed and a high resolution photographing.
상기 판별부(23)는 상기 화상검출부(22)에서 얻은 데이터를 저장하는 저장부(24)와 상기 저장된 데이터를 기초로 휨 정도를 판단하는 휨 인식부(25)를 포함하여 구성된다.The
상기 휨 인식부(25)는 상기 박막형 검사대상체에 조사된 특정패턴의 모양이 그대로 유지되고 있는 지를 기준으로 휨 여부를 판단한다.The warp recognizing part 25 determines whether or not the warp is based on whether the shape of a specific pattern irradiated on the thin film type inspection object is maintained.
예를 들면, 상기 특정패턴이 복수개의 수직선이 일정한 간격으로 균일하게 반복 배열된 모양일 때, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 화상검출부(22)로부터 전송된 데이터가 모두 평행한 복수개의 수직선인 경우, 상기 휨 인식부(25)는 상기 박막형 검사대상체를 정상으로 판단한다.For example, when the specific pattern is a pattern in which a plurality of vertical lines are uniformly repeatedly arranged at regular intervals, as shown in FIG. 4, when the data transmitted from the image detecting unit 22 are all a plurality of parallel vertical lines , The warp recognizing part 25 judges that the thin film type inspection object is normal.
이와는 달리, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 화상검출부(22)로부터 전송된 데이터중 어느 하나이상의 수직선이 꺽이거나 일그러진 경우에는 상기 박막형 검사대상체을 불량으로 판단한다.If the vertical line of the data transmitted from the image detector 22 is bent or distorted as shown in FIG. 5, the thin film inspection table upper body is judged to be defective.
또한, 상기 휨 인식부(25)는 더욱 정밀한 검사를 위한 경우 상기 수직선의 꺽인 각도를 측정하여 상기 박막형 검사대상체의 불량 여부를 판단할 수 있다.The deflection recognition unit 25 can determine whether the thin film type inspection object is defective by measuring the angle of the vertical line for more precise inspection.
도 3은 라인 스캔 카메라를 이용하여 베어글라스의 휨 여부를 판단하는 시스템이 도시된 도면이다.3 is a view illustrating a system for determining whether a bare glass is bent using a line scan camera.
이때, 상기 박막형 검사대상체를 베어글라스(31)로 하고, 상기 베어글라스(31)를 상기 조사부(21)의 하부에 위치하도록 한다.At this time, the thin film inspection table body is used as the
상기 특정패턴(33)은 상기 조사부(21)의 조명(32) 전면에 형성되거나 장착되며, 복수개의 수직선이 일정한 간격으로 균일하게 반복 배열된 모양으로 형성된다.The
상기 화상검출부(22)로서 라인 스캔 카메라(34)가 설치되고, 상기 라인 스캔 카메라(34)는 상기 베어글라스(31)의 일측 상단에 위치되어 일정 각도로 기울인 채로 상기 베어글라스(31)의 표면을 촬상하여 화상을 검출한다.A
상기 라인 스캔 카메라(34)는 상기 조명(32)이 상기 특정패턴(33)을 향해 비추었을 때 라인 단위로 상기 베어글라스(31)의 영상을 상기 저장부(24)로 전송한다. 이때, 상기 저장부(24)에 전송된 영상은 라인 스캔 카메라의 특성상 직선형태를 가진다.The
상기 휨 인식부(25)는 상기 저장부(24)에 저장된 복수개의 직선형태의 영상 중에서 어느 하나 이상의 직선이 기준치 이상으로 꺽이거나, 끊어져 있거나, 일그러지는 등의 왜곡이 나타나는 경우엔 상기 베어글라스(31)를 불량으로 판단하고, 상기 저장부(24)에 저장된 복수개의 직선형태의 영상이 모두 일정한 간격으로 균일하게 반복 배열된 경우에는 정상으로 판단한다.If any one or more straight lines out of a plurality of linear images stored in the storage unit 24 are warped, broken, or distorted beyond a reference value, the warp recognizing unit 25 recognizes that the
또한, 직선이 꺽인 경우라 할지라도 그 꺽인 각도를 측정하고 이를 기준치와 비교하여 꺽인 각도가 작은 경우 정상으로 판단한다.In addition, even if the straight line is broken, the angle is measured and compared with the reference value, it is judged as normal when the angle of break is small.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 박막형 검사대상체 검사장치의 동작방법을 설명하면 다음과 같다.An operation method of the thin film type inspection body inspection apparatus according to the present invention constructed as above will be described as follows.
도 4는 본 발명에 의한 박막형 검사대상체 검사장치의 동작방법이 도시된 순서도이다.4 is a flowchart illustrating an operation method of the thin film type inspection body inspection apparatus according to the present invention.
박막형 검사대상체(이하, 베어글라스)를 박막형 검사대상체 검사장치(이하, 라인 스캔 카메라)의 하부에 위치시킨다. 이때, 상기 검사대상체는 베어글라스이다.The thin film type inspection body (hereinafter referred to as a bare glass) is positioned below the thin film type inspection body upper body inspection device (hereinafter, line scan camera). At this time, the inspection object is a bare glass.
검사대상체인 베어글라스 상부에 특정패턴을 조사한다(S1).A specific pattern is irradiated on the upper part of the bare glass to be inspected (S1).
만일, 상기 특정패턴이 상기 조명과 탈부착이 가능한 분리형이면 조명의 전면에 특정패턴틀을 부착한 다음, 상기 특정패턴을 조사한다.If the specific pattern is a detachable type capable of attaching and detaching from the illumination, a specific pattern frame is attached to the entire surface of the illumination, and then the specific pattern is inspected.
베어글라스 상부에 조사된 특정패턴의 모양을 촬상하여 화상을 검출한다(S2). 이때, 화상 검출 수단으로서 라인 스캔 카메라를 사용한다.A shape of a specific pattern irradiated on the upper part of the bare glass is picked up to detect an image (S2). At this time, a line scan camera is used as the image detecting means.
상기 라인 스캔 카메라는 상기 검사대상체 스캔시에 대상을 라인 단위로 촬영하는 특징이 있으며, 이로써 보통의 카메라보다 외곽부의 왜곡이 적어 보다 정밀한 영상을 얻을 수 있다.The line scan camera has a feature of photographing an object on a line by line basis at the time of scanning the upper body of the inspection object. Thus, it is possible to obtain a more accurate image because distortion of the outer frame is less than that of an ordinary camera.
상기 라인 스캔 카메라에 특정패턴의 상이 맺히는 지를 확인한다(S3). It is confirmed whether a specific pattern image is formed on the line scan camera (S3).
상기 베어글라스는 극히 얇고 투명하여 상기 라인 스캔 카메라가 베어글라스를 비추는지 또는, 허공을 비추는 지를 확인하기가 어렵기 때문에 특정패턴의 상이 맺히지 않을 수도 있다.Since the bare glass is extremely thin and transparent, it is difficult to confirm whether the line scan camera illuminates the bare glass or illuminate the air, so that a certain pattern image may not be formed.
상기 특정패턴의 상이 존재하지 않는다면 검사대상체 상부에 특정패턴을 조사하는 과정을 특정패턴의 상이 맺힐 때까지 반복한다.If the image of the specific pattern does not exist, the process of irradiating a specific pattern on the upper part of the inspection table is repeated until a specific pattern image is formed.
검출된 상기 특정패턴의 상에 왜곡이 있는 지를 판단한다(S4).It is determined whether there is distortion on the detected specific pattern (S4).
상기 라인 스캔 카메라를 사용하여 특정패턴의 상을 촬상한 경우, 발생 가능한 왜곡의 형태로서 평행한 직선의 일부가 꺽이거나 일그러진 형태로 될 수 있고, 직선의 일부가 끊어진 형태로 될 수도 있다.When an image of a specific pattern is imaged using the line scan camera, a part of a parallel straight line may be distorted or distorted as a form of possible distortion, or a part of a straight line may be broken.
상기 발생 가능한 왜곡의 형태에 따라 어느 하나의 직선이라도 왜곡이 있으면 상기 검사대상체는 전체적으로 휘어 있는 것으로 보아 불량으로 판단하고(S5), 모든 직선에 왜곡이 없다면 상기 검사대상체를 정상으로 판단한다(S6).If any straight line is distorted according to the type of distortion that can be generated, it is determined that the inspection object is defective as a whole (S5). If there is no distortion in all the straight lines, the inspection object is judged as normal (S6) .
한편, 상기 불량여부로서 검사대상체의 촬상된 패턴으로부터 휨 정도를 판단하고 휨 정도를 기준치와 비교하여 휨 정도가 기준치 이상인 경우 불량으로 판단할 수 있다.On the other hand, it is possible to judge the degree of bending from the pattern of the inspection object as the defectiveness, judge the degree of bending by comparing the degree of bending with the reference value, and judge as defective when the degree of bending exceeds the reference value.
이상과 같이 본 발명에 의한 박막형 검사대상체의 검사장치 및 검사방법을 예시된 도면을 참조로 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명은 한정되지 않고, 기술사상이 보호되는 범위 이내에서 응용될 수 있다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, . ≪ / RTI >
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 박막형 검사대상체 검사장치 및 검사방법은 박막형 검사대상체의 휨 정도로부터 상기 박막형 검사대상체의 불량여부를 쉽게 판단하는 효과가 있으며, 그 결과 평판 디스플레이 제조의 초기단계에서 불량을 사전에 검출할 수 있다.The thin film type inspection apparatus and inspection method according to the present invention configured as described above have an effect of easily judging whether the thin film type inspection object is defective or not from the degree of warping of the thin film type inspection object, Can be detected in advance.
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