JP2001124659A - Quality inspecting method and quality inspection device for flat display device - Google Patents
Quality inspecting method and quality inspection device for flat display deviceInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示装置な
どの平面表示装置の品位検査方法およびその品位検査装
置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for inspecting the quality of a flat display device such as a liquid crystal display device and an apparatus for inspecting the quality.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、ブラウン管に代わる小型かつ軽量
の表示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）などの平面
表示装置（ＦＰＤ）が注目されるに至っている。そし
て、このＦＰＤの表示部の輝度分布や画素欠陥の検査な
どＦＰＤの性能を含めた品位を検査する装置として、Ｃ
ＣＤアレイセンサなどよりなるラインセンサを用いた平
面表示装置の品位検査装置（以下、単に検査装置とい
う）が開発され、この種の検査装置に関する出願も多数
行われるに至っている。2. Description of the Related Art In recent years, a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display (LCD) has been attracting attention as a small and lightweight display instead of a cathode ray tube. As an apparatus for inspecting the quality including the performance of the FPD, such as the inspection of the luminance distribution and the pixel defect of the display section of the FPD, C
A quality inspection device (hereinafter simply referred to as an inspection device) for a flat display device using a line sensor such as a CD array sensor has been developed, and many applications for this type of inspection device have been filed.
【０００３】ところで、上記検査装置においては、検査
対象であるＬＣＤなどのＦＰＤ（以下、ＬＣＤで代表さ
せる）の複数の素子（画素）を複数の検出素子（画素）
からなるラインセンサでスキャンして、ＬＣＤの各素子
の光量を計測し、この光量データに基づいてＬＣＤの各
素子の輝度の良否判定を行うようにしている。すなわ
ち、ＬＣＤの各画素の輝度を測定し、ＬＣＤの欠陥（点
欠陥、線欠陥、ムラなど）を検出している。In the above inspection apparatus, a plurality of elements (pixels) of an FPD (hereinafter, represented by an LCD) such as an LCD to be inspected are replaced with a plurality of detection elements (pixels).
, The light amount of each element of the LCD is measured, and the luminance of each element of the LCD is determined based on the light amount data. That is, the luminance of each pixel of the LCD is measured, and defects (point defects, line defects, unevenness, etc.) of the LCD are detected.
【０００４】図５はＬＣＤのセル６０の一例を示す。図
５において、ＬＣＤの平面視形状は、通常、矩形であ
り、ＬＣＤは、一対の上下ガラス基板６１，６２、上ガ
ラス基板６１の内面６１ａに形成されたカラーフィルタ
６７、各ガラス基板６１，６２の外面６１ｂ，６２ｂに
貼られた偏光板（フィルム）６４，６５、上下ガラス基
板６１，６２間に挟持される液晶６６、カラーフィルタ
アレー基板６８よりなるセル６０と、下偏光板６５の直
下に配置されたバックライト（図示せず）とよりなるモ
ジュールで構成されている。なお、２ａは、セル６０の
最上面、すなわち、ＬＣＤの画面である。FIG. 5 shows an example of a cell 60 of the LCD. In FIG. 5, the LCD has a generally rectangular shape in plan view, and the LCD includes a pair of upper and lower glass substrates 61 and 62, a color filter 67 formed on an inner surface 61a of the upper glass substrate 61, and respective glass substrates 61 and 62. Polarizers (films) 64, 65 attached to outer surfaces 61b, 62b of the above, a liquid crystal 66 sandwiched between upper and lower glass substrates 61, 62, a cell 60 composed of a color filter array substrate 68, It is composed of a module consisting of an arranged backlight (not shown). 2a is the uppermost surface of the cell 60, that is, the screen of the LCD.
【０００５】そして、この種の検査装置においては、カ
ラーフィルタ６７にラインセンサ２４の焦点位置Ｆ0 を
合わせ、バックライトを作動させた状態でＬＣＤの光量
を、ラインセンサ２４によって受光させている。すなわ
ち、ラインセンサ２４によってＬＣＤ２の各素子の光量
Ａを、ＬＣＤの画面２ａに対し垂直な方向（矢印Ｂで示
す方向）において計測し、この光量データに基づいてＬ
ＣＤの各素子の輝度の良否判定を行う。In this type of inspection apparatus, the focal point F 0 of the line sensor 24 is adjusted to the color filter 67, and the amount of light from the LCD is received by the line sensor 24 while the backlight is activated. That is, the light amount A of each element of the LCD 2 is measured by the line sensor 24 in a direction perpendicular to the screen 2a of the LCD (the direction indicated by the arrow B), and based on the light amount data, L is measured.
The quality of each element of the CD is determined.
【０００６】本出願人らは、例えば、特願平９−３２９
６２０号において、ＬＣＤの画面２ａとラインセンサと
の距離がＬＣＤの全面にわたって常に一定になるように
ＬＣＤを保持することができる品位検査装置を提案して
いる。The present applicants have disclosed, for example, Japanese Patent Application No. 9-329.
No. 620 proposes a quality inspection device capable of holding the LCD so that the distance between the LCD screen 2a and the line sensor is always constant over the entire surface of the LCD.
【０００７】図４はその全体構成を示すもので、モータ
２１によって両矢印Ｙで示す方向にスライド移動するス
キャンスライダ１３の保持部材１８にラインセンサ２４
が設けられている。このラインセンサ２４は、例えばＣ
ＣＤアレイセンサよりなるセンサ本体２５とその前面
（下方）に設けられるセルフォックレンズ（商品名）な
どの屈折率分布レンズをアレイ化した集光レンズアレイ
２６とからなり、ＬＣＤ２の全幅ａ（図４において両矢
印Ｘで示す方向の長さ）よりやや長い。このＬＣＤ２
は、回転機構１０の上部に回動可能に保持されているス
テージ本体１２の上に載置されており、ラインセンサ２
４は、ＬＣＤ２をその全幅ａをその全長ｂにわたってス
キャンするとともに、ＬＣＤ２の画面２ａに対し垂直な
方向（両矢印Ｚで示す方向）において上下移動できるよ
うに構成されている。２７はステージ本体１２上に載置
されたＬＣＤ２の画面２ａとラインセンサ２４との距離
を測定する装置で、例えば超音波を利用した距離測定セ
ンサである。この距離測定センサ２７は、スキャンスラ
イダ１３の保持部材１８に設けられたブラケット２８に
取り付けられている。FIG. 4 shows the whole structure. A line sensor 24 is attached to a holding member 18 of a scan slider 13 which is slid in a direction indicated by a double arrow Y by a motor 21.
Is provided. This line sensor 24 is, for example, C
A sensor body 25 composed of a CD array sensor and a condensing lens array 26 provided with an array of refractive index distribution lenses such as a SELFOC lens (trade name) provided on the front surface (lower side) thereof have a full width a of the LCD 2 (FIG. 4). In the direction indicated by the double arrow X). This LCD2
Is mounted on a stage main body 12 rotatably held on the upper part of the rotation mechanism 10, and the line sensor 2
Numeral 4 is configured to scan the LCD 2 over its entire width a over its entire length b and to be able to move up and down in a direction perpendicular to the screen 2a of the LCD 2 (direction indicated by a double arrow Z). Reference numeral 27 denotes a device for measuring the distance between the screen 2a of the LCD 2 placed on the stage body 12 and the line sensor 24, and is, for example, a distance measuring sensor using ultrasonic waves. The distance measuring sensor 27 is attached to a bracket 28 provided on the holding member 18 of the scan slider 13.
【０００８】ところで、ＬＣＤ２などの平面表示装置の
検査装置として、前述したような前記ラインセンサ２４
による自動検査のための装置以外に、平面表示装置を点
灯させた状態で検査員が目視により欠陥を検出するため
の目視検査装置が開発されている。この目視検査装置
は、自動検査では判別できない微妙な欠陥を判別できる
点で重要視されている。図５において、例えば、前記Ｂ
方向からでは検出できない欠陥が前記Ｂ方向以外の例え
ばＣ方向から目視では検出できる場合がある。As an inspection device for a flat display device such as the LCD 2, the line sensor 24 as described above is used.
In addition to a device for automatic inspection according to (1), a visual inspection device for an inspector to visually detect a defect while a flat display device is turned on has been developed. This visual inspection apparatus is regarded as important in that it can identify subtle defects that cannot be identified by automatic inspection. In FIG. 5, for example, the B
In some cases, a defect that cannot be detected from the direction can be visually detected from, for example, the C direction other than the B direction.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかし、人手に頼る目
視検査装置は大きな見直しが必要になってきている。す
なわち、例えば１００枚のＬＣＤ２があると、目視点灯
検査では元々１枚の検査に要する時間が長い上、１枚１
枚の繰り返し作業が必要であり、作業効率が悪かった。However, a visual inspection device that relies on manual labor requires a major overhaul. That is, for example, if there are 100 LCDs 2, the visual lighting test originally requires a long time for one test, and one
It required repeated work, and the work efficiency was poor.
【００１０】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、ラインセンサによる自動検査と
検査員の視覚による目視検査を併用できる平面表示装置
の品位検査方法およびその品位検査装置を提供すること
である。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above-described circumstances, and has as its object to provide a method of inspecting the quality of a flat panel display device which can use both an automatic inspection by a line sensor and a visual inspection by an inspector visually. It is to provide a device.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、平面表示装置の複数の素子を複数の検
出素子からなるラインセンサでスキャンし、このライン
センサによって平面表示装置の各素子の光量を平面表示
装置の画面に対し垂直な方向において計測し、この光量
データに基づいて平面表示装置の各素子の輝度の良否判
定を行い平面表示装置の欠陥を自動検査するにあたり、
平面表示装置を筐体に対して斜めに取り付けた状態で前
記ラインセンサによる前記欠陥を判別する自動検査を行
い、その後、視覚による平面表示装置の欠陥を判別する
目視検査を行うようにしている。In order to achieve the above object, the present invention scans a plurality of elements of a flat panel display with a line sensor comprising a plurality of detecting elements, and uses the line sensors to scan each element of the flat panel display. Measuring the light amount in a direction perpendicular to the screen of the flat display device, and determining whether the luminance of each element of the flat display device is good or not based on the light amount data, and automatically inspecting the flat display device for defects.
An automatic inspection for judging the defect by the line sensor is performed in a state where the flat display device is obliquely attached to the housing, and then a visual inspection for visually judging the defect of the flat display device is performed.
【００１２】また、この発明は別の観点から、平面表示
装置の複数の素子を複数の検出素子からなるラインセン
サでスキャンし、このラインセンサによって平面表示装
置の各素子の光量を平面表示装置の画面に対し垂直な方
向において計測し、この光量データに基づいて平面表示
装置の各素子の輝度の良否判定を行い平面表示装置の欠
陥を自動検査する平面表示装置の品位検査装置におい
て、検査時に平面表示装置を斜めに設置するための筐体
を設け、前記ラインセンサによる自動検査と目視による
検査とを行うように構成している。According to another aspect of the present invention, a plurality of elements of a flat display device are scanned by a line sensor including a plurality of detection elements, and the light intensity of each element of the flat display device is measured by the line sensor. Measurement is performed in a direction perpendicular to the screen, and based on this light amount data, the quality of each element of the flat display device is determined to be good or bad, and a defect of the flat display device is automatically inspected. A housing for disposing the display device at an angle is provided, and the automatic inspection by the line sensor and the visual inspection are performed.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を図面を参照し
ながら説明する。図１〜図３は、ラインセンサ２４によ
る自動検査と検査員の視覚による目視検査を併用してな
り、前記自動検査では判断できない微妙な欠陥を判別で
きるＬＣＤ２などの平面表示装置の品位検査装置１を示
す。なお、図１〜図３において、図４、図５に示す符号
と同一のものは、同一または相当物である。Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIGS. 1 to 3 show an automatic inspection by a line sensor 24 and a visual inspection by an inspector in combination, and a quality inspection apparatus 1 of a flat display device such as an LCD 2 capable of distinguishing a delicate defect that cannot be determined by the automatic inspection. Is shown. In FIGS. 1 to 3, the same components as those shown in FIGS. 4 and 5 are the same or equivalent.
【００１４】この装置１は、検査時にＬＣＤ２を斜めに
設置するための筐体３とラインセンサ２４で主として構
成される。The apparatus 1 mainly includes a housing 3 for placing the LCD 2 obliquely at the time of inspection and a line sensor 24.
【００１５】更に、前記筐体３は、前面にＬＣＤ２を斜
めに設置する設置面４を有するとともに、この設置面４
の中央にＬＣＤ２設置用の開口５を有する。前記設置面
４は、筐体３の平坦載置面Ｌに対してθで示す角度（鋭
角）だけ上方に傾いている。これは、検査員が筐体３の
前記前面に位置したときに目視し易くするためである。Further, the housing 3 has an installation surface 4 on the front surface of which the LCD 2 is installed obliquely.
Has an opening 5 for setting the LCD 2 at the center thereof. The installation surface 4 is inclined upward by an angle (a sharp angle) indicated by θ with respect to the flat mounting surface L of the housing 3. This is to make it easier for the inspector to see when the inspector is located on the front surface of the housing 3.
【００１６】前記ラインセンサ２４は、斜めに設置され
たＬＣＤ２の長さｂ方向（Ｙ1 方向）に沿ってスキャン
でき、かつ、ラインセンサ２４によってＬＣＤ２におけ
る全ての光量がＬＣＤ２の画面２ａに対しＢ’方向（図
３参照）において計測されるよう設置されている。ま
た、前記ラインセンサ２４は、ＬＣＤ２の画面２ａに対
し垂直な方向（両矢印Ｚ’で示す方向）において上下移
動できるように構成されている。なお、図１には、スキ
ャン前のラインセンサ２４が示されている。このライン
センサ２４は、例えばＣＣＤアレイセンサよりなるセン
サ本体２５とその前面（下方）に設けられるセルフォッ
クレンズ（商品名）などの屈折率分布レンズをアレイ化
した集光レンズアレイ２６とからなる。この集光レンズ
アレイ２６はｆ0 の焦点距離を有するよう構成されてい
る。[0016] The line sensor 24 can scan along the length direction b of LCD2 placed obliquely (Y 1 direction), and by the line sensor 24 all amount in LCD2 is B to screen 2a of LCD2 It is installed to measure in the 'direction (see FIG. 3). The line sensor 24 is configured to be able to move up and down in a direction perpendicular to the screen 2a of the LCD 2 (a direction indicated by a double arrow Z '). FIG. 1 shows the line sensor 24 before scanning. The line sensor 24 includes a sensor main body 25 composed of, for example, a CCD array sensor, and a condensing lens array 26 provided on the front (lower) side thereof and having an array of refractive index distribution lenses such as a SELFOC lens (trade name). The condenser lens array 26 is configured to have a focal length of f 0.
【００１７】欠陥検査の手順について説明する。図１〜
図３において、ＬＣＤ２を筐体３の設置面４に形成され
ている開口５に設置した後、ＬＣＤ２の画面２ａとライ
ンセンサ２４とが画面２ａの全面において等距離となる
ようにする、つまり、超音波を利用した距離測定センサ
（図示せず）を用いてＬＣＤ２のどの点においてもＬＣ
Ｄ２の画面２ａとラインセンサ２４とが平行になるよう
に調整することにより、信号レベルにバラツキのない光
量検出データが得られる。The procedure of the defect inspection will be described. Figure 1
In FIG. 3, after the LCD 2 is installed in the opening 5 formed on the installation surface 4 of the housing 3, the screen 2a of the LCD 2 and the line sensor 24 are set to be equidistant over the entire surface of the screen 2a. LC at any point of LCD 2 using distance measuring sensor (not shown) using ultrasonic wave
By adjusting the screen 2a of D2 so as to be parallel to the line sensor 24, light amount detection data having no variation in signal level can be obtained.
【００１８】上述のように調整した後、ＬＣＤ２を点灯
させた状態でラインセンサ２４による自動検査を行い欠
陥の有無を判別する。すなわち、図１に示す位置にある
ラインセンサ２４をＹ1 方向に沿ってスキャンさせ、ラ
インセンサ２４によってＬＣＤ２における全ての光量を
受光する。この場合、各素子の光量Ａ’はＬＣＤ２の画
面２ａに対しＢ’方向において計測される。そして、前
記ラインセンサ２４からの信号は、センサ信号前処理ボ
ード（図示せず）を経て例えばコンピュータ（図示せ
ず）に入力され、ＬＣＤ２の各素子の輝度の良否判定が
行われる。After the adjustment as described above, an automatic inspection is performed by the line sensor 24 while the LCD 2 is turned on to determine the presence or absence of a defect. That is, the line sensor 24 in the position shown in FIG. 1 is scanned along the Y 1 direction, by the line sensor 24 for receiving all of the light intensity in the LCD 2. In this case, the light amount A ′ of each element is measured in the B ′ direction with respect to the screen 2 a of the LCD 2. Then, a signal from the line sensor 24 is input to, for example, a computer (not shown) via a sensor signal preprocessing board (not shown), and the quality of each element of the LCD 2 is determined.
【００１９】次に、ラインセンサ２４を例えば図１に示
す状態に戻した後、目視検査員による目視点灯検査を行
う。Next, after returning the line sensor 24 to, for example, the state shown in FIG. 1, a visual lighting inspection is performed by a visual inspector.
【００２０】ところで、欠陥検査対象のＬＣＤ２を例え
ば１００枚とし、この１００枚が順次前記自動検査にか
けられた結果、４０枚が欠陥有りと判別されたとする。
そのため、この自動検査以降に行う前記目視点灯検査で
は、前記自動検査において欠陥無しと判別された残りの
６０枚に絞られることになる。よって、従来目視検査装
置で行う目視作業が軽減されることになる。また、前記
自動検査と目視点灯検査の両データが残ることから、こ
れらデータの比較もできる。更に、前記データを比較検
討する作業により、今後の欠陥解析に役立てることがで
きる上に、将来的に実施したい完全自動化の目処をつけ
ることができることにもなる。It is assumed that the number of LCDs 2 to be inspected is, for example, 100, and the 100 are sequentially subjected to the automatic inspection. As a result, 40 LCDs are determined to be defective.
Therefore, in the visual lighting inspection performed after this automatic inspection, the remaining 60 sheets determined to be free from defects in the automatic inspection are narrowed down. Therefore, the visual work performed by the conventional visual inspection device is reduced. Also, since both the data of the automatic inspection and the data of the visual lighting inspection remain, these data can be compared. Further, the work of comparing and examining the data can be used not only for future defect analysis, but also for the prospect of full automation to be implemented in the future.
【００２１】なお、前記目視点灯検査では、図３におい
て、ラインセンサ２４により前記Ｂ’方向からでは検出
できない微妙な欠陥が前記Ｂ’方向以外の例えばＣ’方
向から目視では検出できる場合がある。In the visual lighting inspection, in FIG. 3, there may be a case where a subtle defect which cannot be detected in the direction B 'by the line sensor 24 can be visually detected in the direction C' other than the direction B '.
【００２２】また、図２（ａ）に示すように、ラインセ
ンサ２４ではなく仮にＣＣＤカメラ３３を用いて自動検
査を行ったとしても、ＬＣＤ２の画面２ａの直上にＣＣ
Ｄカメラ３３をセットしなければならないから、ＬＣＤ
２の設置面４の傾きに応じてＣＣＤカメラ３３の光軸３
３ａを傾斜させるカメラ光軸傾斜機構が必要となる。更
に、ＣＣＤカメラ３３が目視検査員の作業スペースに干
渉することになり、目視検査作業に弊害をもたらすこと
になる。これに対し、ラインセンサ２４を用いて自動検
査を行うこの発明では、そのような問題は生じない。As shown in FIG. 2A, even if the automatic inspection is performed using the CCD camera 33 instead of the line sensor 24, the CC is displayed immediately above the screen 2a of the LCD 2.
Since the D camera 33 must be set, the LCD
The optical axis 3 of the CCD camera 33 according to the inclination of the installation surface 4
A camera optical axis tilting mechanism for tilting 3a is required. Further, the CCD camera 33 interferes with the work space of the visual inspector, causing a bad effect on the visual inspection work. On the other hand, in the present invention in which the automatic inspection is performed using the line sensor 24, such a problem does not occur.
【００２３】[0023]
【発明の効果】この発明では、ラインセンサによる自動
検査によって判別できる欠陥を検出する自動検査作業の
後に目視点灯検査の作業を行うので、目視点灯検査作業
の回数を軽減できる。According to the present invention, since the visual lighting inspection work is performed after the automatic inspection work for detecting a defect which can be determined by the automatic inspection using the line sensor, the number of the visual lighting inspection work can be reduced.
【図１】この発明の一実施形態を示す構成説明図であ
る。FIG. 1 is a configuration explanatory diagram showing an embodiment of the present invention.
【図２】（ａ）は、上記実施形態における目視点灯検査
作業を示す構成説明図である。（ｂ）は、上記実施形態
における自動検査作業を示す構成説明図である。FIG. 2A is a configuration explanatory view showing a visual lighting inspection operation in the embodiment. FIG. 2B is a configuration explanatory view illustrating an automatic inspection operation in the embodiment.
【図３】上記実施形態における目視点灯検査と自動検査
を示す構成説明図である。FIG. 3 is a configuration explanatory view showing a visual lighting inspection and an automatic inspection in the embodiment.
【図４】従来のＬＣＤの欠陥検査装置を示す図である。FIG. 4 is a view showing a conventional LCD defect inspection apparatus.
【図５】従来のＬＣＤの自動検査を示す構成説明図であ
る。FIG. 5 is a configuration explanatory view showing a conventional automatic inspection of an LCD.
２…ＬＣＤ（平面表示装置）、３…筐体、４…設置面、
２４…ラインセンサ、θ…傾斜角。2 LCD (flat display device), 3 housing, 4 installation surface,
24: line sensor, θ: inclination angle.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西條 豊 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 山田 芳孝 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 (72)発明者 細田 俊弘 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 (72)発明者 藤井 敏夫 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 Ｆターム(参考） 2G086 EE10 2H088 FA11 FA30 HA25 MA20 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Yutaka Saijo 2 Higashi-cho, Kichijoin-miya, Minami-ku, Kyoto, Kyoto Prefecture Inside Horiba, Ltd. (72) Inventor Yoshitaka Yamada 197-1 Horencho, Nara City, Nara Prefecture Technos Co., Ltd. In-house (72) Inventor Toshihiro Hosoda 197-1 Horencho, Nara-shi, Nara Prefecture Technos Co., Ltd. (72) Inventor Toshio Fujii 197-1 Horus-cho, Nara City, Nara Prefecture Technos Co., Ltd. F-term (reference) 2G086 EE10 2H088 FA11 FA30 HA25 MA20
Claims (4)
素子からなるラインセンサでスキャンし、このラインセ
ンサによって平面表示装置の各素子の光量を平面表示装
置の画面に対し垂直な方向において計測し、この光量デ
ータに基づいて平面表示装置の各素子の輝度の良否判定
を行い平面表示装置の欠陥を自動検査するにあたり、平
面表示装置を筐体に対して斜めに取り付けた状態で前記
ラインセンサによる前記欠陥を判別する自動検査を行
い、その後、視覚による平面表示装置の欠陥を判別する
目視検査を行うようにしたことを特徴とする平面表示装
置の品位検査方法。A plurality of elements of a flat panel display are scanned by a line sensor comprising a plurality of detection elements, and the line sensors measure the light amounts of the respective elements of the flat panel display in a direction perpendicular to the screen of the flat panel display. Then, based on the light quantity data, the quality of each element of the flat display device is determined to be good or bad and the flat display device is automatically inspected for defects. A quality inspection method for a flat panel display device, wherein an automatic inspection for determining the defect is performed, and thereafter a visual inspection for visually determining a defect of the flat panel display device is performed.
素子からなるラインセンサでスキャンし、このラインセ
ンサによって平面表示装置の各素子の光量を平面表示装
置の画面に対し垂直な方向において計測し、この光量デ
ータに基づいて平面表示装置の各素子の輝度の良否判定
を行い平面表示装置の欠陥を自動検査する平面表示装置
の品位検査装置において、検査時に平面表示装置を斜め
に設置するための筐体を設け、前記ラインセンサによる
自動検査と目視による検査とを行うように構成してある
ことを特徴とする平面表示装置の品位検査装置。2. The method according to claim 1, wherein a plurality of elements of the flat display device are scanned by a line sensor including a plurality of detection elements, and the light intensity of each element of the flat display device is measured by the line sensor in a direction perpendicular to a screen of the flat display device. Then, in the quality inspection device of the flat display device, which determines the quality of each element of the flat display device based on the light amount data and automatically inspects the flat display device for defects, the flat display device is obliquely installed at the time of inspection. A quality inspection device for a flat panel display device, wherein the inspection device is provided so as to perform automatic inspection by the line sensor and visual inspection.
基板、上ガラス基板の内面に形成されたカラーフィル
タ、前記各ガラス基板の外面に貼られた偏光板、前記上
下ガラス基板間に挟持される少なくとも液晶よりなるセ
ルと、バックライトとよりなるモジュールで構成される
請求項２に記載の平面表示装置の品位検査装置。3. The flat display device includes a pair of upper and lower glass substrates, a color filter formed on an inner surface of the upper glass substrate, a polarizing plate attached to an outer surface of each of the glass substrates, and sandwiched between the upper and lower glass substrates. 3. The quality inspection device for a flat panel display device according to claim 2, wherein the quality inspection device comprises a module comprising at least a cell made of liquid crystal and a backlight.
の焦点位置を前記カラーフィルタに合わせて欠陥検査を
行う請求項３に記載の平面表示装置の品位検査装置。4. The quality inspection device for a flat panel display device according to claim 3, wherein a defect inspection is performed by adjusting a focal position of the line sensor used for the quality judgment to the color filter.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30188999A JP2001124659A (en) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | Quality inspecting method and quality inspection device for flat display device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30188999A JP2001124659A (en) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | Quality inspecting method and quality inspection device for flat display device |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| Country | Link |
|---|---|
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006243670A (en) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Sharp Corp | Device and method for inspecting liquid crystal panel |
| JP2007132879A (en) * | 2005-11-14 | 2007-05-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method for inspecting lighting screen of display panel |
| JP2014082352A (en) * | 2012-10-17 | 2014-05-08 | Npc Inc | Inspection apparatus and method of solar cell |
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-
1999
- 1999-10-25 JP JP30188999A patent/JP2001124659A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006243670A (en) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Sharp Corp | Device and method for inspecting liquid crystal panel |
| JP2007132879A (en) * | 2005-11-14 | 2007-05-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method for inspecting lighting screen of display panel |
| JP2014082352A (en) * | 2012-10-17 | 2014-05-08 | Npc Inc | Inspection apparatus and method of solar cell |
| CN113479244A (en) * | 2021-08-03 | 2021-10-08 | 湖北泰和电气有限公司 | Quality inspection equipment and system of ground detector |
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