JP2001123206A - 希土類金属電極及び回転電極アトマイズ法により得られる希土類金属粉末 - Google Patents
希土類金属電極及び回転電極アトマイズ法により得られる希土類金属粉末Info
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- JP2001123206A JP2001123206A JP30180699A JP30180699A JP2001123206A JP 2001123206 A JP2001123206 A JP 2001123206A JP 30180699 A JP30180699 A JP 30180699A JP 30180699 A JP30180699 A JP 30180699A JP 2001123206 A JP2001123206 A JP 2001123206A
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- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造された希土類金属粉末中に、非球状の巨
大粒子が混入することがなく、希土類金属粉末の歩留り
を向上させることができる希土類金属電極及び該電極を
用いた回転電極アトマイズ法により得られる希土類金属
粉末を提供することを目的とする。 【解決手段】 Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌの総量
が５〜５００ｐｐｍである希土類金属電極を、回転電極
アトマイズ用電極として使用する。
大粒子が混入することがなく、希土類金属粉末の歩留り
を向上させることができる希土類金属電極及び該電極を
用いた回転電極アトマイズ法により得られる希土類金属
粉末を提供することを目的とする。 【解決手段】 Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌの総量
が５〜５００ｐｐｍである希土類金属電極を、回転電極
アトマイズ用電極として使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、希土類金属電極及
び該電極を用いた回転電極アトマイズ法により得られる
希土類金属粉末に関する。
び該電極を用いた回転電極アトマイズ法により得られる
希土類金属粉末に関する。
【０００２】
【従来の技術】希土類金属粉末は、希土類焼結磁石の原
料、あるいは光磁気記録膜や磁歪薄膜を作製する際に使
用されるスパッタリングターゲットの原料として有用で
ある。希土類金属粉末の製造方法としては、回転電極ア
トマイズ法、ガスアトマイズ法、回転ディスクアトマイ
ズ法、機械粉砕法などが知られており、これらの方法に
よって、希土類金属粉末を高純度、高収率、低コストで
製造することが望まれている。しかしながら、ガスアト
マイズ法では、多量の高圧Ａｒガスを必要とし、また、
るつぼ材から汚染が発生したり、るつぼの溶融金属を流
出させるノズルが閉塞したりするなどのトラブルが起り
やすいという問題がある。回転ディスクアトマイズ法に
ついても、ガスアトマイズ法と同様に、るつぼ材やディ
スクからの汚染が発生したり、るつぼのノズルが閉塞し
たりするなどの問題がある。機械粉砕法は、適用される
希土類金属の組成範囲が限定され、また、酸素などによ
る汚染が多いという問題がある。
料、あるいは光磁気記録膜や磁歪薄膜を作製する際に使
用されるスパッタリングターゲットの原料として有用で
ある。希土類金属粉末の製造方法としては、回転電極ア
トマイズ法、ガスアトマイズ法、回転ディスクアトマイ
ズ法、機械粉砕法などが知られており、これらの方法に
よって、希土類金属粉末を高純度、高収率、低コストで
製造することが望まれている。しかしながら、ガスアト
マイズ法では、多量の高圧Ａｒガスを必要とし、また、
るつぼ材から汚染が発生したり、るつぼの溶融金属を流
出させるノズルが閉塞したりするなどのトラブルが起り
やすいという問題がある。回転ディスクアトマイズ法に
ついても、ガスアトマイズ法と同様に、るつぼ材やディ
スクからの汚染が発生したり、るつぼのノズルが閉塞し
たりするなどの問題がある。機械粉砕法は、適用される
希土類金属の組成範囲が限定され、また、酸素などによ
る汚染が多いという問題がある。
【０００３】一方、回転電極アトマイズ法には、るつぼ
材からの汚染や、るつぼのノズルの閉塞などといった問
題が無く、粒度が均一で、充填密度が高くて流動性のよ
い、清浄で球状の希土類金属粉末が得られる。そのた
め、希土類金属粉末の製造には、この回転電極アトマイ
ズ法が多く用いられている。回転電極アトマイズ法で希
土類金属粉末を製造するには、棒状の希土類金属電極を
高速で回転させ、タングステン等からなる電極の間に発
生させたアークやプラズマガスを、上記希土類金属電極
の先端部に吹き付けて加熱溶融し、溶融金属を遠心力で
切線方向に飛散させて粉末化させる。
材からの汚染や、るつぼのノズルの閉塞などといった問
題が無く、粒度が均一で、充填密度が高くて流動性のよ
い、清浄で球状の希土類金属粉末が得られる。そのた
め、希土類金属粉末の製造には、この回転電極アトマイ
ズ法が多く用いられている。回転電極アトマイズ法で希
土類金属粉末を製造するには、棒状の希土類金属電極を
高速で回転させ、タングステン等からなる電極の間に発
生させたアークやプラズマガスを、上記希土類金属電極
の先端部に吹き付けて加熱溶融し、溶融金属を遠心力で
切線方向に飛散させて粉末化させる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
回転電極アトマイズ法は、図２に示すように、希土類金
属電極１の回転中にその一部が小塊状となって脱落する
ため、製造された希土類金属粉末中に非球状の巨大粒子
７が混入するという事態が生じた。そのため、製造され
た希土類金属粉末を焼結磁石などの原料として使用する
には、巨大粒子を除去しなければならず、その除去作業
に手間がかかり、また、得られる希土類金属粉末の歩留
りが低下するという問題があった。
回転電極アトマイズ法は、図２に示すように、希土類金
属電極１の回転中にその一部が小塊状となって脱落する
ため、製造された希土類金属粉末中に非球状の巨大粒子
７が混入するという事態が生じた。そのため、製造され
た希土類金属粉末を焼結磁石などの原料として使用する
には、巨大粒子を除去しなければならず、その除去作業
に手間がかかり、また、得られる希土類金属粉末の歩留
りが低下するという問題があった。
【０００５】そこで、本発明は、製造された希土類金属
粉末中に、非球状の巨大粒子が混入することがなく、希
土類金属粉末の歩留りを向上させることができる希土類
金属電極及び該電極を用いた回転電極アトマイズ法によ
り得られる希土類金属粉末を提供することを目的とす
る。
粉末中に、非球状の巨大粒子が混入することがなく、希
土類金属粉末の歩留りを向上させることができる希土類
金属電極及び該電極を用いた回転電極アトマイズ法によ
り得られる希土類金属粉末を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意検討した結果、回転電極アトマイ
ズ法で使用する希土類金属電極に含まれる不純物のう
ち、特にＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌの総量と非球
状巨大粒子の発生とが関連しており、それらの不純物の
総量を所定量以下とすることにより、上記課題が解決さ
れることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわ
ち、本発明は、回転電極アトマイズ法に用いる希土類金
属電極であって、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌの総
量が５〜５００ｐｐｍ、特には１０〜３００ｐｐｍであ
ることを特徴とする希土類金属電極であり、これらの希
土類金属電極は、真空加熱蒸留することにより得られた
希土類ハロゲン化物及び還元剤を原料として製造され
る。このような希土類金属電極を用いると、希土類金属
結晶の粒界に偏析する不純物であるＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，
Ｃｕ及びＡｌの総量が少ないため、低融点相の形成、及
び高熱伝導率部の形成が抑えられ、その結果、非球状巨
大粒子の発生が防止されるものと考えられる。また、別
の本発明は、上記記載の希土類金属電極を用いる回転電
極アトマイズ法により得られた希土類金属粉末である。
該法により、非球状巨大粒子の混入がなく、粒度が均一
で、充填密度が高くて流動性のよい、清浄で球状の希土
類金属粉末が得られる。
を解決するために鋭意検討した結果、回転電極アトマイ
ズ法で使用する希土類金属電極に含まれる不純物のう
ち、特にＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌの総量と非球
状巨大粒子の発生とが関連しており、それらの不純物の
総量を所定量以下とすることにより、上記課題が解決さ
れることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわ
ち、本発明は、回転電極アトマイズ法に用いる希土類金
属電極であって、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌの総
量が５〜５００ｐｐｍ、特には１０〜３００ｐｐｍであ
ることを特徴とする希土類金属電極であり、これらの希
土類金属電極は、真空加熱蒸留することにより得られた
希土類ハロゲン化物及び還元剤を原料として製造され
る。このような希土類金属電極を用いると、希土類金属
結晶の粒界に偏析する不純物であるＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，
Ｃｕ及びＡｌの総量が少ないため、低融点相の形成、及
び高熱伝導率部の形成が抑えられ、その結果、非球状巨
大粒子の発生が防止されるものと考えられる。また、別
の本発明は、上記記載の希土類金属電極を用いる回転電
極アトマイズ法により得られた希土類金属粉末である。
該法により、非球状巨大粒子の混入がなく、粒度が均一
で、充填密度が高くて流動性のよい、清浄で球状の希土
類金属粉末が得られる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明を
詳細に説明する。図１は、本発明の希土類金属電極を用
いる回転電極アトマイズ法の概要を示した説明図であ
る。この回転電極アトマイズ法は、図１（ａ）に示すよ
うに、棒状の希土類金属電極１を電極回転モーター４に
セットした後、図１（ｂ）に示すように、チャンバー３
内を真空引きした後、アルゴンなどの不活性雰囲気と
し、希土類金属電極１を回転数３０００〜２００００ｒ
ｐｍで回転させながら、希土類金属電極１の先端にプラ
ズマ、アーク等の熱源２から熱エネルギーを放射して、
希土類金属電極１の先端を溶融させて、遠心力で溶融粒
子６を切線方向に飛散させ、冷却固化した希土類金属粉
末を粉末回収容器５内に回収する。熱源２となるプラズ
マは、不活性ガス、例えば、ＡｒガスやＨｅガスを電離
して発生させる。
詳細に説明する。図１は、本発明の希土類金属電極を用
いる回転電極アトマイズ法の概要を示した説明図であ
る。この回転電極アトマイズ法は、図１（ａ）に示すよ
うに、棒状の希土類金属電極１を電極回転モーター４に
セットした後、図１（ｂ）に示すように、チャンバー３
内を真空引きした後、アルゴンなどの不活性雰囲気と
し、希土類金属電極１を回転数３０００〜２００００ｒ
ｐｍで回転させながら、希土類金属電極１の先端にプラ
ズマ、アーク等の熱源２から熱エネルギーを放射して、
希土類金属電極１の先端を溶融させて、遠心力で溶融粒
子６を切線方向に飛散させ、冷却固化した希土類金属粉
末を粉末回収容器５内に回収する。熱源２となるプラズ
マは、不活性ガス、例えば、ＡｒガスやＨｅガスを電離
して発生させる。
【０００８】上記法において、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ
及びＡｌの総量が５〜５００ｐｐｍ、特には１０〜３０
０ｐｐｍの希土類金属電極を用いる点が、本願発明の特
徴である。このような希土類金属電極を用いた回転電極
アトマイズ法で希土類金属粉末を製造することにより、
非球状巨大粒子や酸素等の不純物の含量が少なく、粉末
焼結に適した希土類金属粉末を、歩留りよく製造するこ
とができる。不純物であるＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及び
Ａｌの総量が５００ｐｐｍを超えると非球状巨大粒子の
発生が多くなり、また、これら不純物の総量を５ｐｐｍ
より少なくしても効果に違いは認められず、むしろ不純
物を低減するためのコストがかかるので、Ｆｅ，Ｃｏ，
Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌの総量は５〜５００ｐｐｍとし、特
には、１０〜３００ｐｐｍとすることが経済的観点から
望ましい。また、不純物の中でも、特にＣｕは結晶粒界
に高熱伝導率部を形成し、非球状巨大粒子の発生に対す
る影響が著しく大きいので、本願発明では、Ｃｕの量を
３００ｐｐｍ以下とするのが好ましい。Ｃｕが巨大粒子
の発生に対して与える影響が大きい理由は、Ｃｕが比較
的熱伝導率が高いためであると考えられる。
及びＡｌの総量が５〜５００ｐｐｍ、特には１０〜３０
０ｐｐｍの希土類金属電極を用いる点が、本願発明の特
徴である。このような希土類金属電極を用いた回転電極
アトマイズ法で希土類金属粉末を製造することにより、
非球状巨大粒子や酸素等の不純物の含量が少なく、粉末
焼結に適した希土類金属粉末を、歩留りよく製造するこ
とができる。不純物であるＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及び
Ａｌの総量が５００ｐｐｍを超えると非球状巨大粒子の
発生が多くなり、また、これら不純物の総量を５ｐｐｍ
より少なくしても効果に違いは認められず、むしろ不純
物を低減するためのコストがかかるので、Ｆｅ，Ｃｏ，
Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌの総量は５〜５００ｐｐｍとし、特
には、１０〜３００ｐｐｍとすることが経済的観点から
望ましい。また、不純物の中でも、特にＣｕは結晶粒界
に高熱伝導率部を形成し、非球状巨大粒子の発生に対す
る影響が著しく大きいので、本願発明では、Ｃｕの量を
３００ｐｐｍ以下とするのが好ましい。Ｃｕが巨大粒子
の発生に対して与える影響が大きい理由は、Ｃｕが比較
的熱伝導率が高いためであると考えられる。
【０００９】本発明の希土類金属電極１を作製するに
は、希土類弗化物のような希土類ハロゲン化物を、金属
Ｃａのようなアルカリ金属やアルカリ土類金属等の還元
剤で、温度８５０℃〜１４００℃で金属熱還元して希土
類金属を製造し、この希土類金属を円柱状に鋳造して棒
状とし、旋盤等により機械加工して所定形状とすればよ
い。不純物であるＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌは、
原料である希土類ハロゲン化物、還元剤であるアルカリ
金属やアルカリ土類金属、フラックス等の還元補助材、
及び容器からの混入により、通常、総量で１０００ｐｐ
ｍを超える。そこで、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌ
の総量を５００ｐｐｍ以下とするために、各使用原料
（希土類ハロゲン化物／還元剤）を真空中でそれぞれ加
熱（８００〜１２００℃）、蒸留して、これら不純物を
低減させることが望ましい。特に、還元剤であるアルカ
リ金属やアルカリ土類金属には上記不純物が多く含まれ
るので、真空加熱蒸留したものを使用することが望まし
い。この真空加熱蒸留を行う場合は、真空度を１３３×
１０-2Ｐａ以下の高真空を維持することが必要で、１３
３×１０-2Ｐａ以上の低真空下では、蒸留精製が十分に
進まず、また、残存する空気中の酸素により酸化物が生
成するようになる。
は、希土類弗化物のような希土類ハロゲン化物を、金属
Ｃａのようなアルカリ金属やアルカリ土類金属等の還元
剤で、温度８５０℃〜１４００℃で金属熱還元して希土
類金属を製造し、この希土類金属を円柱状に鋳造して棒
状とし、旋盤等により機械加工して所定形状とすればよ
い。不純物であるＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌは、
原料である希土類ハロゲン化物、還元剤であるアルカリ
金属やアルカリ土類金属、フラックス等の還元補助材、
及び容器からの混入により、通常、総量で１０００ｐｐ
ｍを超える。そこで、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌ
の総量を５００ｐｐｍ以下とするために、各使用原料
（希土類ハロゲン化物／還元剤）を真空中でそれぞれ加
熱（８００〜１２００℃）、蒸留して、これら不純物を
低減させることが望ましい。特に、還元剤であるアルカ
リ金属やアルカリ土類金属には上記不純物が多く含まれ
るので、真空加熱蒸留したものを使用することが望まし
い。この真空加熱蒸留を行う場合は、真空度を１３３×
１０-2Ｐａ以下の高真空を維持することが必要で、１３
３×１０-2Ｐａ以上の低真空下では、蒸留精製が十分に
進まず、また、残存する空気中の酸素により酸化物が生
成するようになる。
【００１０】本発明の希土類金属粉末は、本発明の希土
類金属電極を用いた回転電極アトマイズ法により得ら
れ、該粉末の平均粒径は約１００〜４００μmである。
本発明が適用される希土類金属は、Ｙ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐ
ｒ，Ｎｄ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒからなる群よ
り選択される。
類金属電極を用いた回転電極アトマイズ法により得ら
れ、該粉末の平均粒径は約１００〜４００μmである。
本発明が適用される希土類金属は、Ｙ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐ
ｒ，Ｎｄ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒからなる群よ
り選択される。
【００１１】
【実施例】次に、本発明について実施例により、さらに
具体的に説明する。
具体的に説明する。
【００１２】（実施例１〜６）金属Ｃａで、希土類弗化
物を還元して、希土類金属を製造する工程で、１．３３
Ｐａの真空下で蒸留精製した金属Ｃａ（精製品）及び蒸
留精製していない金属Ｃａ（通常品）、同様に蒸留精製
した希土類弗化物（精製品）及び蒸留精製していない希
土類弗化物（通常品）を原料に使用し、不純物量（Ｆ
ｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌの量）を低減した希土類
金属を製造し、該金属を鋳造、旋盤による機械加工を経
て、４０φ×１５０Ｌｍｍの希土類金属電極を作製し
た。この希土類金属中の不純物量（Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，
Ｃｕ及びＡｌの量）をＧＤ−ＭＳ（グロー放電質量分析
計）で測定した結果を表１に示す。上記希土類金属電極
を回転数１８，０００ｒｐｍで回転させ、Ａｒ下でプラ
ズマを使った回転電極アトマイズ法（ＰＲＥＰ）により
希土類金属粉末を製造した。この希土類金属粉末中に含
まれる１ｍｍ以上の大きさをもつ巨大粒子の割合を試験
ふるいで測定した。また、１ｍｍの試験ふるいを通過し
たふるい下粉末について、マイクロトラックで粒度分布
測定を行い、粒径Ｄ＜３００μmの粉末の平均粒径
Ｄav、及び（Ｄ9 0−Ｄ10）／Ｄ50で粒度分布の均一性を
評価した。なお、粒度分布測定結果の重量基準分布累積
曲線で積算量が１０，５０，９０ｗｔ％の各点の粒径を
それぞれＤ10、Ｄ50、Ｄ90と定義する。また、該合金粉
末を平滑なＳＵＳ板（０．４×０．４×０．０１ｍ）上
に静置し、ＳＵＳ板の一辺を持ち上げ、すべての粉末が
板上から滑り落ちた時のＳＵＳ板の傾斜角を測定し、粉
末の流動性を評価した。これら３点の評価結果を表１に
併記する。
物を還元して、希土類金属を製造する工程で、１．３３
Ｐａの真空下で蒸留精製した金属Ｃａ（精製品）及び蒸
留精製していない金属Ｃａ（通常品）、同様に蒸留精製
した希土類弗化物（精製品）及び蒸留精製していない希
土類弗化物（通常品）を原料に使用し、不純物量（Ｆ
ｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌの量）を低減した希土類
金属を製造し、該金属を鋳造、旋盤による機械加工を経
て、４０φ×１５０Ｌｍｍの希土類金属電極を作製し
た。この希土類金属中の不純物量（Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，
Ｃｕ及びＡｌの量）をＧＤ−ＭＳ（グロー放電質量分析
計）で測定した結果を表１に示す。上記希土類金属電極
を回転数１８，０００ｒｐｍで回転させ、Ａｒ下でプラ
ズマを使った回転電極アトマイズ法（ＰＲＥＰ）により
希土類金属粉末を製造した。この希土類金属粉末中に含
まれる１ｍｍ以上の大きさをもつ巨大粒子の割合を試験
ふるいで測定した。また、１ｍｍの試験ふるいを通過し
たふるい下粉末について、マイクロトラックで粒度分布
測定を行い、粒径Ｄ＜３００μmの粉末の平均粒径
Ｄav、及び（Ｄ9 0−Ｄ10）／Ｄ50で粒度分布の均一性を
評価した。なお、粒度分布測定結果の重量基準分布累積
曲線で積算量が１０，５０，９０ｗｔ％の各点の粒径を
それぞれＤ10、Ｄ50、Ｄ90と定義する。また、該合金粉
末を平滑なＳＵＳ板（０．４×０．４×０．０１ｍ）上
に静置し、ＳＵＳ板の一辺を持ち上げ、すべての粉末が
板上から滑り落ちた時のＳＵＳ板の傾斜角を測定し、粉
末の流動性を評価した。これら３点の評価結果を表１に
併記する。
【００１３】（比較例１〜４）蒸留精製しない通常のＣ
ａ、希土類弗化物を用いた以外は、実施例１〜６と同様
にＰＲＥＰにより、希土類金属粉末を製造し、不純物、
巨大粒子の割合、粉末特性を実施例１〜６と同様に調
べ、その結果を表２に示す。
ａ、希土類弗化物を用いた以外は、実施例１〜６と同様
にＰＲＥＰにより、希土類金属粉末を製造し、不純物、
巨大粒子の割合、粉末特性を実施例１〜６と同様に調
べ、その結果を表２に示す。
【００１４】
【表１】
【００１５】
【表２】
【００１６】表１及び表２に示した結果より、不純物で
あるＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌの総量が５００ｐ
ｐｍを超えると１ｍｍ以上の巨大粒子の割合が著しく増
加することが分かる。また、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及
びＡｌの総量が３００ｐｐｍ以下では巨大粒子の割合は
３％以下であり、不純物の中でも特にＣｕの量が、巨大
粒子の発生に影響が大きいことが分かる。
あるＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌの総量が５００ｐ
ｐｍを超えると１ｍｍ以上の巨大粒子の割合が著しく増
加することが分かる。また、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及
びＡｌの総量が３００ｐｐｍ以下では巨大粒子の割合は
３％以下であり、不純物の中でも特にＣｕの量が、巨大
粒子の発生に影響が大きいことが分かる。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、希土類金属粉末の製造
において、１ｍｍ以上の巨大粒子の発生を少なくするこ
とができ、巨大粒子を含まない、粒度が均一で、充填密
度が高くて流動性のよい、清浄で球状の希土類金属粉末
を高収率で製造することができるので、その工業的価値
は非常に大きい。
において、１ｍｍ以上の巨大粒子の発生を少なくするこ
とができ、巨大粒子を含まない、粒度が均一で、充填密
度が高くて流動性のよい、清浄で球状の希土類金属粉末
を高収率で製造することができるので、その工業的価値
は非常に大きい。
【図１】本発明の希土類金属電極を用いた回転電極アト
マイズ法の概略説明図であり、（ａ）は電極回転モータ
ーに回転電極をセットした工程、（ｂ）はアトマイズ工
程を示す。
マイズ法の概略説明図であり、（ａ）は電極回転モータ
ーに回転電極をセットした工程、（ｂ）はアトマイズ工
程を示す。
【図２】従来の回転電極アトマイズ法の概略説明図であ
る。
る。
１ 希土類金属電極 ５ 粉末回収容器 ２ 熱源 ６ 溶融粒子 ３ チャンバー ７ 巨大粒子 ４ 電極回転モーター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 戸出 孝 福井県武生市北府２丁目１番５号 信越化 学工業株式会社磁性材料研究所内 Ｆターム(参考） 4K017 AA02 BA08 CA01 EF02 EF07 EH14 EK01 FA02 FA15 FB10 4K018 BA20 BB01 BC06 BD01
Claims (3)
- 【請求項１】 回転電極アトマイズ法に用いる希土類金
属電極であって、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ及びＡｌの総
量が５〜５００ｐｐｍであることを特徴とする希土類金
属電極。 - 【請求項２】 希土類ハロゲン化物及び還元剤を原料と
する際、少なくとも原料の一部を真空加熱蒸留すること
を特徴とする請求項１記載の希土類金属電極。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の希土類金属電極を
用いた回転電極アトマイズ法により得られる希土類金属
粉末。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30180699A JP2001123206A (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 希土類金属電極及び回転電極アトマイズ法により得られる希土類金属粉末 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30180699A JP2001123206A (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 希土類金属電極及び回転電極アトマイズ法により得られる希土類金属粉末 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001123206A true JP2001123206A (ja) | 2001-05-08 |
Family
ID=17901395
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30180699A Pending JP2001123206A (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 希土類金属電極及び回転電極アトマイズ法により得られる希土類金属粉末 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001123206A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1739196A1 (en) * | 2005-06-29 | 2007-01-03 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Rare earth metal member of high surface purity and making method |
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| CN109513944A (zh) * | 2018-10-24 | 2019-03-26 | 中国人民解放军陆军装甲兵学院 | 等离子旋转电极制备铜合金粉末的方法 |
| CN109822104A (zh) * | 2019-04-19 | 2019-05-31 | 郑州机械研究所有限公司 | 用于等离子旋转电极雾化制粉的母材悬臂驱动机构 |
-
1999
- 1999-10-25 JP JP30180699A patent/JP2001123206A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1739196A1 (en) * | 2005-06-29 | 2007-01-03 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Rare earth metal member of high surface purity and making method |
| US7674427B2 (en) | 2005-06-29 | 2010-03-09 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Rare earth metal member and making method |
| CN107988508A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-05-04 | 西安欧中材料科技有限公司 | 一种提高镍基金属离心雾化细粉收得率的冶金方法 |
| CN107988508B (zh) * | 2017-12-21 | 2019-12-31 | 西安欧中材料科技有限公司 | 一种提高镍基金属离心雾化细粉收得率的冶金方法 |
| CN109513944A (zh) * | 2018-10-24 | 2019-03-26 | 中国人民解放军陆军装甲兵学院 | 等离子旋转电极制备铜合金粉末的方法 |
| CN109822104A (zh) * | 2019-04-19 | 2019-05-31 | 郑州机械研究所有限公司 | 用于等离子旋转电极雾化制粉的母材悬臂驱动机构 |
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