JP2001108918A - マイクロスコープ - Google Patents

マイクロスコープ

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JP2001108918A JP29126699A JP29126699A JP2001108918A JP 2001108918 A JP2001108918 A JP 2001108918A JP 29126699 A JP29126699 A JP 29126699A JP 29126699 A JP29126699 A JP 29126699A JP 2001108918 A JP2001108918 A JP 2001108918A
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  • Lenses (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 視野が広く、きわめて狭いスペースでも横方
向の観察が可能で、廉価に製造できるマイクロスコープ
を提供する。 【解決手段】 電荷結合素子型ビデオマイクロスコープ
100は、ハンドピース112の先端に薄型板状ミラー
ユニット130を装着し、その上端面131aの両端付
近に照明用光源117を配置して被写体に照射し、映像
光を受光孔116を介して光学系114を経てCCDカ
メラ111で撮影し、ビデオ映像を得るようにしてい
る。薄型板状ミラー131は光を閉じこめてガイドをす
るが、先端側の幅が狭くなるように先細のテーパ面13
1aに形成し、照明光が入射するとともに映像光を出射
する上端面131cと照明光及び映像光が出入りして反
射するミラー面131bとを有し、ミラー面131bは
45度に傾斜している。電荷結合素子カメラを備えない
簡易型マイクロスコープとすることもできる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、きわめて狭い箇
所や物体の微少な構造を観るためのプローブに利用し、
例えば、BGA(Ball Grid Array)や
皮膚などの状況を観察したり検査したりするためのマイ
クロスコープに関する。
【0002】
【従来の技術】皮膚の構造や頭髪の状態などを観察する
のに、近時、医療や美容などの分野でハンディタイプの
マイクロスコープが多用されている他、各種の生産業の
分野でも応用されつつある。以下、超小型パッケージの
BGAの半田付けに例をとって説明すると、このBGA
は携帯電話やディジタル方式のカメラ一体型VTR用の
LSI、携帯情報端末用の高性能マイクロプロセッサな
どの幅広い分野で使われ始めている。ここで、BGAを
基板に装着する際、所定温度の下で基板にBGAの半田
ボールを半田付けするが、最適な装着を行うため半田付
け状況を検査し設定温度を決定する必要がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、BGA
の半田ボールが基板にいかに信頼性をもって付着してい
るかを観察し検査する方法には、現在のところ通電によ
る検査及びX線透過による検査があるものの、コストが
きわめて高いのが現状である。また、BGAの半田ボー
ルは、径が数百ミクロン〜1mm程度ときわめて微小で
あるため、従来のように半田状況をミラー等で目視する
方法には限界がある。
【0004】図21はBGAの半田状況を観察する従来
例を示す概略図であり、(a)はミラーによる観察、
(b)はプリズムによる観察の例図である。なお、図中
の矢印は照明光を示す。図21(a)に示すように、従
来のミラー1による検査では基板2上に半田付けしたB
GA3の半田ボール4の半田状況を観察するとき、従来
のミラー1ではその厚さ5自体のため、半田ボール4が
基板2に付着している下方を観ることが困難であり、さ
らにミラーの奥行き6が大きいため、きわめて狭い箇所
では使用が困難である。
【0005】また図21(b)に示すように、従来のプ
リズム7による検査では半田ボール4が基板2に付着し
ている下方を観ることができるが、プリズム自体のサイ
ズ8が幅広に形成されるため、きわめて狭い箇所では使
用が困難である。
【0006】さらに従来のマイクロスコープでは、例え
ば人体の皮膚や髪の生え際などを目視しても視野が狭
く、明りょうな映像が得にくく改善の余地があった。
【0007】そこで、この発明は、視野が広く、きわめ
て狭いスペースでも横方向の観察が可能であると共に、
廉価に製造できるマイクロスコープを提供することを一
目的とする。さらに、この発明の他の目的は、マイクロ
スコープの本体に照明装置を組み込んで照明光を効率良
く出射すると共に、好ましくは、小型電荷結合素子カメ
ラを組み込むことにより、ビデオ映像としての観察に適
した電荷結合素子型ビデオマイクロスコープを提供する
ことにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の発明のマイクロスコープは、薄型板
状ミラーを備え、この薄型板状ミラーの先端側の幅が狭
くなるように形成すると共に、その先端に鋭角度でミラ
ー面を形成したことを特徴としている。前記薄型板状ミ
ラーの先端側は、好ましくはテーパ状に先細に形成さ
れ、さらに好ましくは、その上端部は支持棒を介して支
持される。前記薄型板状ミラーは、好ましくは支持棒と
一体構成されている。前記支持棒は、ハンドピースに対
して取外し可能、かつ回転可能であり、好ましくは支持
棒を所定角度に固定するための締付具を備えている。
【0009】請求項7記載のマイクロスコープは、照明
光及び映像光の受発光手段と、この受発光手段に設けた
薄型板状ミラーと、この薄型板状ミラーの先端側の幅が
狭くなるように形成すると共に、この先端に鋭角度で形
成したミラー面とを備えていることを特徴とする。ま
た、請求項8記載のマイクロスコープは、照明光の光源
を内蔵する貫通孔と映像光の受光孔とを分離して設けた
受発光手段と、この受発光手段の貫通孔及び受光孔に対
して密接かつ密閉して設けた薄型板状ミラーと、この薄
型板状ミラーの先端側の幅が狭くなるように形成すると
共に、その先端に鋭角度で形成したミラー面とを備えて
いて、薄型板状ミラーが照明光をガイドして上記ミラー
面で反射して出射し、反射して戻ってきた映像光を上記
ミラー面で反射しガイドするようにしている。
【0010】さらに、請求項10記載の発明は、小型電
荷結合素子カメラの照明光の光源を内蔵する貫通孔と映
像光の受光孔とを分離して設けた受発光手段と、この受
発光手段の貫通孔及び受光孔に対して密接かつ密閉して
設けた薄型板状ミラーと、この薄型板状ミラーの先端側
の幅が狭くなるように形成すると共に、その先端に鋭角
度で形成したミラー面を備えていて、薄型板状ミラーが
照明光をガイドしてミラー面で反射して出射し、反射し
て戻ってきた映像光をミラー面で反射しガイドするよう
にした電荷結合素子型ビデオマイクロスコープとして構
成されている。なお、上記マイクロスコープは、単に拡
大レンズと前記薄型板状ミラーとを組み合わせただけの
ルーペとすることもできる。
【0011】このような構成で成る本発明のマイクロス
コープでは、薄型板状ミラーが鋭角度のミラー面を有し
ているので、非検査対象物に対して垂直にして検査可能
であり、視野が広く、きわめて狭いスペースでも横方向
の観察ができる。また、とくに、薄型板状ミラーをテー
パ状に先細に形成することで、照明効率を高めるととも
に、スペース等の制約で観察し難い被写体を有効かつ適
正に観察することができる。本マイクロスコープは、単
に、テーパ状に先細になっていて先端に鋭角度で形成し
たミラー面を備えた薄型板状ミラーと拡大鏡とを組み合
わせてルーペとして使用し得るほか、小型電荷結合素子
カメラを組み込み、これをビデオ撮影することにより、
電荷結合素子型ビデオマイクロスコープとして利用する
ことができ、観察対象物の鮮明なビデオ映像を得ること
ができる。
【0012】また、薄型板状ミラーをハンドピースに対
して取外し可能かつ回転可能な支持棒を介して取り付け
ることで、簡単な構成でユニット化することができ、し
かも薄型板状ミラーのハンドピースに対する傾斜角度を
変化させることができる。このような構成の本発明のマ
イクロスコープでは、薄型板状ミラーは光を閉じこめて
照明光及び映像光をガイドしてミラー面で反射するため
拡散光になり、フレアのない映像光を得ることができ
る。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、図面に示した好適な実施形
態に基づいてこの発明を詳細に説明する。本発明の第1
の実施形態は、マイクロスコープをルーペとして使用す
る場合であり、図1はこのようなマイクロスコープ、す
なわちルーペの原理的構成を示す斜視図である。すなわ
ち、このマイクロスコープSは、基本的には拡大レンズ
Eと薄型板状ミラーMとで構成されており、薄型板状ミ
ラーMは、薄肉の板状ミラーをその先端側の幅が狭くな
るよう、好ましくは先細のテーパ面M1 として形成する
と共に、その先端に鋭角度で斜めに切ったミラー面M2
を形成することにより構成されている。図1において、
このマイクロスコープSのミラー面M2 を観察対象物の
近傍に配置してルーペを直立させ、図示しない接眼部か
ら観察すると、ミラー面M2 を介して観察対象物の像が
反射されて拡大した像が得られる。
【0014】図2並びに図3は、マイクロスコープSを
ルーペとして用いる場合の応用例を示すものである。こ
のルーペの先端に取り付けた薄型板状ミラー11は、そ
の基端部(すなわち、上端側)を支持棒12の上下に貫
通する長穴13に嵌着することにより支持棒12に一体
化されて薄型板状ミラーユニット10として構成されて
いる。上記薄型板状ミラー11は、先端側の幅が狭くな
るように、すなわち典型的には先端側が上端側から先細
にテーパ面11aとして形成され、先端の端面が鋭角、
例えば45°の傾斜度をもったミラー面11bとしてた
とえば12mm幅のものに対して、その先端の幅は4m
m程度に先細となっている。
【0015】マイクロスコープSは、その本体としての
ハンドピース20の先端部に形成した切欠き溝21に上
記薄型板状ミラーユニット10の支持棒12をスライド
嵌合させるようになっており、これにより、薄型板状ミ
ラーユニット10はハンドピース20に対して取外し可
能に、従ってこのユニットが交換可能なように構成され
る。なお、ハンドピース20の中央内部には拡大レンズ
Eが配置され、ハンドピース20の接眼部23には、焦
点調節用のフォーカス調節リング24が取り付けられて
いる。
【0016】ここで、薄型板状ミラーユニット10の支
持棒12をハンドピース20の切欠き溝21に挿入して
スライド嵌合させると、図3に示すように、切欠き溝2
1内に突出し得るボールプランジャー22により、薄型
板状ミラーユニット10がその中心位置で位置決めセッ
トされる。この場合、薄型板状ミラーユニット10の支
持棒12の中心位置に位置決め溝14を予め凹設してお
き、ボールプランジャー22のバネ22aに押圧された
ボール22bをこの位置決め溝14と係合させることに
より、ハンドピース20に適正に位置決めすることがで
きる。
【0017】図4〜図6は、上述したルーペ式のマイク
ロスコープにおいて、それぞれ角度を90°変更した図
2の縦断面図である。このマイクロスコープの照明用光
源は自然光を利用しており、図4に示すように、接眼部
23から入射した照明用の光L1 は薄型板状ミラー11
のテーパ面11aに当たって反射して先端の鋭角に形成
したミラー面11bに集光し、そこから出射して観察対
象物を効率良く照明する。照明された映像光L2 は再び
ミラー面11bを経てレンズEを通して接眼部23へ達
し、フォーカス調節リング24にてピント合わせするこ
とにより、拡大された観察対象物を観察することができ
る。
【0018】図5に示すように、薄型板状ミラーユニッ
ト10の支持棒12は、ハンドピース20の切欠き溝2
1に挿入されて、側方から締め付け具、例えばハンドピ
ース20の先端に螺着したプリズム角度保持用ネジ25
で締付け固定されるようになっている。そして、薄型板
状ミラーユニット10の支持棒12は、図6に示すよう
に、このプリズム角度保持用ネジ25により適宜の角度
範囲αで回転可能であり、これによりミラー面11bの
ハンドピース20に対する傾斜角度が可変となって観察
角度の自由度が大幅に拡大され、狭いスペースや観察し
難い場所でも薄型板状ミラーユニット10で効果的に観
察でき、観察対象物の位置のズレや奥まった場所にある
観察対象物に対しても合焦状態で観察が可能になる。
【0019】図7は上記実施形態のマイクロスコープに
用いる薄型板状ミラーユニット10の斜視図であり、薄
型板状ミラー11と支持棒12とは、例えばガラス或い
は硬質プラスチック材、その他の合成樹脂材で一体成形
されている。ここで、照明光や映像光が屈折等しないよ
う支持棒12の上面中央部分、すなわち薄型板状ミラー
11の上端面11cはフラット面に形成され、また、こ
の上端面11cの両端は、照明光を支持棒12の両端か
ら拡散させず効率良く集光させるため、支持棒12との
間で間隙12aを形成している。そして、薄型板状ミラ
ー11のテーパ面11aはその上端面11c側から先端
のミラー面11bに向かって先細に形成し、集光性能を
向上させている。これにより、受発光手段の光を薄型板
状ミラー11から効率よく出射させ、観察対象物から受
光した映像光を効率よく受発光手段に導くことができ
る。薄型板状ミラーユニット10をこのように構成する
ことにより、合成樹脂材等で一体成形することができる
ので、精度が安定すると共に、製造コストが低廉とな
る。
【0020】なお、図示を省略するが、薄型板状ミラー
ユニット10を上記したような一体構成とすることなく
別体に構成し、例えば金属又はプラスチック等の不透明
材料で支持棒12を形成して中央に貫通孔を設け、ガラ
スやアクリル樹脂等の透明材料で形成したテーパ状の薄
型板状ミラー11の上端面11cをこの貫通孔に嵌着し
て接着等するようにしてもよい。両部材を別体構成する
場合は、両部材の接合の精度が要求されるが、光のロス
を少なくし得るメリットがある。
【0021】図8〜図10は、マイクロスコープのハン
ドピースに照明装置を組み込んだ照明装置付きマイクロ
スコープの実施形態を示している。この第2の実施形態
によれば、マイクロスコープに照明装置を組み込むこと
により観察対象物を積極的に照明して鮮明な映像を得る
ことができる。図8において、バッテリーを収容した電
池ボックス26がハンドピース20の側面から横方向に
突出していると共に、ハンドピース20内には、図9及
び図10に示すように光源用プリント基板31と、この
プリント基板31に実装した、例えば並列して2つの発
光素子から成る照明用ランプ32,32とが内蔵されて
いる。各照明用ランプ32,32は、ハンドピース20
内に形成した照明用の貫通孔28,28に嵌挿されて薄
型板状ミラー11の上端面11cの各端部領域に近接し
て対向配置されている。また、このハンドピース20内
の中心部には、映像用の受光孔27が薄型板状ミラー1
1の上端面11cの中心から光学系Eに至るよう形成さ
れている。なお、上記電池ボックス26は本マイクロス
コープの使用時に把持部として兼用し得る形状とすれば
有利である。
【0022】本実施形態のマイクロスコープを使用する
場合、図示しないスイッチにて電池ボックス26内のバ
ッテリーからの給電により照明用ランプ32,32とし
ての発光ダイオードを発光させると、図9に示すように
照明光L1 が出射する。出射した照明光L1 は薄型板状
ミラー11の両端部から入射してそのテーパ面11aで
反射され、先端のミラー面11bに集光して観察対象物
を効率良く照明する。照明された映像光L2 は再びミラ
ー面11bを経てハンドピース20の映像用の受光孔2
7を通り、レンズEを通して接眼部23へ達し、フォー
カス調節リング24にてピント合わせすることにより、
拡大された観察対象物を観察することができる。本実施
形態のマイクロスコープによれば、照明用ランプ32,
32からの照明により観察対象物が直接照明されるの
で、極めて鮮明な映像を観察することができ、とくに高
倍率時や暗所での観察に効果的である。
【0023】図9に示す実施形態では、照明用ランプ3
2,32としての発光ダイオードをハンドピース20内
に並列して垂直に配置しているので、ハンドピース20
を小径に形成することができる。これに代えて、図11
に示すように、照明用ランプ32,32を薄型板状ミラ
ー11のテーパ面11aに沿って斜めに配置してもよ
い。この場合は照明光の大部分を観察対象物まで直接出
射できるので、光量のロスが少ないものの、垂直配置に
比してハンドピース20がやや大径となる。
【0024】次に、図12及び図13を参照して本発明
の第3の実施形態を説明する。第3の実施形態は、マイ
クロスコープに小型電荷結合素子カメラを組み込むこと
により、電荷結合素子型ビデオマイクロスコープとして
ビデオ映像を得るようにしたものである。図12はこの
電荷結合素子型ビデオマイクロスコープの正面から見た
概略断面図であり、図13は概略側断面図である。この
電荷結合素子型ビデオマイクロスコープ100は、小型
電荷結合素子(CCD)カメラ111と複数のレンズ1
13を適宜組み合わせた光学系114と、光学系の焦点
を調節するフォーカス調節機構115と、光学系114
に光軸を合わせて所定位置に設けられた受光孔116を
有し照明用光源117の例えば発光ダイオードを実装し
た光源用プリント基板118と、このプリント基板に実
装した発光ダイオードを嵌挿する照明用の貫通孔12
1,121及び映像用の受光孔123を有する樹脂材1
20と、この樹脂材120に取り付けられた薄型板状ミ
ラーユニット130とを内蔵するハンディタイプのハン
ドピース112とを備えている。
【0025】樹脂材120はハンドピース内部に配設さ
れた光源用プリント基板118に密接してハンドピース
112の円筒状先端から嵌装されている。なお、図13
中、129は薄型板状ミラーユニット130の支持棒1
32を締め付けるプリズム角度保持用ネジを示し、矢印
1 ,L2 はそれぞれ照明光及び受光を示す。なお、こ
の樹脂材120と、樹脂材に設けた貫通孔121,12
1及び受光孔116と、照明光の光源である照明用光源
117とで受発光手段を構成する。
【0026】薄型板状ミラーユニット130は、前記第
1及び第2の実施形態の薄型板状ミラーユニットと同様
の構成であり、樹脂材120の切欠き溝に薄型板状ミラ
ー131を備えた支持棒132をスライド嵌合させるよ
うになっており、これにより薄型板状ミラーユニット1
30は自由に取り外して交換可能に構成される。上記薄
型板状ミラー131は、先端側の幅が狭くなるように、
すなわち典型的には先端側が上端面131c側から先細
にテーパ面131aとして形成され、先端の端面が鋭
角、例えば45°の傾斜度をもったミラー面131bと
して形成されている。そして、薄型板状ミラー131の
上端面131cの上端面の両端付近に照明用光源117
が配置される。
【0027】ここで、光学系114の焦点を調節するフ
ォーカス調節機構115は、図14に示すように、例え
ばハンドピース112に上下に設けたスリット112a
からピン又は摘み101を挿通して光学系114を装着
したフォーカス調節機構115に固着し、ピン又は摘み
101をスリット112aに沿って上下動させることに
より、フォーカスが自由に調節できるようになってい
る。
【0028】または、図15に示すように、ハンドピー
ス112に斜めに湾曲したスリット112a′を形成す
ると共に、フォーカス調節機構115に縦方向にスリッ
ト115aを形成し、これらのスリット112a′,1
15aからピン又は摘み101を挿通して光学系114
に固着し、ピン又は摘み101をスリット112a′,
115aに沿って上下動させて光学系114を回転移動
させることにより、フォーカスを調整してもよい。な
お、このようなフォーカス調整機構は上記した第1及び
第2の実施態様のマイクロスコープにも適用し得ること
は勿論である。
【0029】この電荷結合素子型ビデオマイクロスコー
プによれば、マイクロスコープに小型電荷結合素子カメ
ラを組み込むことによりモニターと接続してビデオ映像
を得ることができると共に、照明用光源117も組み込
まれているので、観察対象物の明るく鮮明な画像を観察
することができる。
【0030】次に、第1乃至第3実施形態の作用及び使
用方法について説明する。図16は本発明のマイクロス
コープSの使用形態を示す概略図である。例えばBGA
3の半田ボール4の半田状況を検査するとき、図16に
示すようにマイクロスコープSの薄型板状ミラーMを基
板2上に垂直にたてて照明光をあてる。このとき、薄型
板状ミラーMはミラー面M2 が鋭角であり、しかも薄型
板状ミラーMを垂直にして照明光をあてるので、数百ミ
クロン程度の半田ボール4の下端まで全域に渡って照明
できる。また照明光は薄型板状ミラーMがガイドしてき
た拡散光であるため、半田ボール4からの映像光はフレ
アのない光であり鮮明な映像を得ることができる。また
図17に示すように、薄型板状ミラーM自体が小さく垂
直にして検査可能であるため、きわめて狭いところにあ
る非検査物体Aでも検査が可能である。
【0031】また、図18(a)及び(b)に示すよう
に、人体などの皮膚、皮丘及び皮脂腺などが、従来のビ
デオマイクロスコープのようにななめにしなくても、本
発明のマイクロスコープS、とくに電荷結合素子型ビデ
オマイクロスコープを垂直にして検査することができる
ので、斜め映像を容易に観ることができる。また図18
(b)の矢印で示すように、本発明の電荷結合素子型ビ
デオマイクロスコープSを傾けることにより様々な部位
を容易に観ることができる。
【0032】さらに、本発明によれば、薄型板状ミラー
Mの先端側の幅が狭くなるようにテーパ面M1 が形成さ
れると共に、その先端に鋭角度でミラー面M2 が形成さ
れているため、本マイクロスコープを図19(a)に示
すように被写体Aの正面至近位置に配設することができ
る。これにより照明光の出射口と被写体Aの距離Lを短
くし、この結果、光量落ちがなく高い照度で被写体A全
体を正面からきわめて効率よく照明することができる。
【0033】なお、図19(b)は比較例として先細で
ない(ストレート形状)板状ミラーM′と被写体Aの配
置関係を示している。この場合、板状ミラーM′の照明
光の出射口と被写体Aの距離L′が長くなる。
【0034】また、図20に示すように、スペースの制
約を受けながら観察する場合でも、被写体(たとえば、
BGAやCSPのはんだ部等)Aに対してとり得る角度
αを大きく確保することができる。つまり被写体Aを色
々な角度姿勢で観察することができ、観察角度の自由度
が大幅に拡大される。このようにすることで、たとえば
奥まった場所にある被写体A′に対しても合焦状態で観
察が可能になる。なお、上述したものと同様な比較例と
しての板状ミラーM′の場合には、幅広なために被写体
Aに対してとり得る角度βが制限される。そのため、奥
まった場所にある被写体A′に対しては合焦状態で観察
することができない。
【0035】上記実施形態で説明した具体的な数値例、
或いは利用分野などは、本発明の範囲を限定するもので
はなく、必要に応じて適宜変更可能である。また、薄型
板状ミラーMおよびその支持構造を、支持棒とミラーと
をユニット化したもので説明したが、ハンドピースの先
端にスリワリ等の切り込みを形成して、薄型板状ミラー
Mを直接このスリワリ等の切り込みに嵌着することもで
きることは勿論である。
【0036】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、この
発明の電荷結合素子型ビデオマイクロスコープ又はビデ
オと接続しない簡易型のマイクロスコープのいずれのも
のも、視野が広く、きわめて狭いスペースでも横方向の
観察が可能な廉価なマイクロスコープを提供することが
できる。またとくに、本発明によれば、ミラー面を小型
に形成できるので被写体の正面至近位置に配置すること
ができ、これにより照明光の出射口と被写体の距離を短
くし、この結果、光量落ちがなく高い照度で被写体全体
を正面からきわめて効率よく照明することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光学系とテーパ状に先細に形成し
た薄型板状ミラーの配置関係を示す原理構成図である。
【図2】本発明の第1実施形態に係るマイクロスコープ
をルーペとして用いる例の斜視図である。
【図3】第1実施形態に係る薄型板状ミラーユニットの
ハンドピースへの取付状態を示す斜視図である。
【図4】第1実施形態に係るマイクロスコープ(ルー
ペ)の正面から見た縦断面図である。
【図5】第1実施形態に係るマイクロスコープ(ルー
ペ)の側面から見た縦断面図である。
【図6】第1実施形態に係るマイクロスコープ(ルー
ペ)の薄型板状ミラーユニットの角度調節を説明する縦
断面図である。
【図7】第1実施形態に係るマイクロスコープ(ルー
ペ)の薄型板状ミラーユニットの構成を示す斜視図であ
る。
【図8】本発明の第2実施形態に係る照明装置付きマイ
クロスコープの斜視図である。
【図9】第2実施形態に係る照明装置付きマイクロスコ
ープの正面から見た縦断面図である。
【図10】第2実施形態に係る照明装置付きマイクロス
コープの側面から見た縦断面図である。
【図11】第2実施形態に係る照明装置付きマイクロス
コープの変形例を示す断面図である。
【図12】この発明の第3実施形態に係る電荷結合素子
型ビデオマイクロスコープの正面から見た縦断面図であ
る。
【図13】図12の電荷結合素子型ビデオマイクロスコ
ープの側面から見た縦断面図である。
【図14】この発明のマイクロスコープのフォーカス調
節機構の一例を示す分解斜視図である。
【図15】この発明のマイクロスコープのフォーカス調
節機構の他の例を示す分解斜視図である。
【図16】この発明のマイクロスコープの使用形態を示
す概略図である。
【図17】この発明のマイクロスコープを穴状の非検査
対象に適用した使用例を示す図である。
【図18】この発明のマイクロスコープの使用形態を示
す概略図で、(a)は人体の皮膚を検査する例、(b)
は検査形態を示す概略図である。
【図19】(a)はこの発明のマイクロスコープに係る
先細の薄型板状ミラーの作用を示す上面図、(b)は比
較例の作用を示す上面図である。
【図20】この発明のマイクロスコープに係る先細の薄
型板状ミラーの作用と従来例のミラーの作用とを比較し
て示す上面図である。
【図21】従来例におけるBGAの半田状況を観察する
概略図であり、(a)はミラーによる観察、(b)はプ
リズムによる観察の例図である。
【符号の説明】
S マイクロスコープ E 光学系 M 薄型板状ミラー M1 薄型板状ミラーのテーパ面 M2 薄型板状ミラーのミラー面 L1 照明光 L2 映像光 10,130 薄型板状ミラーユニット 11,131 薄型板状ミラー 11a,131a 薄型板状ミラーのテーパ面 11b,131b 薄型板状ミラーのミラー面 11c,131c 薄型板状ミラーの上端面 12,132 支持棒 12a 間隙 13 長穴 20,112 ハンドピース 21 切欠き溝 22 ボールプランジャー 23 接眼部 24 フォーカス調節リング 25,129 プリズム角度保持用ネジ 26 電池ボックス 27,116 受光孔 31,118 プリント基板 28,121 貫通孔 32,117 照明用ランプ 100 電荷結合素子型ビデオマイクロスコープ 111 CCDカメラ 114 光学系 115 フォーカス調節機構 120 樹脂材
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成12年5月22日(2000.5.2
2)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0008
【補正方法】変更
【補正内容】
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の発明のマイクロスコープは、薄型板
状ミラーを備え、この薄型板状ミラーの先端側の幅が狭
くなるように形成すると共に、その先端に鋭角度でミラ
ー面を形成し、薄型板状ミラーが照明光をガイドしてミ
ラー面で反射して出射し、反射して戻ってきた映像光を
上記ミラー面で反射しガイドするようにしたことを特徴
としている。前記薄型板状ミラーの先端側は、好ましく
はテーパ状に先細に形成され、さらに好ましくは、その
上端部は支持棒を介して支持される。前記薄型板状ミラ
ーは、好ましくは支持棒と一体構成されている。前記支
持棒は、ハンドピースに対して取外し可能、かつ回転可
能であり、好ましくは支持棒を所定角度に固定するため
の締付具を備えている。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0009
【補正方法】変更
【補正内容】
【0009】請求項7記載のマイクロスコープは、照明
光及び映像光の受発光手段と、この受発光手段に設けた
薄型板状ミラーと、この薄型板状ミラーの先端側の幅が
狭くなるように形成すると共に、この先端に鋭角度で形
成したミラー面とを備え、薄型板状ミラーが照明光をガ
イドしてミラー面で反射して出射し、反射して戻ってき
た映像光をミラー面で反射しガイドするようにしたこと
を特徴とする。また、請求項8記載のマイクロスコープ
は、照明光の光源を内蔵する貫通孔と映像光の受光孔と
を分離して設けた受発光手段と、この受発光手段の貫通
孔及び受光孔に対して密接かつ密閉して設けた薄型板状
ミラーと、この薄型板状ミラーの先端側の幅が狭くなる
ように形成すると共に、その先端に鋭角度で形成したミ
ラー面とを備えていて、薄型板状ミラーが照明光をガイ
ドして上記ミラー面で反射して出射し、反射して戻って
きた映像光を上記ミラー面で反射しガイドするようにし
ている。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 薄型板状ミラーを備え、この薄型板状ミ
    ラーの先端側の幅が狭くなるように形成すると共に、該
    先端に鋭角度でミラー面を形成した、マイクロスコー
    プ。
  2. 【請求項2】 前記薄型板状ミラーは、テーパ状に先細
    に形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の
    マイクロスコープ。
  3. 【請求項3】 前記薄型板状ミラーは、その基端部に支
    持棒を介して支持されることを特徴とする、請求項1又
    は2に記載のマイクロスコープ。
  4. 【請求項4】 前記薄型板状ミラーは、その基端部に一
    体構成された支持棒を介して支持されることを特徴とす
    る、請求項3に記載のマイクロスコープ。
  5. 【請求項5】 前記支持棒は、ハンドピースに対して取
    外し可能、かつ回転可能であることを特徴とする、請求
    項3又は4に記載のマイクロスコープ。
  6. 【請求項6】 前記支持棒を所定角度に固定するための
    締付具を備えたことを特徴とする、請求項3〜5のいず
    れかに記載のマイクロスコープ。
  7. 【請求項7】 照明光及び映像光の受発光手段と、この
    受発光手段に設けた薄型板状ミラーと、この薄型板状ミ
    ラーの先端側の幅が狭くなるように形成すると共に、該
    先端に鋭角度で形成したミラー面とを備える、マイクロ
    スコープ。
  8. 【請求項8】 照明光の光源を内蔵する貫通孔と映像光
    の受光孔とを分離して設けた受発光手段と、この受発光
    手段の貫通孔及び受光孔に対して密接かつ密閉して設け
    た薄型板状ミラーと、この薄型板状ミラーの先端側の幅
    が狭くなるように形成すると共に、該先端に鋭角度で形
    成したミラー面とを備え、 上記薄型板状ミラーが照明光をガイドして上記ミラー面
    で反射して出射し、反射して戻ってきた映像光を上記ミ
    ラー面で反射しガイドするようにしたマイクロスコー
    プ。
  9. 【請求項9】 拡大レンズと前記薄型板状ミラーとを組
    み合わせてルーペとしたことを特徴とする、請求項1に
    記載のマイクロスコープ。
  10. 【請求項10】 小型電荷結合素子カメラの照明光の光
    源を内蔵する貫通孔と映像光の受光孔とを分離して設け
    た受発光手段と、この受発光手段の貫通孔及び受光孔に
    対して密接かつ密閉して設けた薄型板状ミラーと、この
    薄型板状ミラーの先端側の幅が狭くなるように形成する
    と共に、該先端に鋭角度で形成したミラー面とを備え、 上記薄型板状ミラーが照明光をガイドして上記ミラー面
    で反射して出射し、反射して戻ってきた映像光を上記ミ
    ラー面で反射しガイドするようにした電荷結合素子型ビ
    デオマイクロスコープ。
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