JP2001102899A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高次横モードによるスプリアスを抑圧すると共
に、１次の基本モードの抑圧を防止して通過帯域の挿入
損失を防止した弾性表面波装置を提供する。 【解決手段】圧電基板１と、入力用交叉指電極２及び出
力用交叉指電極３と、該入出力交叉指電極２，３間に第
１のグレーティング反射器Ｐと、入出力用交叉指電極
２，３の両側に第２のグレーティング反射器Ｑとを配置
した弾性表面波装置Ａにおいて、第１のグレーティング
反射器Ｐの開口長は入出力交叉指電極２，３の交叉長Ｗ
1よりも小さくし、かつ、第１のグレーティング反射器
Ｐの開口長と同じか若しくはそれ以上にした。
に、１次の基本モードの抑圧を防止して通過帯域の挿入
損失を防止した弾性表面波装置を提供する。 【解決手段】圧電基板１と、入力用交叉指電極２及び出
力用交叉指電極３と、該入出力交叉指電極２，３間に第
１のグレーティング反射器Ｐと、入出力用交叉指電極
２，３の両側に第２のグレーティング反射器Ｑとを配置
した弾性表面波装置Ａにおいて、第１のグレーティング
反射器Ｐの開口長は入出力交叉指電極２，３の交叉長Ｗ
1よりも小さくし、かつ、第１のグレーティング反射器
Ｐの開口長と同じか若しくはそれ以上にした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電基板上に入力
用交叉指電極と出力用交叉指電極を形成した２ポート共
振子型の弾性表面波装置に関する。
用交叉指電極と出力用交叉指電極を形成した２ポート共
振子型の弾性表面波装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の２ポート共振子型の弾性表面波装
置においては、例えば、図５のような電極構造となって
いる。即ち、圧電基板１０の表面に入力用交叉指電極２
０及び出力用交叉指電極３０を、また、入出力用交叉指
電極２０，３０の間に入出力用交叉指電極２０，３０間
で各電極からの電磁波による干渉で発生する直達波を防
止するためのグレーティング反射器６０，７０を、さら
に、入出力用交叉指電極２０，３０の弾性表面波伝搬方
向の両側に弾性表面波のエネルギーを閉じこめるグレー
ティング反射器４０，５０を各々配設していた。
置においては、例えば、図５のような電極構造となって
いる。即ち、圧電基板１０の表面に入力用交叉指電極２
０及び出力用交叉指電極３０を、また、入出力用交叉指
電極２０，３０の間に入出力用交叉指電極２０，３０間
で各電極からの電磁波による干渉で発生する直達波を防
止するためのグレーティング反射器６０，７０を、さら
に、入出力用交叉指電極２０，３０の弾性表面波伝搬方
向の両側に弾性表面波のエネルギーを閉じこめるグレー
ティング反射器４０，５０を各々配設していた。
【０００３】このような弾性表面波装置においては、励
起された弾性表面波がグレーティング反射器４０，５
０，６０，７０で反射して完全にエネルギーを閉じ込め
るために入出力用交叉指電極２０，３０の交叉長Ｗとグ
レーティング反射器４０，５０，６０，７０の開口長Ｗ
0を等しくするか、グレーティング反射器４０，５０，
６０，７０の開口長Ｗ0を交叉長Ｗよりも長くすること
が一般的に行われていた。
起された弾性表面波がグレーティング反射器４０，５
０，６０，７０で反射して完全にエネルギーを閉じ込め
るために入出力用交叉指電極２０，３０の交叉長Ｗとグ
レーティング反射器４０，５０，６０，７０の開口長Ｗ
0を等しくするか、グレーティング反射器４０，５０，
６０，７０の開口長Ｗ0を交叉長Ｗよりも長くすること
が一般的に行われていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た弾性表面波装置の電極構造では、入出力用交叉指電極
２０，３０の交叉長Ｗの方向に1次の横モードのみなら
ず２次以上の高次横モードの振動エネルギーが閉じ込め
られており、この高次横モードの偶数次の振動モードに
おける電荷は、入出力用交叉指電極２０，３０内で相殺
されるが、奇数次の振動モードによる電荷は相殺される
ことがなく、フィルタ特性にスプリアスとして現れると
いう問題点があった。
た弾性表面波装置の電極構造では、入出力用交叉指電極
２０，３０の交叉長Ｗの方向に1次の横モードのみなら
ず２次以上の高次横モードの振動エネルギーが閉じ込め
られており、この高次横モードの偶数次の振動モードに
おける電荷は、入出力用交叉指電極２０，３０内で相殺
されるが、奇数次の振動モードによる電荷は相殺される
ことがなく、フィルタ特性にスプリアスとして現れると
いう問題点があった。
【０００５】かかる問題点を解決するために、入出力用
交叉指電極２０，３０の交叉長Ｗを小さくすると低次横
モードのみ励振され、交叉幅Ｗが大きくすると、複数の
高次横モードが励振されるという特性を利用して、でき
る限り、交叉幅Ｗを小さくすることにより、高次横モー
ドをカットオフすることも行われていた。
交叉指電極２０，３０の交叉長Ｗを小さくすると低次横
モードのみ励振され、交叉幅Ｗが大きくすると、複数の
高次横モードが励振されるという特性を利用して、でき
る限り、交叉幅Ｗを小さくすることにより、高次横モー
ドをカットオフすることも行われていた。
【０００６】しかしながら、このような入出力用交叉指
電極２０，３０の交叉長Ｗを小さくすることは、高次横
モードの振動を抑圧するだけでなく１次の基本モードの
振動を抑圧することになり、通過帯域の挿入損失が劣化
するという欠点があった。
電極２０，３０の交叉長Ｗを小さくすることは、高次横
モードの振動を抑圧するだけでなく１次の基本モードの
振動を抑圧することになり、通過帯域の挿入損失が劣化
するという欠点があった。
【０００７】本発明は上述した問題点に鑑みて案出され
たものであり、高次横モードによるスプリアスを抑圧す
ると共に、１次の基本モードの抑圧を防止して通過帯域
の挿入損失を防止した弾性表面波装置を提供することを
目的とする。
たものであり、高次横モードによるスプリアスを抑圧す
ると共に、１次の基本モードの抑圧を防止して通過帯域
の挿入損失を防止した弾性表面波装置を提供することを
目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め本発明の弾性表面波装置は、圧電基板と、該圧電基板
上で電極指が互いに交叉して対向するように設けた入力
用交叉指電極及び出力用交叉指電極と、該入出力交叉指
電極間に所定の開口長を有した第１のグレーティング反
射器と、前記入出力用交叉指電極の弾性表面波伝搬方向
の両側に所定の開口長を有した第２のグレーティング反
射器とを配置した弾性表面波装置において、前記入出力
交叉指電極の交叉長は、前記第２のグレーティング反射
器の開口長よりも小さくし、かつ、第１のグレーティン
グ反射器の開口長と同じか若しくはそれ以上にした構成
とする。
め本発明の弾性表面波装置は、圧電基板と、該圧電基板
上で電極指が互いに交叉して対向するように設けた入力
用交叉指電極及び出力用交叉指電極と、該入出力交叉指
電極間に所定の開口長を有した第１のグレーティング反
射器と、前記入出力用交叉指電極の弾性表面波伝搬方向
の両側に所定の開口長を有した第２のグレーティング反
射器とを配置した弾性表面波装置において、前記入出力
交叉指電極の交叉長は、前記第２のグレーティング反射
器の開口長よりも小さくし、かつ、第１のグレーティン
グ反射器の開口長と同じか若しくはそれ以上にした構成
とする。
【０００９】本発明の構成によれば、入出力交叉指電極
の交叉長を、第２のグレーティング反射器の開口長より
も小さくしたために、高次横モードの振動が入出力用交
叉指電極内で相殺されることになり、これにより、高次
横モードの振動によるスプリアスを防止することができ
る。
の交叉長を、第２のグレーティング反射器の開口長より
も小さくしたために、高次横モードの振動が入出力用交
叉指電極内で相殺されることになり、これにより、高次
横モードの振動によるスプリアスを防止することができ
る。
【００１０】また、入出力交叉指電極の交叉長は、第１
のグレーティング反射器の開口長と同じか若しくはそれ
以上にしたために、通過帯域内の挿入損失を劣化させな
い弾性表面波装置が提供できる。
のグレーティング反射器の開口長と同じか若しくはそれ
以上にしたために、通過帯域内の挿入損失を劣化させな
い弾性表面波装置が提供できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施例について
図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態に
おける２ポート共振子型の弾性表面波装置を説明する平
面図である。図１において弾性表面波装置Ａは、圧電基
板１の主面に、入力用交叉指電極２及び出力用交叉指電
極３が、また、入出力用交叉指電極２，3間に第１のグ
レーティング反射器Ｐが、さらに、入出力用交叉指電極
２，３の両側には第２のグレーティング反射器Qが弾性
表面波の伝搬方向の配設されている。
図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態に
おける２ポート共振子型の弾性表面波装置を説明する平
面図である。図１において弾性表面波装置Ａは、圧電基
板１の主面に、入力用交叉指電極２及び出力用交叉指電
極３が、また、入出力用交叉指電極２，3間に第１のグ
レーティング反射器Ｐが、さらに、入出力用交叉指電極
２，３の両側には第２のグレーティング反射器Qが弾性
表面波の伝搬方向の配設されている。
【００１２】入力用交叉指電極２は互いに噛み合う一対
の櫛歯状電極指２ａ，２ｂからなり、例えば、一方の櫛
歯状電極指２ａは外部回路ｓと接続し、ここより入力信
号を発している。また、他方の櫛歯状電極指２ｂは外部
回路の接地電位tと接続している。なお、櫛歯状電極指
２a，２ｂが弾性表面波伝搬方向で互いに噛み合う交叉
長をＷ1としている。
の櫛歯状電極指２ａ，２ｂからなり、例えば、一方の櫛
歯状電極指２ａは外部回路ｓと接続し、ここより入力信
号を発している。また、他方の櫛歯状電極指２ｂは外部
回路の接地電位tと接続している。なお、櫛歯状電極指
２a，２ｂが弾性表面波伝搬方向で互いに噛み合う交叉
長をＷ1としている。
【００１３】出力用交叉指電極３は互いに噛み合う一対
の櫛歯状電極指３ａ，３ｂからなり、例えば、一方の櫛
歯状電極指２ａは外部回路の接地電位ｕと接続てなる。
また、他方の櫛歯状電極指３ｂは外部回路vと接続し、
ここから弾性表面波による出力信号を発している。な
お、櫛歯状電極指３a，３ｂの交叉長は入力用交叉指電
極２と同じ長さとしている。
の櫛歯状電極指３ａ，３ｂからなり、例えば、一方の櫛
歯状電極指２ａは外部回路の接地電位ｕと接続てなる。
また、他方の櫛歯状電極指３ｂは外部回路vと接続し、
ここから弾性表面波による出力信号を発している。な
お、櫛歯状電極指３a，３ｂの交叉長は入力用交叉指電
極２と同じ長さとしている。
【００１４】第１のグレーティング反射器Pは入力側交
叉指電極２に隣接した弾性表面波伝搬方向右側にグレテ
ィング反射器６配置されており、また、グレティング反
射器６の弾性表面波伝搬方向隣にはグレーティング反射
器７が配設されている。なお、各グレーティング反射器
６，７の開口長はＷ2としている。このように、第１の
グレーティング反射器Pは入出力交叉指電極２，３間に
設けられ、主に入出力交叉指電極２，３間で電磁的結合
により生じる直達波を防止するために設けられている。
なお、グレーティング反射器６は入力側の端子とし、グ
レーティング反射器７は出力側の端子としても利用する
ことができる。
叉指電極２に隣接した弾性表面波伝搬方向右側にグレテ
ィング反射器６配置されており、また、グレティング反
射器６の弾性表面波伝搬方向隣にはグレーティング反射
器７が配設されている。なお、各グレーティング反射器
６，７の開口長はＷ2としている。このように、第１の
グレーティング反射器Pは入出力交叉指電極２，３間に
設けられ、主に入出力交叉指電極２，３間で電磁的結合
により生じる直達波を防止するために設けられている。
なお、グレーティング反射器６は入力側の端子とし、グ
レーティング反射器７は出力側の端子としても利用する
ことができる。
【００１５】第２のグレーティング反射器Qは入力側交
叉指電極４の弾性表面波伝搬方向と逆側に隣接したグレ
ーティング反射器４と出力用交叉指電極５の弾性表面波
伝搬方向に隣接したグレーティング反射器５で構成され
ている。各グレーティング反射器４，５間で入出力交叉
指電極２，３からの振動エネルギーを閉じ込めるように
作用する。なお、各グレーティング反射器４，５の開口
長はＷ3としている。
叉指電極４の弾性表面波伝搬方向と逆側に隣接したグレ
ーティング反射器４と出力用交叉指電極５の弾性表面波
伝搬方向に隣接したグレーティング反射器５で構成され
ている。各グレーティング反射器４，５間で入出力交叉
指電極２，３からの振動エネルギーを閉じ込めるように
作用する。なお、各グレーティング反射器４，５の開口
長はＷ3としている。
【００１６】ここで、入出力用交叉指電極３，４の開口
長Ｗ1は、グレーティング反射器４，５の開口長Ｗ3より
も小さくし、第１のグレーティング反射器６，7の開口
長Ｗ 2と等しいかそれ以上に形成していることが本発明
の特徴である。上述の圧電基板１は所定カット角、所定
伝搬方向となるように切断処理された水晶、ニオブ酸リ
チウム、タンタル酸リチウム、四ホウ酸リチウム、さら
に、所定伝搬方向となるように分極処理されたＰＺＴ
（チタン酸ジルコン酸鉛）、ＰＺ（ジルコン酸鉛）等か
ら成る。
長Ｗ1は、グレーティング反射器４，５の開口長Ｗ3より
も小さくし、第１のグレーティング反射器６，7の開口
長Ｗ 2と等しいかそれ以上に形成していることが本発明
の特徴である。上述の圧電基板１は所定カット角、所定
伝搬方向となるように切断処理された水晶、ニオブ酸リ
チウム、タンタル酸リチウム、四ホウ酸リチウム、さら
に、所定伝搬方向となるように分極処理されたＰＺＴ
（チタン酸ジルコン酸鉛）、ＰＺ（ジルコン酸鉛）等か
ら成る。
【００１７】また、入出力交叉指電極２，３、グレーテ
ィング反射器４，５，６，７は、例えば、アルミニウム
薄膜からなり、その厚みは０．１〜１μmで所定のパタ
ーンに被着形成されている。また、各一対の櫛歯状電極
指２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂの電極指幅及び間隔は、例え
ば、弾性表面波の波長λに対して１／４λとなってい
る。
ィング反射器４，５，６，７は、例えば、アルミニウム
薄膜からなり、その厚みは０．１〜１μmで所定のパタ
ーンに被着形成されている。また、各一対の櫛歯状電極
指２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂの電極指幅及び間隔は、例え
ば、弾性表面波の波長λに対して１／４λとなってい
る。
【００１８】次に本発明の弾性表面波装置Ａにおける動
作について図１，２を用いて説明する。本発明の弾性表
面波装置Ａは、外部回路ｓを通じて入力用交叉指電極２
の櫛歯状電極指２ａに入力された信号が、圧電作用によ
り励振された弾性表面波がグレーティング反射器６，７
を介して櫛歯状電極指２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂと垂直な
圧電基板１の表面上の方向に伝搬して出力用交叉指電極
３まで至り、これにより生じた弾性表面波は、グレーテ
ィング反射器４，５間で振動エネルギーが外部に漏れず
に閉じこめられることになる。
作について図１，２を用いて説明する。本発明の弾性表
面波装置Ａは、外部回路ｓを通じて入力用交叉指電極２
の櫛歯状電極指２ａに入力された信号が、圧電作用によ
り励振された弾性表面波がグレーティング反射器６，７
を介して櫛歯状電極指２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂと垂直な
圧電基板１の表面上の方向に伝搬して出力用交叉指電極
３まで至り、これにより生じた弾性表面波は、グレーテ
ィング反射器４，５間で振動エネルギーが外部に漏れず
に閉じこめられることになる。
【００１９】そして、出力用交叉指電極３に弾性表面波
が入射すると、その弾性表面波の振幅に比例した電圧が
出力用交叉指電極に発生し、所定のフィルタ特性に応じ
た信号が櫛歯状電極指３ｂから抽出されて外部回路ｖよ
り出力される。
が入射すると、その弾性表面波の振幅に比例した電圧が
出力用交叉指電極に発生し、所定のフィルタ特性に応じ
た信号が櫛歯状電極指３ｂから抽出されて外部回路ｖよ
り出力される。
【００２０】この場合、図２（ａ）に示すように、入出
力用交叉指電極２，３の交叉長Ｗ1を第２のグレーティ
ング反射器Ｐの開口長Ｗ2よりも小さくし場合には、１
次の横モード分布における励振領域２１はそのままで、
高次横モードの奇数次横モード分布において励振領域２
２が正負の両領域で存在するようになるため、正（＋）
領域と負（−）領域の振動が相殺しあい、奇数次横モー
ドの励振領域２２は抑圧されることになる。
力用交叉指電極２，３の交叉長Ｗ1を第２のグレーティ
ング反射器Ｐの開口長Ｗ2よりも小さくし場合には、１
次の横モード分布における励振領域２１はそのままで、
高次横モードの奇数次横モード分布において励振領域２
２が正負の両領域で存在するようになるため、正（＋）
領域と負（−）領域の振動が相殺しあい、奇数次横モー
ドの励振領域２２は抑圧されることになる。
【００２１】しかしながら、入出力用交叉指電極２，３
の交叉長Ｗ1を第２のグレーティング反射器Ｑの開口長
Ｗ3と等しくした場合には、図２（ｂ）に示すように高
次の横モード分布における励振領域２２は負（−）領域
の振動が残ることになる。この励振領域２２がスプリア
スとして外部回路ｖに現れることになる。
の交叉長Ｗ1を第２のグレーティング反射器Ｑの開口長
Ｗ3と等しくした場合には、図２（ｂ）に示すように高
次の横モード分布における励振領域２２は負（−）領域
の振動が残ることになる。この励振領域２２がスプリア
スとして外部回路ｖに現れることになる。
【００２２】一方、入出力用交叉指電極２，３の交叉長
Ｗ1を第２のグレーティング電極Ｑの開口長Ｗ3よりもさ
らに小さくした場合には高次横モードの振動が抑圧でき
て不要なスプリアスを抑制することができるが、本発明
の良好な実施形態として第１のグレーティング反射器Ｐ
の開口長Ｗ2と等しいかそれ以上とする方が良い。これ
により、１次の横モードの振動が抑圧されることなく、
通過帯域の挿入損失が劣化するのを防止できる。
Ｗ1を第２のグレーティング電極Ｑの開口長Ｗ3よりもさ
らに小さくした場合には高次横モードの振動が抑圧でき
て不要なスプリアスを抑制することができるが、本発明
の良好な実施形態として第１のグレーティング反射器Ｐ
の開口長Ｗ2と等しいかそれ以上とする方が良い。これ
により、１次の横モードの振動が抑圧されることなく、
通過帯域の挿入損失が劣化するのを防止できる。
【００２３】従って、奇数次横モードの励振領域を相殺
するためには、本発明者が誠意検討の結果、入出力用交
叉指電極２，３の交叉長Ｗ1を、第２のグレーティング
反射器Ｐの開口長Ｗ2よりも小さくすることが良く、さ
らに、通過帯域の挿入損失が劣化するのを防止するため
には第１のグレーティング反射器Ｑの開口長Ｗ2と等し
いか、それ以上とすることが必要であることを見出し
た。
するためには、本発明者が誠意検討の結果、入出力用交
叉指電極２，３の交叉長Ｗ1を、第２のグレーティング
反射器Ｐの開口長Ｗ2よりも小さくすることが良く、さ
らに、通過帯域の挿入損失が劣化するのを防止するため
には第１のグレーティング反射器Ｑの開口長Ｗ2と等し
いか、それ以上とすることが必要であることを見出し
た。
【００２４】
【実施例】次に本発明の作用効果を確認するために、図
１の構造において本発明の実施例を示す。圧電基板１と
しては２７．５°ＳＴカットの水晶基板を用い、その表
面に入力用交叉指電極２、出力用交叉指電極３、第２の
グレーティング反射器４，５，第１のグレーティング反
射器６，７を弾性表面波伝搬方向に沿って形成した。こ
れにより、中心周波数３６０ＭＨｚの２ポート共振子型
の弾性表面波装置を製作した。入力用交叉指電極２、出
力用交叉指電極３、第２のグレーティング反射器４，
５，第１のグレーティング反射器６，７は、具体的には
圧電基板１に電極材料であるアルミニウムを真空蒸着で
膜厚０．３６μｍで形成した後、フォトプロセスで所定
パターンを形成しＲＩＥ（Reactive Ion Etching）法で
不要部を除去しレジスト剥離して電極を形成した。この
場合、電極指周期Ｌ＝８．５４μｍとし、入出力用交叉
指電極の交叉長Ｗ 1はＷ1＝１４０μｍとした。また、第
２のグレーティング反射器６，７の開口長Ｗ3と第２の
グレーティング反射器４，５の開口長Ｗ2はＷ3＝１３０
μm、Ｗ2＝１８０μｍである。以上の構成で２ポート共
振子型の弾性表面波装置を２素子並列接続したものを２
段縦続接続して実験した結果を図３に示す。
１の構造において本発明の実施例を示す。圧電基板１と
しては２７．５°ＳＴカットの水晶基板を用い、その表
面に入力用交叉指電極２、出力用交叉指電極３、第２の
グレーティング反射器４，５，第１のグレーティング反
射器６，７を弾性表面波伝搬方向に沿って形成した。こ
れにより、中心周波数３６０ＭＨｚの２ポート共振子型
の弾性表面波装置を製作した。入力用交叉指電極２、出
力用交叉指電極３、第２のグレーティング反射器４，
５，第１のグレーティング反射器６，７は、具体的には
圧電基板１に電極材料であるアルミニウムを真空蒸着で
膜厚０．３６μｍで形成した後、フォトプロセスで所定
パターンを形成しＲＩＥ（Reactive Ion Etching）法で
不要部を除去しレジスト剥離して電極を形成した。この
場合、電極指周期Ｌ＝８．５４μｍとし、入出力用交叉
指電極の交叉長Ｗ 1はＷ1＝１４０μｍとした。また、第
２のグレーティング反射器６，７の開口長Ｗ3と第２の
グレーティング反射器４，５の開口長Ｗ2はＷ3＝１３０
μm、Ｗ2＝１８０μｍである。以上の構成で２ポート共
振子型の弾性表面波装置を２素子並列接続したものを２
段縦続接続して実験した結果を図３に示す。
【００２５】これより、通過帯域外の阻止域(高周波側)
で高次横モードによる不要なスプリアス（図３ではａ、
ｂ）を抑制でき良好な特性が得られた。
で高次横モードによる不要なスプリアス（図３ではａ、
ｂ）を抑制でき良好な特性が得られた。
【００２６】比較例１として入出力用交叉指電極２，３
の開口長Ｗ1を第１のグレーティング反射器６，７の開
口長Ｗ2と第２のグレーティング反射器４，５の開口長
Ｗ3を等しくした以外は実施例と同じ構成で実験した。
その結果を図４に示す。これより通過帯域外の高周波側
に高次横モードに起因する不要なスプリアス（図４では
ｃ、ｄ）が生じ、実用には不適な特性であった。
の開口長Ｗ1を第１のグレーティング反射器６，７の開
口長Ｗ2と第２のグレーティング反射器４，５の開口長
Ｗ3を等しくした以外は実施例と同じ構成で実験した。
その結果を図４に示す。これより通過帯域外の高周波側
に高次横モードに起因する不要なスプリアス（図４では
ｃ、ｄ）が生じ、実用には不適な特性であった。
【００２７】
【発明の効果】本発明の構成によれば、入出力用交叉指
電極間に第１のグレーティング反射器を配置し、入出力
交叉指電極の両側に第２のグレーティング反射器を配設
する構造において、入出力交叉指電極の交叉長は、前記
第２のグレーティング反射器の開口長よりも小さくした
構成としたために、１次横モード以外の高次横モードの
振動が入出力用交叉指電極内で相殺されることになり、
これにより、高次横モードの振動によるスプリアスを防
止することができる。
電極間に第１のグレーティング反射器を配置し、入出力
交叉指電極の両側に第２のグレーティング反射器を配設
する構造において、入出力交叉指電極の交叉長は、前記
第２のグレーティング反射器の開口長よりも小さくした
構成としたために、１次横モード以外の高次横モードの
振動が入出力用交叉指電極内で相殺されることになり、
これにより、高次横モードの振動によるスプリアスを防
止することができる。
【００２８】また、入出力交叉指電極の交叉長は、第１
のグレーティング反射器の開口長と同じか若しくはそれ
以上にしたために、通過帯域内の挿入損失を劣化させ
ず、通過帯域内は低損失で阻止域は高減衰の弾性表面波
装置が提供できる。
のグレーティング反射器の開口長と同じか若しくはそれ
以上にしたために、通過帯域内の挿入損失を劣化させ
ず、通過帯域内は低損失で阻止域は高減衰の弾性表面波
装置が提供できる。
【図１】本発明の弾性表面波装置の平面図である。
【図２】本発明の弾性表面波装置において発生する横モ
ードを説明する図である。
ードを説明する図である。
【図３】本発明のフィルタ特性を示す特性図である。
【図４】本発明の比較例のフィルタ特性を示す特性図で
ある。
ある。
【図５】従来の弾性表面波装置を示す平面図である。
Ａ：弾性表面波装置 １：圧電基板 ２：入力用交叉指電極 ３：出力用交叉指電極 Ｐ：第１のグレーティング電極 Ｑ：第２のグレーティング電極 ４〜７：グレーティング反射器
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電基板と、該圧電基板上で電極指が互
いに交叉して対向するように設けた入力用交叉指電極及
び出力用交叉指電極と、該入出力交叉指電極間に所定の
開口長を有した第１のグレーティング反射器と、前記入
出力用交叉指電極の弾性表面波伝搬方向の両側に所定の
開口長を有した第２のグレーティング反射器とを配置し
た弾性表面波装置において、 前記入出力交叉指電極の交叉長は、前記第２のグレーテ
ィング反射器の開口長よりも小さくし、かつ、第１のグ
レーティング反射器の開口長と同じか若しくはそれ以上
にしたことを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28017799A JP4339970B2 (ja) | 1999-09-30 | 1999-09-30 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28017799A JP4339970B2 (ja) | 1999-09-30 | 1999-09-30 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001102899A true JP2001102899A (ja) | 2001-04-13 |
| JP4339970B2 JP4339970B2 (ja) | 2009-10-07 |
Family
ID=17621380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28017799A Expired - Fee Related JP4339970B2 (ja) | 1999-09-30 | 1999-09-30 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4339970B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006238167A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Tdk Corp | 弾性表面波装置、弾性表面波フィルタ及びデュプレクサ |
-
1999
- 1999-09-30 JP JP28017799A patent/JP4339970B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006238167A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Tdk Corp | 弾性表面波装置、弾性表面波フィルタ及びデュプレクサ |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4339970B2 (ja) | 2009-10-07 |
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