JP2001099802A - 液体乃至ペースト状の媒体の基板上への被着を監視する装置 - Google Patents
液体乃至ペースト状の媒体の基板上への被着を監視する装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ２つの電極間の媒体を伴う基板の虚成分を測
定することで、改善された信頼性と改善された測定精度
を与える基板上への液体乃至ペースト状の媒体の被着を
監視する装置を提供する。 【解決手段】 本発明の装置は、基板上への液体乃至ペ
ースト状の媒体の被着を監視し；かつ、基板の表面から
所定のわずかな距離のところに構成されＡＣ電圧を基板
及び媒体に印加する２つの電極がとりつけられた少なく
とも１つのセンサーを含み；基板がセンサーとの関係に
おいて移動し；さらに、センサーに接続されかつ媒体を
伴う基板の特性である信号を出力するテスト電子回路を
含んで成る。
定することで、改善された信頼性と改善された測定精度
を与える基板上への液体乃至ペースト状の媒体の被着を
監視する装置を提供する。 【解決手段】 本発明の装置は、基板上への液体乃至ペ
ースト状の媒体の被着を監視し；かつ、基板の表面から
所定のわずかな距離のところに構成されＡＣ電圧を基板
及び媒体に印加する２つの電極がとりつけられた少なく
とも１つのセンサーを含み；基板がセンサーとの関係に
おいて移動し；さらに、センサーに接続されかつ媒体を
伴う基板の特性である信号を出力するテスト電子回路を
含んで成る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板上への液体乃
至ペースト状の媒質の被着を監視する装置に関する。
至ペースト状の媒質の被着を監視する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】かかる装置については、ドイツ特許文書
第４２１７７３６Ｃ２号に記述されている。この中で、
各電極は、高周波発振回路のコンポーネントであり、電
極間で媒体の相対誘電率の変化が存在するとき周波数変
化を検出するような１つのセンサーである。
第４２１７７３６Ｃ２号に記述されている。この中で、
各電極は、高周波発振回路のコンポーネントであり、電
極間で媒体の相対誘電率の変化が存在するとき周波数変
化を検出するような１つのセンサーである。
【０００３】この設計において、センサーは容量性であ
る。すなわち、それは、高周波発振回路の中にコンデン
サとして挿入される。２つのプローブの間の媒体の種類
に応じて、すなわち空隙が含まれるか、又は条片接着剤
（a strip of glue)の無い基板であるか、或いはさまざ
まな厚みの条片接着剤を伴う基板であるかに応じて、か
かる構成のキャパシタンスは変化する。しかしながら、
システムキャパシタンスは、空隙、接着剤及び紙につい
て数値がかなり異なることを前提とすれば、材料の相対
的比誘電率によって大きく左右される。
る。すなわち、それは、高周波発振回路の中にコンデン
サとして挿入される。２つのプローブの間の媒体の種類
に応じて、すなわち空隙が含まれるか、又は条片接着剤
（a strip of glue)の無い基板であるか、或いはさまざ
まな厚みの条片接着剤を伴う基板であるかに応じて、か
かる構成のキャパシタンスは変化する。しかしながら、
システムキャパシタンスは、空隙、接着剤及び紙につい
て数値がかなり異なることを前提とすれば、材料の相対
的比誘電率によって大きく左右される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、システ
ムキャパシタンスの典型的な変化はまた周波数も同様に
変化させ、例えば基板が条片接着剤を含むか否かの決定
を可能にする。基板上への液体乃至ペースト状の媒体の
被着を監視する既知の装置は、その働きを充分に果たし
ている。しかしながら、一部のケースでは機能不良が存
在しうる。ドイツ特許文書第４, ２１７, ７３６Ｃ２号
の既知の装置に基づいて、本発明の目的は、改善された
信頼性及びより高い測定精度を提供するクレーム１の序
文に規定された装置を作り上げることにある。
ムキャパシタンスの典型的な変化はまた周波数も同様に
変化させ、例えば基板が条片接着剤を含むか否かの決定
を可能にする。基板上への液体乃至ペースト状の媒体の
被着を監視する既知の装置は、その働きを充分に果たし
ている。しかしながら、一部のケースでは機能不良が存
在しうる。ドイツ特許文書第４, ２１７, ７３６Ｃ２号
の既知の装置に基づいて、本発明の目的は、改善された
信頼性及びより高い測定精度を提供するクレーム１の序
文に規定された装置を作り上げることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この問題は、該装置が２
つの電極間の媒体を伴う基板の誘電率の虚成分を測定
し、テスト電子部品が特性信号を決定するのにこのテス
ト値を使用する、クレーム１の特長を用いた本発明によ
って解決される。
つの電極間の媒体を伴う基板の誘電率の虚成分を測定
し、テスト電子部品が特性信号を決定するのにこのテス
ト値を使用する、クレーム１の特長を用いた本発明によ
って解決される。
【０００６】誘電率すなわち比誘電率が複合値であるこ
と、すなわち実成分と虚成分を含んでいることが、本発
明の着眼するところである。さらに、実験によると、本
書の有意な材料特に厚紙、台紙等の上の条片接着剤の中
で使用されるような液体乃至ペースト状の接着剤に関し
て、誘電率の虚成分が実成分に比べ大きく、時としてケ
タ違いに大きくなるということが立証されている。
と、すなわち実成分と虚成分を含んでいることが、本発
明の着眼するところである。さらに、実験によると、本
書の有意な材料特に厚紙、台紙等の上の条片接着剤の中
で使用されるような液体乃至ペースト状の接着剤に関し
て、誘電率の虚成分が実成分に比べ大きく、時としてケ
タ違いに大きくなるということが立証されている。
【０００７】このような実験上の発見事実に基づき、本
発明は、誘電率の虚成分の値が数字的に大きいことを考
慮して、この虚成分の測定がテスト対象材料の性質を決
定する際により単純かつより信頼性の高いものを提供す
るという結論に達した。
発明は、誘電率の虚成分の値が数字的に大きいことを考
慮して、この虚成分の測定がテスト対象材料の性質を決
定する際により単純かつより信頼性の高いものを提供す
るという結論に達した。
【０００８】適切な公式の導出について以下で簡単に論
述する。さらなる詳細は、「Frequenz-Zugang der Komp
lexen Permittivitat 」, FH Duesseldolf〔ドイツ〕La
borWerkstoffkunde, １９９８年９月，ｐ１〜１４の記
事の中に見られる。
述する。さらなる詳細は、「Frequenz-Zugang der Komp
lexen Permittivitat 」, FH Duesseldolf〔ドイツ〕La
borWerkstoffkunde, １９９８年９月，ｐ１〜１４の記
事の中に見られる。
【０００９】誘電材料が交番電界内にあるときに指摘さ
れる個々の微視的効果は、複合誘電率により最もうまく
記述される：ε r ＝εr ’−ｊεr ” なお式中、εr ’は、誘電率ε r の実成分、εr ”は虚
成分である。
れる個々の微視的効果は、複合誘電率により最もうまく
記述される：ε r ＝εr ’−ｊεr ” なお式中、εr ’は、誘電率ε r の実成分、εr ”は虚
成分である。
【００１０】この値に影響を及ぼす特定の微視的現象に
ついては、ここでは説明しない。基本的に、これらには
整列効果、イオン及び電子分極の効果が含まれる。誘電
率及びその両方の成分は、周波数に大きく依存する。ε
r ”という項は誘電損失を説明し、従ってそれは接着剤
によって吸収されるエネルギーの尺度である。
ついては、ここでは説明しない。基本的に、これらには
整列効果、イオン及び電子分極の効果が含まれる。誘電
率及びその両方の成分は、周波数に大きく依存する。ε
r ”という項は誘電損失を説明し、従ってそれは接着剤
によって吸収されるエネルギーの尺度である。
【００１１】これらの誘電損失は抵抗熱損失のようにふ
るまう。この事実はまた、いわゆる損失正接によって表
現できる： ｔａｎδ＝εr ”／εr ’
るまう。この事実はまた、いわゆる損失正接によって表
現できる： ｔａｎδ＝εr ”／εr ’
【００１２】図１及び図２はこのことを示している。図
１は、実損のあるコンデンサの等価回路を図式的に示し
ている。交流電圧Ｕを印加すると電流ｌがコンデンサの
中に流れる。この電流は２つの部分すなわち理想的コン
デンサ内に流れる電流Ｉ c とそれと並列にコンデンサ内
の熱として誘電損失を示す抵抗器を通る損失電流Ｉ vと
を含む。
１は、実損のあるコンデンサの等価回路を図式的に示し
ている。交流電圧Ｕを印加すると電流ｌがコンデンサの
中に流れる。この電流は２つの部分すなわち理想的コン
デンサ内に流れる電流Ｉ c とそれと並列にコンデンサ内
の熱として誘電損失を示す抵抗器を通る損失電流Ｉ vと
を含む。
【００１３】図２は、２つの成分すなわち損失ある電流
及び理想化されたコンデンサを通る電流のダイヤグラム
であり、これらの成分が加算されたものが実際のコンデ
ンサを通る合計電流を表わす。
及び理想化されたコンデンサを通る電流のダイヤグラム
であり、これらの成分が加算されたものが実際のコンデ
ンサを通る合計電流を表わす。
【００１４】等価回路から、以下のことがわかる。 Ｙ＝Ｇ＋ｊωＣ なお式中、Ｙはアドミタンス、Ｇは散逸性コンダクタン
スそしてｊωＣは、損失の無いコンデンサ内のリアクタ
ンス性アドミタンスである。
スそしてｊωＣは、損失の無いコンデンサ内のリアクタ
ンス性アドミタンスである。
【００１５】テスト対象物がコンデンサの中に存在する
場合、 Ｙ＝ｊω* Ｃmaterial が成り立つ。
場合、 Ｙ＝ｊω* Ｃmaterial が成り立つ。
【００１６】平行な平板コンデンサのキャパシタンス
は、以下の式によって与えられる。 Ｃ＝εo εr Ａ／ｄ なお式中、Ａは平行な平板コンデンサの各平板の表面積
であり、ｄはこれらの平板間の距離であり、εr は材料
の相対比誘電率である。
は、以下の式によって与えられる。 Ｃ＝εo εr Ａ／ｄ なお式中、Ａは平行な平板コンデンサの各平板の表面積
であり、ｄはこれらの平板間の距離であり、εr は材料
の相対比誘電率である。
【００１７】最後の２つの式は直接次の関係を導く： Ｙ＝ｊω* （εr ’−ｊεr ”）* εo Ａ／ｄ 以下でＣo ＝εo Ａ／ｄを用いると そのときＧ＋ｊω* Ｃ＝ｊω* （εr ’−ｊεr ”）*
Ｃo Ｇ＋ｊω* Ｃ＝ω* εr ”* Ｃo ＋ｊω* εr ’* Ｃo 故にＣ＝εr ’* Ｃo
Ｃo Ｇ＋ｊω* Ｃ＝ω* εr ”* Ｃo ＋ｊω* εr ’* Ｃo 故にＣ＝εr ’* Ｃo
【００１８】しかしながらこのことは、誘電率の実成分
のみがキャパシタンスを説明するということを表わして
いる。従って、以上の従来のキャパシタンス測定は、誘
電率の複合成分を検出するものではない。
のみがキャパシタンスを説明するということを表わして
いる。従って、以上の従来のキャパシタンス測定は、誘
電率の複合成分を検出するものではない。
【００１９】ここで以下の表１及び２に注意されたい。 表１
【表１】
【００２０】表２
【表２】
【００２１】表１は、平行平板コンデンサの平板間に挿
入された紙についての一定数のテスト値を示す。表２
は、接着剤層をはさむ２枚の紙層から成るコンデンサの
平板の間の誘電体についての対応するテスト値を示す。
入された紙についての一定数のテスト値を示す。表２
は、接着剤層をはさむ２枚の紙層から成るコンデンサの
平板の間の誘電体についての対応するテスト値を示す。
【００２２】これらの表の中で使用されている表記法は
以下のとおりである：Ｃr は平行な平板コンデンサのエ
ッジ電界を考慮に入れたテスト対象標本のコンデンサの
キャパシタンス部分であり、Ｃs は大地に対する漂遊電
界を考慮に入れたキャパシタンス部分である；ｆは適用
された周波数、Ｃは測定されたキャパシタンス、Ｃkは
補正された測定上のキャパシタンス、ＣLKはテスト標本
の無いテストシステムの補正済みキャパシタンス、Ｇは
誘電体のアドミタンス、ＣL はテスト標本の無いテスト
システムのキャパシタンス、εr ’は誘電率の実成分、
εr ”は誘電率の虚成分、そして tanδは損率である。
さらなる情報は、J. Prochetta Ph Ｄによる前述の論文
の中にも見い出すことができる。
以下のとおりである：Ｃr は平行な平板コンデンサのエ
ッジ電界を考慮に入れたテスト対象標本のコンデンサの
キャパシタンス部分であり、Ｃs は大地に対する漂遊電
界を考慮に入れたキャパシタンス部分である；ｆは適用
された周波数、Ｃは測定されたキャパシタンス、Ｃkは
補正された測定上のキャパシタンス、ＣLKはテスト標本
の無いテストシステムの補正済みキャパシタンス、Ｇは
誘電体のアドミタンス、ＣL はテスト標本の無いテスト
システムのキャパシタンス、εr ’は誘電率の実成分、
εr ”は誘電率の虚成分、そして tanδは損率である。
さらなる情報は、J. Prochetta Ph Ｄによる前述の論文
の中にも見い出すことができる。
【００２３】表から、誘電材が接着剤である場合、誘電
率の虚成分εr ”の絶対値は実成分εr ’よりも桁外れ
に大きいものであることが直ちに明らかになる。従っ
て、この誘電率のこの虚成分を測定することによって、
２つの電極間に位置づけされた誘電体が非常に明確にな
る。このことが本発明の中心となるものである。
率の虚成分εr ”の絶対値は実成分εr ’よりも桁外れ
に大きいものであることが直ちに明らかになる。従っ
て、この誘電率のこの虚成分を測定することによって、
２つの電極間に位置づけされた誘電体が非常に明確にな
る。このことが本発明の中心となるものである。
【００２４】上述のことから、接着剤εr ”対紙εr ”
の比率が、接着剤εr ’対紙εr ’の比率よりも２ケタ
以上大きいということも明らかである。
の比率が、接着剤εr ’対紙εr ’の比率よりも２ケタ
以上大きいということも明らかである。
【００２５】本発明の有利な実施形態においては、虚の
誘電率成分は基板を通る電流又は電流降下をテストする
ことによって測定される。この手順では、電流を測定す
るとき誘電体の虚誘電率成分が特に測定しやすいもので
あることが考慮されている。以上の公式から、次の関係
が成り立つ： Ｇ＝ω* εr ”* Ｃo この式は、損失部分Ｇが虚の誘電率成分に正比例するこ
とを示している。従って、この損失ある電流を測定する
ことで直ちに望ましい結果が得られる。
誘電率成分は基板を通る電流又は電流降下をテストする
ことによって測定される。この手順では、電流を測定す
るとき誘電体の虚誘電率成分が特に測定しやすいもので
あることが考慮されている。以上の公式から、次の関係
が成り立つ： Ｇ＝ω* εr ”* Ｃo この式は、損失部分Ｇが虚の誘電率成分に正比例するこ
とを示している。従って、この損失ある電流を測定する
ことで直ちに望ましい結果が得られる。
【００２６】本発明のさらなる有利な実施形態におい
て、電流又は電流降下の測定は電流制御された電圧増幅
器、特に電流−電圧（Ｉ−Ｕ）変換器を用いて実施され
る。その結果、微細な電流を単純かつ有利な要領で測定
することが可能である。
て、電流又は電流降下の測定は電流制御された電圧増幅
器、特に電流−電圧（Ｉ−Ｕ）変換器を用いて実施され
る。その結果、微細な電流を単純かつ有利な要領で測定
することが可能である。
【００２７】もう１つの有利な設計において、電流−電
圧変換器はそれ自体第１の演算増幅器の出力端に接続さ
れた加算器に接続される。この構成は、前記電流−電圧
変換器の出力端において検出された信号を有利且つ簡単
に処理することを可能にする。
圧変換器はそれ自体第１の演算増幅器の出力端に接続さ
れた加算器に接続される。この構成は、前記電流−電圧
変換器の出力端において検出された信号を有利且つ簡単
に処理することを可能にする。
【００２８】本発明のもう１つの実施形態においては、
第１の演算増幅器の入力端と交流電圧源との間に第１の
移相器が取りつけられる。この第１の移相器の機能は、
電流−電圧（Ｉ−Ｕ）変換器の出力端で電流−電圧シフ
トを補償することにある。
第１の演算増幅器の入力端と交流電圧源との間に第１の
移相器が取りつけられる。この第１の移相器の機能は、
電流−電圧（Ｉ−Ｕ）変換器の出力端で電流−電圧シフ
トを補償することにある。
【００２９】本発明のさらにもう１つの有利な実施形態
において、移相器は位相反転式である。これにより、空
のセンサー、すなわち基板も媒体も含まないセンサー、
を調整するときに、加算器の出力端におけるテスト結果
が０となるように装置を調整することが可能となる。こ
れにより誘電体が電極間に置かれた時、微細なテスト対
象電圧を有利に処理することが可能となる。
において、移相器は位相反転式である。これにより、空
のセンサー、すなわち基板も媒体も含まないセンサー、
を調整するときに、加算器の出力端におけるテスト結果
が０となるように装置を調整することが可能となる。こ
れにより誘電体が電極間に置かれた時、微細なテスト対
象電圧を有利に処理することが可能となる。
【００３０】本発明のさらにもう１つの有利な実施形態
において、電流−電圧変換器は第３の演算増幅器をもつ
回路を含む。これにより、電流−電圧変換器の経済的か
つ単純な製造が可能となる。
において、電流−電圧変換器は第３の演算増幅器をもつ
回路を含む。これにより、電流−電圧変換器の経済的か
つ単純な製造が可能となる。
【００３１】本発明のさらにもう１つの有利な実施形態
において、第３の演算増幅器の第１の入力端（特に反転
入力端）は、センサー電極のうちの１つに直接接続され
る。このようにして、干渉の恐れなく信号を検出するこ
とができる。
において、第３の演算増幅器の第１の入力端（特に反転
入力端）は、センサー電極のうちの１つに直接接続され
る。このようにして、干渉の恐れなく信号を検出するこ
とができる。
【００３２】本発明のさらなる有利な実施形態におい
て、２つの電極は基板の異なる側面上にとりつけられ
る。この構成は、媒体を伴うか又は伴わないかによらず
基板がその間で動く２つの平面電極を伴う平行平板コン
デンサと同様である。さらに、この設計は、基板の平面
に対して横方向に媒体及び基板を通した測定を可能にす
る。この手順は、きわめて単純な測定を可能にする。
て、２つの電極は基板の異なる側面上にとりつけられ
る。この構成は、媒体を伴うか又は伴わないかによらず
基板がその間で動く２つの平面電極を伴う平行平板コン
デンサと同様である。さらに、この設計は、基板の平面
に対して横方向に媒体及び基板を通した測定を可能にす
る。この手順は、きわめて単純な測定を可能にする。
【００３３】もう１つの別の設計では、基板の一方の側
面上に２つの電極を構成する。この場合、誘電率の虚成
分はこの時少なくとも部分的に基板表面の平面に対して
平行な平面内で電極の間にも発生する。本発明のさらな
る利点は、これまで言及されていないサブクレームの中
で記述されており、添付図面の実施例の中に示されてい
る。
面上に２つの電極を構成する。この場合、誘電率の虚成
分はこの時少なくとも部分的に基板表面の平面に対して
平行な平面内で電極の間にも発生する。本発明のさらな
る利点は、これまで言及されていないサブクレームの中
で記述されており、添付図面の実施例の中に示されてい
る。
【００３４】
【発明の実施の形態】基板上への液体乃至は液体の媒体
の被着を監視する装置をここでは一部について示す；本
発明によれば、この装置は図４に図式的に示されている
センサー１０を含んで成る。図４の実施形態において
は、このセンサー１０は、基本的に本来平面である２つ
のの電極１１及び１２を含む平行平面コンデンサであ
る。ある長さの材料１３が図４の２つの電極１１，１２
の間に置かれ、上部電極１１に面したその側面上で前記
ある長さの上に接着剤１４が被着される。
の被着を監視する装置をここでは一部について示す；本
発明によれば、この装置は図４に図式的に示されている
センサー１０を含んで成る。図４の実施形態において
は、このセンサー１０は、基本的に本来平面である２つ
のの電極１１及び１２を含む平行平面コンデンサであ
る。ある長さの材料１３が図４の２つの電極１１，１２
の間に置かれ、上部電極１１に面したその側面上で前記
ある長さの上に接着剤１４が被着される。
【００３５】接着剤被着監視装置の全体的設計、操作及
び関連する一般事項については、ドイツ特許文書４, ２
１７, ７３６Ｃ２及び３, ９３４, ８５２Ｃ２を参照さ
れたい。本発明の装置は、上述の２つの文書中に記述さ
れたものに比べ、基本的に使用されるセンサーの種類及
び測定技術すなわちテスト電子部品が異なっている。
び関連する一般事項については、ドイツ特許文書４, ２
１７, ７３６Ｃ２及び３, ９３４, ８５２Ｃ２を参照さ
れたい。本発明の装置は、上述の２つの文書中に記述さ
れたものに比べ、基本的に使用されるセンサーの種類及
び測定技術すなわちテスト電子部品が異なっている。
【００３６】さらに本発明の装置は厚紙製品上、このプ
ラスチックホイルと不織布で作られたオムツ上等の適切
な条片接着剤を製造ラインに沿って判断したり、条片接
着剤が不適切であった場合に警報などを発出するため
に、媒体特に接着剤の被着を監視する。
ラスチックホイルと不織布で作られたオムツ上等の適切
な条片接着剤を製造ラインに沿って判断したり、条片接
着剤が不適切であった場合に警報などを発出するため
に、媒体特に接着剤の被着を監視する。
【００３７】図３に示すように、センサーフォークと呼
ばれるセンサー１０は、引用符号１５により全体が表わ
されたテスト回路内に挿入される。このテスト回路は、
図３、５及び６の実施形態において Wien-ロビンソン発
振器として設計された交流電圧源１６を含む。
ばれるセンサー１０は、引用符号１５により全体が表わ
されたテスト回路内に挿入される。このテスト回路は、
図３、５及び６の実施形態において Wien-ロビンソン発
振器として設計された交流電圧源１６を含む。
【００３８】この発振器は最初に、例えば１. ６の利得
をもつ増幅器１７に接続され、交流電圧信号は第１の電
極すなわち図４中の下方の電極１２に与えられる。図４
の実施形態の反対側の電極１１すなわち上方の電極は、
電流−電圧（Ｉ−Ｕ）変換器１８（図３）に直接接続さ
れる。前記変換器は、センサー１０内の散逸電流を測定
する。
をもつ増幅器１７に接続され、交流電圧信号は第１の電
極すなわち図４中の下方の電極１２に与えられる。図４
の実施形態の反対側の電極１１すなわち上方の電極は、
電流−電圧（Ｉ−Ｕ）変換器１８（図３）に直接接続さ
れる。前記変換器は、センサー１０内の散逸電流を測定
する。
【００３９】Ｉ−Ｕ変換器１８の出力端は加算器１９に
接続される。交流電圧源１６からの第２の導線は第１の
位相反転式移相器２０に接続される。前記移相器の出力
端は、第１の演算増幅器２１の入力端に接続される。第
１の演算増幅器２１の出力は、加算器１９の入力端に接
続される。
接続される。交流電圧源１６からの第２の導線は第１の
位相反転式移相器２０に接続される。前記移相器の出力
端は、第１の演算増幅器２１の入力端に接続される。第
１の演算増幅器２１の出力は、加算器１９の入力端に接
続される。
【００４０】上述した回路分岐の目的は、第１の移相器
２０を使用してＩ−Ｕ変換器１８の移相された出力に正
弦交流電圧を整合させることにある。第１の演算増幅器
２１とＩ−Ｕ変換器１８の出力値とを加算することによ
り、テスト値、すなわちセンサー１０内の散逸電流のテ
スト値、は原則確認される。
２０を使用してＩ−Ｕ変換器１８の移相された出力に正
弦交流電圧を整合させることにある。第１の演算増幅器
２１とＩ−Ｕ変換器１８の出力値とを加算することによ
り、テスト値、すなわちセンサー１０内の散逸電流のテ
スト値、は原則確認される。
【００４１】しかしながら、かかる測定をよりエレガン
トな形で実施するために、もう１つの構成が使用され
る。すなわち、第１の移相器２０の出力端を第２の演算
増幅器２２の入力端に接続する。次に、この出力端は加
算器１９に接続される。この分岐のもつ意義についてさ
らに以下で明確にする。さらに、加算器１９の出力端は
整流器２３に接続される。第２の位相反転式移相器２４
が別々に、整流器２３と交流電源１６の間に接続され
る。
トな形で実施するために、もう１つの構成が使用され
る。すなわち、第１の移相器２０の出力端を第２の演算
増幅器２２の入力端に接続する。次に、この出力端は加
算器１９に接続される。この分岐のもつ意義についてさ
らに以下で明確にする。さらに、加算器１９の出力端は
整流器２３に接続される。第２の位相反転式移相器２４
が別々に、整流器２３と交流電源１６の間に接続され
る。
【００４２】最後に引用した２つの分岐は以下のように
連動する。すなわち、加算器１９の向う側の交流電圧す
なわち加算器１９の出力端の交流電圧は、第２の移相器
２４を用いて、正の直流が整流器２３の出力端につねに
存在するように整合され得る。この特長は、その後の信
号処理において明らかに有利である。
連動する。すなわち、加算器１９の向う側の交流電圧す
なわち加算器１９の出力端の交流電圧は、第２の移相器
２４を用いて、正の直流が整流器２３の出力端につねに
存在するように整合され得る。この特長は、その後の信
号処理において明らかに有利である。
【００４３】ローパスフィルター２６が、テスト電子回
路１５の出力端２５と整流器２３の間に存在する。前記
ローパスフィルターはまた、テストに際して既知の基本
的利点を提供する。最後に、出力信号の第４の演算増幅
器が使用される。
路１５の出力端２５と整流器２３の間に存在する。前記
ローパスフィルターはまた、テストに際して既知の基本
的利点を提供する。最後に、出力信号の第４の演算増幅
器が使用される。
【００４４】図５及び６は、図３のテスト電子回路を詳
しく示している。同一のコンポーネント又は機能ブロッ
クは同じ引用符号で表わされている。しかしながら、図
３に示す第２の演算増幅器２２は基本的に必要とされな
いことから存在していない。
しく示している。同一のコンポーネント又は機能ブロッ
クは同じ引用符号で表わされている。しかしながら、図
３に示す第２の演算増幅器２２は基本的に必要とされな
いことから存在していない。
【００４５】図５及び６は、実質的に演算増幅器２８を
含む電流−電圧変換器１８の詳細を示している。これに
よれば、ＬＦ４１２のような従来の市販のコンポーネン
トを使用することができ、これは移相器２０，２４，第
１の演算増幅器２１，第４の演算増幅器２７，加算器１
９，ローパスフィルター２６等の残りのコンポーネント
内や交流電圧源１６内にも利用可能である。
含む電流−電圧変換器１８の詳細を示している。これに
よれば、ＬＦ４１２のような従来の市販のコンポーネン
トを使用することができ、これは移相器２０，２４，第
１の演算増幅器２１，第４の演算増幅器２７，加算器１
９，ローパスフィルター２６等の残りのコンポーネント
内や交流電圧源１６内にも利用可能である。
【００４６】この回路の中に列挙されたキャパシタンス
及び抵抗は実質的に適切なものであるが、この特定のリ
ストは単に例示的なものにすぎない。１メガオームの抵
抗３１が、第３の演算増幅器２８の移相反転式入力端２
９及びその出力端３０を横切って接続される。
及び抵抗は実質的に適切なものであるが、この特定のリ
ストは単に例示的なものにすぎない。１メガオームの抵
抗３１が、第３の演算増幅器２８の移相反転式入力端２
９及びその出力端３０を横切って接続される。
【００４７】前述した実施形態におけるセンサー１０の
電極１１，１２は、平行平板コンデンサの平板状に形成
される。しかしながら、本発明の概念はかかる幾何形状
に制限されるわけではない。誘電率の虚成分を測定する
ため、原則としていかなる電極幾何形状でも利用可能で
ある。
電極１１，１２は、平行平板コンデンサの平板状に形成
される。しかしながら、本発明の概念はかかる幾何形状
に制限されるわけではない。誘電率の虚成分を測定する
ため、原則としていかなる電極幾何形状でも利用可能で
ある。
【００４８】移相器においては０〜１７０°の移相が設
定可能である。この特長は、実質的に出力値を調整する
ためにのみに使用される。第１及び第２の演算増幅器２
１及び２２（図３）に適用される制御電圧ＵＳＴＡＢ１
及びＵＳＴＡＢ２も同じ目的で使用される。電極間に誘
電体が存在しない状態で平衡がとられる。制御電圧は０
〜１０Ｖの間で連続的に調整可能である。
定可能である。この特長は、実質的に出力値を調整する
ためにのみに使用される。第１及び第２の演算増幅器２
１及び２２（図３）に適用される制御電圧ＵＳＴＡＢ１
及びＵＳＴＡＢ２も同じ目的で使用される。電極間に誘
電体が存在しない状態で平衡がとられる。制御電圧は０
〜１０Ｖの間で連続的に調整可能である。
【００４９】例示的には、適用されるテスト周波数は１
００ｋHzである。しかしながら、数ｋHzから数十又は数
百ＭHzまでの範囲内の周波数も使用可能である。特定の
周波数は、被着されるべき液体乃至ペースト状の媒体に
よって異なる。接着剤の種類に応じて虚誘電率成分の値
又は虚誘電率成分対実誘電率成分の比率も変動しうる
が、概して、周波数はひとたび設定されると監視中恒常
にとどまる。
００ｋHzである。しかしながら、数ｋHzから数十又は数
百ＭHzまでの範囲内の周波数も使用可能である。特定の
周波数は、被着されるべき液体乃至ペースト状の媒体に
よって異なる。接着剤の種類に応じて虚誘電率成分の値
又は虚誘電率成分対実誘電率成分の比率も変動しうる
が、概して、周波数はひとたび設定されると監視中恒常
にとどまる。
【００５０】図３及び図５及び６に示された増幅器１７
は単なるオプションにすぎない。しかながら、これが有
利であることは既知である。
は単なるオプションにすぎない。しかながら、これが有
利であることは既知である。
【００５１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によればテス
ト対象材料の性質を決定する際に、虚成分の測定によっ
て単純かつ信頼性の高い液体乃至ペースト状の媒体の基
板上への被着を監視する装置が提供可能となる。
ト対象材料の性質を決定する際に、虚成分の測定によっ
て単純かつ信頼性の高い液体乃至ペースト状の媒体の基
板上への被着を監視する装置が提供可能となる。
【図１】等価回路又は実用的な散逸性コンデンサを示し
た図である。
た図である。
【図２】図１の等価回路中に示された２つの電流成分を
例示する電流図である。
例示する電流図である。
【図３】本発明の装置内で使用されるテスト電子回路の
機能的ブロック図である。
機能的ブロック図である。
【図４】前記電極間にはさまれた一定長の材料を伴い、
２つの平面電極を含んで成るセンサーの領域を概略的に
示した図である。
２つの平面電極を含んで成るセンサーの領域を概略的に
示した図である。
【図５】図３のテスト電子回路の総合的な回路図（１）
である。
である。
【図６】図３のテスト電子回路の総合的な回路図（２）
である。
である。
１０…センサー １１，１２…電極 １３…材料 １４…接着材 １５…テスト回路 １６…交流電圧源 １７…増幅器 １８…電流−電圧変換器 １９…加算器 ２０，２４…移相器 ２１，２２，２７…演算増幅器 ２３…整流器 ２６…ローパスフィルタ
Claims (18)
- 【請求項１】 基板（１３）上への液体乃至ペースト状
の媒体（１４）の被着を監視する装置において、基板の
表面から所定のわずかな距離のところに構成されＡＣ電
圧を媒体（１４）及び基板（１３）に印加する２つの電
極（１１，１２）を備える少なくとも１つのセンサー
（１０）を含み、前記基板がセンサー（１０）との関係
において移動し、さらにセンサー（１０）に接続されか
つ媒体（１４）を伴う基板（１３）の特性信号を出力す
るテスト電子回路を含んで成る装置であって、２つの電
極 （１１，１２）の間に置かれた媒体（１４）を伴う
基板（１３）の誘電率の虚成分を測定し、このテスト値
によってテスト電子回路（１５）が特性信号を決定する
ことを特徴とする装置。 - 【請求項２】 誘電率の虚成分の測定は、基板（１３）
及び媒体（１４）内での電流測定値及び電流降下測定値
を用いて実施される、請求項１に記載の装置。 - 【請求項３】 電流測定値又は電流降下測定値は、電流
制御された電圧増幅器（１８）特に電流−電圧変換器に
よって測定される、請求項２に記載の装置。 - 【請求項４】 電流−電圧変換器（１８）は、第１の演
算増幅器（２１）の出力端に接続されている加算器（１
９）に接続される、請求項３に記載の装置。 - 【請求項５】 交流電圧（１６）の供給源は交流電圧を
提供する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の装置。 - 【請求項６】 演算増幅器（２１）の入力端と交流電圧
源（１６）との間に第１の移相器（２０）が構成され
る、請求項４又は５に記載の装置。 - 【請求項７】 請求項４において第２の演算増幅器（２
２）が、移相器（２０）と加算器（１９）との間に構成
される、請求項６に記載の装置。 - 【請求項８】 整流器（２３）は、加算器（１９）とテ
スト電子部品（２５）との出力端の間に構成される、請
求項４〜７のいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項９】 第２の移相器（２４）が整流器（２３）
と交流電圧源（１６）との間に構成されている、請求項
８に記載の装置。 - 【請求項１０】 移相器は位相反転式である、請求項６
〜９のいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項１１】 ローパスフィルター（２６）は、整流
器（２３）とテスト電子部品（２５）との出力の間に構
成される、請求項９又は１０に記載の装置。 - 【請求項１２】 増幅器（１７）は、センサー（１０）
と交流電圧源（１６）の間に構成される、請求項５〜１
１のいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項１３】 電流−電圧変換器（１８）は、第３の
演算増幅器（２８）を内含する回路を含んで成る、請求
項３〜１２のいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項１４】 第３の演算増幅器（２８）の第１の入
力端（２９）、特に反転入力端が、センサー（１０）の
電極のうちの１つ（１１）に直接接続される、請求項１
３に記載の装置。 - 【請求項１５】 高い抵抗（３１）、特におよそ１メガ
オームの抵抗が、第３の演算増幅器（２８）の第１の入
力端とその出力端（３０）とを横断して構成される、請
求項１３又は１４に記載の装置。 - 【請求項１６】 ２つの電極（１１，１２）は、基板
（１３）の異なる側面に構成される、請求項１〜１５の
いずれか一つに記載の装置。 - 【請求項１７】 交流電源は Wien-ロビンソン発振器で
ある、請求項５〜１５のいずれか一つに記載の装置。 - 【請求項１８】 ２つの電極（１１，１２）は、基板
（１３）の１方の側面に構成される、請求項１〜１７の
いずれか一つに記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19937387:6 | 1999-08-07 | ||
| DE19937387A DE19937387C1 (de) | 1999-08-07 | 1999-08-07 | Vorrichtung zur Überwachung eines Auftrags eines flüssigen bis pastenförmigen Mediums auf ein Substrat |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001099802A true JP2001099802A (ja) | 2001-04-13 |
Family
ID=7917607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000238567A Pending JP2001099802A (ja) | 1999-08-07 | 2000-08-07 | 液体乃至ペースト状の媒体の基板上への被着を監視する装置 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6529016B1 (ja) |
| EP (1) | EP1079203B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001099802A (ja) |
| KR (1) | KR20010030053A (ja) |
| CN (1) | CN1292498A (ja) |
| AT (1) | ATE229168T1 (ja) |
| CA (1) | CA2314813A1 (ja) |
| DE (2) | DE19937387C1 (ja) |
| TW (1) | TW504566B (ja) |
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| JP2020051870A (ja) * | 2018-09-26 | 2020-04-02 | 横河電機株式会社 | 測定装置、および測定方法 |
| CN112275549A (zh) * | 2020-10-22 | 2021-01-29 | 夏桂兰 | 一种可降解包装盒涂胶装置 |
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| EP1336838A3 (de) * | 2002-02-16 | 2004-07-28 | Romani, Foud, Dr. | Verfahren und Einrichtung zum Prüfen der Haftung von Kunststoffbeschichtungen auf Oberflächen von Gegenständen |
| KR100622224B1 (ko) * | 2005-01-06 | 2006-09-14 | 삼성에스디아이 주식회사 | 저대역 통과 필터를 이용한 증착 시스템 |
| KR100622223B1 (ko) * | 2005-01-06 | 2006-09-14 | 삼성에스디아이 주식회사 | 잡음 제거기를 이용한 증착 시스템 및 그 제어방법 |
| DE102006023102A1 (de) * | 2006-05-16 | 2007-11-22 | Grammer Ag | Kopfstütze für einen Fahrzeugsitz |
| CN101460842A (zh) * | 2006-06-07 | 2009-06-17 | 乌斯特技术股份公司 | 测量包芯纱中核心的方法和装置 |
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| DE102015207021B3 (de) * | 2015-04-17 | 2016-06-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Applikationsdüse zum Applizieren eines Mediums auf eine Oberfläche, Applikationsanlage und Verfahren zum Applizieren eines Mediums auf eine Oberfläche |
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| KR102530748B1 (ko) * | 2021-01-29 | 2023-05-11 | 주식회사 지앤시바이오 | 나노선 fet를 이용한 샘플 검출 장치 및 방법 |
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