JP2001078094A - 画像検出装置及びその製造方法 - Google Patents

画像検出装置及びその製造方法

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JP2001078094A JP2000224756A JP2000224756A JP2001078094A JP 2001078094 A JP2001078094 A JP 2001078094A JP 2000224756 A JP2000224756 A JP 2000224756A JP 2000224756 A JP2000224756 A JP 2000224756A JP 2001078094 A JP2001078094 A JP 2001078094A
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パークス クリストファー
David Newell Nichols
ニューアル ニコルズ デビッド
William Joseph Toohey
ジョゼフ トゥーイ ウィリアム
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    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/40Extracting pixel data from image sensors by controlling scanning circuits, e.g. by modifying the number of pixels sampled or to be sampled
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    • H04N25/71Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 低価格でかつ高速の画像検出装置を提供す
る。 【解決手段】 蓄積画素アレー14,15が上下に配置
された光活性画素アレー10は、上部画素アレーハーフ
11と下部画素アレーハーフ12とに分割されるととも
に四つのゾーンA,B,C,Dに分割され、上部画素ア
レーハーフ11と下部画素アレーハーフ12とはそれぞ
れゾーンA,B,C,Dの各々を1/2ずつ含む。各ゾ
ーンの画素は、それぞれ独立したタイミング信号V1,
V2A,V2B,V2C,V2Dにより活性化され、蓄
積画素アレー14,15に光電子が移送されるので、タ
イミング信号V1,V2A,V2B,V2C,V2Dを
制御することで、光活性画素アレー10内で活性化して
いる列数を減らすことができ、高いフレーム速度を得る
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体画像センサに
関し、特に高いフレーム速度での読み出しを行うフレー
ムインターライン転送型のセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】画像検出装置の性能を向上させるため
に、多くの先行技術によって装置および装置の動作方法
が検討されてきた。先行技術における高フレーム速度の
画像センサでは、例えば図1(a)および図1(b)に
示した先行技術の高フレーム速度のセンサなどのよう
に、一般に矩形の二次画素アレーに分割された光活性画
素アレーの利用が検討されてきた。図1(a)および図
1(b)の各々における各サブアレーからの信号は、何
らかの出力機構を通じてシリアルに読み出される。この
画像センサのフレーム速度は、シリアル出力機構の速度
と二次画素アレーの数との組み合わせで決定される。図
1(a)および図1(b)に示した形のセンサ構成の本
質的な欠点は、高フレーム速度を得る上で多数の画素ア
レーの出力部が必要なことである。出力部の数の増加
は、この種の画像センサを用いるカメラ価格の増加を招
く。この種の画像センサの例は、アナグノストポーロス
に発行された米国特許第4,330,796号およびワ
イルダーに発行された米国特許第5,262,871号
に示されている。
【0003】別の方式の高フレーム速度の画像センサで
は、図2に示すフレーム転送方式の画像センサが使用さ
れている。この方式のセンサでは、全ての光活性画素ア
レーがフレーム蓄積アレーに迅速に移送される。二つ以
上の画像を保持するようにフレーム蓄積アレーを製造す
れば、短い画像シーケンスを高フレーム速度で記録する
ことができる。この方式のセンサの欠点は、全ての光活
性画素アレーが蓄積アレーに移送される所要時間によっ
てフレーム速度が制限を受けることである。この方式の
画像センサの例は、カトウ他による第4,635,12
2号およびウエダによる第4,837,630号の各米
国特許に示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】以上の記述から、高速
画像検出装置の分野において、出力部の数を少なくして
カメラの総額を下げつつ高速の装置を提供する必要があ
ることは明らかである。
【0005】本発明は前述の少なくとも一つの課題を解
決することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の画像検出装置
は、高フレーム速度の画像検出装置であって、各々が光
電子を生成することができ、少なくとも二つの等価なサ
ブアレーをなすよう行列配置された複数の画素を有する
アレーと、前記画素の各々が関連づけられるよう前記サ
ブアレー内の各列に割り当てられた多相の垂直シフトレ
ジスタと、光生成した電荷を前記画素から前記垂直シフ
トレジスタに転送する前記垂直シフトレジスタ内の転送
相と、前記サブアレー内で前記転送相へ作用するよう接
続され複数のゾーンを形成する複数の転送相信号と、前
記各々のゾーンについての転送相信号のセットを選択し
て前記サブアレー内に選択された画素のフレームを形成
する手段と、前記垂直シフトレジスタを介して前記サブ
アレーの各々に作用するよう接続され前記フレーム内の
前記画素から光生成した電荷を受け取る蓄積アレーと、
前記蓄積アレーの各々に作用するよう接続された水平シ
フトレジスタと、を備えることを要旨とする。
【0007】本発明の画像検出装置の製造方法は、高フ
レーム速度の画像検出装置の製造方法であって、各々が
光電子を生成することができ、少なくとも二つの等価な
サブアレーをなすよう行列配置され複数の画素を有する
アレーであって、前記各々の画素がいずれか一つに関連
づけられ前記サブアレー内の各々の列に対して割り当て
られた多相の垂直シフトレジスタを有するアレーを提供
するステップと、前記垂直シフトレジスタ内に光生成し
た電荷を前記画素から前記垂直シフトレジスタへ転送す
る転送相を形成するステップと、複数のゾーンを生成す
るように前記サブアレー内の前記転送相に作用するよう
結合された複数の転送相信号を接続するステップと、前
記サブアレー内に選択された画素のフレームを形成する
よう前記ゾーンの各々についての転送相信号のセットを
選択するステップと、前記垂直シフトレジスタを介して
前記フレーム内の前記画素から光生成した電荷を受容す
るよう前記サブアレーの各々に蓄積アレーを作用するよ
う接続するステップと、前記蓄積アレーの各々に水平シ
フトレジスタを作用するように接続するステップと、を
備えることを要旨とする。
【0008】この本発明の画像検出装置の製造方法にお
いて、全ての数より少ない数の前記ゾーンを選択するこ
とにより前記フレーム速度を高めるものとすることもで
きる。
【0009】本発明の高フレーム速度で画像を記録する
画像センサを、フレームインターライン転送型のセンサ
を用いて説明する。光活性画素アレーは二つの区画に分
割される。格納画素アレーが備わり、この格納画素アレ
ーは前記二つの区画の各々における光活性画素アレーか
ら送られる複数の画像を格納する機能をもつ。フレーム
速度は、格納画素アレーへの画像の転送に要する時間に
よって決定される。フレーム速度は、光活性領域をより
小さいセグメントに二次分割することによって高めるこ
とができる。より小さいセグメントの光活性画素アレー
を用いることによって、格納領域への転送時間は減少
し、フレーム速度は高まる。また、格納画素アレーに格
納されるフレーム数も増加する。
【0010】上記およびその他の本発明の態様、目的、
特徴、および効果は、以下の好適な実施形態についての
詳細な説明と添付した特許請求の範囲および添付図を参
照することによってより明らかにされる。
【0011】
【発明の実施の形態】図3に示した画像センサは、二つ
の遮光性蓄積画素アレー14,15を伴う行列配置した
光活性画素アレー10からなる。好適な実施形態では、
光活性画素アレー10は、上部画素アレーハーフ11と
下部画素アレーハーフ12とに分割される。さらに、画
素アレー10は、四つのゾーンA,B,C,Dに分割さ
れ、上部画素アレーハーフ11と下部画素アレーハーフ
12とはそれぞれゾーンA,B,C,Dの各々を1/2
ずつ含む。上部画素アレーハーフ11は上部垂直シフト
レジスタハーフ(VCCDs24)を用いて電荷を上部
蓄積画素アレー14に移送する。同様に、下部画素アレ
ーハーフ12は下部垂直シフトレジスタハーフ(VCC
Ds25)を用いて電荷を下部蓄積画素アレー15に移
送する。二つの水平CCDs34,35が設けられ、こ
れらの水平CCDによって上部および下部の蓄積画素ア
レー14,15の各々のVCCDs24,25から電荷
が除去される。
【0012】図4に光活性画素アレー10内の四つの画
素20からなるブロックを示す。図4に示した各画素2
0は同一ゾーンにあるものとし、したがって四つの画素
20の各々の制御信号は同一である。ただし、異なるゾ
ーンA,B,C,D内の画素の制御信号(この場合は垂
直シフトレジスタのパルス)は異なることは明らかであ
る。図4の例に戻る。四つの画素20の各々は、いずれ
か一つの垂直シフトレジスタ(VCCDs24,25)
内のセルに隣接したフォトダイオード22を含む。垂直
シフトレジスタのセルは二つの相φ1,φ2をもつ。各
フレームの開始時に、フレームの形成に使用されるゾー
ンの垂直CCDシフトレジスタ(VCCD)のφ2相に
パルスが印加され、それによってフォトダイオード22
からVCCDs24,25に光電子が転送されるように
なっている。このフォトダイオードの読み出しパルスの
印加後、VCCDs24,25は光活性画素アレーの全
ての列から蓄積画素アレー14,15に光電子を素早く
移送する。
【0013】光活性画素アレー10が水平方向にm個の
画素(行)および垂直方向にn個の画素(列)を含むと
すると、上下の画素アレーハーフ内のVCCDs24,
25はn/2個の画素の長さをもつ。n/2のVCCD
のクロックサイクル後、全ての画像フレームは蓄積画素
アレー14,15に転送される。好適な実施形態では、
光活性画素アレー10から蓄積画素アレー14,15へ
の画像フレームの転送は、蓄積画素アレー14,15が
一杯になるまで繰り返される。蓄積画素アレー14,1
5の各々がm個の行とk個の列を含むとすると、蓄積画
素アレー14,15の各々の蓄積容量は、
【数1】蓄積されるフレーム数=2×k/n で表わされる。
【0014】式1から明らかなように、蓄積画素アレー
14,15は複数のフレームを積することができる。ゾ
ーンA,B,C,Dの組み合わせを選択することによっ
て蓄積画素アレー14,15に蓄積される上下の画素ア
レー11,12の大きさを個々のシステムや使用目的に
応じて適正化することができる。n/2個の列をもつ上
部画素アレーハーフ11,下部画素アレーハーフ12の
各々が全てのゾーンにおいてn/2がkに等しくなるよ
うに選択するとき、蓄積容量は1上部フレームと1下部
フレームとになる。
【0015】光電子をフォトダイオードからVCCDに
転送する時間をTとし、VCCDクロックの周波数をf
とした場合の、1秒当たりのフレーム数(FPS)で表
されるフレーム速度は、
【数2】 1秒当たりのフレーム数=f/(fT+n/2) で表わされる。
【0016】図5に、図3の例と同様の構成の光活性画
素アレーを示す。上下の光活性画素アレーハーフは四つ
のゾーンに区分される。ゾーンAはRa個の列、ゾーン
BはRb個の列、ゾーンCはRc個の列、およびゾーン
DはRd個の列を含み、Ra+Rb+Rc+Rd=n/
2である。フォトダイオードの読み出しパルスが、フレ
ームの形成に使用されるゾーンの垂直CCDシフトレジ
スタ(VCCD)のφ2相に選択的に印加され、それに
より光電子がフォトダイオード22からVCCDs2
4,25に転送される。したがって、各ゾーンには別々
のφ2クロック(図5にV2A,V2B,V2C,V2
Dとして示す)が必要である。図3を参照する。タイミ
ング信号をV1,V2A,V2B,V2C,V2D,V
1S,V2Sの各入力ラインに加えることにより、VC
CDs24,25の各ゾーンを通じて蓄積画素アレー1
4,15に光電子が移送される。図6と関連させつつ図
3を参照する。V1SとV2Sは蓄積画素アレー14,
15からの画素データを刻時するのに用いられる。した
がって、V1SとV2Sは、電荷がフォトダイオードか
ら垂直シフトレジスタに転送される間のφ2クロックで
の第三のレベルの刻時の間は能動的でない。これにより
垂直シフトレジスタ内で画素データの途切れ(ギャッ
プ)が生じることが防止される。
【0017】フォトダイオードの読み出しパルスを四つ
のゾーン全てに加えることによって、全フォトダイオー
ドからの光電子がVCCDに転送される。この場合、画
像を蓄積画素アレーに移送するには(Ra+Rb+Rc
+Rd)のVCCDクロックサイクルが必要である。フ
レーム速度は、
【数3】1秒当たりのフレーム速度=f/(fT+Ra
+Rb+Rc+Rd) で表わされる。
【0018】フォトダイオードの読み出しパルスをゾー
ンB,C,Dだけに加えた場合は、ゾーンB,C,Dだ
けが光電子をフォトダイオードからVCCDに転送す
る。ゾーンAのVCCDはフォトダイオードから光電子
を受け取らない。この時ゾーンAはフレーム蓄積画素ア
レーの一部となっている。この場合、画像を蓄積画素ア
レーに転送するには(Rb+Rc+Rd)のVCCDク
ロックサイクルが必要である。フレーム速度は、f/
(fT+Rb+Rc+Rd)で表される。
【0019】フォトダイオードの読み出しパルスをゾー
ンC,Dのみに加えた場合は、ゾーンC,Dだけが光電
子をフォトダイオードからVCCDに転送する。ゾーン
A,BのVCCDはフォトダイオードから光電子を受け
取らない。この時、ゾーンA,Bはフレーム蓄積画素ア
レーの一部となっている。この場合、画像を蓄積画素ア
レーに転送するには(Rc+Rd)のVCCDクロック
サイクルが必要である。フレーム速度は、f/(fT+
Rc+Rd)で表される。
【0020】フォトダイオードの読み出しパルスをゾー
ンDのみに加えた場合は、ゾーンDだけが光電子をフォ
トダイオードからVCCDに転送する。ゾーンA,B,
CのVCCDはフォトダイオードから光電子を受け取ら
ない。この時、ゾーンA,B,Cはフレーム蓄積画素ア
レーの一部となっている。この場合、画像を蓄積画素ア
レーに転送するにはRdのVCCDクロックサイクルが
必要である。フレーム速度は、f/(fT+Rd)で表
される。
【0021】独立したフォトダイオードの読み出しパル
スによって光活性画素アレーをこれらのゾーンに区分す
ることによって、光活性領域の列数およびフレーム速度
を変えることができる。種々のフレーム速度の一つ一つ
がそれぞれ一つの画像センサに適用される。フレーム蓄
積領域に蓄積されるフレーム数はゾーンが小さくなるに
したがって増加する。例えば、フォトダイオードの読み
出し時間が1.8[μs]である場合の実施形態を考え
ると、VCCDのクロック周波数は5[MHz]で各ゾ
ーンにおける列数は次の表に示す値になる。
【0022】
【表1】 本実施形態での1秒当りのフレーム数で表す記録速度
を、フレーム蓄積領域に蓄積されるフレーム数と併せて
次の表に示す。
【0023】
【表2】 この表に示したように、この画像センサでは画像内の列
数を減らすことできわめて高いフレーム速度が得られ
る。先行技術に対する利点は、画像の用途の要求に合う
ように解像度とフレーム速度を選択することができるこ
とである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 先行技術における典型的な高フレーム速度の
センサ構造を示す図である。
【図2】 典型的な先行技術のフレーム方式の画像転送
装置を示す図である。
【図3】 高フレーム速度の転送装置を示す図である。
【図4】 1画素の構成を示すダイアグラムである。
【図5】 画素アレー内のゾーンの構成を示すダイアグ
ラムである。
【図6】 高フレーム速度の転送装置のタイミングダイ
アグラムである。
【符号の説明】
10 画素アレー、11 上部画素アレーハーフ、12
下部画素アレーハーフ、14,15 蓄積画素アレ
ー、20 画素、22 フォトダイオード、24,25
VCCDs、34,35 水平CCDs。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウィリアム ジョゼフ トゥーイ アメリカ合衆国 ニューヨーク州 ショー ツビル ホージィー ロード 4309

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 高フレーム速度の画像検出装置であっ
    て、 各々が光電子を生成することができ、少なくとも二つの
    等価なサブアレーをなすよう行列配置された複数の画素
    を有するアレーと、 前記画素の各々が関連づけられるよう前記サブアレー内
    の各列に割り当てられた多相の垂直シフトレジスタと、 光生成した電荷を前記画素から前記垂直シフトレジスタ
    に転送する前記垂直シフトレジスタ内の転送相と、 前記サブアレー内で前記転送相へ作用するよう接続され
    複数のゾーンを形成する複数の転送相信号と、 前記各々のゾーンについての転送相信号のセットを選択
    して前記サブアレー内に選択された画素のフレームを形
    成する手段と、 前記垂直シフトレジスタを介して前記サブアレーの各々
    に作用するよう接続され前記フレーム内の前記画素から
    光生成した電荷を受け取る蓄積アレーと、 前記蓄積アレーの各々に作用するよう接続された水平シ
    フトレジスタと、 を備える画像検出装置。
  2. 【請求項2】 高フレーム速度の画像検出装置の製造方
    法であって、 各々が光電子を生成することができ、少なくとも二つの
    等価なサブアレーをなすよう行列配置され複数の画素を
    有するアレーであって、前記各々の画素がいずれか一つ
    に関連づけられ前記サブアレー内の各々の列に対して割
    り当てられた多相の垂直シフトレジスタを有するアレー
    を提供するステップと、 前記垂直シフトレジスタ内に光生成した電荷を前記画素
    から前記垂直シフトレジスタへ転送する転送相を形成す
    るステップと、 複数のゾーンを生成するように前記サブアレー内の前記
    転送相に作用するよう結合された複数の転送相信号を接
    続するステップと、 前記サブアレー内に選択された画素のフレームを形成す
    るよう前記ゾーンの各々についての転送相信号のセット
    を選択するステップと、 前記垂直シフトレジスタを介して前記フレーム内の前記
    画素から光生成した電荷を受容するよう前記サブアレー
    の各々に蓄積アレーを作用するよう接続するステップ
    と、 前記蓄積アレーの各々に水平シフトレジスタを作用する
    ように接続するステップと、 を備える画像検出装置の製造方法。
  3. 【請求項3】 全ての数より少ない数の前記ゾーンを選
    択することにより前記フレーム速度を高める請求項2に
    記載の画像検出装置の製造方法。
JP2000224756A 1999-07-30 2000-07-26 画像検出装置及びその製造方法 Pending JP2001078094A (ja)

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