JP2001074644A - 液中粒子計測装置およびその方法 - Google Patents
液中粒子計測装置およびその方法Info
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- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 17
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- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 abstract description 10
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 abstract description 4
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- 238000009833 condensation Methods 0.000 abstract 1
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液中に含まれる、粒子と気泡を区別
し、計数する。 【解決手段】 微粒子や気泡を含んだ液体を、フロ
ーセル２中に流し、レーザー光を照射し、その結果発生
した散乱光及び蛍光をスペクトル分析装置８により検出
して、粒子と気泡とを区別する。
し、計数する。 【解決手段】 微粒子や気泡を含んだ液体を、フロ
ーセル２中に流し、レーザー光を照射し、その結果発生
した散乱光及び蛍光をスペクトル分析装置８により検出
して、粒子と気泡とを区別する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液中の粒子と気泡
を区別して粒子を計数する計測装置及び計測方法に関す
る。さらに具体的には、例えば、高度清浄水中の混入粒
子数計測等、液中の粒子数計数装置における、液中の気
泡発生を起因とする粒子数計数妨害の解決に役立つ、水
中気泡検出装置及び方法に関するものである。
を区別して粒子を計数する計測装置及び計測方法に関す
る。さらに具体的には、例えば、高度清浄水中の混入粒
子数計測等、液中の粒子数計数装置における、液中の気
泡発生を起因とする粒子数計数妨害の解決に役立つ、水
中気泡検出装置及び方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】今までの装置では、気泡を透過した光の
位相シフト量を計測するなどの方法があったが、位相シ
フト量を正確に計るには、技術的に多くの困難を伴うば
かりでなく、利用できる範囲に制限があった。
位相シフト量を計測するなどの方法があったが、位相シ
フト量を正確に計るには、技術的に多くの困難を伴うば
かりでなく、利用できる範囲に制限があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の方法では、気泡を透過した光の位相シフト量
を正確に計るには、技術的に多くの困難を伴うばかりで
はなく、利用できる範囲に制限があった。
うな従来の方法では、気泡を透過した光の位相シフト量
を正確に計るには、技術的に多くの困難を伴うばかりで
はなく、利用できる範囲に制限があった。
【０００４】本発明は、上記従来の問題を解決すること
を目的とするものであり、多様な粒径を持つ粒子や気泡
を含有する液中から、インライン（配管等に組み込んで
使用でき）で、また、無侵修（粒子数や気泡の変化を起
こさない）で、粒子と気泡を区別する装置及び手法を提
供する。
を目的とするものであり、多様な粒径を持つ粒子や気泡
を含有する液中から、インライン（配管等に組み込んで
使用でき）で、また、無侵修（粒子数や気泡の変化を起
こさない）で、粒子と気泡を区別する装置及び手法を提
供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、計測される液を流すフローセルと、上記
フローセルの一側方に配設されたレーザー光照射装置
と、上記レーザー光照射装置に対向し、上記フローセル
の他側方に配設された、粒子・気泡検出装置及びレーザ
ー受光装置と、上記レーザー受光装置に接続されたスペ
クトル分析装置と、該スペクトル分析装置に接続された
計数装置とを具備し、上記レーザー光照射装置は、上記
レーザー光を上記液中の粒子及び気泡に照射して散乱光
を発生させるとともに上記粒子から蛍光を発生させ、上
記粒子・分子検出装置は、上記散乱光を検出して、上記
粒子及び気泡の大きさと数を検出し、上記レーザー受光
装置は上記散乱光及び蛍光を受光し、該散乱光及び蛍光
を上記スペクトル分析装置でスペクトル分析して粒子と
気泡を区別し、上記計数装置で上記粒子の数を計数する
ことを特徴とする液中粒子計測装置を提供する。
決するために、計測される液を流すフローセルと、上記
フローセルの一側方に配設されたレーザー光照射装置
と、上記レーザー光照射装置に対向し、上記フローセル
の他側方に配設された、粒子・気泡検出装置及びレーザ
ー受光装置と、上記レーザー受光装置に接続されたスペ
クトル分析装置と、該スペクトル分析装置に接続された
計数装置とを具備し、上記レーザー光照射装置は、上記
レーザー光を上記液中の粒子及び気泡に照射して散乱光
を発生させるとともに上記粒子から蛍光を発生させ、上
記粒子・分子検出装置は、上記散乱光を検出して、上記
粒子及び気泡の大きさと数を検出し、上記レーザー受光
装置は上記散乱光及び蛍光を受光し、該散乱光及び蛍光
を上記スペクトル分析装置でスペクトル分析して粒子と
気泡を区別し、上記計数装置で上記粒子の数を計数する
ことを特徴とする液中粒子計測装置を提供する。
【０００６】さらに、本発明は、上記課題を解決するた
めに、フローセルに計測される液を流し、上記液中に含
まれる粒子及び気泡にレーザー光を照射し、該レーザー
光により蛍光及び散乱光を発生させ、該散乱光を粒子・
気泡検出装置で検出しその大きさ及び数を検出するとと
もに、上記散乱光及び蛍光をレーザー受光装置により受
光して、スペクトル分析装置によりスペクトル分析する
ことにより、上記粒子と気泡を区別するとともに計数装
置で上記粒子の数を計数することを特徴とする液中粒子
計測方法を提供する。
めに、フローセルに計測される液を流し、上記液中に含
まれる粒子及び気泡にレーザー光を照射し、該レーザー
光により蛍光及び散乱光を発生させ、該散乱光を粒子・
気泡検出装置で検出しその大きさ及び数を検出するとと
もに、上記散乱光及び蛍光をレーザー受光装置により受
光して、スペクトル分析装置によりスペクトル分析する
ことにより、上記粒子と気泡を区別するとともに計数装
置で上記粒子の数を計数することを特徴とする液中粒子
計測方法を提供する。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明に係る液中粒子計測装置お
よび計測方法の実施の形態を実施例に基づいて図面を参
照して以下説明する。図1は、本発明に係る液中粒子計
測装置の実施例１を説明する図である。
よび計測方法の実施の形態を実施例に基づいて図面を参
照して以下説明する。図1は、本発明に係る液中粒子計
測装置の実施例１を説明する図である。
【０００８】図１において、計測対象である粒子や気泡
を含有する液体を配管１の途中に配設したフローセル２
内を流す。フローセル２の一側方には、レーザー照射装
置５が設けられ、レーザー照射装置５に対向してフロー
セル２の他側方には、粒子・気泡検出装置３、及び集光
レンズ４を介してレーザー受光装置６が配設されてい
る。レーザー受光装置６は、スペクトル分析装置７に接
続され、さらにスペクトル分析装置７は、計数装置８に
接続されている。
を含有する液体を配管１の途中に配設したフローセル２
内を流す。フローセル２の一側方には、レーザー照射装
置５が設けられ、レーザー照射装置５に対向してフロー
セル２の他側方には、粒子・気泡検出装置３、及び集光
レンズ４を介してレーザー受光装置６が配設されてい
る。レーザー受光装置６は、スペクトル分析装置７に接
続され、さらにスペクトル分析装置７は、計数装置８に
接続されている。
【０００９】レーザー照射装置５からのレーザー光は、
フローセル２内を流れる液中の粒子及び気泡に照射され
る。そして、光散乱法により粒子・気泡検出装置３は、
粒子、気泡を検出するもので、具体的には、粒子、気泡
の大きさと数を検出する。しかし、検出装置３では、粒
子、気泡の区別はつかない。
フローセル２内を流れる液中の粒子及び気泡に照射され
る。そして、光散乱法により粒子・気泡検出装置３は、
粒子、気泡を検出するもので、具体的には、粒子、気泡
の大きさと数を検出する。しかし、検出装置３では、粒
子、気泡の区別はつかない。
【００１０】照射されたレーザー光は、同時に粒子又は
気泡に照射され、蛍光又は散乱光が発生する。この蛍光
又は散乱光は、集光レンズ４を介してレーザ受光装置で
受光され、さらにスペクトル分析装置７によってスペク
トル分析が行われる。この分析により、粒子又は気泡の
判別が行われ、粒子の場合は粒子計数出力が発生し、計
数装置で粒子の数のカウントが行われる。気泡の場合
は、特に計数出力が生じない。
気泡に照射され、蛍光又は散乱光が発生する。この蛍光
又は散乱光は、集光レンズ４を介してレーザ受光装置で
受光され、さらにスペクトル分析装置７によってスペク
トル分析が行われる。この分析により、粒子又は気泡の
判別が行われ、粒子の場合は粒子計数出力が発生し、計
数装置で粒子の数のカウントが行われる。気泡の場合
は、特に計数出力が生じない。
【００１１】以上のような構成の実施例に係る液中粒子
計測装置による液体中の粒子の数の計測方法について図
２を参考にして以下、説明する。フローセル２に測定対
象である粒子や気泡を含有する液体を流す（図２（ａ）
参照）。そして、粒子・気泡を検出し且つ蛍光を発生さ
せる検出兼励起光を、液体に照射し、光散乱法により、
液体中に粒子及び気泡が含まれていることを検出し、し
かも粒子及び気泡の大きさ、数を検出する（図２（ｂ）
参照）。
計測装置による液体中の粒子の数の計測方法について図
２を参考にして以下、説明する。フローセル２に測定対
象である粒子や気泡を含有する液体を流す（図２（ａ）
参照）。そして、粒子・気泡を検出し且つ蛍光を発生さ
せる検出兼励起光を、液体に照射し、光散乱法により、
液体中に粒子及び気泡が含まれていることを検出し、し
かも粒子及び気泡の大きさ、数を検出する（図２（ｂ）
参照）。
【００１２】レーザー光が照射されると液体に粒子が含
まれる場合は、粒子を構成している物質特有の蛍光を発
生する。気泡の場合は、照射したレーザー光による散乱
光のみが発生する。このようにレーザー光を照射して発
生する蛍光、散乱光を集光レンズ６を介してスペクトル
検出装置６により検出する。そして、その検出データを
スペクトル分析装置７によりスペクトル分析を行う。
まれる場合は、粒子を構成している物質特有の蛍光を発
生する。気泡の場合は、照射したレーザー光による散乱
光のみが発生する。このようにレーザー光を照射して発
生する蛍光、散乱光を集光レンズ６を介してスペクトル
検出装置６により検出する。そして、その検出データを
スペクトル分析装置７によりスペクトル分析を行う。
【００１３】蛍光スペクトルは、粒子を構成している物
質特有のスペクトルを有し、気泡による単なる散乱光の
スペクトルとは異なる。この両者のスペクトルの差によ
り、粒子であるか気泡であるかが判別され、粒子である
と判別された場合は、粒子計数出力を発生し、この計数
装置で粒子の数のカウントが行われる。気泡の場合は粒
子計数出力が発生しないから計数は行われない。（図２
（ｃ）、（ｄ）参照）。
質特有のスペクトルを有し、気泡による単なる散乱光の
スペクトルとは異なる。この両者のスペクトルの差によ
り、粒子であるか気泡であるかが判別され、粒子である
と判別された場合は、粒子計数出力を発生し、この計数
装置で粒子の数のカウントが行われる。気泡の場合は粒
子計数出力が発生しないから計数は行われない。（図２
（ｃ）、（ｄ）参照）。
【００１４】以上、本発明の実施の形態及び実施例を説
明したが、本発明は、特に上記実施の形態及び実施例に
限定されることなく、特許請求の範囲記載の技術的事項
の範囲内で、その他いろいろな態様があることは言うま
でもない。
明したが、本発明は、特に上記実施の形態及び実施例に
限定されることなく、特許請求の範囲記載の技術的事項
の範囲内で、その他いろいろな態様があることは言うま
でもない。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、以上のような構成であるか
ら、フローセル内を流れる液中の気泡と粒子を明確に区
別することが可能となる。これにより、液中の粒子の正
確な計数が可能となる。
ら、フローセル内を流れる液中の気泡と粒子を明確に区
別することが可能となる。これにより、液中の粒子の正
確な計数が可能となる。
【００１６】そして、フローセル内を流れる液中に粒子
及び気泡について、光散乱法による検出と、スペクトル
分析のための蛍光の発生を、１本のレーザー光で行うこ
とができるから、装置を小型で簡単にできる。
及び気泡について、光散乱法による検出と、スペクトル
分析のための蛍光の発生を、１本のレーザー光で行うこ
とができるから、装置を小型で簡単にできる。
【図１】本発明の実施例１の液中粒子計測装置を説明す
る図である。
る図である。
【図２】本発明に係る液中粒子計測方法を説明する図で
ある。
ある。
１ 配管 ２ フローセル ３ 粒子・気泡検出装置 ４ レーザ光照射及びスペクトル分析装置の全体構成 ５ レーザー照射装置 ６ レーザ受光装置 ７ スペクトル分析装置 ８ 計数装置
Claims (2)
- 【請求項１】 計測される液を流すフローセルと、上記
フローセルの一側方に配設されたレーザー光照射装置
と、 上記レーザー光照射装置に対向し、上記フローセルの他
側方に配設された、粒子・気泡検出装置及びレーザー受
光装置と、 上記レーザー受光装置に接続されたスペクトル分析装置
と、該スペクトル分析装置に接続された計数装置とを具
備し、 上記レーザー光照射装置は、上記レーザー光を上記液中
の粒子及び気泡に照射して散乱光を発生させるとともに
上記粒子から蛍光を発生させ、 上記粒子・分子検出装置は、上記散乱光を検出して、上
記粒子及び気泡の大きさと数を検出し、 上記レーザー受光装置は上記散乱光及び蛍光を受光し、
該散乱光及び蛍光を上記スペクトル分析装置でスペクト
ル分析して粒子と気泡を区別し、上記計数装置で上記粒
子の数を計数することを特徴とする液中粒子計測装置。 - 【請求項２】 フローセルに計測される液を流し、上記
液中に含まれる粒子及び気泡にレーザー光を照射し、該
レーザー光により蛍光及び散乱光を発生させ、該散乱光
を粒子・気泡検出装置で検出しその大きさ及び数を検出
するとともに、上記散乱光及び蛍光をレーザー受光装置
により受光して、スペクトル分析装置によりスペクトル
分析することにより、上記粒子と気泡を区別するととも
に計数装置で上記粒子の数を計数することを特徴とする
液中粒子計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25060699A JP3263729B2 (ja) | 1999-09-03 | 1999-09-03 | 液中粒子計測装置およびその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25060699A JP3263729B2 (ja) | 1999-09-03 | 1999-09-03 | 液中粒子計測装置およびその方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001074644A true JP2001074644A (ja) | 2001-03-23 |
| JP3263729B2 JP3263729B2 (ja) | 2002-03-11 |
Family
ID=17210377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25060699A Expired - Lifetime JP3263729B2 (ja) | 1999-09-03 | 1999-09-03 | 液中粒子計測装置およびその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3263729B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007225335A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Toribo Tex Kk | 微粒子計数装置、これを用いる微粒子計数方法及びこれを備える潤滑対象部診断システム |
| CN102252953A (zh) * | 2010-05-21 | 2011-11-23 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 用于液体颗粒测试的适配装置 |
| CN103645130A (zh) * | 2013-11-03 | 2014-03-19 | 湖南欧杰生物科技发展有限公司 | 人或动物排泌物内有形成分高通量定量分析方法 |
| CN103698153A (zh) * | 2012-09-27 | 2014-04-02 | 南京中迅微传感技术有限公司 | 基于能量陷阱法的气溶胶颗粒采样检测方法与装置 |
| CN104374676A (zh) * | 2014-11-25 | 2015-02-25 | 中国科学技术大学 | 一种基于光学俘获的颗粒粒径检测方法 |
| JP2015224941A (ja) * | 2014-05-27 | 2015-12-14 | アズビル株式会社 | 精製水製造装置の監視システム及び精製水製造装置の監視方法 |
| JP2018509637A (ja) * | 2015-02-23 | 2018-04-05 | ティーエスアイ インコーポレイテッド | 凝縮粒子カウンタの偽カウント性能 |
| WO2020067149A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 国立大学法人東京大学 | 微粒子検出装置 |
| WO2023058401A1 (ja) * | 2021-10-05 | 2023-04-13 | ソニーグループ株式会社 | 生体試料分析装置及び異常判定方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015227805A (ja) | 2014-05-30 | 2015-12-17 | アズビル株式会社 | 液中粒子検出装置及び液中粒子の検出方法 |
-
1999
- 1999-09-03 JP JP25060699A patent/JP3263729B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007225335A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Toribo Tex Kk | 微粒子計数装置、これを用いる微粒子計数方法及びこれを備える潤滑対象部診断システム |
| JP4719587B2 (ja) * | 2006-02-21 | 2011-07-06 | トライボテックス株式会社 | 微粒子計数装置、これを用いる微粒子計数方法及びこれを備える潤滑対象部診断システム |
| CN102252953A (zh) * | 2010-05-21 | 2011-11-23 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 用于液体颗粒测试的适配装置 |
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| JP2015224941A (ja) * | 2014-05-27 | 2015-12-14 | アズビル株式会社 | 精製水製造装置の監視システム及び精製水製造装置の監視方法 |
| CN104374676A (zh) * | 2014-11-25 | 2015-02-25 | 中国科学技术大学 | 一种基于光学俘获的颗粒粒径检测方法 |
| JP2018509637A (ja) * | 2015-02-23 | 2018-04-05 | ティーエスアイ インコーポレイテッド | 凝縮粒子カウンタの偽カウント性能 |
| US10520414B2 (en) | 2015-02-23 | 2019-12-31 | Tsi Incorporated | Condensation particle counter false count performance |
| US10914667B2 (en) | 2015-02-23 | 2021-02-09 | Tsi Incorporated | Condensation particle counter false count performance |
| WO2020067149A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | 国立大学法人東京大学 | 微粒子検出装置 |
| JPWO2020067149A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2021-08-30 | 国立大学法人 東京大学 | 微粒子検出装置 |
| JP7333637B2 (ja) | 2018-09-28 | 2023-08-25 | 国立大学法人 東京大学 | 微粒子検出装置 |
| WO2023058401A1 (ja) * | 2021-10-05 | 2023-04-13 | ソニーグループ株式会社 | 生体試料分析装置及び異常判定方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3263729B2 (ja) | 2002-03-11 |
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