JP2001068976A - 発振器 - Google Patents

発振器

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JP2001068976A
JP2001068976A JP24333499A JP24333499A JP2001068976A JP 2001068976 A JP2001068976 A JP 2001068976A JP 24333499 A JP24333499 A JP 24333499A JP 24333499 A JP24333499 A JP 24333499A JP 2001068976 A JP2001068976 A JP 2001068976A
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voltage
mos transistor
ring oscillator
diode
section
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JP24333499A
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Yoshikazu Seko
美和 世古
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 周囲温度およびMOSトランジスタの閾値電
圧の設計値からのばらつきに対して安定した発振周波数
の発振器を提供する。 【解決手段】 CMOSインバータ21よりなるリング
オシレータ部20の発振周波数の温度特性を相殺する温
度係数を有するとともに、CMOSインバータ21を構
成するMOSトランジスタの閾値電圧の設計値からのば
らつきによる発振周波数のばらつきを相殺する供給電圧
を電圧供給部30からリングオシレータ部20に供給す
る。電圧供給部30は電流源31に発振周波数の温度特
性を相殺するためのダイオード36を含み、電圧取出し
回路32に発振周波数のばらつきを相殺するためのダイ
オード接続で直列接続のMOSトランジスタ38,39
を含む。リングオシレータ部20の出力はレベルシフト
回路40に入力され、電源端子VDDと接地端子Gndとの
電位レベルにレベルシフトされて出力される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、CMOSインバー
タよりなるリングオシレータを用いた発振器に関し、特
に半導体集積回路装置に適した発振器に関する。
【0002】
【従来の技術】CMOSインバータが奇数段接続された
リングオシレータが知られている。図5に示すようにリ
ングオシレータ10は、奇数段からなるCMOSインバ
ータ11の各段に電源電圧VDDを供給し、隣接する各前
後段で前段の出力を後段に入力し、最終段の出力を初段
に帰還入力することにより、電源電圧VDDと各インバー
タ11の立ち上がり遅延時間と立ち下がり遅延時間とで
決まる発振周波数の信号を最終段から取り出す構成とな
っている。発振周波数は電源電圧VDDが高くなると高く
なり、また遅延時間が短くなると高くなる。
【0003】各インバータ11の遅延時間は温度依存性
を有するためリングオシレータ10の発振周波数も温度
依存性を有する。また、各インバータ11の遅延時間は
インバータ11を構成するPチャネル型MOSトランジ
スタ12とNチャネル型MOSトランジスタ13のゲー
ト容量および動作抵抗で決まり、リングオシレータ10
の発振周波数はこの遅延時間をインバータ11の段数倍
した時間で決定されるが、動作抵抗と各トランジスタ1
2,13の閾値電圧とは比例関係にあるためリングオシ
レータ10の発振周波数も閾値電圧の大きさに依存す
る。従って、リングオシレータ10への電源電圧VDDが
一定に保たれているものとすると、図6に示すように、
第1の問題として周囲温度Tの上昇に伴って発振周波数
fが低下するため温度変動に対して安定した発振周波数
が得られないとともに、第2の問題としてMOSトラン
ジスタの閾値電圧VTの製造時のばらつきにより閾値電
圧VTが高いと発振周波数fは低いほうに、閾値電圧V
Tが低いと発振周波数fは高いほうにばらつき、均一な
発振周波数のリングオシレータを製造することが難し
い。
【0004】上記問題のうち第1の問題である発振周波
数の温度変動を補償した「電圧制御発振器」が特開昭6
0−63320号公報に開示されている。この「電圧制
御発振器」は、リングオシレータに同一のMOSICチ
ップ内で接続される「電圧レギュレータ」の出力電圧が
周囲温度の上昇に伴って上昇するように構成されてい
る。具体的には「電圧レギュレータ」においてダイオー
ドの順方向電圧により出力電圧に温度特性を持たす構成
としている。従って、上記温度特性を有する「電圧レギ
ュレータ」の出力電圧をリングオシレータに供給するこ
とにより、リングオシレータが周囲温度の上昇に伴って
発振周波数が低下するのを供給電圧の上昇に伴って発振
周波数が高くなることで相殺でき、リングオシレータの
発振周波数の温度変動を補償できる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、特開昭60
−63320号公報に開示されている発振器は、第1の
問題は解決されているものの、第2の問題を依然として
有している。従って、本発明は上記の第1および第2の
問題点を同時に解決するためになされたもので、発振周
波数の温度変動とリングオシレータのインバータを構成
するMOSトランジスタの閾値電圧の製造ばらつきによ
る発振周波数の製造ばらつきを同時に補償した発振器を
提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】(1)本発明に係わる発
振器は、CMOSインバータよりなるリングオシレータ
部と、このリングオシレータ部へ電圧を供給する電圧供
給部とを半導体集積回路装置内に備えた発振器におい
て、前記電圧供給部が前記リングオシレータ部の発振周
波数の温度特性を相殺する第1補償手段と、前記CMO
Sインバータを構成する相異なる導電型のMOSトラン
ジスタの閾値電圧の設計値からのばらつきによる発振周
波数のばらつきを相殺する第2補償手段とを有すること
を特徴とする。 (2)本発明に係わる発振器は上記(1)項において、
前記電圧供給部は電流源と、この電流源からの電流に基
づく電圧を取出す電圧取出し回路と、この電圧取出し回
路からの電圧を前記リングオシレータ部への供給電圧と
して出力するソースフォロア回路とを有し、前記第1補
償手段が前記電流源に含まれ、前記第2補償手段が前記
電圧取出し回路に含まれていることを特徴とする。 (3)本発明に係わる発振器は上記(2)項において、
前記電流源はダイオード接続のMOSトランジスタと、
抵抗と、順方向のダイオードとを電源端子と接地端子間
に直列接続で含み、前記電圧取出し回路は前記ダイオー
ド接続のMOSトランジスタにミラー接続されたMOS
トランジスタと、前記CMOSインバータを構成する相
異なる導電型のMOSトランジスタと略同一の閾値電圧
を有するダイオード接続で直列接続の相異なる導電型の
MOSトランジスタとを電源端子と接地端子間に直列接
続で含み、前記第1補償手段が前記ダイオードであり、
前記第2補償手段が前記ダイオード接続で直列接続の相
異なる導電型のMOSトランジスタであることを特徴と
する。前記リングオシレータ部の出力をレベルシフト回
路により電源端子と接地端子と (4)本発明に係わる発振器は上記(3)項において、
前記リングオシレータ部の出力をレベルシフト回路によ
り電源端子と接地端子との電位レベルにレベルシフトし
て出力するようにしたことを特徴とする。
【0007】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に基づき、第1実
施例の半導体集積回路装置からなる発振器を図1、図3
および図4を参照して説明する。図1において、100
は半導体集積回路装置で、発振器はこの半導体集積回路
装置100内で構成され、リングオシレータ部20と、
このリングオシレータ部20へ電圧を供給する電圧供給
部30と、リングオシレータ部20の出力を電源端子V
DDと接地端子Gndとの電位レベルにレベルシフトさせて
出力するためのレベルシフト回路40とを備え、電源端
子VDDと接地端子Gnd間に供給される電源電圧VDDによ
り駆動する。尚、電源電圧VDDは半導体集積回路装置1
00内に定電圧電源を設けてそこから供給してもよい。
【0008】リングオシレータ部20は従来のリングオ
シレータ10と同様に奇数段からなるCMOSインバー
タ21の隣接する各前後段で前段の出力を後段に入力
し、最終段の出力を初段に帰還入力する構成としてい
る。インバータ21はPチャネル型MOSトランジスタ
22とNチャネル型MOSトランジスタ23とを含んで
いる。MOSトランジスタ22のソースは電圧供給部3
0に、およびMOSトランジスタ23のソースは接地端
子Gndに接続されている。リングオシレータ部20の発
振周波数と、周囲温度TおよびMOSトランジスタ2
2,23の閾値電圧VTとの特性関係はリングオシレー
タ部20への供給電圧が一定とすると、リングオシレー
タ10と同様に図6に示す特性関係を有している。
【0009】電圧供給部30は、電流源31と、電圧取
出し回路32と、ソースフォロア回路33とを有してい
る。電流源31は、ダイオード接続のPチャネル型MO
Sトランジスタ34と、抵抗35と、第1補償手段とし
ての少なくとも1個の(複数個の場合は複数個を直列接
続した)ダイオード36とを含んでいる。MOSトラン
ジスタ34はソースを電源端子VDDに、およびドレイン
を抵抗35の一端に接続するとともに、ドレインとゲー
トとを直接接続し、抵抗35は他端をダイオード36の
アノードに接続し、ダイオード36はカソードを接地端
子Gndに接続している。電圧取出し回路32は、電流源
31からの電流を取出すためのPチャネル型MOSトラ
ンジスタ37と、負荷用で第2補償手段としてのダイオ
ード接続で直列接続されたPチャネル型MOSトランジ
スタ38およびNチャネル型MOSトランジスタ39と
を含んでいる。MOSトランジスタ37はソースを電源
端子VDDに、ドレインをMOSトランジスタ38のソー
スに、およびゲートをMOSトランジスタ34のゲート
に接続し、MOSトランジスタ38はドレインをMOS
トランジスタ39のドレインに接続するとともにドレイ
ンとゲートとを直接接続し、MOSトランジスタ39は
ソースを接地端子Gndに接続するとともにドレインとゲ
ートとを直接接続している。ソースフォロア回路33は
入力をMOSトランジスタ37とMOSトランジスタ3
8の接続点に接続し、出力をリングオシレータ部20の
MOSトランジスタ22のソースに接続している。MO
Sトランジスタ38,39の閾値電圧VTは同一チップ
内に形成されるMOSトランジスタ22,23の閾値電
圧VTと略同一である。
【0010】レベルシフト回路40は、直列接続された
Pチャネル型MOSトランジスタ41およびNチャネル
型MOSトランジスタ42と、直列接続されたPチャネ
ル型MOSトランジスタ43およびNチャネル型MOS
トランジスタ44と、インバータ45とを有している。
MOSトランジスタ41,43のソースを電源端子VDD
に、MOSトランジスタ42,44のソースを接地端子
Gndに、および入力となるMOSトランジスタ42のゲ
ートをリングオシレータ20の出力に接続し、MOSト
ランジスタ41のゲートを出力となるMOSトランジス
タ43とMOSトランジスタ44との接続点に、および
MOSトランジスタ43のゲートをMOSトランジスタ
41とMOSトランジスタ42との接続点に接続してい
る。インバータ45は入力をMOSトランジスタ42の
ゲートに接続し、出力をMOSトランジスタ44のゲー
トに接続している。
【0011】次に上記構成の発振器の動作を説明する。
電源端子VDDに電源電圧VDDが供給された状態で、周囲
温度Tが上昇すると、周囲温度Tの上昇に伴ってダイオ
ード36の順方向電圧が低下し、MOSトランジスタ3
4に流れる電流が増加する。電圧取出し回路32にはM
OSトランジスタ37とMOSトランジスタ34のサイ
ズ比に応じた電流が流れるため、周囲温度の上昇に伴っ
て、電圧取出し回路32に流れる電流も増加し、電圧取
出し回路32からソースフォロア回路33を介して出力
される電圧Vopも高くなる。この電圧Vopはリングオシ
レータ部20の発振周波数を周囲温度Tに対してフラッ
トな周波数特性にするために周囲温度Tに対して所定温
度係数αで増加させる必要があり、その温度係数αは電
流源31のトランジスタ34に流す電流値と抵抗35、
ダイオード36の温度係数により最適な値を選択するこ
とにより得られる。また、MOSトランジスタ22,2
3の閾値電圧VTが製造上ばらついて、例えば設計値よ
り高いとMOSトランジスタ22,23と同一チップ内
のMOSトランジスタ38,39の閾値電圧VTも同傾
向に高くなり、MOSトランジスタ38,39のそれぞ
れの閾値電圧VTとそれぞれの動作抵抗による電圧ドロ
ップとの和は大きくなり、電圧取出し回路32からソー
スフォロア回路33を介して供給される電圧Vopは高く
なり、また、設計値より低いとMOSトランジスタ2
2,23と同一チップ内のMOSトランジスタ38,3
9の閾値電圧VTも同傾向に低くなり、MOSトランジ
スタ38,39のそれぞれの閾値電圧VTとそれぞれの
動作抵抗による電圧ドロップとの和は小さくなり、電圧
取出し回路32からソースフォロア回路33を介して供
給される電圧Vopは設計値の場合より低くなる。すなわ
ち電圧供給部30の出力電圧Vopは図3に示すような周
囲温度TとMOSトランジスタ22,23(MOSトラ
ンジスタ38,39)の閾値電圧VTとの特性関係を有
する。
【0012】この電圧供給部30の出力電圧Vopをリン
グオシレータ部20に供給すると、リングオシレータ部
20固有の問題点である周囲温度Tの上昇に伴って発振
周波数fが低下し、また、MOSトランジスタ22,2
3の閾値電圧VTの製造時のばらつきにより閾値電圧V
Tが高いと発振周波数fは低いほうに、閾値電圧VTが
低いと発振周波数fは高いほうにばらつくのを、周囲温
度Tの上昇に応じて電圧供給部30の出力電圧Vopも温
度係数αで高くなって発振周波数fが高くなり、またM
OSトランジスタ22,23の閾値電圧VTが高いと電
圧供給部30の出力電圧Vopも高くなって発振周波数f
が高くなり、閾値電圧VTが低いと電圧供給部30の出
力電圧Vopも低くなって発振周波数fが低くなることで
相殺でき、図4に示す安定した発振周波数fの信号がリ
ングオシレータ部20から出力される。リングオシレー
タ部20の出力はレベルシフト回路40に入力され、電
源端子VDDと接地端子Gndとの電位レベルにレベルシフ
トされて出力される。
【0013】以上のように、リングオシレータ部20の
発振周波数fの温度変動と、リングオシレータ部20の
インバータ21を構成するMOSトランジスタ22,2
3の閾値電圧VTの製造ばらつきによるリングオシレー
タ部20の発振周波数fの製造ばらつきを同時に補償で
き、安定した発振周波数fを出力する発振器を提供でき
る。
【0014】次に、本発明に基づき、第2実施例の半導
体集積回路装置からなる発振器を図2を参照して説明す
る。図2において、200は半導体集積回路装置で、発
振器はこの半導体集積回路装置200内で構成され、リ
ングオシレータ部50と、このリングオシレータ部50
へ電圧を供給する電圧供給部60と、リングオシレータ
部50の出力を電源端子VDDと接地端子Gndとの電位レ
ベルにレベルシフトさせて出力するためのレベルシフト
回路70とを備え、電源端子VDDと接地端子Gnd間に供
給される電源電圧VDDにより駆動する。尚、電源電圧V
DDは半導体集積回路装置200内に定電圧電源を設けて
そこから供給してもよい。
【0015】リングオシレータ部50は従来のリングオ
シレータ10と同様に奇数段からなるCMOSインバー
タ51の隣接する各前後段で前段の出力を後段に入力
し、最終段の出力を初段に帰還入力する構成としてい
る。インバータ51はNチャネル型MOSトランジスタ
52とPチャネル型MOSトランジスタ53とを含んで
いる。MOSトランジスタ53のソースは電源端子VDD
に、およびMOSトランジスタ52のソースは電圧供給
部60に接続されている。リングオシレータ部50の発
振周波数と、周囲温度TおよびMOSトランジスタ5
2,53の閾値電圧VTとの特性関係はリングオシレー
タ部50への供給電圧が一定とすると、リングオシレー
タ10と同様に図6に示す特性関係を有している。
【0016】電圧供給部60は、電流源61と、電圧取
出し回路62と、ソースフォロア回路63とを有してい
る。電流源61は、ダイオード接続のNチャネル型MO
Sトランジスタ64と、抵抗65と、第1補償手段とし
ての少なくとも1個の(複数個の場合は複数個を直列接
続した)ダイオード66とを含んでいる。MOSトラン
ジスタ64はソースを接地端子Gndに、およびドレイン
を抵抗65の一端に接続するとともに、ドレインとゲー
トとを直接接続し、抵抗65は他端をダイオード66の
カソードに接続し、ダイオード66はアノードを電源端
子VDDに接続している。電圧取出し回路62は、電流源
61からの電流を取出すためのNチャネル型MOSトラ
ンジスタ67と、負荷用で第2補償手段としてのダイオ
ード接続で直列接続されたNチャネル型MOSトランジ
スタ68およびPチャネル型MOSトランジスタ69と
を含んでいる。MOSトランジスタ67はソースを接地
端子Gndに、ドレインをMOSトランジスタ68のソー
スに、およびゲートをMOSトランジスタ64のゲート
に接続し、MOSトランジスタ68はドレインをMOS
トランジスタ69のドレインに接続するとともにドレイ
ンとゲートとを直接接続し、MOSトランジスタ69は
ソースを電源端子VDDに接続するとともにドレインとゲ
ートとを直接接続している。ソースフォロア回路63は
入力をMOSトランジスタ67とMOSトランジスタ6
8の接続点に接続し、出力をリングオシレータ部50の
MOSトランジスタ52のソースに接続している。MO
Sトランジスタ68,69の閾値電圧VTは同一チップ
内に形成されるMOSトランジスタ52,53の閾値電
圧VTと略同一である。
【0017】レベルシフト回路70は、直列接続された
Nチャネル型MOSトランジスタ71およびPチャネル
型MOSトランジスタ72と、直列接続されたNチャネ
ル型MOSトランジスタ73およびPチャネル型MOS
トランジスタ74と、インバータ75とを有している。
MOSトランジスタ71,73のソースを接地端子Gnd
に、MOSトランジスタ72,74のソースを電源端子
VDDに、および入力となるMOSトランジスタ72のゲ
ートをリングオシレータ50の出力に接続し、MOSト
ランジスタ71のゲートを出力となるMOSトランジス
タ73とMOSトランジスタ74との接続点に、および
MOSトランジスタ73のゲートをMOSトランジスタ
71とMOSトランジスタ72との接続点に接続してい
る。インバータ75は入力をMOSトランジスタ72の
ゲートに接続し、出力をMOSトランジスタ74のゲー
トに接続している。
【0018】次に上記構成の発振器の動作を説明する。
電源端子VDDに電源電圧VDDが供給された状態で、周囲
温度Tが上昇すると、周囲温度Tの上昇に伴ってダイオ
ード66の順方向電圧が低下し、MOSトランジスタ6
4に流れる電流が増加する。電圧取出し回路62にはM
OSトランジスタ67とMOSトランジスタ64のサイ
ズ比に応じた電流が流れるため、周囲温度の上昇に伴っ
て、電圧取出し回路62に流れる電流も増加し、電源電
圧VDDと電圧供給部60の出力電圧Vopとの差電圧VDD
−Vopは高くなる。この差電圧VDD−Vopはリングオシ
レータ部50の発振周波数を周囲温度Tに対してフラッ
トな周波数特性にするために周囲温度Tに対して所定温
度係数αで増加させる必要があり、その温度係数αは電
流源61のトランジスタ64に流す電流値と抵抗65、
ダイオード66の温度係数により最適な値を選択するこ
とにより得られる。また、MOSトランジスタ52,5
3の閾値電圧VTが製造上ばらついて、例えば設計値よ
り高いとMOSトランジスタ52,53と同一チップ内
のMOSトランジスタ68,69の閾値電圧VTも同傾
向に高くなり、MOSトランジスタ68,69のそれぞ
れの閾値電圧VTとそれぞれの動作抵抗による電圧ドロ
ップとの和は大きくなり、電源電圧VDDと電圧供給部6
0の出力電圧Vopとの差電圧VDD−Vopは高くなり、ま
た、設計値より低いとMOSトランジスタ52,53と
同一チップ内のMOSトランジスタ68,69の閾値電
圧VTも同傾向に低くなり、MOSトランジスタ68,
69のそれぞれの閾値電圧VTとそれぞれの動作抵抗に
よる電圧ドロップとの和は小さくなり、電源電圧VDDと
電圧供給部60の出力電圧Vopとの差電圧VDD−Vopは
低くなる。すなわち電源電圧VDDと電圧供給部60の出
力電圧Vopとの差電圧VDD−Vopは図3と同様の特性関
係を有する。尚、この場合は図3のVopはVDD−Vopに
置き換える。
【0019】この電源電圧VDDと電圧供給部60の出力
電圧Vopとの差電圧VDD−Vopをリングオシレータ部5
0に供給すると、リングオシレータ部50固有の問題点
である周囲温度Tの上昇に伴って発振周波数fが低下
し、また、MOSトランジスタ52,53の閾値電圧V
Tの製造時のばらつきにより閾値電圧VTが高いと発振
周波数fは低いほうに、閾値電圧VTが低いと発振周波
数fは高いほうにばらつくのを、周囲温度Tの上昇に応
じて電源電圧VDDと電圧供給部60の出力電圧Vopとの
差電圧VDD−Vopは温度係数αで高くなって発振周波数
fが高くなり、またMOSトランジスタ52,53の閾
値電圧VTが高いと電源電圧VDDと電圧供給部60の出
力電圧Vopとの差電圧VDD−Vopは高くなって発振周波
数fが高くなり、閾値電圧VTが低いと電源電圧VDDと
電圧供給部60の出力電圧Vopとの差電圧VDD−Vopは
低くなって発振周波数fが低くなることで相殺でき、図
4に示す安定した発振周波数fの信号がリングオシレー
タ部50から出力される。リングオシレータ部50の出
力はレベルシフト回路70に入力され、電源端子VDDと
接地端子Gndとの電位レベルにレベルシフトされて出力
される。
【0020】以上のように、リングオシレータ部50の
発振周波数fの温度変動と、リングオシレータ部50の
インバータ51を構成するMOSトランジスタ52,5
3の閾値電圧VTの製造ばらつきによるリングオシレー
タ部50の発振周波数fの製造ばらつきを同時に補償で
き、安定した発振周波数fを出力する発振器を提供でき
る。
【0021】
【発明の効果】本発明に係わる発振器によれば、リング
オシレータ部の発振周波数の温度特性と、リングオシレ
ータ部のCMOSインバータを構成するMOSトランジ
スタの閾値電圧の設計値からのばらつきによる発振周波
数のばらつきに対して、電圧供給部からリングオシレー
タ部への供給電圧を、発振周波数の温度特性を相殺する
温度係数を有する供給電圧とするとともに、CMOSイ
ンバータを構成するMOSトランジスタの閾値電圧の設
計値からのばらつきによる発振周波数のばらつきを相殺
する閾値電圧のばらつきに対応する供給電圧とする構
成、すなわち、リングオシレータ部へ電圧を供給する電
圧供給部に発振周波数の温度特性を相殺する第1補償手
段と、CMOSインバータを構成するCMOSの閾値電
圧の設計値からのばらつきによる発振周波数のばらつき
を相殺する第2補償手段とを有するようにしたので、発
振器から安定した発振周波数の信号を出力することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例である発振器の回路図。
【図2】 本発明の第2実施例である発振器の回路図。
【図3】 図1および図2の発振器に使用される電圧供
給部の出力電圧と周囲温度およびMOSトランジスタの
閾値電圧との特性関係を示す図。
【図4】 図1および図2の発振器の発振周波数と周囲
温度およびMOSトランジスタの閾値電圧との特性関係
を示す図。
【図5】 リングオシレータの回路図。
【図6】 図5のリングオシレータの発振周波数と周囲
温度およびMOSトランジスタの閾値電圧との特性関係
を示す図。
【符号の説明】
20,50 リングオシレータ部 21,51 CMOSインバータ 22,53 Pチャネル型MOSトランジスタ 23,52 Nチャネル型MOSトランジスタ 30,60 電圧供給部 31,61 電流源 32,62 電圧取出し回路 33,63 ソースフォロア回路 34 Pチャネル型MOSトランジスタ 64 Nチャネル型MOSトランジスタ 35,65 抵抗 36,66 ダイオード 37 Pチャネル型MOSトランジスタ 67 Nチャネル型MOSトランジスタ 38,69 Pチャネル型MOSトランジスタ 39,69 Nチャネル型MOSトランジスタ 40,70 レベルシフト回路 100,200 半導体集積回路装置

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】CMOSインバータよりなるリングオシレ
    ータ部と、このリングオシレータ部へ電圧を供給する電
    圧供給部とを半導体集積回路装置内に備えた発振器にお
    いて、 前記電圧供給部が前記リングオシレータ部の発振周波数
    の温度特性を相殺する第1補償手段と、前記CMOSイ
    ンバータを構成する相異なる導電型のMOSトランジス
    タの閾値電圧の設計値からのばらつきによる発振周波数
    のばらつきを相殺する第2補償手段とを有することを特
    徴とする発振器。
  2. 【請求項2】前記電圧供給部は電流源と、この電流源か
    らの電流に基づく電圧を取出す電圧取出し回路と、この
    電圧取出し回路からの電圧を前記リングオシレータ部へ
    の供給電圧として出力するソースフォロア回路とを有
    し、前記第1補償手段が前記電流源に含まれ、前記第2
    補償手段が前記電圧取出し回路に含まれていることを特
    徴とする請求項1記載の発振器。
  3. 【請求項3】前記電流源はダイオード接続のMOSトラ
    ンジスタと、抵抗と、順方向のダイオードとを電源端子
    と接地端子間に直列接続で含み、前記電圧取出し回路は
    前記ダイオード接続のMOSトランジスタにミラー接続
    されたMOSトランジスタと、前記CMOSインバータ
    を構成する相異なる導電型のMOSトランジスタと略同
    一の閾値電圧を有するダイオード接続で直列接続の相異
    なる導電型のMOSトランジスタとを電源端子と接地端
    子間に直列接続で含み、前記第1補償手段が前記ダイオ
    ードであり、前記第2補償手段が前記ダイオード接続で
    直列接続の相異なる導電型のMOSトランジスタである
    ことを特徴とする請求項2記載の発振器。
  4. 【請求項4】前記リングオシレータ部の出力をレベルシ
    フト回路により電源端子と接地端子との電位レベルにレ
    ベルシフトして出力するようにしたことを特徴とする請
    求項3記載の発振器。
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