JP2001067942A - 異方導電性シート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高温環境下において被接続体によって加圧さ
れた状態で長期間使用した場合にも、被接続体に接着す
ることが防止または抑制され、高温環境下において繰り
返し使用した場合にも、長期間にわたって所要の導電性
が維持され、従って、熱的耐久性が高くて長い使用寿命
が得られる異方導電性シートの提供。 【解決手段】 弾性基材中に導電性粒子が含有されてな
る異方導電性シートにおいて、弾性基材は、下記液状フ
ッ素ゴム（ａ）またはゴム組成物（ｂ）の硬化物により
形成されている。液状フッ素ゴム（ａ）：分子構造中に
フッ素化ポリエーテル骨格を有し、かつ分子構造の末端
にシリコーン架橋反応基を有する液状フッ素ゴム。ゴム
組成物（ｂ）：液状フッ素ゴム（ａ）と、付加型液状シ
リコーンゴムとを含有してなり、液状フッ素ゴム（ａ）
の割合が、液状フッ素ゴム（ａ）および付加型液状シリ
コーンゴムの合計量の１０重量％以上であるゴム組成
物。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子部品な
どの回路装置相互間の電気的接続や、プリント回路基
板、半導体集積回路などの回路装置の検査装置における
コネクターとして好ましく用いられる異方導電性シート
に関する。

【０００２】

【従来の技術】異方導電性シートは、厚み方向にのみ導
電性を示すもの、または厚み方向に加圧されたときに厚
み方向にのみ導電性を示す加圧導電性導電部を有するも
のであり、ハンダ付けあるいは機械的嵌合などの手段を
用いずにコンパクトな電気的接続を達成することが可能
であること、機械的な衝撃やひずみを吸収してソフトな
接続が可能であることなどの特長を有するため、このよ
うな特長を利用して、例えば電子計算機、電子式デジタ
ル時計、電子カメラ、コンピューターキーボードなどの
分野において、回路装置、例えばプリント回路基板とリ
ードレスチップキャリアー、液晶パネルなどとの相互間
の電気的な接続を達成するためのコネクターとして広く
用いられている。

【０００３】また、プリント回路基板や半導体集積回路
などの回路装置の電気的検査においては、検査対象であ
る回路装置の一面に形成された被検査電極と、検査用回
路基板の表面に形成された検査用電極との電気的な接続
を達成するために、回路装置の被検査電極領域と検査用
回路基板の検査用電極領域との間に異方導電性シートを
介在させることが行われている。

【０００４】従来、このような異方導電性シートとして
は、種々の構造のものが知られており、例えば特開昭５
１−９３３９３号公報等には、金属粒子をエラストマー
中に均一に分散して得られる異方導電性シートが開示さ
れ、また、特開昭５３−１４７７７２号公報等には、導
電性磁性体粒子をエラストマー中に不均一に分布させる
ことにより、厚み方向に伸びる多数の導電路形成部と、
これらを相互に絶縁する絶縁部とが形成されてなる異方
導電性シートが開示され、更に、特開昭６１−２５０９
０６号公報等には、導電路形成部の表面と絶縁部との間
に段差が形成された異方導電性シートが開示されてい
る。これらの異方導電性シートにおいては、弾性基材中
に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有
されており、多数の導電性粒子の連鎖によって導電路が
形成されている。また、弾性基材は、例えばシリコーン
ゴムなどの弾性高分子物質により形成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしなから、従来の
異方導電性シートには、以下のような問題がある。半導
体集積回路などの回路装置の電気的検査においては、被
検査回路装置の潜在的欠陥を発現させるため、高温環境
下における試験（バーンイン試験）が行われる。具体的
に説明すると、異方導電性シートの一面例えば導電部の
一端面に、検査対象である回路装置（以下、「被検査回
路装置」ともいう。）の電極（以下、「被検査電極」と
もいう。）を接触させると共に、当該異方導電性シート
の他面例えば導電部の他端面に、検査用回路基板の検査
用電極を接触させ、更に当該異方導電性シートの厚み方
向に加圧することにより、被検査回路装置の被検査電極
と検査用回路基板の被検査電極との電気的接続が達成さ
れる。その後、環境温度を所定の温度に上昇させ、この
状態で、当該被検査回路装置について所要の電気的検査
が行われる。そして、或る被検査回路装置の電気的検査
が終了した後、この被検査回路装置が他の被検査回路装
置に交換され、当該被検査回路装置について、上記と同
様の操作を繰り返すことによって電気的検査が行われ
る。

【０００６】然るに、異方導電性シートの弾性基材を形
成する弾性高分子物質例えばシリコーンゴムは、高い温
度で接着性を帯びるため、異方導電性シートは、高温環
境下において被検査回路装置によって加圧された状態で
長時間放置されると、当該被検査回路装置に接着する結
果、検査作業を円滑に行うことが困難となる。特に、異
方導電性シートが大きい強度で被検査回路装置に接着し
たときには、当該異方導電性シートを損傷させることな
しに被検査回路装置から剥離することが困難となるた
め、その後の電気的検査に供することができなくなる。

【０００７】また、異方導電性シートによって被検査回
路装置の被検査電極と検査用回路基板の被検査電極とが
電気的に接続されるときには、当該異方導電性シートに
おいては、被検査回路装置の被検査電極によって加圧さ
れることにより、弾性基材が厚み方向に圧縮されて面方
向に伸びるよう変形する。その結果、導電性粒子は弾性
基材の変形に追従して移動するため、当該導電性粒子の
連鎖が湾曲した状態となる。更に、高温環境下に晒され
ると、異方導電性シートの弾性基材を構成する弾性高分
子物質は、その熱膨張係数が大きいものであるため大き
く膨張する。その結果、導電性粒子は弾性基材の膨張に
追従して移動するため、導電性粒子の連鎖の状態が変化
する。そして、このような高温環境下における試験が多
数回にわたって繰り返し行われた場合には、異方導電性
シートを構成する弾性基材には永久歪みが発生し、更
に、この永久歪みによって導電性粒子の連鎖に乱れ或い
は故障が生じる結果、所要の導電性を維持することがで
きない。

【０００８】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであって、その目的は、高温環境下において
被接続体によって加圧された状態で長期間使用した場合
にも、当該被接続体に接着することを防止または抑制す
ることができる異方導電性シートを提供することにあ
る。本発明の他の目的は、高温環境下において繰り返し
使用した場合にも、長期間にわたって所要の導電性を維
持することができ、従って、熱的耐久性が高くて長い使
用寿命が得られる異方導電性シートを提供することにあ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の異方導電性シー
トは、弾性基材中に導電性粒子が含有されてなる異方導
電性シートにおいて、前記弾性基材は、分子構造中にフ
ッ素化ポリエーテル骨格を有し、かつ分子構造の末端に
シリコーン架橋反応基を有する液状フッ素ゴム（ａ）の
硬化物により形成されていることを特徴とする。

【００１０】また、本発明の異方導電性シートは、弾性
基材中に導電性粒子が含有されてなる異方導電性シート
において、前記弾性基材は、下記のゴム組成物（ｂ）の
硬化物により形成されていることを特徴とする。 ゴム組成物（ｂ）：分子構造中にフッ素化ポリエーテル
骨格を有し、かつ分子構造の末端にシリコーン架橋反応
基を有する液状フッ素ゴム（ａ）と、付加型液状シリコ
ーンゴムとを含有してなり、液状フッ素ゴム（ａ）の割
合が、液状フッ素ゴム（ａ）および付加型液状シリコー
ンゴムの合計量の１０重量％以上であるゴム組成物。

【００１１】上記の異方導電性シートにおいては、前記
ゴム組成物（ｂ）における付加型液状シリコーンゴム
は、その粘度が１０００〜１００００Ｐで、かつ、その
硬化物の１５０℃における圧縮永久歪みが１５％以下の
ものであることが好ましい。

【００１２】本発明の異方導電性シートにおいては、前
記導電性粒子は、厚み方向に並ぶよう配向した状態で弾
性基材中に含有されていることが好ましい。また、本発
明の異方導電性シートは、前記導電性粒子が密に含有さ
れた、それそれ厚み方向に伸びる複数の導電部と、これ
らの導電部を相互に絶縁する絶縁部とを有するものであ
ってもよい。また、本発明の異方導電性シートにおいて
は、前記導電性粒子は、強磁性体よりなる芯粒子に、
金、銀、パラジウムおよびロジウムから選ばれる少なく
とも一種の金属によるメッキが施されてなるものである
ことが好ましい。

【００１３】

【作用】本発明の異方導電性シートによれば、弾性基材
が、分子構造中にフッ素化ポリエーテル骨格を有し、か
つ分子構造の末端にシリコーン架橋反応基を有する液状
フッ素ゴム（ａ）またはこれを含有してなるゴム組成物
（ｂ）の硬化物により形成されているため、高温環境下
において被接続体によって加圧された状態で長時間放置
された場合でも、当該被接続体に接着することが防止ま
たは抑制される。また、高温環境下において繰り返し使
用した場合にも、導電性粒子の連鎖に乱れ或いは故障が
生じることが抑制され、その結果、長期間にわたって所
要の導電性が維持される。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。図１は、本発明の異方導電性シート
の一例における構成を示す説明用断面図である。この異
方導電性シート１０は、弾性基材中に導電性粒子が当該
異方導電性シート１０の厚み方向に並ぶよう配向した状
態で含有されてなるものであって、導電性粒子の連鎖に
よって導電路が形成されている。図示の例では、導電性
粒子が密に充填された、それぞれ厚み方向に伸びる複数
の柱状の導電部１１と、これらの導電部１１を相互に絶
縁する、導電性粒子が全くあるいは殆ど存在しない絶縁
部１２とにより構成されており、導電部１１は、接続す
べき電極例えば検査対象である回路装置の被検査電極の
パターンに対応するパターンに従って面方向に沿って配
置され、これらの導電部１１の各々を取り囲むよう、絶
縁部１２が形成されている。また、この例においては、
導電部１１は、絶縁部１２の表面から突出した状態に形
成されている。

【００１５】以上において、異方導電性シート１０の絶
縁部１２の厚みは、０．１〜２ｍｍ、特に０．２〜１ｍ
ｍであることが好ましい。また、導電部１１における絶
縁部１２の表面からの突出高さは、絶縁部１２の厚みの
０．５〜１００％であることが好ましく、さらに好まし
くは１〜８０％、特に好ましくは５〜５０％である。具
体的には、当該突出高さは０．０１〜０．３ｍｍである
ことが好ましく、さらに好ましくは０．０２〜０．２ｍ
ｍ、特に好ましくは０．０３〜０．１ｍｍである。ま
た、導電部１１の径は、０．０５〜１ｍｍであることが
好ましく、さらに好ましくは０．０７〜０．８ｍｍ、特
に好ましくは０．１〜０．５ｍｍである。

【００１６】異方導電性シート１０を構成する弾性基材
は、液状フッ素樹脂（ａ）または液状フッ素樹脂（ａ）
と付加型液状シリコーンゴムとを含有してなるゴム組成
物（ｂ）の硬化物により形成されている。

【００１７】液状フッ素ゴム（ａ）は、分子構造中にフ
ッ素化ポリエーテル骨格を有し、かつ分子構造の末端に
シリコーン架橋反応基を有するものである。液状フッ素
ゴム（ａ）の分子構造中に含有されるフッ素化ポリエー
テル骨格としては、種々の構造のものを用いることがで
き、例えば下記一般式（１）に示す繰り返し単位のパー
フルオロポリアルキレンエーテル構造を有するものを用
いることができる。

【００１８】

【化１】

【００１９】液状フッ素ゴム（ａ）の分子構造中に含有
されるシリコーン架橋反応基としては、付加型の反応基
であるビニル基およびヒドロシリル基、縮合型の反応基
であるシラノール基およびアルコキシシリル基、アセト
キシシリル基、オキシムシリル基若しくはアミノシリル
基などが挙げられるが、反応時に副生成物が生じない点
で、付加型の反応基が好ましい。

【００２０】液状フッ素ゴム（ａ）としては、その２３
℃における粘度が１０００〜１００００Ｐであるものを
用いることが好ましく、さらに好ましくは２０００〜８
０００Ｐ、特に好ましくは３０００〜７０００Ｐのもの
である。この粘度が１０００Ｐ未満である場合には、後
述するシート成形材料において、当該液状フッ素ゴム
（ａ）中における導電性粒子の沈降が生じやすく、良好
な保存安定性が得られないことがある。一方、この粘度
が１００００Ｐを超える場合には、得られるシート成形
材料が粘度の高いものとなるため、金型内にシート成形
材料層を形成しにくいものとなることがあり、また、シ
ート成形材料層に平行磁場を作用させても、導電性粒子
が十分に移動せず、そのため、導電性粒子を厚み方向に
並ぶよう配向させることが困難となることがある。この
ような液状フッ素ゴム（ａ）の粘度は、Ｂ型粘度計によ
って測定することができる。

【００２１】本発明においては、液状フッ素ゴム（ａ）
を硬化させるために適宜の硬化触媒を用いることができ
る。このような硬化触媒は、当該液状フッ素ゴム（ａ）
中のシリコーン架橋反応基の種類によって選択される
が、シリコーン架橋反応基が付加型反応基である場合に
は、白金系のものを用いることができ、その具体例とし
ては、塩化白金酸およびその塩、白金−不飽和基含有シ
ロキサンコンプレックス、ビニルシロキサンと白金との
コンプレックス、白金と１，３−ジビニルテトラメチル
ジシロキサンとのコンプレックス、トリオルガノホスフ
ィンあるいはホスファイトと白金とのコンプレックス、
アセチルアセテート白金キレート、環状ジエンと白金と
のコンプレックスなどの公知のものが挙げられる。硬化
触媒の使用量は、硬化触媒の種類、その他の硬化処理条
件を考慮して適宜選択されるが、通常、液状フッ素ゴム
（ａ）１００重量部に対して３〜１５重量部である。

【００２２】弾性基材を形成するための材料としてゴム
組成物（ｂ）を用いる場合において、当該ゴム組成物
（ｂ）の調製に用いられる付加型液状シリコーンゴム
は、ビニル基とＳｉ−Ｈ結合との反応によって硬化する
ものであって、ビニル基およびＳｉ−Ｈ結合の両方を含
有するポリシロキサンからなる一液型（一成分型）のも
のと、ビニル基を含有するポリシロキサンおよびＳｉ−
Ｈ結合を含有するポリシロキサンからなる二液型（二成
分型）のものがあるが、二液型の付加型液状シリコーン
ゴムを用いることが好ましい。

【００２３】このような付加型液状シリコーンゴムとし
ては、その２３℃における粘度が１０００〜１００００
Ｐ、さらには２０００〜８０００、特には３０００〜７
０００Ｐであって、その硬化物の１５０℃における圧縮
永久歪みが２０％以下、さらには１５％以下、特には１
０％以下のもの（以下、この付加型液状シリコーンゴム
を「特定の付加型液状シリコーンゴム」という。）を用
いることが好ましい。このような特定の付加型液状シリ
コーンゴムを用いることにより、高温環境下において繰
り返し使用した場合にも、導電性粒子の連鎖に乱れ或い
は故障が生じることが一層抑制される結果、長期間にわ
たって所要の導電性を確実に維持することができる。こ
こで、付加型液状シリコーンゴムの粘度は、Ｂ型粘度計
によって測定することができる。また、付加型液状シリ
コーンゴムの硬化物の圧縮永久歪みは、ＪＩＳ Ｋ ６
２４９に準拠した方法によって測定することができる。

【００２４】付加型液状シリコーンゴムの粘度が１００
０Ｐ未満である場合には、後述するシート成形材料にお
いて、当該ゴム組成物（ｂ）中における導電性粒子の沈
降が生じやすく、良好な保存安定性が得られないことが
ある。一方、この粘度が１００００Ｐを超える場合に
は、得られるシート成形材料が粘度の高いものとなるた
め、金型内にシート成形材料層を形成しにくいものとな
ることがあり、また、シート成形材料層に平行磁場を作
用させても、導電性粒子が十分に移動せず、そのため、
導電性粒子を厚み方向に並ぶよう配向させることが困難
となることがある。また、付加型液状シリコーンゴムの
硬化物の圧縮永久歪みが２０％を超える場合には、得ら
れる異方導電性シートを高温環境下において繰り返し使
用したときには、導電部１１における導電性粒子の連鎖
に乱れ或いは故障が生じる結果、所要の導電性を維持す
ることが困難となることがある。

【００２５】また、付加型液状シリコーンゴムとして
は、その硬化物の２３℃におけるデュロメーターＡ硬度
が１０〜６０、特に２０〜６０のものであることが好ま
しい。このデュロメーターＡ硬度が１０未満である場合
には、加圧されたときに、導電部１１を相互に絶縁する
絶縁部１２が過度に歪みやすく、導電部１１間の所要の
絶縁性を維持することが困難となることがある。一方、
このデュロメーターＡ硬度が６０を超える場合には、導
電部１１に適正な歪みを与えるために相当に大きい荷重
による加圧力が必要となるため、例えば検査対象である
回路装置に大きな変形や破壊が生じやすくなる。ここ
で、付加型液状シリコーンゴムの硬化物のデュロメータ
ーＡ硬度は、ＪＩＳ Ｋ ６２４９に準拠した方法によ
って測定することができる。また、付加型液状シリコー
ンゴムとしては、その硬化物の２３℃における引き裂き
強度が８ｋｇｆ／ｃｍ以上のものであることが好まし
く、さらに好ましくは１０ｋｇｆ／ｃｍ以上、特に好ま
しくは２０ｋｇｆ／ｃｍ以上のものである。ここで、付
加型液状シリコーンゴムの硬化物のデュロメーターＡ硬
度は、ＪＩＳ Ｋ ６２４９に準拠した方法によって測
定することができる。

【００２６】このような特性を有する付加型液状シリコ
ーンゴムとしては、信越化学工業株式会社製の液状シリ
コーンゴム「ＫＥ２０００」シリーズ、「ＫＥ１９５
０」シリーズ、「ＫＥ１９５０」シリーズとして市販さ
れているものを用いることができる。

【００２７】本発明においては、付加型液状シリコーン
ゴムを硬化させるために適宜の硬化触媒を用いることが
できる。このような硬化触媒としては、白金系のものを
用いることができ、その具体例としては、塩化白金酸お
よびその塩、白金−不飽和基含有シロキサンコンプレッ
クス、ビニルシロキサンと白金とのコンプレックス、白
金と１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサンとのコ
ンプレックス、トリオルガノホスフィンあるいはホスフ
ァイトと白金とのコンプレックス、アセチルアセテート
白金キレート、環状ジエンと白金とのコンプレックスな
どの公知のものが挙げられる。硬化触媒の使用量は、硬
化触媒の種類、その他の硬化処理条件を考慮して適宜選
択されるが、通常、付加型液状シリコーンゴム１００重
量部に対して３〜１５重量部である。

【００２８】ゴム組成物（ｂ）中における液状フッ素ゴ
ム（ａ）の割合は、液状フッ素ゴム（ａ）および付加型
液状シリコーンゴムの合計量の１０重量％以上とされ、
好ましくは２０重量％以上、さらに好ましくは４０重量
％以上、特に好ましくは５０〜９９重量％とされる。液
状フッ素ゴム（ａ）の割合が１０重量％未満である場合
には、得られる異方導電性シートを高温環境下において
被検査回路装置によって加圧された状態で長時間放置す
ると、当該異方導電性シートが当該被検査回路装置に接
着するため、検査作業を円滑に行うことが困難となる。

【００２９】また、液状フッ素ゴム（ａ）またはゴム組
成物（ｂ）中には、液状フッ素ゴム（ａ）またはゴム組
成物（ｂ）のチクソトロピー性の向上、粘度調整、導電
性粒子の分散安定性の向上、或いは高い強度を有する基
材を得ることなどを目的として、必要に応じて、通常の
シリカ粉、コロイダルシリカ、エアロゲルシリカ、アル
ミナなどの無機充填材を含有させることができる。この
ような無機充填材の使用量は、特に限定されるものでは
ないが、多量に使用すると、磁場による導電性粒子の配
向を十分に達成することができなくなるため、好ましく
ない。

【００３０】弾性基材中に含有される導電性粒子として
は、磁場を作用させることによって容易に異方導電性シ
ート１０の厚み方向に並ぶよう配向させることができる
観点から、磁性を示す導電性粒子を用いることが好まし
い。このような導電性粒子の具体例としては、ニッケ
ル、鉄、コバルトなどの磁性を示す金属の粒子若しくは
これらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒
子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表
面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好
な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子
若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマ
ー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、
コバルトなどの導電性磁性体のメッキを施したもの、あ
るいは芯粒子に、導電性磁性体および導電性の良好な金
属の両方を被覆したものなどが挙げられる。これらの中
では、強磁性体よりなる粒子例えばニッケル粒子を芯粒
子とし、その表面に導電性の良好な金属、特に金、銀、
パラジウム、ロジウムのメッキを施したものを用いるこ
とが好ましい。芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手
段としては、特に限定されるものではないが、例えば化
学メッキまたは電解メッキにより行うことができる。

【００３１】導電性粒子として、芯粒子の表面に導電性
金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導
電性が得られる観点から、粒子表面における導電性金属
の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面
積の割合）が４０％以上であることが好ましく、さらに
好ましくは４５％以上、特に好ましくは４７〜９５％で
ある。また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の０．５〜
５０重量％であることが好ましく、より好ましくは１〜
３０重量％、さらに好ましくは３〜２５重量％、特に好
ましくは４〜２０重量％である。被覆される導電性金属
が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の２．５〜
３０重量％であることが好ましく、より好ましくは３〜
２０重量％、さらに好ましくは３．５〜１７重量％であ
る。

【００３２】また、導電性粒子の粒子径は、１〜１００
０μｍであることが好ましく、より好ましくは２〜５０
０μｍ、さらに好ましくは５〜３００μｍ、特に好まし
くは１０〜２００μｍである。また、導電性粒子の粒子
径分布（Ｄｗ／Ｄｎ）は、１〜１０であることが好まし
く、より好ましくは１．０１〜７、さらに好ましくは
１．０５〜５、特に好ましくは１．１〜４である。この
ような条件を満足する導電性粒子を用いることにより、
得られる導電部１１は、加圧変形が容易なものとなり、
また、当該導電性粒子間に十分な電気的接触が得られ
る。また、導電性粒子の形状は、特に限定されるもので
はないが、液状フッ素ゴム（ａ）またはゴム組成物
（ｂ）中に容易に分散させることができる点で、球状の
もの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子
による塊状のものであることが好ましい。

【００３３】また、導電性粒子の含水率は、５％以下で
あることが好ましく、より好ましくは３％以下、さらに
好ましくは２％以下、とくに好ましくは１％以下であ
る。このような条件を満足する導電性粒子を用いること
により、液状フッ素ゴム（ａ）またはゴム組成物（ｂ）
を硬化処理する際に気泡が生ずることが防止または抑制
される。

【００３４】また、導電性粒子として、その表面がシラ
ンカップリング剤などのカップリング剤で処理されたも
のを適宜用いることができる。導電性粒子の表面がカッ
プリング剤で処理されることにより、当該導電性粒子と
液状フッ素ゴム（ａ）またはゴム組成物（ｂ）の硬化物
との接着性が高くなり、その結果、得られる導電部１１
は、繰り返しの使用における耐久性が高いものとなる。
カップリング剤の使用量は、導電性粒子の導電性に影響
を与えない範囲で適宜選択されるが、導電性粒子表面に
おけるカップリング剤の被覆率（導電性芯粒子の表面積
に対するカップリング剤の被覆面積の割合）が５％以上
となる量であることが好ましく、より好ましくは上記被
覆率が７〜１００％、さらに好ましくは１０〜１００
％、特に好ましくは２０〜１００％となる量である。

【００３５】導電部１１には、導電性粒子が体積分率で
５〜６０％、さらには７〜５０％、特には１０〜４０％
となる割合で含有されていることが好ましい。この割合
が５％未満の場合には、十分に電気抵抗値の小さい導電
部１１が得られないことがある。一方、この割合が６０
％を超える場合には、得られる導電部１１は脆弱なもの
となりやすく、導電部として必要な弾性が得られないこ
とがある。また、導電部１１の厚み方向における電気抵
抗は、当該導電部１１を厚み方向に１０〜２０ｇｆの荷
重で加圧した状態において、１００ｍΩ以下であること
が好ましい。

【００３６】このような異方導電性シート１０は、例え
ば次のようにして製造することができる。図２は、本発
明の異方導電性シート１０を製造するために用いられる
金型の一例における構成を示す説明用断面図である。こ
の金型は、上型５０およびこれと対となる下型５５が、
枠状のスペーサー５４を介して互いに対向するよう配置
されて構成され、上型５０の下面と下型５５の上面との
間にキャビティが形成されている。上型５０において
は、強磁性体基板５１の下面に、目的とする異方導電性
シート１０の導電部１１の配置パターンに対掌なパター
ンに従って強磁性体層５２が形成され、この強磁性体層
５２以外の個所には、当該強磁性体層５２の厚みより大
きい厚みを有する非磁性体層５３が形成されている。一
方、下型５５においては、強磁性体基板５６の上面に、
目的とする異方導電性シート１０の導電部１１の配置パ
ターンと同一のパターンに従って強磁性体層５７が形成
され、この強磁性体層５７以外の個所には、当該強磁性
体層５７の厚みより大きい厚みを有する非磁性体層５８
が形成されている。

【００３７】上型５０および下型５５の各々における強
磁性体基板５１，５６を構成する材料としては、鉄、鉄
−ニッケル合金、鉄−コバルト合金、ニッケル、コバル
トなどの強磁性金属を用いることができる。この強磁性
体基板５１，５６は、その厚みが０．１〜５０ｍｍであ
ることが好ましく、表面が平滑で、化学的に脱脂処理さ
れ、また、機械的に研磨処理されたものであることが好
ましい。

【００３８】また、上型５０および下型５５の各々にお
ける強磁性体層５２，５７を構成する材料としては、
鉄、鉄−ニッケル合金、鉄−コバルト合金、ニッケル、
コバルトなどの強磁性金属を用いることができる。この
強磁性体層５２，５７は、その厚みが１０μｍ以上であ
ることが好ましい。この厚みが１０μｍ未満である場合
には、金型内に形成されるシート成形材料層に対して、
十分な強度分布を有する磁場を作用させることが困難と
なり、この結果、当該シート成形材料層における導電部
を形成すべき部分に導電性粒子を高密度に集合させるこ
とが困難となるため、良好な異方導電性を有するシート
が得られないことがある。

【００３９】また、上型５０および下型５５の各々にお
ける非磁性体層５３，５８を構成する材料としては、銅
などの非磁性金属、耐熱性を有する高分子物質などを用
いることができるが、フォトリソグラフィーの手法によ
り容易に非磁性体層５３，５８を形成することができる
点で、放射線によって硬化された高分子物質を用いるこ
とが好ましく、その材料としては、例えばアクリル系の
ドライフィルムレジスト、エポキシ系の液状レジスト、
ポリイミド系の液状レジストなどのフォトレジストを用
いることができる。また、非磁性体層５３，５８の厚み
は、強磁性体層５２，５７の厚み、目的とする異方導電
性シート１０の導電部１１の突出高さに応じて設定され
る。

【００４０】そして、上記の金型を用い、次のようにし
て異方導電性シート１０が製造される。先ず、液状フッ
素ゴム（ａ）またはゴム組成物（ｂ）中に、磁性を示す
導電性粒子が分散されてなる流動性のシート成形材料を
調製し、図３に示すように、このシート成形材料を金型
のキャビティ内に注入してシート成形材料層１０Ａを形
成する。次いで、上型５０における強磁性体基板５１の
上面および下型５５における強磁性体基板５６の下面
に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動さ
せることにより、強度分布を有する平行磁場、すなわち
上型５０の強磁性体層５２とこれに対応する下型５５の
強磁性体層５７との間において大きい強度を有する平行
磁場をシート成形材料層１０Ａの厚み方向に作用させ
る。その結果、シート成形材料層１０Ａにおいては、図
４に示すように、当該シート成形材料層１０Ａ中に分散
されている導電性粒子が、上型５０の強磁性体層５２と
これに対応する下型５５の強磁性体層５７との間に位置
する導電部となるべき部分１１Ａに集合すると共に、厚
み方向に並ぶよう配向する。

【００４１】そして、この状態において、シート成形材
料層１０Ａを硬化処理することにより上型５０の強磁性
体層５２とこれに対応する下型５５の強磁性体層５７と
の間に配置された、弾性基材中に導電性粒子が密に充填
された導電部１１と、導電性粒子が全くあるいは殆ど存
在しない絶縁部１２とを有する異方導電性シート１０が
製造される。

【００４２】以上において、シート成形材料層１０Ａの
硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこ
ともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこ
ともできる。シート成形材料１０Ａに作用される平行磁
場の強度は、平均で２００〜１００００ガウスとなる大
きさが好ましい。また、シート成形材料層１０Ａに平行
磁場を作用させる手段としては、電磁石の代わりに永久
磁石を用いることもできる。永久磁石としては、上記の
範囲の平行磁場の強度が得られる点で、アルニコ（Ｆｅ
−Ａｌ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金）、フェライトなどよりなる
ものが好ましい。シート成形材料層１０Ａの硬化処理
は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、
加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加
熱時間は、シート成形材料層１０Ａを構成する液状フッ
素ゴム（Ａ）および付加型液状シリコーンゴムなどの種
類、導電性粒子の移動に要する時間などを考慮して適宜
選定される。

【００４３】本発明の異方導電性シートは、半導体集積
回路などの回路装置の電気的検査に好適に用いることが
できる。以下、本発明の異方導電性シートを使用して回
路装置の電気的検査を行う場合について説明する。回路
装置の電気的検査においては、図５に示すように、被検
査回路装置１の被検査電極２と対掌なパターンに従って
配置された検査用電極６を表面に有する検査用回路基板
５が用意される。そして、この検査用回路基板５の表面
上に、異方導電性シート１０が、その導電部１１が検査
用電極６上に位置されるよう配置され、この異方導電性
シート１０上に、被検査回路装置１が、その被検査電極
２が当該異方導電性シート１０の導電部１１上に位置さ
れるよう配置される。

【００４４】次いで、例えば検査用回路基板５を被検査
回路装置１に接近する方向に移動させることにより、異
方導電性シート１０が被検査回路装置１と検査用回路基
板５とにより加圧された状態となり、その結果、被検査
回路装置１の被検査電極２と検査用回路基板５の検査用
電極６との間の電気的接続が達成される。その後、被検
査回路装置１における潜在的欠陥を発現させるため、環
境温度を所定の温度例えば１５０℃に上昇させ、この状
態で、当該被検査回路装置１について所要の電気的検査
が行われる。そして、被検査回路装置１の電気的検査が
終了した後、この被検査回路装置１が別の被検査回路装
置に交換され、当該被検査回路装置について、上記の操
作を繰り返すことによって電気的検査が行われる。

【００４５】而して、本発明の異方導電性シート１０に
よれば、弾性基材が、分子構造中にフッ素化ポリエーテ
ル骨格を有し、かつ分子構造の末端にシリコーン架橋反
応基を有する液状フッ素ゴム（ａ）またはこれを含有し
てなるゴム組成物（ｂ）の硬化物により形成されている
ため、後述する実施例からも明らかなように、高温環境
下において被検査回路装置１によって加圧された状態で
長時間放置された場合でも、当該被検査回路装置１に接
着することを防止または抑制することができる。従っ
て、多数の被検査回路装置の電気的検査を円滑に行うこ
とができると共に、異方導電性シート１０が被検査回路
装置から剥離される際に損傷することもないので、当該
異方導電性シート１０について長い使用寿命が得られ
る。

【００４６】また、異方導電性シート１０は、被検査回
路装置１の被検査電極２によって加圧されることによ
り、弾性基材が厚み方向に圧縮されて面方向に伸びるよ
う変形すると共に、導電部１１における導電性粒子が基
材の変形に追従して移動する結果、当該導電性粒子の連
鎖が湾曲した状態となる。また、環境温度を上昇させる
ことにより、基材が膨張すると共に、導電部１１におけ
る導電性粒子が基材の膨張に追従して移動する結果、導
電性粒子の連鎖の状態が変化する。而して、本発明の異
方導電性シート１０によれば、このような高温環境下に
おける試験に繰り返し使用した場合にも、弾性基材に永
久歪みが発生することが抑制され、これにより、導電性
粒子の連鎖に乱れ或いは故障が生じることが抑制される
結果、長期間にわたって所要の導電性を維持することが
でき、従って、熱的耐久性が高くて長い使用寿命が得ら
れる。

【００４７】本発明の異方導電性シートは、上記の実施
の形態に限定されず種々の変更を加えることが可能であ
る。 （１）図６に示すように、枠板状の支持体１５によって
周縁部が支持された支持体付き異方導電性シート１０を
構成することができる。このような異方導電性シート１
０は、異方導電性シートを製造するための金型として、
キャビティ内に支持体１５を配置し得る支持体配置用空
間領域を有するものを用い、当該金型のキャビティ内に
おける支持体配置用空間領域に支持体１５を配置し、こ
の状態で、前述したように、シート成形材料を注入して
硬化処理することにより、製造することができる。

【００４８】（２）導電部１１が絶縁部１２の表面から
突出した状態に形成されることは、本発明において必須
ではなく、異方導電性シート１０の表面が平坦面のもの
であってもよい。 （３）導電性粒子が面方向において均一に分布した状態
で基材中に含有されてなる、いわゆる分散型または非偏
在型の異方導電性シートを構成することができる。

【００４９】（４）本発明の異方導電性シートは、例え
ば図５に示すような検査用回路基板５の表面に一体的に
設けられたものであってもよい。このような異方導電性
シート１０は、異方導電性シートを製造するための金型
として、キャビティ内に検査用回路基板を配置し得る基
板配置用空間領域を有するものを用い、当該金型のキャ
ビティ内における基板配置用空間領域に検査用回路基板
を配置し、この状態で、前述したように、シート成形材
料を注入して硬化処理することにより、製造することが
できる。

【００５０】

【実施例】以下、本発明の実施例について具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは
ない。また、以下の実施例および比較例において、
「部」は「重量部」を意味するものとする。

【００５１】〈実施例１〉 〔シート成形材料の調製〕液状フッ素ゴム（ａ）とし
て、信越化学工業株式会社製の液状フッ素ゴム「ＳＩＦ
ＥＬ３５１０」を用い、そのＡ液とＢ液とを等量（重量
換算）となる割合で混合した。この混合物１００部に平
均粒子径が４０μｍの導電性粒子１２０部を添加して混
合した後、減圧による脱泡処理を行うことにより、シー
ト成形材料を調製した。以上において、液状フッ素ゴム
「ＳＩＦＥＬ３５１０」は、分子構造中にフッ素化ポリ
エーテル骨格を有し、かつ分子構造の末端にシリコーン
架橋反応基を有する二液型（Ａ液の２３℃における粘度
が３０００Ｐで、Ｂ液の２３℃における粘度が５０００
Ｐ）のものであって、その熱硬化物の硬度が５０、２０
０℃における圧縮歪みが１０％、引き裂き強度が１７ｋ
ｇｆ／ｃｍであった。また、導電性粒子としては、ニッ
ケル粒子（シェリット社製「ＳＦ３００」）を芯粒子と
し、この芯粒子に無電解金メッキが施されてなるもの
（平均被覆量：芯粒子の重量の６重量％となる量）を用
いた。

【００５２】〔異方導電性シート製造用金型〕キャビテ
ィ内に支持体配置用空間領域を有すること以外は基本的
に図２に示す構成に従って、下記の条件により、異方導
電性シート製造用金型を作製した。 強磁性体基板：材質；鉄，厚み；８ｍｍ，強磁性体層：
材質；ニッケル，厚み；０．１ｍｍ，径；０．２５ｍ
ｍ，ピッチ（中心間距離）；０．５ｍｍ，非磁性体層：
材質；レジスト，厚み；０．１５ｍｍ，スペーサの厚
み；０．３ｍｍ

【００５３】〔異方導電性シートの製造〕上記の金型の
キャビティ内における支持体配置用空間領域に、厚みが
０．２ｍｍのステンレスよりなる枠板状の異方導電性シ
ート用支持体を配置した。次いで、この金型のキャビテ
ィ内に、調製したシート成形材料を注入し、減圧による
脱泡処理を行うことにより、当該金型内にシート成形材
料層を形成した。そして、シート成形材料層に対して、
電磁石によって厚み方向に６０００ガウスの平行磁場を
作用させながら、１２０℃、１時間の条件で当該シート
成形材料層の硬化処理を行い、更に、金型から離型した
後に、２００℃、４時間の条件でポストキュアを行うこ
とにより、それそれ厚み方向に伸びる複数の導電部と、
これらの導電部を相互に絶縁する絶縁部とを有する支持
体付異方導電性シートを製造した。得られた異方導電性
シートは、外径が０．２５ｍｍの導電部が、０．５ｍｍ
のピッチで、１６行１６列で配列されてなるものであっ
て、絶縁部の厚みは０．３ｍｍ、導電部の厚みは０．４
ｍｍであり、当該導電部が絶縁部の両面の各々から突出
した状態（それぞれの突出高さが０．０５ｍｍ）に形成
されてなるものである。また、導電部における導電性粒
子の割合は、体積分率で２８％であった。

【００５４】〈実施例２〉液状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ
３５１０」のＡ液とＢ液とを等量（重量換算）となる割
合で混合し、この混合物１０部中に、信越化学工業株式
会社製の付加型液状シリコーンゴム「ＫＥ２０００−３
０」９０部を添加して混合することにより、ゴム組成物
（ｂ−１）を調製した。液状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ３
５１０」の代わりにゴム組成物（ｂ−１）を用いたこと
以外は実施例１と同様にして、シート成形材料を調製
し、支持体付きの異方導電性シートを製造した。以上に
おいて、付加型液状シリコーンゴム「ＫＥ２０００−３
０」は、そのＡ液およびＢ液の２３℃における粘度がい
ずれも２５００Ｐで、硬化物の１５０℃における圧縮永
久歪みが５％、２３℃におけるデュロメータＡ硬度が３
２、２３℃における引裂強度が２６ｋｇｆ／ｃｍのもの
である。また、これらの特性は、以下のようにして測定
したものである。

【００５５】（１）付加型液状シリコーンゴムの粘度：
Ｂ型粘度計により、２３±２℃における粘度を測定し
た。 （２）シリコーンゴム硬化物の圧縮永久歪み：二液型の
付加型液状シリコーンゴムにおけるＡ液とＢ液とを等量
となる割合で攪拌混合した。次いで、この混合物を金型
に流し込み、当該混合物に対して減圧による脱泡処理を
行った後、１２０℃、３０分間の条件で硬化処理を行う
ことにより、厚みが１２．７ｍｍ、直径が２９ｍｍのシ
リコーンゴム硬化物よりなる円柱体を作製し、この円柱
体に対して、２００℃、４時間の条件でポストキュアを
行った。このようにして得られた円柱体を試験片として
用い、ＪＩＳ Ｋ ６２４９に準拠して１５０±２℃に
おける圧縮永久歪みを測定した。

【００５６】（３）シリコーンゴム硬化物の引裂強度：
上記（１）と同様の条件で付加型液状シリコーンゴムの
硬化処理およびポストキュアを行うことにより、厚みが
２．５ｍｍのシートを作製した。このシートから打ち抜
きによってクレセント形の試験片を作製し、ＪＩＳ Ｋ
６２４９に準拠して２３±２℃における引裂強度を測
定した。 （４）デュロメーターＡ硬度：上記（３）と同様にして
作製されたシートを５枚重ね合わせ、得られた積重体を
試験片として用い、ＪＩＳ Ｋ ６２４９に準拠して２
３±２℃におけるデュロメーターＡ硬度を測定した。

【００５７】〈実施例３〉液状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ
３５１０」のＡ液とＢ液とを等量（重量換算）となる割
合で混合し、この混合物５０部中に、付加型液状シリコ
ーンゴム「ＫＥ２０００−３０」５０部を添加して混合
することにより、ゴム組成物（ｂ−２）を調製した。液
状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ３５１０」の代わりにゴム組
成物（ｂ−２）を用いたこと以外は実施例１と同様にし
て、シート成形材料を調製し、支持体付きの異方導電性
シートを製造した。

【００５８】〈実施例４〉液状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ
３５１０」のＡ液とＢ液とを等量（重量換算）となる割
合で混合し、この混合物８０部中に、付加型液状シリコ
ーンゴム「ＫＥ２０００−３０」２０部を添加して混合
することにより、ゴム組成物（ｂ−３）を調製した。液
状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ３５１０」の代わりにゴム組
成物（ｂ−３）を用いたこと以外は実施例１と同様にし
て、シート成形材料を調製し、支持体付きの異方導電性
シートを製造した。

【００５９】〈実施例５〉液状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ
３５１０」のＡ液とＢ液とを等量（重量換算）となる割
合で混合し、この混合物１０部中に、信越化学工業株式
会社製の付加型液状シリコーンゴム「ＫＥ１９５０−３
０」９０部を添加して混合することにより、ゴム組成物
（ｂ−４）を調製した。液状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ３
５１０」の代わりにゴム組成物（ｂ−４）を用いたこと
以外は実施例１と同様にして、シート成形材料を調製
し、支持体付きの異方導電性シートを製造した。以上に
おいて、付加型液状シリコーンゴム「ＫＥ１９５０−３
０」は、そのＡ液およびＢ液の２３℃における粘度がい
ずれも２５００Ｐで、硬化物の１５０℃における圧縮永
久歪みが２２％、２３℃におけるデュロメータＡ硬度が
３２、２３℃における引裂強度が２６ｋｇｆ／ｃｍのも
のである。

【００６０】〈実施例６〉液状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ
３５１０」のＡ液とＢ液とを等量（重量換算）となる割
合で混合し、この混合物５０部中に、付加型液状シリコ
ーンゴム「ＫＥ１９５０−３０」５０部を添加して混合
することにより、ゴム組成物（ｂ−５）を調製した。液
状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ３５１０」の代わりにゴム組
成物（ｂ−５）を用いたこと以外は実施例１と同様にし
て、シート成形材料を調製し、支持体付きの異方導電性
シートを製造した。

【００６１】〈実施例７〉液状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ
３５１０」のＡ液とＢ液とを等量（重量換算）となる割
合で混合し、この混合物８０部中に、付加型液状シリコ
ーンゴム「ＫＥ１９５０−３０」２０部を添加して混合
することにより、ゴム組成物（ｂ−６）を調製した。液
状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ３５１０」の代わりにゴム組
成物（ｂ−６）を用いたこと以外は実施例１と同様にし
て、シート成形材料を調製し、支持体付きの異方導電性
シートを製造した。

【００６２】〈比較例１〉液状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ
３５１０」のＡ液とＢ液とを等量（重量換算）となる割
合で混合し、この混合物５部中に、付加型液状シリコー
ンゴム「ＫＥ２０００−３０」９５部を添加して混合す
ることにより、ゴム組成物（ｃ−１）を調製した。液状
フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ３５１０」の代わりにゴム組成
物（ｃ−１）を用いたこと以外は実施例１と同様にし
て、シート成形材料を調製し、支持体付きの異方導電性
シートを製造した。

【００６３】〈比較例２〉液状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ
３５１０」の代わりに付加型液状シリコーンゴム「ＫＥ
２０００−３０」を用いたこと以外は実施例１と同様に
して、シート成形材料を調製し、支持体付きの異方導電
性シートを製造した。

【００６４】〈比較例３〉液状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ
３５１０」のＡ液とＢ液とを等量（重量換算）となる割
合で混合し、この混合物５部中に、付加型液状シリコー
ンゴム「ＫＥ１９５０−３０」９５部を添加して混合す
ることにより、ゴム組成物（ｃ−３）を調製した。液状
フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ３５１０」の代わりにゴム組成
物（ｃ−３）を用いたこと以外は実施例１と同様にし
て、シート成形材料を調製し、支持体付きの異方導電性
シートを製造した。

【００６５】〈比較例４〉液状フッ素ゴム「ＳＩＦＥＬ
３５１０」の代わりに付加型液状シリコーンゴム「ＫＥ
１９５０−３０」を用いたこと以外は実施例１と同様に
して、シート成形材料を調製し、支持体付きの異方導電
性シートを製造した。

【００６６】〔異方導電性シートの評価〕 （１）異方導電性シートの圧縮永久歪みを測定した。 （２）異方導電性シートを２枚のポリイミドフィルムの
間に配置し、更に、ポリイミドフィルムの各々の外側
に、厚みが１．５ｍｍの鉄板を配置した。そして、異方
導電性シートの厚み方向の圧縮歪みが２０％となるよ
う、当該異方導電性シートを挟圧し、この状態で、１７
５℃で２００時間放置した後、異方導電性シートの外観
およびポリイミドフィルムの接着状態について、以下の
基準によって評価を行った。また、放置温度を２００
℃、２２５℃に変更して同様の評価を行った。

【００６７】［異方導電性シートの外観］ ◎：試験前と変化が無い場合， 〇：液状物のブリードが僅かに認められる場合， △：液状物のブリードが認められる場合， ×：液状物のブリードが多量に認められる場合 ［ポリイミドフィルムへの接着状態］ ◎：全く接着していない場合， 〇：接着しているが容易に剥離することが可能な場合， △：接着しているが剥離することが可能な場合， ×：接着して剥離することができない場合

【００６８】（１）上記（２）の試験前および試験後に
おける異方導電性シートの電気抵抗を次のようにして測
定した。厚みが０．５ｍｍのＢＴレジンよりなる絶縁性
基板の一面上に、ピッチが０．５ｍｍの格子点位置に従
って１６行１６列で配列された、高さが２０μｍ、外径
が０．２５ｍｍの金よりなる突出電極を有し、当該絶縁
性基板の一面における周縁部分に、配線パターンによっ
て突出電極の各々に電気的に接続されたリード電極を有
してなる一方の評価用回路基板と、厚みが０．５ｍｍの
ＢＴレジンよりなる絶縁性基板上に、ピッチが０．５ｍ
ｍの格子点位置に従って１６行１６列で配列された、外
径が０．２５ｍｍの金よりなる平面電極を有し、当該絶
縁性基板の一面における周縁部分に、配線パターンによ
って平面電極の各々に電気的に接続されたリード電極を
有してなる他方の評価用回路基板とを用意し、この一方
の評価用回路基板と他方の評価用回路基板との間に、異
方導電性シートをその導電部が突出電極と平面電極との
間に位置するよう配置し、当該異方導電性シートを導電
部１個あたりに加わる荷重が１０ｇｆとなるよう挟圧し
た。そして、この状態で、任意に選択された２１個の導
電部の各々についてその初期電気抵抗を４端子法によっ
て測定した。以上の結果を下記表１および表２に示す。
なお、表１および表２において、「付加型液状シリコー
ンゴム（１）」は、信越化学工業株式会社製の付加型液
状シリコーンゴム「ＫＥ２０００−３０」を示し、「付
加型液状シリコーンゴム（２）」は、信越化学工業株式
会社製の付加型液状シリコーンゴム「ＫＥ１９５０−３
０」を示す。

【００６９】また、一方の評価用回路基板と他方の評価
用回路基板との間に、異方導電性シートをその導電部が
突出電極と平面電極との間に位置するよう配置し、当該
異方導電性シートを導電部１個あたりに加わる荷重が１
０ｇｆとなるよう挟圧した。そして、この状態で、温度
制御プログラムによって制御された恒温槽中において、
２５℃で１時間保持した後に、任意に選択された２１個
の導電部の各々についてその初期電気抵抗を４端子法に
よって測定し、次いで、１５０℃で２時間保持した後
に、当該導電部の各々についてその初期電気抵抗を４端
子法によって測定した。その後、２５℃で１時間保持し
た後１５０℃で２時間保持する操作（これを１サイクル
とする。）を繰り返すと共に、１サイクルが終了する毎
に、上記の２１個の導電部の各々の電気抵抗を測定し、
いずれかの導電部の電気抵抗の値が２Ωを超えるまでの
サイクル数（これを「耐久回数」という。）を測定し
た。また、導電部１個あたりに加わる荷重を１５ｇｆお
よび２０ｇｆに変更したこと以外は同様にして、初期電
気抵抗および耐久回数を測定した。以上、結果を表３に
示す。

【００７０】

【表１】

【００７１】

【表２】

【００７２】

【表３】

【００７３】表１および表２の結果から明らかなよう
に、実施例１〜７に係る異方導電性シートによれば、高
温環境下においてポリイミドフィルムによって加圧され
た状態で長時間放置された場合にも、当該ポリイミドフ
ィルムに接着することを防止または抑制することができ
る。また、表３の結果から明らかなように、実施例１〜
７に係る異方導電性シートによれば、高温環境下におい
て繰り返し使用した場合にも、導電部の電気抵抗の増加
が小さく、熱的耐久性が高くて長い使用寿命が得られる
ことが確認された。これに対し、比較例１〜４に係る異
方導電性シートにおいては、高温環境下においてポリイ
ミドフィルムによって加圧された状態で長時間放置され
ると、当該ポリイミドフィルムに接着してしまい、特
に、液状フッ素ゴム（ａ）の使用割合の小さい比較例１
および比較例３に係る異方導電性シートでは２２５℃以
上の高温環境下で、液状フッ素ゴム（ａ）を使用してい
ない比較例２および比較例４に係る異方導電性シートで
は２００℃以上の高温環境下で放置されると、当該異方
導電性シートを損傷することなしにポリイミドフィルム
から剥離することができなかった。

【００７４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の異方導電
性シートによれば、弾性基材が、分子構造中にフッ素化
ポリエーテル骨格を有し、かつ分子構造の末端にシリコ
ーン架橋反応基を有する液状フッ素ゴム（ａ）またはこ
れを含有してなるゴム組成物（ｂ）の硬化物により形成
されているため、高温環境下において被接続体によって
加圧された状態で長時間放置された場合でも、当該被接
続体に接着することを防止または抑制することができ
る。このような異方導電性シートを、高温環境下におい
て行われる回路装置の電気的検査に用いることにより、
多数の被検査回路装置の電気的検査を円滑に行うことが
できると共に、異方導電性シートが被検査回路装置から
剥離される際に損傷することもないので、当該異方導電
性シートについて長い使用寿命が得られる。

【００７５】また、本発明の異方導電性シートによれ
ば、高温環境下において繰り返し使用した場合にも、弾
性基材に永久歪みが発生することが抑制され、これによ
り、導電性粒子の連鎖に乱れ或いは故障が生じることが
抑制される結果、長期間にわたって所要の導電性を維持
することができ、従って、熱的耐久性が高くて長い使用
寿命が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の異方導電性シートの一例における構成
を示す説明用断面図である。

【図２】本発明の異方導電性シートを製造するために用
いられる金型の一例における構成を示す説明用断面図で
ある。

【図３】図２に示す金型内に、シート成形材料層が形成
された状態を示す説明用断面図である。

【図４】シート成形材料層中の導電性粒子が当該シート
成形材料層における導電部となる部分に集合した状態を
示す説明用断面図である。

【図５】本発明の異方導電性シートが、検査対象である
回路装置と検査用回路基板との間に介在された状態を示
す説明用断面図である。

【図６】支持体を具えた本発明に係る異方導電性シート
の一例における構成を示す説明用断面図である。

【符号の説明】

１ 被検査回路装置 ２ 被検査電極 ５ 検査用回路基板 ６ 検査用電極 １０ 異方導電性シート １０Ａ シート成形材料層 １１ 導電部 １１Ａ 導電部となるべき部
分 １２ 絶縁部 １５ 支持体 ５０ 上型 ５１ 強磁性体基板 ５２ 強磁性体層 ５３ 非磁性体層 ５４ スペーサー ５５ 下型 ５６ 強磁性体基板 ５７ 強磁性体層 ５８ 非磁性体層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｒ 1/06 Ｇ０１Ｒ 1/06 Ａ ５Ｇ３０７ 31/26 31/26 Ｊ Ｈ Ｈ０１Ｂ 1/22 Ｈ０１Ｂ 1/22 Ｂ Ｈ０１Ｒ 11/01 Ｈ０１Ｒ 11/01 Ｈ (72)発明者 内藤 雄二 東京都中央区築地２丁目11番24号 ジェイ エスアール株式会社内 Ｆターム(参考） 2G003 AA07 AB01 AC01 AG07 AG08 2G011 AA01 AA16 AB06 AB08 AC14 AE01 AE03 AF07 4F071 AA51 AA67 AB08 AE15 AF37 AH12 BC01 4J002 CH052 CP031 CP182 DA086 FB076 GQ02 5G301 DA02 DA03 DA05 DA11 DA42 DA47 DD08 5G307 HA02 HB03 HC02

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弾性基材中に導電性粒子が含有されてな
   る異方導電性シートにおいて、 前記弾性基材は、分子構造中にフッ素化ポリエーテル骨
   格を有し、かつ分子構造の末端にシリコーン架橋反応基
   を有する液状フッ素ゴム（ａ）の硬化物により形成され
   ていることを特徴とする異方導電性シート。
2. 【請求項２】 弾性基材中に導電性粒子が含有されてな
   る異方導電性シートにおいて、 前記弾性基材は、下記のゴム組成物（ｂ）の硬化物によ
   り形成されていることを特徴とする異方導電性シート。
   ゴム組成物（ｂ）：分子構造中にフッ素化ポリエーテル
   骨格を有し、かつ分子構造の末端にシリコーン架橋反応
   基を有する液状フッ素ゴム（ａ）と、付加型液状シリコ
   ーンゴムとを含有してなり、液状フッ素ゴム（ａ）の割
   合が、液状フッ素ゴム（ａ）および付加型液状シリコー
   ンゴムの合計量の１０重量％以上であるゴム組成物。
3. 【請求項３】 ゴム組成物（ｂ）における付加型液状シ
   リコーンゴムは、その粘度が１０００〜１００００Ｐ
   で、かつ、その硬化物の１５０℃における圧縮永久歪み
   が１５％以下のものであることを特徴とする請求項２に
   記載の異方導電性シート。
4. 【請求項４】 導電性粒子は、厚み方向に並ぶよう配向
   した状態で弾性基材中に含有されていることを特徴とす
   る請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の異方導電性
   シート。
5. 【請求項５】 導電性粒子が密に含有された、それそれ
   厚み方向に伸びる複数の導電部と、これらの導電部を相
   互に絶縁する絶縁部とを有することを特徴とする請求項
   １乃至請求項４のいずれかに記載の異方導電性シート。
6. 【請求項６】 導電性粒子は、強磁性体よりなる芯粒子
   に、金、銀、パラジウムおよびロジウムから選ばれる少
   なくとも一種の金属によるメッキが施されてなるもので
   あることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか
   に記載の異方導電性シート。