JP2001066529A - 光偏向器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低い駆動電力で光ビームを広偏向角で振る。 【解決手段】 ベースに対して第１支持梁１６を介して
揺動自在に支持された第１振動部１５と、この第１振動
部１５の上方に間隔を置いて平行に配置され、且つ、第
１振動部１５に第２支持梁１８を介して揺動自在に支持
された第２振動部１７と、第１振動部１５の上面と第２
振動部１７の下面との互いに対向する面に設けられた第
１光反射ミラー１９及び第２光反射ミラー２０と、第１
振動部１５に静電力を付与して揺動力を作用させるため
の第１電極２１と、第２振動部１７に静電力を付与して
揺動力を作用させるための第２電極２２とを備え、第１
光反射ミラー１９と第２光反射ミラー２０との間で、第
２光反射ミラー２０の光反射ミラーで少なくとも２回以
上反射させるように光ビームを多重反射させた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザビーム等の
光を反射させて光偏向を行う光偏向器に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子写真式複写機、レーザビームプリン
タ、バーコードリーダ等の光学機器の走査装置や、光デ
ィスクのトラッキング制御装置の光偏向装置や、レーザ
光をスキャニングして映像を投影する表示装置などには
光偏向器が使用されている。

【０００３】一般に、機械的に光偏向を行う光偏向器と
しては、回転多面鏡（ポリゴンミラー）、揺動型反射鏡
（ガルバノミラー）等があるが、ガルバノミラー型のも
のはポリゴンミラー型のものに比べて機構が小型化で
き、又、最近の半導体プロセス技術ではシリコン基板を
用いたマイクロミラーの試作例なども報告されており、
さらに小型化、軽量化、低コスト化が期待できる。

【０００４】このようなガルバノミラー型の光偏向器の
従来例が図６及び図７に示されている。図６は光偏向器
の分解斜視図、図７はこの光偏向器の概略断面図であ
る。図６及び図７において、光偏向器１のベース２は偏
平長方形状を有し、このベース２の左右両側には一対の
立設部３、４が一体的に構成されており、この立設部
３、４上に振動体５が配置されている。

【０００５】この振動体５は、方形状の外枠部６と、こ
の外枠部６の開口部６ａ内に配置された振動部７と、こ
の振動部７の略重心を通る軸上の位置で振動部７と外枠
部６とを連結する一対の支持部８とから一体的に構成さ
れている。外枠部６が立設部３、４上に固定されてお
り、一対の支持部８は外枠部６を介してベース２に固定
されている。振動部７は一対の支持部８を揺動中心軸Ｃ
Ｌ（図７に示す）として揺動自在に構成されている。振
動部７の表面には光反射ミラー７ａが設けられている。

【０００６】又、ベース２上には左右一対の固定電極１
０、１１が配置され、この一対の固定電極１０、１１は
振動部７の左右両側の裏面に対向する位置に配置されて
いる。この一対の固定電極１０、１１の相手側の電極と
して外枠部６と一体な振動部７が構成され、各固定電極
１０、１１と振動部７との間には各切替スイッチＳＷ
１、ＳＷ２を介して選択的に電圧を印加できるよう構成
されている。

【０００７】上記構成において、一方の固定電極１０と
振動部７との間に電圧が印加されたときには振動部７の
左側が静電力により吸引されて振動部７が一対の支持部
８を揺動中心軸ＣＬ（図７に示す）として反時計方向に
回転し、又、他方の固定電極１１と振動部７との間に電
圧が印加されたときには振動部７が静電力により吸引さ
れて振動部７の右側が一対の支持部８を揺動中心軸ＣＬ
（図７に示す）として時計方向に回転する。従って、切
替スイッチＳＷ１、ＳＷ２を交互にオン・オフ制御し、
一対の固定電極１０、１１に交互に電圧を印加すること
によって振動部７が揺動するものである。この振動部７
に照射された光は、振動部７の揺動によって反射角が変
更され、これによって光偏向される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記従来の
光偏向器では、振動部７の振れ角の２倍の大きさで光ビ
ームが偏向し、光ビームの偏向角を大きくするには、図
８に示すように、振動部７と固定電極１０、１１とのギ
ャップ間隔を大きく設定して振動部７の振れ角を大きく
する必要がある。しかし、静電力は、ギャップの２乗に
反比例するので、必要な駆動力を得るには非常に大きな
電圧を必要とする。

【０００９】そこで、本発明は、前記した課題を解決す
べくなされたものであり、低い駆動電力で光ビームを広
偏向角で振ることができる光偏向器を提供することを目
的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、ベー
スに対して第１支持梁を介して揺動自在に支持された第
１振動部と、この第１振動部の上方に間隔を置いて配置
され、且つ、前記第１振動部に第２支持梁を介して揺動
自在に支持された第２振動部と、前記第１振動部の上面
と前記第２振動部の下面との互いに対向する面に設けら
れた第１光反射ミラー及び第２光反射ミラーとを備え、
前記第１光反射ミラーと前記第２光反射ミラーとの間
で、少なくとも２回以上いずれか一方の光反射ミラーで
反射させるように光ビームを多重反射させたことを特徴
とする。

【００１１】請求項２の発明は、前記請求項１に記載の
光偏向器において、前記ベースには前記第１振動部に静
電力を付与して揺動力を作用させるための第１電極を設
け、前記第１振動部には前記第２振動部に静電力を付与
して揺動力を作用させるための第２電極を設け、前記第
１支持梁による前記第１振動部の揺動方向と前記第２支
持梁による前記第２振動部の揺動方向とを異なる方向と
したことを特徴とする。

【００１２】請求項３の発明は、前記請求項１に記載の
光偏向器において、前記ベースには前記第１振動部に静
電力を付与して揺動力を作用させるための第１電極を設
け、前記第１振動部には前記第２振動部に静電力を付与
して揺動力を作用させるための第２電極を設け、前記第
１支持梁による前記第１振動部の揺動方向と前記第２支
持梁による前記第２振動部の揺動方向とを同一方向とし
たことを特徴とする。

【００１３】請求項４の発明は、前記請求項１に記載の
光偏向器において、前記ベースには前記第１振動部に静
電力を付与して揺動力を作用させるための第１電極を設
け、前記前記第１支持梁による前記第１振動部の揺動方
向と前記第２支持梁による前記第２振動部の揺動方向と
を同一方向とし、前記第２振動部の共振周波数を前記第
１振動部の共振周波数より高く構成したことを特徴とす
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。

【００１５】図１（ａ）、（ｂ）は本発明の第１実施形
態を示し、図１（ａ）は光偏向器１２Ａの斜視図、図１
（ｂ）は光偏向器１２Ａの多重反射状態を示す概略断面
図である。

【００１６】図１（ａ）において、図示しないベースに
は振動体支持部（図示せず）が立設され、この振動体支
持部（図示せず）上に振動体１３が固定されている。こ
の振動体１３は、方形状の外枠部１４と、この外枠部１
４の開口部１４ａ内に配置された第１振動部１５と、こ
の第１振動部１５の略重心を通る軸上の位置で第１振動
部１５と外枠部１４とを連結する一対の第１支持梁１６
と、前記第１振動部１５の上方に間隔を置いて平行に配
置された第２振動部１７と、この第２振動部１７の略重
心を通る軸上の位置で第２振動部１７と第１振動部１５
とを連結する一対の第２支持梁１８とを備えている。な
お、後述の第２光反射ミラー２０の説明の便宜上、第２
振動部１７は、図１（ａ）においては透明なものとして
図示する。

【００１７】第１振動部１５は一対の第１支持梁１６が
捩じり変形することによって揺動中心軸Ａを中心として
揺動自在に、第２振動部１７は一対の第２支持梁１８が
撓み変形することによって揺動中心軸Ｂを中心として揺
動自在にそれぞれ構成されている。揺動中心軸Ａと揺動
中心軸Ｂは直交する方向に設定され、第１振動部１５と
第２振動部１７とは互いに異なる方向である直交方向に
揺動するよう構成されている。つまり、光偏向器１２Ａ
は、２軸偏向の光偏向器として構成されている。以下、
説明の便宜上、揺動中心軸Ａ方向をＸ軸方向、軸Ｂ方向
をＹ軸方向とする。

【００１８】第１振動部１５の上面と第２振動部１７の
下面の互いに対向する面には、第１光反射ミラー１９と
第２光反射ミラー２０（図１（ａ）では明確化のため斜
線で示す）とがそれぞれ設けられている。第２光反射ミ
ラー２０は第２振動部１７の下面のほぼ全域に設けられ
ているが第１光反射ミラー１９は下記する第２電極２２
との関係で第１振動部１５の上面の中央部分にのみ設け
られている。

【００１９】第１電極２１は左右一対有し、一対の第１
電極２１はベース（図示せず）上で、且つ、第１振動部
１５の左右揺動部分に対向する下方位置に設けられてい
る。この一対の第１電極２１の相手側電極として第１振
動部１５が構成され、一対の第１電極２１のいずれか一
方と第１振動部１５との間には選択的に電圧を印加でき
るよう構成されている。

【００２０】第２電極２２は左右一対有し、一対の第２
電極２２は第１振動部１５上で、且つ、第２振動部１７
の左右揺動部分に対向する下方位置に設けられている。
この一対の第２電極２２の相手側電極として第２振動部
１７が構成され、一対の第２電極２２のいずれか一方と
第２振動部１７との間には選択的に電圧を印加できるよ
う構成されている。

【００２１】そして、図１（ｂ）に示すように、光ビー
ムは第１振動部１５と第２振動部１７の間のスペースに
入射され、入射した光ビームが第２光反射ミラー２０、
第１反射ミラー１９、第２光反射ミラー２０の順で多重
反射された後に射出されるように光ビームの光路が設定
されている。

【００２２】上記構成において、図１（ａ）に示すよう
に、第１電極２１及び第２電極２２が共に電圧無印加の
状態では第１振動部１５及び第２振動部１７は共に中立
位置に位置する。この状態にあって、一対の第１電極２
１に交互に電圧が印加されると、第１振動部１５の左右
揺動部分に交互に静電力が作用して第１振動部１５が一
対の第１支持梁部１６の捩じれにより揺動中心軸Ａを中
心として揺動する。第２振動部１７は第１振動部１５に
第２支持梁部１８を介して支持され、且つ、この第１振
動部１５の揺動方向が撓み方向ではないため、第２振動
部１７も共に揺動中心軸Ａを中心として揺動する。この
第１振動部１５及び第２振動部１７の揺動によって光ビ
ームはＹ軸方向に偏向され、この偏向角は第１振動部１
５及び第２振動部１７の揺動角の２倍である。

【００２３】また、一対の第２電極２２に交互に電圧が
印加されると、第２振動部１７の左右揺動部分に交互に
静電力が作用して第２振動部１７が第１振動部１５に対
して一対の第２支持梁部１８の撓みにより揺動中心軸Ｂ
を中心として揺動する。この第２振動部１７の揺動によ
って光ビームはＸ軸方向に偏向される。そして、この偏
向角は、第２振動部１７の第１振動部１５に対する振れ
角をθとすると、第２光反射ミラー２０の１回の反射に
つき２θだけ偏向されることより４θとなる。

【００２４】従って、光ビームを大きな偏向角で偏向さ
せるのに、第２振動部１７の振れ角θを大きくする必要
がなく、第２振動部１７に静電力を付与する第２電極２
２とのギャップを小さくした状態で可能である。以上よ
り第１振動部１５の揺動による偏向方向、この第１実施
形態ではＹ軸偏向方向については、光ビームを従来と同
様の偏向角で振れ、第２振動部１７の揺動による偏向方
向、この第１実施形態ではＸ軸偏向方向については、低
い駆動電力で光ビームを広偏向角で振ることができる。

【００２５】図２は本発明の第２実施形態を示す光偏向
器１２Ｂの斜視図である。図２において、この第２実施
形態を前記第１実施形態と比較するに、第１支持梁１６
による第１振動部１５の揺動方向と第２支持梁１８によ
る第２振動部１７の揺動方向とが揺動中心軸Ｂ（Ｙ軸方
向）を中心として同一方向になるよう構成されている。
つまり、光偏向器１２Ｂは、１軸偏向の光偏向器として
構成されている。他の構成は同一であるため重複説明を
回避すべく図面に同一符号を付してその説明を省略す
る。

【００２６】上記構成において、図２に示すように、第
１電極２１及び第２電極２２が共に電圧無印加の状態で
は第１振動部１５及び第２振動部１７は共に中立位置に
位置する。この状態にあって、一対の第１電極２１に交
互に電圧が印加されると、第１振動部１５が一対の第１
支持梁１６の捩じれにより揺動中心軸Ｂを中心として揺
動する。また、一対の第２電極２２に交互に電圧が印加
されると、第２振動部１７が第１振動部１５に対して一
対の第２支持梁１８の撓みにより揺動中心軸Ｂを中心と
して揺動する。この第１振動部１５及び第２振動部１７
の揺動によって光ビームはＸ軸方向に偏向される。そし
て、この偏向角は、第１振動部１５の振れ角をα、第２
振動部１７の振れ角をβとすると、第２光反射ミラー２
０の１回の反射につき２θ（＝２α＋２β）だけ偏向さ
れることより４θとなる。

【００２７】従って、光ビームを大きな偏向角で偏向さ
せるのに、第１振動部１５及び第２振動部１７の振れ角
α、βを大きくする必要がなく、第１振動部１５及び第
２振動部１７に静電力を付与する第１電極２１及び第２
電極２２とのギャップを小さくした状態で可能である。
以上より第２振動部１７の揺動による偏向方向、この第
２実施形態ではＸ軸偏向方向については、第１実施形態
と比べてより低い駆動電力で光ビームを広偏向角で振る
ことができる。

【００２８】図３は本発明の第３実施形態を示す光偏向
器１２Ｃの斜視図である。図３において、この第３実施
形態を前記第２実施形態と比較するに、第２実施形態と
同様に第１支持梁１６による第１振動部１５の揺動方向
と第２支持梁１８による第２振動部１７の揺動方向とが
揺動中心軸Ｂ（Ｙ軸方向）を中心として同一方向になる
よう構成されているが、第２振動部１７の共振周波数が
第１振動部１５の共振周波数より高く構成され、且つ、
第２電極２２が設けられていない。つまり、光偏向器１
２Ｃは、１軸偏向の光偏向器として構成されている。他
の構成は同一であるため重複説明を回避すべく図面に同
一符号を付してその説明を省略する。

【００２９】上記構成において、図３に示すように、第
１電極２１が電圧無印加の状態では第１振動部１５及び
第２振動部１７は共に中立位置に位置する。この状態に
あって、一対の第１電極２１に交互に電圧が印加して第
１振動部１５を第２振動部１７の共振周波数で揺動中心
軸Ｂを中心として揺動させる。すると、第２振動部１７
が第１振動部１５に対して共振により揺動中心軸Ｂを中
心として揺動する。このように第２振動部１７の揺動は
共振であるので、第１振動部１５をほとんど揺動させる
ことなく第２振動部１７が揺動するため、ほぼ第２振動
部１７の揺動によって光ビームはＸ軸方向に偏向され
る。そして、この偏向角は、第２振動部１７の第１振動
部１５に対する振れ角をθとすると、第２光反射ミラー
２０の１回の反射につき２θだけ偏向されることより４
θとなる。

【００３０】つまり、この第３実施形態では、第２振動
部１７の揺動が共振であるので、第１振動部１５をほと
んど揺動させることなく第２振動部１７が揺動するた
め、光ビームを大きな偏向角で偏向させるのに、第１振
動部１５の振れ角を十分に小さくでき、第１振動部１５
に静電力を付与する第１電極２１とのギャップをさらに
小さくした状態で可能である。以上より第２振動部１７
の揺動による偏向方向、この第３実施形態ではＸ軸偏向
方向については、第２実施形態と比べてさらに低い駆動
電力で光ビームを広偏向角で振ることができる。

【００３１】また、この第３実施形態では第２電極２２
が不要であるため、第２実施形態と比べて構成の簡略
化、省電力化になる。又、第１振動部１５の上面の全域
に第１光反射ミラー１９を配置することができるため、
多重反射のバリエーションが広がる。

【００３２】図４は上記光偏向器１２Ａ〜１２Ｃを用い
た表示装置の概略構成図である。図４において、レーザ
光源３０より発射されたレーザ光は、水平走査用光偏向
子３１に照射される。水平走査用光偏向子３１は水平周
波数に同期して反射ミラー部が揺動され、この揺動によ
って反射光が水平方向に走査される。ここで反射された
レーザ光は垂直走査用光偏向子３２に照射される。この
垂直走査用光偏向子３２は垂直周波数に同期して反射ミ
ラー部が揺動され、この揺動によって反射光が垂直方向
に走査される。ここで反射されたレーザ光がスクリーン
３３に照射される。

【００３３】水平走査用光偏向子３１として上記光偏向
器１２Ａ〜１２Ｃを用いることによって、上記したよう
に低駆動電力で、且つ、広偏向角で揺動することによ
り、数十ｋＨｚの走査周波数に同期させて揺動させるこ
とができる。もちろん、垂直走査用光偏向子３２にも上
記光偏向器１を用いても良い。

【００３４】図５は上記光偏向器１２Ａ〜１２Ｃを用い
た他の表示装置の概略構成図である。図５において、レ
ーザ光源３０より発射されたレーザ光は、水平走査用光
偏向子３１に照射される。水平走査用光偏向子３１は水
平周波数に同期して反射ミラー部が揺動され、この揺動
によって反射光が水平方向に走査される。ここで反射さ
れたレーザ光は垂直走査用光偏向子３２に照射される。
この垂直走査用光偏向子３２は垂直周波数に同期して反
射ミラー部が揺動され、この揺動によって反射光が垂直
方向に走査される。ここで反射されたレーザ光が集束レ
ンズ３４を通って光アドレス型空間変調素子３５に照射
される。光アドレス型空間変調素子３５はこの光情報を
書き込み、これを表面側に明度、輝度等を増幅して液晶
で表示する。

【００３５】一方、ランプ３６からの光は赤外線カット
フィルタ３７、レンズ３８、波長フィルタ３９を通って
ポラリゼーション・ビームスプリッタ４０に入射され、
この反射光が光アドレス型空間変調素子３５に照射され
る。この光アドレス型空間変調素子３５を反射した光は
再びポラリゼーション・ビームスプリッタ４０に入射さ
れ、ここを透過した光がレンズ４１を介してスクリーン
３３に照射される。

【００３６】水平走査用光偏向子３１として上記光偏向
器１２Ａ〜１２Ｃを用いることによって、上記したよう
に低駆動電力で、且つ、広偏向角で揺動することによ
り、数十ｋＨｚの走査周波数に同期させて揺動させるこ
とができる。もちろん、垂直走査用光偏向子３２にも上
記光偏向器１２Ａ〜１２Ｃを用いても良い。

【００３７】尚、光偏向器１２Ａ〜１２Ｃの適用例とし
て表示装置を示したが、電子写真式複写機、レーザビー
ムプリンタ、バーコードリーダ等の光学機器の走査装置
や、光ディスクのトラッキング制御装置の光偏向装置等
にも適用できることはもちろんである。

【００３８】尚、前記各実施形態では、光ビームは第１
光反射ミラー１９と第２光反射ミラー２０の間で、第２
光反射ミラー２０に２回、第１反射ミラー１９に１回の
回数で多重反射させたが、少なくとも２回以上いずれか
一方の光反射ミラー１９、２０で反射させるように多重
反射させれば良い。そして、多重反射の回数を大くすれ
ばすれほど光偏向角を広くすることができる。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、ベースに対して第１支持梁を介して揺動自在に
支持された第１振動部と、この第１振動部の上方に間隔
を置いて配置され、且つ、前記第１振動部に第２支持梁
を介して揺動自在に支持された第２振動部と、前記第１
振動部の上面と前記第２振動部の下面との互いに対向す
る面に設けられた第１光反射ミラー及び第２光反射ミラ
ーとを備え、前記第１光反射ミラーと前記第２光反射ミ
ラーとの間で、少なくとも２回以上いずれか一方の光反
射ミラーで反射させるように光ビームを多重反射させた
ので、第１振動部に対して第２振動部を揺動させると第
２振動部の第１振動部に対する振れ角の少なくとも４倍
以上の光ビームの偏向角を得ることができるため、第２
振動部の振れ角を大きくすることなく光ビームを広偏向
角で振ることができ、以上より第２振動部の揺動方向に
ついては低い駆動電力で光ビームを広偏向角で振ること
ができる。

【００４０】請求項２の発明によれば、請求項１に記載
の光偏向器において、前記ベースには前記第１振動部に
静電力を付与して揺動力を作用させるための第１電極を
設け、前記第１振動部には前記第２振動部に静電力を付
与して揺動力を作用させるための第２電極を設け、前記
第１支持梁による前記第１振動部の揺動方向と前記第２
支持梁による前記第２振動部の揺動方向とを異なる方向
としたので、第１電極と第１振動部との間に電圧を印加
すると、第１振動部が揺動し、第２電極と第２振動部と
の間に電圧を印加すると、前記第１振動部とは異なる方
向に第２振動部が揺動し、第２振動部の揺動方向では第
２振動部の振れ角の少なくとも４倍以上の光ビームの偏
向角を得ることができるため、光ビームを異なる２方向
に偏向させることができると共に、第２振動部の揺動方
向については低い駆動電力で光ビームを広偏向角で振る
ことができる。

【００４１】請求項３の発明によれば、請求項１に記載
の光偏向器において、前記ベースには前記第１振動部に
静電力を付与して揺動力を作用させるための第１電極を
設け、前記第１振動部には前記第２振動部に静電力を付
与して揺動力を作用させるための第２電極を設け、前記
第１支持梁による前記第１振動部の揺動方向と前記第２
支持梁による前記第２振動部の揺動方向とを同一方向と
したので、第１電極と第１振動部との間に電圧を印加す
ると、第１振動部が揺動し、第２電極と第２振動部との
間に電圧を印加すると、前記第１振動部と同じ方向に第
２振動部が揺動し、第２振動部の揺動方向では第１振動
部の振れ角及び第２振動部の振れ角の和に対して少なく
とも４倍以上の光ビームの偏向角を得ることができるた
め、この第２振動部の揺動方向については請求項２の発
明と比べてより低い駆動電力で光ビームを広偏向角で振
ることができる。

【００４２】請求項４の発明によれば、請求項１に記載
の光偏向器において、前記ベースには前記第１振動部に
静電力を付与して揺動力を作用させるための第１電極を
設け、前記前記第１支持梁による前記第１振動部の揺動
方向と前記第２支持梁による前記第２振動部の揺動方向
とを同一方向とし、前記第２振動部の共振周波数を前記
第１振動部の共振周波数より高く構成したので、第１電
極と第１振動部との間に電圧を印加すると、第１振動部
を介して第２振動部が共振によって揺動し、第２振動部
の揺動方向では第１振動部の振れ角及び第２振動部の振
れ角の和に対して少なくとも４倍以上の光ビームの偏向
角を得ることができるため、この第２振動部の揺動方向
については請求項３の発明と比べて更に低い駆動電力で
光ビームを広偏向角で振ることができる。又、請求項３
の発明のような第２電極が不要であり、請求項３の発明
と比べて構成の簡略化、省電力化等になり、又、第１振
動部の上面の全域に第１光反射ミラーを配置することが
できるため、多重反射のバリエーションが広がる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態を示し、（ａ）はその光
偏向器の斜視図、（ｂ）は第１光反射ミラーと第２光反
射ミラーとの間で、多重反射させた状態を示す概略断面
図である。

【図２】本発明の第２実施形態を示し、光偏向器の斜視
図である。

【図３】本発明の第３実施形態を示し、光偏向器の斜視
図である。

【図４】光偏向器を用いた表示装置の概略構成図であ
る。

【図５】光偏向器を用いた他の表示装置の概略構成図で
ある。

【図６】従来例の光偏向器の分解斜視図である。

【図７】従来例の光偏向器の概略断面図である。

【図８】従来例の光偏向器にあって振動部と固定電極と
のギャップ間隔を広くした場合の概略断面図である。

【符号の説明】

１２Ａ〜１２Ｃ光偏向器 １５ 第１振動部 １６ 第１支持梁 １７ 第２振動部 １８ 第２支持梁 １９ 第１光反射ミラー ２０ 第２光反射ミラー ２１ 第１電極 ２２ 第２電極

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベースに対して第１支持梁を介して揺動
   自在に支持された第１振動部と、この第１振動部の上方
   に間隔を置いて配置され、且つ、前記第１振動部に第２
   支持梁を介して揺動自在に支持された第２振動部と、前
   記第１振動部の上面と前記第２振動部の下面との互いに
   対向する面に設けられた第１光反射ミラー及び第２光反
   射ミラーとを備え、 前記第１光反射ミラーと前記第２光反射ミラーとの間
   で、少なくとも２回以上いずれか一方の光反射ミラーで
   反射させるように光ビームを多重反射させたことを特徴
   とする光偏向器。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の光偏向器において、 前記ベースには前記第１振動部に静電力を付与して揺動
   力を作用させるための第１電極を設け、前記第１振動部
   には前記第２振動部に静電力を付与して揺動力を作用さ
   せるための第２電極を設け、前記第１支持梁による前記
   第１振動部の揺動方向と前記第２支持梁による前記第２
   振動部の揺動方向とを異なる方向としたことを特徴とす
   る光偏向器。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の光偏向器において、 前記ベースには前記第１振動部に静電力を付与して揺動
   力を作用させるための第１電極を設け、前記第１振動部
   には前記第２振動部に静電力を付与して揺動力を作用さ
   せるための第２電極を設け、前記第１支持梁による前記
   第１振動部の揺動方向と前記第２支持梁による前記第２
   振動部の揺動方向とを同一方向としたことを特徴とする
   光偏向器。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の光偏向器において、 前記ベースには前記第１振動部に静電力を付与して揺動
   力を作用させるための第１電極を設け、前記前記第１支
   持梁による前記第１振動部の揺動方向と前記第２支持梁
   による前記第２振動部の揺動方向とを同一方向とし、前
   記第２振動部の共振周波数を前記第１振動部の共振周波
   数より高く構成したことを特徴とする光偏向器。