JP2001066130A - 膜厚測定方法及び装置 - Google Patents
膜厚測定方法及び装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 皮膜の膜厚を容易に測定できるようにする。
【解決手段】 送信用振動子４ａ及び受信用振動子４ｂ
を有する二振動子型超音波探触子４と、受信用振動子４
ｂで受信した超音波Ｐの反射波Ｅを表示するオシロスコ
ープ６と、オシロスコープ６により得た反射波の波形に
対してウェブレット変換を順次行なう波形変換手段７
と、波形変換手段７により得た変換後の波形に含まれて
いる溶射皮膜２と母材１との界面相当部分を識別し且つ
波形中の界面相当部分の位置に基づき溶射皮膜２の膜厚
を算出し得る演算手段８とを備え、溶射皮膜２及び母材
１の物性の影響を受けることなく、溶射皮膜２の膜厚を
測定する。
を有する二振動子型超音波探触子４と、受信用振動子４
ｂで受信した超音波Ｐの反射波Ｅを表示するオシロスコ
ープ６と、オシロスコープ６により得た反射波の波形に
対してウェブレット変換を順次行なう波形変換手段７
と、波形変換手段７により得た変換後の波形に含まれて
いる溶射皮膜２と母材１との界面相当部分を識別し且つ
波形中の界面相当部分の位置に基づき溶射皮膜２の膜厚
を算出し得る演算手段８とを備え、溶射皮膜２及び母材
１の物性の影響を受けることなく、溶射皮膜２の膜厚を
測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は膜厚測定方法及び装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、母材表面に形成した厚さ０．５ｍ
ｍ前後の溶射皮膜などの膜厚を計測する手段として電磁
膜厚計が用いられている。
ｍ前後の溶射皮膜などの膜厚を計測する手段として電磁
膜厚計が用いられている。
【０００３】この電磁膜厚計は、渦電流によって生じる
磁場の強度に基づき、皮膜表面から皮膜と母材との界面
までの距離を求めるものであるため、膜厚測定にあたっ
ては、皮膜が非磁性で且つ母材が磁性をもつことが条件
となる。
磁場の強度に基づき、皮膜表面から皮膜と母材との界面
までの距離を求めるものであるため、膜厚測定にあたっ
ては、皮膜が非磁性で且つ母材が磁性をもつことが条件
となる。
【０００４】そこで近年、図５に示すように、母材１上
に形成された膜厚を測定すべき溶射皮膜２の表面に、一
振動子型超音波探触子３の送受信兼用振動子３ａを当接
させ、該送受信兼用振動子３ａから溶射皮膜２及び母材
１に超音波Ｐを伝播させるとともに、該超音波Ｐが溶射
皮膜２と母材１との界面、あるいは母材１の底面で反射
する反射波Ｅを送受信兼用振動子３ａで受信し、図６に
示すように、時刻を横軸とし且つ反射波Ｅの強度を縦軸
とした波形から、該波形中における溶射皮膜２と母材１
との界面相当部分を識別し、溶射皮膜２の膜厚を求める
ことが検討されている。
に形成された膜厚を測定すべき溶射皮膜２の表面に、一
振動子型超音波探触子３の送受信兼用振動子３ａを当接
させ、該送受信兼用振動子３ａから溶射皮膜２及び母材
１に超音波Ｐを伝播させるとともに、該超音波Ｐが溶射
皮膜２と母材１との界面、あるいは母材１の底面で反射
する反射波Ｅを送受信兼用振動子３ａで受信し、図６に
示すように、時刻を横軸とし且つ反射波Ｅの強度を縦軸
とした波形から、該波形中における溶射皮膜２と母材１
との界面相当部分を識別し、溶射皮膜２の膜厚を求める
ことが検討されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一振動
子型超音波探触子３を用いた膜厚測定では、超音波Ｐ及
びその反射波Ｅが多孔質である溶射皮膜２の内部を伝播
しにくいこと、並びに、溶射皮膜２の膜厚が薄いことに
起因して、反射波Ｅの波形に含まれている溶射皮膜２と
母材１との界面相当部分を容易に識別できないことがあ
る。
子型超音波探触子３を用いた膜厚測定では、超音波Ｐ及
びその反射波Ｅが多孔質である溶射皮膜２の内部を伝播
しにくいこと、並びに、溶射皮膜２の膜厚が薄いことに
起因して、反射波Ｅの波形に含まれている溶射皮膜２と
母材１との界面相当部分を容易に識別できないことがあ
る。
【０００６】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもの
で、皮膜の膜厚を確実に測定できるようにする膜厚測定
方法及び装置を提供することを目的としている。
で、皮膜の膜厚を確実に測定できるようにする膜厚測定
方法及び装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項１に記載の膜厚測定方法では、母材
上に形成された皮膜の表面に、二振動子型超音波探触子
の送信用振動子及び受信用振動子を当接させ、送信用振
動子から皮膜及び母材へ超音波を伝播させ且つその反射
波を受信用振動子で受信し、反射波の波形に対してウェ
ーブレット変換を順次行ない、変換後の波形に含まれて
いる皮膜と母材との界面相当部分を識別し、波形中の界
面相当部分の位置に基づき皮膜の膜厚を算出する。
め、本発明の請求項１に記載の膜厚測定方法では、母材
上に形成された皮膜の表面に、二振動子型超音波探触子
の送信用振動子及び受信用振動子を当接させ、送信用振
動子から皮膜及び母材へ超音波を伝播させ且つその反射
波を受信用振動子で受信し、反射波の波形に対してウェ
ーブレット変換を順次行ない、変換後の波形に含まれて
いる皮膜と母材との界面相当部分を識別し、波形中の界
面相当部分の位置に基づき皮膜の膜厚を算出する。
【０００８】本発明の請求項２に記載の膜厚測定装置で
は、送信用振動子及び受信用振動子を有する二振動子型
超音波探触子と、前記の受信用振動子で受信した超音波
の反射波を表示するオシロスコープと、該オシロスコー
プにより得た反射波の波形に対してウェブレット変換を
順次行なう波形変換手段と、該波形変換手段により得た
変換後の波形中から皮膜と母材との界面相当部分を識別
し且つ波形中の界面相当部分の位置に基づき皮膜の膜厚
を算出し得る演算手段とを備えている。
は、送信用振動子及び受信用振動子を有する二振動子型
超音波探触子と、前記の受信用振動子で受信した超音波
の反射波を表示するオシロスコープと、該オシロスコー
プにより得た反射波の波形に対してウェブレット変換を
順次行なう波形変換手段と、該波形変換手段により得た
変換後の波形中から皮膜と母材との界面相当部分を識別
し且つ波形中の界面相当部分の位置に基づき皮膜の膜厚
を算出し得る演算手段とを備えている。
【０００９】本発明の請求項１に記載の膜厚測定方法に
おいては、受信用振動子で得た反射波の波形に対して順
次ウェーブレット変換を行なって、反射波の波形に含ま
れている皮膜と母材との界面相当部分の形状を顕著化さ
せ、当該界面相当部分の波形中での位置に基づき皮膜の
膜厚を求める。
おいては、受信用振動子で得た反射波の波形に対して順
次ウェーブレット変換を行なって、反射波の波形に含ま
れている皮膜と母材との界面相当部分の形状を顕著化さ
せ、当該界面相当部分の波形中での位置に基づき皮膜の
膜厚を求める。
【００１０】本発明の請求項２に記載の膜厚測定装置に
おいては、受信用振動子で反射波を受信した後、波形変
換手段により反射波の波形に対して順次ウェーブレット
変換を行なって、波形に含まれている皮膜と母材との界
面相当部分の形状を顕著化させ、当該界面相当部分の波
形中での位置に基づき皮膜の膜厚を求める。
おいては、受信用振動子で反射波を受信した後、波形変
換手段により反射波の波形に対して順次ウェーブレット
変換を行なって、波形に含まれている皮膜と母材との界
面相当部分の形状を顕著化させ、当該界面相当部分の波
形中での位置に基づき皮膜の膜厚を求める。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１２】図１は本発明の膜厚測定方法を実施するた
めの装置の一例であり、この膜厚測定装置は、二振動子
型超音波探触子４、パルサーレシーバ５、オシロスコー
プ６、波形変換手段７、演算手段８、及び表示器９を備
えている。
めの装置の一例であり、この膜厚測定装置は、二振動子
型超音波探触子４、パルサーレシーバ５、オシロスコー
プ６、波形変換手段７、演算手段８、及び表示器９を備
えている。
【００１３】二振動子型超音波探触子４には、母材１上
に形成された溶射皮膜２の表面に当接可能な送信用振動
子４ａ及び受信用振動子４ｂが設けられており、送信用
振動子４ａから溶射皮膜２及び母材１に超音波Ｐを伝播
させるとともに、溶射皮膜２と母材１との界面、あるい
は母材１の底面で反射する超音波Ｐの反射波Ｅを受信用
振動子４ｂで受信し得るように構成されている。
に形成された溶射皮膜２の表面に当接可能な送信用振動
子４ａ及び受信用振動子４ｂが設けられており、送信用
振動子４ａから溶射皮膜２及び母材１に超音波Ｐを伝播
させるとともに、溶射皮膜２と母材１との界面、あるい
は母材１の底面で反射する超音波Ｐの反射波Ｅを受信用
振動子４ｂで受信し得るように構成されている。
【００１４】オシロスコープ６は、パルサーレシーバ５
を介して得た受信用振動子４ｂで得た反射波Ｅの信号４
ｓを、図２に示すように、時刻を横軸とし且つ反射波強
度を縦軸とした原波形Ｓ0として表示する機能を有して
いる。
を介して得た受信用振動子４ｂで得た反射波Ｅの信号４
ｓを、図２に示すように、時刻を横軸とし且つ反射波強
度を縦軸とした原波形Ｓ0として表示する機能を有して
いる。
【００１５】なお、図２における原波形Ｓ0は、２００
点のプロットを連続した線状にしたものである。
点のプロットを連続した線状にしたものである。
【００１６】波形変換手段７は、オシロスコープ６に表
示された原波形信号６ｓに対して、図２に示す波形Ｄ
1，Ａ1，Ｄ2，Ａ2，Ｄ3，Ａ3のように、順次ウエーブレ
ット変換を行なう機能を有している（図２における波形
Ｄ4〜Ｄ6、波形Ａ4〜Ａ6は参考用）。
示された原波形信号６ｓに対して、図２に示す波形Ｄ
1，Ａ1，Ｄ2，Ａ2，Ｄ3，Ａ3のように、順次ウエーブレ
ット変換を行なう機能を有している（図２における波形
Ｄ4〜Ｄ6、波形Ａ4〜Ａ6は参考用）。
【００１７】演算手段８は、波形変換手段７からの波形
信号７ｓに基づいて、図３における波形Ａ3に含まれて
いる溶射皮膜２と母材１との界面相当部分Ｋ（波形Ａ3
のピーク値）を識別する機能と、時刻に対する界面相当
部分Ｋの位置に基づき、溶射皮膜２の膜厚を算出する機
能とを有している。
信号７ｓに基づいて、図３における波形Ａ3に含まれて
いる溶射皮膜２と母材１との界面相当部分Ｋ（波形Ａ3
のピーク値）を識別する機能と、時刻に対する界面相当
部分Ｋの位置に基づき、溶射皮膜２の膜厚を算出する機
能とを有している。
【００１８】表示器９は、演算手段８から出力される膜
厚信号８ｓに応じて、溶射皮膜２の膜厚を表示するよう
に構成されている。
厚信号８ｓに応じて、溶射皮膜２の膜厚を表示するよう
に構成されている。
【００１９】母材１上に形成された溶射皮膜２の膜厚を
測定する際には、該溶射皮膜２の表面に、二振動子型超
音波探触子４の送信用振動子４ａと受信用振動子４ｂと
を当接させた状態で、送信用振動子４ａから溶射皮膜２
及び母材１に超音波Ｐを伝播させると、受信用振動子４
ｂが超音波Ｐの反射波Ｅを受信し、受信用振動子４ｂか
らパルサーレシーバ５を介してオシロスコープ６へ、反
射波Ｅの信号４ｓが超音波Ｐの影響を受けることなく送
信される。
測定する際には、該溶射皮膜２の表面に、二振動子型超
音波探触子４の送信用振動子４ａと受信用振動子４ｂと
を当接させた状態で、送信用振動子４ａから溶射皮膜２
及び母材１に超音波Ｐを伝播させると、受信用振動子４
ｂが超音波Ｐの反射波Ｅを受信し、受信用振動子４ｂか
らパルサーレシーバ５を介してオシロスコープ６へ、反
射波Ｅの信号４ｓが超音波Ｐの影響を受けることなく送
信される。
【００２０】オシロスコープ６は、信号４ｓを、横軸を
時間とし且つ縦軸を反射波強度とした原波形Ｓ0として
表示する。
時間とし且つ縦軸を反射波強度とした原波形Ｓ0として
表示する。
【００２１】波形変換手段７は、オシロスコープ６から
の原波形信号６ｓにより、原波形Ｓ0における特定周波
数成分（たとえば４０ＭＨｚ）の波形Ｄ1を求め且つ原
波形Ｓ0から波形Ｄ1に相当する周波数成分を取り除いた
波形Ａ1を求めるウェーブレット変換、波形Ａ1における
前記の特定周波数成分の１／２の周波数成分（２０ＭＨ
ｚ）の波形Ｄ2を求め且つ波形Ａ1から波形Ｄ2に相当す
る周波数成分を取り除いた波形Ａ2を求めるウェーブレ
ット変換、波形Ａ2における前記の特定周波数成分の１
／４の周波数成分（１０ＭＨｚ）の波形Ｄ3を求め且つ
波形Ａ2から波形Ｄ3に相当する周波数成分を取り除いた
波形Ａ3を求めるウェーブレット変換を順次行なう。
の原波形信号６ｓにより、原波形Ｓ0における特定周波
数成分（たとえば４０ＭＨｚ）の波形Ｄ1を求め且つ原
波形Ｓ0から波形Ｄ1に相当する周波数成分を取り除いた
波形Ａ1を求めるウェーブレット変換、波形Ａ1における
前記の特定周波数成分の１／２の周波数成分（２０ＭＨ
ｚ）の波形Ｄ2を求め且つ波形Ａ1から波形Ｄ2に相当す
る周波数成分を取り除いた波形Ａ2を求めるウェーブレ
ット変換、波形Ａ2における前記の特定周波数成分の１
／４の周波数成分（１０ＭＨｚ）の波形Ｄ3を求め且つ
波形Ａ2から波形Ｄ3に相当する周波数成分を取り除いた
波形Ａ3を求めるウェーブレット変換を順次行なう。
【００２２】上述したように、原波形Ｓ0に対して３段
階のウェーブレット変換を行なった波形Ａ3には、溶射
皮膜２が多孔質であることに起因したノイズが除去さ
れ、溶射皮膜２と母材１との界面相当部分Ｋがピーク値
として顕著に現れる。
階のウェーブレット変換を行なった波形Ａ3には、溶射
皮膜２が多孔質であることに起因したノイズが除去さ
れ、溶射皮膜２と母材１との界面相当部分Ｋがピーク値
として顕著に現れる。
【００２３】また、原波形Ｓ0のプロットが４００点で
ある場合には、波形Ａ3における前記の特定周波数成分
の１／８の周波数成分（５ＭＨｚ）の波形Ｄ4を求め且
つ波形Ａ3から波形Ｄ4に相当する周波数成分を取り除い
た４段階のウェーブレット変換で得られる波形Ａ4に、
上記の界面相当部分Ｋがピーク値として現れることにな
る。
ある場合には、波形Ａ3における前記の特定周波数成分
の１／８の周波数成分（５ＭＨｚ）の波形Ｄ4を求め且
つ波形Ａ3から波形Ｄ4に相当する周波数成分を取り除い
た４段階のウェーブレット変換で得られる波形Ａ4に、
上記の界面相当部分Ｋがピーク値として現れることにな
る。
【００２４】つまり、原波形Ｓ0のプロットを倍にする
と、波形Ｄ1において２倍の周波数成分の解析が可能に
なり、結果として、波形Ａ4に界面相当部分が現れるこ
とになる。
と、波形Ｄ1において２倍の周波数成分の解析が可能に
なり、結果として、波形Ａ4に界面相当部分が現れるこ
とになる。
【００２５】波形Ａ3における界面相当部分Ｋの位置
は、図３に示すように、溶射皮膜２の厚さが薄いほど左
側へ移動する。
は、図３に示すように、溶射皮膜２の厚さが薄いほど左
側へ移動する。
【００２６】演算手段８は、波形変換手段７からの波形
信号７ｓにより、波形Ａ3の界面相当部分Ｋを識別し且
つ時刻に対する界面相当部分Ｋの位置に基づいて溶射皮
膜２の膜厚を算出する。
信号７ｓにより、波形Ａ3の界面相当部分Ｋを識別し且
つ時刻に対する界面相当部分Ｋの位置に基づいて溶射皮
膜２の膜厚を算出する。
【００２７】すなわち、予め、種々の厚さの溶射皮膜２
を母材１上に形成した複数の試験片を用いて、図４に示
すように、時間軸に対する界面相当部分Ｋの位置を把握
しておくことにより、溶射皮膜２の厚さを知ることがで
きる。
を母材１上に形成した複数の試験片を用いて、図４に示
すように、時間軸に対する界面相当部分Ｋの位置を把握
しておくことにより、溶射皮膜２の厚さを知ることがで
きる。
【００２８】更に、表示器９は、演算手段８から出力さ
れる膜厚信号８ｓに応じて、溶射皮膜２の膜厚を数値表
示する。
れる膜厚信号８ｓに応じて、溶射皮膜２の膜厚を数値表
示する。
【００２９】このように、図１に示す膜厚測定装置にお
いては、二振動子型超音波探触子４の受信用振動子４ｂ
で受信した反射波Ｅをオシロスコープ６により表示した
後、波形変換手段７により反射波強度の原波形Ｓ0に対
して順次ウェーブレット変換を行なって、波形Ａ3中の
溶射皮膜２と母材１との界面相当部分Ｋを顕著化させる
ので、母材１及び溶射皮膜２の物性の影響を受けること
なく、界面相当部分Ｋの波形Ａ3中での位置に基づいて
溶射皮膜２の膜厚を確実に測定することができる。
いては、二振動子型超音波探触子４の受信用振動子４ｂ
で受信した反射波Ｅをオシロスコープ６により表示した
後、波形変換手段７により反射波強度の原波形Ｓ0に対
して順次ウェーブレット変換を行なって、波形Ａ3中の
溶射皮膜２と母材１との界面相当部分Ｋを顕著化させる
ので、母材１及び溶射皮膜２の物性の影響を受けること
なく、界面相当部分Ｋの波形Ａ3中での位置に基づいて
溶射皮膜２の膜厚を確実に測定することができる。
【００３０】なお、本発明の膜厚測定方法及び装置は上
述した実施の形態のみに限定されるものではなく、本発
明を塗膜やボイラチューブ内面に形成される酸化皮膜の
厚さ測定に用いること、その他、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲において変更を加え得ることは勿論である。
述した実施の形態のみに限定されるものではなく、本発
明を塗膜やボイラチューブ内面に形成される酸化皮膜の
厚さ測定に用いること、その他、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲において変更を加え得ることは勿論である。
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の膜厚測定方
法及び装置によれば、下記のような種々の優れた効果を
奏し得る。
法及び装置によれば、下記のような種々の優れた効果を
奏し得る。
【００３２】（１）本発明の請求項１に記載の膜厚測定
方法においては、受信用振動子で得た反射波の波形に対
して順次ウェーブレット変換を行なって、反射波の波形
に含まれている皮膜と母材との界面相当部分を顕著化さ
せ、当該界面相当部分の波形中での位置に基づき皮膜の
膜厚を求めるので、皮膜及び母材の物性の影響を受ける
ことなく、皮膜の膜厚を確実に測定することが可能にな
る。
方法においては、受信用振動子で得た反射波の波形に対
して順次ウェーブレット変換を行なって、反射波の波形
に含まれている皮膜と母材との界面相当部分を顕著化さ
せ、当該界面相当部分の波形中での位置に基づき皮膜の
膜厚を求めるので、皮膜及び母材の物性の影響を受ける
ことなく、皮膜の膜厚を確実に測定することが可能にな
る。
【００３３】（２）本発明の請求項２に記載の膜厚測定
装置においては、受信用振動子で受信した反射波をオシ
ロスコープにより表示させた後、波形変換手段により反
射波強度の波形に対して順次ウェーブレット変換を行な
って、波形に含まれている皮膜と母材との界面相当部分
を顕著化させ、当該界面相当部分の波形中での位置に基
づき皮膜の膜厚を求めるので、皮膜及び母材の物性の影
響を受けることなく、皮膜の膜厚を確実に測定すること
が可能になる。
装置においては、受信用振動子で受信した反射波をオシ
ロスコープにより表示させた後、波形変換手段により反
射波強度の波形に対して順次ウェーブレット変換を行な
って、波形に含まれている皮膜と母材との界面相当部分
を顕著化させ、当該界面相当部分の波形中での位置に基
づき皮膜の膜厚を求めるので、皮膜及び母材の物性の影
響を受けることなく、皮膜の膜厚を確実に測定すること
が可能になる。
【図１】本発明の膜厚測定方法を実施するための装置の
一例を示す概念図である。
一例を示す概念図である。
【図２】膜厚３００μｍの皮膜が形成されている試験片
の反射波の原波形と該原波形に対して順次ウェーブレッ
ト変換を行なった波形を示すグラフである。
の反射波の原波形と該原波形に対して順次ウェーブレッ
ト変換を行なった波形を示すグラフである。
【図３】種々の膜厚の皮膜が形成されている試験片の反
射波の原波形と該原波形に対して界面相当部分が顕著に
なる状態までウェーブレット変換を行なった波形を示す
グラフである。
射波の原波形と該原波形に対して界面相当部分が顕著に
なる状態までウェーブレット変換を行なった波形を示す
グラフである。
【図４】各試験片の皮膜の膜厚と界面相当部分検出時刻
との関係を示すグラフである。
との関係を示すグラフである。
【図５】近年検討されている膜厚測定方法の一例を示す
概念図である。
概念図である。
【図６】近年検討されている膜厚測定方法で得られる時
刻と反射波強度との関係を示すグラフである。
刻と反射波強度との関係を示すグラフである。
１ 母材 ２ 溶射皮膜 ４ 二振動子型超音波探触子 ４ａ 送信用振動子 ４ｂ 受信用振動子 ６ オシロスコープ ７ 波形変換手段 ８ 演算手段 Ｅ 反射波 Ｋ 界面相当部分 Ｐ 超音波
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F068 AA28 BB14 FF04 FF12 FF14 FF16 KK13 LL03
Claims (2)
- 【請求項１】 母材上に形成された皮膜の表面に、二振
動子型超音波探触子の送信用振動子及び受信用振動子を
当接させ、送信用振動子から皮膜及び母材へ超音波を伝
播させ且つその反射波を受信用振動子で受信し、反射波
の波形に対してウェーブレット変換を順次行ない、変換
後の波形に含まれている皮膜と母材との界面相当部分を
識別し、波形中の界面相当部分の位置に基づき皮膜の膜
厚を算出することを特徴とする膜厚測定方法。 - 【請求項２】 送信用振動子及び受信用振動子を有する
二振動子型超音波探触子と、前記の受信用振動子で受信
した超音波の反射波を表示するオシロスコープと、該オ
シロスコープにより得た反射波の波形に対してウェブレ
ット変換を順次行なう波形変換手段と、該波形変換手段
により得た変換後の波形中から皮膜と母材との界面相当
部分を識別し且つ波形中の界面相当部分の位置に基づき
皮膜の膜厚を算出し得る演算手段とを備えてなることを
特徴とする膜厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23983699A JP4126817B2 (ja) | 1999-08-26 | 1999-08-26 | 膜厚測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23983699A JP4126817B2 (ja) | 1999-08-26 | 1999-08-26 | 膜厚測定方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001066130A true JP2001066130A (ja) | 2001-03-16 |
| JP4126817B2 JP4126817B2 (ja) | 2008-07-30 |
Family
ID=17050594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23983699A Expired - Lifetime JP4126817B2 (ja) | 1999-08-26 | 1999-08-26 | 膜厚測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4126817B2 (ja) |
Cited By (6)
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