JP2001060846A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2001060846A5 JP2001060846A5 JP2000166359A JP2000166359A JP2001060846A5 JP 2001060846 A5 JP2001060846 A5 JP 2001060846A5 JP 2000166359 A JP2000166359 A JP 2000166359A JP 2000166359 A JP2000166359 A JP 2000166359A JP 2001060846 A5 JP2001060846 A5 JP 2001060846A5
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000166359A JP4368499B2 (ja) | 1999-06-14 | 2000-06-02 | 弾性表面波素子の製造方法およびそれを用いた弾性表面波デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-166684 | 1999-06-14 | ||
| JP16668499 | 1999-06-14 | ||
| JP2000166359A JP4368499B2 (ja) | 1999-06-14 | 2000-06-02 | 弾性表面波素子の製造方法およびそれを用いた弾性表面波デバイスの製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008329986A Division JP4368930B2 (ja) | 1999-06-14 | 2008-12-25 | 弾性表面波素子 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001060846A JP2001060846A (ja) | 2001-03-06 |
| JP2001060846A5 true JP2001060846A5 (de) | 2009-02-19 |
| JP4368499B2 JP4368499B2 (ja) | 2009-11-18 |
Family
ID=26490962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000166359A Expired - Lifetime JP4368499B2 (ja) | 1999-06-14 | 2000-06-02 | 弾性表面波素子の製造方法およびそれを用いた弾性表面波デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4368499B2 (de) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6426583B1 (en) | 1999-06-14 | 2002-07-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave element, method for producing the same and surface acoustic wave device using the same |
| JP2004336503A (ja) | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波素子及びその製造方法 |
| WO2006123653A1 (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電デバイス |
| JP2007134889A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 複合圧電基板 |
| JP5363092B2 (ja) * | 2008-12-24 | 2013-12-11 | 日本碍子株式会社 | 表面弾性波フィルタ用複合基板の製造方法及び表面弾性波フィルタ用複合基板 |
| JP2010166371A (ja) * | 2009-01-16 | 2010-07-29 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電デバイスの製造方法 |
| JP5182379B2 (ja) * | 2009-01-29 | 2013-04-17 | 株式会社村田製作所 | 複合基板の製造方法 |
| JP5458651B2 (ja) * | 2009-04-28 | 2014-04-02 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波素子用基板及び弾性表面波素子の製造方法 |
| JP5399229B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-01-29 | 日本碍子株式会社 | 複合基板及びその製造方法 |
| JP5794778B2 (ja) * | 2010-12-25 | 2015-10-14 | 京セラ株式会社 | 電子装置 |
| CN103748787B (zh) * | 2011-08-22 | 2017-04-12 | 京瓷株式会社 | 弹性波装置以及电子部件 |
| JP2015138929A (ja) * | 2014-01-24 | 2015-07-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 接合システム、接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体 |
| JP6310360B2 (ja) | 2014-08-13 | 2018-04-11 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
| JP6433930B2 (ja) * | 2016-02-23 | 2018-12-05 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
| KR102292154B1 (ko) * | 2017-08-29 | 2021-08-23 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파 장치, 고주파 프론트 엔드 회로 및 통신 장치 |
-
2000
- 2000-06-02 JP JP2000166359A patent/JP4368499B2/ja not_active Expired - Lifetime