JP2001050907A5 - - Google Patents
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Description
一方、前記検査装置による自動欠点検査方法のみによった場合、前記の基板欠点と基板への付着物との分別ができない不具合に加え、本来欠点ではなかった付着物も欠点と判定される、いわゆるオーバーキルが起こる。すなわち、本来欠点ではない付着物は、再洗浄、簡単な手直し、再加工等で製品化できるが、これが欠点と判定されれば廃棄処理、または重度の手直しがなされ、材料のロス、工程の負担増を招く。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、連続して搬送される基板の洗浄工程の前に基板欠点検査機により該基板の欠点検査を行い、欠点位置情報を記録し、基板の洗浄工程の後に基板欠点検査機により該基板の欠点検査を再度行い、洗浄工程の前に行った基板欠点位置情報と洗浄工程の後に行った基板欠点位置情報とを比較し、洗浄工程前後の欠点位置が共に所定の領域内にある場合は同一位置の欠点とみなし、基板への付着物と判定することで、前記欠点が基板の欠点か、または基板への付着物かを判別することを特徴とする基板の検査方法を提供する。この方法により、基板欠点と基板への付着物との判別ができなかった従来の検査装置を使用しても基板の欠点と付着物との判別が可能になる。特に、この方法では、連続体基板が搬送されると同時に検査ができ、検査時間の短縮化が図れる。
【課題を解決するための手段】
本発明は、連続して搬送される基板の洗浄工程の前に基板欠点検査機により該基板の欠点検査を行い、欠点位置情報を記録し、基板の洗浄工程の後に基板欠点検査機により該基板の欠点検査を再度行い、洗浄工程の前に行った基板欠点位置情報と洗浄工程の後に行った基板欠点位置情報とを比較し、洗浄工程前後の欠点位置が共に所定の領域内にある場合は同一位置の欠点とみなし、基板への付着物と判定することで、前記欠点が基板の欠点か、または基板への付着物かを判別することを特徴とする基板の検査方法を提供する。この方法により、基板欠点と基板への付着物との判別ができなかった従来の検査装置を使用しても基板の欠点と付着物との判別が可能になる。特に、この方法では、連続体基板が搬送されると同時に検査ができ、検査時間の短縮化が図れる。
また、本発明は、基板の洗浄工程の前に基板欠点検査機により該基板の欠点検査を行い、欠点検査情報を記録し、基板の洗浄工程の後に基板欠点検査機により該基板の欠点検査を再度行い、洗浄工程の前に行った基板欠点位置情報と洗浄工程の後に行った基板欠点位置情報とを比較し、洗浄工程前後の欠点位置が共に所定の領域内にある場合は同一位置の欠点とみなし、基板への付着物と判定することで、前記欠点が基板の欠点か、または基板への付着物かを判別することを特徴とする基板の検査方法を提供する。この方法によっても、基板欠点と基板への付着物との判別ができなかった従来の検査装置を使用しても基板の欠点と付着物との判別が可能になる。
たとえば、検出機構の感度として１０μｍの大きさの物が検出できる装置で、２ｍｍの大きさの欠点を判別しようとしたとき、検出感度は充分であるので、たとえば１ピクセルを１ｍｍ角に設定し、連続した２ピクセルで欠点が検出された場合に瑕と判別するようプログラムすることができる。しかし、装置の機械的精度がなく、基板停止位置の再現性が１ｍｍ程度しかない場合は、上記と同様のアルゴリズムを使用したとき、基板洗浄前後で同一箇所の欠点と判定する確率が極端に低くなる不具合が生じる。
Claims (2)
- 連続して搬送される基板の洗浄工程の前に基板欠点検査機により該基板の欠点検査を行い、欠点位置情報を記録し、基板の洗浄工程の後に基板欠点検査機により該基板の欠点検査を再度行い、洗浄工程の前に行った基板欠点位置情報と洗浄工程の後に行った基板欠点位置情報とを比較し、洗浄工程前後の欠点位置が共に所定の領域内にある場合は同一位置の欠点とみなし、基板への付着物と判定することで、前記欠点が基板の欠点か、または基板への付着物かを判別することを特徴とする基板の検査方法。
- 基板の洗浄工程の前に基板欠点検査機により該基板の欠点検査を行い、欠点位置情報を記録し、基板の洗浄工程の後に同一の基板欠点検査機により該基板の欠点検査を再度行い、洗浄工程の前に行った基板欠点位置情報と洗浄工程の後に行った基板欠点位置情報とを比較し、洗浄工程前後の欠点位置が共に所定の領域内にある場合は同一位置の欠点とみなし、基板への付着物と判定することで、前記欠点が基板の欠点か、または基板への付着物かを判別することを特徴とする基板の検査方法。
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| JP11230069A JP2001050907A (ja) | 1999-08-16 | 1999-08-16 | 基板の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11230069A JP2001050907A (ja) | 1999-08-16 | 1999-08-16 | 基板の検査方法 |
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|---|---|
| JP2001050907A JP2001050907A (ja) | 2001-02-23 |
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ID=16902065
Family Applications (1)
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| JP11230069A Withdrawn JP2001050907A (ja) | 1999-08-16 | 1999-08-16 | 基板の検査方法 |
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1999
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