JP2001050692A - Cooling piping facility - Google Patents

Cooling piping facility

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JP2001050692A
JP2001050692A JP11221850A JP22185099A JP2001050692A JP 2001050692 A JP2001050692 A JP 2001050692A JP 11221850 A JP11221850 A JP 11221850A JP 22185099 A JP22185099 A JP 22185099A JP 2001050692 A JP2001050692 A JP 2001050692A
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water
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Ichiji Miki
一司 三木
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To clean the inside of a cooling pipeline without stopping an apparatus. SOLUTION: An apparatus having a cooling pipeline 5 is provided with a degassing unit 2 for removing dissolved gas, and an ultrasonic oscillator 3 for clean the inside of the pipeline. The degassing unit 2 previously removes gas dissolved into cooling water and propagation attenuation rate of ultrasonic wave generated from an ultrasonic wave generator comprising an ultrasonic oscillator 3 can be lowered so that the ultrasonic wave can propagate up to the forward end of a long cooling pipeline in an apparatus 4. Consequently, the cooling pipeline in the apparatus can be cleaned entirely. Furthermore, generation of rust or bacteria causing clogging can be suppressed by degassing cooling water through the degassing unit 2 thereby reducing oxygen in the cooling water.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、各種機器設備を冷
却水で冷却するための冷却配管設備に関する。
The present invention relates to a cooling piping system for cooling various equipment with cooling water.

【0002】[0002]

【従来の技術】各種機器設備において、内部を一定温度
に保持するため、あるいは高温にならないようにするた
め、機器設備に冷却水を供給することが行われ、その冷
却水を供給するための冷却配管が設けられている。冷却
配管は信頼性を求められることが多く、例えば原子力機
器等では放射線管理の安全性の問題から装置の停止をな
るべく避けたく、そのため、機器内の冷却配管の信頼性
確保は重要な課題となっている。このような原子力機器
に限らず、各種プラントや発電装置においても装置の停
止は莫大な経済的損失を生じるため、同様に配管系の信
頼性確保は重要な課題である。
2. Description of the Related Art In various equipments, cooling water is supplied to equipments in order to maintain the inside of the equipments at a constant temperature or to prevent the temperature from becoming high. Piping is provided. Cooling pipes are often required to be reliable.For example, in nuclear equipment etc., we want to avoid shutting down the equipment as much as possible due to radiation control safety issues.Therefore, ensuring the reliability of cooling pipes in equipment is an important issue. ing. Not only in such nuclear power equipment, but also in various plants and power generation devices, shutting down the device causes enormous economic loss, and similarly, ensuring the reliability of the piping system is an important issue.

【0003】現在広く用いられている冷却水を用いた冷
却配管設備としては、例えば図5に示すような設備が用
いられている。即ち、冷却装置50において導入口51
から導入した水を冷却して十分冷たい温度の水を確保
し、この冷却水を配管52を介して装置53内に設けた
冷却配管54に導入し、装置53を冷却している。この
ような冷却配管内の冷却水は、例えば図5に示す設備に
おいては、装置53から出た配管中に設けているポンプ
55によって吸引し、冷却水の流動を行い、排出口56
から外部に排出している。
As a cooling pipe system using cooling water which is widely used at present, for example, a system as shown in FIG. 5 is used. That is, in the cooling device 50, the inlet 51
The water introduced from the apparatus is cooled to obtain water at a sufficiently low temperature, and the cooling water is introduced into a cooling pipe 54 provided in the apparatus 53 via a pipe 52 to cool the apparatus 53. In the equipment shown in FIG. 5, for example, the cooling water in the cooling pipe is sucked by a pump 55 provided in the pipe coming out of the device 53, and flows the cooling water.
From the outside.

【0004】また、上記のような冷却水を外部に排出す
る以外に、例えば図6に示すように循環式とするものも
ある。即ち、冷却水を常に一定の温度に制御する冷却装
置60を用い、配管62を介して装置63内に設けた冷
却配管64に導入し、装置63を冷却している。この冷
却配管64内の冷却水はポンプ65により吸引し、また
出口側で加圧し、再び冷却装置60に導入するように構
成している。それにより冷却水の温度管理を行うと共
に、冷却水の水質管理も容易に行うことができるように
し、高品質の冷却水で装置63の冷却を行うことができ
るようにしている。
[0004] In addition to the above-described method of discharging the cooling water to the outside, there is also a type in which the cooling water is circulated as shown in FIG. That is, a cooling device 60 that constantly controls the cooling water at a constant temperature is introduced into a cooling pipe 64 provided in the device 63 via a pipe 62 to cool the device 63. The cooling water in the cooling pipe 64 is sucked by a pump 65, pressurized at an outlet side, and introduced into the cooling device 60 again. Thereby, while controlling the temperature of the cooling water, the quality of the cooling water can be easily controlled, and the device 63 can be cooled with high-quality cooling water.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記のような冷却水の
管路を備えた冷却装置において、特に、装置内に張り巡
らされている冷却配管は信頼性を要求される。そのため
この冷却配管の材料を高品質のものを用い、溶接手法の
改善を行うことにより、次第に信頼性が高まっている
が、未だ十分ということはできない。
SUMMARY OF THE INVENTION In a cooling device provided with a cooling water pipe as described above, in particular, a cooling pipe extending around the device is required to have high reliability. Therefore, by using a high quality material for the cooling pipe and improving the welding method, the reliability is gradually improved, but it cannot be said that it is still sufficient.

【0006】信頼性を損なう要因としては種々のことが
考えられるが、その中でも配管内部が腐食によって穴等
が発生し、また、細菌等の発生によって管が詰まること
が大きな要因になっている。後者はフィルターを入れる
ことによって一応解消できるが、冷却配管で利用する水
量は莫大であり、フィルター交換による手間、コスト、
装置停止に伴う損失は大きい。
Various factors can be considered as factors that impair the reliability. Among them, corrosion is the cause of the occurrence of holes and the like inside the piping, and clogging of the piping due to the generation of bacteria and the like is a major factor. The latter can be solved by inserting a filter, but the amount of water used in the cooling pipe is enormous,
The loss associated with equipment shutdown is large.

【0007】したがって、本発明は、上記のような実情
に鑑み、冷却水の配管内部の腐食を防止するとともに、
細菌の発生による管の詰まりを防止し、更に配管内部を
効果的に洗浄することができる冷却配管設備を提供する
ことを目的とする。
[0007] Accordingly, the present invention has been made in view of the above-described circumstances and, in addition to preventing corrosion inside cooling water piping,
It is an object of the present invention to provide a cooling piping system capable of preventing clogging of a pipe due to generation of bacteria and further effectively cleaning the inside of the pipe.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため、冷却配管への冷却水供給管路中に、溶存気体
を除去する脱気装置と、冷却配管内部を洗浄する超音波
振動子を設けることにより冷却配管設備を構成したもの
である。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a deaerator for removing dissolved gas in a cooling water supply pipe to a cooling pipe, and an ultrasonic vibration for cleaning the inside of the cooling pipe. A cooling pipe facility is constituted by providing a cooling pipe.

【0009】また、冷却水供給管路中に配管内部を洗浄
するガスを導入する入気装置を備え、また、前記脱気装
置は、溶存気体量が2.5ppm(mg/l)以下まで低減する
能力を持つようにしたものである。
[0009] Further, the cooling water supply pipe is provided with an air inlet for introducing a gas for cleaning the inside of the pipe, and the degassing apparatus reduces the dissolved gas amount to 2.5 ppm (mg / l) or less. It has the ability to do.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】図1は、本発明による冷却配管設
備の第1実施例を示し、本発明の基本構造を示してい
る。この冷却配管設備においては、少なくとも脱気装置
2と超音波振動子3を、装置4内部を冷却するために設
けられた冷却配管5と同じ流路系統に設けている。この
流路系統は前記図6に示す装置と同様に、ポンプ6によ
って冷却水を内部循環させる循環式流路としており、冷
却水を所定温度に冷却する冷却装置7を備え、更にポン
プ6の上流にフィルター8を設けている。
FIG. 1 shows a first embodiment of a cooling piping system according to the present invention, and shows a basic structure of the present invention. In this cooling pipe facility, at least the deaerator 2 and the ultrasonic vibrator 3 are provided in the same channel system as the cooling pipe 5 provided for cooling the inside of the apparatus 4. This flow path system is a circulation type flow path for internally circulating cooling water by a pump 6, similarly to the apparatus shown in FIG. 6, and includes a cooling device 7 for cooling the cooling water to a predetermined temperature. Is provided with a filter 8.

【0011】この流路系統においては、真空排気装置9
で内部が真空にされる脱気装置2によって、後述するよ
うに流水中の溶存気体を取り除いている。次に超音波振
動子3によって超音波発生を行ない、配管の内面に発生
している錆や、内部に発生し配管の内面に付着している
黴、細菌等を除去する。
In this flow path system, the evacuation device 9
The dissolved gas in the running water is removed by the deaerator 2 whose inside is evacuated as described later. Next, ultrasonic waves are generated by the ultrasonic vibrator 3 to remove rust generated on the inner surface of the pipe, mold and bacteria generated inside and adhered to the inner surface of the pipe.

【0012】上記のように、超音波を水内に供給する
と、水の中の溶存気体が溶け出して泡を発生し、この泡
が超音波の伝搬を阻害することとなる。しかしながら本
発明においては、脱気装置2を設け、予め冷却水の内部
に溶存している気体を除去しており、超音波振動子3を
備えた超音波発生装置で発生する超音波の伝搬減衰率を
低くすることができ、装置4内の長い冷却配管の先端ま
で超音波を伝搬させることができる。また、脱気装置に
よる冷却水内の脱気によって冷却水内の酸素が減少し、
目詰まり要因の錆や黴、細菌等の発生を抑制することが
できる。
As described above, when ultrasonic waves are supplied into water, the dissolved gas in the water dissolves out to generate bubbles, which inhibit the propagation of the ultrasonic waves. However, in the present invention, the deaerator 2 is provided to remove the gas dissolved in the cooling water in advance, and the propagation attenuation of the ultrasonic wave generated by the ultrasonic generator including the ultrasonic vibrator 3 is attenuated. The rate can be reduced, and the ultrasonic waves can be transmitted to the tip of the long cooling pipe in the device 4. In addition, oxygen in the cooling water is reduced by degassing the cooling water by the degassing device,
The generation of rust, mold, bacteria, and the like, which are clogging factors, can be suppressed.

【0013】一般に、20℃常圧で水中に溶存している
酸素は約8ppm、窒素は約15ppmあるが、この総量を約
2.5ppm(mg/l)程度まで下げれば超音波洗浄能力が大
幅に改善されることが本発明の実施試験で判明してい
る。本発明の試験で用いられた超音波発生装置は周波数
100kHz程度、出力600W程度であり、この場合10
0m程度の配管でも洗浄が可能である。この流路系統に
設けられているフィルター8は、前述の超音波洗浄によ
って除去された錆や黴、細菌等を回収する目的で設けら
れている。
In general, oxygen dissolved in water at 20 ° C. and normal pressure is about 8 ppm and nitrogen is about 15 ppm. If the total amount is reduced to about 2.5 ppm (mg / l), the ultrasonic cleaning ability will be greatly increased. It has been found in an execution test of the present invention that the above-mentioned characteristics are improved. The ultrasonic generator used in the test of the present invention has a frequency of about 100 kHz and an output of about 600 W.
Cleaning is possible even with a pipe of about 0 m. The filter 8 provided in this flow path system is provided for the purpose of collecting rust, mold, bacteria, and the like removed by the above-described ultrasonic cleaning.

【0014】上記装置で用いられる脱気装置としては、
例えば本発明者らによる特許第2611183号の流体
循環脱気装置を用いることができる。この脱気装置では
筒状の気体透過膜が設けられ、透過膜は密封容器によっ
て密封されており、密封容器内は真空排気装置によって
排気され負圧になっている。気体透過膜は液体は透過さ
せ無いが、気体は透過させる程度の穴を持ったものであ
る。従って、気体透過膜を通過する流体は、まず気体透
過膜を介して負圧部分と接することになり、純水中に溶
存している気体はより分圧の低い気体透過膜へ引かれて
いき、膜に溶解し、さらに気体透過膜に溶解した気体は
より分圧の低い気体透過膜外部へ引かれていき、最終的
には負圧側の空間へと排出される。但し、本発明の脱気
装置としては必ずしも前記特許に示される気体透過膜を
用いたものに限らず、溶存気体を除去できるならば公知
の種々の脱気装置を用いることができる。
The deaerator used in the above device includes:
For example, the fluid circulation deaerator of Japanese Patent No. 2611183 by the present inventors can be used. In this deaerator, a cylindrical gas permeable membrane is provided, the permeable membrane is sealed by a sealed container, and the inside of the sealed container is evacuated by a vacuum exhaust device to a negative pressure. The gas permeable membrane has a hole that does not allow liquid to permeate but allows gas to permeate. Therefore, the fluid passing through the gas permeable membrane first comes into contact with the negative pressure portion via the gas permeable membrane, and the gas dissolved in the pure water is drawn to the gas permeable membrane with a lower partial pressure. The gas dissolved in the membrane and further dissolved in the gas permeable membrane is drawn to the outside of the gas permeable membrane having a lower partial pressure, and is finally discharged to the space on the negative pressure side. However, the deaerator of the present invention is not necessarily limited to the one using the gas permeable membrane shown in the patent, and various known deaerators can be used as long as the dissolved gas can be removed.

【0015】なお、上述の超音波により洗浄は常時行な
う必要がないので、通常は超音波振動子3は稼動させ
ず、断続的な実施で十分であり、使用する周波数も上記
100kHz程度のものを一つ用いる以外に、45KHzや2
00KHz程度の周波数と組み合わせた2周波ないし3周
波を用いる方が効率的である。また、洗浄を行なわない
場合でも流水系では脱気装置を稼動して脱気しておくこ
とが好ましく、それいにより常時水中に溶存している酸
素を減少させることができ、水質を悪化させたり、目詰
まり要因の錆や黴、細菌等の発生を防止することができ
る。
Since it is not necessary to constantly perform the above-mentioned ultrasonic cleaning, the ultrasonic vibrator 3 is normally not operated, and it is sufficient to perform the operation intermittently. Other than using one, 45KHz or 2
It is more efficient to use two or three frequencies in combination with a frequency of about 00 KHz. In addition, even in the case where washing is not performed, it is preferable to operate a deaerator in the flowing water system to deaerate the water, so that oxygen that is constantly dissolved in the water can be reduced, and the water quality may be deteriorated. In addition, it is possible to prevent rust, mold, bacteria and the like which are clogging factors.

【0016】本発明の冷却配管設備の第2実施例を図2
に示している。この実施例にに示すように、本発明は必
ずしも流水系は循環系を成さなくてもよく、水道配管等
から直接、あるいは冷却装置を通した後にその水を注水
口11に導き、注水時の圧力により冷却水を流し、前記
実施例と同様にフィルター8,脱気装置2,超音波振動
子3を通し、装置4内の冷却配管5に導き、排水口12
から排出する。また、脱気装置2は真空排気装置9によ
り内部を真空に保っている点も前記実施例と同様であ
る。このように構成した冷却配管設備においても、前記
実施例と同様に作動する。
FIG. 2 shows a second embodiment of the cooling piping system of the present invention.
Is shown in As shown in this embodiment, in the present invention, the flowing water system does not necessarily have to form a circulation system. The cooling water is caused to flow by the pressure of, and is passed through the filter 8, the deaerator 2, the ultrasonic vibrator 3, and the cooling pipe 5 in the device 4, as in the above embodiment.
Discharged from Further, the deaerator 2 is similar to the above embodiment in that the inside of the deaerator 2 is kept at a vacuum by a vacuum exhaust device 9. The cooling piping system configured as described above also operates in the same manner as in the above-described embodiment.

【0017】本発明の冷却配管設備の第3実施例を図3
に示している。この設備においては、金属イオン導入装
置13を設けている点で前記各実施例と異なっている。
一般的に水中から不純物を除いていくと、錆や黴、細菌
等の発生が抑えられる反面、金属製の配管内壁自身が溶
け込みやすくなる。その対策としてこの実施例において
は、上記のように金属イオン導入装置が付加しており、
この金属イオン導入装置としては、単なる銅の破片を配
管内部に入れるのみでもよく、また、導入する金属とし
てはイオン化傾向の強い金属の方が多種類の金属の溶け
込みを抑制できるので好ましい。
FIG. 3 shows a third embodiment of the cooling piping system of the present invention.
Is shown in This equipment differs from the above embodiments in that a metal ion introduction device 13 is provided.
Generally, when impurities are removed from water, the generation of rust, mold, bacteria, etc. is suppressed, but the inner wall of the metal pipe itself is easily dissolved. As a countermeasure, in this embodiment, a metal ion introducing device is added as described above,
This metal ion introducing device may simply put copper fragments into the inside of the pipe, and a metal having a high ionization tendency is preferable as a metal to be introduced because melting of various kinds of metals can be suppressed.

【0018】なお、上記のような冷却配管設備を用い、
水を1リットル/分の速度で循環させ、密封容器は排気
ポンプとしてエンブレムポンプを用いて数十Torrに排気
した結果、この流量で、飽和量である8.1ppmの酸素
を溶存させた水を気体透過膜に一度通過させると溶存酸
素量は1.2ppm(溶存総気体量2.3ppm相当)に減少
した。この状態で100KHz、600Wの投げ込み式超音
波洗浄器を使って洗浄を試したところ約10m程度離れ
た位置の意図的に汚してあったパイプ内壁は洗浄されて
いることが確かめられた。
In addition, using the cooling piping equipment as described above,
Water was circulated at a rate of 1 liter / minute, and the sealed container was evacuated to tens of Torr using an emblem pump as an exhaust pump. As a result, at this flow rate, water in which a saturated amount of 8.1 ppm of oxygen was dissolved was dissolved. Once passed through the gas permeable membrane, the dissolved oxygen content was reduced to 1.2 ppm (equivalent to 2.3 ppm total dissolved gas). In this state, cleaning was tried using a 100 KHz, 600 W throw-in type ultrasonic cleaner, and it was confirmed that the intentionally soiled pipe inner wall at a position about 10 m away was cleaned.

【0019】本発明の冷却配管設備の第4実施例を図4
に示している。この冷却配管設備の基本構成は前記実施
例と同様であるが、脱気装置2の後にオゾン発生装置1
5と連通する入気装置14を備えており、脱気装置2と
入気装置14により脱入気装置16を構成している。こ
の入気装置14は、活性なガスを配管中を通過させて配
管内部を洗浄したり、あるいは配管内壁を不活性化する
ような表面処理をする目的で、流水中に特定のガスを入
れるために設けている。この実施例ではオゾン発生装置
15からオゾンガスを導入している。脱入気装置16と
しては、本発明者による特許第2611182号の脱入
気装置を用いることができる。
FIG. 4 shows a fourth embodiment of the cooling piping system of the present invention.
Is shown in The basic configuration of this cooling pipe facility is the same as that of the above-described embodiment, except that the ozone generator 1 is provided after the deaerator 2.
5 is provided, and the deaeration device 2 and the intake device 14 constitute a deaeration device 16. This air inlet device 14 is used to clean the inside of the pipe by passing an active gas through the pipe, or to put a specific gas into running water for the purpose of performing surface treatment such as inactivating the inner wall of the pipe. Is provided. In this embodiment, ozone gas is introduced from the ozone generator 15. As the inflow / outflow device 16, the inflow / outflow device of Japanese Patent No. 2611182 by the present inventor can be used.

【0020】脱気装置になっている透過膜については前
述の通りであり、気体透過膜を通過する流体は、まず気
体透過膜を介して負圧部分と接することになり、種類に
関係なく流体中に溶存している気体は脱気される。さら
に入気装置内部では、流水は気体透過膜を介して正圧部
分と接することになる。正圧空間はオゾン発生装置によ
って作られたオゾンで満たされている。正圧空間のオゾ
ンがより分圧の低い気体透過膜へ引かれていき膜に溶解
し、さらにより分圧の低い純水内部へ引かれていき、最
終的には純水中に溶ける。本発明においては脱気装置2
により流体内部に溶存している気体は僅かの状態となっ
ているので、気体が溶け易い状態になっている。オゾン
は有機系材料の分解能力に優れているので、冷却配管中
が有機物質によって汚染されているとその除去を行うこ
とができ、効率的な洗浄が期待できる。但し、本発明に
おいて、入気装置は必ずしも前記の特許に示された気体
透過膜を用いたものに限定されず、特定の気体を溶存で
きるならば種々の入気装置を用いることができる。
The permeable membrane serving as the degassing device is as described above. The fluid passing through the gas permeable membrane first comes into contact with the negative pressure portion via the gas permeable membrane, regardless of the type. The gas dissolved therein is degassed. Further, inside the air inlet device, the flowing water comes into contact with the positive pressure portion via the gas permeable membrane. The positive pressure space is filled with ozone created by the ozone generator. The ozone in the positive pressure space is drawn to the gas permeable membrane having a lower partial pressure and dissolves in the membrane, is further drawn into pure water having a lower partial pressure, and finally dissolves in pure water. In the present invention, the deaerator 2
As a result, the gas dissolved in the fluid is in a slight state, so that the gas is easily dissolved. Since ozone has an excellent ability to decompose organic materials, if the cooling pipe is contaminated with organic substances, it can be removed, and efficient cleaning can be expected. However, in the present invention, the air inlet device is not necessarily limited to the one using the gas permeable membrane shown in the above patent, and various air inlet devices can be used as long as a specific gas can be dissolved.

【0021】なお、上述の洗浄は常時行なう必要が無
く、また、オゾン等のガスを流水中に常時溶存させる必
要は無い。通常は流水中への入気は装置内部で熱を奪っ
て温度が上昇すると飽和量を超えた気体が溶け出して泡
が発生して危険であり、むしろ入気部も通常は真空排気
することにより脱気装置として使用するのが望ましい。
It is not necessary to always perform the above-mentioned cleaning, and it is not necessary to constantly dissolve a gas such as ozone in running water. Normally, when entering the running water, if the temperature rises due to the heat taken inside the device, the gas exceeding the saturation amount will be dissolved and bubbles will be generated, which is dangerous. To be used as a deaerator.

【0022】本実施例では冷却配管系について述べた
が、半導体装置製造工場の最終配管のように配管中の清
浄度を良好に保ちたい場合にも本発明は有効であり、そ
の場合は冷却配管部分が単純に純水配管に置き換えるこ
とにより実施することができる。
In this embodiment, the cooling piping system has been described. However, the present invention is also effective when it is desired to maintain good cleanliness in the piping, such as the final piping in a semiconductor device manufacturing plant. It can be implemented by simply replacing the part with pure water piping.

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明の請求項1に係る発明は、超音波
振動子を冷却配管系統に設けることにより、冷却配管系
統内部に発生している錆を除去することができ、内壁に
付着している黴、細菌等を除去することができる。その
際、予め脱気装置により冷却水内部の気体を除去してい
るので、超音波振動子により発生した超音波にる泡の発
生を防止することができ、長い冷却管路内を効果的に洗
浄することができる。更に、冷却管路に脱気装置を設け
ることにより、冷却水の配管内部の腐食を防止するとと
もに、細菌の発生を防止することができる。
According to the first aspect of the present invention, by providing an ultrasonic vibrator in a cooling piping system, rust generated in the cooling piping system can be removed, and rust generated on the inner wall can be removed. Mold, bacteria and the like can be removed. At this time, since the gas inside the cooling water has been removed in advance by a deaerator, the generation of bubbles due to the ultrasonic waves generated by the ultrasonic vibrator can be prevented, and the inside of the long cooling pipe can be effectively prevented. Can be washed. Further, by providing a degassing device in the cooling pipe, it is possible to prevent corrosion of the inside of the piping of the cooling water and prevent the generation of bacteria.

【0024】請求項2に係る発明は、配管内部にオゾン
等を導入することができ、配管内の有機物等を除去する
ことができる。また、脱気装置と組み合わせているの
で、脱気された冷却水に対しオゾン等の特定の気体の入
気を効率的に行うことができるようになる。また、請求
項3に係る発明は、溶存気体量を2.5ppm(mg/l)以下
とすることにより、前記のような超音波振動子による洗
浄効果を高め、錆の発生や、黴、細菌等の発生を確実に
防止することができる。
According to the second aspect of the present invention, ozone and the like can be introduced into the pipe, and organic substances and the like in the pipe can be removed. In addition, since the degassing device is combined with the degassing device, a specific gas such as ozone can be efficiently supplied to the degassed cooling water. Further, the invention according to claim 3 enhances the cleaning effect by the ultrasonic vibrator as described above by reducing the amount of dissolved gas to 2.5 ppm (mg / l) or less, thereby generating rust, mold, and bacteria. And the like can be reliably prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例の構造及び基本概念の説明
図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a structure and a basic concept of a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2実施例の構造及び基本概念の説明
図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of a structure and a basic concept of a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第3実施例の構造及び基本概念の説明
図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of a structure and a basic concept of a third embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第4実施例の構造及び基本概念の説明
図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a structure and a basic concept of a fourth embodiment of the present invention.

【図5】従来技術の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a conventional technique.

【図6】他の従来技術の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of another conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 冷却配管設備 2 脱気装置 3 超音波振動子 5 冷却配管 6 ポンプ 7 冷却装置 8 フィルター 9 真空排気装置 11 送水口 12 排水口 13 金属イオン導入装置 14 入気装置 15 オゾン発生装置 16 脱入気装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cooling piping equipment 2 Deaerator 3 Ultrasonic oscillator 5 Cooling pipe 6 Pump 7 Cooling device 8 Filter 9 Vacuum exhaust device 11 Water supply port 12 Drain port 13 Metal ion introduction device 14 Inlet device 15 Ozone generator 16 Deaeration apparatus

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 冷却配管への冷却水供給管路中に、溶存
気体を除去する脱気装置と、冷却配管内部を洗浄する超
音波振動子を設けたことを特徴とする冷却配管設備。
1. A cooling pipe facility comprising a deaerator for removing dissolved gas and an ultrasonic vibrator for cleaning the inside of the cooling pipe in a cooling water supply pipe to the cooling pipe.
【請求項2】 冷却水供給管路中に配管内部を洗浄する
ガスを導入する入気装置を備えた請求項1記載の冷却配
管設備。
2. The cooling piping system according to claim 1, further comprising an air intake device for introducing a gas for cleaning the inside of the piping into the cooling water supply pipeline.
【請求項3】 前記脱気装置は、溶存気体量が2.5pp
m(mg/l)以下まで低減する能力を持つようにしてなる請
求項1又は請求項2記載の冷却配管設備。
3. The degassing device according to claim 1, wherein a dissolved gas amount is 2.5 pp.
3. The cooling piping system according to claim 1 or 2, wherein the cooling piping system has an ability to reduce the temperature to m (mg / l) or less.
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