JP3505554B2 - Cooling piping equipment - Google Patents
Cooling piping equipmentInfo
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種機器設備を冷
却水で冷却するための冷却配管設備に関する。
【0002】
【従来の技術】各種機器設備において、内部を一定温度
に保持するため、あるいは高温にならないようにするた
め、機器設備に冷却水を供給することが行われ、その冷
却水を供給するための冷却配管が設けられている。冷却
配管は信頼性を求められることが多く、例えば原子力機
器等では放射線管理の安全性の問題から装置の停止をな
るべく避けたく、そのため、機器内の冷却配管の信頼性
確保は重要な課題となっている。このような原子力機器
に限らず、各種プラントや発電装置においても装置の停
止は莫大な経済的損失を生じるため、同様に配管系の信
頼性確保は重要な課題である。
【0003】現在広く用いられている冷却水を用いた冷
却配管設備としては、例えば図5に示すような設備が用
いられている。即ち、冷却装置50において導入口51
から導入した水を冷却して十分冷たい温度の水を確保
し、この冷却水を配管52を介して装置53内に設けた
冷却配管54に導入し、装置53を冷却している。この
ような冷却配管内の冷却水は、例えば図5に示す設備に
おいては、装置53から出た配管中に設けているポンプ
55によって吸引し、冷却水の流動を行い、排出口56
から外部に排出している。
【0004】また、上記のような冷却水を外部に排出す
る以外に、例えば図6に示すように循環式とするものも
ある。即ち、冷却水を常に一定の温度に制御する冷却装
置60を用い、配管62を介して装置63内に設けた冷
却配管64に導入し、装置63を冷却している。この冷
却配管64内の冷却水はポンプ65により吸引し、また
出口側で加圧し、再び冷却装置60に導入するように構
成している。それにより冷却水の温度管理を行うと共
に、冷却水の水質管理も容易に行うことができるように
し、高品質の冷却水で装置63の冷却を行うことができ
るようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記のような冷却水の
管路を備えた冷却装置において、特に、装置内に張り巡
らされている冷却配管は信頼性を要求される。そのため
この冷却配管の材料を高品質のものを用い、溶接手法の
改善を行うことにより、次第に信頼性が高まっている
が、未だ十分ということはできない。
【0006】信頼性を損なう要因としては種々のことが
考えられるが、その中でも配管内部が腐食によって穴等
が発生し、また、細菌等の発生によって管が詰まること
が大きな要因になっている。後者はフィルターを入れる
ことによって一応解消できるが、冷却配管で利用する水
量は莫大であり、フィルター交換による手間、コスト、
装置停止に伴う損失は大きい。
【0007】したがって、本発明は、上記のような実情
に鑑み、冷却水の配管内部の腐食を防止するとともに、
細菌の発生による管の詰まりを防止し、更に配管内部を
効果的に洗浄することができる冷却配管設備を提供する
ことを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため、冷却配管への冷却水供給管路中に、冷却配管
内部を洗浄する超音波振動子を設けた冷却配管設備にお
いて、前記冷却水供給管路中に溶存気体を除去する脱気
装置を設け、該脱気装置によって超音波振動による気泡
の発生を防止し、もって前記超音波振動子による冷却水
内の超音波の伝達距離を長くすることにより冷却配管設
備を構成したものである。
【0009】
【0010】
【発明の実施の形態】図1は、本発明による冷却配管設
備の第1実施例を示し、本発明の基本構造を示してい
る。この冷却配管設備においては、少なくとも脱気装置
2と超音波振動子3を、装置4内部を冷却するために設
けられた冷却配管5と同じ流路系統に設けている。この
流路系統は前記図6に示す装置と同様に、ポンプ6によ
って冷却水を内部循環させる循環式流路としており、冷
却水を所定温度に冷却する冷却装置7を備え、更にポン
プ6の上流にフィルター8を設けている。
【0011】この流路系統においては、真空排気装置9
で内部が真空にされる脱気装置2によって、後述するよ
うに流水中の溶存気体を取り除いている。次に超音波振
動子3によって超音波発生を行ない、配管の内面に発生
している錆や、内部に発生し配管の内面に付着している
黴、細菌等を除去する。
【0012】上記のように、超音波を水内に供給する
と、水の中の溶存気体が溶け出して泡を発生し、この泡
が超音波の伝搬を阻害することとなる。しかしながら本
発明においては、脱気装置2を設け、予め冷却水の内部
に溶存している気体を除去しており、超音波振動子3を
備えた超音波発生装置で発生する超音波の伝搬減衰率を
低くすることができ、装置4内の長い冷却配管の先端ま
で超音波を伝搬させることができる。また、脱気装置に
よる冷却水内の脱気によって冷却水内の酸素が減少し、
目詰まり要因の錆や黴、細菌等の発生を抑制することが
できる。
【0013】一般に、20℃常圧で水中に溶存している
酸素は約8ppm、窒素は約15ppmあるが、この総量を約
2.5ppm(mg/l)程度まで下げれば超音波洗浄能力が大
幅に改善されることが本発明の実施試験で判明してい
る。本発明の試験で用いられた超音波発生装置は周波数
100kHz程度、出力600W程度であり、この場合10
0m程度の配管でも洗浄が可能である。この流路系統に
設けられているフィルター8は、前述の超音波洗浄によ
って除去された錆や黴、細菌等を回収する目的で設けら
れている。
【0014】上記装置で用いられる脱気装置としては、
例えば本発明者らによる特許第2611183号の流体
循環脱気装置を用いることができる。この脱気装置では
筒状の気体透過膜が設けられ、透過膜は密封容器によっ
て密封されており、密封容器内は真空排気装置によって
排気され負圧になっている。気体透過膜は液体は透過さ
せ無いが、気体は透過させる程度の穴を持ったものであ
る。従って、気体透過膜を通過する流体は、まず気体透
過膜を介して負圧部分と接することになり、純水中に溶
存している気体はより分圧の低い気体透過膜へ引かれて
いき、膜に溶解し、さらに気体透過膜に溶解した気体は
より分圧の低い気体透過膜外部へ引かれていき、最終的
には負圧側の空間へと排出される。但し、本発明の脱気
装置としては必ずしも前記特許に示される気体透過膜を
用いたものに限らず、溶存気体を除去できるならば公知
の種々の脱気装置を用いることができる。
【0015】なお、上述の超音波により洗浄は常時行な
う必要がないので、通常は超音波振動子3は稼動させ
ず、断続的な実施で十分であり、使用する周波数も上記
100kHz程度のものを一つ用いる以外に、45KHzや2
00KHz程度の周波数と組み合わせた2周波ないし3周
波を用いる方が効率的である。また、洗浄を行なわない
場合でも流水系では脱気装置を稼動して脱気しておくこ
とが好ましく、それいにより常時水中に溶存している酸
素を減少させることができ、水質を悪化させたり、目詰
まり要因の錆や黴、細菌等の発生を防止することができ
る。
【0016】本発明の冷却配管設備の第2実施例を図2
に示している。この実施例にに示すように、本発明は必
ずしも流水系は循環系を成さなくてもよく、水道配管等
から直接、あるいは冷却装置を通した後にその水を注水
口11に導き、注水時の圧力により冷却水を流し、前記
実施例と同様にフィルター8,脱気装置2,超音波振動
子3を通し、装置4内の冷却配管5に導き、排水口12
から排出する。また、脱気装置2は真空排気装置9によ
り内部を真空に保っている点も前記実施例と同様であ
る。このように構成した冷却配管設備においても、前記
実施例と同様に作動する。
【0017】本発明の冷却配管設備の第3実施例を図3
に示している。この設備においては、金属イオン導入装
置13を設けている点で前記各実施例と異なっている。
一般的に水中から不純物を除いていくと、錆や黴、細菌
等の発生が抑えられる反面、金属製の配管内壁自身が溶
け込みやすくなる。その対策としてこの実施例において
は、上記のように金属イオン導入装置が付加しており、
この金属イオン導入装置としては、単なる銅の破片を配
管内部に入れるのみでもよく、また、導入する金属とし
てはイオン化傾向の強い金属の方が多種類の金属の溶け
込みを抑制できるので好ましい。
【0018】なお、上記のような冷却配管設備を用い、
水を1リットル/分の速度で循環させ、密封容器は排気
ポンプとしてエンブレムポンプを用いて数十Torrに排気
した結果、この流量で、飽和量である8.1ppmの酸素
を溶存させた水を気体透過膜に一度通過させると溶存酸
素量は1.2ppm(溶存総気体量2.3ppm相当)に減少
した。この状態で100KHz、600Wの投げ込み式超音
波洗浄器を使って洗浄を試したところ約10m程度離れ
た位置の意図的に汚してあったパイプ内壁は洗浄されて
いることが確かめられた。
【0019】本発明の冷却配管設備の第4実施例を図4
に示している。この冷却配管設備の基本構成は前記実施
例と同様であるが、脱気装置2の後にオゾン発生装置1
5と連通する入気装置14を備えており、脱気装置2と
入気装置14により脱入気装置16を構成している。こ
の入気装置14は、活性なガスを配管中を通過させて配
管内部を洗浄したり、あるいは配管内壁を不活性化する
ような表面処理をする目的で、流水中に特定のガスを入
れるために設けている。この実施例ではオゾン発生装置
15からオゾンガスを導入している。脱入気装置16と
しては、本発明者による特許第2611182号の脱入
気装置を用いることができる。
【0020】脱気装置になっている透過膜については前
述の通りであり、気体透過膜を通過する流体は、まず気
体透過膜を介して負圧部分と接することになり、種類に
関係なく流体中に溶存している気体は脱気される。さら
に入気装置内部では、流水は気体透過膜を介して正圧部
分と接することになる。正圧空間はオゾン発生装置によ
って作られたオゾンで満たされている。正圧空間のオゾ
ンがより分圧の低い気体透過膜へ引かれていき膜に溶解
し、さらにより分圧の低い純水内部へ引かれていき、最
終的には純水中に溶ける。本発明においては脱気装置2
により流体内部に溶存している気体は僅かの状態となっ
ているので、気体が溶け易い状態になっている。オゾン
は有機系材料の分解能力に優れているので、冷却配管中
が有機物質によって汚染されているとその除去を行うこ
とができ、効率的な洗浄が期待できる。但し、本発明に
おいて、入気装置は必ずしも前記の特許に示された気体
透過膜を用いたものに限定されず、特定の気体を溶存で
きるならば種々の入気装置を用いることができる。
【0021】なお、上述の洗浄は常時行なう必要が無
く、また、オゾン等のガスを流水中に常時溶存させる必
要は無い。通常は流水中への入気は装置内部で熱を奪っ
て温度が上昇すると飽和量を超えた気体が溶け出して泡
が発生して危険であり、むしろ入気部も通常は真空排気
することにより脱気装置として使用するのが望ましい。
【0022】本実施例では冷却配管系について述べた
が、半導体装置製造工場の最終配管のように配管中の清
浄度を良好に保ちたい場合にも本発明は有効であり、そ
の場合は冷却配管部分が単純に純水配管に置き換えるこ
とにより実施することができる。
【0023】
【発明の効果】本発明の請求項1に係る発明は、超音波
振動子を冷却配管系統に設けることにより、冷却配管系
統内部に発生している錆を除去することができ、内壁に
付着している黴、細菌等を除去することができる。その
際、予め脱気装置により冷却水内部の気体を除去してい
るので、超音波振動子により発生した超音波にる泡の発
生を防止することができ、長い冷却管路内を効果的に洗
浄することができる。更に、冷却管路に脱気装置を設け
ることにより、冷却水の配管内部の腐食を防止するとと
もに、細菌の発生を防止することができる。
【0024】Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cooling pipe facility for cooling various equipment facilities with cooling water. 2. Description of the Related Art In various equipment facilities, cooling water is supplied to equipment equipment in order to keep the inside at a constant temperature or prevent it from becoming a high temperature, and supply the cooling water. A cooling pipe is provided. Cooling pipes are often required to be reliable. For example, in nuclear power equipment, it is desirable to avoid shutting down the equipment as much as possible due to safety issues in radiation management. Therefore, ensuring the reliability of cooling pipes in equipment is an important issue. ing. Not only in such nuclear equipment, but also in various plants and power generators, stopping the equipment causes enormous economic loss, so ensuring the reliability of the piping system is also an important issue. As a cooling pipe facility using cooling water that is widely used at present, for example, a facility as shown in FIG. 5 is used. That is, the inlet 51 in the cooling device 50.
The water introduced from above is cooled to secure water at a sufficiently cold temperature, and this cooling water is introduced into the cooling pipe 54 provided in the apparatus 53 via the pipe 52 to cool the apparatus 53. For example, in the facility shown in FIG. 5, such cooling water in the cooling pipe is sucked by the pump 55 provided in the pipe coming out from the apparatus 53 to flow the cooling water, and the discharge port 56.
Is discharged to the outside. In addition to discharging the cooling water to the outside as described above, for example, there is a circulating type as shown in FIG. That is, the cooling device 60 that always controls the cooling water to a constant temperature is used, and the cooling water is introduced into the cooling pipe 64 provided in the device 63 via the pipe 62 to cool the device 63. The cooling water in the cooling pipe 64 is sucked by the pump 65, pressurized at the outlet side, and introduced into the cooling device 60 again. Thus, the temperature of the cooling water is managed, the quality of the cooling water can be easily managed, and the apparatus 63 can be cooled with high-quality cooling water. [0005] In the cooling device provided with the cooling water pipe as described above, the cooling pipe stretched around the device is particularly required to be reliable. Therefore, by using a high quality material for this cooling pipe and improving the welding technique, the reliability is gradually increased, but it cannot be said that it is still sufficient. Various factors can be considered as factors that impair the reliability. Among them, the inside of the pipe is corroded to cause holes and the like, and the generation of bacteria and the like is a major factor. The latter can be temporarily eliminated by inserting a filter, but the amount of water used in the cooling pipe is enormous.
The loss due to equipment shutdown is large. Therefore, in view of the above situation, the present invention prevents corrosion inside the piping of cooling water,
It is an object of the present invention to provide a cooling pipe facility that can prevent clogging of a pipe due to generation of bacteria and can effectively clean the inside of the pipe. In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a cooling pipe facility provided with an ultrasonic vibrator for cleaning the inside of the cooling pipe in the cooling water supply pipe to the cooling pipe. A degassing device for removing dissolved gas is provided in the cooling water supply pipe, and the degassing device prevents the generation of bubbles due to ultrasonic vibration, and the ultrasonic wave in the cooling water by the ultrasonic vibrator The cooling piping facility is configured by increasing the transmission distance of the. FIG. 1 shows a first embodiment of a cooling pipe installation according to the present invention and shows the basic structure of the present invention. In this cooling piping facility, at least the deaeration device 2 and the ultrasonic vibrator 3 are provided in the same flow path system as the cooling piping 5 provided for cooling the inside of the device 4. Similar to the apparatus shown in FIG. 6, this flow path system is a circulation flow path in which cooling water is internally circulated by a pump 6, and includes a cooling device 7 for cooling the cooling water to a predetermined temperature, and further upstream of the pump 6. A filter 8 is provided. In this flow path system, a vacuum exhaust device 9 is provided.
As will be described later, the dissolved gas in the running water is removed by the degassing device 2 whose inside is evacuated. Next, ultrasonic waves are generated by the ultrasonic vibrator 3 to remove rust generated on the inner surface of the pipe, soot, bacteria, etc. generated inside and attached to the inner surface of the pipe. As described above, when ultrasonic waves are supplied into water, dissolved gas in the water dissolves to generate bubbles, which inhibit the propagation of ultrasonic waves. However, in the present invention, the deaeration device 2 is provided to remove the gas previously dissolved in the cooling water, and the propagation attenuation of the ultrasonic wave generated by the ultrasonic wave generator provided with the ultrasonic vibrator 3 is reduced. The rate can be lowered, and the ultrasonic wave can be propagated to the end of a long cooling pipe in the apparatus 4. In addition, the oxygen in the cooling water is reduced by the deaeration in the cooling water by the deaeration device,
Occurrence of clogging factors such as rust, soot and bacteria can be suppressed. In general, oxygen dissolved in water at 20 ° C. and atmospheric pressure is about 8 ppm and nitrogen is about 15 ppm. If this total amount is lowered to about 2.5 ppm (mg / l), the ultrasonic cleaning ability is greatly improved. It has been proved by an implementation test of the present invention that The ultrasonic generator used in the test of the present invention has a frequency of about 100 kHz and an output of about 600 W.
It is possible to clean even about 0m of piping. The filter 8 provided in this flow path system is provided for the purpose of collecting rust, soot, bacteria, etc. removed by the above-described ultrasonic cleaning. As a deaeration device used in the above apparatus,
For example, the fluid circulation deaerator of Japanese Patent No. 2611183 by the present inventors can be used. In this deaeration device, a cylindrical gas permeable membrane is provided, and the permeable membrane is sealed by a sealed container, and the inside of the sealed container is evacuated by a vacuum evacuation device to have a negative pressure. The gas permeable membrane does not allow liquid to permeate, but has a hole that allows gas to permeate. Therefore, the fluid passing through the gas permeable membrane first comes into contact with the negative pressure portion via the gas permeable membrane, and the gas dissolved in the pure water is drawn to the gas permeable membrane having a lower partial pressure. The gas dissolved in the membrane and further dissolved in the gas permeable membrane is drawn to the outside of the gas permeable membrane having a lower partial pressure, and finally discharged to the space on the negative pressure side. However, the degassing device of the present invention is not necessarily limited to the one using the gas permeable membrane shown in the above patent, and various known degassing devices can be used as long as the dissolved gas can be removed. Since the above-described ultrasonic cleaning does not need to be performed at all times, the ultrasonic transducer 3 is normally not operated, and intermittent operation is sufficient. The frequency used is about 100 kHz. Besides using one, 45KHz and 2
It is more efficient to use two to three frequencies combined with a frequency of about 00 KHz. Even when washing is not performed, it is preferable to deaerate by operating a deaerator in a running water system, so that oxygen dissolved in the water at all times can be reduced and water quality deteriorated. It is possible to prevent the occurrence of clogging factors such as rust, soot and bacteria. FIG. 2 shows a second embodiment of the cooling pipe facility of the present invention.
It shows. As shown in this embodiment, according to the present invention, the flowing water system does not necessarily form a circulation system, and the water is guided to the water inlet 11 directly from a water pipe or after passing through a cooling device. In the same manner as in the previous embodiment, the cooling water is flowed through the filter 8, the deaerator 2, and the ultrasonic vibrator 3, and led to the cooling pipe 5 in the device 4.
To discharge from. Further, the deaeration device 2 is the same as the above embodiment in that the inside of the deaeration device 2 is kept in vacuum by the vacuum exhaust device 9. The cooling piping equipment configured as described above operates in the same manner as in the above embodiment. FIG. 3 shows a third embodiment of the cooling pipe facility of the present invention.
It shows. This facility differs from the above embodiments in that a metal ion introduction device 13 is provided.
Generally, when impurities are removed from the water, the generation of rust, soot, bacteria, etc. can be suppressed, but the inner wall of the metal pipe itself is likely to melt. As a countermeasure, in this embodiment, a metal ion introduction device is added as described above,
As this metal ion introducing device, it is sufficient to simply put a piece of copper into the pipe, and as the metal to be introduced, a metal having a strong ionization tendency is preferable because it can suppress the melting of many kinds of metals. In addition, using the cooling piping equipment as described above,
The water was circulated at a rate of 1 liter / min, and the sealed container was evacuated to several tens of Torr using an emblem pump as an exhaust pump. As a result, at this flow rate, water in which 8.1 ppm of oxygen as a saturation amount was dissolved was dissolved. Once passed through the gas permeable membrane, the amount of dissolved oxygen was reduced to 1.2 ppm (equivalent to a total amount of dissolved gas of 2.3 ppm). In this state, cleaning was tried using a throwing ultrasonic cleaner of 100 KHz and 600 W, and it was confirmed that the intentionally soiled pipe inner wall at a position about 10 m away was cleaned. FIG. 4 shows a fourth embodiment of the cooling pipe facility according to the present invention.
It shows. The basic configuration of this cooling pipe facility is the same as that of the above embodiment, but the ozone generator 1 is provided after the deaerator 2.
The deaeration device 16 is configured by the deaeration device 2 and the intake device 14. This air inlet device 14 is used for putting a specific gas into running water for the purpose of passing an active gas through the pipe to clean the inside of the pipe or to inactivate the inner wall of the pipe. Provided. In this embodiment, ozone gas is introduced from the ozone generator 15. As the deaeration device 16, the deaeration device of Japanese Patent No. 2611182 by the present inventor can be used. The permeable membrane serving as the deaeration device is as described above, and the fluid passing through the gas permeable membrane first comes into contact with the negative pressure portion through the gas permeable membrane, and the fluid regardless of the type. The gas dissolved therein is degassed. Furthermore, inside the air inlet device, the flowing water comes into contact with the positive pressure portion through the gas permeable membrane. The positive pressure space is filled with ozone produced by an ozone generator. The ozone in the positive pressure space is drawn to the gas permeable membrane having a lower partial pressure and dissolved in the membrane, further drawn into the pure water having a lower partial pressure, and finally dissolved in the pure water. In the present invention, the deaeration device 2
Since the gas dissolved in the fluid is in a slight state, the gas is easily dissolved. Since ozone has an excellent ability to decompose organic materials, if the cooling pipe is contaminated with organic substances, it can be removed, and efficient cleaning can be expected. However, in the present invention, the inlet device is not necessarily limited to the one using the gas permeable membrane shown in the above patent, and various inlet devices can be used as long as a specific gas can be dissolved. It is not necessary to perform the above-described cleaning at all times, and it is not necessary to constantly dissolve a gas such as ozone in running water. Normally, the intake air into the running water is dangerous because it takes heat inside the device and the temperature rises, the gas exceeding the saturation amount melts and bubbles are generated, and the intake portion is usually evacuated. It is desirable to use as a deaeration device. In the present embodiment, the cooling pipe system has been described. However, the present invention is also effective when it is desired to maintain a good cleanliness in the pipe as in the final pipe of the semiconductor device manufacturing factory. This can be done by simply replacing the part with pure water piping. According to the first aspect of the present invention, the ultrasonic transducer is provided in the cooling piping system, so that rust generated in the cooling piping system can be removed, and the inner wall is removed. Soot, bacteria, etc. adhering to can be removed. At that time, since the gas inside the cooling water is removed in advance by the deaeration device, it is possible to prevent the generation of bubbles caused by the ultrasonic wave generated by the ultrasonic vibrator, and effectively in the long cooling pipe Can be washed. Furthermore, by providing a deaeration device in the cooling pipe, corrosion inside the piping of the cooling water can be prevented and generation of bacteria can be prevented. [0024]
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の構造及び基本概念の説明
図である。
【図2】本発明の第2実施例の構造及び基本概念の説明
図である。
【図3】本発明の第3実施例の構造及び基本概念の説明
図である。
【図4】本発明の第4実施例の構造及び基本概念の説明
図である。
【図5】従来技術の説明図である。
【図6】他の従来技術の説明図である。
【符号の説明】
1 冷却配管設備
2 脱気装置
3 超音波振動子
5 冷却配管
6 ポンプ
7 冷却装置
8 フィルター
9 真空排気装置
11 送水口
12 排水口
13 金属イオン導入装置
14 入気装置
15 オゾン発生装置
16 脱入気装置BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an explanatory diagram of the structure and basic concept of a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is an explanatory diagram of the structure and basic concept of a second embodiment of the present invention. FIG. 3 is an explanatory diagram of the structure and basic concept of a third embodiment of the present invention. FIG. 4 is an explanatory diagram of the structure and basic concept of a fourth embodiment of the present invention. FIG. 5 is an explanatory diagram of a prior art. FIG. 6 is an explanatory diagram of another prior art. [Explanation of Symbols] 1 Cooling piping equipment 2 Deaeration device 3 Ultrasonic vibrator 5 Cooling piping 6 Pump 7 Cooling device 8 Filter 9 Vacuum exhaust device 11 Water supply port 12 Drainage port 13 Metal ion introduction device 14 Inlet device 15 Ozone generation Device 16 De-airing device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−28695(JP,A) 特開 平1−127899(JP,A) 特開 平6−315847(JP,A) 特開 平6−226010(JP,A) 特開 平7−328313(JP,A) 特開 昭63−15002(JP,A) 特開 平9−61091(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F28G 7/00 F25D 17/02 ──────────────────────────────────────────────────── ----- Continuation of Front Page (56) References Japanese Patent Laid-Open No. 3-28695 (JP, A) Japanese Patent Laid-Open No. 1-127899 (JP, A) Japanese Patent Laid-Open No. 6-315847 (JP, A) 226010 (JP, A) JP 7-328313 (JP, A) JP 63-15002 (JP, A) JP 9-61091 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) F28G 7/00 F25D 17/02
Claims (1)
配管内部を洗浄する超音波振動子を設けた冷却配管設備
において、 前記冷却水供給管路中に溶存気体を除去する脱気装置を
設け、該脱気装置によって超音波振動による気泡の発生
を防止し、もって前記超音波振動子による冷却水内の超
音波の伝達距離を長くしたことを特徴とする冷却配管設
備。(57) [Claims] [Claim 1] In a cooling pipe facility provided with an ultrasonic vibrator for cleaning the inside of the cooling pipe in the cooling water supply pipe to the cooling pipe, the cooling water supply pipe A degassing device for removing dissolved gas in the inside , the generation of bubbles due to ultrasonic vibration is prevented by the degassing device, and the transmission distance of ultrasonic waves in the cooling water by the ultrasonic vibrator is increased. Characteristic cooling piping equipment.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22185099A JP3505554B2 (en) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | Cooling piping equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22185099A JP3505554B2 (en) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | Cooling piping equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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