JP2001048559A - 石英材料から合成体を生産する方法 - Google Patents
石英材料から合成体を生産する方法Info
- Publication number
- JP2001048559A JP2001048559A JP2000198625A JP2000198625A JP2001048559A JP 2001048559 A JP2001048559 A JP 2001048559A JP 2000198625 A JP2000198625 A JP 2000198625A JP 2000198625 A JP2000198625 A JP 2000198625A JP 2001048559 A JP2001048559 A JP 2001048559A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molded
- plate
- shaped
- composite
- pieces
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/20—Uniting glass pieces by fusing without substantial reshaping
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/20—Uniting glass pieces by fusing without substantial reshaping
- C03B23/203—Uniting glass sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/20—Uniting glass pieces by fusing without substantial reshaping
- C03B23/24—Making hollow glass sheets or bricks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 融解石英及び／または融解されたシリカから
作られる複数のモールドされた片から合成体を生産する
に際し、材料の高い歩どまり及び高い繰返し精度を有し
た経済的な連続製造を可能とすると共に亀裂を阻止する
ようにすること。 【解決手段】 最初に、矩形の底部表面及び頂部表面を
有するモールドされた角柱片３及び該モールドされた角
柱片３の外部表面にぴったり合う寸法を有するモールド
された４つの板形状片４、５が生産され、次に、モール
ドされた板形状片４、５が、モールドされた角柱片３の
外部表面に固定され、モールドされた角柱片３及びモー
ルドされた板形状片４、５は、石英材料の軟化温度より
高い所定の温度Ｔεまで保護ガス下で一緒に加熱され、
次に冷却され、これにより、材料係合において熱的に接
合された角柱の合成体２がもたらされる。
作られる複数のモールドされた片から合成体を生産する
に際し、材料の高い歩どまり及び高い繰返し精度を有し
た経済的な連続製造を可能とすると共に亀裂を阻止する
ようにすること。 【解決手段】 最初に、矩形の底部表面及び頂部表面を
有するモールドされた角柱片３及び該モールドされた角
柱片３の外部表面にぴったり合う寸法を有するモールド
された４つの板形状片４、５が生産され、次に、モール
ドされた板形状片４、５が、モールドされた角柱片３の
外部表面に固定され、モールドされた角柱片３及びモー
ルドされた板形状片４、５は、石英材料の軟化温度より
高い所定の温度Ｔεまで保護ガス下で一緒に加熱され、
次に冷却され、これにより、材料係合において熱的に接
合された角柱の合成体２がもたらされる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、異なったまたは同
一構造の石英材料、好ましくは融解石英及び／または融
解されたシリカから作られた複数のモールドされた片か
ら合成体を生産する方法に関する。本発明は、また、該
方法により生産された合成体に関する。
一構造の石英材料、好ましくは融解石英及び／または融
解されたシリカから作られた複数のモールドされた片か
ら合成体を生産する方法に関する。本発明は、また、該
方法により生産された合成体に関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明も属している石英材料の合成体の
一般的な型は、例えばシリコン・ディスク及びウエファ
のための半導体製造における中間生成物、またとりわけ
清浄室の状態下で生じる高温プロセスにおける中間生成
物のための支持板もしくは担持板として主に用いられ
る。それらはまた、光及び化学産業における技術プロセ
スにおいても従来から用いられている。
一般的な型は、例えばシリコン・ディスク及びウエファ
のための半導体製造における中間生成物、またとりわけ
清浄室の状態下で生じる高温プロセスにおける中間生成
物のための支持板もしくは担持板として主に用いられ
る。それらはまた、光及び化学産業における技術プロセ
スにおいても従来から用いられている。
【０００３】一般に板形状を有するように構成される合
成体は、普通、大面積の矩形の融解石英板のエッジに融
解されたシリカを設けることにより形成される。この型
の支持体として用いられる合成体の厚さは、４ｍｍから
１０ｍｍの範囲に渡っている。融解石英板は、実際の支
持表面を提供するが、そのエッジもしくは端は、物体か
ら融解石英板を介してエッジに向けて熱が流れるのを減
少させる役目を有しており、支持された物体に施されて
いる熱処理もしくは仕上げ段階中にできる限り支持体領
域に熱を保つようにしている。
成体は、普通、大面積の矩形の融解石英板のエッジに融
解されたシリカを設けることにより形成される。この型
の支持体として用いられる合成体の厚さは、４ｍｍから
１０ｍｍの範囲に渡っている。融解石英板は、実際の支
持表面を提供するが、そのエッジもしくは端は、物体か
ら融解石英板を介してエッジに向けて熱が流れるのを減
少させる役目を有しており、支持された物体に施されて
いる熱処理もしくは仕上げ段階中にできる限り支持体領
域に熱を保つようにしている。
【０００４】この型の板形状の合成体の生産において
は、石英材料の物理的及び化学的特性の特別の性質を考
慮しなければならず、その結果、特別の技術が開発され
なければならなかった。従って、例えば、矩形かつ４つ
の融解されたシリカ・エッジ片にカットされた融解石英
板から部品製造として上述の型の合成体を生産すること
が知られている。融解されたシリカ・エッジ片は、一般
に、水素炎で溶接することにより融解石英板に接続され
る。溶接による代わりに接着により接続することも知ら
れている。
は、石英材料の物理的及び化学的特性の特別の性質を考
慮しなければならず、その結果、特別の技術が開発され
なければならなかった。従って、例えば、矩形かつ４つ
の融解されたシリカ・エッジ片にカットされた融解石英
板から部品製造として上述の型の合成体を生産すること
が知られている。融解されたシリカ・エッジ片は、一般
に、水素炎で溶接することにより融解石英板に接続され
る。溶接による代わりに接着により接続することも知ら
れている。
【０００５】この生産方法は極度に価格の高いものとな
るという欠点がある。その理由は、融解石英板及び融解
されたシリカ・エッジ片の個々の製造、並びにそれらの
互いの接続が非常に時間のかかるものであるからであ
る。さらに、大量の石英材料を無駄にすると共に、例え
ば半導体産業において、製造部品の数が増えており、再
度、上述した合成体を一層効率良く製造することができ
る生産方法の開発が要求されている。
るという欠点がある。その理由は、融解石英板及び融解
されたシリカ・エッジ片の個々の製造、並びにそれらの
互いの接続が非常に時間のかかるものであるからであ
る。さらに、大量の石英材料を無駄にすると共に、例え
ば半導体産業において、製造部品の数が増えており、再
度、上述した合成体を一層効率良く製造することができ
る生産方法の開発が要求されている。
【０００６】さらに、個々の生産もまた、寸法的安定性
並びに幾何学的形状の精度に関して、１つの合成体と次
の合成体との間に反復的な精度に制限があるため、欠点
を有している。
並びに幾何学的形状の精度に関して、１つの合成体と次
の合成体との間に反復的な精度に制限があるため、欠点
を有している。
【０００７】さらに、互いに接合された部品の伸張が変
化することから帰結する機械的応力に起因して、もしく
は溶接炎を局部的に制限して適用することによる材料の
均質でない伸張のため、しばしば材料にクラックもしく
は亀裂も形成される。
化することから帰結する機械的応力に起因して、もしく
は溶接炎を局部的に制限して適用することによる材料の
均質でない伸張のため、しばしば材料にクラックもしく
は亀裂も形成される。
【０００８】溶接接続ではなく接着接続が選択される限
り、この方法で生産される合成体は、高温範囲では用い
ることができない。というのは、適用可能な接着剤の接
続が約３０００°Ｃまでの温度に耐え得ることができる
だけであり、また、接着される場所が加熱時にガスを吐
き出したりもし、このことは多くの技術的プロセスにお
いて望ましいことではないからである。
り、この方法で生産される合成体は、高温範囲では用い
ることができない。というのは、適用可能な接着剤の接
続が約３０００°Ｃまでの温度に耐え得ることができる
だけであり、また、接着される場所が加熱時にガスを吐
き出したりもし、このことは多くの技術的プロセスにお
いて望ましいことではないからである。
【０００９】一続きの融解石英板を製造することは、Ｄ
Ｅ−ＯＳ ３２ ２６ ４５１から既知である。これに
おいて、融解石英板は、融解石英柱から作られ、引き続
いて、所望の形状、例えば矩形にカットされる。しかし
ながら、この公報は、複数の石英材料から板形状の合成
体を製造することについては言及していない。
Ｅ−ＯＳ ３２ ２６ ４５１から既知である。これに
おいて、融解石英板は、融解石英柱から作られ、引き続
いて、所望の形状、例えば矩形にカットされる。しかし
ながら、この公報は、複数の石英材料から板形状の合成
体を製造することについては言及していない。
【００１０】また、例えば、ＤＥ ２９ ０８ ２８
８、ＤＥ ３１ ４１ ９１９及びＤＥ ４４ ４０
１０４に記載されているように、融解されたシリカ及び
融解石英から管形状及び／またはフランジ形状の合成体
を製造することも既知である。しかしながら、これらの
参考文献に示されたプロセスは、最初に述べた目的のた
めの支持体として適切な板形状の合成体を製造すること
には適用できない。
８、ＤＥ ３１ ４１ ９１９及びＤＥ ４４ ４０
１０４に記載されているように、融解されたシリカ及び
融解石英から管形状及び／またはフランジ形状の合成体
を製造することも既知である。しかしながら、これらの
参考文献に示されたプロセスは、最初に述べた目的のた
めの支持体として適切な板形状の合成体を製造すること
には適用できない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術にお
ける欠点から出発して、本発明の目的は、材料の高い歩
どまり及び高い繰返し精度を有した経済的な連続製造を
可能とすると共に、同時に亀裂を大いに阻止するように
した、最初に述べた型の方法を提供することである。
ける欠点から出発して、本発明の目的は、材料の高い歩
どまり及び高い繰返し精度を有した経済的な連続製造を
可能とすると共に、同時に亀裂を大いに阻止するように
した、最初に述べた型の方法を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、この目
的は、第１段階において、矩形の底部表面及び頂部表面
を有するモールドされた角柱片及び該モールドされた角
柱片の外部表面にぴったり合う寸法を有するモールドさ
れた４つの板形状片が生産され、次に、モールドされた
板形状片が、モールドされた角柱片の外部表面に固定さ
れ、モールドされた角柱片及びモールドされた板形状片
は、石英材料の軟化温度より高い所定の温度Ｔεまで保
護ガス下で一緒に加熱され、次に冷却され、これによ
り、材料係合において熱的に接合された角柱の合成体が
もたらされることによりかなえられる。
的は、第１段階において、矩形の底部表面及び頂部表面
を有するモールドされた角柱片及び該モールドされた角
柱片の外部表面にぴったり合う寸法を有するモールドさ
れた４つの板形状片が生産され、次に、モールドされた
板形状片が、モールドされた角柱片の外部表面に固定さ
れ、モールドされた角柱片及びモールドされた板形状片
は、石英材料の軟化温度より高い所定の温度Ｔεまで保
護ガス下で一緒に加熱され、次に冷却され、これによ
り、材料係合において熱的に接合された角柱の合成体が
もたらされることによりかなえられる。
【００１３】本発明の好適な構成において、モールドさ
れた板形状片は、グラファイト・モールドを用いてモー
ルドされた角柱片の外部表面に固定される。さらに、温
度Ｔεが所定の期間ｔεの間維持される時、長所的であ
ることが判明した。
れた板形状片は、グラファイト・モールドを用いてモー
ルドされた角柱片の外部表面に固定される。さらに、温
度Ｔεが所定の期間ｔεの間維持される時、長所的であ
ることが判明した。
【００１４】この方法で形成された角柱の合成体は、一
続きの板形状の合成体を生成するためにその底部表面ま
たは頂部表面と平行に繰返し切断され得、ここに、板形
状の合成体の厚さは、各場合において、１つの切断面か
ら次の切断面までの距離によって決定される。
続きの板形状の合成体を生成するためにその底部表面ま
たは頂部表面と平行に繰返し切断され得、ここに、板形
状の合成体の厚さは、各場合において、１つの切断面か
ら次の切断面までの距離によって決定される。
【００１５】従って、本発明の方法においては、常に少
なくともほぼ同一の膨張係数を有する異なったもしくは
同一の構造の石英材料から、材料係合において熱的に接
合された、より大きいもしくはブロック形状の合成体が
最初に生産され、そして次に、それから、同一形状輪郭
を有する一連の板形状の合成体が得られる。
なくともほぼ同一の膨張係数を有する異なったもしくは
同一の構造の石英材料から、材料係合において熱的に接
合された、より大きいもしくはブロック形状の合成体が
最初に生産され、そして次に、それから、同一形状輪郭
を有する一連の板形状の合成体が得られる。
【００１６】この方法で、生産中の局部的に制限された
加熱が長所的に避けられ、応力の無いもしくは応力の低
い合成体が得られる。亀裂の危険性及びその有害な結果
を事実上除外することができる。接合領域は幾何学的に
狭く限定され、隣接のモールドされた片の材料の混合領
域によって包囲されない。
加熱が長所的に避けられ、応力の無いもしくは応力の低
い合成体が得られる。亀裂の危険性及びその有害な結果
を事実上除外することができる。接合領域は幾何学的に
狭く限定され、隣接のモールドされた片の材料の混合領
域によって包囲されない。
【００１７】従って、本発明による方法を適用すれば、
材料の高い歩どまりでかつ比較的無駄を少なくして板形
状の合成体を経済的に連続製造することが可能である。
本発明による方法の特に好ましい構成においては、モー
ルドされた片の固定は、グラファイト・モールドを用い
て行われる。
材料の高い歩どまりでかつ比較的無駄を少なくして板形
状の合成体を経済的に連続製造することが可能である。
本発明による方法の特に好ましい構成においては、モー
ルドされた片の固定は、グラファイト・モールドを用い
て行われる。
【００１８】さらに、互いに面するどの２つの隣接する
モールドされた片の接続表面が互いに対して角度αで傾
けられるような方法で、モールドされた板形状片が、モ
ールドされた角柱片の外部表面に固定され、これにおい
て、これら互いに面する接続表面間の距離が、重力とは
反対の方向に一層大きいような方法で、モールドされた
片が互いに対して配向される。
モールドされた片の接続表面が互いに対して角度αで傾
けられるような方法で、モールドされた板形状片が、モ
ールドされた角柱片の外部表面に固定され、これにおい
て、これら互いに面する接続表面間の距離が、重力とは
反対の方向に一層大きいような方法で、モールドされた
片が互いに対して配向される。
【００１９】このことは、それぞれの表面とモールドさ
れた片との接続が重力の方向とは反対方向に底部から頂
部に向けて進められている間、加熱及び保持期間中に不
可避的に生じるガスが、妨げられていない接合ギャップ
から上方に逃げることができるという長所的な結果を有
しており、この方法で、特に、気泡の無いもしくは僅か
しかない接合領域が達成される。
れた片との接続が重力の方向とは反対方向に底部から頂
部に向けて進められている間、加熱及び保持期間中に不
可避的に生じるガスが、妨げられていない接合ギャップ
から上方に逃げることができるという長所的な結果を有
しており、この方法で、特に、気泡の無いもしくは僅か
しかない接合領域が達成される。
【００２０】グラファイト・モールド内に保持されたモ
ールドされた片を、１７１０°Ｃ〜１７９０°Ｃの温度
Ｔεまで毎分５〜１０°Ｃの加熱速度で加熱することが
特に長所的であることが判明した。保持時間ｔεは、３
〜８時間であるのが望ましい。
ールドされた片を、１７１０°Ｃ〜１７９０°Ｃの温度
Ｔεまで毎分５〜１０°Ｃの加熱速度で加熱することが
特に長所的であることが判明した。保持時間ｔεは、３
〜８時間であるのが望ましい。
【００２１】熱的に接合されたブロック形状の合成体の
冷却は、限定された態様で毎分０．１〜１°Ｃの冷却速
度で行われるのが長所的である。種々の方法によりブロ
ック形状の合成体から底部表面と平行に個々の板形状の
合成体を切断することができるが、ダイアモンドソーに
よる切り取りが望ましいことが判明している。
冷却は、限定された態様で毎分０．１〜１°Ｃの冷却速
度で行われるのが長所的である。種々の方法によりブロ
ック形状の合成体から底部表面と平行に個々の板形状の
合成体を切断することができるが、ダイアモンドソーに
よる切り取りが望ましいことが判明している。
【００２２】本方法は、また、石英材料に物質的に関連
した材料から作られたモールドされた片から、対応的な
接合体を生産するためにも長所的に適用可能である。当
該目的は、さらに、全周の回りに延びると共に中間層無
しで材料係合において接合されるリムもしくはエッジを
有する板から形成される、上述された方法により生産さ
れる、本発明による板形状の合成体によってもかなえら
れる。
した材料から作られたモールドされた片から、対応的な
接合体を生産するためにも長所的に適用可能である。当
該目的は、さらに、全周の回りに延びると共に中間層無
しで材料係合において接合されるリムもしくはエッジを
有する板から形成される、上述された方法により生産さ
れる、本発明による板形状の合成体によってもかなえら
れる。
【００２３】この点で、この合成体の接合領域が狭く限
定され、隣接のモールドされた片の異なった材料の混合
領域により包囲されていないということは相当の長所で
ある。それらは気泡が無くもしくは殆ど僅かしか無く、
本発明による方法の結果として、合成体は、有ったとし
ても無視し得る程度の応力しか有さず、従って、材料内
に亀裂が生じるとは思われない。
定され、隣接のモールドされた片の異なった材料の混合
領域により包囲されていないということは相当の長所で
ある。それらは気泡が無くもしくは殆ど僅かしか無く、
本発明による方法の結果として、合成体は、有ったとし
ても無視し得る程度の応力しか有さず、従って、材料内
に亀裂が生じるとは思われない。
【００２４】特に長所的な構成においては、大面積の板
は融解石英から作られ、それに接合されるエッジは、融
解されたシリカから作られる。この方法で、特に高温プ
ロセスにおける支持体として用いられるとき、板におい
てもしくは融解石英板上に置かれた生成物において良好
な熱の維持が達成され得、その理由は、融解されたシリ
カから作られた一層多孔性のエッジが、板の融解石英と
比較して低い熱伝導率を有しており、従って、熱がエッ
ジ内に急速に流れることができないからである。
は融解石英から作られ、それに接合されるエッジは、融
解されたシリカから作られる。この方法で、特に高温プ
ロセスにおける支持体として用いられるとき、板におい
てもしくは融解石英板上に置かれた生成物において良好
な熱の維持が達成され得、その理由は、融解されたシリ
カから作られた一層多孔性のエッジが、板の融解石英と
比較して低い熱伝導率を有しており、従って、熱がエッ
ジ内に急速に流れることができないからである。
【００２５】さらなる構成において、板及びエッジを含
む合成体の表面は、丸められて磨かれる。合成体の外周
表面は、丸められて磨かれるか、もしくは小面に分割さ
れて磨かれるのが望ましい。
む合成体の表面は、丸められて磨かれる。合成体の外周
表面は、丸められて磨かれるか、もしくは小面に分割さ
れて磨かれるのが望ましい。
【００２６】以下に、添付図面を参照して一実施の形態
について本発明を一層充分に説明する。
について本発明を一層充分に説明する。
【００２７】
【発明の実施の形態】本発明の方法によれば、材料係合
において熱的に接合されているブロック形状の合成体２
から板形状の合成体１を生産するのは、以下の態様で行
われる。
において熱的に接合されているブロック形状の合成体２
から板形状の合成体１を生産するのは、以下の態様で行
われる。
【００２８】最初に、融解石英のモールドされた角柱片
３及び融解されたシリカのモールドされたそれぞれ２つ
の板形状片４、５が、それ自体既知の技術的プロセス、
例えば先に製造されたブロックから切り取ることにより
生産される。モールドされた板形状片４、５の寸法は、
モールドされた２つの板形状片４が方形のモールドされ
た片３と同じ幅を有するような方法で、方形のモールド
された片３の外部表面に適合されている。モールドされ
た２つの板形状片５の幅は、モールドされた片４の厚さ
の２倍分だけ、方形のモールドされた片３の幅よりも大
きく、それによれ、全配列の外周の輪郭は、接合個所の
領域においても平面的である。
３及び融解されたシリカのモールドされたそれぞれ２つ
の板形状片４、５が、それ自体既知の技術的プロセス、
例えば先に製造されたブロックから切り取ることにより
生産される。モールドされた板形状片４、５の寸法は、
モールドされた２つの板形状片４が方形のモールドされ
た片３と同じ幅を有するような方法で、方形のモールド
された片３の外部表面に適合されている。モールドされ
た２つの板形状片５の幅は、モールドされた片４の厚さ
の２倍分だけ、方形のモールドされた片３の幅よりも大
きく、それによれ、全配列の外周の輪郭は、接合個所の
領域においても平面的である。
【００２９】続いて、モールドされた板形状片４、５
は、（図２から、例えば、モールドされた片４及び５か
ら分かるように）互いに面するすべての接合表面が、
０．５°及び５°の間であるのが長所的である角度αで
互いに対して傾けられるような方法で、方形のモールド
された片３の外部表面に固定され、これにより、接合溝
が上方に、すなわち重力の方向と反対の方向に、Ｖ形状
に開く。このことは、接合プロセスが底の方から上方に
向けて進められている時の引き続く熱プロセスの間にガ
スが上方に逃げるのを可能とする。モールドされた片
３、４及び５を互いに対して配向しかつ固定するため
に、モールドされた片３、４及び５を受けてそれらと一
緒に炉内に導入されるグラファイト・モールド（図示せ
ず）を用いることが望ましい。
は、（図２から、例えば、モールドされた片４及び５か
ら分かるように）互いに面するすべての接合表面が、
０．５°及び５°の間であるのが長所的である角度αで
互いに対して傾けられるような方法で、方形のモールド
された片３の外部表面に固定され、これにより、接合溝
が上方に、すなわち重力の方向と反対の方向に、Ｖ形状
に開く。このことは、接合プロセスが底の方から上方に
向けて進められている時の引き続く熱プロセスの間にガ
スが上方に逃げるのを可能とする。モールドされた片
３、４及び５を互いに対して配向しかつ固定するため
に、モールドされた片３、４及び５を受けてそれらと一
緒に炉内に導入されるグラファイト・モールド（図示せ
ず）を用いることが望ましい。
【００３０】次のプロセス段階において、モールドされ
固定された片３、４及び５は、毎分５〜１０°Ｃの加熱
速度で約１７５０°Ｃの軟化温度Ｔεの範囲まで保護ガ
ス下で加熱される。該温度は、３〜８時間の期間ｔεの
間維持される。
固定された片３、４及び５は、毎分５〜１０°Ｃの加熱
速度で約１７５０°Ｃの軟化温度Ｔεの範囲まで保護ガ
ス下で加熱される。該温度は、３〜８時間の期間ｔεの
間維持される。
【００３１】これらの熱条件下で、モールドされた片
３、４及び５は、ブロック形状の合成体２を形成するよ
う材料係合において接合される。この接合プロセスの根
拠は、接触接合表面の材料係合接続が溶接によって生成
されるというプロセスであると仮定し得る。そうするこ
とにおいて、Ｖ形状の接合溝は、熱プロセスの間に徐々
に満たされ、それ故、該溝は、完成された合成体２には
（説明のためだけに用いられる図２とは対照的に）もは
や存在しない。このことも、上述のガスの発散に利す
る。
３、４及び５は、ブロック形状の合成体２を形成するよ
う材料係合において接合される。この接合プロセスの根
拠は、接触接合表面の材料係合接続が溶接によって生成
されるというプロセスであると仮定し得る。そうするこ
とにおいて、Ｖ形状の接合溝は、熱プロセスの間に徐々
に満たされ、それ故、該溝は、完成された合成体２には
（説明のためだけに用いられる図２とは対照的に）もは
や存在しない。このことも、上述のガスの発散に利す
る。
【００３２】このプロセス段階の後には、ブロック形状
の合成体２の限定された冷却が行われる。冷却を入念に
行うために、毎分０．１〜１°Ｃの冷却速度が維持され
る。この熱プロセスにおいて生じる接合領域は、その空
間的な拡張に対して非常に狭く限定され、接合の貢献す
るモールドされた片３、４及び５の２つの材料の混合領
域により囲まれていない。この接合領域には気泡がない
もしくは非常に少数の気泡しかないということが示され
ており、このことは板形状の合成体１の引き続く使用に
対して特に長所的である。また、本発明により生成され
るブロック形状の合成体２は、熱的に引き起こされるど
んな応力をも殆ど有さない。
の合成体２の限定された冷却が行われる。冷却を入念に
行うために、毎分０．１〜１°Ｃの冷却速度が維持され
る。この熱プロセスにおいて生じる接合領域は、その空
間的な拡張に対して非常に狭く限定され、接合の貢献す
るモールドされた片３、４及び５の２つの材料の混合領
域により囲まれていない。この接合領域には気泡がない
もしくは非常に少数の気泡しかないということが示され
ており、このことは板形状の合成体１の引き続く使用に
対して特に長所的である。また、本発明により生成され
るブロック形状の合成体２は、熱的に引き起こされるど
んな応力をも殆ど有さない。
【００３３】ブロック形状の合成体２から今や複数の合
成体１を得ることができる。これは、ブロックの底面ま
たは頂面と平行に、ダイアモンドソー（図示せず）で切
り取ることにより行われる。図１には幾つかの切断面７
が示されている。
成体１を得ることができる。これは、ブロックの底面ま
たは頂面と平行に、ダイアモンドソー（図示せず）で切
り取ることにより行われる。図１には幾つかの切断面７
が示されている。
【００３４】図３の上面図に示される、この方法により
生成される板形状の合成体１は、融解石英（方形のモー
ルドされた片３の材料）の大面積板８と、材料係合にお
いて後者に接合される、幅ｂを有した融解されたシリカ
のエッジ９とを備える。
生成される板形状の合成体１は、融解石英（方形のモー
ルドされた片３の材料）の大面積板８と、材料係合にお
いて後者に接合される、幅ｂを有した融解されたシリカ
のエッジ９とを備える。
【００３５】板形状の合成体１を引き続き用いる目的に
応じて、板８及びエッジ９の表面は研摩されて仕上げが
施される。結果として、該表面は、充分に平らとなり、
ぴったりと密接した接触が確実にされる。
応じて、板８及びエッジ９の表面は研摩されて仕上げが
施される。結果として、該表面は、充分に平らとなり、
ぴったりと密接した接触が確実にされる。
【００３６】図４によれば、板形状の合成体１の周方向
に延びる外部表面１０は、丸められて火仕上げされてい
る。他方、図５に示される構造的変形例においては、外
部表面１０は小面に分割されて同様に火仕上げされてい
る。
に延びる外部表面１０は、丸められて火仕上げされてい
る。他方、図５に示される構造的変形例においては、外
部表面１０は小面に分割されて同様に火仕上げされてい
る。
【００３７】本発明は上述の実施の形態及び変形例に制
限されるものではないことは留意されるべきである。例
えば、先の記載とは対照的に、融解されたシリカからモ
ールドされた角柱片３をかつ融解石英からモールドされ
た片４、５を構成すること、もしくは融解石英／融解石
英の対及び融解されたシリカ／融解されたシリカの対を
提供することも同様に想到できることである。さらに、
本発明は、勿論、石英材料に物質的に関連した材料にお
ける適用に対しても適している。
限されるものではないことは留意されるべきである。例
えば、先の記載とは対照的に、融解されたシリカからモ
ールドされた角柱片３をかつ融解石英からモールドされ
た片４、５を構成すること、もしくは融解石英／融解石
英の対及び融解されたシリカ／融解されたシリカの対を
提供することも同様に想到できることである。さらに、
本発明は、勿論、石英材料に物質的に関連した材料にお
ける適用に対しても適している。
【００３８】
【発明の効果】本発明によれば、材料の高い歩どまり及
び高い繰返し精度を有した経済的な連続製造を可能とす
ると共に、亀裂を大いに阻止することができるという効
果がある。
び高い繰返し精度を有した経済的な連続製造を可能とす
ると共に、亀裂を大いに阻止することができるという効
果がある。
【図１】 複数の個々の板形状の合成体に切断するため
の切断面が示された、ブロック形状の合成体の斜視図で
ある。
の切断面が示された、ブロック形状の合成体の斜視図で
ある。
【図２】 図１の矢印Ａから見た図である。
【図３】 図１の矢印Ｂから見た図である。
【図４】 板形状の合成体の第１の変形例を示す側面図
である。
である。
【図５】 板形状の合成体の第２の変形例を示す側面図
である。
である。
１…板形状の合成体、２…ブロック形状の合成体、３…
モールドされた角柱片、４…モールドされた板形状片、
５…モールドされた板形状片、７…切断面、８…板、９
…エッジ、１０…外部表面、ｂ…エッジ幅、α…角度。
モールドされた角柱片、４…モールドされた板形状片、
５…モールドされた板形状片、７…切断面、８…板、９
…エッジ、１０…外部表面、ｂ…エッジ幅、α…角度。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 カール−ハインツ シーケ ドイツ連邦共和国 Ｄ−07747 イエナ フリッツ−リッター−シュトラーセ ２ (72)発明者 ヴェルナー シュミット ドイツ連邦共和国 Ｄ−07745 イエナ オスマリッツァー シュトラーセ ７ (72)発明者 ディルク シュルッツェ ドイツ連邦共和国 Ｄ−99518 エーベル シュテット ドルフシュトラーセ 23 (72)発明者 ペーター ヨッフマン ドイツ連邦共和国 Ｄ−07743 イエナ ラインホルトヴェーグ ９ (72)発明者 ベルンハルト ジンドツィンスキー ドイツ連邦共和国 Ｄ−07747 イエナ ドローテア−ファイト−シュトラーセ 21 (72)発明者 クラウス ジーベック オーストリア国 Ａ−9500 フィラッフ ポゲリアッヒャシュトラーセ 21ｂ
Claims (15)
- 【請求項１】 異なったもしくは同一構造の石英材料、
好ましくは融解石英及び／または融解されたシリカから
作られる複数のモールドされた片から合成体を生産する
ための方法であって、 第１段階において、矩形の底部表面及び頂部表面を有す
るモールドされた角柱片（３）及び該モールドされた角
柱片（３）の外部表面にぴったり合う寸法を有するモー
ルドされた４つの板形状片（４、５）が生産され、次
に、モールドされた板形状片（４、５）が、モールドさ
れた角柱片（３）の外部表面に固定され、モールドされ
た角柱片（３）及びモールドされた板形状片（４、５）
は、石英材料の軟化温度より高い所定の温度Ｔεまで保
護ガス下で一緒に加熱され、次に冷却され、これによ
り、材料係合において熱的に接合された角柱の合成体
（２）がもたらされることを特徴とする方法。 - 【請求項２】 モールドされた板形状片（４、５）は、
グラファイト・モールドを用いてモールドされた角柱片
（３）の外部表面に固定されることを特徴とする請求項
１に記載の方法。 - 【請求項３】 温度Ｔεは所定の期間ｔεの間維持され
ることを特徴とする請求項１または２に記載の方法。 - 【請求項４】 角柱の合成体（２）は、底部表面または
頂部表面から異なった距離でそれと平行に繰返し切断さ
れて、板形状の合成体（１）が形成されることを特徴と
する請求項１乃至３のいずれかに記載の方法。 - 【請求項５】 互いに面する表面が互いに対して角度α
で傾けられるような方法で、モールドされた板形状片
（４、５）が、モールドされた角柱片（３）の外部表面
に固定され、互いに面する表面間の距離は、重力とは反
対の方向に増加することを特徴とする請求項１乃至４の
いずれかに記載の方法。 - 【請求項６】 加熱は、１７１０°Ｃ〜１７９０°Ｃの
温度Ｔεまで毎分５〜１０°Ｃだけ増加させるように行
われることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記
載の方法。 - 【請求項７】 温度Ｔεは、３〜８時間の期間ｔεの間
維持されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか
に記載の方法。 - 【請求項８】 冷却は、毎分０．１〜１°Ｃで行われる
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の方
法。 - 【請求項９】 角柱の合成体（２）を板形状の合成体
（１）に切断するのはダイアモンドソーで行われること
を特徴とする請求項４に記載の方法。 - 【請求項１０】 全周の回りに延びると共に中間層無し
で材料係合において接合されるエッジ（９）を有する板
（８）から形成される、請求項１乃至９のいずれかに記
載の方法から生産される板形状の合成体（１）。 - 【請求項１１】 板（８）は融解石英から作られ、エッ
ジ（９）は、融解されたシリカから作られることを特徴
とする請求項１０に記載の板形状の合成体。 - 【請求項１２】 表面は丸められて磨かれることを特徴
とする請求項１０または１１に記載の板形状の合成体。 - 【請求項１３】 表面は少なくともエッジ（９）の領域
において非常に平らであることを特徴とする請求項１０
乃至１２のいずれかに記載の板形状の合成体。 - 【請求項１４】 周囲の外部表面（１０）は丸められて
磨かれていることを特徴とする請求項１０乃至１３のい
ずれかに記載の板形状の合成体。 - 【請求項１５】 周囲の外部表面（１０）は、小面に分
割されて磨かれていることを特徴とする請求項１０乃至
１３のいずれかに記載の板形状の合成体。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19930817-9 | 1999-07-01 | ||
| DE19930817A DE19930817C1 (de) | 1999-07-01 | 1999-07-01 | Verfahren zur Herstellung von Verbundkörpern aus Quarzmaterial |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001048559A true JP2001048559A (ja) | 2001-02-20 |
Family
ID=7913616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000198625A Pending JP2001048559A (ja) | 1999-07-01 | 2000-06-30 | 石英材料から合成体を生産する方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6412306B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001048559A (ja) |
| DE (1) | DE19930817C1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004054392A1 (de) * | 2004-08-28 | 2006-03-02 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zum Verbinden von Bauteilen aus hochkieselsäurehaltigem Werkstoff, sowie aus derartigen Bauteilen zusammengefügter Bauteil-Verbund |
| CN101932525B (zh) * | 2008-02-01 | 2013-07-31 | 技迩科学有限公司 | 氧化硅单块体包覆方法和分离介质 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2908288B1 (de) * | 1979-03-03 | 1980-01-17 | Heraeus Schott Quarzschmelze | Glocke aus Quarzglas fuer halbleitertechnologische Zwecke |
| DE3141919C2 (de) * | 1981-10-22 | 1984-05-17 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Verfahren zur Herstellung eines rohrförmigen Verbundkörpers |
| DE3226451C2 (de) * | 1982-07-15 | 1984-09-27 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Verfahren zur Herstellung von schlierenfreien, blasenfreien und homogenen Quarzglasplatten und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| US5640282A (en) * | 1991-03-30 | 1997-06-17 | Shin-Etsu Quartz Co., Ltd. | Base body of reflecting mirror and method for preparing the same |
| DE4338807C1 (de) * | 1993-11-12 | 1995-01-26 | Heraeus Quarzglas | Formkörper mit hohem Gehalt an Siliziumdioxid und Verfahren zur Herstellung solcher Formkörper |
-
1999
- 1999-07-01 DE DE19930817A patent/DE19930817C1/de not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-06-30 JP JP2000198625A patent/JP2001048559A/ja active Pending
- 2000-06-30 US US09/607,646 patent/US6412306B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6412306B1 (en) | 2002-07-02 |
| DE19930817C1 (de) | 2001-05-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI702191B (zh) | 形成成型玻璃物件之方法以及系統 | |
| RU2416576C2 (ru) | Способ производства формованного изделия, покрывающий элемент и формовочное устройство, содержащее таковой | |
| JP2010519164A (ja) | 熱的エッジ仕上げ | |
| JPWO2008010457A1 (ja) | 切断方法 | |
| TW201529491A (zh) | 板玻璃的成形方法及成形模具 | |
| US11786995B2 (en) | Nonplanar wafer and method for producing a nonplanar wafer | |
| WO2007139903A2 (en) | Method for shaping sheet thermoplastic and the like | |
| JP2001048667A (ja) | セラミックス部品の接合方法 | |
| JP2001048559A (ja) | 石英材料から合成体を生産する方法 | |
| JPH0535095B2 (ja) | ||
| JP3798721B2 (ja) | 半導体熱処理用反射板およびこの半導体熱処理用反射板の製造方法 | |
| JP2005132720A (ja) | ノッブ形成ガラスまたはガラスセラミック板の製造方法、同方法により製造されるノッブ形成板、及び同板製造用成形型 | |
| WO2021065556A1 (ja) | 熱反射部材及び熱反射層付きガラス部材の製造方法 | |
| US20200049868A1 (en) | Mirror and mirror substrate with high aspect ratio, and method and means for producing such a mirror substrate | |
| JPH11291168A (ja) | 基板研磨用治具及び半導体ウエハの研磨方法 | |
| JP2002003229A (ja) | 半導体製造装置に用いられる石英ガラス製品 | |
| JP3821501B2 (ja) | 石英ガラス物品の製造方法 | |
| JP2005061747A (ja) | 熱処理用セッター及びその製造方法 | |
| TWI401217B (zh) | 陣列玻璃透鏡與其成型方法及成型設備 | |
| WO2023032414A1 (ja) | ガラス成形用金型及びガラス成形物の成形方法 | |
| JP2008056540A (ja) | 成形型 | |
| RU2766979C1 (ru) | Способ термического соединения стеклянных пластин с микроструктурами на одной из их поверхностей | |
| JP2008230893A (ja) | シリカガラスの成形方法 | |
| KR20170116613A (ko) | 석영 유리의 접합 방법 | |
| TWI551400B (zh) | 研磨工具及其製造方法 |