JP2001047517A - ディスク貼り合わせ装置及びディスク貼り合わせ方法 - Google Patents
ディスク貼り合わせ装置及びディスク貼り合わせ方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ディスクの貼り合わせに要する時間が短く、
得られた２層ディスクに反りが発生し難く、得られた２
層ディスクの中心孔とセンターピンとの間の隙間に接着
剤が侵入するおそれがなく、高品質の２層ディスクを得
ることのできるディスク貼り合わせ装置を得る。 【解決手段】 接着剤ＡＤを用いて貼り合わせられるべ
き、中心孔を備える複数のディスクＤ1 、Ｄ2 を支持す
る回転可能なテーブルＴＢと、そのテーブルＴＢ上の回
転中心に植立され、ディスクＤ1 、Ｄ2 の中心孔を貫通
し得るセンターピンＣＰとを有し、そのセンターピンＣ
Ｐの外周には、中心軸と略平行な複数の気体通路溝ＡＰ
が形成されると共に、テーブルＴＢには、複数の気体通
路溝ＡＰと連通する気体回路ＡＣが形成されてなり、気
体回路ＡＣを通じて複数の気体通路溝ＡＰに気体を供給
する。
得られた２層ディスクに反りが発生し難く、得られた２
層ディスクの中心孔とセンターピンとの間の隙間に接着
剤が侵入するおそれがなく、高品質の２層ディスクを得
ることのできるディスク貼り合わせ装置を得る。 【解決手段】 接着剤ＡＤを用いて貼り合わせられるべ
き、中心孔を備える複数のディスクＤ1 、Ｄ2 を支持す
る回転可能なテーブルＴＢと、そのテーブルＴＢ上の回
転中心に植立され、ディスクＤ1 、Ｄ2 の中心孔を貫通
し得るセンターピンＣＰとを有し、そのセンターピンＣ
Ｐの外周には、中心軸と略平行な複数の気体通路溝ＡＰ
が形成されると共に、テーブルＴＢには、複数の気体通
路溝ＡＰと連通する気体回路ＡＣが形成されてなり、気
体回路ＡＣを通じて複数の気体通路溝ＡＰに気体を供給
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はディスク貼り合わせ
装置及びディスク貼り合わせ方法に関する。
装置及びディスク貼り合わせ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】以下に、図３を参照して、従来のディス
ク貼り合わせ方法の一例を説明する。図３において、Ｔ
Ｂは上面が平坦なテーブルで、その下方の軸を中心とし
て回転自在とされ、そのテーブルＴＢ上には、その軸と
同軸芯となるように断面が円形のセンターピンＣＰが植
立されている。
ク貼り合わせ方法の一例を説明する。図３において、Ｔ
Ｂは上面が平坦なテーブルで、その下方の軸を中心とし
て回転自在とされ、そのテーブルＴＢ上には、その軸と
同軸芯となるように断面が円形のセンターピンＣＰが植
立されている。
【０００３】図３Ａに示すように、直径がセンターピン
ＣＰの外径より僅か大きな径の中心孔が穿設された円形
のディスクＤ2 を、その中心孔の中心とセンターピンＣ
Ｐの中心とが一致するように、その中心孔にセンターピ
ンＣＰを貫通させて、テーブルＴＢ上に載置する。そし
て、そのディスクＤ2 上に、その中心孔より大きな内径
を有し、その中心孔と略同軸芯の円環を構成するよう
に、接着剤ＡＤを塗布する。
ＣＰの外径より僅か大きな径の中心孔が穿設された円形
のディスクＤ2 を、その中心孔の中心とセンターピンＣ
Ｐの中心とが一致するように、その中心孔にセンターピ
ンＣＰを貫通させて、テーブルＴＢ上に載置する。そし
て、そのディスクＤ2 上に、その中心孔より大きな内径
を有し、その中心孔と略同軸芯の円環を構成するよう
に、接着剤ＡＤを塗布する。
【０００４】次に、図３Ｂに示すように、ディスクＤ2
の中心孔と同じ径の中心孔が穿設され、ディスクＤ2 と
同じ外径のディスクＤ1 を、その中心孔の中心とセンタ
ーピンＣＰの中心とが一致するように、その中心孔にセ
ンターピンＣＰを貫通させて、円環状の接着剤ＡＤ上に
載置する。
の中心孔と同じ径の中心孔が穿設され、ディスクＤ2 と
同じ外径のディスクＤ1 を、その中心孔の中心とセンタ
ーピンＣＰの中心とが一致するように、その中心孔にセ
ンターピンＣＰを貫通させて、円環状の接着剤ＡＤ上に
載置する。
【０００５】次に、時間待ちによって、接着剤ＡＤがデ
ィスクＤ1 、Ｄ2 の中心孔の周囲に接近して来たら、図
３Ｃに示すように、ディスクＤ1 の上面からディスクＤ
2 の下面までの厚さが規定の厚みになるまで、テーブル
ＴＢを回転させてスピニングを行う。
ィスクＤ1 、Ｄ2 の中心孔の周囲に接近して来たら、図
３Ｃに示すように、ディスクＤ1 の上面からディスクＤ
2 の下面までの厚さが規定の厚みになるまで、テーブル
ＴＢを回転させてスピニングを行う。
【０００６】以下に、図４を参照して、従来のディスク
貼り合わせ方法の他の例を説明する。図４において、Ｔ
Ｂは上面が平坦なテーブルで、その下方の軸を中心とし
て回転自在とされ、そのテーブルＴＢ上には、その軸と
同軸芯となるように断面が円形のセンターピンＣＰが植
立されている。そして、このセンターピンＣＰの中間部
で、接着剤ＡＤが付着する可能性のある部分に、円筒状
の凹部を設け、その凹部に、円筒状でシリコンゴム等の
離型性の良い弾性体ＥＬを嵌め込む如く固着する。
貼り合わせ方法の他の例を説明する。図４において、Ｔ
Ｂは上面が平坦なテーブルで、その下方の軸を中心とし
て回転自在とされ、そのテーブルＴＢ上には、その軸と
同軸芯となるように断面が円形のセンターピンＣＰが植
立されている。そして、このセンターピンＣＰの中間部
で、接着剤ＡＤが付着する可能性のある部分に、円筒状
の凹部を設け、その凹部に、円筒状でシリコンゴム等の
離型性の良い弾性体ＥＬを嵌め込む如く固着する。
【０００７】図４Ａに示すように、直径がセンターピン
ＣＰの外径に略等しい径の中心孔が穿設された円環状の
ディスクＤ2 を、その中心孔にセンターピンＣＰを貫通
させて、テーブルＴＢ上に載置する。
ＣＰの外径に略等しい径の中心孔が穿設された円環状の
ディスクＤ2 を、その中心孔にセンターピンＣＰを貫通
させて、テーブルＴＢ上に載置する。
【０００８】そして、図４Ｂに示すように、そのディス
クＤ2 上に、センターピンＣＰの弾性体ＥＬの周面から
遠ざかるにつれて厚さが薄くなるように、接着剤ＡＤを
円板状に塗布する。次に、ディスクＤ2 の中心孔と同じ
径の中心孔が穿設され、ディスクＤ2 と同じ外径のディ
スクＤ1 を、その中心孔にセンターピンＣＰを貫通させ
て、円板状の接着剤ＡＤ上に載置する。
クＤ2 上に、センターピンＣＰの弾性体ＥＬの周面から
遠ざかるにつれて厚さが薄くなるように、接着剤ＡＤを
円板状に塗布する。次に、ディスクＤ2 の中心孔と同じ
径の中心孔が穿設され、ディスクＤ2 と同じ外径のディ
スクＤ1 を、その中心孔にセンターピンＣＰを貫通させ
て、円板状の接着剤ＡＤ上に載置する。
【０００９】そして、ディスクＤ1 の上面からディスク
Ｄ2 の下面までの厚さが規定の厚みになるまで、テーブ
ルＴＢを回転させてスピニングを行う。
Ｄ2 の下面までの厚さが規定の厚みになるまで、テーブ
ルＴＢを回転させてスピニングを行う。
【００１０】この図４の場合は、弾性体ＥＬによって、
センターピンＣＰと両ディスクＤ1、Ｄ2 の中心孔との
間に隙間が形成されないので、センターピンＣＰと両デ
ィスクＤ1 、Ｄ2 の中心孔との間に接着剤ＡＤが侵入す
るおそれがなくなる。
センターピンＣＰと両ディスクＤ1、Ｄ2 の中心孔との
間に隙間が形成されないので、センターピンＣＰと両デ
ィスクＤ1 、Ｄ2 の中心孔との間に接着剤ＡＤが侵入す
るおそれがなくなる。
【００１１】以下に、図５を参照して、従来のディスク
貼り合わせ方法の更に他の例を説明する。図５Ａに示す
ように、同じ直径の円形のディスクＤ1 、Ｄ2 の各面上
にそれぞれ均一の厚さを以て接着剤ＡＤ1 、ＡＤ2 を塗
布する。
貼り合わせ方法の更に他の例を説明する。図５Ａに示す
ように、同じ直径の円形のディスクＤ1 、Ｄ2 の各面上
にそれぞれ均一の厚さを以て接着剤ＡＤ1 、ＡＤ2 を塗
布する。
【００１２】そして、接着剤内に気泡が入らないように
するために、図５Ｂに示すように、真空槽ＶＢ内におい
て、各ディスクＤ1 、Ｄ2 を接着剤ＡＤ1 、ＡＤ2 を介
して貼り合わせる。尚、ＡＤはこれらディスクＤ1 、Ｄ
2 間の接着剤を示す。
するために、図５Ｂに示すように、真空槽ＶＢ内におい
て、各ディスクＤ1 、Ｄ2 を接着剤ＡＤ1 、ＡＤ2 を介
して貼り合わせる。尚、ＡＤはこれらディスクＤ1 、Ｄ
2 間の接着剤を示す。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】図３について説明した
従来のディスク貼り合わせ方法の一例は、ディスク貼り
合わせに要する時間が長く、又、ディスク自体やその周
囲温度のばらつきによって、両ディスクの中心孔と、そ
の周囲の接着剤との間の距離がばらつくため、接着品質
が安定しなしという欠点がある。
従来のディスク貼り合わせ方法の一例は、ディスク貼り
合わせに要する時間が長く、又、ディスク自体やその周
囲温度のばらつきによって、両ディスクの中心孔と、そ
の周囲の接着剤との間の距離がばらつくため、接着品質
が安定しなしという欠点がある。
【００１４】図４について説明した従来のディスク貼り
合わせ方法の他の例は、センターピンの接着剤が付着す
る可能性のある部分の周囲に、離型性の良い弾性体を設
けているので、センターピンと両ディスクの中心孔との
間に隙間が形成されず、このため、センターピンと両デ
ィスクの中心孔との間に接着剤が侵入するおそれはなく
なるが、その反面、両ディスクに対し、その各中心孔が
外に押し広げられる力が働き、このため、両ディスクが
ストレスを受け、２層ディスクに反りが発生し易く、
又、２層ディスクをセンターピンから外すとき、センタ
ーピンによって２層ディスクの中心孔がしごかれて、そ
の２層ディスクに反りが発生し易くなるという欠点があ
る。
合わせ方法の他の例は、センターピンの接着剤が付着す
る可能性のある部分の周囲に、離型性の良い弾性体を設
けているので、センターピンと両ディスクの中心孔との
間に隙間が形成されず、このため、センターピンと両デ
ィスクの中心孔との間に接着剤が侵入するおそれはなく
なるが、その反面、両ディスクに対し、その各中心孔が
外に押し広げられる力が働き、このため、両ディスクが
ストレスを受け、２層ディスクに反りが発生し易く、
又、２層ディスクをセンターピンから外すとき、センタ
ーピンによって２層ディスクの中心孔がしごかれて、そ
の２層ディスクに反りが発生し易くなるという欠点があ
る。
【００１５】図５について説明した従来のディスク貼り
合わせ方法の更に他の例は、接着剤の塗布された２枚の
ディスクを真空槽に入れてから、接着剤に内包されてい
るガス成分が気泡として表れるのを回避するために、真
空槽内の排気を徐々に行わなければないので、ディスク
の貼り合わせに時間が掛かり、生産性が低いという欠点
がある。
合わせ方法の更に他の例は、接着剤の塗布された２枚の
ディスクを真空槽に入れてから、接着剤に内包されてい
るガス成分が気泡として表れるのを回避するために、真
空槽内の排気を徐々に行わなければないので、ディスク
の貼り合わせに時間が掛かり、生産性が低いという欠点
がある。
【００１６】かかる点に鑑み、本発明は、ディスクの貼
り合わせに要する時間が短く、得られた２層ディスクに
反りが発生し難く、得られた２層ディスクの中心孔とセ
ンターピンとの間の隙間に接着剤が侵入するおそれがな
く、高品質の２層ディスクを得ることのできるディスク
貼り合わせ装置及びディスク貼り合わせ方法を提案しよ
うとするものである。
り合わせに要する時間が短く、得られた２層ディスクに
反りが発生し難く、得られた２層ディスクの中心孔とセ
ンターピンとの間の隙間に接着剤が侵入するおそれがな
く、高品質の２層ディスクを得ることのできるディスク
貼り合わせ装置及びディスク貼り合わせ方法を提案しよ
うとするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】第１の本発明のディスク
貼り合わせ装置は、接着剤を用いて貼り合わせられるべ
き、中心孔を備える複数のディスクを支持する回転可能
なテーブルと、そのテーブル上の回転中心に植立され、
ディスクの中心孔を貫通し得るセンターピンとを有し、
そのセンターピンの外周には、中心軸と略平行な複数の
気体通路溝が形成されると共に、テーブルには、複数の
気体通路溝と連通する気体回路が形成されてなり、気体
回路を通じて複数の気体通路溝に気体を供給するように
するものである。
貼り合わせ装置は、接着剤を用いて貼り合わせられるべ
き、中心孔を備える複数のディスクを支持する回転可能
なテーブルと、そのテーブル上の回転中心に植立され、
ディスクの中心孔を貫通し得るセンターピンとを有し、
そのセンターピンの外周には、中心軸と略平行な複数の
気体通路溝が形成されると共に、テーブルには、複数の
気体通路溝と連通する気体回路が形成されてなり、気体
回路を通じて複数の気体通路溝に気体を供給するように
するものである。
【００１８】かかる第１の本発明のディスク貼り合わせ
装置によれば、回転可能なテーブル上に、接着剤を用い
て貼り合わせられるべき、中心孔を備える複数のディス
クを支持させ、ディスクの中心孔を貫通し得るセンター
ピンを、そのテーブル上の回転中心に植立し、複数の気
体通路溝を、センターピンの外周に、中心軸と略平行な
が形成すると共に、複数の気体通路溝と連通する気体回
路をテーブルに形成し、気体をその気体回路を通じて複
数の気体通路溝に供給する。
装置によれば、回転可能なテーブル上に、接着剤を用い
て貼り合わせられるべき、中心孔を備える複数のディス
クを支持させ、ディスクの中心孔を貫通し得るセンター
ピンを、そのテーブル上の回転中心に植立し、複数の気
体通路溝を、センターピンの外周に、中心軸と略平行な
が形成すると共に、複数の気体通路溝と連通する気体回
路をテーブルに形成し、気体をその気体回路を通じて複
数の気体通路溝に供給する。
【００１９】
【発明の実施の形態】第１の本発明は、接着剤を用いて
貼り合わせられるべき、中心孔を備える複数のディスク
を支持する回転可能なテーブルと、そのテーブル上の回
転中心に植立され、ディスクの中心孔を貫通し得るセン
ターピンとを有し、そのセンターピンの外周には、中心
軸と略平行な複数の気体通路溝が形成されると共に、テ
ーブルには、複数の気体通路溝と連通する気体回路が形
成されてなり、気体回路を通じて複数の気体通路溝に気
体を供給するようにしたディスク貼り合わせ装置であ
る。
貼り合わせられるべき、中心孔を備える複数のディスク
を支持する回転可能なテーブルと、そのテーブル上の回
転中心に植立され、ディスクの中心孔を貫通し得るセン
ターピンとを有し、そのセンターピンの外周には、中心
軸と略平行な複数の気体通路溝が形成されると共に、テ
ーブルには、複数の気体通路溝と連通する気体回路が形
成されてなり、気体回路を通じて複数の気体通路溝に気
体を供給するようにしたディスク貼り合わせ装置であ
る。
【００２０】第２の本発明は、接着剤を用いて貼り合わ
せられるべき、中心孔を備える複数のディスクを支持す
る回転可能なテーブルと、そのテーブル上の回転中心に
植立され、ディスクの中心孔を貫通し得るセンターピン
とを有し、そのセンターピンの外周には、中心軸と略平
行な複数の気体通路溝が形成されると共に、テーブルに
は、複数の気体通路溝と連通する気体回路が形成されて
なり、気体回路を通じて複数の気体通路溝に気体を供給
するようにしたディスク貼り合わせ装置を使用し、貼り
合わせるべき複数のディスクの内の一のディスクを、そ
の中心孔にセンターピンを貫通させて、テーブル上に固
定し、テーブルを回転させると共に、センターピンの複
数の気体通路溝から気体を排出させることによって気体
のカーテンをセンターピンの周囲に形成した状態で、一
のディスクの中心孔の外側の周囲に接着剤を滴下して円
環状に塗布し、貼り合わせるべき複数のディスクの内の
他の一のディスクを、その中心孔にセンターピンを貫通
させて、円環状の接着剤の上に載置し、一のディスク及
び他の一のディスク間の接着剤の厚さが所定値になるま
で、テーブルを所定の回転数を以て、所定時間回転させ
て、接着剤のスピニングを行うようにしたディスク貼り
合わせ方法である。
せられるべき、中心孔を備える複数のディスクを支持す
る回転可能なテーブルと、そのテーブル上の回転中心に
植立され、ディスクの中心孔を貫通し得るセンターピン
とを有し、そのセンターピンの外周には、中心軸と略平
行な複数の気体通路溝が形成されると共に、テーブルに
は、複数の気体通路溝と連通する気体回路が形成されて
なり、気体回路を通じて複数の気体通路溝に気体を供給
するようにしたディスク貼り合わせ装置を使用し、貼り
合わせるべき複数のディスクの内の一のディスクを、そ
の中心孔にセンターピンを貫通させて、テーブル上に固
定し、テーブルを回転させると共に、センターピンの複
数の気体通路溝から気体を排出させることによって気体
のカーテンをセンターピンの周囲に形成した状態で、一
のディスクの中心孔の外側の周囲に接着剤を滴下して円
環状に塗布し、貼り合わせるべき複数のディスクの内の
他の一のディスクを、その中心孔にセンターピンを貫通
させて、円環状の接着剤の上に載置し、一のディスク及
び他の一のディスク間の接着剤の厚さが所定値になるま
で、テーブルを所定の回転数を以て、所定時間回転させ
て、接着剤のスピニングを行うようにしたディスク貼り
合わせ方法である。
【００２１】〔発明の実施の形態の具体例〕以下に、図
２及び図１を参照して、本発明の実施の形態の具体例の
ディスク貼り合わせ装置及びディスク貼り合わせ方法を
詳細に説明する。先ず、ディスク貼り合わせ装置の構成
を説明する。図２及び図１において、ＴＢは上面が平坦
なテーブルで、その下方の軸部ＡＸを中心として回転自
在とされ、そのテーブルＴＢ上には、その軸部ＡＸと同
軸芯となるように断面が円形のセンターピンＣＰが植立
されている。このテーブルＴＢは、貼り合わせられるべ
き複数のディスクを支持するためのものである。
２及び図１を参照して、本発明の実施の形態の具体例の
ディスク貼り合わせ装置及びディスク貼り合わせ方法を
詳細に説明する。先ず、ディスク貼り合わせ装置の構成
を説明する。図２及び図１において、ＴＢは上面が平坦
なテーブルで、その下方の軸部ＡＸを中心として回転自
在とされ、そのテーブルＴＢ上には、その軸部ＡＸと同
軸芯となるように断面が円形のセンターピンＣＰが植立
されている。このテーブルＴＢは、貼り合わせられるべ
き複数のディスクを支持するためのものである。
【００２２】テーブルＴＢには、その上面から下方に延
長される多数の管及びその多数の管が連通し、テーブル
ＴＢの軸部ＡＸに沿って下降する真空引き回路ＶＣが設
けられ、図示を省略するも、この真空引き回路ＶＣが真
空ポンプに接続され、この真空ポンプを動作させること
によって、テーブルＴＢ上に載置するディスクＤ2 をテ
ーブルＴＢ上に固定するようにしている。
長される多数の管及びその多数の管が連通し、テーブル
ＴＢの軸部ＡＸに沿って下降する真空引き回路ＶＣが設
けられ、図示を省略するも、この真空引き回路ＶＣが真
空ポンプに接続され、この真空ポンプを動作させること
によって、テーブルＴＢ上に載置するディスクＤ2 をテ
ーブルＴＢ上に固定するようにしている。
【００２３】テーブルＴＢ上に植立されたセンターピン
ＣＰの表面には、複数本、例えば、４本の等角間隔を以
て配され、その軸芯方向に沿うエアー通路溝ＡＰが形成
されている。そして、これらエアー通路溝ＡＰは、セン
ターピンＡＰの根元部の管部を介して、テーブルＴＢの
軸部ＡＸの略中心に沿って形成された管状のエアー回路
（エアー供給回路）ＡＣに連通せしめられている。
ＣＰの表面には、複数本、例えば、４本の等角間隔を以
て配され、その軸芯方向に沿うエアー通路溝ＡＰが形成
されている。そして、これらエアー通路溝ＡＰは、セン
ターピンＡＰの根元部の管部を介して、テーブルＴＢの
軸部ＡＸの略中心に沿って形成された管状のエアー回路
（エアー供給回路）ＡＣに連通せしめられている。
【００２４】そして、図２Ｂに示す如く、図示を省略す
るも、エアーポンプ、圧縮空気ボンベ等の圧縮空気源か
らの圧縮空気が圧力調整弁ＰＡＶ及び電磁弁ＥＭＶを通
じで、エアー回路ＡＣの下端からエアー回路ＡＣに供給
され、そのエアー回路ＡＣに供給された空気（エアー）
が、センターピンＣＰの根元部の管部を通じて、センタ
ーピンＣＰのエアー通路溝ＡＰに供給されて、その４本
のエアー通路溝ＡＰから図１Ａに示す如く、エアーＡＲ
が上方に吹き出されて、センターピンＣＰの、後述する
接着剤ＡＤと対向する部分にエアーカーテンが形成され
る。圧力調整弁ＰＡＶは、高圧の圧縮エアーを減圧する
ためのもので、高圧の圧縮エアーを、例えば、０．０５
ｋｇ／ｃｍ2 程度に減圧する。電磁弁ＥＭＶは、エアー
回路ＡＣへの圧縮空気の供給／供給停止を制御する弁で
ある。
るも、エアーポンプ、圧縮空気ボンベ等の圧縮空気源か
らの圧縮空気が圧力調整弁ＰＡＶ及び電磁弁ＥＭＶを通
じで、エアー回路ＡＣの下端からエアー回路ＡＣに供給
され、そのエアー回路ＡＣに供給された空気（エアー）
が、センターピンＣＰの根元部の管部を通じて、センタ
ーピンＣＰのエアー通路溝ＡＰに供給されて、その４本
のエアー通路溝ＡＰから図１Ａに示す如く、エアーＡＲ
が上方に吹き出されて、センターピンＣＰの、後述する
接着剤ＡＤと対向する部分にエアーカーテンが形成され
る。圧力調整弁ＰＡＶは、高圧の圧縮エアーを減圧する
ためのもので、高圧の圧縮エアーを、例えば、０．０５
ｋｇ／ｃｍ2 程度に減圧する。電磁弁ＥＭＶは、エアー
回路ＡＣへの圧縮空気の供給／供給停止を制御する弁で
ある。
【００２５】次に、図２Ａ、Ｂ及び図１Ａ、Ｂの順序
で、本発明の実施の形態の具体例のディスク貼り合わせ
方法を説明する。図２Ａに示す如く、円形の一方のディ
スクＤ 2 を、その中心孔にセンターピンＣＰを貫通させ
て、センターピンＣＰによって案内される如く、テーブ
ルＴＢ上に載置する。そして、真空引き回路ＶＣに、図
示を省略した真空ポンプを接続して、その真空ポンプを
動作させて、真空引き回路ＶＣ内の空気を排気すること
によって、ディスクＤ2 をテーブルＴＢ上に固定する。
で、本発明の実施の形態の具体例のディスク貼り合わせ
方法を説明する。図２Ａに示す如く、円形の一方のディ
スクＤ 2 を、その中心孔にセンターピンＣＰを貫通させ
て、センターピンＣＰによって案内される如く、テーブ
ルＴＢ上に載置する。そして、真空引き回路ＶＣに、図
示を省略した真空ポンプを接続して、その真空ポンプを
動作させて、真空引き回路ＶＣ内の空気を排気すること
によって、ディスクＤ2 をテーブルＴＢ上に固定する。
【００２６】次に、図２Ｂに示す如く、テーブルＴＢ
を、例えば、０．５〜１ｒｐｓの回転数を以て回転させ
ると共に、圧縮空気を圧力調整弁ＰＡＶ及び電磁弁ＥＭ
Ｖ並びにエアー回路ＡＣを通じて、センターピンＣＰの
エアー通路溝ＡＰに供給して、センターピンＣＰの上方
にエアーＡＰを吹き上げさせて、センターピンＣＰの周
囲にエアーカーテンを形成した状態で、ディスクＤ2 の
上の中心孔の僅か外側の周囲に接着剤を滴下して環状に
塗布する。このエアーカーテンによって、接着剤ＡＤが
ディスクＤ2 の中心孔及びセンターピンＣＰ間に侵入す
るのが阻止される。
を、例えば、０．５〜１ｒｐｓの回転数を以て回転させ
ると共に、圧縮空気を圧力調整弁ＰＡＶ及び電磁弁ＥＭ
Ｖ並びにエアー回路ＡＣを通じて、センターピンＣＰの
エアー通路溝ＡＰに供給して、センターピンＣＰの上方
にエアーＡＰを吹き上げさせて、センターピンＣＰの周
囲にエアーカーテンを形成した状態で、ディスクＤ2 の
上の中心孔の僅か外側の周囲に接着剤を滴下して環状に
塗布する。このエアーカーテンによって、接着剤ＡＤが
ディスクＤ2 の中心孔及びセンターピンＣＰ間に侵入す
るのが阻止される。
【００２７】次に、図１Ａに示す如く、ディスクＤ2 の
中心孔と同じ径の中心孔が穿設され、ディスクＤ2 と同
じ外径のディスクＤ1 を、その中心孔の中心とセンター
ピンＣＰの中心とが一致するように、その中心孔にセン
ターピンＣＰを貫通させて、センターピンＣＰによって
案内される如く、円環状の接着剤ＡＤ上に載置する。そ
して、ディスクＤ1 、Ｄ2 間の接着剤ＡＤがセンターピ
ンＣＰを中心として外側に広がるように、接着剤ＡＤの
粘度に応じた回転数を以て、テーブルＴＢを回転させて
接着剤ＡＤのスピニングを行い、接着剤ＡＤが広がっ
て、所定の厚さになったら、テーブルＴＢの回転を停止
させる。この接着剤ＡＤを所定の厚さにするためのテー
ブルＴＢの回転数、回転時間、接着剤ＡＤの使用量は、
予め実験によって確かめておく。
中心孔と同じ径の中心孔が穿設され、ディスクＤ2 と同
じ外径のディスクＤ1 を、その中心孔の中心とセンター
ピンＣＰの中心とが一致するように、その中心孔にセン
ターピンＣＰを貫通させて、センターピンＣＰによって
案内される如く、円環状の接着剤ＡＤ上に載置する。そ
して、ディスクＤ1 、Ｄ2 間の接着剤ＡＤがセンターピ
ンＣＰを中心として外側に広がるように、接着剤ＡＤの
粘度に応じた回転数を以て、テーブルＴＢを回転させて
接着剤ＡＤのスピニングを行い、接着剤ＡＤが広がっ
て、所定の厚さになったら、テーブルＴＢの回転を停止
させる。この接着剤ＡＤを所定の厚さにするためのテー
ブルＴＢの回転数、回転時間、接着剤ＡＤの使用量は、
予め実験によって確かめておく。
【００２８】
【発明の効果】第１の本発明によれば、接着剤を用いて
貼り合わせられるべき、中心孔を備える複数のディスク
を支持する回転可能なテーブルと、そのテーブル上の回
転中心に植立され、ディスクの中心孔を貫通し得るセン
ターピンとを有し、そのセンターピンの外周には、中心
軸と略平行な複数の気体通路溝が形成されると共に、テ
ーブルには、複数の気体通路溝と連通する気体回路が形
成されてなり、気体回路を通じて複数の気体通路溝に気
体を供給するようにしたので、ディスクの貼り合わせに
要する時間が短く、得られた２層ディスクに反りが発生
し難く、得られた２層ディスクの中心孔とセンターピン
との間の隙間に接着剤が侵入するおそれがなく、高品質
の２層ディスクの得られるディスク貼り合わせ装置を得
ることができる。
貼り合わせられるべき、中心孔を備える複数のディスク
を支持する回転可能なテーブルと、そのテーブル上の回
転中心に植立され、ディスクの中心孔を貫通し得るセン
ターピンとを有し、そのセンターピンの外周には、中心
軸と略平行な複数の気体通路溝が形成されると共に、テ
ーブルには、複数の気体通路溝と連通する気体回路が形
成されてなり、気体回路を通じて複数の気体通路溝に気
体を供給するようにしたので、ディスクの貼り合わせに
要する時間が短く、得られた２層ディスクに反りが発生
し難く、得られた２層ディスクの中心孔とセンターピン
との間の隙間に接着剤が侵入するおそれがなく、高品質
の２層ディスクの得られるディスク貼り合わせ装置を得
ることができる。
【００２９】第２の本発明によれば、接着剤を用いて貼
り合わせられるべき、中心孔を備える複数のディスクを
支持する回転可能なテーブルと、そのテーブル上の回転
中心に植立され、ディスクの中心孔を貫通し得るセンタ
ーピンとを有し、そのセンターピンの外周には、中心軸
と略平行な複数の気体通路溝が形成されると共に、テー
ブルには、複数の気体通路溝と連通する気体回路が形成
されてなり、気体回路を通じて複数の気体通路溝に気体
を供給するようにしたディスク貼り合わせ装置を使用
し、貼り合わせるべき複数のディスクの内の一のディス
クを、その中心孔にセンターピンを貫通させて、テーブ
ル上に固定し、テーブルを回転させると共に、センター
ピンの複数の気体通路溝から気体を排出させることによ
って気体のカーテンをセンターピンの周囲に形成した状
態で、一のディスクの中心孔の外側の周囲に接着剤を滴
下して円環状に塗布し、貼り合わせるべき複数のディス
クの内の他の一のディスクを、その中心孔にセンターピ
ンを貫通させて、円環状の接着剤の上に載置し、一のデ
ィスク及び他の一のディスク間の接着剤の厚さが所定値
になるまで、テーブルを所定の回転数を以て、所定時間
回転させて、接着剤のスピニングを行うようにしたの
で、ディスクの貼り合わせに要する時間が短く、得られ
た２層ディスクに反りが発生し難く、得られた２層ディ
スクの中心孔とセンターピンとの間の隙間に接着剤が侵
入するおそれがなく、高品質の２層ディスクの得られる
ディスク貼り合わせ方法を得ることができる。
り合わせられるべき、中心孔を備える複数のディスクを
支持する回転可能なテーブルと、そのテーブル上の回転
中心に植立され、ディスクの中心孔を貫通し得るセンタ
ーピンとを有し、そのセンターピンの外周には、中心軸
と略平行な複数の気体通路溝が形成されると共に、テー
ブルには、複数の気体通路溝と連通する気体回路が形成
されてなり、気体回路を通じて複数の気体通路溝に気体
を供給するようにしたディスク貼り合わせ装置を使用
し、貼り合わせるべき複数のディスクの内の一のディス
クを、その中心孔にセンターピンを貫通させて、テーブ
ル上に固定し、テーブルを回転させると共に、センター
ピンの複数の気体通路溝から気体を排出させることによ
って気体のカーテンをセンターピンの周囲に形成した状
態で、一のディスクの中心孔の外側の周囲に接着剤を滴
下して円環状に塗布し、貼り合わせるべき複数のディス
クの内の他の一のディスクを、その中心孔にセンターピ
ンを貫通させて、円環状の接着剤の上に載置し、一のデ
ィスク及び他の一のディスク間の接着剤の厚さが所定値
になるまで、テーブルを所定の回転数を以て、所定時間
回転させて、接着剤のスピニングを行うようにしたの
で、ディスクの貼り合わせに要する時間が短く、得られ
た２層ディスクに反りが発生し難く、得られた２層ディ
スクの中心孔とセンターピンとの間の隙間に接着剤が侵
入するおそれがなく、高品質の２層ディスクの得られる
ディスク貼り合わせ方法を得ることができる。
【図１】本発明の実施の形態の具体例のディスク貼り合
わせの工程図である。
わせの工程図である。
【図２】本発明の実施の形態の具体例のディスク貼り合
わせの工程図である。
わせの工程図である。
【図３】従来例のディスク貼り合わせの工程図である。
【図４】他の従来例のディスク貼り合わせの工程図であ
る。
る。
【図５】更に他の従来例のディスク貼り合わせの工程図
である。
である。
ＴＢ テーブル、ＡＸ テーブルの軸部、ＶＣ 真空引
き回路、ＣＰ センターピン、ＡＰ エアー通路溝、Ａ
Ｃ エアー回路、Ｄ1 、Ｄ2 ディスク、ＡＤ接着剤。
き回路、ＣＰ センターピン、ＡＰ エアー通路溝、Ａ
Ｃ エアー回路、Ｄ1 、Ｄ2 ディスク、ＡＤ接着剤。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２９Ｌ 17:00 Ｆターム(参考） 4D075 AC64 DA08 EA35 4F042 AA02 EB00 EB12 4F211 AG03 AG19 AH38 TA03 TC02 TD11 TJ22 TN60 TN63 TQ01 TQ13 5D121 AA07 FF01 FF20
Claims (2)
- 【請求項１】 接着剤を用いて貼り合わせられるべき、
中心孔を備える複数のディスクを支持する回転可能なテ
ーブルと、 該テーブル上の回転中心に植立され、上記ディスクの中
心孔を貫通し得るセンターピンとを有し、 該センターピンの外周には、中心軸と略平行な複数の気
体通路溝が形成されると共に、上記テーブルには、上記
複数の気体通路溝と連通する気体回路が形成されてな
り、 上記気体回路を通じて上記複数の気体通路溝に気体を供
給することを特徴とするディスク貼り合わせ装置。 - 【請求項２】 接着剤を用いて貼り合わせられるべき、
中心孔を備える複数のディスクを支持する回転可能なテ
ーブルと、該テーブル上の回転中心に植立され、上記デ
ィスクの中心孔を貫通し得るセンターピンとを有し、該
センターピンの外周には、中心軸と略平行な複数の気体
通路溝が形成されると共に、上記テーブルには、上記複
数の気体通路溝と連通する気体回路が形成されてなり、
上記気体回路を通じて上記複数の気体通路溝に気体を供
給するようにしたディスク貼り合わせ装置を使用し、 上記貼り合わせるべき複数のディスクの内の一のディス
クを、その中心孔に上記センターピンを貫通させて、上
記テーブル上に固定し、 上記テーブルを回転させると共に、上記センターピンの
複数の気体通路溝から気体を排出させることによって気
体のカーテンを上記センターピンの周囲に形成した状態
で、上記一のディスクの中心孔の外側の周囲に接着剤を
滴下して円環状に塗布し、 上記貼り合わせるべき複数のディスクの内の他の一のデ
ィスクを、その中心孔に上記センターピンを貫通させ
て、上記円環状の接着剤の上に載置し、 上記一のディスク及び上記他の一のディスク間の接着剤
の厚さが所定値になるまで、上記テーブルを所定の回転
数を以て、所定時間回転させて、上記接着剤のスピニン
グを行うことを特徴とするディスク貼り合わせ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11228651A JP2001047517A (ja) | 1999-08-12 | 1999-08-12 | ディスク貼り合わせ装置及びディスク貼り合わせ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11228651A JP2001047517A (ja) | 1999-08-12 | 1999-08-12 | ディスク貼り合わせ装置及びディスク貼り合わせ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001047517A true JP2001047517A (ja) | 2001-02-20 |
Family
ID=16879686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11228651A Pending JP2001047517A (ja) | 1999-08-12 | 1999-08-12 | ディスク貼り合わせ装置及びディスク貼り合わせ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001047517A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6786393B2 (en) * | 2001-02-05 | 2004-09-07 | Japan Synchrotron Radiation Research Institute | Pinhole disk laminate and a process for producing the same |
-
1999
- 1999-08-12 JP JP11228651A patent/JP2001047517A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6786393B2 (en) * | 2001-02-05 | 2004-09-07 | Japan Synchrotron Radiation Research Institute | Pinhole disk laminate and a process for producing the same |
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