JP2001044609A - Viscous fluid coating equipment and method - Google Patents

Viscous fluid coating equipment and method

Info

Publication number
JP2001044609A
JP2001044609A JP21444099A JP21444099A JP2001044609A JP 2001044609 A JP2001044609 A JP 2001044609A JP 21444099 A JP21444099 A JP 21444099A JP 21444099 A JP21444099 A JP 21444099A JP 2001044609 A JP2001044609 A JP 2001044609A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
dispenser
warp
viscous fluid
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP21444099A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shunji Hashimoto
俊二 橋本
Takahide Yakumo
高秀 家雲
Hachiro Nakatsuji
八郎 中逵
Eiichiro Terayama
栄一郎 寺山
Yuzuru Inaba
譲 稲葉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP21444099A priority Critical patent/JP2001044609A/en
Publication of JP2001044609A publication Critical patent/JP2001044609A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent imperfect coating due to warp of a board to a dispenser side and breakdown of the dispenser, the board, etc., in viscous fluid coating equipment having the dispenser which comes into contact with the surface of the board and spreads viscous fluid. SOLUTION: A light casting sensor 15 and a light receiving sensor 16 which detect warp to a dispenser side regarding a board 6 which is set by fixing the end portion are installed. Before a coating process is performed by using a dispenser 5, warp inspection wherein a sensor light is cast and received by the light casting sensor 15 and the light receiving sensor 16 is performed. As a result, it can be judged whether warp exists in the board 6 as an object to be coated. When it is judged that warp exists, a countermeasure can be applied.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子回路の基板の
表面に粘性流体を塗布する粘性流体塗布装置および方法
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a viscous fluid applying apparatus and method for applying a viscous fluid to a surface of a substrate of an electronic circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】基板の表面に電子回路部品を実装するに
際して、部品を基板に仮固定するための接着剤や、ソル
ダーペーストや導電ペーストなどの粘性流体を塗布して
おり、その塗布工程では、粘性流体の糸引き、飛び散り
等の塗布不良の発生率を低くし、なおかつ高速塗布する
ことが要求されている。
2. Description of the Related Art When mounting electronic circuit components on the surface of a substrate, an adhesive for temporarily fixing the components to the substrate, or a viscous fluid such as a solder paste or a conductive paste is applied. It is required that the rate of occurrence of coating defects such as stringing and scattering of a viscous fluid be reduced, and that high-speed coating be performed.

【0003】従来の粘性流体塗布装置は図9〜図10に
示すようなものであり、基板を保持するYテーブル部1
は、ロボットアーム2に取り付けられていて、奥行き方
向(Y軸方向)に移動可能である。ヘッド部3は、水平
面内でYテーブル部1の移動方向と垂直な方向(X軸方
向)に移動可能な別のロボットアーム4に保持されてい
てX軸方向に移動可能であり、このヘッド部3に、上下
方向(XY面に垂直なZ軸方向)に移動可能な複数本の
ディスペンサ5が設けられている。
[0003] A conventional viscous fluid coating apparatus is as shown in FIGS. 9 and 10, and a Y table section 1 for holding a substrate.
Is attached to the robot arm 2 and is movable in the depth direction (Y-axis direction). The head unit 3 is held by another robot arm 4 movable in a direction (X-axis direction) perpendicular to the moving direction of the Y table unit 1 in a horizontal plane, and is movable in the X-axis direction. 3 is provided with a plurality of dispensers 5 that can move in the vertical direction (the Z-axis direction perpendicular to the XY plane).

【0004】図10を参照しながら塗布工程を説明す
る。Yテーブル部1内に搬送された基板6はベルト7上
に載置され、モータ8の回転によりレール9に沿って送
られ、ストッパ10に当たって停止する。基板6の停止
はストッパー10下のセンサーで検出されその一定時間
後にモータ8が停止される。それとともに、サポートプ
レート11がシリンダ(図示せず)の動作によって所定
高さまで上昇し、ベルト7上の基板6がサポートプレー
ト11に受け渡されアッパーレール12に押しつけられ
る。その結果、基板6は、端部はアッパーレール12と
サポートプレート11上のサポートピン13とに上下か
ら挟まれ、端部以外の部分はサポートピン13によって
下方から支持された状態で固定される。それに伴って、
ディスペンサ5が下降して下端が基板6の表面に押し付
けられ、ノズル14より押し出される粘性流体が基板6
の表面に転写する状態で塗布される。
The coating step will be described with reference to FIG. The substrate 6 conveyed into the Y table unit 1 is placed on a belt 7, sent along a rail 9 by rotation of a motor 8, and hits a stopper 10 and stops. The stop of the substrate 6 is detected by a sensor below the stopper 10, and the motor 8 is stopped after a predetermined time. At the same time, the support plate 11 is raised to a predetermined height by the operation of a cylinder (not shown), and the substrate 6 on the belt 7 is transferred to the support plate 11 and pressed against the upper rail 12. As a result, the end of the substrate 6 is sandwiched between the upper rail 12 and the support pins 13 on the support plate 11 from above and below, and the portion other than the ends is fixed by the support pins 13 while being supported from below. Along with that,
The dispenser 5 descends and the lower end is pressed against the surface of the substrate 6, and the viscous fluid pushed out from the nozzle 14
It is applied in a state of being transferred to the surface of the substrate.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したよ
うな従来の粘性流体塗布装置では、基板6が反っている
か否かにかからわらず粘性流体の塗布を行っていた。基
板6が下反り(端部が上方に突出)している場合は、上
述したように端部が上下から挟まれ端部以外の部分は下
から支持されることで反りが矯正されるため問題はな
い。しかし、基板6が上反り(中央部が上方に突出)し
ている場合は、粘性流体の転写時(下降下死点)にディ
スペンサ5によって突出部が押し下げられることにな
り、この押し下げられた突出部がディスペンサ5の上昇
に伴って解放された時に、基板6に振動が引き起こされ
るため、良好な塗布品質、塗布位置精度の確保が困難で
ある。
In the above-described conventional viscous fluid applying apparatus, the viscous fluid is applied regardless of whether the substrate 6 is warped or not. In the case where the substrate 6 is warped downward (the end protrudes upward), as described above, the end is sandwiched from above and below and the portion other than the end is supported from below, so that the warp is corrected. There is no. However, if the substrate 6 is warped (the center protrudes upward), the protruding portion is pushed down by the dispenser 5 during the transfer of the viscous fluid (lower dead center), and When the portion is released with the rise of the dispenser 5, the substrate 6 is vibrated, so that it is difficult to ensure good coating quality and coating position accuracy.

【0006】上反りが非常に大きい場合は、ディスペン
サ5の先端が転写時以外にも基板6に接触することがあ
り、ディスペンサ5、基板6、基板6に装着された電子
部品のみならず、ディスペンサ5を動作させるロボット
等が破損する恐れもある。基板6が上反りしていても、
ディスペンサ5の上下移動速度を低減したり、ストロー
ク高さを大きくすることで塗布品質を確保することは可
能であるが、タクトが遅くなってしまうため得策ではな
い。
If the warpage is very large, the tip of the dispenser 5 may come into contact with the substrate 6 at times other than during transfer, and not only the dispenser 5, the substrate 6, the electronic components mounted on the substrate 6, but also the dispenser 5. There is a possibility that the robot or the like that operates 5 may be damaged. Even if the substrate 6 is warped,
Although it is possible to secure the coating quality by reducing the vertical movement speed of the dispenser 5 or increasing the stroke height, it is not advisable because tact is slowed down.

【0007】本発明は上記問題を解決するもので、ディ
スペンサ側への基板の反りに起因する塗布不良や、ディ
スペンサや基板等の破損を防止することを目的とする。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to prevent coating defects due to warpage of a substrate toward a dispenser side and to prevent damage to the dispenser and the substrate.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明の請求項1記載の粘性流体塗布装置は、基板
の表面に接触して粘性流体を塗布するディスペンサを有
した粘性流体塗布装置において、端部において固定して
設置された基板についてディスペンサ側への反りを検出
する反りセンサを設けたことを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a viscous fluid applying apparatus having a dispenser for applying a viscous fluid in contact with a surface of a substrate. The apparatus is characterized in that a warp sensor for detecting a warp toward the dispenser side of a substrate fixedly installed at an end is provided.

【0009】この構成によれば、ディスペンサによる塗
布工程に入る前に反りセンサによる検査を行うことで、
塗布対象の基板についてディスペンサ側への反りの有無
を判別することができ、反りが有ると判別された場合に
は対応処置をとることができる。それにより、ディスペ
ンサ側への基板の反りに起因した塗布不良の発生を未然
に防げるとともに、基板とディスペンサとの接触によ
る、基板、基板に装着された電子部品、ディスペンサ、
ディスペンサを動作させるヘッド部やロボット部等の破
損を防止することができる。
According to this structure, the inspection by the warp sensor is performed before the coating process by the dispenser is started,
It is possible to determine whether or not the substrate to be coated has a warp toward the dispenser, and if it is determined that there is a warp, a corresponding measure can be taken. Thereby, it is possible to prevent the occurrence of coating failure due to the warpage of the substrate toward the dispenser side, and to make contact with the substrate and the dispenser, the substrate, the electronic component mounted on the substrate, the dispenser,
It is possible to prevent damage to the head unit and the robot unit that operate the dispenser.

【0010】請求項2記載の粘性流体塗布装置は、請求
項1記載の構成において、反りセンサが、基板の両側に
相対向して配置され、前記両側の基板端部の表面に沿う
方向のセンサ光を送受する投光センサと受光センサとで
あることを特徴とする。この構成によれば、基板上の装
着部品によってセンサ光が遮られない位置を選んで投光
センサと受光センサとを配置しておくことで、投光セン
サからのセンサ光が受光センサで受光されなかった場合
に、基板に反りがあると判定できる。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a viscous fluid applying apparatus according to the first aspect, wherein the warp sensors are disposed on both sides of the substrate so as to face each other, and the sensors are arranged in a direction along the surfaces of the ends of the substrates on both sides. It is a light emitting sensor and a light receiving sensor for transmitting and receiving light. According to this configuration, the sensor light from the light emitting sensor is received by the light receiving sensor by selecting the position where the sensor light is not blocked by the mounted component on the board and arranging the light emitting sensor and the light receiving sensor. If not, it can be determined that the substrate is warped.

【0011】請求項3記載の粘性流体塗布装置は、請求
項1記載の構成において、反りセンサが、基板に対して
接近離間自在に設けられ、所定の検出位置で基板の表面
に接触した際に動作するスイッチ装置であることを特徴
とする。この構成によれば、反りがない基板の表面より
ややディスペンサ寄りの位置に検出位置を設定しておく
ことで、スイッチ装置が動作した場合に、基板に反りが
あると判定できる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a viscous fluid applying apparatus according to the first aspect, wherein the warp sensor is provided so as to be able to approach and separate from the substrate, and when the warp sensor contacts the surface of the substrate at a predetermined detection position. It is a switch device that operates. According to this configuration, by setting the detection position at a position slightly closer to the dispenser than the surface of the substrate without warpage, it is possible to determine that the substrate is warped when the switch device operates.

【0012】請求項4記載の粘性流体塗布装置は、請求
項1記載の構成において、反りセンサが、ディスペンサ
に背反する側において基板を支持する基板支持プレート
の表面に弾性材を介して出退自在に設けられ、基板を支
持して所定の基板支持位置まで後退した際に前記基板支
持プレートの表面に接触して動作するスイッチ装置であ
ることを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the viscous fluid application device according to the first aspect, the warp sensor is capable of moving back and forth via a resilient material to a surface of a substrate support plate that supports the substrate on a side opposite to the dispenser. And a switch device that operates by contacting the surface of the substrate support plate when supporting the substrate and retreating to a predetermined substrate support position.

【0013】この構成によれば、基板支持プレートが基
板を支持した際にスイッチ装置が動作しなかったら、そ
のスイッチ装置は所定の基板支持位置まで後退しておら
ず、スイッチ装置の箇所で基板が反っていると判定でき
る。複数のスイッチ装置を間隔をおいて設けておけば、
複数領域の反りを同時に検査できる。また請求項5記載
の粘性流体塗布方法は、基板の表面にディスペンサを接
触させる状態において粘性流体を塗布するに際し、塗布
工程に先立って、端部において固定して設置した基板に
ついてディスペンサ側への反りを反りセンサにより検出
し、反りが検出された時に、基板の反りの矯正、基板の
入替、ディスペンサのストローク調整から選ばれる所定
の処置を行い、その後に塗布工程を実行することを特徴
とする。
According to this configuration, if the switch device does not operate when the substrate support plate supports the substrate, the switch device does not retreat to a predetermined substrate support position, and the substrate is moved at the position of the switch device. It can be determined that it is warped. If multiple switch devices are provided at intervals,
It is possible to inspect warpage in multiple areas simultaneously. Further, in the method of applying a viscous fluid according to claim 5, when applying the viscous fluid in a state in which the dispenser is brought into contact with the surface of the substrate, the substrate fixed at the end portion is warped to the dispenser side prior to the application step. Is detected by a warp sensor, and when the warp is detected, a predetermined treatment selected from correction of the warpage of the substrate, replacement of the substrate, and adjustment of the stroke of the dispenser is performed, and thereafter, a coating process is executed.

【0014】この構成によれば、ディスペンサ側への基
板の反りに起因した塗布不良の発生を未然に防ぐことが
できるとともに、基板とディスペンサとの接触による、
基板、ディスペンサ、その付帯部品の破損を防止でき
る。
According to this configuration, it is possible to prevent the occurrence of coating failure due to the warpage of the substrate toward the dispenser, and to prevent the occurrence of coating failure due to the contact between the substrate and the dispenser.
The substrate, the dispenser, and the accompanying components can be prevented from being damaged.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基いて説明する。本発明の第1実施形態における粘性
流体塗布装置は先に図9〜図10を用いて説明した従来
のものとほぼ同様の構成を有しているので、全体構成に
ついての図示および説明を省略し、Yテーブル部1の近
傍の装置構成について、従来のものと同様の作用を有す
る部材に図9〜図10と同一符号を付して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Since the viscous fluid application device according to the first embodiment of the present invention has substantially the same configuration as that of the conventional device described above with reference to FIGS. 9 and 10, illustration and description of the entire configuration are omitted. , The structure of the device near the Y-table unit 1 will be described with the same reference numerals as in FIGS.

【0016】図1〜図2に示すように、Yテーブル部1
には、基板6の搬入方向に沿ったY軸方向のレール9が
一対設けられ、このレール9に沿って、モータ8の回転
により走行して基板6を搬送するベルト7が設けられる
とともに、ベルト7により搬送された基板6を固定する
ためのアッパーレール12が設けられている。また、シ
リンダ(図示せず)によって昇降するサポートプレート
11が設けられており、このサポートプレート11の上
面に、ベルト7によって搬送された基板6の前方端面に
当接して基板6を所定の基板設置位置で停止させるスト
ッパ10が設けられるとともに、基板6を下方より支持
する複数のサポートピン13が取り付けられている。ス
トッパー10の下には基板6を検出するセンサー(図示
せず)が設けられている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the Y table 1
Is provided with a pair of rails 9 in the Y-axis direction along the carrying direction of the substrate 6, and along this rail 9, there is provided a belt 7 that travels by rotation of a motor 8 and conveys the substrate 6. An upper rail 12 for fixing the substrate 6 conveyed by 7 is provided. Further, a support plate 11 which is moved up and down by a cylinder (not shown) is provided, and the upper surface of the support plate 11 is brought into contact with the front end surface of the substrate 6 conveyed by the belt 7 to place the substrate 6 on a predetermined substrate. A stopper 10 that stops at the position is provided, and a plurality of support pins 13 that support the substrate 6 from below are attached. A sensor (not shown) for detecting the substrate 6 is provided below the stopper 10.

【0017】さらに、このサポートプレート11におけ
る基板設置位置の前方側の後方側とに、反りセンサーと
して、基板6の端部上面に沿う方向のセンサ光Sを送受
する投光センサ15と受光センサ16とが互いに対向し
て配置されている。ここで、投光センサ15と受光セン
サ16は、サポートプレート11上に複数に形成された
穴に容易に抜き差し可能に設けられていて、基板6上に
装着された電子部品によってセンサ光が遮られない位置
に配置される。
Further, as a warp sensor, a light-emitting sensor 15 and a light-receiving sensor 16 for transmitting and receiving sensor light S in a direction along the upper surface of the end of the substrate 6 are provided on the support plate 11 on the front side and the rear side of the substrate installation position. Are arranged to face each other. Here, the light emitting sensor 15 and the light receiving sensor 16 are provided so as to be easily inserted into and removed from a plurality of holes formed on the support plate 11, and the sensor light is blocked by the electronic components mounted on the substrate 6. Placed in a non-existent position.

【0018】上記構成における作用を説明する。Yテー
ブル部1内に搬送された基板6はベルト7上に載置さ
れ、モータ8の回転によりレール9に沿って送られ、ス
トッパ10に当たって停止する。基板6の停止はストッ
パー10下のセンサーで検出され、その一定時間後にモ
ータ8が停止される。
The operation of the above configuration will be described. The substrate 6 conveyed into the Y table unit 1 is placed on a belt 7, sent along a rail 9 by rotation of a motor 8, and hits a stopper 10 and stops. The stop of the substrate 6 is detected by a sensor below the stopper 10, and after a certain time, the motor 8 is stopped.

【0019】基板6の停止に伴って、サポートプレート
11がシリンダ(図示せず)の動作によって所定高さま
で上昇し、ベルト7上の基板6がサポートプレート11
に受け渡されアッパーレール12に押しつけられる。そ
の結果、基板6は、端部はアッパーレール12とサポー
トプレート11上のサポートピン13とに上下から挟ま
れ、端部以外の部分はサポートピン13によって下方か
ら支持された状態で固定される。
When the substrate 6 stops, the support plate 11 is raised to a predetermined height by the operation of a cylinder (not shown), and the substrate 6 on the belt 7 is
And pressed against the upper rail 12. As a result, the end of the substrate 6 is sandwiched between the upper rail 12 and the support pins 13 on the support plate 11 from above and below, and the portion other than the ends is fixed by the support pins 13 while being supported from below.

【0020】そして、この状態において、投光センサ1
5より基板端部の上面に沿う方向のセンサ光Sが投光さ
れることで、上反りが検査される。センサ光Sが受光セ
ンサ16で受光された場合は、基板6によって光路が遮
られておらず基板6は上反りしていないと判定される。
判定後には塗布工程に移行され、ディスペンサ5が下降
して下端が基板6の表面に押し付けられ、ノズル14よ
り押し出される粘性流体が基板6の表面に転写する状態
で塗布される。塗布が終了したら、ディスペンサ5が上
昇して次の塗布位置に移動し、粘性流体を塗布するとい
う動作が繰り返され、塗布完了後の基板6は上述と逆の
手順で装置外へ搬出される。
In this state, the light emitting sensor 1
By projecting the sensor light S in a direction along the upper surface of the substrate end from 5, an upward warpage is inspected. When the sensor light S is received by the light receiving sensor 16, it is determined that the optical path is not blocked by the substrate 6 and the substrate 6 is not warped.
After the determination, the process proceeds to the application step, in which the dispenser 5 descends and the lower end is pressed against the surface of the substrate 6, and the viscous fluid pushed out from the nozzle 14 is applied in a state of being transferred to the surface of the substrate 6. When the application is completed, the dispenser 5 moves up to the next application position, and the operation of applying the viscous fluid is repeated, and the substrate 6 after the application is carried out of the apparatus in the reverse order to the above.

【0021】センサ光が受光センサ16で受光されなか
った場合には、基板6によって光路が遮られており基板
6が上反りしていると判定される。判定後には塗布工程
へ移行されず、装置が一旦停止され、基板6は上述と逆
の手順で搬出される。その後は、上述と同様にして基板
6の搬入、上反りの検査、塗布工程(あるいは塗布工程
を行うことなく)、基板6の搬出が行われる。
When the sensor light is not received by the light receiving sensor 16, it is determined that the optical path is blocked by the substrate 6 and the substrate 6 is warped. After the determination, the process is not shifted to the coating process, the apparatus is temporarily stopped, and the substrate 6 is carried out in the reverse procedure. After that, the loading of the substrate 6, the inspection of the warpage, the coating process (or without performing the coating process), and the transport of the substrate 6 are performed in the same manner as described above.

【0022】このようにして塗布を行うことにより、基
板6の上反りに起因した塗布不良の発生を未然に防ぐこ
とができ、また基板6とディスペンサ5の接触による、
基板6、及び基板6に装着された電子部品、また、ディ
スペンサ5及び、ディスペンサ5を動作させるヘッド部
3、ロボットアーム4等の破損を防止できる。基板6の
上反りが検出された時には、矯正手段によって反りを矯
正したり、ディスペンサ5のストローク速度を減速する
などの別途の対処をとってもよく、それによって上記と
同様の効果が得られる。
By performing the coating in this way, it is possible to prevent the occurrence of coating failure due to the warpage of the substrate 6, and to prevent the occurrence of coating failure caused by the contact between the substrate 6 and the dispenser 5.
It is possible to prevent the substrate 6, the electronic components mounted on the substrate 6, the dispenser 5, the head unit 3 that operates the dispenser 5, the robot arm 4, and the like from being damaged. When the upward warpage of the substrate 6 is detected, another measure such as correcting the warp by the correcting means or reducing the stroke speed of the dispenser 5 may be taken, whereby the same effect as described above can be obtained.

【0023】なお、図3に示すように基板6の上反りが
大きい場合、基板6の中央にY軸方向の光路を設定して
いたのでは、センサ光が基板6の下側を通過してしまっ
て上反りを検出できないので、確実に検出できるよう
に、図4に示すように投光センサ15と受光センサ16
とをなるべく対角に配置する。本発明の第2実施形態に
おける粘性流体塗布装置では、第1実施形態における投
光センサ15と受光センサ16とに代えて、反りセンサ
ーとして、図5に示すような、基板6の上面への接触に
より動作するスイッチ装置17が設けられている。
When the substrate 6 has a large warp as shown in FIG. 3, if the optical path in the Y-axis direction is set at the center of the substrate 6, the sensor light passes below the substrate 6 and As a result, since the warpage cannot be detected, the light-emitting sensor 15 and the light-receiving sensor 16 as shown in FIG.
Are arranged diagonally as much as possible. In the viscous fluid application device according to the second embodiment of the present invention, instead of the light projecting sensor 15 and the light receiving sensor 16 in the first embodiment, a contact with the upper surface of the substrate 6 as shown in FIG. Is provided.

【0024】このスイッチ装置17は、ディスペンサ5
の側方に設けられたシリンダ18の下端に取り付けられ
ていて、基板6の上方でディスペンサ5に伴われて基板
6の表面に沿う方向に任意箇所へ移動し、その後にシリ
ンダ18によって所定の検出位置(基板端部の上面より
やや上方)まで下降する。この検出位置でスイッチ装置
17が動作した場合には、その任意箇所では基板6の上
面が基板端部の上面より上方にあり、基板6が上反りし
ていると判定される。検出終了後にはスイッチ装置17
はシリンダ18によってノズル14より上方の待機位置
に戻る。
The switch device 17 is connected to the dispenser 5
Is attached to the lower end of a cylinder 18 provided on the side of the substrate 6 and moves to an arbitrary position in the direction along the surface of the substrate 6 along with the dispenser 5 above the substrate 6, and then a predetermined detection is performed by the cylinder 18. It descends to the position (slightly above the upper surface of the substrate end). When the switch device 17 operates at this detection position, the upper surface of the substrate 6 is located above the upper surface of the substrate end at any position, and it is determined that the substrate 6 is warped. After the detection is completed, the switch device 17
Is returned to the standby position above the nozzle 14 by the cylinder 18.

【0025】本発明の第3実施形態における粘性流体塗
布装置では、第1実施形態における投光センサ15と受
光センサ16とに代えて、反りセンサーとして、図6〜
図8に示すように、サポートプレート13の上面への接
触によって動作するスイッチ部19が設けられている。
この場合、基板6を下方より支持する複数のサポートピ
ン13は、サポートプレート11の上面に形成された孔
部20内に、鍔部13aに依存する所定の基板支持位置
(深さ)まで嵌入している。その内の任意箇所のサポー
トピン13は、下端にばね21および上記のスイッチ部
19を備えていて、サポートピン13とばね21とスイ
ッチ部19とでスイッチ装置を構成している。つまり、
このようなサポートピン13は、基板6からの負荷がか
からない時はばね21の付勢力によって上方の待機位置
まで進出する一方、上述したように端部が固定され、か
つ水平方向をなしている基板6からの負荷がかかった時
には、ばね21の付勢力に抗して前記基板支持位置まで
嵌入し、それによりスイッチ部19が孔部20の底面に
接触するように構成されている。ただし、ばね21によ
る基板6の上反りを回避するために、固定された基板6
からサポートピン13に作用する反力に比して、ばね2
1がサポートピン13を持ち上げようとする力はごく小
さく設定されている。
In the viscous fluid application device according to the third embodiment of the present invention, instead of the light emitting sensor 15 and the light receiving sensor 16 in the first embodiment, a warp sensor is used as shown in FIGS.
As shown in FIG. 8, a switch unit 19 that operates by contact with the upper surface of the support plate 13 is provided.
In this case, the plurality of support pins 13 that support the substrate 6 from below fit into the holes 20 formed on the upper surface of the support plate 11 to a predetermined substrate support position (depth) depending on the flange portion 13a. ing. The support pin 13 at an arbitrary position among them has a spring 21 and the above-mentioned switch part 19 at the lower end, and the support pin 13, the spring 21 and the switch part 19 constitute a switch device. That is,
When no load is applied from the substrate 6, the support pins 13 advance to the upper standby position by the biasing force of the spring 21, while the substrate is fixed at the end as described above and forms a horizontal direction. When a load is applied from the position 6, the spring 21 is fitted to the substrate supporting position against the urging force of the spring 21, so that the switch portion 19 comes into contact with the bottom surface of the hole portion 20. However, in order to avoid warpage of the substrate 6 due to the spring 21, the fixed substrate 6
Of the spring 2 compared to the reaction force acting on the support pin 13 from the
The force by which 1 lifts the support pin 13 is set very small.

【0026】この構成によれば、サポートプレート11
が上昇するにしたがって、スイッチ部19を備えたサポ
ートピン13が基板6と接触し、基板6からの反力を受
けてばね21を圧縮しながら押込まれ、基板支持位置ま
で押込まれた時点でスイッチ部19が孔部20の底面へ
接触して動作する。よって、スイッチ部19が動作しな
い場合に、そのサポートピン13は水平方向の基板6を
支持しておらず、基板6は上反りしていると判定され
る。このようにして、基板6の任意の複数箇所において
同時に上反りを検査することができる。
According to this configuration, the support plate 11
Is raised, the support pin 13 provided with the switch portion 19 comes into contact with the substrate 6, and is pressed while receiving a reaction force from the substrate 6 while compressing the spring 21. The portion 19 operates by contacting the bottom surface of the hole 20. Therefore, when the switch section 19 does not operate, the support pins 13 do not support the substrate 6 in the horizontal direction, and it is determined that the substrate 6 is warped. In this way, the warpage can be inspected simultaneously at arbitrary plural places on the substrate 6.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ディスペ
ンサ側への基板の反りを検出する反りセンサを設けるこ
とにより、ディスペンサによる塗布工程に移る前に反り
の有無を判断することができ、反り有りと判断された場
合に、装置の停止、反りの矯正あるいは基板の排除、デ
ィスペンサのストローク速度の減速等の対処をとること
ができる。これにより、反りに起因した塗布不良の発生
を未然に防げるとともに、基板とディスペンサとの接触
による、基板、基板に装着された電子部品、ディスペン
サ及び、ディスペンサを動作させるヘッド部、ロボット
部等の破損を防止することができる。
As described above, according to the present invention, by providing the warp sensor for detecting the warpage of the substrate toward the dispenser side, it is possible to determine the presence or absence of the warp before proceeding to the coating process by the dispenser. When it is determined that there is a warp, measures such as stopping the apparatus, correcting the warp or removing the substrate, and reducing the stroke speed of the dispenser can be taken. As a result, it is possible to prevent the occurrence of coating defects due to warpage, and to prevent damage to the substrate, electronic components mounted on the substrate, the dispenser, and the head unit and the robot unit that operate the dispenser due to the contact between the substrate and the dispenser. Can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施形態における粘性流体塗布装
置のYテーブル部であって、投光センサ、受光センサを
備えたものを示す斜視図
FIG. 1 is a perspective view showing a Y table portion of a viscous fluid application device according to a first embodiment of the present invention, which is provided with a light emitting sensor and a light receiving sensor.

【図2】図1の粘性流体塗布装置の投光センサ、受光セ
ンサによる上反り検査方法を示す説明図
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a warpage inspection method using a light emitting sensor and a light receiving sensor of the viscous fluid application device of FIG. 1;

【図3】図1の粘性流体塗布装置の投光センサ、受光セ
ンサによって、上反りした基板を検査している状態を示
す説明図
FIG. 3 is an explanatory view showing a state in which a warped substrate is inspected by a light emitting sensor and a light receiving sensor of the viscous fluid application device of FIG. 1;

【図4】図1の粘性流体塗布装置の投光センサ、受光セ
ンサを、基板に対して対角に配置することを示す説明図
FIG. 4 is an explanatory view showing that a light emitting sensor and a light receiving sensor of the viscous fluid application device of FIG. 1 are arranged diagonally with respect to a substrate.

【図5】本発明の第2実施形態における粘性流体塗布装
置の反りセンサであって、ディスペンサに取り付けたス
イッチ装置を示す説明図
FIG. 5 is an explanatory view showing a warp sensor of a viscous fluid application device according to a second embodiment of the present invention, showing a switch device attached to a dispenser.

【図6】本発明の第3実施形態における粘性流体塗布装
置の反りセンサであって、サポートピンに取り付けたス
イッチ装置を示す説明図
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a warp sensor of a viscous fluid application device according to a third embodiment of the present invention, showing a switch device attached to a support pin.

【図7】図6に示したスイッチ装置によって水平方向の
基板を対象として上反り検査している状態を示す説明図
FIG. 7 is an explanatory diagram showing a state in which a warpage inspection is performed on a horizontal substrate by using the switch device shown in FIG. 6;

【図8】図6に示したスイッチ装置によって上反りした
基板を対象として上反り検査している状態を示す説明図
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a state in which a board warped by the switch device shown in FIG. 6 is inspected for warpage;

【図9】従来の粘性流体塗布装置の概略全体構成を示す
説明図
FIG. 9 is an explanatory diagram showing a schematic overall configuration of a conventional viscous fluid application device.

【図10】図9の粘性流体塗布装置のYテーブル部を示
す斜視図
FIG. 10 is a perspective view showing a Y table section of the viscous fluid application device of FIG. 9;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

5 ディスペンサ 6 基板 11 基板支持プレート 15 投光センサ 16 受光センサ 17 スイッチ装置 18 シリンダ 19 スイッチ装置 21 ばね 5 Dispenser 6 Substrate 11 Substrate support plate 15 Light emitting sensor 16 Light receiving sensor 17 Switching device 18 Cylinder 19 Switching device 21 Spring

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B05D 3/00 B05D 3/00 D 7/00 7/00 H B23K 1/00 B23K 1/00 A 3/06 3/06 E S (72)発明者 中逵 八郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 寺山 栄一郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 稲葉 譲 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 4D075 AC07 AC93 AC99 CA48 DA06 DB31 DC21 4F041 AA02 AA05 AB01 BA22 BA52 BA56 4F042 AA02 AA06 BA08 BA27 DF28 DF34 5E319 BB05 CD27 CD45 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat 参考 (Reference) B05D 3/00 B05D 3/00 D 7/00 7/00 H B23K 1/00 B23K 1/00 A 3 / 06 3/06 ES (72) Inventor Naka Hachiro 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Eiichiro Terayama 1006 Odaka Makoto Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 72) Inventor Joru Inaba 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture F-term (reference) 4D075 AC07 AC93 AC99 CA48 DA06 DB31 DC21 4F041 AA02 AA05 AB01 BA22 BA52 BA56 4F042 AA02 AA06 BA08 BA27 DF28 DF34 5319 CD45

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板の表面に接触して粘性流体を塗布す
るディスペンサを有した粘性流体塗布装置において、 端部において固定して設置された基板についてディスペ
ンサ側への反りを検出する反りセンサを設けたことを特
徴とする粘性流体塗布装置。
1. A viscous fluid application device having a dispenser for applying a viscous fluid in contact with a surface of a substrate, wherein a warp sensor for detecting a warp toward the dispenser side is provided for a substrate fixedly installed at an end. A viscous fluid application device.
【請求項2】 反りセンサが、基板の両側に相対向して
配置され、前記両側の基板端部の表面に沿う方向のセン
サ光を送受する投光センサと受光センサとであることを
特徴とする請求項1の粘性流体塗布装置。
2. A warp sensor, comprising: a light-emitting sensor and a light-receiving sensor which are arranged on both sides of a substrate so as to face each other, and which transmit and receive sensor light in a direction along a surface of an end portion of the substrate on both sides. The viscous fluid application device according to claim 1, wherein
【請求項3】 反りセンサが、基板に対して接近離間自
在に設けられ、所定の検出位置で基板の表面に接触した
際に動作するスイッチ装置であることを特徴とする請求
項1の粘性流体塗布装置。
3. The viscous fluid according to claim 1, wherein the warp sensor is a switch device that is provided so as to be able to approach and separate from the substrate, and that operates when it comes into contact with the surface of the substrate at a predetermined detection position. Coating device.
【請求項4】 反りセンサが、ディスペンサに背反する
側において基板を支持する基板支持プレートの表面に弾
性材を介して出退自在に設けられ、基板を支持して所定
の基板支持位置まで後退した際に前記基板支持プレート
の表面に接触して動作するスイッチ装置であることを特
徴とする請求項1の粘性流体塗布装置。
4. A warp sensor is provided on a surface of a substrate support plate for supporting a substrate on a side opposite to the dispenser so as to be able to move back and forth through an elastic material, and supports the substrate and retreats to a predetermined substrate support position. 2. The viscous fluid application device according to claim 1, wherein the device is a switch device that operates in contact with the surface of the substrate support plate.
【請求項5】 基板の表面にディスペンサを接触させる
状態において粘性流体を塗布するに際し、 塗布工程に先立って、端部において固定して設置した基
板についてディスペンサ側への反りを反りセンサにより
検出し、 反りが検出された時に、基板の反りの矯正、基板の入
替、ディスペンサのストローク調整から選ばれる所定の
処置を行い、 その後に塗布工程を実行することを特徴とする粘性流体
塗布方法。
5. When applying a viscous fluid in a state in which a dispenser is brought into contact with the surface of a substrate, prior to the application step, a warp sensor detects a warp toward a dispenser side of a substrate fixed and installed at an end portion, A method for applying a viscous fluid, comprising: when a warp is detected, performing a predetermined treatment selected from correction of the warp of the substrate, replacement of the substrate, and adjustment of a stroke of a dispenser, and thereafter performing an application step.
JP21444099A 1999-07-29 1999-07-29 Viscous fluid coating equipment and method Pending JP2001044609A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21444099A JP2001044609A (en) 1999-07-29 1999-07-29 Viscous fluid coating equipment and method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21444099A JP2001044609A (en) 1999-07-29 1999-07-29 Viscous fluid coating equipment and method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001044609A true JP2001044609A (en) 2001-02-16

Family

ID=16655821

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP21444099A Pending JP2001044609A (en) 1999-07-29 1999-07-29 Viscous fluid coating equipment and method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001044609A (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005103463A (en) * 2003-09-30 2005-04-21 Shibaura Mechatronics Corp Device and method for dripping liquid member
JP2009056377A (en) * 2007-08-30 2009-03-19 Mimaki Engineering Co Ltd Printer
JP2011177671A (en) * 2010-03-02 2011-09-15 Honda Sun Co Ltd Grease coating apparatus
JP2018126728A (en) * 2017-01-06 2018-08-16 ザ・ボーイング・カンパニーThe Boeing Company Automated maskless paint applicator
CN113083630A (en) * 2021-04-08 2021-07-09 惠州学院 VR panoramic video is interactive experiences and uses glasses sealing device
CN114700219A (en) * 2022-03-21 2022-07-05 深圳市森思源电子有限公司 Rapid glue dispensing device and method for PCB processing

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005103463A (en) * 2003-09-30 2005-04-21 Shibaura Mechatronics Corp Device and method for dripping liquid member
JP4500031B2 (en) * 2003-09-30 2010-07-14 芝浦メカトロニクス株式会社 Liquid member dropping device and liquid member dropping method
JP2009056377A (en) * 2007-08-30 2009-03-19 Mimaki Engineering Co Ltd Printer
JP2011177671A (en) * 2010-03-02 2011-09-15 Honda Sun Co Ltd Grease coating apparatus
JP2018126728A (en) * 2017-01-06 2018-08-16 ザ・ボーイング・カンパニーThe Boeing Company Automated maskless paint applicator
JP7066397B2 (en) 2017-01-06 2022-05-13 ザ・ボーイング・カンパニー Automatic maskless paint applicator
CN113083630A (en) * 2021-04-08 2021-07-09 惠州学院 VR panoramic video is interactive experiences and uses glasses sealing device
CN114700219A (en) * 2022-03-21 2022-07-05 深圳市森思源电子有限公司 Rapid glue dispensing device and method for PCB processing
CN114700219B (en) * 2022-03-21 2023-02-14 深圳市森思源电子有限公司 Rapid glue dispensing device and method for PCB processing

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7476926B2 (en) Inspection fixture
JP2001044609A (en) Viscous fluid coating equipment and method
JP3139259B2 (en) Screen printing method of cream solder
TWI423354B (en) Conductive ball mounting device
CN111162024B (en) Apparatus for mounting conductive balls
JP2008135577A (en) Device for holding printed board
CN111162010B (en) Method for installing conductive ball
JP4187873B2 (en) Flux supply device for conductive ball mounting device
JP6892510B2 (en) Screen printing machine
JP2014014989A (en) Substrate conveying device and method of detecting foreign material in the same substrate conveying device
US20240015893A1 (en) Mounting board manufacturing method and flux coating device
JP4549613B2 (en) Screen printing device
US11518621B2 (en) Substrate working machine
JP5031675B2 (en) Substrate transport device and electronic component mounting device
KR102066881B1 (en) Manufacturing method of test socket for small outline package ic
JP4337622B2 (en) Substrate underlay device
KR20180132410A (en) A unloader device of smt equipment that can adjust sensor position according to pcb board type
KR102535517B1 (en) An apparatus for separaring circuit board
JP5457016B2 (en) Substrate support device
JP3449192B2 (en) Apparatus and method for transferring conductive balls
JP3324400B2 (en) Substrate transfer device
JP3744430B2 (en) Screen printing device
KR20230096516A (en) Automatic release of protective film on printed-circuit board
JP2006142646A (en) Screen printing machine
JP2000108301A (en) Apparatus and method for screen printing