KR102535517B1 - An apparatus for separaring circuit board - Google Patents

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Abstract

본 발명은 캐리어지그에 부착된 기판을 분리하는 기판 분리 장치에 있어서, 본체부, 본체부의 상부에 구비되고 캐리어지그가 안착되며, 상면에 캐리어지그에 형성된 복수의 관통공에 대응하게 삽입되는 복수의 가압돌기가 형성된 지그 지지부, 본체부에서 지그 지지부를 승강시키는 승강부재 및 본체부에 구비되고, 승강하는 지그 지지부에 안착된 캐리어지그가 일정 높이 이상 상승되는 것을 제한하는 스토퍼부재를 포함하고, 승강부재에 의해 캐리어지그가 안착된 지그 지지부가 상승되면, 스토퍼부재에 의해 캐리어지그의 상승이 정지되고, 상승되는 지그 지지부의 가압돌기가 캐리어지그의 관통공을 통해 돌출되면서, 캐리어지그에 부착된 기판을 가압하여 분리시키는 기판 분리 장치를 제공한다.The present invention is a substrate separation device for separating a substrate attached to a carrier jig, in which a body portion is provided on the upper portion of the body portion, the carrier jig is seated, and a plurality of cells inserted corresponding to a plurality of through holes formed in the carrier jig A jig support portion having a pressurizing protrusion, an elevating member for elevating the jig support portion in the main body portion, and a stopper member provided in the main body portion and limiting the lifting of the carrier jig seated in the elevating jig support portion to a certain height or higher, and an elevating member. When the jig support on which the carrier jig is seated is raised, the lift of the carrier jig is stopped by the stopper member, and the pressing protrusion of the jig support being raised protrudes through the through hole of the carrier jig, thereby removing the substrate attached to the carrier jig. Provided is a substrate separation device that separates by pressing.

Description

기판 분리 장치{AN APPARATUS FOR SEPARARING CIRCUIT BOARD}Substrate separation device {AN APPARATUS FOR SEPARARING CIRCUIT BOARD}

본 발명은 기판 분리 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 캐리어지그에 부착된 기판을 안정적으로 분리할 수 있는 기판 분리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate separation device, and more particularly, to a substrate separation device capable of stably separating a substrate attached to a carrier jig.

일반적으로 연성회로기판(FPCB, Flexible Printed Circuit Board)은 유연성 재질의 필름에 회로를 형성하고 전자소자를 실장한 구조로서, 휴대 단말기, 노트북 및 디지털 카메라 등의 다양한 전자기기에 적용되고 있다.In general, a flexible printed circuit board (FPCB) is a structure in which circuits are formed on a film of a flexible material and electronic elements are mounted, and is applied to various electronic devices such as mobile terminals, laptop computers, and digital cameras.

이러한 연성회로기판은 물성 자체가 유연하고 원상 유지력을 보유하지 못하는 바, 칩부품 등과 같은 전자소자를 연성회로기판에 표면실장하기 위해서는 표면실장 공정 진행시 연성회로기판을 평평하게 지지할 수 있는 구조가 필요하다. Since these flexible circuit boards are flexible in their physical properties and do not retain their original state, in order to surface mount electronic devices such as chip parts on the flexible circuit board, a structure capable of flatly supporting the flexible circuit board during the surface mounting process is required. need.

이에 따라, 연성회로기판에 칩부품을 실장하는 표면실장장치로 연성회로기판를 공급함에 있어서는, 통상 복수의 연성회로기판을 캐리어지그의 일정 위치에 정렬하여 정확하게 부착한 다음, 그 캐리어지그를 표면실장장치에 공급하여 표면실장 공정을 수행하게 된다.Accordingly, in supplying a flexible circuit board to a surface mounting device for mounting chip components on a flexible circuit board, a plurality of flexible circuit boards are usually aligned and accurately attached to a predetermined position of a carrier jig, and then the carrier jig is attached to the surface mounting device. is supplied to perform the surface mounting process.

또한, 표면실장 공정 후에는 캐리어지그에 부착된 연성회로기판을 분리하는 작업이 필요하다.In addition, after the surface mounting process, it is necessary to separate the flexible printed circuit board attached to the carrier jig.

그런데, 종래에는 캐리어지그 부착된 복수의 연성회로기판을 작업자가 일일이 수작업으로 분리하였으며, 이에 따라 분리 과정에서 내구성이 약한 연성회로기판의 훼손, 오염 및 불량 등이 빈번하게 발생하여 제품 신뢰성이 떨어지는 문제가 있었다.However, in the prior art, workers manually separated a plurality of flexible printed circuit boards attached to a carrier jig, and accordingly, damage, contamination, and defects of flexible printed circuit boards with weak durability frequently occur during the separation process, resulting in poor product reliability. there was

등록특허 제10-1355151호(등록일: 2014.01.17) "PCB소자 분리용 컷팅지그"Registered Patent No. 10-1355151 (registration date: 2014.01.17) "Cutting jig for separating PCB elements"

본 발명에서는 기판 분리 장치, 구체적으로는 자동 제어를 통해 캐리어지그에 부착된 기판을 균일하게 가압하여 안정적으로 분리할 수 있는 기판 분리 장치를 제공하고자 한다.In the present invention, it is intended to provide a substrate separation device, specifically, a substrate separation device capable of stably separating a substrate attached to a carrier jig by uniformly pressurizing it through automatic control.

본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved in the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below. You will be able to.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 캐리어지그에 부착된 기판을 분리하는 기판 분리 장치에 있어서, 본체부, 본체부의 상부에 구비되고 캐리어지그가 안착되며, 상면에 캐리어지그에 형성된 복수의 관통공에 대응하게 삽입되는 복수의 가압돌기가 형성된 지그 지지부, 본체부에서 지그 지지부를 승강시키는 승강부재 및 본체부에 구비되고, 승강하는 지그 지지부에 안착된 캐리어지그가 일정 높이 이상 상승되는 것을 제한하는 스토퍼부재를 포함하고, 승강부재에 의해 캐리어지그가 안착된 지그 지지부가 상승되면, 스토퍼부재에 의해 캐리어지그의 상승이 정지되고, 상승되는 지그 지지부의 가압돌기가 캐리어지그의 관통공을 통해 돌출되면서, 캐리어지그에 부착된 기판을 가압하여 분리시키는 기판 분리 장치를 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention is a substrate separation device for separating a substrate attached to a carrier jig, provided on the upper part of the main body and the main body, the carrier jig is seated, and a plurality of carrier jig formed on the upper surface. A jig support having a plurality of pressing protrusions inserted corresponding to the through-holes, an elevating member for elevating the jig support in the main body, and a carrier jig provided in the main body and seated on the elevating jig support is raised above a certain height. It includes a stopper member that limits, and when the jig support on which the carrier jig is seated is raised by the lifting member, the lifting of the carrier jig is stopped by the stopper member, and the pressing protrusion of the rising jig support is pushed through the through hole of the carrier jig. While protruding, it provides a substrate separation device that presses and separates the substrate attached to the carrier jig.

또한, 본체부의 상부에 구비되어, 캐리어지그를 향하여 정전기 제거를 위한 이온을 공급하는 이온발생부를 더 포함하는 기판 분리 장치를 제공한다.In addition, the substrate separation device further includes an ion generator provided on the upper part of the main body and supplying ions for static electricity removal toward the carrier jig.

또한, 스토퍼부재는, 본체부에서 지그 지지부를 사이에 두고 양측에 구비되어, 지그 지지부에 안착된 상태로 상승되는 캐리어지그의 양측면부를 걸어 정지시키는 제1 스토퍼와 제2 스토퍼를 포함하는 기판 분리 장치를 제공한다.In addition, the stopper member is provided on both sides of the main body part with the jig support part therebetween, and hangs and stops both side surfaces of the carrier jig that is raised while seated on the jig support part. Substrate separation device including a first stopper and a second stopper provides

또한, 스토퍼부재는, 본체부에 구비되고, 실린더를 통해 제1 스토퍼를 캐리어지그를 걸어 정지시킬 수 있는 위치로 이동시키거나, 그 반대방향으로 퇴피시키는 스토퍼 구동부 및 제1 스토퍼가 정렬된 상태로 이동하도록 가이드하는 스토퍼 정렬부를 더 포함하는 기판 분리 장치를 제공한다.In addition, the stopper member is provided in the main body, and moves the first stopper through the cylinder to a position where it can be stopped by hanging the carrier jig, or retracts in the opposite direction. The stopper driver and the first stopper are aligned. It provides a substrate separation device further comprising a stopper alignment unit for guiding to move.

또한, 스토퍼 정렬부는, 제1 스토퍼의 하부에 수평하게 결합되고, 본체부의 내측에 배치되는 가이드편 및 본체부 내측에서 구비되고, 제1 스토퍼를 따라 이동하는 가이드편이 대응하게 삽입되어, 실린더의 로드에 결합된 제1 스토퍼의 틀어짐 또는 회전을 억제하는 정렬가이드를 포함하는 기판 분리 장치를 제공한다.In addition, the stopper aligning unit is coupled horizontally to the lower portion of the first stopper, and the guide piece disposed inside the body portion and the guide piece provided inside the body portion and moving along the first stopper are correspondingly inserted, and the rod of the cylinder It provides a substrate separation device including an alignment guide for suppressing twist or rotation of the first stopper coupled to the.

또한, 기 설정된 제어에 따라 스토퍼부재, 이온발생부 및 승강부재를 동작시키는 제어부를 더 포함하여, 지그 지지부에 캐리어지그가 안착되면, 제어부의 제어에 따라, 본체부에서 스토퍼부재가 캐리어지그를 정지시킬 수 있는 위치로 이동하고, 이온발생부에서 캐리어지그를 향하여 이온을 공급하며, 승강부재가 지그지지부를 상승시킴으로써, 정전기 제거와 동시에 캐리어지그에 부착된 기판을 분리시키는 기판 분리 장치를 제공한다.In addition, a control unit for operating the stopper member, the ion generating unit, and the elevating member according to a preset control is further included, and when the carrier jig is seated on the jig support part, the stopper member stops the carrier jig in the main body according to the control of the control unit. Provided is a substrate separation device that removes static electricity and separates a substrate attached to the carrier jig at the same time by moving to a position where it can be moved, supplying ions from the ion generator toward the carrier jig, and elevating the jig support by the lifting member.

또한, 지그 지지부에 안착된 캐리어지그를 감지하는 감지센서를 더 포함하고, 제어부는 감지센서로부터 감지신호를 전송받으면, 기 설정된 제어에 따라 스토퍼부재, 이온발생부 및 승강부재를 동작시키는 기판 분리 장치를 제공한다.In addition, the substrate separation device further comprises a detection sensor for detecting the carrier jig seated on the jig support, and the control unit operates the stopper member, the ion generator and the elevating member according to a preset control when receiving the detection signal from the detection sensor. provides

또한, 가압돌기는, 높이가 캐리어지그의 두께에 비해 높게 형성되고, 기판을 가압하는 끝단이 평평하게 형성되는 기판 분리 장치를 제공한다.In addition, the pressing protrusion provides a substrate separation device in which a height is formed higher than the thickness of the carrier jig and an end for pressing the substrate is formed flat.

본 발명의 실시예에 따른 기판 분리 장치는, 간단한 구성으로 이루어져, 일련의 제어를 통해 캐리어지그에 부착된 기판을 균일한 힘으로 가압하여 안정적으로 분리할 수 있고, 기판 분리 과정이 자동으로 진행됨에 따라 작업 효율이 증대될 수 있으며, 기판의 훼손, 오염 및 불량 등을 억제하여 제품 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The substrate separation device according to an embodiment of the present invention has a simple configuration, can stably separate the substrate attached to the carrier jig by pressing it with a uniform force through a series of controls, and the substrate separation process automatically proceeds. Accordingly, work efficiency can be increased, and product reliability can be improved by suppressing damage, contamination, and defects of the board.

또한, 캐리어지그로 이온을 공급하여, 기판 분리 과정에서 발생되는 정전기를 제거함으로써 정전기로 인한 기판의 훼손을 방지할 수 있다. In addition, by supplying ions to the carrier jig to remove static electricity generated in the substrate separation process, damage to the substrate due to static electricity can be prevented.

본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects obtainable in the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description below. will be.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치의 외관을 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치에 캐리어지그가 안착된 상태를 도시한 것이다.
도 3 및 도 4는 일 실시예에 따른 기판 분리 장치의 내부 구조를 보여주기 위한 단면도를 도시한 것이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치의 동작 상태를 도시한 것이다.1 shows the appearance of a substrate separation apparatus according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 shows a state in which the carrier jig is seated in the substrate separation device according to an embodiment of the present invention.
3 and 4 are cross-sectional views illustrating an internal structure of a substrate separation apparatus according to an embodiment.
5 to 7 show the operating state of the substrate separation device according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시 형태를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부된 도면과 함께 이하에 개시될 상세한 설명은 본 발명의 예시적인 실시형태를 설명하고자 하는 것이며, 본 발명이 실시될 수 있는 유일한 실시형태를 나타내고자 하는 것이 아니다.The detailed description set forth below in conjunction with the accompanying drawings is intended to describe exemplary embodiments of the present invention and is not intended to represent the only embodiments in which the present invention may be practiced.

도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략할 수 있고, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용할 수 있다.In order to clearly describe the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description may be omitted, and the same reference numerals may be used for the same or similar components throughout the specification.

본 발명의 실시예에서, “또는”, “적어도 하나” 등의 표현은 함께 나열된 단어들 중 하나를 나타내거나, 또는 둘 이상의 조합을 나타낼 수 있다.In embodiments of the present invention, expressions such as “or” and “at least one” may represent one of the words listed together, or a combination of two or more.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)의 외관을 도시한 것이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)에 캐리어지그(10)가 안착된 상태를 도시한 것이며, 도 3 및 도 4는 일 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)의 내부 구조를 보여주기 위한 단면도를 도시한 것이다. 1 shows the appearance of a substrate separation device 100 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a carrier jig 10 seated in the substrate separation device 100 according to an embodiment of the present invention. It shows a state, and FIGS. 3 and 4 are cross-sectional views showing the internal structure of the substrate separation apparatus 100 according to an embodiment.

본 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)는, 간단한 구성으로 이루어져, 캐리어지그(10)에 부착된 기판(20)을 균일한 힘으로 안정적으로 분리할 수 있고, 분리 과정이 자동으로 진행됨에 따라 작업 효율이 증대될 수 있으며, 기판(20)의 훼손, 오염 및 불량 등을 억제하여 제품 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The substrate separation device 100 according to the present embodiment has a simple configuration, can stably separate the substrate 20 attached to the carrier jig 10 with uniform force, and as the separation process automatically proceeds, Work efficiency can be increased, and product reliability can be improved by suppressing damage, contamination, and defects of the substrate 20 .

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)는, 본체부(110), 지그 지지부(120), 승강부재(130), 스토퍼부재(140) 및 제어부(미도시)를 포함할 수 있다.1 to 4, the substrate separation apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a body portion 110, a jig support portion 120, a lifting member 130, a stopper member 140, and a control unit. (not shown) may be included.

본체부(110)는 내부가 빈 케이스 형태로 형성되어 기판 분리 장치(100)의 외관을 형성하며, 일 예로써 본 실시예에서는 사각의 함체 형태로 형성된 것을 보여주고 있다.The body part 110 is formed in the form of an empty case to form the appearance of the substrate separation device 100, and as an example, in this embodiment, it is shown that it is formed in the form of a rectangular enclosure.

또한, 본체부(110)의 상부에는 지그 지지부(120)가 설치될 수 있고, 내부에는 지그 지지부(120)를 승강시키는 승강부재(130)가 설치될 수 있다.In addition, the jig support part 120 may be installed on the upper part of the main body part 110, and the elevating member 130 for elevating the jig support part 120 may be installed inside.

이때, 본체부(110)에는 승강부재(130)에 의해 승강하는 지그 지지부(120)가 본체부(110)의 상면을 통과할 수 있도록 상면에 개구부(111)가 형성될 수 있다.At this time, an opening 111 may be formed on the upper surface of the main body 110 so that the jig support 120 that is moved up and down by the elevating member 130 may pass through the upper surface of the main body 110 .

이에 따라, 본체부(110) 상면의 개구부(111)를 통과하여 지그 지지부(120)가 본체부(110)의 내측으로 하강하거나 본체부(110) 위로 상승할 수 있다.Accordingly, the jig support part 120 may descend to the inside of the body part 110 or rise above the body part 110 through the opening 111 on the upper surface of the body part 110 .

또한, 본체부(110)의 일측에는 기판 분리 장치(100)를 동작시키기 위한 스위치부(112)가 구비될 수 있다.In addition, a switch unit 112 for operating the substrate separation device 100 may be provided on one side of the body unit 110 .

지그 지지부(120)는 본체부(110)의 상부에 구비되고, 상면에 캐리어지그(10)가 대응하게 안착되도록 판체 형태로 형성될 수 있다.The jig support part 120 is provided on the upper part of the body part 110, and may be formed in a plate body shape so that the carrier jig 10 is seated correspondingly on the upper surface.

여기서, 캐리어지그(10)는 표면실장장치로부터 연성회로기판 등의 기판(20)이 부착된 상태로 공급될 수 있고, 이러한 캐리어지그(10)를 지그 지지부(120)에 안착시킬 수 있다.Here, the carrier jig 10 may be supplied from a surface mounting device with a substrate 20 such as a flexible circuit board attached thereto, and the carrier jig 10 may be seated on the jig support 120 .

즉, 연성회로기판과 같이 두께가 얇고 유연한 기판(20)의 경우, 표면실장 공정 진행시 해당 기판(20)을 평평하게 지지할 수 있는 구조가 필요한데, 단단한 재질의 캐리어지그(10)에 실리콘 테이프(30) 등을 이용하여 복수의 기판(20)을 부착한 다음 표면실정 공정을 수행하였으며, 이에 따라 표면실장 공정 후에는 캐리어지그(10)에 부착된 기판(20)을 분리하는 작업이 필요하다.That is, in the case of a thin and flexible substrate 20 such as a flexible circuit board, a structure capable of flatly supporting the substrate 20 during the surface mounting process is required. After attaching a plurality of substrates 20 using (30), etc., the surface mounting process was performed. Accordingly, after the surface mounting process, it is necessary to separate the substrates 20 attached to the carrier jig 10. .

더불어, 판체 형태로 형성된 캐리어지그(10)에는 표면실장 공정에서 이용되는 복수의 관통공(11)이 형성되어 있고, 복수의 관통공(11)이 형성된 캐리어지그(10)의 상면에 복수의 기판(20)이 정렬되어 부착되어 있다.In addition, a plurality of through holes 11 used in the surface mounting process are formed in the carrier jig 10 formed in the form of a plate body, and a plurality of substrates are formed on the upper surface of the carrier jig 10 on which the plurality of through holes 11 are formed. (20) are aligned and attached.

지그 지지부(120)의 상면에는 캐리어지그(10)에 형성된 복수의 관통공(11)과 대응하는 복수의 가압돌기(121)가 돌출 형성될 수 있다.A plurality of pressing protrusions 121 corresponding to the plurality of through holes 11 formed in the carrier jig 10 may protrude from the upper surface of the jig support 120 .

이에 따라, 지그 지지부(120)의 상면에 캐리어지그(10)를 안착시킬 때, 지그 지지부(120)의 상면에 돌출된 복수의 가압돌기(121)가, 캐리어지그(10)에 형성된 복수의 관통공(11)에 대응하게 삽입될 수 있으며, 캐리어지그(10)가 지그 지지부(120)의 정위치에 고정될 수 있다.Accordingly, when the carrier jig 10 is seated on the upper surface of the jig support part 120, the plurality of pressing protrusions 121 protruding from the upper surface of the jig support part 120 form a plurality of penetrating holes formed in the carrier jig 10. It can be inserted correspondingly to the ball 11, and the carrier jig 10 can be fixed in place of the jig support 120.

이때, 지그 지지부(120)의 상면에서 돌출된 가압돌기(121)의 높이는 캐리어지그(10)의 두께에 비해 높게 형성될 수 있고, 가압돌기(121)의 끝단은 평평하게 형성될 수 있다.At this time, the height of the pressure protrusion 121 protruding from the upper surface of the jig support part 120 may be formed higher than the thickness of the carrier jig 10, and the end of the pressure protrusion 121 may be formed flat.

이와 같은 지그 지지부(120)는 본체부(110)의 상면에 형성된 개구부(111)에 배치될 수 있고, 승강부재(130)에 의해 승강할 수 있다.Such a jig support 120 may be disposed in the opening 111 formed on the upper surface of the main body 110, and may be moved up and down by the elevating member 130.

승강부재(130)는 본체부(110)의 내부에 구비되고, 지그 지지부(120)의 하부에 연결되어 지그 지지부(120)를 승강시키도록 동작할 수 있다.The lifting member 130 is provided inside the main body 110 and is connected to the lower part of the jig support 120 to move the jig support 120 up and down.

이러한 승강부재(130)는 공압실린더 또는 유압실린더 등으로 이루어지는 수직실린더(131)를 구비하여, 수직실린더(131)를 통해 지그 지지부(120)를 승강시킬 수 있다.The elevating member 130 may include a vertical cylinder 131 made of a pneumatic cylinder or a hydraulic cylinder to elevate the jig support 120 through the vertical cylinder 131 .

구체적으로, 본 실시예의 승강부재(130)는, 본체부(110)로부터 지그 지지부(120)를 승강시키는 수직실린더(131)와, 지그 지지부(120)의 승강을 가이드하는 승강가이드부(132)를 포함할 수 있다.Specifically, the elevating member 130 of the present embodiment includes a vertical cylinder 131 for elevating the jig support 120 from the main body 110, and an elevating guide 132 for guiding the elevating of the jig support 120. can include

여기서, 수직실린더(131)를 구성하는 실린더몸체는 본체부(110)의 내측에 고정될 수 있고, 실린더몸체로부터 수직하게 연장되는 실린더로드(131a)는 지그 지지부(120)의 하부 중앙에 결합될 수 있다.Here, the cylinder body constituting the vertical cylinder 131 may be fixed to the inside of the main body 110, and the cylinder rod 131a extending vertically from the cylinder body is coupled to the lower center of the jig support 120. can

또한, 승강가이드부(132)는 한 쌍으로 구비되어 수직실린더(131)의 양측에 나란히 수직하게 배치될 수 있는데, 각각의 승강가이드부(132)는 본체부(110)의 내측에 고정되는 가이드몸체(133)와, 가이드몸체(133)에 승강 가능하게 구비되고 지그 지지부(120)의 하부에 결합되는 가이드로드(134)를 포함할 수 있다.In addition, the lifting guide parts 132 are provided as a pair and may be arranged vertically side by side on both sides of the vertical cylinder 131, each lifting guide part 132 is a guide fixed to the inside of the main body part 110. It may include a body 133 and a guide rod 134 provided to be liftable to the guide body 133 and coupled to the lower portion of the jig support 120 .

이와 같은 한 쌍의 승강가이드부(132)는 실린더몸체에서 실린더로드(131a)가 승강하여 지그 지지부(120)를 들어올리거나 내릴 때, 실린더로드(131a)를 따라 한 쌍의 가이드로드(134)가 동시에 승강하며 지그 지지부(120)의 하부 양측을 지지함으로써, 지그 지지부(120)가 틀어지거나 기울지 않고 수평을 유지하며 정자세로 승강하도록 가이드할 수 있다.When the cylinder rod 131a lifts and lowers the jig support 120 in the cylinder body, the pair of guide rods 134 move along the cylinder rod 131a. By simultaneously moving up and down and supporting both sides of the lower part of the jig support 120, the jig support 120 can be guided to go up and down in a straight posture without being twisted or tilted.

스토퍼부재(140)는 본체부(110)에 구비되어, 승강하는 지그 지지부(120)에 안착된 캐리어지그(10)가 일정 높이 이상 상승되는 것을 제한할 수 있다.The stopper member 140 is provided on the main body 110 to limit the lifting of the carrier jig 10 seated on the elevating jig support 120 above a certain height.

구체적으로, 스토퍼부재(140)는 본체부(110)의 상면 양측에 각각 구비되어, 지그 지지부(120)에 안착되어 승강부재(130)에 의해 상승되는 캐리어지그(10)의 양측을 걸어 정지시키는 제1 및 제2 스토퍼(141,142)를 포함할 수 있다.Specifically, the stopper member 140 is provided on both sides of the upper surface of the body portion 110, and is seated on the jig support portion 120 to hang and stop the carrier jig 10 raised by the elevating member 130 First and second stoppers 141 and 142 may be included.

여기서, 제1 스토퍼(141)와 제2 스토퍼(142)는 본체부(110) 상면에서 지그 지지부(120)를 사이에 두고 양측에 구비될 수 있는데, 제1 스토퍼(141)는 "┌" 형태의 걸림턱이 형성되고, 제2 스토퍼(142)는 "┐" 형태의 걸림턱이 형성되어, 지그 지지부(120)에 안착된 상태로 상승되는 캐리어지그(10)의 양측면부를 걸림턱을 통해 걸어 정지시킬 수 있다.Here, the first stopper 141 and the second stopper 142 may be provided on both sides with the jig support 120 interposed therebetween on the upper surface of the body portion 110, the first stopper 141 has a "┌" shape A locking jaw is formed, and the second stopper 142 has a "┐" shaped locking jaw formed, and walks both side surfaces of the carrier jig 10, which is raised in a state seated on the jig support 120, through the locking jaw can be stopped

이에 따라, 본 실시예의 기판 분리 장치(100)는, 승강부재(130)에 의해 캐리어지그(10)가 안착된 지그 지지부(120)가 상승되면, 스토퍼부재(140)의 제1 및 제2 스토퍼(141,142)에 의해 캐리어지그(10)의 상승이 정지되고, 상승되는 지그 지지부(120)의 가압돌기(121)가 캐리어지그(10)의 관통공(11)을 통해 돌출되면서, 캐리어지그(10)에 부착된 기판(20)을 가압하여 분리시킬 수 있다.Accordingly, in the substrate separation apparatus 100 of the present embodiment, when the jig support 120 on which the carrier jig 10 is seated is raised by the elevating member 130, the first and second stoppers of the stopper member 140 The lifting of the carrier jig 10 is stopped by (141, 142), and the pressing protrusion 121 of the rising jig support 120 protrudes through the through hole 11 of the carrier jig 10, and the carrier jig 10 ) It can be separated by pressing the substrate 20 attached to.

이때, 지그 지지부(120)의 상면에서 돌출된 복수의 가압돌기(121)는 상단이 평평하게 형성되어 있어, 복수의 가압돌기(121)를 통해 캐리어지그(10)에 부착된 각 기판(20)들을 균일한 가압력으로 분리시킬 수 있다.At this time, the plurality of pressing protrusions 121 protruding from the upper surface of the jig support part 120 have a flat upper end, and each substrate 20 attached to the carrier jig 10 through the plurality of pressing protrusions 121 They can be separated with a uniform pressing force.

또한, 도 4를 참조하면, 스토퍼부재(140)는 제1 스토퍼(141)와 제2 스토퍼(142) 중 적어도 하나를 지그 지지부(120) 쪽으로 소정 간격 전진시키거나 또는 그 반대방향으로 퇴피시키는 스토퍼 구동부(143)를 더 포함할 수 있다.In addition, referring to FIG. 4, the stopper member 140 advances at least one of the first stopper 141 and the second stopper 142 toward the jig support 120 by a predetermined interval or retracts it in the opposite direction. A driving unit 143 may be further included.

즉, 지그 지지부(120)의 상면에 캐리어지그(10)를 안착시킬 때에는, 한 쌍의 스토퍼(141,142) 중에 적어도 한 쪽을 지그 지지부(120)에서 퇴피시켜야 지그 지지부(120)에 캐리어지그(10)를 간섭 없이 용이하게 안착시킬 수 있으며, 지그 지지부(120)에 캐리어지그(10)가 안착된 후에는 퇴피된 스토퍼(141)를 소정 간격 전진시킴으로써, 한 쌍의 스토퍼(141,142)를 통해, 승강하는 지그 지지부(120)에 안착된 캐리어지그(10)가 일정 높이 이상 상승되는 것을 제한할 수 있다.That is, when the carrier jig 10 is seated on the upper surface of the jig support 120, at least one of the pair of stoppers 141 and 142 must be retracted from the jig support 120 to secure the carrier jig 10 on the jig support 120. ) can be easily seated without interference, and after the carrier jig 10 is seated on the jig support 120, by moving the retracted stopper 141 forward at a predetermined interval, through a pair of stoppers 141 and 142, lifting and lowering It is possible to restrict the carrier jig 10 seated on the jig support 120 from being raised above a certain height.

일 예로써, 본 실시예에서는 스토퍼 구동부(143)를 통해 제1 스토퍼(141)를 동작시킬 수 있다.As an example, in this embodiment, the first stopper 141 may be operated through the stopper driver 143 .

이때, 본 실시예의 스토퍼 구동부(143)는, 본체부(110)의 내측에 구비되고 제1 스토퍼(141)와 연결되어 제1 스토퍼(141)를 전후진시키는 수평실린더(143)로 이루어질 수 있다.At this time, the stopper driver 143 of the present embodiment may be formed of a horizontal cylinder 143 provided inside the main body 110 and connected to the first stopper 141 to move the first stopper 141 forward and backward. .

또한, 스토퍼부재(140)는 제1 스토퍼(141)가 정렬된 상태로 전후진하도록 가이드하는 스토퍼 정렬부(150)를 포함할 수 있다.In addition, the stopper member 140 may include a stopper aligning unit 150 that guides the first stopper 141 to move forward and backward in an aligned state.

여기서, 스토퍼 정렬부(150)는 제1 스토퍼(141)의 하부에 수평하게 결합되고 본체부(110)의 내측에 배치되는 가이드편(151)과, 본체부(110) 내측에서 구비되어 제1 스토퍼(141)를 따라 전후진하는 가이드편(151)이 대응하게 삽입되는 정렬가이드(152)를 포함할 수 있다.Here, the stopper aligning unit 150 is provided with a guide piece 151 horizontally coupled to the lower portion of the first stopper 141 and disposed inside the body portion 110, and inside the body portion 110 to provide a first The guide piece 151 moving forward and backward along the stopper 141 may include an alignment guide 152 into which it is correspondingly inserted.

이와 같은 스토퍼 정렬부(150)는, 수평실린더(143)의 실린더로드(143a)를 통해 제1 스토퍼(141)를 지그 지지부(120) 쪽으로 전진시키거나 그 반대방향으로 퇴피시킬 때, 제1 스토퍼(141)의 하부에 수평하게 구비된 가이드편(151)이 정렬가이드(152)에 삽입되어, 제1 스토퍼(141)가 실린더로드(131a)에 의해 틀어지거나 회전하게 되는 것을 방지할 수 있다. When the stopper aligning unit 150 advances the first stopper 141 toward the jig support 120 or retracts it in the opposite direction through the cylinder rod 143a of the horizontal cylinder 143, the first stopper The guide piece 151 provided horizontally under the 141 is inserted into the alignment guide 152 to prevent the first stopper 141 from being twisted or rotated by the cylinder rod 131a.

한편, 본 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)는, 본체부(110)의 상부에 구비되어 지그 지지부(120)에 안착된 캐리어지그(10)를 향하여 이온을 공급하여 정전기를 제거하는 이온발생부(160)를 더 포함할 수 있다.On the other hand, the substrate separation device 100 according to the present embodiment is provided on the upper part of the body part 110 and generates ions to remove static electricity by supplying ions toward the carrier jig 10 seated on the jig support part 120. A portion 160 may be further included.

즉, 캐리어지그(10)에 부착된 기판(20)을 분리하는 과정에서 정전기가 발생될 수 있는데, 정전기 발생 시 기판(20)이 훼손될 수 있으므로, 본체부(110)에 구비된 이온발생부(160)를 이용하여 정전기를 제거할 수 있다.That is, static electricity may be generated in the process of separating the substrate 20 attached to the carrier jig 10, and since the substrate 20 may be damaged when static electricity is generated, the ion generating unit provided in the main body 110 (160) can be used to remove static electricity.

구체적으로, 이온발생부(160)는 이오나이저 등으로 이루어질 수 있고, 지지대에 의해 본체부(110)에 상면으로부터 이격되어 배치될 수 있다.Specifically, the ion generator 160 may be formed of an ionizer or the like, and may be disposed spaced apart from the upper surface of the main body 110 by a support.

또한, 이온발생부(160)를 지지하는 지지대에는 각도조절부(161)가 구비되어, 각도조절부(161)를 통해 이온발생부(160)의 이온 조사 방향을 조절할 수 있다.In addition, an angle adjuster 161 is provided on the support supporting the ion generator 160, and the ion irradiation direction of the ion generator 160 can be adjusted through the angle adjuster 161.

이와 같은 이온발생부(160)는 스위치 조작에 따라 동작하거나 또는 후술되는 제어부(미도시)의 제어에 따라 동작할 수 있다.Such an ion generating unit 160 may operate according to a switch operation or under the control of a controller (not shown) described below.

한편, 제어부(미도시)는 본체부(110)에 구비되고, 지그 지지부(120)에 안착된 캐리어지그(10)에서 기판(20)을 분리시키도록 기 설정된 제어에 따라 승강부재(130), 스토퍼부재(140) 및 이온발생부(160)를 동작시킬 수 있다.On the other hand, the control unit (not shown) is provided in the body unit 110, and the elevating member 130, The stopper member 140 and the ion generator 160 may be operated.

즉, 복수의 기판(20)이 부착된 캐리어지그(10)를 지그 지지부(120)에 안착시킨 후, 본체부(110)에 구비된 스위치부(112)를 통해 기판 분리 장치(100)를 동작시키면, 제어부(미도시)의 제어에 따라, 스토퍼부재(140), 승강부재(130) 및 이온발생부(160)가 동작하여, 캐리어지그(10)에서 복수의 기판(20)을 균일한 힘으로 안정적으로 분리할 수 있고, 기판 분리 과정에서 발생되는 정전기를 제거하여 정전기로 인한 기판(20)의 훼손을 방지할 수 있다.That is, after the carrier jig 10 to which the plurality of substrates 20 are attached is seated on the jig support part 120, the substrate separation device 100 is operated through the switch part 112 provided in the main body part 110. Then, under the control of the control unit (not shown), the stopper member 140, the elevating member 130, and the ion generating unit 160 operate to uniformly force the plurality of substrates 20 in the carrier jig 10. Therefore, it is possible to stably separate the substrate 20 and prevent damage to the substrate 20 due to static electricity by removing static electricity generated during the substrate separation process.

이때, 지그 지지부(120)에 감지센서(미도시)를 구비하여, 감지센서(미도시)에 의해 지그 지지부(120)에 캐리어지그(10)가 안착되는 것이 감지되면, 감지신호에 따라 제어부(미도시)가 스토퍼부재(140), 승강부재(130) 및 이온발생부(160)의 동작을 제어할 수도 있다.At this time, the jig support part 120 is provided with a detection sensor (not shown), and when it is detected that the carrier jig 10 is seated on the jig support part 120 by the detection sensor (not shown), the control unit according to the detection signal (not shown) may control the operations of the stopper member 140, the elevating member 130, and the ion generator 160.

도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)의 동작 상태를 도시한 것이다.5 to 7 show an operating state of the substrate separation apparatus 100 according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본체부(110)에서 지그 지지부(120)를 사이에 두고 배치되는 제1 스토퍼(141)와 제2 스토퍼(142) 중에, 제1 스토퍼(141)는 스토퍼 구동부(143, 도 4 참조)에 의해 지그 지지부(120)에서 퇴피된 상태로 배치될 수 있으며, 이에 따라 제1 스토퍼(141)와 제2 스토퍼(142) 사이를 통해 지그 지지부(120)에 캐리어지그(10)를 간섭 없이 용이하게 안착시킬 수 있다.Referring to FIG. 5 , among the first stopper 141 and the second stopper 142 disposed on the main body 110 with the jig support 120 interposed therebetween, the first stopper 141 includes a stopper driving unit 143, 4), it can be disposed in a retracted state from the jig support 120, and accordingly, the carrier jig 10 is attached to the jig support 120 through the first stopper 141 and the second stopper 142. can be easily seated without interference.

이때, 지그 지지부(120)에 캐리어지그(10)가 안착되면, 지그 지지부(120)의 상면에 돌출된 복수의 가압돌기(121)가, 캐리어지그(10)에 형성된 복수의 관통공(11, 도 3 및 도 4 참조)에 대응하게 삽입될 수 있으며, 캐리어지그(10)가 지그 지지부(120)의 정위치에 고정될 수 있다.At this time, when the carrier jig 10 is seated on the jig support 120, a plurality of pressing protrusions 121 protruding from the upper surface of the jig support 120, a plurality of through holes 11 formed in the carrier jig 10, 3 and 4), the carrier jig 10 may be fixed in place of the jig support 120.

다음, 도 6을 참조하면, 기판 분리 장치(100)를 동작시키면, 제어부(미도시)의 제어에 따라, 스토퍼 구동부(143, 도 4 참조)가 제1 스토퍼(141)를 지그 지지부(120) 쪽으로 소정 간격 전진시킴으로써, 제1 스토퍼(141)와 제2 스토퍼(142)가 지그 지지부(120)에 안착된 캐리어지그(10)를 걸어 정지시킬 수 있는 상태가 될 수 있다.Next, referring to FIG. 6 , when the substrate separation device 100 is operated, the stopper driving unit 143 (see FIG. 4 ) moves the first stopper 141 to the jig support unit 120 under the control of a control unit (not shown). By advancing toward the predetermined interval, the first stopper 141 and the second stopper 142 can be in a state in which the carrier jig 10 seated on the jig support 120 can be hung and stopped.

더불어, 이온발생부(160)에서는 지그 지지부(120)에 안착된 캐리어지그(10)를 향하여 정전기 제거를 위한 이온을 공급할 수 있다.In addition, the ion generator 160 may supply ions for removing static electricity toward the carrier jig 10 seated on the jig support 120 .

또한, 승강부재(130)의 수직실린더(131)가 동작하여 캐리어지그(10)가 안착된 지그 지지부(120)를 상승시킬 수 있으며, 이 과정에서 제1 및 제2 스토퍼(141,142)의 걸림턱이 상승되는 캐리어지그(10)의 양측면부를 걸어 캐리어지그(10)의 상승을 정지시킬 수 있다.In addition, the vertical cylinder 131 of the elevating member 130 can operate to lift the jig support 120 on which the carrier jig 10 is seated, and in this process, the locking jaws of the first and second stoppers 141 and 142 The lifting of the carrier jig 10 can be stopped by hanging both sides of the rising carrier jig 10 .

이어서, 도 7을 참조하면, 수직실린더(131, 도 4 참조)에 의해 상승되는 지그 지지부(120)의 가압돌기(121)가 정지된 캐리어지그(10)의 관통공(11)을 통해 돌출되면서, 균일한 힘으로 캐리어지그(10)의 상면에 부착된 기판(20)을 가압하여 분리시킬 수 있다.Subsequently, referring to FIG. 7, while the pressing protrusion 121 of the jig support 120 raised by the vertical cylinder 131 (see FIG. 4) protrudes through the through hole 11 of the suspended carrier jig 10, , Pressing the substrate 20 attached to the upper surface of the carrier jig 10 with a uniform force can be separated.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 분리 장치(100)는, 간단한 구성으로 이루어져, 일련의 제어를 통해 캐리어지그(10)에 부착된 기판(20)을 균일한 힘으로 가압하여 안정적으로 분리할 수 있고, 기판 분리 과정이 자동으로 진행됨에 따라 작업 효율이 증대될 수 있으며, 기판(20)의 훼손, 오염 및 불량 등을 억제하여 제품 신뢰성을 향상시킬 수 있다.As described above, the substrate separation device 100 according to the embodiment of the present invention has a simple configuration and presses the substrate 20 attached to the carrier jig 10 with a uniform force through a series of controls. It can be separated stably, work efficiency can be increased as the substrate separation process automatically proceeds, and product reliability can be improved by suppressing damage, contamination, and defects of the substrate 20 .

또한, 캐리어지그(10)로 이온을 공급하여, 기판 분리 과정에서 발생되는 정전기를 제거함으로써 정전기로 인한 기판(20)의 훼손을 방지할 수 있다. In addition, by supplying ions to the carrier jig 10 to remove static electricity generated in the substrate separation process, damage to the substrate 20 due to static electricity can be prevented.

본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것일 뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다.Embodiments of the present invention disclosed in this specification and drawings are only presented as specific examples to easily explain the technical content of the present invention and help understanding of the present invention, and are not intended to limit the scope of the present invention.

따라서 본 발명의 범위는 여기에 개시된 실시 예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상을 바탕으로 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the scope of the present invention should be construed as including all changes or modifications derived based on the technical idea of the present invention in addition to the embodiments disclosed herein.

10 : 캐리어지그 11 : 관통공
20 : 기판 100 : 기판 분리 장치
110 : 본체부 120 : 지그 지지부
121 : 가압돌기 130 : 승강부재
140 : 스토퍼부재 150 : 스토퍼 정렬부
160 : 이온발생부10: carrier jig 11: through hole
20: substrate 100: substrate separation device
110: body part 120: jig support part
121: pressing protrusion 130: lifting member
140: stopper member 150: stopper alignment unit
160: ion generating unit

Claims (8)

표면실장 공정을 위해 캐리어지그의 상면에 부착된 연성회로기판을 분리하는 기판 분리 장치에 있어서,
본체부;
상기 본체부의 상부에 구비되고 상기 캐리어지그가 안착되며, 상면에 상기 캐리어지그에 형성된 복수의 관통공에 대응하게 삽입되는 복수의 가압돌기가 형성된 지그 지지부;
상기 본체부에서 상기 지그 지지부를 승강시키는 승강부재;
상기 본체부에 구비되고, 캐리어지그의 양쪽 측면부를 걸어 정지시킬 수 있는 걸림턱이 형성되어, 상기 걸림턱을 통해, 승강하는 지그 지지부에 안착된 캐리어지그가 일정 높이 이상 상승되는 것을 제한하는 스토퍼부재;
상기 본체부의 상부에 각도 조절 가능하게 구비되어, 상기 캐리어지그를 향하여 정전기 제거를 위한 이온을 공급하는 이온발생부;
상기 지그 지지부에 안착된 캐리어지그를 감지하는 감지센서; 및
상기 감지센서로부터 감지신호를 전송받으면, 기 설정된 제어에 따라 상기 스토퍼부재, 상기 이온발생부 및 상기 승강부재를 동작시키는 제어부를 포함하고,
상기 스토퍼부재는,
상기 본체부에서 상기 지그 지지부를 사이에 두고 양측에 상기 걸림턱이 형성된 형태로 구비되어, 상기 지그 지지부에 안착된 상태로 상승되는 캐리어지그의 양측면부를 걸어 정지시키는 제1 스토퍼와 제2 스토퍼; 및
상기 본체부에 구비되고, 실린더를 통해 상기 제1 스토퍼를 상기 캐리어지그를 걸어 정지시킬 수 있는 위치로 이동시키거나, 그 반대방향으로 퇴피시키는 스토퍼 구동부를 포함하며,
상기 제어부는,
상기 제1 스토퍼가 퇴피된 초기 상태에서, 상기 지그 지지부에 상기 캐리어지그가 안착된 것이 감지되면, 상기 스토퍼 구동부를 동작시켜 상기 제1 스토퍼를 상기 캐리어지그를 걸어 정지시킬 수 있는 위치로 이동시키고,
상기 이온 발생부를 동작시켜 상기 캐리어지그를 향하여 이온을 공급하며, 상기 승강부재를 동작시켜 상기 지그 지지부를 상승시킴으로써, 상기 제1 스토퍼와 제2 스토퍼의 걸림턱에 상기 캐리어지그의 양쪽 측면부가 걸리게 되어 상기 캐리어지그의 상승이 정지되고, 상승되는 상기 지그 지지부의 복수의 가압돌기가 상기 캐리어지그의 복수의 관통공을 통해 돌출되어, 정전기 제거와 동시에 상기 캐리어지그에 부착된 연성회로기판을 가압하여 분리시키는 기판 분리 장치.
In the substrate separation device for separating the flexible printed circuit board attached to the upper surface of the carrier jig for the surface mounting process,
body part;
a jig support provided on an upper portion of the main body, on which the carrier jig is seated, and having a plurality of pressing protrusions formed on an upper surface thereof to correspond to a plurality of through holes formed in the carrier jig;
an elevating member for elevating the jig support from the main body;
It is provided in the main body and has a locking jaw capable of hanging both side parts of the carrier jig to stop it, and through the locking jaw, the carrier jig seated in the elevating jig support part is a stopper member that restricts the lifting of a certain height or more ;
an ion generating unit provided at an upper portion of the main body to be angle-adjustable and supplying ions to remove static electricity toward the carrier jig;
A detection sensor for detecting the carrier jig seated on the jig support; and
A control unit for operating the stopper member, the ion generating unit, and the elevating member according to a predetermined control when receiving a detection signal from the detection sensor;
The stopper member,
A first stopper and a second stopper provided in the main body part in the form of the locking jaws formed on both sides with the jig support part interposed therebetween, and hanging and stopping both side surfaces of the carrier jig that is raised in a state seated on the jig support part; and
It is provided in the main body and includes a stopper driving unit that moves the first stopper through a cylinder to a position where the carrier jig can be hung and stopped, or retracted in the opposite direction,
The control unit,
In the initial state in which the first stopper is retracted, when it is detected that the carrier jig is seated on the jig support part, the stopper driver is operated to move the first stopper to a position where the carrier jig can be hung and stopped,
By operating the ion generating unit to supply ions toward the carrier jig, and by operating the elevating member to raise the jig support, both side surfaces of the carrier jig are caught on the engaging jaws of the first stopper and the second stopper, The lifting of the carrier jig is stopped, and a plurality of pressing protrusions of the rising jig support protrude through the plurality of through holes of the carrier jig to remove static electricity and simultaneously press and separate the flexible printed circuit board attached to the carrier jig. substrate separation device.
 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 스토퍼부재는,
상기 제1 스토퍼가 정렬된 상태로 이동하도록 가이드하는 스토퍼 정렬부를 더 포함하는 기판 분리 장치.
According to claim 1,
The stopper member,
The substrate separation device further comprises a stopper aligning unit for guiding the first stopper to move in an aligned state.
 제 4항에 있어서,
상기 스토퍼 정렬부는,
상기 제1 스토퍼의 하부에 수평하게 결합되고, 상기 본체부의 내측에 배치되는 가이드편; 및
상기 본체부 내측에서 구비되고, 상기 제1 스토퍼를 따라 이동하는 상기 가이드편이 대응하게 삽입되어, 상기 실린더의 로드에 결합된 상기 제1 스토퍼의 틀어짐 또는 회전을 억제하는 정렬가이드를 포함하는 기판 분리 장치.
According to claim 4,
The stopper alignment unit,
a guide piece coupled horizontally to a lower portion of the first stopper and disposed inside the main body; and
Substrate separation device including an alignment guide provided inside the main body and correspondingly inserted into the guide piece moving along the first stopper to suppress twisting or rotation of the first stopper coupled to the rod of the cylinder .
 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 가압돌기는,
높이가 캐리어지그의 두께에 비해 높게 형성되고, 상기 기판을 가압하는 끝단이 평평하게 형성되는 기판 분리 장치.According to claim 1,
The pressure protrusion,
A substrate separation device having a height higher than the thickness of the carrier jig and a flat end pressing the substrate.
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