JP2001042010A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP2001042010A
JP2001042010A JP11219959A JP21995999A JP2001042010A JP 2001042010 A JP2001042010 A JP 2001042010A JP 11219959 A JP11219959 A JP 11219959A JP 21995999 A JP21995999 A JP 21995999A JP 2001042010 A JP2001042010 A JP 2001042010A
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data
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semiconductor integrated
logic circuit
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Mamoru Mukono
守 向野
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Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体集積回路において、半導体集積回路に
あっては、限られたI/O端子を有効に活用してスキャ
ンテスト機能を実現すること。 【解決手段】 データ入力部PI0〜PIiとスキャンデ
ータ入力部SI0〜SIiとを共用入力部SPI0〜SP
iとして共用し、スキャンテストにおいて、スキャン
テスト信号を、スキャンデータ入力端子TI0〜TIi
ら共用入力部SPI 0〜SPIiに入力する。更に、デー
タ入力部PIi+1〜PInと論理回路部2との間に、それ
ぞれスキャン入力用セル11i+1〜11nを介挿する。こ
のスキャン入力用セル11は、スキャンテストモードに
おいてシリアルスキャンレジスタ14の一部を構成する
SFF12を内蔵している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、スキャンテスト機
能を備えた半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路の大規模化、複雑化に伴
って、半導体集積回路のテストが非常に困難になってき
ており、従来のような回路外部からの機能テストのみで
はテストベクトルの量が膨大なものとなり、テストベク
トルの発生時間の増加のみならず、量産時のLSIテス
タ使用時間の著しい増加を招いている。尚、ここで言う
テストには、半導体集積回路の信頼性試験(初期不良を
取り除くバーンイン試験等)も含まれている。
【0003】信頼性試験では、半導体集積回路の内部回
路を動作させる必要があり、ここでもテストパターンを
与えるために、LSIテスタを使用しなくてはならな
い。これらの問題は、製品コストに多大な影響を及ぼし
ており、より深刻な問題となりつつある。
【0004】これらの問題への有効な対策として、テス
ト容易化設計が盛んに用いられており、中でも短時間で
テストを済ませることができることから、スキャンテス
トと呼ばれる手法が用いられることが多い。
【0005】スキャンテストは、半導体集積回路内部の
フリップフロップにスキャン機能の付加を行ない、シリ
アルな接続経路を設け、スキャンモード時にはデータが
順次転送されるようにする(これをスキャン動作可能と
いう)ことにより、これらのフリップフロップを外部か
ら制御及び観測できるようにするテスト手法である。
【0006】このスキャンテストにより、半導体集積回
路内のフリップフロップを疑似的な外部端子と見做すこ
とができ、その半導体集積回路はあたかも小規模なLS
Iの集合であるように見做すことができる。一般に、テ
ストデータ生成の困難度(必要なCPUコスト)は回路
規模の2乗〜3乗に比例するため、スキャンテストによ
り小規模に切り分けられたLSIに対するテストデータ
の生成は飛躍的に容易となり、結果として半導体集積回
路全体のテストも容易になる。また、このスキャン化の
作業は、ルーチン化がしやすく、CAT(Computer Aid
ed Testing)ツールを活用することにより容易に行なえ
ることもその特長である。
【0007】例えば、特開平11−108998号公報
に記載されているスキャンテスト手法を図5に基づいて
説明する。
【0008】図5は本従来技術における半導体集積回路
を簡略化したブロック回路図である。図5において、チ
ップ101上には、RAM102、CPU103、被テ
スト回路としてのユーザロジック104およびこれ等を
相互に接続する内部バス105が設けられている。外部
バスインタフェースユニット106は、内部バス105
を入出力端子107に接続され、CPU103から外部
RAM(図示せず)へのアクセス用、あるいは外部から
内部バスを使用してユーザロジック又はRAM102へ
のアクセス用に用いられる。。
【0009】ユーザロジック104は、通常のデータの
授受を行う入出力端子108、ユーザロジック104に
対してスキャンクロックを供給するスキャンクロック端
子109、ユーザロジック104のスキャンデータ入力
端子110、ユーザロジック104のスキャンデータ出
力端子111は、ユーザロジック104のスキャンイネ
ーブル端子112を有している。
【0010】テスタ装置113は入出力端子108およ
び各端子109〜112に接続されている。
【0011】このような構成において、ユーザロジック
104のテストを容易にするために、ユーザロジック1
04の内部FF(スキャンフリップフロップ)は、スキ
ャン手法を用いて読み出し/書き込み可能に構成されて
いる。
【0012】そして、スキャンテストモードにおいて、
回路内部のスキャンフリップフロップをすべて数珠つな
ぎにして、スキャンクロック端子109より入力したス
キャンクロックで、上記フリップフロップをシフトレジ
スタとして動作させ、テストデータをスキャンデータ入
力端子110より入力し、その動作内容をスキャンデー
タ出力端子111よりアクセスする。これによって、内
部回路をすべて組み合わせ回路として取扱うことがで
き、自己診断機能を実現する。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】従来のスキャンテスト
回路を内蔵した半導体集積回路にあっては、上述したと
おりスキャンテストを実行するために、新たにスキャン
データ入力端子110、スキャンデータ出力端子111
およびスキャンイネーブル端子112が必要である(ス
キャンクロックは他のクロック信号と共用できる)。
【0014】しかしながら、スキャンテスト回路を適用
する前の半導体集積回路は様々であり、入出力端子が多
い回路にスキャンテスト回路を適用した場合、この半導
体集積回路を内蔵するLSIチップの限られたI/O端
子が足りなくなる危惧がある。
【0015】本発明は、スキャンテスト回路を適用した
半導体集積回路において、斯かる問題点を解消すること
をその目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の半導体
集積回路は、スキャンテスト時にスキャンデータパスに
組み込まれる複数のスキャンフリップフロップを備えた
スキャンテスト対象の論理回路部と、この論理回路部に
データを入力するためのデータ入力部と、このデータ入
力部と前記論理回路部との間に接続されたスキャン入力
用セルと、このスキャン入力用セルに内蔵され、スキャ
ンテスト時に前記スキャンデータパスの一部を構成する
第2スキャンフリップフロップとを備え、スキャンテス
ト信号を、前記データ入力部から前記スキャンデータパ
スに入力するよう構成したことをその要旨とする。
【0017】請求項2に記載の半導体集積回路は、スキ
ャンテスト時にスキャンデータパスに組み込まれる複数
のスキャンフリップフロップを備えたスキャンテスト対
象の論理回路部と、この論理回路部にデータを入力する
ための複数のデータ入力部と、このデータ入力部の内の
いずれかの入力部と前記論理回路部との間に接続された
スキャン入力用セルと、このスキャン入力用セルに内蔵
され、スキャンテスト時に前記スキャンデータパスの一
部を構成する第2スキャンフリップフロップとを備え、
スキャンテスト信号を、前記データ入力部から前記スキ
ャンデータパスに入力するよう構成したことをその要旨
とする。
【0018】請求項3に記載の半導体集積回路は、スキ
ャンテスト時にスキャンデータパスに組み込まれる複数
のスキャンフリップフロップを備えたスキャンテスト対
象の論理回路部と、この論理回路部にデータを入力する
ための複数のデータ入力部と、このデータ入力部の内の
いずれかの入力部と前記論理回路部との間に接続された
スキャン入力用セルと、このスキャン入力用セルに内蔵
され、スキャンテスト時に前記スキャンデータパスの一
部を構成する第2スキャンフリップフロップとを備え、
それぞれ独立したスキャンテスト信号を、前記データ入
力部の内、複数の入力部から、前記論理回路部内の異な
るスキャンデータパスに入力するよう構成したことをそ
の要旨とする。
【0019】請求項4に記載の半導体集積回路は、請求
項1乃至3のいずれか1項に記載の発明において、前記
スキャン入力用セルは、前記データ入力部からの信号と
前記第2スキャンフリップフロップからの信号とを選択
的に前記論理回路部に伝達する第1選択回路を有するこ
とをその要旨とする。
【0020】請求項5に記載の半導体集積回路は、請求
項1乃至4のいずれか1項に記載の発明において、前記
論理回路部からデータを出力するための複数のデータ出
力部と、このデータ出力部に接続されたスキャン出力用
セルと、このスキャン出力用セルに内蔵され、スキャン
テスト時に前記スキャンデータパスの一部を構成する第
3スキャンフリップフロップとを備えたことをその要旨
とする。
【0021】請求項6に記載の半導体集積回路は、請求
項1乃至4のいずれか1項に記載の発明において、前記
論理回路部からデータを出力するための複数のデータ出
力部と、このデータ出力部からの信号と前記スキャンデ
ータパスからの信号とを選択的に出力する第2選択回路
とを備えたことをその要旨とする。
【0022】請求項7に記載の半導体集積回路は、請求
項5又は6に記載の発明において、前記スキャン出力用
セルと第2選択回路とを前記複数のデータ出力部に対し
併用したことをその要旨とする。
【0023】請求項8に記載の半導体集積回路は、請求
項1乃至7のいずれか1項に記載の半導体集積回路を複
数備え、各半導体集積回路とスキャンテスト信号の入力
用端子とを共通の第1データバスで接続したことをその
要旨とする。
【0024】請求項9に記載の半導体集積回路は、請求
項5乃至7のいずれか1項に記載の半導体集積回路を複
数備え、各半導体集積回路とスキャンデータパスからの
信号の出力用端子とを共通の第2データバスで接続した
ことをその要旨とする。
【0025】
【発明の実施の形態】本発明を具体化した実施形態を図
面に基づいて説明する。
【0026】図1は、本第1実施形態に係るLSI1の
全体構成を示すブロック回路図である。図1において、
LSI1は、スキャンデータ入力端子TI0〜TIiと、
スキャンデータ出力端子TO0〜TOiと、クロック端子
CLKと、スキャンイネーブル端子SEと、通常データ
の入力端子INと、通常データの出力端子OUTとを備
えている。そして、これらの各端子は、図示しないがL
SI1のI/O端子から引き出されている。尚、LSI
1が本発明における「半導体集積回路」に相当し、スキ
ャンデータ入力端子TI0〜TIiが本発明における「ス
キャンテスト信号の入力用端子」に相当し、スキャンデ
ータ出力端子TO0〜TOiが本発明における「スキャン
データパスからの信号の出力用端子」に相当する。
【0027】LSI1の内部には、それぞれブロック化
された半導体集積回路ブロック1a…(以下、回路ブロ
ックという)が設けられ、各回路ブロック1a…とスキ
ャンデータ入力端子TI0〜TIiおよびスキャンデータ
出力端子TO0〜TOiとは、データバスBUSin,BU
outにより接続されている。尚、半導体集積回路ブロ
ック1aが本発明における「半導体集積回路」に相当
し、データバスBUSinが本発明における「第1データ
バス」に相当し、データバスBUSoutが本発明におけ
る「第2データバス」に相当する。
【0028】図2は、回路ブロック1aの構成を示すブ
ロック回路図である。
【0029】図2において、回路ブロック1aは、スキ
ャンテスト対応の論理回路部2と、この論理回路部2に
データを入力するためのデータ入力部PI0〜PInと、
論理回路部2からデータを出力するためのデータ出力部
PO0〜POmと、クロック入力部CLKinと、スキャン
データ出力部SO0〜SOiとを備えている。尚、データ
入力部PI0〜PInには入力端子IN又は前段の回路ブ
ロック1aの出力が接続され、データ出力部PO0〜P
mには後述するマルチプレクサやスキャン出力用セル
を介して後段の回路ブロック1a又は出力端子OUTが
接続され、クロック入力部CLKinにはクロック入力端
子CLKが接続されている。
【0030】論理回路部2は、各種組合せ論理回路(図
示略)やこれら組合せ論理回路にデータを転送するため
の多数のスキャンフリップフロップ(SFF)を備えて
いる。尚、図2では、代表的なSFF3〜SFF10の
みを示している。
【0031】更に、回路ブロック1aにおいて、データ
入力部PI0〜PInの内、入力部PI0〜PIiは、スキ
ャンデータ入力部SI0〜SIiとしても共用されている
(以下、入力部PI0〜PIiを共用入力部SPI0〜S
PIiという)。この共用入力部SPI0〜SPIiには
スキャンデータ入力端子TI0〜TIiが接続されてい
る。
【0032】また、データ入力部PI0〜PInの内、入
力部PIi+1〜PInは、それぞれスキャン入力用セル1
1(スキャン入力用セル11i+1〜11n)を介して論理
回路部2に接続されている。
【0033】図3は、スキャン入力用セル11の内部構
成を示したブロック図である。図3において、スキャン
入力用セル11は、SFF12とマルチプレクサ(MU
X)13とを内蔵している。MUX13は、通常はデー
タ入力部PIi+1〜PInからの出力を選択し、スキャン
イネーブル信号SEが入力されると(スキャンテストモ
ードに入ると)、SFF13からの出力を選択して論理
回路部2に入力する。尚、SFF12が本発明における
「第2スキャンフリップフロップ」に相当し、MUX1
3が本発明における「第1選択回路」に相当する。
【0034】スキャン入力用セル11i+1〜11nの各S
FF12(SFF12i+1〜12n)は、スキャンテスト
モードにおいて、論理回路部2内の所定のSFF3〜1
0と共にチェーン結合されてシリアルシフトレジスタ1
4として機能するようになる。チェーン結合において、
SFF12i+1〜12n,SFF3〜10はどのような順
番で結合されても良いが、ここでは、SFF12i+1
チェーン結合の最初とする。
【0035】本実施形態にあっては、スキャンテストモ
ードにおいて、データ入力端子SPI0の信号が、SF
F12i+1のスキャンデータ入力端子SIに入力され、
データ入力端子SPI1〜SPIiの信号は、論理回路部
2に直接入力されて、論理回路部2内にそれぞれ独立し
て形成されたシリアルシフトレジスタに入力され、スキ
ャンテスト用に供される。
【0036】さて、図1において、論理回路部2からの
データ出力部PO0〜POmの内、出力部PO0〜POi
スキャンデータ出力部SO0〜SOiとは、それぞれMU
X150〜MUX15iを介して、データ出力端子TO0
〜TOi又は後段の論理回路ブロック1aに接続されて
いる。すなわち、MUX150〜MUX15iは、通常動
作においては、データ出力部PO0〜POiを選択し、ス
キャンイネーブル信号SEが立ち上がると(スキャンテ
ストモードに入ると)、スキャンデータ出力信号SO0
〜SOiからの信号を選択する。尚、MUX15が本発
明における「第2選択回路」に相当する。
【0037】一方、論理回路部2からのデータ出力部P
i+1〜POmは、後段の論理回路ブロック1aに接続さ
れていると共に、それぞれスキャン出力用セル16(ス
キャン入力用セル16i+1〜16n)が接続されている。
【0038】図4は、スキャン出力用セル16の内部構
成を示したブロック図である。図4において、スキャン
出力用セル16は、SFF17とMUX18とを内蔵し
ている。MUX18は、通常はデータ出力部POi+1
POmを選択し、スキャンイネーブル信号SEが入力さ
れると(スキャンテストモードに入ると)、論理回路部
2からのシリアルシフトレジスタ14の信号を選択し、
SFF17に入力する。
【0039】SFF17(SFF17i+1〜17n)は、
スキャンテストモードにおいて、チェーン結合されてシ
リアルシフトレジスタ14の一部として機能するように
なる。チェーン結合において、SFF12i+1〜12n
SFF3〜10,SFF17 i+1〜17nはどのような順
番で結合されても良いが、ここでは、SFF17nがチ
ェーン結合の最後とする。本実施形態では、SFF17
nからのスキャン出力信号が、スキャン出力部SI0に出
力される。尚、シリアルシフトレジスタ14の出力経路
が本発明における「スキャンデータパス」に相当し、S
FF17が本発明における「第3スキャンフリップフロ
ップ」に相当する。
【0040】クロック信号端子CLKとスキャンイネー
ブル端子SEとは、各SFFに共通接続される。
【0041】斯かる構成において、スキャンテストモー
ドにおける動作を以下に説明する。
【0042】スキャンテストモードにおいては、スキャ
ンイネーブル端子SEの信号を立ち上げて、SFF12
i+1〜12n,SFF3〜10,SFF17i+1〜17n
チェーン結合されてシリアルシフトレジスタ14として
機能するようになる。
【0043】そして、スキャンイン機能を利用して、ス
キャン入力端子TI0から共通入力部SI0を介してスキ
ャンテスト信号を入力し、シリアルシフトレジスタ14
を構成する全てのSFFの内部状態を設定する。このう
ち、SFF3〜10に設定されたデータが1つのテスト
パターン(テストデータ)に相当する。
【0044】次に、スキャンイネーブル端子SEの信号
を立ち下げて、SFF12i+1〜12n,SFF3〜1
0,SFF17i+1〜17nのチェーン結合を一旦解消
し、論理回路部2内のスキャンテスト対象組み合わせ回
路を通常動作させて、その動作結果をシリアルシフトレ
ジスタ14に取り込むと共にデータ出力部PO0〜POi
からのデータの期待値比較を行う。
【0045】この時、共用入力部SPI0〜SPIi
は、スキャンデータ入力端子TI0〜TIiからデータを
入力すれば良く、新たにデータ入力部PI0〜PIiから
データを入力する必要が無い。
【0046】また、SFF12i+1〜12n内には既にデ
ータがセットされているので、新たにデータ入力部PI
i+1〜PInからデータを入力する必要が無い。
【0047】そして、再びスキャンイネーブル端子SE
の信号を立ち上げて、SFF12i+ 1〜12n,SFF3
〜10,SFF17i+1〜17nをチェーン結合させ、ス
キャンアウト機能を利用してスキャンデータ出力部SO
OからMUX150を介してスキャンデータ出力端子TO
0から外部に取り出して、期待値と比較する。この一連
の動作を、ATPG(Automatic Test Pattern Generat
or)と呼ばれるCATツールによって生成されたテスト
データについて行なうことにより、論理回路部2内の組
合せ論理回路がテストされる。
【0048】尚、データ入力信号(スキャンデータ入力
信号)SP1〜SPIiに基づくスキャンテスト動作は、
従来と同様であるのでここでは説明を省略する。
【0049】以上に説明した本実施形態のLSI1及び
回路ブロック1aにあっては、以下のとおりの作用効果
を奏する。
【0050】(1)データ入力部PI0〜PIiとスキャ
ンデータ入力部SI0〜SIiとを共用入力部SPI0
SPIiとして共用し、スキャンテストにおいて、スキ
ャンテスト信号を、スキャンデータ入力端子TI0〜T
iから共用入力部SPI0〜SPIiに入力するように
しているので、スキャンテストにおいて、新たにデータ
入力部PI0〜PI1からデータを入力する必要が無い。
その結果、新たなデータ入力のためのI/O端子を必要
とせず、LSI1の限られたI/O端子が不足する心配
が無くなる。
【0051】(2)データ入力部PIi+1〜PInと論理
回路部2との間に、それぞれスキャン入力用セル11
i+1〜11nを介挿したので、スキャンテストモードにお
いて、論理回路部2内のスキャンテスト対象組み合わせ
回路を通常動作させる際、予めSFF12i+1〜12n
にデータをセットさせることができ、データ入力部PI
i+1〜PInから、新たにデータを入力する必要が無い。
その結果、新たなデータ入力のためのI/O端子を必要
とせず、LSI1の限られたI/O端子が不足する心配
が無くなる。
【0052】(3)各回路ブロック1a…において、ス
キャンテスト入力端子TI0〜TIiを等しくすること
で、データバスBUSinの幅を一定にすることができ、
このデータバスBUSinに対する回路の結線を簡便に行
うことができる。
【0053】(4)各回路ブロック1a…において、ス
キャンテスト出力端子T00〜T0iを等しくすること
で、データバスBUSoutの幅を一定にすることがで
き、このデータバスBUSoutに対する回路の結線を簡
便に行うことができる。
【0054】(5)図5に示すとおり、SFF12i+1
〜12n,SFF3〜10,SFF17i+1〜17nは、
ランダムな順番でチェーン結合することが可能である。
従って、レイアウト配置上での配線効率を高めることが
できる。
【0055】(6)データ出力部PO0〜POiとスキャ
ンデータ出力部SO0〜SOiとからの信号をMUX15
0〜15iにより選択的に出力するようにし、スキャンテ
ストにおいて、スキャンテスト結果の信号を、スキャン
データ出力端子TO0〜TOiから取り出すようにしてい
るので、スキャンテストにおいて、新たにデータ出力部
PO0〜PO1からデータを取り出す必要が無い。その結
果、新たにデータを取り出すためのI/O端子を必要と
せず、LSI1の限られたI/O端子が不足する心配が
無くなる。
【0056】(7)データ出力部POi+1〜POmと論理
回路部2との間に、それぞれスキャン出力用セル16
i+1〜16nを介挿したので、スキャンテストモードにお
いて、論理回路部2内のスキャンテスト対象組み合わせ
回路を通常動作させた時の結果を、SFF17i+1〜1
n内にデータをセットさせることができ、データ出力
部POi+1〜POmから、新たにデータを入力する必要が
無い。その結果、新たにデータを取り出すためのI/O
端子を必要とせず、LSI1の限られたI/O端子が不
足する心配が無くなる。
【0057】以上の実施形態においては、以下のとおり
変更することも可能で、その場合であっても同等又はそ
れ以上の効果を奏することができる。
【0058】(イ)共用入力部SPI1〜SPIiに基づ
くスキャンテスト動作を、共用入力部SPI0に基づく
スキャンテスト動作と同様に、スキャン入力用セル11
やスキャン出力用セル16を介して行う。
【0059】(ロ)スキャンテスト入力端子TI0〜T
iとスキャンテスト出力端子TO0〜TOiとの数を異
ならせる。
【0060】(ハ)共用入力部SPI0〜SPIiの数
は、回路全体のタイミング等を考慮して、適宜設計時に
設定すれば良い。
【0061】
【発明の効果】本発明の半導体集積回路にあっては、限
られたI/O端子を有効に活用してスキャンテスト機能
を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を具体化した実施形態におけるLSIの
全体構成を示すブロック回路図である。
【図2】本発明を具体化した実施形態における半導体集
積回路ブロックのブロック回路図である。
【図3】実施形態における半導体集積回路のスキャン入
力用セルの構成図である。
【図4】実施形態における半導体集積回路のスキャン出
力用セルの構成図である。
【図5】実施形態におけるチェーン結合の変形例を示す
図である。
【図6】従来例におけるスキャンテスト機能を備えた半
導体集積回路のブロック図である。
【符号の説明】
1 LSI 1 半導体集積回路ブロック 2 論理回路部 3〜10,12,17 スキャンフリップフロップ 11 スキャン入力用セル 13,15 MUX 14 シリアルシフトレジスタ 16 スキャン出力用セル TI0〜TI1 スキャンデータ入力端子 TO0〜TOi スキャンデータ出力端子 SPI0〜SPI1 共用入力部 PIi+1〜SPIn データ入力部 PO0〜POm データ出力部 CLK クロック端子 SE スキャンイネーブル端子

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スキャンテスト時にスキャンデータパス
    に組み込まれる複数のスキャンフリップフロップを備え
    たスキャンテスト対象の論理回路部と、この論理回路部
    にデータを入力するためのデータ入力部と、このデータ
    入力部と前記論理回路部との間に接続されたスキャン入
    力用セルと、このスキャン入力用セルに内蔵され、スキ
    ャンテスト時に前記スキャンデータパスの一部を構成す
    る第2スキャンフリップフロップとを備え、スキャンテ
    スト信号を、前記データ入力部から前記スキャンデータ
    パスに入力するよう構成したことを特徴とする半導体集
    積回路。
  2. 【請求項2】 スキャンテスト時にスキャンデータパス
    に組み込まれる複数のスキャンフリップフロップを備え
    たスキャンテスト対象の論理回路部と、この論理回路部
    にデータを入力するための複数のデータ入力部と、この
    データ入力部の内のいずれかの入力部と前記論理回路部
    との間に接続されたスキャン入力用セルと、このスキャ
    ン入力用セルに内蔵され、スキャンテスト時に前記スキ
    ャンデータパスの一部を構成する第2スキャンフリップ
    フロップとを備え、スキャンテスト信号を、前記データ
    入力部から前記スキャンデータパスに入力するよう構成
    したことを特徴とする半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 スキャンテスト時にスキャンデータパス
    に組み込まれる複数のスキャンフリップフロップを備え
    たスキャンテスト対象の論理回路部と、この論理回路部
    にデータを入力するための複数のデータ入力部と、この
    データ入力部の内のいずれかの入力部と前記論理回路部
    との間に接続されたスキャン入力用セルと、このスキャ
    ン入力用セルに内蔵され、スキャンテスト時に前記スキ
    ャンデータパスの一部を構成する第2スキャンフリップ
    フロップとを備え、それぞれ独立したスキャンテスト信
    号を、前記データ入力部の内、複数の入力部から、前記
    論理回路部内の異なるスキャンデータパスに入力するよ
    う構成したことを特徴とした半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 前記スキャン入力用セルは、前記データ
    入力部からの信号と前記第2スキャンフリップフロップ
    からの信号とを選択的に前記論理回路部に伝達する第1
    選択回路を有することを特長とした請求項1乃至3のい
    ずれか1項に記載の半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 前記論理回路部からデータを出力するた
    めの複数のデータ出力部と、このデータ出力部に接続さ
    れたスキャン出力用セルと、このスキャン出力用セルに
    内蔵され、スキャンテスト時に前記スキャンデータパス
    の一部を構成する第3スキャンフリップフロップとを備
    えたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に
    記載の半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 前記論理回路部からデータを出力するた
    めの複数のデータ出力部と、このデータ出力部からの信
    号と前記スキャンデータパスからの信号とを選択的に出
    力する第2選択回路とを備えたことを特徴とする請求項
    1乃至4のいずれか1項に記載の半導体集積回路。
  7. 【請求項7】 前記スキャン出力用セルと第2選択回路
    とを前記複数のデータ出力部に対し併用したことを特徴
    とする請求項5又は6に記載の半導体集積回路。
  8. 【請求項8】 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の
    半導体集積回路を複数備え、各半導体集積回路とスキャ
    ンテスト信号の入力用端子とを共通の第1データバスで
    接続したことを特徴とする半導体集積回路。
  9. 【請求項9】 請求項5乃至7のいずれか1項に記載の
    半導体集積回路を複数備え、各半導体集積回路とスキャ
    ンデータパスからの信号の出力用端子とを共通の第2デ
    ータバスで接続したことを特徴とする半導体集積回路。
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