JP2001033229A - 非接触流体測定装置 - Google Patents

非接触流体測定装置

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JP2001033229A JP11210275A JP21027599A JP2001033229A JP 2001033229 A JP2001033229 A JP 2001033229A JP 11210275 A JP11210275 A JP 11210275A JP 21027599 A JP21027599 A JP 21027599A JP 2001033229 A JP2001033229 A JP 2001033229A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 幅広な長尺物で、厚さの薄いシートやテープ
のような被測定物の重量や厚さなどの測定を非接触で行
える非接触流体測定装置を提供する。 【解決手段】 被測定物2を、一定圧力に保持されたフ
ロータ3の上面に浮揚させてその重量や厚さの測定を行
えるもので、フロータ3の上面の被測定物2に向かって
吐出孔5,6から空気が噴出し、被測定物2に当接して
転向した空気が背圧検出孔7に流入すると、圧力センサ
8で、この背圧検出孔7の空気圧力、即ち、被測定物2
が流体を介して及ぼす押圧力を、被測定物2の重量や厚
さに変換処理するようにしたもので、当該押圧力が被測
定物21の重量や厚さと一定の関係があることから、そ
の演算表示器11で、この押圧力に基づく圧力信号を演
算処理することにより、被測定物2の重量や厚さを非接
触で測定できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、シートやテープな
どのようなフィルム状の被測定物を浮揚させて、例えば
その重量や厚さ、或いは張力などの測定を非接触で行え
る非接触流体測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、例えば被測定物の厚さを非接
触で行える非接触流体測定装置として空気マイクロメー
タがある。かかる空気マイクロメータは、周知のよう
に、一定圧力の空気が絞りノズルを介して絶えず圧力指
示室に送り込まれ、送り込まれた空気が、この圧力指示
室にゴム管などで繋がれた測定部において、被測定物と
の間で形成されるスキマから大気中に流出しており、こ
の流出する空気の流量の変化に基づいて被測定物の厚さ
を測定しようとするものである。また、従来から被測定
物の張力を測定する装置としては、図13に示すような
装置がある。かかる装置200は、巻出し機201と巻
取り(図示せず)との間の適宜位置に配設されて被測定
物202の張力を検知することができるもので、円筒ロ
ーラ203の回転軸が軸受204に軸支されるととも
に、被測定物202が円筒ローラ203との間で適宜な
抱角を形成すべく、円筒ローラ203に隣接して同図の
ように前ローラ205及び後ローラ206がそれぞれ配
設される一方、上記軸受204には、円筒ローラ203
の回転軸を介して被測定物202からの押圧力を検知で
きるように圧力センサ(図示せず)が取り付けられてお
り、この圧力センサからの信号に基づいて演算表示器2
07が、上記押圧力を被測定物202の張力に変換処理
することにより、被測定物202に加えられている張力
を測定できるようにしたものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、幅広な
長尺物で、厚さの薄いシートやテープのような被測定物
の厚さを測定する場合、上述のような空気マイクロメー
タは、その測定原理が空気流量の変化に基づくものであ
るために不適であり、しかも、被測定物の複数箇所の厚
さを測定するとき、また、移送中の被測定物の厚さを測
定するときなどは極めて困難であるという問題がある。
また、上述のような被測定物の張力を測定する場合、従
来から図13にあるような所謂接触形の測定装置、即
ち、被測定物が円筒ローラに接触することで押圧力を検
知できるようにした測定装置が用いられており、このた
め、被測定物が円筒ローラに接触することによって被測
定物にキズや損傷が生じ易くなることは言うまでもな
く、円筒ローラ等の機械振動が被測定物に直接伝わるた
めに、測定誤差が生じ易く、また、円筒ローラに慣性質
量があるために、測定張力に基づくフィードバック制御
を行う際の高速応答性に欠けるという不具合がある。
【0004】本発明の目的は、幅広な長尺物で、厚さの
薄いシートやテープのような被測定物の重量や厚さなど
の測定を非接触で行える非接触流体測定装置を提供する
ことにある。また、本発明の目的は、幅広な長尺物で、
厚さの薄いシートやテープのような被測定物の張力の測
定を非接触で行える非接触流体測定装置を提供すること
にある。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の請求項1に係る非接触流体測定装置は、シ
ートやテープなどのようなフィルム状の被測定物を流体
圧縮室の上面に浮揚させて所要の測定を行う測定装置
で、流体圧縮室の上面に、被測定物に向かって噴出す
る、空気などの流体の吐出孔を複数穿設するとともに、
被測定物に当接して転向した流体の背圧検出孔を一つ又
は二以上穿設し、この背圧検出孔の流体圧力を、被測定
物が流体を介して及ぼす押圧力として検知する圧力セン
サを設けてなるものである。本装置は、上述のような空
気マイクロメータの測定原理に基づくものではなく、被
測定物が流体を介して及ぼす押圧力の検知に基づくもの
であり、被測定物、とりわけ幅広な長尺物で、厚さの薄
いシートやテープのようなフィルム状物の重量や厚さな
どの測定を非接触で行う場合に最適である。上記背圧検
出孔、及びこれに対応させた圧力センサを、複数個配設
されるようにして、これらから個別にその圧力信号を取
り出したり、或いは、個別に取り出されたその圧力信号
から平均値を算出したりして、被測定物の重量や厚さな
どの測定をしてもよい。ところで、上記吐出孔や背圧検
出孔は、アルミや鋼板の流体圧縮室に穴加工して穿設さ
れるものに限らず、流体圧縮室の上面が焼結金属板や多
孔質金属板、多孔質合成樹脂板などである場合には、上
述のような穴加工を施す必要はない。また、上記圧力セ
ンサは、微圧、低圧を検知できるものであれば特に限定
されないが、請求項2に係る装置が備えたセンサで構成
されるようにしたもの、或いは、例えば、陽極接合によ
りセンサ専用ガラス(セラミック)をシリコンダイアフ
ラムと結合させ、当該ダイアフラムに半導体歪ゲージを
配置した半導体センサで構成されるようにしたものであ
ってもよい。
【0006】また、本発明の請求項2に係る非接触流体
測定装置は、圧力センサが、背圧検出孔に連通する、流
体圧縮室に固定ネジ等で固着された受圧チャンバと、こ
の受圧チャンバに取り付けられた、ホースやチューブな
どの流体伝送手段とを備え、この流体伝送手段によって
繋がれた演算表示器で、被測定物が流体を介して及ぼす
押圧力を被測定物の重量や厚さなどの測定値に変換処理
してなるものであり、演算表示器に流体伝送手段を介し
て流体が導かれる構造をなすものであり、かかる構造に
することにより、引火性の強い溶剤などを塗布した被測
定物に対し、電気的ショートに起因する暴爆を防止でき
る点で極めて有効である。本装置においては、受圧チャ
ンバを介さずに背圧検出孔に流体伝送手段を直接取り付
けてもよい。
【0007】また、本発明の請求項3に係る非接触流体
測定装置は、吐出孔からの流体の噴出方向を水平台に平
行にして、上述の圧力センサが、被測定物が流体を介し
て及ぼす押圧力を水平台に置かれた被測定物を押す力に
変換処理するようにしたもので、接触を嫌う被測定物の
移送に要する押圧力の測定に最適であり、また、非接触
で被測定物を移送させるためのアクチュエータとして利
用できる。
【0008】また、本発明の請求項4に係る非接触流体
測定装置は、流体圧縮室を一対として、それらの吐出孔
が被測定物を隔てて対向するように配設される場合、上
述の圧力センサが、被測定物が流体を介して及ぼす押圧
力を被測定物の厚さに変換処理してなるもので、対向す
る吐出孔間のスキマに被測定物を通過させると、被測定
物が流体を介して圧力センサに押圧力を及ぼすが、この
押圧力が被測定物の厚みに応じて変化するので、かかる
押圧力に基づく圧力信号を各圧力センサで検知して、こ
れらを演算処理すれば、被測定物の厚みを測定できる。
【0009】また、本発明の請求項5に係る非接触流体
測定装置は、被測定物が所要の抱角でガイドローラに巻
回されている場合、吐出孔が穿設されている部位を上記
抱角に対応する円弧に形成し、上述の圧力センサが、被
測定物が流体を介して及ぼす押圧力を被測定物の厚さに
変換処理してなるもので、請求項4に係る装置の場合に
準じて、上記押圧力を各圧力センサで検知して演算処理
すれば、被測定物の厚みを測定できる。本装置は、ガイ
ドローラに巻回されている被測定物の厚さを、ガイドロ
ーラのような円筒面上で非接触で測定できるという特徴
がある。
【0010】また、本発明の請求項6に係る非接触流体
測定装置は、シートやテープなどのフィルム状の被測定
物を流体圧縮室の上面に浮揚させて所要の測定を行う測
定装置で、流体圧縮室の上面の、被測定物との間で形成
される抱角に対応する円弧部位に、被測定物に向かって
噴出する、空気などの流体の吐出孔を複数穿設するとと
もに、被測定物に当接して転向した流体の背圧検出孔を
一つ又は二以上穿設し、この背圧検出孔の流体圧力を、
被測定物が流体を介して及ぼす押圧力に対する被測定物
の張力として検知する張力センサを設けてなるものであ
る。本装置は、被測定物のうち、幅広な長尺物で、厚さ
の薄いシートやテープのようなフィルム状物の張力測定
を非接触で行う場合に最適であり、後に詳述する非接触
180度張力測定装置や非接触並列張力測定装置、非接
触90度張力測定装置、非接触円弧張力測定装置などと
しての用途がある。上記背圧検出孔、及びこれに対応さ
せた張力センサを、複数個配設されるようにしてもよ
く、これらから個別にその圧力信号を取り出したり、或
いは、個別に取り出されたその圧力信号から平均値を算
出したりして被測定物の張力測定ができる。上記圧縮室
の上面を焼結金属板や多孔質金属板、多孔質合成樹脂板
などにする場合には、穴加工を施す必要はないことは、
上述と同様である。ところで、上記張力センサは、基本
的には上述の圧力センサで構成され、そこで検知した押
圧力から被測定物の張力に変換処理するものである。
【0011】また、本発明の請求項7に係る非接触流体
測定装置は、張力センサが、背圧検出孔に連通する、流
体圧縮室に固定ネジ等で固着された受圧チャンバと、こ
の受圧チャンバに取り付けられた、ホースやチューブな
どの流体伝送手段とを備え、この流体伝送手段によって
繋がれた演算表示器で、被測定物が流体を介して及ぼす
押圧力を被測定物の張力に変換処理してなるものであ
り、演算表示器に流体伝送手段を介して流体が導かれる
構造をなすものであり、かかる構造は、上述したように
電気的ショートに起因する暴爆を防止できる点で極めて
有効である。本装置においては、受圧チャンバを介さず
に背圧検出孔に流体伝送手段を直接取り付けてもよいこ
とは上述と同様である。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態に係る非接触
流体測定装置を図面を参照して説明する。最初に、本非
接触流体測定装置の基本構造について、図1を参照して
説明する。本装置1の構造は、同図に示すように、フィ
ルム状物などの被測定物2を、50mmAq〜5Kgf/
2 の一定圧力に保持されたフロータ(流体圧縮室)3
の上面に浮揚させて所要の測定を行えるようになってお
り、ワイヤ4に巻回されたフロータ3の上面に、被測定
物2に向かって噴出する、空気(流体)の吐出孔が複数
穿設され(同図では、吐出孔5,6のみが描かれてい
る)、また、被測定物2に当接して転向した空気の背圧
検出孔が一つ又は二以上穿設され(同図では、背圧検出
孔7のみが描かれている)、圧力センサ8が、背圧検出
孔7に連通する、フロータ3に固定ネジ等で固着された
受圧チャンバ9と、この受圧チャンバ9に取り付けられ
たホース(流体伝送手段)10とで構成されるととも
に、ホース10によって繋がれた一つの演算表示器11
とで構成され、本実施の形態の圧力センサ8では、演算
表示器11にホース10を介して空気圧力が導かれる構
造をなしている。ところで、本実施の形態のように、フ
ロータ3の上面に、ワイヤ4などの紐状物を巻回してや
れば、吐出孔や背圧検出孔の流量を制御することができ
る。
【0013】このような構造を備えた本装置のうち、ま
ず、被測定物の重量測定を図2を参照して説明する。
尚、図1の構成要素と同一のものには同一番号を付し、
その説明は割愛する。但し、以下の図面においては、構
成要素の一部、例えばワイヤ4等が省略されている場合
がある。図2の装置20は、被測定物21を、一定圧力
に保持されたフロータ3の上面に浮揚させてその重量の
測定を行えるもので、フロータ3の上面の被測定物21
に向かって吐出孔(同図では、吐出孔22〜24が描か
れている)から空気が噴出し、被測定物21に当接して
転向した空気が背圧検出孔7に流入すると、圧力センサ
8で、この背圧検出孔7の空気圧力、即ち、被測定物2
1が流体を介して及ぼす押圧力を、被測定物21の重量
に変換処理するようにしたもので、当該押圧力が被測定
物21の重量に比例することから、その演算表示器(図
示省略)で、この押圧力に基づく圧力信号を演算処理す
ることにより、被測定物21の重量を非接触で測定でき
るようにしたものである。
【0014】次に、被測定物の押圧力測定を図3を参照
して説明する。図3の装置30は、吐出孔(図示省略)
からの空気の噴出方向が水平台31に平行なるようにし
て使用されるものである。本装置30を水平台31に置
かれた被測定物32に近接させると、被測定物32が本
装置30から押圧力を受けるが、本装置30は、当該押
圧力を圧力センサ8で水平台31に置かれた被測定物3
2を押す力に変換処理するようにしたもので、相手との
接触を嫌う被測定物32において、その移送に要する押
圧力を測定するのに最適である。
【0015】次に、被測定物の厚さ測定を図4を参照し
て説明する。図4の装置40は、上記フロータ3を一対
として、吐出孔(図示省略)が被測定物2を隔てて対向
するように配設される態様をなし、圧力センサ41は、
その演算表示器(図示省略)に各フロータ3の背圧検出
孔(図示省略)の空気圧力が、即ち、各受圧チャンバ9
内の空気圧力が、各ホース10を介してそれぞれ伝達さ
れる態様をなしている。したがって、対向する吐出孔間
で形成されるスキマに被測定物2を通過させると、被測
定物2は圧力センサ41に流体を介して押圧力を及ぼす
が、この押圧力が被測定物2の厚みに応じて変化するの
で、かかる押圧力に基づく圧力信号を、圧力センサ41
の演算表示器で演算処理することにより被測定物2の厚
みを非接触で測定できるのである。尚、圧力センサ41
が上記圧力センサ8と異なるところは、演算表示器に2
本のホースが繋がれている点のみである。
【0016】また、被測定物の厚さ測定を図5の装置5
0を用いてもできる。本装置50は、上記被測定物2が
所要の抱角θでガイドローラ51に巻回されている場
合、吐出孔(図示省略)の穿設されている部位が上記抱
角θに対応する円弧に形成される態様をなし、ガイドロ
ーラ51と吐出孔と間で形成されるスキマに被測定物2
を通過させると、被測定物2は圧力センサ8に流体を介
して押圧力を及ぼすが、この押圧力が被測定物2の厚み
に応じて変化するので、かかる押圧力に基づく圧力信号
を、圧力センサ8の演算表示器(図示省略)で被測定物
2の厚さに変換処理してなるもので、ガイドローラ51
に巻回されている被測定物2の厚さをその円筒面上で非
接触で測定できるという特徴がある。
【0017】次に、本非接触流体測定装置に係る被測定
物の張力測定を図面を参照して説明する。張力測定のた
めの本装置60の基本構造は、図6に示すように上記装
置1に準じており、フィルム状物などの被測定物2を、
例えばその断面形状が半円筒のフロータ61の上面に浮
揚させて張力測定を行えるようになっており、ワイヤ
(図示省略)に巻回されたフロータ61の上面に、被測
定物2に向かって噴出する、空気の吐出孔(図示省略)
が複数穿設され、被測定物2に当接して転向した空気の
背圧検出孔(図示省略)が一つ又は二以上穿設され、張
力センサ62が、背圧検出孔に連通する、フロータ61
に固定ネジ等で固着された受圧チャンバ9と、この受圧
チャンバ9に取り付けられたホース10とで構成される
とともに、ホース10によって繋がれた演算表示器63
とで構成され、かかる演算表示器63からは被測定物2
の巻出し機や巻取り機64に張力制御信号が送出され
る。尚、本実施の形態の張力センサ62では、演算表示
器63にホース10を介して空気圧力が導かれる構造を
なしている。ところで、当該張力測定においては、フロ
ータ61内の圧力を一定に保持する制御も行っている。
即ち、ブロア64からフロータ61内に加圧空気が供給
される一方、フロータ61内の内部圧力センサ65でフ
ロータ61内の圧力を検知してその圧力信号を演算表示
器66に送出すると、演算表示器66では、予め設定さ
れた値と比較して過不足信号をモータインバータ67に
送り、フロータ61内の圧力が一定に保持されるように
ブロアモータ68の回転数制御を行っている。
【0018】以下では、上記基本構造を備えた装置の具
体例を説明する。まず、図7は、非接触180度張力測
定装置70と呼ばれるもので、本装置70は、被測定物
71を浮揚する、1台の180度フロータ72及びこれ
に同図のように付設された2台の90度フロータ73,
74で構成され、複数(本実施の形態では3個)の受圧
チャンバ9が、フロータ72の頂点(被測定物71との
抱角の二等分線がフロータ72の円筒面に交わる点)に
穿設された背圧検出孔(図示省略)に対応してそれぞれ
固着され、張力センサ75は、その演算表示器(図示省
略)にフロータ72の背圧検出孔の空気圧力が、即ち、
各受圧チャンバ9内の空気圧力が、各ホース(図示省
略)を介してそれぞれ伝達される態様をなしている。し
たがって、フロータ72の円筒面上に浮揚される被測定
物71は張力センサ75に流体を介して押圧力を及ぼす
が、この押圧力が被測定物71の張力と一定の関係を有
するので、かかる押圧力に基づく圧力信号を、その演算
表示器で演算処理することにより被測定物71の張力と
して非接触で測定できるのである。このとき、本実施の
形態のように複数箇所の張力を測定して、個別に張力測
定することはもちろん、個別に取り出された張力の平均
値を算出して、これに基づき被測定物71の張力制御を
行うことができる。
【0019】次の図8に示される装置は、上記装置70
と同一分類に属する非接触180度張力測定装置80で
あり、装置70の使用と異なるところは、90度フロー
タ73,74に変えてガイドローラ81,82を配設し
た点である。本装置80では、被測定物71は、フロー
タ72の円筒面上で浮揚しているが、ガイドローラ8
1,82の円筒面に所要の抱角をなして接触している態
様をなす。但し、張力測定の方法は、上述の装置70の
場合と同様である。
【0020】また、図9は、非接触並列張力測定装置と
呼ばれるもので、本装置90は、テープ状の多数(本実
施の形態では20本)の被測定物91の張力を同時に測
定する場合に有用であり、被測定物91の本数に対応し
た受圧チャンバ9が、90度フロータ92の頂点(被測
定物91との抱角の二等分線がフロータ92の円筒面に
交わる点)に穿設された背圧検出孔(図示省略)に対応
してそれぞれ固着され、張力センサ93は、その演算表
示器(図示省略)にフロータ92の背圧検出孔の空気圧
力が、即ち、各受圧チャンバ9内の空気圧力が、各ホー
ス(図示省略)を介してそれぞれ伝達される態様をなし
ており、これにより、演算表示器で、これに伝達された
空気圧力に基づいて演算処理することにより各被測定物
91のそれぞれの張力を非接触で測定できる。尚、張力
センサ93が上記張力センサ75と異なるところは、演
算表示器に20本のホースが繋がれている点のみであ
る。
【0021】また、図10は、非接触90度張力測定装
置と呼ばれるもので、本装置100は、受圧チャンバ9
が上記90度フロータ92の頂点(被測定物71との抱
角の二等分線がフロータ92の円筒面に交わる点)に穿
設された背圧検出孔(図示省略)に対応して固着され、
この受圧チャンバ9内の空気圧力がホース(図示省略)
を介して演算表示器(図示省略)に伝達される態様をな
しており、演算表示器で、これに伝達された空気圧力に
基づいて演算処理することで被測定物71の全幅の張力
を測定するようにしたものである。
【0022】また、図11は、非接触円弧張力測定装置
と呼ばれるもので、本装置110は、被測定物111と
の抱角が少ない場合であってもその張力測定ができるも
のである。本装置110は、本実施の形態では、塗工装
置112から搬出された被測定物111をその表面に吸
着して搬送するサクションロール113を介してドライ
ヤ114に搬入する工程において、塗工装置112とサ
クションロール113との間に3台が配設されており、
これらは、受圧チャンバ9が円弧フロータ115の頂点
(被測定物111との抱角の二等分線がフロータ115
の円筒面に交わる点)に穿設された背圧検出孔(図示省
略)に対応して固着され、この受圧チャンバ9内の空気
圧力がホース(図示省略)を介して演算表示器(図示省
略)に伝達される態様をなしている。張力測定に際して
は、このうちの適宜なもの(本実施の形態では、同図中
の中央の装置110)を選定し、かかる装置110の演
算表示器で、これに伝達された空気圧力に基づいて演算
処理することで被測定物111の全幅の張力を測定する
ようにしたものであり、抱角を大きくしないと測定がで
きない従来のものと違って、抱角が少ない場合でも測定
できるので、極めて有用である。尚、上記3台のうちい
ずれを選定するかはその工程の諸事情に拠ることはもち
ろん、これら3台が所要の間隔を空けて配設されるよう
な工程では、これら3台のそれぞれによって張力測定が
できるようにしてもよいことは言うまでもない。
【0023】ところで、本発明に係る非接触流体測定装
置は、被測定物の重量や厚さ、或いは張力測定に係る装
置に加えて、エッジ検出装置として用いることもでき
る。当該エッジ検出装置は、フロータ3に浮揚してい
る、例えば幅広な被測定物2のその両端又は片端の位置
を検出するもので、被測定物2の両端又は片端の直下に
位置する背圧検出孔(図示省略)の空気圧力、即ち、被
測定物2が流体を介して及ぼす押圧力を、圧力センサ8
で検知して被測定物21のエッジ位置を検出しようとす
るものであり、被測定物2の蛇行などの検出に好適であ
る。このような装置のうち図12(A)の装置120
は、背圧検出孔の孔径を小さくして、背圧検出孔に対す
るその両端又は片端の係合度合い、即ち、覆い被さり度
の範囲を小さくしているために、圧力センサ8で出力さ
れる圧力信号を図のように急峻させることができる。ま
た、同図(B)の装置130のように、背圧検出孔の孔
径を大きくして、上述の覆い被さり度の範囲を大きくす
ると、圧力センサ131で出力される圧力信号を図のよ
うに緩慢にさせることもできる。尚、圧力センサ131
は、背圧検出孔の孔径に対応して受圧チャンバの大きさ
が圧力センサ8のそれとは異なるために、圧力センサ8
とは異なる符号で示されている。
【0024】
【発明の効果】本発明の非接触流体測定装置によれば、
幅広な長尺物で、厚さの薄いシートやテープのような被
測定物の重量や厚さなどの測定を非接触で行える。ま
た、本発明の非接触流体測定装置によれば、幅広な長尺
物で、厚さの薄いシートやテープのような被測定物の張
力の測定を非接触で行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本実施の形態に係る非接触流体測定装置の基
本構造図である。
【図2】 図1の装置を用いた被測定物の重量測定の説
明図である。
【図3】 図1の装置を用いた被測定物に対する押圧力
測定の説明図である。
【図4】 図1の装置を用いた被測定物の厚さ測定の説
明図である。
【図5】 図1の装置を用いた被測定物の厚さ測定の説
明図である。
【図6】 本装置を張力測定に用いた場合の当該装置の
基本構造図である。
【図7】 非接触180度張力測定装置の構成図であ
る。
【図8】 非接触180度張力測定装置の構成図であ
る。
【図9】 非接触並列張力測定装置の構成図である。
【図10】非接触90度張力測定装置の構成図である。
【図11】非接触円弧張力測定装置の構成図である。
【図12】エッジ検出装置の構成図である。
【図13】従来の張力測定の構成図である。
【符号の説明】
1,20,30・・・110 非接触流体測
定装置 2,21,32,71,91,111 被測定物 3,61,72,92 フロータ(流
体圧縮室) 5,6,22〜24 吐出孔 7 背圧検出孔 8,41 圧力センサ 9 受圧チャンバ 10 ホース(流体
伝送手段) 11,63 演算表示器 31 水平台 51 ガイドローラ 62,75,93 張力センサ

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フィルム状物などの被測定物を流体圧縮
    室の上面に浮揚させて所要の測定を行う非接触流体測定
    装置であって、前記流体圧縮室の上面に、前記被測定物
    に向かって噴出する流体の吐出孔を複数穿設するととも
    に、前記被測定物に当接して転向した前記流体の背圧検
    出孔を一つ又は二以上穿設し、該背圧検出孔の流体圧力
    を、前記被測定物が前記流体を介して及ぼす押圧力とし
    て検知する圧力センサを設けてなることを特徴とする非
    接触流体測定装置。
  2. 【請求項2】 前記圧力センサは、前記背圧検出孔に連
    通する、前記流体圧縮室に固定ネジ等で固着された受圧
    チャンバと、該受圧チャンバに取り付けられた流体伝送
    手段とを備え、該流体伝送手段によって繋がれた演算表
    示器が、前記押圧力を前記被測定物の所要測定値に変換
    処理してなることを特徴とする請求項1に記載の非接触
    流体測定装置。
  3. 【請求項3】 前記吐出孔からの前記流体の噴出方向が
    水平台に平行をなし、前記圧力センサが、前記押圧力を
    前記水平台に置かれた前記被測定物を押す力に変換処理
    してなることを特徴とする請求項1又は2に記載の非接
    触流体測定装置。
  4. 【請求項4】 前記流体圧縮室を一対として、それらの
    吐出孔が前記被測定物を隔てて対向するように配設され
    る場合、前記圧力センサが、前記押圧力を前記被測定物
    の厚さに変換処理してなることを特徴とする請求項1又
    は2に記載の非接触流体測定装置。
  5. 【請求項5】 前記被測定物が所要の抱角でガイドロー
    ラに巻回されている場合、前記吐出孔が穿設されている
    部位を前記抱角に対応する円弧に形成し、前記圧力セン
    サが、前記押圧力を前記被測定物の厚さに変換処理して
    なることを特徴とする請求項1又は2に記載の非接触流
    体測定装置。
  6. 【請求項6】 フィルム状物などの被測定物を流体圧縮
    室の上面に浮揚させて所要の測定を行う非接触流体測定
    装置であって、前記流体圧縮室の上面の、前記被測定物
    との間で形成される抱角に対応する円弧部位に、前記被
    測定物に向かって噴出する流体の吐出孔を複数穿設する
    とともに、前記被測定物に当接して転向した前記流体の
    背圧検出孔を一つ又は二以上穿設し、該背圧検出孔の流
    体圧力を、前記被測定物が前記流体を介して及ぼす押圧
    力に対する前記被測定物の張力として検知する張力セン
    サを設けてなることを非接触流体測定装置。
  7. 【請求項7】 前記張力センサは、前記背圧検出孔に連
    通する、前記流体圧縮室に固定ネジ等で固着された受圧
    チャンバと、該受圧チャンバに取り付けられた流体伝送
    手段とを備え、該流体伝送手段に繋がれた演算表示器
    が、前記押圧力を前記被測定物の張力に変換処理してな
    ることを特徴とする請求項6に記載の非接触流体測定装
    置。
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