JP2001027620A - X-ray analyzer having solar slit - Google Patents
X-ray analyzer having solar slitInfo
- Publication number
- JP2001027620A JP2001027620A JP11198381A JP19838199A JP2001027620A JP 2001027620 A JP2001027620 A JP 2001027620A JP 11198381 A JP11198381 A JP 11198381A JP 19838199 A JP19838199 A JP 19838199A JP 2001027620 A JP2001027620 A JP 2001027620A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- sample
- foil
- solar slit
- small
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、試料の小径測定ま
たはそれよりも大きい径の測定（以下、大径測定とい
う）に兼用できるソーラスリットを有するＸ線分析装置
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray analyzer having a solar slit which can be used for measuring a small diameter of a sample or measuring a diameter larger than that (hereinafter referred to as a large diameter measurement).
【０００２】[0002]
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】１次Ｘ線
が照射された試料から発生する２次Ｘ線を検出器で検出
して試料を分析するＸ線分析装置の１つとして、ソーラ
スリットで２次Ｘ線を平行化する平行ビーム法を用いる
波長分散型蛍光Ｘ線分析装置がある。この種のＸ線分析
装置は、試料から発生する蛍光Ｘ線（２次Ｘ線）のう
ち、被測定部位および後段の光学系でカットされる周辺
部位からのＸ線のみを通過させる視野制限用コリメー
タ、視野制限用コリメータを通過した２次Ｘ線を平行化
する１次ソーラスリット、２次Ｘ線を分光する分光結
晶、分光した２次Ｘ線を平行化する２次ソーラスリッ
ト、および分光した２次Ｘ線の強度を検出する検出器を
備えている。2. Description of the Related Art As one of X-ray analyzers for detecting a secondary X-ray generated from a sample irradiated with a primary X-ray with a detector and analyzing the sample, a solar X-ray analyzer is known. There is a wavelength dispersive X-ray fluorescence spectrometer that uses a parallel beam method in which a secondary X-ray is made parallel by a slit. This type of X-ray analyzer is used to restrict a visual field that allows only X-rays from a part to be measured and a peripheral part to be cut by an optical system at a subsequent stage among fluorescent X-rays (secondary X-rays) generated from a sample. A collimator, a primary solar slit for collimating the secondary X-rays passing through the collimator for limiting the visual field, a spectral crystal for dispersing the secondary X-rays, a secondary solar slit for collimating the dispersed secondary X-rays, and A detector for detecting the intensity of the secondary X-ray is provided.
【０００３】図７は標準的なソーラスリット２１を示す
もので、複数の平板状の鋼箔等からなる金属箔を同一間
隔ｄ1 で平行に重ねることにより、互いに平行で同一間
隔の複数のスリット（通路）２３を形成したものであ
り、通常、試料面に対して２５°ないし５０°の角度と
なるように配置される。この標準的なソーラスリット２
１における前記箔間隔ｄ1 は０．２〜０．５ｍｍ程度に
設定され、また前記箔の厚みは０．０５ｍｍ程度に設定
される。このようなソーラスリット２１を用いた近年の
波長分散型蛍光Ｘ線分析装置では、通常の測定径（直径
３０ｍｍ程度）よりもかなり小さい直径１ｍｍ程度また
はそれより若干小さい小径の測定面（測定部位）を分析
できるようになってきている。[0003] Figure 7 shows a standard Soller slit 21, by overlapping parallel metal foil including a plurality of flat steel foil or the like at the same intervals d 1, the plurality of slits of the same spacing parallel to each other (Passage) 23 is formed, and is usually arranged at an angle of 25 ° to 50 ° with respect to the sample surface. This standard solar slit 2
The foil spacing d 1 in 1 is set to about 0.2 to 0.5 mm, also the thickness of said foil is set to about 0.05 mm. In a recent wavelength dispersive X-ray fluorescence analyzer using such a solar slit 21, a measurement surface (measurement site) having a diameter of about 1 mm, which is considerably smaller than a normal measurement diameter (about 30 mm in diameter), or a slightly smaller diameter than that. Can be analyzed.
【０００４】なお、前記Ｘ線分析装置の波長分解能は、
前記ソーラスリット２１の光路方向の長さを一定とする
と、２次Ｘ線がソーラスリット２１のスリット２３中を
通過するとき制限される分散角度θを主たる因子として
いるので、前記箔間隔ｄ1 が小さいほど分解能は高くな
り、逆に前記箔間隔ｄ1 が大きいほど感度は高くなる。[0004] The wavelength resolution of the X-ray analyzer is as follows.
When a constant length of the optical path direction of the Soller slit 21, since the secondary X-ray is the main factor dispersion angle θ limited as it passes through the middle slit 23 of the Soller slit 21, the foil spacing d 1 is as resolution increases small, the sensitivity increases as the reversed foil spacing d 1 is larger.
【０００５】しかし、前記ソーラスリット２１では、複
数のスリット２３の間隔（箔間隔に相当）ｄ1 をすべて
同一としているので、試料の測定面が１ｍｍ程度の小径
である場合には、測定面の径が、ソーラスリット２１の
箔間隔ｄ1 に近づくために、試料からソーラスリット２
１を見込む仰角や、試料に対する個々の箔２２の位置関
係によっては、期待した感度が得られないことがあり、
組み立てられる装置間でも感度にばらつきが生じかねな
い。However, in the Soller slit 21, since all the intervals (equivalent to foil spacing) d 1 of the plurality of slits 23 are the same, when the measuring surface of the sample is small in the order of 1mm, the measurement surface diameter, in order to approach the foil spacing d 1 of the Soller slit 21, Soller slit 2 from the sample
The expected sensitivity may not be obtained depending on the elevation angle for 1 and the positional relationship between the individual foils 22 with respect to the sample.
Sensitivity may vary between the devices being assembled.
【０００６】すなわち、試料とソーラスリットの位置関
係が、例えば図９に示す状態のときには、試料Ｓの測定
面Ｍの中央部や周辺部から発生する２次Ｘ線Ｂ２がソー
ラスリット２１の箔２２で遮られてしまうので、感度不
良となる。また、前記位置関係が、図１０に示す状態の
ときにも、基本的には感度は良くないが、この場合、試
料Ｓの測定面Ｍの中央部や周辺部から発生する２次Ｘ線
Ｂ２は箔２２で遮られないので、図９の場合ほど感度は
悪くならない。That is, when the positional relationship between the sample and the solar slit is, for example, as shown in FIG. 9, the secondary X-rays B2 generated from the central portion and the peripheral portion of the measurement surface M of the sample S are applied to the foil 22 of the solar slit 21. , The sensitivity is poor. Also, when the positional relationship is in the state shown in FIG. 10, the sensitivity is basically not good, but in this case, the secondary X-rays B2 generated from the central portion and the peripheral portion of the measurement surface M of the sample S Is not blocked by the foil 22, so that the sensitivity does not deteriorate as in the case of FIG.
【０００７】他方、感度を大きくしたい試料に対して
は、図８に示す高感度ソーラスリット２１Ａが用いられ
る。このソーラスリット２１Ａの箔間隔ｄ2 は、図７の
箔間隔ｄ1 よりも大きく（通常、１〜４ｍｍ程度）設定
されており、これにより、箔２２によって減衰されるＸ
線量が減少し、高い感度が得られる。この高感度ソーラ
スリット２１Ａを用いると、小径の測定面に対する感度
は向上するが、大径の測定面に対する分解能は低下す
る。On the other hand, for a sample whose sensitivity is to be increased, a high-sensitivity solar slit 21A shown in FIG. 8 is used. Foil spacing d 2 of the Soller slit 21A is larger than the foil spacing d 1 in FIG. 7 (usually about 1 to 4 mm) is set, thereby, X being attenuated by the foil 22
The dose is reduced and high sensitivity is obtained. When this high-sensitivity solar slit 21A is used, the sensitivity for a small-diameter measurement surface is improved, but the resolution for a large-diameter measurement surface is reduced.
【０００８】そこで、前記ソーラスリット２１または２
１Ａとは別に、スリット間隔を小径測定部位専用に設定
した単スリットやソーラスリットを設置し、測定面の大
きさに応じて使い分けることも考えられるが、この場合
には装置の構成が複雑になってしまう。Therefore, the solar slit 21 or 2
Apart from 1A, it is conceivable to install a single slit or a solar slit in which the slit interval is set exclusively for the small-diameter measurement site, and use it properly according to the size of the measurement surface. However, in this case, the configuration of the apparatus becomes complicated. Would.
【０００９】本発明は、以上の事情に鑑みてなされたも
ので、構成が複雑になることなく、１つのソーラスリッ
トにより、試料の大径測定に必要な分解能または感度
と、試料の小径測定に必要な感度または分解能を満たす
ことのできるソーラスリットを有するＸ線分析装置を提
供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and the resolution or sensitivity required for large-diameter measurement of a sample and the small-diameter measurement of a sample can be obtained by one solar slit without complicating the configuration. It is an object of the present invention to provide an X-ray analyzer having a solar slit capable of satisfying required sensitivity or resolution.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】前記した目的を達成する
ために、本発明の請求項１に係るソーラスリットを有す
るＸ線分析装置は、１次Ｘ線が照射された試料から発生
する２次Ｘ線を検出器で検出して試料を分析する装置で
あって、前記２次Ｘ線の通路に、前記試料上の測定部位
を制限する絞り孔を有する視野制限用コリメータと、複
数の平板状の箔を重ね前記コリメータを通過した２次Ｘ
線を平行化するソーラスリットとが設けられ、前記ソー
ラスリットは、前記コリメータの小径の絞り孔を通った
２次Ｘ線を通過させる小径対応部分の箔間隔が、他の部
分の箔間隔よりも大きく設定されている。In order to achieve the above-mentioned object, an X-ray analyzer having a solar slit according to the first aspect of the present invention provides a secondary X-ray analyzer for generating secondary X-rays from a sample irradiated with primary X-rays. An apparatus for analyzing a sample by detecting X-rays with a detector, comprising: a field-of-view limiting collimator having an aperture for limiting a measurement site on the sample in a path of the secondary X-ray; Secondary X that has passed through the collimator
A solar slit for collimating the line is provided, and the solar slit is such that the foil interval of the small-diameter corresponding portion that passes the secondary X-ray passing through the small-diameter aperture of the collimator is larger than the foil interval of the other portions. It is set large.
【００１１】前記Ｘ線分析装置によれば、ソーラスリッ
トにおいて、コリメータの小径の絞り孔を通った２次Ｘ
線を通過させる小径対応部分の箔間隔が、他の部分の箔
間隔よりも大きく設定されているから、箔によって遮ら
れる２次Ｘ線の量が少なくなるので、試料の小径の測定
部位を測定する場合でも、必要な感度を得ることができ
る。また、箔間隔を大きく設定した小径対応部分は全体
の一部であるため、大径測定を行う場合にも、大きな箔
間隔による分解能の低下は殆ど生じない。その結果、構
成が複雑になることなく、１つのソーラスリットによ
り、試料の大径測定に必要な分解能と、試料の小径測定
に必要な感度と分解能とを満たすことができる。According to the X-ray analyzer, the secondary X-ray passing through the small-diameter aperture of the collimator in the solar slit.
The distance between the foils of the small diameter portion that allows the line to pass through is set to be larger than the foil distance of the other portions, so the amount of secondary X-rays blocked by the foil is reduced, so the small diameter measurement site of the sample is measured. In this case, the required sensitivity can be obtained. In addition, since the portion corresponding to the small diameter where the foil interval is set to be large is a part of the whole, even when measuring the large diameter, the resolution is hardly reduced due to the large foil interval. As a result, the resolution required for large-diameter measurement of the sample and the sensitivity and resolution required for small-diameter measurement of the sample can be satisfied by one solar slit without complicating the configuration.
【００１２】また、本発明の請求項２に係るソーラスリ
ットを有するＸ線分析装置は、請求項１の構成におい
て、前記小径対応部分が通路内部に箔を有しない通路で
形成されている。According to a second aspect of the present invention, there is provided an X-ray analyzer having a solar slit, wherein the small-diameter corresponding portion is formed by a passage having no foil inside the passage.
【００１３】前記Ｘ線分析装置によれば、試料の大径測
定に期待される分解能が得られる箔間隔としたソーラス
リットにおいて、小径対応部分の箔間隔を他の部分の箔
間隔よりも大きくするだけで、試料の大径測定に必要な
分解能と、試料の小径測定に必要な感度とを満たすソー
ラスリットを簡単に構成することができる。According to the X-ray analyzer, in the solar slit having a foil interval at which the resolution expected for measuring the large diameter of the sample can be obtained, the foil interval of the portion corresponding to the small diameter is made larger than the foil interval of the other portions. Only with this, it is possible to easily configure a solar slit that satisfies the resolution required for measuring the large diameter of the sample and the sensitivity required for measuring the small diameter of the sample.
【００１４】また、本発明の請求項３に係るソーラスリ
ットを有するＸ線分析装置は、１次Ｘ線が照射された試
料から発生する２次Ｘ線を検出器で検出して試料を分析
するＸ線分析装置であって、前記２次Ｘ線の通路に、前
記試料上の測定部位を制限する絞り孔を有する視野制限
用コリメータと、複数の平板状の箔を重ね前記コリメー
タを通過した２次Ｘ線を平行化するソーラスリットとが
設けられ、前記ソーラスリットは、前記コリメータの小
径の絞り孔を通った２次Ｘ線を通過させる小径対応部分
の箔間隔が、他の部分の箔間隔よりも小さく設定されて
いる。According to a third aspect of the present invention, an X-ray analyzer having a solar slit analyzes a sample by detecting a secondary X-ray generated from a sample irradiated with a primary X-ray with a detector. An X-ray analyzer, comprising: a field-of-view limiting collimator having an aperture for limiting a measurement site on the sample in a path of the secondary X-ray; A solar slit for collimating the next X-ray is provided, and the solar slit is arranged such that the foil interval of the small-diameter corresponding portion through which the secondary X-ray passes through the small-diameter aperture hole of the collimator is the foil interval of the other portion. It is set smaller than.
【００１５】前記Ｘ線分析装置によれば、ソーラスリッ
トにおいて、コリメータの小径の絞り孔を通った２次Ｘ
線を通過させる小径対応部分の箔間隔が、他の部分の箔
間隔よりも小さく設定されているから、２次Ｘ線が通過
するとき制限される分散角度が小さくなるので、試料の
小径測定を行う場合でも、必要な分解能を得ることがで
きる。また、箔間隔を小さく設定した小径対応部分は全
体の一部であるため、大径測定を行う場合にも、小さい
箔間隔による感度の低下は殆ど生じない。したがって、
小径対応部分の箔間隔を他の部分の箔間隔より小さくす
るだけで、構成が複雑になることなく、１つのソーラス
リットにより、試料の大径測定を高感度で行え、かつ、
試料の小径測定に必要な分解能と感度とを満たすことが
できる。According to the X-ray analysis apparatus, the secondary X-ray passing through the small aperture of the collimator in the solar slit is provided.
Since the foil interval of the portion corresponding to the small diameter through which the line passes is set to be smaller than the foil interval of the other portions, the dispersion angle limited when secondary X-rays pass becomes small, so that the small diameter measurement of the sample can be performed. Even when performing this, the required resolution can be obtained. Further, since the portion corresponding to the small diameter where the foil interval is set to be small is a part of the whole, even when measuring the large diameter, the sensitivity is hardly reduced due to the small foil interval. Therefore,
Only by making the foil interval of the portion corresponding to the small diameter smaller than the foil interval of the other portion, the large diameter measurement of the sample can be performed with high sensitivity by one solar slit without complicating the configuration, and
The resolution and sensitivity required for small diameter measurement of a sample can be satisfied.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
について図面を参照しながら詳述する。図１は本発明の
一実施形態である平行ビーム法を用いる波長分散型蛍光
Ｘ線分析装置の概略図を示す。本装置は、試料Ｓに１次
Ｘ線Ｂ１を照射するＸ線管１、試料表面の特定の形状の
面で形成される測定部位Ｍからの２次Ｘ線（蛍光Ｘ線）
Ｂ２のみを後述する検出器６に取り込むように視野制限
する円形の絞り孔２ａを有する視野制限用コリメータ
２、このコリメータ２を通過した２次Ｘ線Ｂ２を平行化
する１次ソーラスリット３、ブラッグの式を満足する波
長の２次Ｘ線Ｂ２のみを入射角θと同一の回折角θで回
折する分光結晶４、回折した２次Ｘ線Ｂ３を平行化する
２次ソーラスリット５、および２次Ｘ線Ｂ３の強度を検
出する検出器６を備えており、この検出値に基づいて試
料Ｓの元素分析がなされる。分光結晶４と検出器６と
は、図示しないゴニオメータにより、一定の角度関係を
保って回動される。Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view of a wavelength-dispersive X-ray fluorescence analyzer using a parallel beam method according to an embodiment of the present invention. This apparatus includes an X-ray tube 1 for irradiating a sample S with primary X-rays B1, and secondary X-rays (fluorescent X-rays) from a measurement site M formed on a surface of a specific shape on the sample surface.
A field-of-view limiting collimator 2 having a circular aperture 2a for limiting the field of view so that only B2 is taken into a detector 6 described later, a primary solar slit 3 for collimating a secondary X-ray B2 passing through the collimator 2, a Bragg A spectral crystal 4 for diffracting only the secondary X-ray B2 having a wavelength satisfying the following expression at the same diffraction angle θ as the incident angle θ, a secondary solar slit 5 for parallelizing the diffracted secondary X-ray B3, and a secondary A detector 6 for detecting the intensity of the X-ray B3 is provided, and the element analysis of the sample S is performed based on the detected value. The spectral crystal 4 and the detector 6 are rotated by a goniometer (not shown) while maintaining a fixed angular relationship.
【００１７】前記視野制限用コリメータ２は、大きさの
異なる複数の絞り孔２ａを有し、試料Ｓの測定部位の大
きさに応じて、これに対応する絞り孔２ａが選択されて
２次Ｘ線Ｂ２の光路に配置される。The field-of-view limiting collimator 2 has a plurality of apertures 2a of different sizes. The apertures 2a corresponding to the apertures 2a are selected according to the size of the measurement site of the sample S, and the secondary X It is arranged in the optical path of line B2.
【００１８】前記各ソーラスリット３，５は、複数の平
板状の鋼のような金属製の箔７を重ねて構成され、その
間に２次Ｘ線の通路となるスリット３０を形成する。そ
のうち、１次ソーラスリット３は、図２に示すように、
前記コリメータ２の小径の絞り孔２ａ1 （その孔径とし
て、通常は直径１ｍｍのものを使用）を通った２次Ｘ線
Ｂ２を通過させる小径対応部分Ｄ１の箔間隔ｄ1 が、他
の部分の箔間隔ｄよりも大きく設定されている。好まし
くは、前記箔間隔ｄ1 を他の部分の箔間隔ｄの１．５〜
４倍に設定するのが良い。具体的には、前記箔間隔ｄは
０．２〜０．５ｍｍ程度に設定され、前記箔間隔ｄ1 は
１〜４ｍｍ程度に設定される。ここで、小径とは、例え
ば０．５〜５ｍｍ程度であり、大径とは、例えば１０〜
４０ｍｍ程度である。Each of the solar slits 3 and 5 is formed by stacking a plurality of metal foils 7 such as steel plates, and forms a slit 30 serving as a secondary X-ray passage therebetween. Among them, the primary solar slit 3, as shown in FIG.
The small-diameter corresponding portion D1 that passes the secondary X-ray B2 passing through the small-diameter aperture 2a 1 (usually having a diameter of 1 mm) of the collimator 2 has a foil interval d 1 of the other portion. It is set larger than the foil interval d. Preferably, 1.5 to the foil spacing d 1 of foil spacing d of other portions
It is good to set to 4 times. Specifically, the foil interval d is set to about 0.2 to 0.5 mm, and the foil interval d1 is set to about 1 to 4 mm. Here, the small diameter is, for example, about 0.5 to 5 mm, and the large diameter is, for example, 10 to 10 mm.
It is about 40 mm.
【００１９】前記構成の装置の動作を説明する。試料Ｓ
上の測定部位Ｍが小径である場合（または小径の試料Ｓ
のＸ線分析を行う場合）、視野制限用コリメータ２で
は、測定部位Ｍの径に対応する小さい絞り孔２ａ1 が選
択されて２次Ｘ線Ｂ２の光路に配置され、以下のように
Ｘ線分析が行われる。まず、Ｘ線管１から発生した１次
Ｘ線Ｂ１が試料Ｓに照射される。試料Ｓからは、２次Ｘ
線Ｂ２として試料Ｓ中の元素の蛍光Ｘ線が発生する。The operation of the apparatus having the above configuration will be described. Sample S
When the upper measurement site M has a small diameter (or a small diameter sample S
When performing the X-ray analysis), the field limiting collimator 2, a small throttle hole 2a 1 which corresponds to the diameter of the measurement site M is disposed in the optical path of the selected secondary X-ray B2, X-ray as follows An analysis is performed. First, the sample S is irradiated with a primary X-ray B1 generated from the X-ray tube 1. From sample S, the secondary X
The fluorescent X-ray of the element in the sample S is generated as the line B2.
【００２０】前記蛍光Ｘ線Ｂ２は、測定部位Ｍとその周
辺から発生したものがコリメータ２を通過して、１次ソ
ーラスリット３により平行化されることにより、測定部
位Ｍから発生した蛍光Ｘ線Ｂ２のみが１次ソーラスリッ
ト３を通過し、分光結晶４によりブラッグの式を満足す
る所定の波長の蛍光Ｘ線Ｂ２のみが入射角θと同一の回
折角θで回折される。回折された蛍光Ｘ線Ｂ３は、２次
ソーラスリット５により平行化され、検出器６により蛍
光Ｘ線Ｂ３の強度が検出される。The fluorescent X-rays B2 generated from the measurement site M and the periphery thereof pass through the collimator 2 and are collimated by the primary solar slit 3, whereby the fluorescent X-rays generated from the measurement site M are obtained. Only B2 passes through the primary solar slit 3, and only the fluorescent X-ray B2 of a predetermined wavelength satisfying the Bragg equation is diffracted by the spectral crystal 4 at the same diffraction angle θ as the incident angle θ. The diffracted fluorescent X-rays B3 are collimated by the secondary solar slit 5, and the detector 6 detects the intensity of the fluorescent X-rays B3.
【００２１】この場合、小径の測定部位Ｍからの２次Ｘ
線Ｂ２は、コリメータ２の小さい絞り孔２ａ1 で制限さ
れて、１次ソーラスリット３の小径対応部分Ｄ１のスリ
ット３０を通過する。この小径対応部分Ｄ１の箔間隔ｄ
1 は、他の部分の箔間隔ｄより大きく設定されているか
ら、箔７によって遮られる２次Ｘ線Ｂ２の量が少なくな
るので、測定部位Ｍが小径であっても、感度よくＸ線分
析を行うことができる。In this case, the secondary X from the small diameter measurement site M
Line B2 is limited in a small throttle hole 2a 1 of the collimator 2, through the slit 30 of the small diameter corresponding portion D1 of the primary Soller slit 3. The foil interval d of the small-diameter corresponding portion D1
Since 1 is set to be larger than the foil interval d of the other portions, the amount of the secondary X-rays B2 blocked by the foil 7 is reduced, so that even if the measurement site M has a small diameter, X-ray analysis can be performed with high sensitivity. It can be performed.
【００２２】また、図３に示すように、試料Ｓ上の測定
部位Ｍが大径である場合、または大径の試料ＳのＸ線分
析を行う場合、視野制限用コリメータ２では、測定部位
Ｍの径に対応する大きい絞り孔２ａ2 （その孔径とし
て、通常は直径３０ｍｍのものを使用）が選択されて２
次Ｘ線Ｂ２の光路に配置され、同様にＸ線分析が行われ
る。As shown in FIG. 3, when the measurement site M on the sample S has a large diameter, or when the X-ray analysis of the sample S having a large diameter is performed, the collimator 2 for field-of-view limiting uses the measurement site M And a large aperture 2a 2 corresponding to the diameter of the hole (usually a hole having a diameter of 30 mm) is selected.
It is arranged in the optical path of the next X-ray B2, and X-ray analysis is performed similarly.
【００２３】この場合、コリメータ２の大きい絞り孔２
ａ2 で制限される２次Ｘ線Ｂ２は、１次ソーラスリット
３の前記小径対応部分Ｄ１を含み、この部分より十分広
い大径対応部分Ｄ２を通過する。１次ソーラスリット３
の前記小径対応部分Ｄ１を除く他の部分の箔間隔ｄは、
全体の一部に過ぎない前記小径対応部分Ｄ１の箔間隔ｄ
1 よりも小さく設定されているので、このとき前記小径
対応部分Ｄ１の影響をほとんど受けることなく、大径の
測定部位Ｍに期待される分解能でＸ線分析できる。In this case, the large aperture 2 of the collimator 2
Secondary X-ray B2 limited by a 2, which includes the small diameter corresponding portion D1 of the primary Soller slit 3, through more wide enough large diameter corresponding portion D2 this part. Primary solar slit 3
The foil interval d of the other parts except the small diameter corresponding part D1 is
Foil spacing d of the small diameter corresponding portion D1 which is only a part of the whole
Since it is set to be smaller than 1 , X-ray analysis can be performed at the resolution expected for the large-diameter measurement site M without being affected by the small-diameter corresponding portion D1 at this time.
【００２４】また、１つの１次ソーラスリット３によ
り、試料の大径測定に必要な分解能と、試料の小径測定
に必要な感度とを満たすために、１次ソーラスリット３
の前記小径対応部分Ｄ１の箔間隔ｄ1 を他の部分の箔間
隔ｄよりも大きく設定するだけでよいので、１次ソーラ
スリット３の構成が複雑になることがない。In order to satisfy the resolution required for measuring the large diameter of the sample and the sensitivity required for measuring the small diameter of the sample, one primary solar slit 3 is used.
Since the foil spacing d 1 of the small diameter corresponding portion D1 of it is only necessary to set larger than the foil spacing d of other portions, it is not that the configuration of the primary Soller slit 3 becomes complicated.
【００２５】なお、前記実施形態では、１次ソーラスリ
ット３における小径対応部分Ｄ１にも箔７が有る場合を
示したが、図４に示すように、前記小径対応部分Ｄ１を
通路内部に箔７を有しない通路で形成してもよい。この
場合には、例えば試料の大径測定に期待される分解能が
得られる箔間隔としたソーラスリットにおいて、前記小
径対応部分Ｄ１の箔間隔を他の部分の箔間隔よりも大き
くするだけで、試料の大径測定に必要な分解能と、試料
の小径測定に必要な感度とを満たす１次ソーラスリット
３を容易に構成することができる。In the above-described embodiment, the case where the small diameter corresponding portion D1 of the primary solar slit 3 also has the foil 7 is shown. However, as shown in FIG. May be formed by a passage having no. In this case, for example, in a solar slit having a foil interval at which the resolution expected for measuring the large diameter of the sample can be obtained, the foil interval of the small-diameter corresponding portion D1 is simply made larger than the foil interval of the other portions, and the sample is removed. The primary solar slit 3 that satisfies the resolution required for large diameter measurement and the sensitivity required for small diameter measurement of a sample can be easily configured.
【００２６】また、前記実施形態では、１次ソーラスリ
ット３の小径対応部分Ｄ１における箔間隔ｄ1 を他の部
分の箔間隔ｄよりも大きく設定した場合を示したが、図
５および図６に示すように、１次ソーラスリット３の小
径対応部分Ｄ１におけるスリット３０の箔間隔ｄ1 を他
の部分の箔間隔ｄよりも小さく設定してもよい。好まし
くは、前記箔間隔ｄ1 を他の部分の箔間隔ｄの０．１〜
０．７倍に設定するのが良い。なお、ここでは、１次ソ
ーラスリットの交換機構を備えた従来のＸ線分析装置に
採用されている標準ソーラスリット３Ａ（図７）の箔間
隔ｄ1 よりも若干大きい箔間隔ｄ3 を、前記小径対応部
分Ｄ１の箔間隔としており、同じＸ線分析装置に採用さ
れている高感度ソーラスリット３Ｂ（図８）の箔間隔ｄ
2 を他の部分の箔間隔としている。Further, in the above embodiment, although the case where larger than the foil spacing d of foil spacing d 1 and the other part of the small diameter corresponding portion D1 of the primary Soller slit 3, 5 and 6 as shown, it may be set smaller than the foil spacing d of foil spacing d 1 and the other part of the slit 30 in the small diameter corresponding portion D1 of the primary Soller slit 3. Preferably, 0.1 to the foil spacing d 1 of foil spacing d of other portions
It is better to set it to 0.7 times. Here, a slightly larger foil spacing d 3 than the foil spacing d 1 of the standard Soller slit 3A adopted in a conventional X-ray analyzer (Figure 7) with a replaceable mechanism of the primary Soller slit, the The foil spacing d of the small-diameter corresponding portion D1 is the foil spacing d of the high-sensitivity solar slit 3B (FIG. 8) employed in the same X-ray analyzer.
2 is the foil spacing of the other parts.
【００２７】この実施形態において、図５に示すよう
に、２次Ｘ線Ｂ２の光路に視野制限用コリメータ２の小
さい絞り孔２ａ1 を配置して、試料Ｓ上の小径の測定部
位ＭのＸ線分析を行う場合（または小径の試料ＳのＸ線
分析を行う場合）、小径対応部分Ｄ１の箔間隔ｄ3 は、
他の部分の箔間隔ｄ2 より小さく設定されているから、
２次Ｘ線Ｂ２が１次ソーラスリット３を通過するとき制
限される分散角度が小さくなるので、小径測定に必要な
分解能を得ることができる。また、コリメータ２の絞り
孔２ａ1 を小径にして、この絞り孔２ａ1 を通った２次
Ｘ線Ｂ２の大部分が、箔７の前端面に当たることなく、
小径対応部分Ｄ１のスリット３０を通過するように設定
することにより、感度を向上させることができる。[0027] In this embodiment, as shown in FIG. 5, the secondary in the optical path of the X-ray B2 to place small throttle hole 2a 1 of the view restrictor collimator 2, X of the measurement site M of small diameter on the sample S When performing X-ray analysis (or when performing X-ray analysis of the small-diameter sample S), the foil interval d 3 of the small-diameter corresponding portion D1 is:
Since it is set smaller than the foil interval d 2 of other parts,
The dispersion angle limited when the secondary X-ray B2 passes through the primary solar slit 3 is reduced, so that the resolution required for small diameter measurement can be obtained. Further, the throttle hole 2a 1 collimator 2 with the small diameter, the majority of the throttle bore 2a 1 a secondary X-ray B2 passing through, without hitting the front end surface of the foil 7,
By setting so as to pass through the slit 30 of the small-diameter corresponding portion D1, the sensitivity can be improved.
【００２８】さらに、図６に示すように、２次Ｘ線の光
路に視野制限用コリメータ２の大きい絞り孔２ａ2 を配
置して、試料Ｓ上の大径の測定部位ＭのＸ線分析を行う
場合、または大径の試料ＳのＸ線分析を行う場合、コリ
メータ２の大きい絞り孔２ａ 2 で制限される２次Ｘ線Ｂ
２は、１次ソーラスリット３の前記小径対応部分Ｄ１を
含み、この部分より十分広い大径対応部分Ｄ２を通過す
る。１次ソーラスリット３の前記小径対応部分Ｄ１を除
く他の部分の箔間隔ｄは、全体の一部に過ぎない前記小
径対応部分Ｄ１の箔間隔ｄ3 よりも大きく設定されてい
るので、このとき前記小径対応部分Ｄ１の影響で感度低
下を招くことはなく、大径の測定部位Ｍに期待される感
度でＸ線分析できる。Further, as shown in FIG.
Large aperture 2a of collimator 2 for restricting visual field on roadTwoDistribute
And perform X-ray analysis of the large-diameter measurement site M on the sample S.
Or when performing X-ray analysis of a large sample S,
Large throttle hole 2a of meter 2 TwoX-ray B restricted by
2 is the small diameter corresponding portion D1 of the primary solar slit 3.
Including and passing through a large diameter corresponding portion D2 which is sufficiently wider than this portion.
You. The small-diameter corresponding portion D1 of the primary solar slit 3 is removed.
The foil spacing d of the other parts is a small part of the whole.
Foil spacing d of diameter corresponding portion D1ThreeIs set larger than
Therefore, at this time, the sensitivity is low due to the influence of the small diameter corresponding portion D1.
Feeling expected for large diameter measurement site M without inviting downward
X-ray analysis can be performed in degrees.
【００２９】また、前記各実施形態では、１次ソーラス
リット３を改造した場合について説明したが、２次ソー
ラスリット５を同様の構成としてもよい。In each of the above embodiments, the case where the primary solar slit 3 is modified has been described. However, the secondary solar slit 5 may have the same configuration.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上のように、本発明の請求項１のソー
ラスリットを有するＸ線分析装置によれば、ソーラスリ
ットにおけるコリメータの小径の絞り孔を通った２次Ｘ
線を通過させる小径対応部分の箔間隔が、他の部分の箔
間隔よりも大きく設定されているため、構成が複雑にな
ることなく、１つのソーラスリットにより、試料の大径
測定に必要な分解能と、試料の小径測定に必要な感度と
分解能を満たすことができる。As described above, according to the X-ray analyzer having the solar slit of the first aspect of the present invention, the secondary X-ray passing through the small-diameter aperture of the collimator in the solar slit.
Since the foil interval of the small diameter corresponding part that passes the line is set to be larger than the foil interval of the other parts, the resolution required for large diameter measurement of the sample by one solar slit without complicating the configuration Thus, the sensitivity and resolution required for measuring the small diameter of the sample can be satisfied.
【００３１】また、本発明の請求項３のソーラスリット
を有するＸ線分析装置によれば、ソーラスリットにおけ
るコリメータの小径の絞り孔を通った２次Ｘ線を通過さ
せる小径対応部分の箔間隔が、他の部分の箔間隔よりも
小さく設定されているため、構成が複雑になることな
く、１つのソーラスリットにより、試料の大径測定を高
感度で行え、かつ、試料の小径測定に必要な分解能と感
度とを満たすことができる。According to the X-ray analyzer having a solar slit according to the third aspect of the present invention, the foil interval of the small-diameter corresponding portion of the solar slit through which the secondary X-ray passes through the small-diameter aperture of the collimator is passed. Because it is set smaller than the foil interval of the other parts, the large diameter measurement of the sample can be performed with high sensitivity by one solar slit without complicating the configuration, and necessary for the small diameter measurement of the sample. Resolution and sensitivity can be satisfied.
【図１】本発明の一実施形態に係るソーラスリットを有
するたＸ線分析装置の側面図である。FIG. 1 is a side view of an X-ray analyzer having a solar slit according to an embodiment of the present invention.
【図２】同Ｘ線分析装置により小径測定部位を測定する
際の１次ソーラスリットを示す部分破断側面図である。FIG. 2 is a partially broken side view showing a primary solar slit when measuring a small diameter measurement site by the X-ray analyzer.
【図３】同Ｘ線分析装置により大径測定部位を測定する
際に１次ソーラスリットを示す部分破断側面図である。FIG. 3 is a partially broken side view showing a primary solar slit when measuring a large diameter measurement site by the X-ray analyzer.
【図４】本発明の第２の実施形態に係るＸ線分析装置に
おける１次ソーラスリットを示す部分破断側面図であ
る。FIG. 4 is a partially cutaway side view showing a primary solar slit in an X-ray analyzer according to a second embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第３の実施形態に係るＸ線分析装置に
より小径測定部位を測定する際の１次ソーラスリットを
示す部分破断側面図である。FIG. 5 is a partially broken side view showing a primary solar slit when measuring a small-diameter measurement site by an X-ray analyzer according to a third embodiment of the present invention.
【図６】同Ｘ線分析装置により大径測定部位を測定する
際の１次ソーラスリットを示す部分破断側面図である。FIG. 6 is a partially broken side view showing a primary solar slit when measuring a large diameter measurement site by the X-ray analyzer.
【図７】１次ソーラスリット交換機構を備えた従来のＸ
線分析装置に採用される標準ソーラスリットを示す部分
破断側面図である。FIG. 7 shows a conventional X having a primary solar slit changing mechanism.
FIG. 3 is a partially broken side view showing a standard solar slit employed in the line analyzer.
【図８】同Ｘ線分析装置に採用される高感度ソーラスリ
ットを示す部分破断側面図である。FIG. 8 is a partially cutaway side view showing a high-sensitivity solar slit employed in the X-ray analyzer.
【図９】従来例における１次ソーラスリットと試料との
位置関係を示す部分破断側面図である。FIG. 9 is a partially broken side view showing a positional relationship between a primary solar slit and a sample in a conventional example.
【図１０】同１次ソーラスリットと試料との別の位置関
係を示す部分破断側面図である。FIG. 10 is a partially broken side view showing another positional relationship between the primary solar slit and the sample.
１…Ｘ線管、２…視野制限用コリメータ、２ａ，２ａ1
…絞り孔、３…１次ソーラスリット、５…２次ソーラス
リット、６…検出器、７…箔、Ｓ…試料、Ｂ１…１次Ｘ
線、Ｂ２，Ｂ３…２次Ｘ線、Ｄ１…ソーラスリットの小
径対応部分、Ｄ２…ソーラスリットの大径対応部分、ｄ
1 ，ｄ2 ，ｄ3 …箔間隔1 ... X-ray tube, 2 ... view limiting collimator, 2a, 2a 1
... aperture hole, 3 ... primary solar slit, 5 ... secondary solar slit, 6 ... detector, 7 ... foil, S ... sample, B1 ... primary X
Line, B2, B3: secondary X-ray, D1: portion corresponding to small diameter of solar slit, D2: portion corresponding to large diameter of solar slit, d
1, d 2, d 3 ... foil interval
Claims (3)
２次Ｘ線を検出器で検出して試料を分析するＸ線分析装
置であって、 前記２次Ｘ線の通路に、前記試料上の測定部位を制限す
る絞り孔を有する視野制限用コリメータと、複数の平板
状の箔を重ね前記コリメータを通過した２次Ｘ線を平行
化するソーラスリットとが設けられ、 前記ソーラスリットは、前記コリメータの小径の絞り孔
を通った２次Ｘ線を通過させる小径対応部分の箔間隔
が、他の部分の箔間隔よりも大きく設定されているソー
ラスリットを有するＸ線分析装置。An X-ray analyzer for analyzing a sample by detecting a secondary X-ray generated from a sample irradiated with a primary X-ray by a detector, wherein the secondary X-ray passes through a passage of the secondary X-ray. A collimator for field of view restriction having an aperture for restricting a measurement site on the sample, and a solar slit for stacking a plurality of flat foils and collimating secondary X-rays passing through the collimator are provided; An X-ray analyzer having a solar slit in which a small-diameter corresponding portion that passes secondary X-rays passing through a small-diameter aperture of the collimator has a larger foil interval than other portions.
通路内部に箔を有しない通路で形成されているソーラス
リットを有するＸ線分析装置。2. The X-ray analyzer according to claim 1, wherein the small-diameter corresponding portion has a solar slit formed by a passage having no foil inside the passage.
２次Ｘ線を検出器で検出して試料を分析するＸ線分析装
置であって、 前記２次Ｘ線の通路に、前記試料上の測定部位を制限す
る絞り孔を有する視野制限用コリメータと、複数の平板
状の箔を重ね前記コリメータを通過した２次Ｘ線を平行
化するソーラスリットとが設けられ、 前記ソーラスリットは、前記コリメータの小径の絞り孔
を通った２次Ｘ線を通過させる小径対応部分の箔間隔
が、他の部分の箔間隔よりも小さく設定されているソー
ラスリットを有するＸ線分析装置。3. An X-ray analyzer for analyzing a sample by detecting a secondary X-ray generated from a sample irradiated with a primary X-ray with a detector, wherein the secondary X-ray is provided in a path of the secondary X-ray. A collimator for field of view restriction having an aperture for restricting a measurement site on the sample, and a solar slit for stacking a plurality of flat foils and collimating secondary X-rays passing through the collimator are provided; An X-ray analyzer having a solar slit in which a small-diameter corresponding portion through which secondary X-rays passing through a small-diameter aperture of the collimator pass has a smaller foil interval than other portions.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11198381A JP2001027620A (en) | 1999-07-13 | 1999-07-13 | X-ray analyzer having solar slit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11198381A JP2001027620A (en) | 1999-07-13 | 1999-07-13 | X-ray analyzer having solar slit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001027620A true JP2001027620A (en) | 2001-01-30 |
Family
ID=16390186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11198381A Pending JP2001027620A (en) | 1999-07-13 | 1999-07-13 | X-ray analyzer having solar slit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001027620A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100710309B1 (en) * | 2005-08-09 | 2007-04-23 | 엘지전자 주식회사 | Plasma display panel and manufacturing method thereof |
| US10794845B2 (en) | 2017-12-19 | 2020-10-06 | Bruker Axs Gmbh | Set-up and method for spatially resolved measurement with a wavelength-dispersive X-ray spectrometer |
-
1999
- 1999-07-13 JP JP11198381A patent/JP2001027620A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100710309B1 (en) * | 2005-08-09 | 2007-04-23 | 엘지전자 주식회사 | Plasma display panel and manufacturing method thereof |
| US10794845B2 (en) | 2017-12-19 | 2020-10-06 | Bruker Axs Gmbh | Set-up and method for spatially resolved measurement with a wavelength-dispersive X-ray spectrometer |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20110096898A1 (en) | X-ray diffraction and fluorescence | |
| WO2018211664A1 (en) | X-ray spectrometer | |
| JP2007139754A (en) | Fluorescence x-ray spectrometer, and program used therefor | |
| JPH06213836A (en) | X-ray analyzer | |
| EP3521814B1 (en) | Wavelength-dispersive x-ray fluorescence spectrometer and x-ray fluorescence analysing method using the same | |
| JP2013096750A (en) | X-ray spectral detection device | |
| JPWO2004086018A1 (en) | X-ray fluorescence analyzer | |
| US10948436B2 (en) | Wavelength dispersive X-ray fluorescence spectrometer | |
| WO2005005969A1 (en) | Energy dispersion type x-ray diffraction/spectral device | |
| JP2007121324A (en) | X-ray diffractometer | |
| JP4715345B2 (en) | X-ray analyzer | |
| JP2001027620A (en) | X-ray analyzer having solar slit | |
| JPH06123717A (en) | Fluorescent x-ray qualitative analytical method under plurality of conditions | |
| JP2685726B2 (en) | X-ray analyzer | |
| JP3465141B2 (en) | X-ray fluorescence analyzer | |
| JP3411705B2 (en) | X-ray analyzer | |
| JPH1151883A (en) | Method and equipment for fluorescent x-ray analysis | |
| JP2000266702A (en) | Fluorescent x-ray analyzer | |
| WO2023017636A1 (en) | X-ray analysis device | |
| JP4330981B2 (en) | X-ray fluorescence analyzer | |
| JP2002365245A (en) | Wavelength dispersive x-ray fluorescence analyzer | |
| JP2921597B2 (en) | Total reflection spectrum measurement device | |
| JP3673849B2 (en) | Total reflection X-ray fluorescence analyzer | |
| JP2010286288A (en) | Control method for x-ray spectrometer, and x-ray spectrometer using the same | |
| JP2002156343A (en) | X-ray fluorescence analyzer |