JP2001022075A5

JP2001022075A5 -

Info

Publication number: JP2001022075A5
Application number: JP1999198164A
Authority: JP
Filing date: 1999-07-12
Publication date: 2006-08-31
Anticipated expiration: 2019-07-12

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】酸によりアルカリ水溶液に可溶となるレジスト用樹脂であって、式（２）および（３）から選ばれる少なくとも１種の構造を有する単量体単位が含まれていることを特徴とするレジスト用樹脂。
【化１】

（Ｒは水素原子またはアルキル基、ｎは０〜１０の整数）
【化２】

（Ｒは水素原子またはアルキル基、ｍは０〜３の整数、ｎは０〜１０の整数）
【請求項２】酸によりアルカリ水溶液に可溶となるレジスト用樹脂が、脂環式骨格を有する単量体単位と、ラクトン骨格を有する単量体単位を含むことを特徴とする請求項１のレジスト用樹脂。
【請求項３】請求項１記載のレジスト用樹脂および光酸発生剤を含有する化学増幅型レジスト組成物。
【請求項４】請求項３記載の化学増幅型レジスト組成物を用いてレジストを形成し、ドライエッチングを行う前にレジストに活性光線の照射および／または遠赤外線もしくは熱源による加熱処理を行うことを特徴とするレジストパターン形成方法。

すなわち、本発明は、酸によりアルカリ水溶液に可溶となるレジスト用樹脂であって、式（２）および（３）から選ばれる少なくとも１種の構造を有する単量体単位が含まれていることを特徴とするレジスト用樹脂である。

（Ｒは水素原子またはアルキル基、ｎは０〜１０の整数）

（Ｒは水素原子またはアルキル基、ｍは０〜３の整数、ｎは０〜１０の整数）

【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳しく説明する。
まず、酸によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂について説明する。酸によりアルカリ水溶液に可溶となる樹脂は、前記式（２）および（３）から選ばれる少なくとも１種の構造を有する単量体単位が含まれていなければならない。これらの単量体単位は必要に応じて単独あるいは２種以上を組み合わせることができる。これらの単量体単位は樹脂中に０．５〜２０モル％含まれていることが

前記式（２）および（３）から選ばれる少なくとも１種の構造を有する単量体単位としては、共重合により容易に樹脂骨格中へ導入できる（メタ）アクリレート系の単量体単位が好ましい。具体的には、１，３−エポキシ−２−（メタ）アクリロイルオキシメチル−２−メチルプロパン、１，３−エポキシ−２−（メタ）アクリロイルオキシメチル−２−エチルプロパン、１，３−エポキシ−２−（メタ）アクリロイルオキシメチル−２−プロピルプロパン、１，３−エポキシ−２−（メタ）アクリロイルオキシメチル−２−ｔ−ブチルプロパン、１，２−エポキシ−４−メタクリロイルオキシメチルシクロヘキサン、１，２−エポキシ−４−アリルシクロヘキサン、１，２−エポキシ−３−メタクリロイルオキシメチルシクロペンタン、１，２−エポキシ−５−メタクリロイルオキシメチルシクロヘプタン、１，２−エポキシ−５−メタクリロイルオキシメチルシクロオクタン等が挙げられる。