JP2001020947A - 情報記録機器超精密軸受装置 - Google Patents
情報記録機器超精密軸受装置Info
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- JP2001020947A JP2001020947A JP22880899A JP22880899A JP2001020947A JP 2001020947 A JP2001020947 A JP 2001020947A JP 22880899 A JP22880899 A JP 22880899A JP 22880899 A JP22880899 A JP 22880899A JP 2001020947 A JP2001020947 A JP 2001020947A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 液体または空気等の流体を介して軸と軸受が
非接触となる動圧流体軸受の、起動時摩耗の軽減と、回
転時の総合効率が高効率な流体軸受を得る。 【解決手段】 動圧形流体軸受に超音波振動子を装着
し、発生する超音波の電気化学的作用の内の、粒子加速
度によって生じる摩擦モーメントの粘性抵抗減少によ
り、高効率の流体軸受を得る。
非接触となる動圧流体軸受の、起動時摩耗の軽減と、回
転時の総合効率が高効率な流体軸受を得る。 【解決手段】 動圧形流体軸受に超音波振動子を装着
し、発生する超音波の電気化学的作用の内の、粒子加速
度によって生じる摩擦モーメントの粘性抵抗減少によ
り、高効率の流体軸受を得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は超精密な精密機器お
よび精密加工機、あるいは記録密度が高密度な情報記録
機器の精密機構に用いる超精密軸受に関し、より詳しく
はモータ等の回転運動による軸または軸受の回転運動そ
のものの作用を利用して、軸と軸受の間に流体膜を自動
的に作り出す動圧形流体軸受に使用される、超音波の粒
子加速作用等を用いた摩擦減少形の高効率流体軸受に関
するものである。
よび精密加工機、あるいは記録密度が高密度な情報記録
機器の精密機構に用いる超精密軸受に関し、より詳しく
はモータ等の回転運動による軸または軸受の回転運動そ
のものの作用を利用して、軸と軸受の間に流体膜を自動
的に作り出す動圧形流体軸受に使用される、超音波の粒
子加速作用等を用いた摩擦減少形の高効率流体軸受に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、コンピュータまたは、家庭用電子
機器等の記録媒体として、フロッピーディスクや、ハー
ドディスク等の磁気ディスク、光磁気ディスクおよび光
ディスク等が多用されており、これら情報記録機器の記
録密度は年々高密度化している。この情報記録のトラッ
ク幅は、家庭用のビデオテープレコーダー（ＶＴＲ）で
１０μｍ、コンピュータの記録装置である固定ディスク
装置（ＨＤＤ）で１２μｍ、光−磁気ディスク装置（Ｍ
ＯＤ）、およびコンパクトディスク装置（ＭＤＤ）等で
は、トラック幅１．６μｍが実用されている。従ってこ
れらの装置に使用される回転装置（モータ）には、超精
密の精度を持つ軸受が必要とされる。
機器等の記録媒体として、フロッピーディスクや、ハー
ドディスク等の磁気ディスク、光磁気ディスクおよび光
ディスク等が多用されており、これら情報記録機器の記
録密度は年々高密度化している。この情報記録のトラッ
ク幅は、家庭用のビデオテープレコーダー（ＶＴＲ）で
１０μｍ、コンピュータの記録装置である固定ディスク
装置（ＨＤＤ）で１２μｍ、光−磁気ディスク装置（Ｍ
ＯＤ）、およびコンパクトディスク装置（ＭＤＤ）等で
は、トラック幅１．６μｍが実用されている。従ってこ
れらの装置に使用される回転装置（モータ）には、超精
密の精度を持つ軸受が必要とされる。
【０００３】超精密軸受には、大別すると軸と軸受が接
触する複数個のベアリングを用いた転がり軸受と、液体
または空気等の流体を介して軸と軸受が非接触となる流
体軸受の２種類がある。
触する複数個のベアリングを用いた転がり軸受と、液体
または空気等の流体を介して軸と軸受が非接触となる流
体軸受の２種類がある。
【０００４】また作動流体の種類には、油および空気が
使用されており、モバイルコンピュータ等の携帯用機器
には、圧縮機等の補機を必要としない作動流体に油を用
いた動圧形の流体軸受が使用されている。前記流体軸受
は、作動流体による運動の平均効果のために、流体軸受
の回転精度は軸、および軸受の形状精度より一桁程度高
くなる効果があるので、流体軸受の回転精度は、もっと
も高い精度が要求されるアメリカ軸受製造者協会（ＡＦ
ＢＭＡ）規格の１．２μｍに対して、実用回転速度にお
ける動的回転精度の値が、サブミクロンの０．２μｍを
クリアする精度を有する。
使用されており、モバイルコンピュータ等の携帯用機器
には、圧縮機等の補機を必要としない作動流体に油を用
いた動圧形の流体軸受が使用されている。前記流体軸受
は、作動流体による運動の平均効果のために、流体軸受
の回転精度は軸、および軸受の形状精度より一桁程度高
くなる効果があるので、流体軸受の回転精度は、もっと
も高い精度が要求されるアメリカ軸受製造者協会（ＡＦ
ＢＭＡ）規格の１．２μｍに対して、実用回転速度にお
ける動的回転精度の値が、サブミクロンの０．２μｍを
クリアする精度を有する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】モバイルコンピュータ
等の携帯用機器は、電池を動力源にすることが多いの
で、比較的大きいとされる軸受部による動力損失、すな
わち摩擦モーメントを小さくする必要がある。加えて前
記摩擦モーメントの粘性抵抗は低温で最大となるが、−
２０℃から＋５０℃程度の温度範囲にわたって、軸受摩
擦モーメントの値は小さく、できるだけ変化しないこと
が要求される。かつ回転体の回転むら、変動を小さく抑
える必要もある。前記の軸受部の摩擦モーメントの粘性
抵抗には、軸と軸受の加工精度および潤滑が大きく関与
している。
等の携帯用機器は、電池を動力源にすることが多いの
で、比較的大きいとされる軸受部による動力損失、すな
わち摩擦モーメントを小さくする必要がある。加えて前
記摩擦モーメントの粘性抵抗は低温で最大となるが、−
２０℃から＋５０℃程度の温度範囲にわたって、軸受摩
擦モーメントの値は小さく、できるだけ変化しないこと
が要求される。かつ回転体の回転むら、変動を小さく抑
える必要もある。前記の軸受部の摩擦モーメントの粘性
抵抗には、軸と軸受の加工精度および潤滑が大きく関与
している。
【０００６】前記軸受部の摩擦は、接触する２つの物体
が外力の作用のもとで運動をするとき、接触面にその運
動を妨げる向きの力が生じる現象として現れ、この場合
の摩擦をすべり摩擦という。すべり摩擦の摩擦係数は物
質により異なるが、ほぼ０．３〜０．６の摩擦係数を示
し、ベアリングを用いた超精密軸受の転がり摩擦の摩擦
係数は、前記の値より２桁から３桁小さく、０．００１
〜０．０００１の摩擦係数を示す。
が外力の作用のもとで運動をするとき、接触面にその運
動を妨げる向きの力が生じる現象として現れ、この場合
の摩擦をすべり摩擦という。すべり摩擦の摩擦係数は物
質により異なるが、ほぼ０．３〜０．６の摩擦係数を示
し、ベアリングを用いた超精密軸受の転がり摩擦の摩擦
係数は、前記の値より２桁から３桁小さく、０．００１
〜０．０００１の摩擦係数を示す。
【０００７】また、油などの潤滑剤を使った流体軸受の
摩擦係数（トラクション係数）は、転がり−すべり接触
の摩擦係数となるが、０．０３〜０．０７程度の摩擦係
数（トラクション係数）を示し、前記の転がり摩擦係数
と比較して１桁ないし２桁程度の大きい値を示す。
摩擦係数（トラクション係数）は、転がり−すべり接触
の摩擦係数となるが、０．０３〜０．０７程度の摩擦係
数（トラクション係数）を示し、前記の転がり摩擦係数
と比較して１桁ないし２桁程度の大きい値を示す。
【０００８】このため従来から用いられる現行の、作動
流体に油を用いた動圧形流体軸受の総合効率は、３５％
前後であるのに対して、軸と軸受が接触式の、複数個の
ベアリングを用いた転がり軸受の総合効率は、５５％程
度と高効率であった。
流体に油を用いた動圧形流体軸受の総合効率は、３５％
前後であるのに対して、軸と軸受が接触式の、複数個の
ベアリングを用いた転がり軸受の総合効率は、５５％程
度と高効率であった。
【０００９】また非接触タイプの流体軸受は、共にモー
タ等の回転体が静止しているときには、軸と軸受が接触
するので、起動停止の多い使い方の場合はその摩耗対策
も必要とする。
タ等の回転体が静止しているときには、軸と軸受が接触
するので、起動停止の多い使い方の場合はその摩耗対策
も必要とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によって成る動圧形流体軸受に使用される、
超音波の粒子加速作用等を用いた摩擦減少形の高効率流
体軸受は、超音波による種々の電気化学的作用の内の、
粒子加速度によって生ずる現象としての摩擦モーメント
の粘性抵抗の減少を用いたものである。超音波による粒
子加速度の大きさに比例して物体（ロータ）を回転させ
る回転粘性抵抗が減少する。超音波振動のない場合の回
転粘性抵抗を約１５０とすると、超音波振動を作用させ
たときの回転粘性抵抗はほぼ１を示し、２桁程度の軽減
が可能である。
に、本発明によって成る動圧形流体軸受に使用される、
超音波の粒子加速作用等を用いた摩擦減少形の高効率流
体軸受は、超音波による種々の電気化学的作用の内の、
粒子加速度によって生ずる現象としての摩擦モーメント
の粘性抵抗の減少を用いたものである。超音波による粒
子加速度の大きさに比例して物体（ロータ）を回転させ
る回転粘性抵抗が減少する。超音波振動のない場合の回
転粘性抵抗を約１５０とすると、超音波振動を作用させ
たときの回転粘性抵抗はほぼ１を示し、２桁程度の軽減
が可能である。
【００１１】換言すれば、モータ等回転運動による軸ま
たは軸受の回転運動そのものの作用を利用して、軸と軸
受の間に流体膜を自動的に作り出す動圧形流体軸受にお
いて、前記流体軸受に超音波振動を作用させ、粘性抵抗
を軽減させたことを特徴とする。
たは軸受の回転運動そのものの作用を利用して、軸と軸
受の間に流体膜を自動的に作り出す動圧形流体軸受にお
いて、前記流体軸受に超音波振動を作用させ、粘性抵抗
を軽減させたことを特徴とする。
【００１２】また超精密軸受装置は、モータ等回転運動
による軸または軸受の回転運動そのものの作用を利用し
て、軸と軸受の間に流体膜を自動的に作り出す動圧形流
体軸受において、前記流体軸受に進行する超音波を作用
させ、粘性抵抗を軽減させた事を特徴とする。
による軸または軸受の回転運動そのものの作用を利用し
て、軸と軸受の間に流体膜を自動的に作り出す動圧形流
体軸受において、前記流体軸受に進行する超音波を作用
させ、粘性抵抗を軽減させた事を特徴とする。
【００１３】さらに超精密軸受装置は、モータ等回転運
動による軸または軸受の回転運動そのものの作用を利用
して、軸と軸受の間に流体膜を自動的に作り出す動圧形
流体軸受において、前記流体軸受に超音波厚み振動を作
用させ、粘性抵抗を軽減させたことを特徴とする。
動による軸または軸受の回転運動そのものの作用を利用
して、軸と軸受の間に流体膜を自動的に作り出す動圧形
流体軸受において、前記流体軸受に超音波厚み振動を作
用させ、粘性抵抗を軽減させたことを特徴とする。
【００１４】次にまた超精密軸受装置は、モータ等回転
運動による軸または軸受の回転運動そのものの作用を利
用して、軸と軸受の間に流体膜を自動的に作り出す動圧
形流体軸受において、前記流体軸受の前記軸に超音波振
動子を締結して成ることを特徴とする。
運動による軸または軸受の回転運動そのものの作用を利
用して、軸と軸受の間に流体膜を自動的に作り出す動圧
形流体軸受において、前記流体軸受の前記軸に超音波振
動子を締結して成ることを特徴とする。
【００１５】さらにまた超精密軸受装置は、モータ等回
転運動による軸または軸受の回転運動そのものの作用を
利用して、軸と軸受の間に流体膜を自動的に作り出す動
圧形流体軸受において、起動回転直前に、前記流体軸受
に超音波振動を作用させ、起動回転時の回転運動を介助
したことを特徴とする。
転運動による軸または軸受の回転運動そのものの作用を
利用して、軸と軸受の間に流体膜を自動的に作り出す動
圧形流体軸受において、起動回転直前に、前記流体軸受
に超音波振動を作用させ、起動回転時の回転運動を介助
したことを特徴とする。
【００１６】前記作用および構成等を用いることによ
り、これまで不可能とされていた流体軸受の比較的大き
いとされる軸受部による動力損失、すなわち摩擦モーメ
ントの粘性抵抗を、超音波を作用させて２桁程度軽減さ
せたことにより、はじめてベアリングを用いた接触形の
転がり軸受方式と比較して、非接触方式で同等以上の摩
擦減少形の、高効率流体軸受を初めて可能にしたもので
ある。
り、これまで不可能とされていた流体軸受の比較的大き
いとされる軸受部による動力損失、すなわち摩擦モーメ
ントの粘性抵抗を、超音波を作用させて２桁程度軽減さ
せたことにより、はじめてベアリングを用いた接触形の
転がり軸受方式と比較して、非接触方式で同等以上の摩
擦減少形の、高効率流体軸受を初めて可能にしたもので
ある。
【００１７】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を、実施例に基
づき図面を参照して説明する。図１に示すように、本発
明によって成る動圧流体軸受のシリンダ１に、嵌合固定
された固定軸２の周面には深さ数μｍ程度のＶ字状の溝
（ヘリングボーン溝）３が刻まれている。また前記固定
軸２の上部に位置するスパイラルグループスラスト軸受
４の下面にも、同様に深さ数μｍ程度のＶ字状の溝が円
周方向に一定の間隔で刻まれている。ロータ５と前記固
定軸２との間には鉱物油などから成る潤滑剤が封入され
ており、かつ前記ロータ５の下部にはヨーク６を介して
ロータリーマグネット７が固着されていて、シリンダー
１に固着されたステータコイル８との間に働く電磁力に
より、固定軸２を中心にして、ロータ５およびロータ５
に嵌合固定されたスパイラルグループスラスト軸受４と
ヨーク６およびロータリマグネット７等が共に回転す
る。
づき図面を参照して説明する。図１に示すように、本発
明によって成る動圧流体軸受のシリンダ１に、嵌合固定
された固定軸２の周面には深さ数μｍ程度のＶ字状の溝
（ヘリングボーン溝）３が刻まれている。また前記固定
軸２の上部に位置するスパイラルグループスラスト軸受
４の下面にも、同様に深さ数μｍ程度のＶ字状の溝が円
周方向に一定の間隔で刻まれている。ロータ５と前記固
定軸２との間には鉱物油などから成る潤滑剤が封入され
ており、かつ前記ロータ５の下部にはヨーク６を介して
ロータリーマグネット７が固着されていて、シリンダー
１に固着されたステータコイル８との間に働く電磁力に
より、固定軸２を中心にして、ロータ５およびロータ５
に嵌合固定されたスパイラルグループスラスト軸受４と
ヨーク６およびロータリマグネット７等が共に回転す
る。
【００１８】回転によりヘリングボーングループラジア
ル軸受３およびスパイラルグループスラスト軸受４の深
さ数μｍの溝に生じる動圧効果（ポンプ作用）により、
発生する圧力で潤滑流体がミクロな流体膜を生成し、回
転体のロータ５と固定軸２は接触することなく非接触の
状態で回転を永続させる。
ル軸受３およびスパイラルグループスラスト軸受４の深
さ数μｍの溝に生じる動圧効果（ポンプ作用）により、
発生する圧力で潤滑流体がミクロな流体膜を生成し、回
転体のロータ５と固定軸２は接触することなく非接触の
状態で回転を永続させる。
【００１９】超音波振動子９は、固定軸２の下部の内部
にエポキシ系の接着剤等を用いて固着されている。前記
超音波振動子９は、通常円板の上下面に銀電極が施され
た構成から成り、接着面側にアース電位を、他の面に高
周波のプラス電位を印加することにより超音波を励振す
る。
にエポキシ系の接着剤等を用いて固着されている。前記
超音波振動子９は、通常円板の上下面に銀電極が施され
た構成から成り、接着面側にアース電位を、他の面に高
周波のプラス電位を印加することにより超音波を励振す
る。
【００２０】固定軸２は、超音波振動子９を振動源とし
て、形状で定まる共振周波数で励振され、前記固定軸２
の鉛直上方および軸周面等の境界面で振動数の２倍の周
波数の表面波が作用する。また境界層となる回転により
生じたミクロな流体膜で超音波集束して、前記超音波に
より生じる粒子加速度の大きさに比例して、物体（ロー
タ）を回転させる回転（粘性）抵抗が減少した。
て、形状で定まる共振周波数で励振され、前記固定軸２
の鉛直上方および軸周面等の境界面で振動数の２倍の周
波数の表面波が作用する。また境界層となる回転により
生じたミクロな流体膜で超音波集束して、前記超音波に
より生じる粒子加速度の大きさに比例して、物体（ロー
タ）を回転させる回転（粘性）抵抗が減少した。
【００２１】超音波振動のない場合の回転（粘性）抵抗
を１５０とすると、超音波振動を作用させたときの回転
（粘性）抵抗は約１を示し、超音波振動により２桁程度
の粘性抵抗の軽減が初めて可能となった。
を１５０とすると、超音波振動を作用させたときの回転
（粘性）抵抗は約１を示し、超音波振動により２桁程度
の粘性抵抗の軽減が初めて可能となった。
【００２２】また固定軸２の下部の内部にエポキシ系の
接着剤で固着された超音波振動子９を、流体軸受の形状
で定まる共振周波数で励振するのではなく、前記超音波
振動子９の厚み振動モードにより励振すると、５００Ｋ
Ｈｚから２ＭＨｚの間の高周波数による励振が可能とな
った。またこのことによりハイパワー励振も可能となっ
た。
接着剤で固着された超音波振動子９を、流体軸受の形状
で定まる共振周波数で励振するのではなく、前記超音波
振動子９の厚み振動モードにより励振すると、５００Ｋ
Ｈｚから２ＭＨｚの間の高周波数による励振が可能とな
った。またこのことによりハイパワー励振も可能となっ
た。
【００２３】図２に、図１で述べた超音波振動子の別の
構成から成る超音波振動子を示した。円板の上下面に設
けた電極をそれぞれ６分割することにより、円周方向に
３λの波が生じる構成から成る振動子を、位置的に９０
度ずらせて２枚張り合わせた超音波振動子１０に、電気
的に９０度異なる電気信号を印加することにより、進行
する振動波（超音波）を固定軸２に励振する。このこと
により前記固定軸２の鉛直上方および軸周面等の境界面
に進行する振動波（超音波）を励振することで、回転に
より生じた境界層となるミクロな流体膜で超音波集束し
て、前記超音波により生じる粒子加速度の大きさに比例
して、物体（ロータ）を回転させる回転（粘性）抵抗が
減少した。
構成から成る超音波振動子を示した。円板の上下面に設
けた電極をそれぞれ６分割することにより、円周方向に
３λの波が生じる構成から成る振動子を、位置的に９０
度ずらせて２枚張り合わせた超音波振動子１０に、電気
的に９０度異なる電気信号を印加することにより、進行
する振動波（超音波）を固定軸２に励振する。このこと
により前記固定軸２の鉛直上方および軸周面等の境界面
に進行する振動波（超音波）を励振することで、回転に
より生じた境界層となるミクロな流体膜で超音波集束し
て、前記超音波により生じる粒子加速度の大きさに比例
して、物体（ロータ）を回転させる回転（粘性）抵抗が
減少した。
【００２４】次に、動圧形の流体軸受はモータ等の回転
体が制止しているときには、軸と軸受が接触しており、
モータの回転と共に軸に刻まれた深さ数μｍの溝に生じ
る動圧効果（ポンプ作用）により発生する圧力で、潤滑
流体がミクロな流体膜を形成し、回転体のロータ５と固
定軸２が非接触状態を保つ。
体が制止しているときには、軸と軸受が接触しており、
モータの回転と共に軸に刻まれた深さ数μｍの溝に生じ
る動圧効果（ポンプ作用）により発生する圧力で、潤滑
流体がミクロな流体膜を形成し、回転体のロータ５と固
定軸２が非接触状態を保つ。
【００２５】従って、起動までの過程の比較的大きい動
力損失、すなわち摩擦モーメントの粘性抵抗を小さく抑
えるために、動圧流体軸受の起動回転直前に、前記流体
軸受に超音波振動子９により超音波振動を作用させる
と、固定軸２の鉛直上方および軸周面等の境界面に超音
波振動が伝搬して、接触状態がすべり摩擦の状態から転
がり−すべり接触状態へと移行することにより、軸と軸
受の摩耗が軽減され、かつ軸受部による動力損失、すな
わち摩擦モーメントの粘性抵抗を小さくすることが可能
となった。
力損失、すなわち摩擦モーメントの粘性抵抗を小さく抑
えるために、動圧流体軸受の起動回転直前に、前記流体
軸受に超音波振動子９により超音波振動を作用させる
と、固定軸２の鉛直上方および軸周面等の境界面に超音
波振動が伝搬して、接触状態がすべり摩擦の状態から転
がり−すべり接触状態へと移行することにより、軸と軸
受の摩耗が軽減され、かつ軸受部による動力損失、すな
わち摩擦モーメントの粘性抵抗を小さくすることが可能
となった。
【００２６】
【発明の効果】情報記録媒体の記録密度は年々高密度化
しており、光−磁気ディスク装置（ＭＯＤ）およびコン
パクトディスク装置（ＭＤＤ）等ではトラック幅１．６
μｍが実用されている。これまで前記ディスクを回転駆
動するモータには、ボールベアリングが軸受に使用され
てきたが、ボールの真円度および内・外輪の振れ精度等
をさらに低減するために、動圧流体軸受が用いられてい
る。
しており、光−磁気ディスク装置（ＭＯＤ）およびコン
パクトディスク装置（ＭＤＤ）等ではトラック幅１．６
μｍが実用されている。これまで前記ディスクを回転駆
動するモータには、ボールベアリングが軸受に使用され
てきたが、ボールの真円度および内・外輪の振れ精度等
をさらに低減するために、動圧流体軸受が用いられてい
る。
【００２７】本発明では、これまで不可能とされていた
流体軸受の比較的大きいとされる軸受部による動力損
失、すなわち摩擦モーメントの粘性抵抗を、超音波を作
用させて２桁程度軽減させたことにより、はじめてベア
リングを用いた接触形の転がり軸受方式と比較して、非
接触方式で同等以上の摩擦減少形の、高効率流体軸受を
始めて可能にしたものである。
流体軸受の比較的大きいとされる軸受部による動力損
失、すなわち摩擦モーメントの粘性抵抗を、超音波を作
用させて２桁程度軽減させたことにより、はじめてベア
リングを用いた接触形の転がり軸受方式と比較して、非
接触方式で同等以上の摩擦減少形の、高効率流体軸受を
始めて可能にしたものである。
【００２８】さらに非接触タイプの流体軸受は、モータ
等の回転体が静止しているときには、軸と軸受が接触す
るので、起動停止の多い使い方の場合はその摩耗対策を
必要とされたが、本発明では起動までの過程の比較的大
きい動力損失、すなわち摩擦モーメントの粘性抵抗を小
さく抑えるために、動圧流体軸受の起動回転直前に、前
記流体軸受に超音波振動子により超音波振動を作用させ
ると、固定軸とロータの境界面に超音波振動が伝搬し
て、接触状態がすべり摩擦から転がり−すべり接触へと
移行することで、軸と軸受の摩耗が軽減され、かつ動力
損失、すなわち摩擦モーメントの粘性抵抗を小さくする
ことが初めて可能となったなど、実用レベルにおける多
くの効果を有するものである。
等の回転体が静止しているときには、軸と軸受が接触す
るので、起動停止の多い使い方の場合はその摩耗対策を
必要とされたが、本発明では起動までの過程の比較的大
きい動力損失、すなわち摩擦モーメントの粘性抵抗を小
さく抑えるために、動圧流体軸受の起動回転直前に、前
記流体軸受に超音波振動子により超音波振動を作用させ
ると、固定軸とロータの境界面に超音波振動が伝搬し
て、接触状態がすべり摩擦から転がり−すべり接触へと
移行することで、軸と軸受の摩耗が軽減され、かつ動力
損失、すなわち摩擦モーメントの粘性抵抗を小さくする
ことが初めて可能となったなど、実用レベルにおける多
くの効果を有するものである。
【図１】本発明によって成る超音波の粒子加速作用等を
用いた摩擦減少形の高効率動圧流体軸受の断面図であ
る。
用いた摩擦減少形の高効率動圧流体軸受の断面図であ
る。
１ シリンダー ２ 固定軸 ３ ヘリングボーングループラジアル軸受 ４ スパイラルグループスラスト軸受 ５ ロータ ６ ヨーク ７ ロータマグネット ８ ステータコイル ９、１０ 超音波振動子
【手続補正書】
【提出日】平成１１年９月１７日（１９９９．９．１
７）
７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明によって成る超音波の粒子
加速作用等を用いた摩擦減少形の高効率動圧流体軸受の
断面図である。
加速作用等を用いた摩擦減少形の高効率動圧流体軸受の
断面図である。
【図２】 本発明によって成る超音波振動子
の他の１実施例を示した斜視図である。
の他の１実施例を示した斜視図である。
【符号の簡単な説明】 １ シリンダー ２ 固定軸 ３ ヘリングボーングループラジアル軸受 ４ スパイラルグループスラスト軸受 ５ ロータ ６ ヨーク ７ ロータマグネット ８ ステータコイル ９、１０ 超音波振動子
Claims (5)
- 【請求項１】 モータ等回転運動による軸または軸受の
回転運動そのものの作用を利用して、軸と軸受の間に流
体膜を自動的に作り出す動圧形流体軸受において、前記
流体軸受に超音波振動を作用させ、粘性抵抗を軽減させ
たことを特徴とする超精密軸受装置。 - 【請求項２】 モータ等回転運動による軸または軸受の
回転運動そのものの作用を利用して、軸と軸受の間に流
体膜を自動的に作り出す動圧形流体軸受において、前記
流体軸受に進行する超音波を作用させ、粘性抵抗を軽減
させた事を特徴とする超精密軸受装置。 - 【請求項３】 モータ等回転運動による軸または軸受の
回転運動そのものの作用を利用して、軸と軸受の間に流
体膜を自動的に作り出す動圧形流体軸受において、前記
流体軸受に超音波厚み振動を作用させ、粘性抵抗を軽減
させたことを特徴とする超精密軸受装置。 - 【請求項４】 モータ等回転運動による軸または軸受の
回転運動そのものの作用を利用して、軸と軸受の間に流
体膜を自動的に作り出す動圧形流体軸受において、前記
流体軸受の前記軸に超音波振動子を締結して成ることを
特徴とする超精密軸受装置。 - 【請求項５】 モータ等回転運動による軸または軸受の
回転運動そのものの作用を利用して、軸と軸受の間に流
体膜を自動的に作り出す動圧形流体軸受において、前記
流体軸受の起動回転直前に、前記流体軸受に超音波振動
を作用させ、起動回転時の回転運動を介助したことを特
徴とする超精密軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22880899A JP2001020947A (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | 情報記録機器超精密軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22880899A JP2001020947A (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | 情報記録機器超精密軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001020947A true JP2001020947A (ja) | 2001-01-23 |
Family
ID=16882188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22880899A Pending JP2001020947A (ja) | 1999-07-07 | 1999-07-07 | 情報記録機器超精密軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001020947A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006123548A1 (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | ヘッド制御装置およびこれを用いたディスク装置 |
| CN108927327A (zh) * | 2018-05-25 | 2018-12-04 | 广东仁开科技有限公司 | 一种超声波分料结构 |
| JP2019080438A (ja) * | 2017-10-25 | 2019-05-23 | 株式会社豊田中央研究所 | 二軸出力誘導機 |
-
1999
- 1999-07-07 JP JP22880899A patent/JP2001020947A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006123548A1 (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | ヘッド制御装置およびこれを用いたディスク装置 |
| JP2019080438A (ja) * | 2017-10-25 | 2019-05-23 | 株式会社豊田中央研究所 | 二軸出力誘導機 |
| CN108927327A (zh) * | 2018-05-25 | 2018-12-04 | 广东仁开科技有限公司 | 一种超声波分料结构 |
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