JP2001016852A - シェンケル形直流高圧電源の電圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】コンデンサピックアップ電極を用いて電源の出
力電圧を歪みなく正確に検出することができるシェンケ
ル形直流高圧電源の電圧測定装置を提供する。 【解決手段】シェンケル電極列２０２の高電位側の端部
に隣接配置された高電圧ターミナル２０５を同心的に囲
むように交流高周波電圧供給用電極２０３Ａ，２０３Ｂ
と同径の円筒状のコンデンサピックアップ電極３０を設
ける。コンデンサピックアップ電極３０とタンク１との
間の静電容量及びコンデンサピックアップ電極３０と高
電圧ターミナル２０５との間の静電容量により構成され
るコンデンサ分圧回路を通して高電圧ターミナル２０５
と接地間に得られる電源の出力電圧を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、イオンビームを加
速する加速装置の電源として用いるのに好適なシェンケ
ル形直流高圧電源の出力電圧を測定する装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】イオン注入装置などのイオンビーム応用
機器においては、イオンを加速するためにタンデム加速
器やシングルエンド形加速器が用いられており、これら
の加速器に加速電圧を与える直流高圧電源装置として、
周知のシェンケル回路を用いた直流高圧電源装置が多く
用いられている。

【０００３】図４及び図５はシェンケル形直流高圧電源
の要部の構成例を示し、図６はシェンケル回路の電気的
な構成を示している。これらの図において、１は円筒状
に形成されたタンク本体１Ａと該タンク本体の軸線方向
の一端側に設けられた開口部を閉じるタンクベース
（蓋）１Ｂとを備えたタンク、２はタンク１内に収納さ
れたシェンケル回路である。

【０００４】シェンケル回路２は、長手方向をタンク本
体１Ａの軸線方向に向けた状態で該タンク本体内に平行
に配置されてタンクベース１Ｂに片持ちで支持された対
の絶縁板２００，２００と、絶縁板２００，２００に支
持金具２１０を介して支持されたシェンケル電極列２０
２と、シェンケル電極列２０２を間にして対向するよう
に設けられた第１及び第２の交流高周波電圧供給用電極
（以下ＲＦ電極ともいう。）２０３Ａ及び２０３Ｂと、
絶縁板２００に支持されてシェンケル電極列２０２及び
ＲＦ電極２０３Ａ及び２０３Ｂとともにｎ倍電圧整流回
路を構成する整流器２０４，２０４，…及び２０４´，
２０４´，…（図６参照）と、図示しない高周波電源の
出力を昇圧して得た電圧を第１のＲＦ電極２０３Ａと接
地電位部との間及び第２のＲＦ電極２０３Ｂと接地電位
部との間にそれぞれ印加する高周波コイル（図４には図
示せず。）とを備えている。

【０００５】シェンケル電極列２０２は、図５に示すよ
うに、周方向の両端を下方に向けたほぼ円弧状の多数の
第１の単位電極２０１ａをそれぞれの軸線をタンク１の
中心軸線と一致させた状態で整列配置してなる第１の単
位電極列２０１Ａと、第１の単位電極と反対方向に向け
た（周方向の両端を上方に向けた）円弧状の多数の第２
の単位電極２０１ｂをそれぞれの軸線をタンク１の中心
軸線と一致させた状態で多数個整列配置してなる第２の
単位電極列２０１Ｂとからなっている。図示の例では、
第１の単位電極２０１ａ及び第２の単位電極２０１ｂが
軸線方向に位置をずらした状態で配置されている。

【０００６】第１のＲＦ電極２０３Ａ及び第２のＲＦ電
極２０３Ｂは、軸線をタンク１の中心軸線と一致させた
状態で配置されてタンク本体１Ａの内周部に絶縁支持物
３を介して支持されたほぼ円筒状の電極からなってい
て、第１の単位電極列２０１Ａ及び第２の単位電極列２
０１Ｂに対向させられている。

【０００７】図６に示したように、整流器２０４は、第
１の単位電極列２０１Ａの低電位側の一端からｎ番目
（ｎ＝１，２，…）の単位電極２０１ａを第２の単位電
極列２０１Ｂの低電位側の一端からｎ＋１番目の単位電
極２０１ｂに接続するように設けられ、整流器２０４´
は第２の単位電極列２０１Ｂの一端からｎ番目の単位電
極を第１の単位電極列２０１Ａの一端からｎ＋１番目の
単位電極に接続するように設けられている。

【０００８】シェンケル電極列２０２の低電位側の最端
部に位置する単位電極２０１ａ及び２０１ｂはリアクト
ル７（図６参照）を通して接地されている。

【０００９】なおリアクトル７に代えて抵抗を用いる場
合もあり、シェンケル電極列２０２の低電位側の最端部
に位置する単位電極２０１ａ及び２０１ｂを直接接地す
る場合もある。

【００１０】絶縁板２００の自由端付近には、高電位側
の端子とシールドとを兼ねる円筒状の高電圧ターミナル
２０５がタンクと軸線を共有した状態で配置され、この
高電圧ターミナル２０５はシェンケル電極列２０２の高
電位側の最端部の単位電極２０１ａ及び２０１ｂにリア
クトル８を介して接続されている。

【００１１】なおリアクトル８に代えて抵抗を用いる場
合もあり、高電圧ターミナル２０５を、シェンケル電極
列２０２の高電位側の最端部の単位電極２０１ａ及び２
０１ｂに直接接続する場合もある。

【００１２】図４において２０６は、高電位側の最端部
の昇圧回路電極２０１と高電圧ターミナル２０５との間
に形成される隙間の電位を、高電圧ターミナル２０５の
電位と同じ電位に固定するために設けられたシールド板
である。

【００１３】タンク本体１Ａの側面には、該タンク本体
の軸線方向に対して直角な方向に突出した分岐管部（図
示せず。）が設けられていて、該分岐管部にタンデム加
速器を収容した容器が接続されている。タンデム加速器
はタンク本体１Ａの軸線方向に対して直角な方向に長く
伸びるように設けられていて、該加速器５の中間部に設
けられた高電位側の端子に高電圧ターミナル２０５が接
続されている。

【００１４】またタンク本体１Ａの側面に設けられた図
示しない分岐管部に昇圧コイル容器が接続されて、該昇
圧コイル容器内に昇圧コイル２０７（図６参照）が収納
され、高周波電源６から昇圧コイル２０７を通して第１
のＲＦ電極２０３Ａと接地電位部（タンク１）との間及
び第２のＲＦ電極２０３Ｂと接地電位部との間にそれぞ
れ逆位相の電圧が印加されている。タンク１内にはＳＦ
6 ガスが所定の圧力で封入されている。

【００１５】シェンケル回路２は、高周波電源６の出力
電圧を昇圧コイル２０７により昇圧して得た電圧でＲＦ
電極２０３Ａ，２０３Ｂとシェンケル電極列２０２を構
成する一連の単位電極２０１ａ，２０１ｂとの間にそれ
ぞれ形成された浮遊静電容量を充電して高電圧を発生さ
せる周知のものである。なおシェンケル回路の具体的構
成は図６に示されたものに限られるものではなく、図６
はその一例を示したものである。

【００１６】図６において、Ｃ1 は第１のＲＦ電極２０
３Ａ及び第２のＲＦ電極２０３Ｂのそれぞれと対地間の
浮遊静電容量、Ｃ2 は第１のＲＦ電極２０３Ａと第１の
単位電極２０１ａとの間、及び第２のＲＦ電極２０３Ｂ
と第２の単位電極２０１ｂとの間のそれぞれの浮遊静電
容量、Ｃ3 は整流器２０４，２０４´が有する静電容
量、Ｌは昇圧コイル２０７のインダクタンスである。

【００１７】この例では、第１の単位電極列２０１Ａの
低電位側の一端からｎ番目（ｎ＝１，２，…）の単位電
極２０１ａを整流器２０４を通して第２の単位電極列２
０１Ｂの低電位側の一端からｎ＋１番目の単位電極２０
１ｂに接続し、第２の単位電極列２０１Ｂの一端からｎ
番目の単位電極を第１の単位電極列２０１Ａの一端から
ｎ＋１番目の単位電極に整流器２０４´を通して接続す
ることにより、シェンケル電極列２０２の低電位側の端
部からｎ番目（ｎ＝１，２，…）に配置された単位電極
２０１ａ，２０１ｂとＲＦ電極２０３Ａ，２０３Ｂとの
間の浮遊静電容量Ｃ2 を高周波電圧のピーク値Ｅのｎ倍
の電圧ｎＥまで充電するｎ倍電圧整流回路を構成してい
る。

【００１８】図６に示したシェンケル回路において、高
周波電源６が投入されると、昇圧コイル２０７のインダ
クタンスＬと、第１及び第２のＲＦ電極２０３Ａ及び２
０３Ｂのそれぞれと対地間の静電容量Ｃ1 とにより構成
される共振回路の共振周波数に等しい周波数（好ましく
は５０ＫＨｚ〜１００ＫＨｚ）の高周波電圧が発生し、
この高周波電圧が第１のＲＦ電極２０３Ａと対地間及び
第２のＲＦ電極２０３Ｂと対地間に印加される。この高
周波電圧の正負の半サイクルの交番に伴って、電極列の
低電位側の端部から高電位側の端部に向けて順次配置さ
れた第１及び第２の単位電極２０１ａ及び２０１ｂと第
１及び第２のＲＦ電極２０３Ａ及び２０３Ｂとの間の静
電容量Ｃ2 がそれぞれＥ，２Ｅ，３Ｅ，…の電圧まで充
電されて、最終的に電極列の高電位側の端部のｎ番目の
第１の単位電極２０１ａと第１のＲＦ電極２０３Ａとの
間の静電容量Ｃ2 の両端及び第２の単位電極２０１ｂと
第２のＲＦ電極２０３Ｂとの間の静電容量Ｃ2 の両端に
ｎＥの直流高電圧が得られる。この高電圧は高電圧ター
ミナル２０５を通して図示しない加速管等に加速電圧等
として印加される。

【００１９】上記のように、シェンケル形直流高圧電源
の構成部品を絶縁ガスが封入されたタンク１内に収容す
る場合、通常は該電源により駆動される加速器などの構
成部品も該タンク内に配置される。

【００２０】図７はタンク１内にシェンケル形直流高圧
電源とともに加速管１１を収容して構成したシングルエ
ンド形加速装置の構成例を概略的に示したもので、この
例では、加速管１１がシェンケル電極列２０２と軸線を
一致させた状態で配置されて、その高電圧側の端部が高
電圧ターミナル２０５に接続されている。図７において
１２はイオン源を示しており、このイオン源は、シェン
ケル電極列２０２の中心軸線の延長上に位置させた状態
で高電圧ターミナル２０５内に配置されて、加速管１１
に接続されている。また１３は加速管１０から出たイオ
ンビームをターゲットチャンバに導くためのビームダク
トである。

【００２１】上記シェンケル形直流高圧電源の出力電圧
には、整流器２０４，２０４´による整流に伴って生じ
るリップル電圧や、ＲＦ電極の非対称性により生じるリ
ップル電圧が含まれている。このリップル電圧はできる
だけ少なくすることが望ましいため、リップル電圧を検
出して、そのレベルを最小にするようにＲＦ電極への印
加電圧の微調整等を行う必要がある。また加速器を的確
に制御するためには、その加速電圧に含まれるリップル
分を知っておく必要がある。

【００２２】そのため、従来は、図４及び図７に示され
ているように、タンク１の周壁部の一部に形成した凹部
１ａ内にタンク１に対して絶縁された円盤状のコンデン
サピックアップ電極（以下ＣＰＵ電極ともいう。）１５
を配置して、該ＣＰＵ電極１５を高電圧ターミナル２０
５に対向させ、ＣＰＵ電極１５につながる端子１６をタ
ンク１外に導出するようにしていた。このようなＣＰＵ
電極を設ければ、ＣＰＵ電極１５と高電圧ターミナル２
０５との間の浮遊静電容量を通して高電圧ターミナル２
０５と接地間に得られるシェンケル形直流高圧電源の出
力電圧を測定することができ、またＣＰＵ電極と接地間
に得られる検出電圧をフィルタ回路に入力してリップル
分を取り出すことにより、シェンケル形直流高圧電源の
出力電圧に含まれるリップル電圧を検出することができ
る。

【００２３】また図８に示したように、複数の分圧抵抗
Ｒの直列回路と各分圧抵抗Ｒに並列接続された分圧コン
デンサＣとからなっていて、タンク１内で一端が高電圧
ターミナル２０５に接続されたＣＲ回路１６と、タンク
１外に導出されたＣＲ回路１６の他端と接地間に接続さ
れた分圧抵抗Ｒ´及び分圧コンデンサＣ´の並列回路と
からなるＣＲ分圧器を設けて、分圧抵抗Ｒ´の両端に得
られる分圧出力電圧Ｅo からシェンケル形直流高圧電源
の出力電圧を検出することも行われていた。

【００２４】

【発明が解決しようとする課題】図４または図７に示し
たように、円盤状のＣＰＵ電極１５を用いた場合には、
該ＣＰＵ電極１５と高電圧ターミナル２０５との間の静
電容量を十分に大きくすることができないため、電源の
出力電圧に含まれるリップル電圧の検出感度を高くする
ことができないという問題があった。

【００２５】また円盤状のＣＰＵ電極を用いた場合に
は、交互にドライブされる第１及び第２のＲＦ電極によ
る高周波電場（高周波ノイズ）の影響を受けて、検出電
圧の波形が大きく歪むため、電圧の検出感度を高くする
ことができないことと相俟って、シェンケル形直流高圧
電源の出力電圧に含まれるリップル電圧を正確に検出す
ることが難しいという問題があった。

【００２６】図８に示すように、高電圧ターミナル２０
５と接地間にＣＲ分圧器を接続すれば、電源の出力電圧
を高感度で歪みなく検出することができるが、高電位部
と接地間にＣＲ分圧器を接続すると、該ＣＲ分圧器を構
成する分圧コンデンサには常に高電圧が印加されるた
め、絶縁破壊が生じるおそれがあり、万一分圧コンデン
サが破壊すると、電源の出力電圧を正確に検出すること
ができなくなるため、信頼性が乏しいという問題があっ
た。

【００２７】本発明の目的は、高電圧ターミナルと接地
電位部との間にＣＲ分圧器を設けることなく、またＲＦ
電極より与えられるＲＦノイズの影響を受けることな
く、ＣＰＵ電極を用いて電源の出力電圧に含まれるリッ
プル電圧を正確に検出することができるようにしたシェ
ンケル形直流高圧電源の電圧測定装置を提供することに
ある。

【００２８】

【課題を解決するための手段】本発明は、円筒状のタン
クと、多数の円弧状の第１の単位電極の周方向の両端を
同じ方向に向け、かつそれぞれの円弧の中心軸線をタン
クの中心軸線と一致させた状態でタンク内に整列配置し
てなる第１の単位電極列と周方向の両端を第１の単位電
極と反対の方向に向けた多数の円弧状の第２の単位電極
をそれぞれの円弧の中心軸線をタンクの中心軸線と一致
させた状態でタンク内に整列配置してなる第２の単位電
極列とからなるシェンケル電極列と、軸線をタンクの中
心軸線と一致させた状態でタンクの内側に配置されて、
第１の単位電極列及び第２の単位電極列にそれぞれ対向
させられたほぼ半円筒状の第１及び第２の交流高周波電
圧供給用電極（ＲＦ電極）と、シェンケル電極列の高電
位側の端部にタンクと軸線を共有した状態で隣接配置さ
れた円筒状の高電圧ターミナルとを備えたシェンケル形
直流高圧電源の出力電圧を測定する電圧測定装置に係わ
るものである。

【００２９】本発明では、高電圧ターミナルに対向する
コンデンサピックアップ電極を備えて、コンデンサピッ
クアップ電極と高電圧ターミナルとの間の静電容量を通
して直流高圧電源の出力電圧を測定する電圧測定装置を
対象とする。

【００３０】本発明においては、コンデンサピックアッ
プ電極を、第１及び第２の交流高周波電圧供給用電極と
同一の径寸法を有して高電圧ターミナルと同心的に配置
された円筒状の電極により構成し、該コンデンサピック
アップ電極を接地電位部に対して絶縁された状態で設け
た。

【００３１】上記のように円筒状のＣＰＵ電極を高電圧
ターミナルと同心的に配置すると、高電圧ターミナルと
ＣＰＵ電極との間の静電容量及びＣＰＵ電極とタンクと
の間の静電容量により構成されるコンデンサ分圧回路を
通して高電圧ターミナルと接地電位部との間に得られる
シェンケル形直流高圧電源の出力電圧を検出することが
できる。また検出した電圧をフィルタ回路を備えた検出
回路に入力することにより、リップル電圧を測定するこ
とができる。

【００３２】上記のように、高電圧ターミナルに対向す
るＣＰＵ電極として円筒状の電極を用いると、ＣＰＵ電
極と高電圧ターミナルとの間の静電容量及びＣＰＵ電極
とタンクとの間の静電容量を大きくすることができるた
め、出力電圧の検出感度を高めることができる。

【００３３】上記のようにＣＰＵ電極の径をＲＦ電極の
径に等しくしておくと、ＣＰＵ電極を設けたことによっ
て高電圧ターミナル周辺の電界分布が乱されることによ
り生じる電位傾度の増大を抑制して、絶縁の弱点が生じ
るおそれを少くすることができる。

【００３４】また上記のように円筒状のＣＰＵ電極を用
いると、中心軸に対して対称に配置されているＲＦ電極
に逆位相で印加される高周波電圧によりＣＰＵ電極に与
えられる高周波ノイズがキャンセルされるため、高周波
ノイズの影響を無くして、電源の出力電圧に含まれる真
のリップル電圧のみを測定することができる。

【００３５】

【発明の実施の形態】図１はシェンケル形直流高圧電源
を用いたシングルエンド形加速器に本発明に係わる電圧
測定装置を構成するＣＰＵ電極を組み込んだ例を示した
もので、同図において図７の各部と同等の部分にはそれ
ぞれ同一の符号を付してある。また図１の要部の構成を
図２に示してある。

【００３６】なお図１及び図２に示した例において、シ
ェンケル形直流高圧電源の構成は図４に示したものと同
様である。

【００３７】図１及び図２において３０はＣＰＵ電極
で、このＣＰＵ電極は、ＲＦ電極２０３Ａ及び２０３Ｂ
の径寸法と同一の径寸法を有する円筒状の電極からなっ
ていて、高電圧ターミナル２０５を同心的に囲むように
配置されて、絶縁支持物３によりタンク１に対して支持
されている。ＣＰＵ電極につながる導体３１が１つの絶
縁支持物３内を通してタンク１に対して絶縁された状態
で外部に導出され、外部に導出された導体３１と接地間
に得られる電圧が検出回路３２に入力される。ＣＰＵ電
極３０と検出回路３２とにより電圧測定装置が構成され
る。

【００３８】上記のように円筒状のＣＰＵ電極３０を設
けると、高電圧ターミナル２０５とＣＰＵ電極３０との
間の静電容量Ｃａと、ＣＰＵ電極３０とタンク１（接地
電位部）との間の静電容量Ｃｂとにより高電圧ターミナ
ル２０５と接地間の電圧を分圧するコンデンサ分圧回路
を構成することができ、この分圧回路を通してシェンケ
ル形直流高圧電源の出力電圧に含まれるリップル電圧を
検出することができる。

【００３９】即ち、図３（Ａ）に示すように、ＣＰＵ電
極３０とタンク１との間の静電容量Ｃｂの両端に得られ
る電圧をフィルタ回路を備えた検出回路３２に入力する
ことにより、シェンケル形直流高圧電源の出力電圧に含
まれるリップル電圧を測定することができる。

【００４０】シェンケル形直流高圧電源の出力電圧に含
まれるリップル電圧を検出する検出回路３２の構成例を
図３（Ｂ）に示した。

【００４１】図３（Ｂ）に示した検出回路３２は、ＣＰ
Ｕ電極３０から導出した導体３１と接地間に接続された
ツェナーダイオード３３と、該ツェナーダイオード３３
の両端に並列に接続された抵抗３４及びコンデンサ３５
と、コンデンサ３５の非接地側の端子に一端が接続され
たコンデンサ３６と、コンデンサ３５の接地側の端子に
抵抗３７を通して一端が接続されたコンデンサ３８と、
コンデンサ３６及び３８の他端に一方の入力端子及び他
方の入力端子が接続された差動増幅器３９とからなって
おり、抵抗３４とコンデンサ３５〜３８とによりフィル
タ回路が構成されている。

【００４２】なおリップル電圧の波形を観測する場合に
は、差動増幅器３９をオッシロスコープで置き換える。

【００４３】図３（Ｂ）に示した回路において、静電容
量Ｃｂ（分圧コンデンサ）に対して並列に接続された抵
抗３４は、リップル分のみを検出するべく、入力端子
（Ａ点）の直流電位を固定するための抵抗であり、コン
デンサ３５はノイズを除去するためのものである。差動
増幅器３９の一方の入力端子にはコンデンサ３６を通し
てリップル分が入力され、差動増幅器３９の他方の入力
端子はコンデンサ３８と抵抗３７とを通してアース電圧
が入力されている。差動増幅器３９はリップル電圧とア
ース電圧との差を増幅してリップル電圧検出信号Ｖｒを
出力する。このように検出信号を増幅する増幅器として
差動増幅器３９を用いると、信号ライン及びアースを通
して侵入する同位相のノイズをキャンセルしてノイズを
低減することができるため、リップル電圧の測定を正確
に行うことができる。

【００４４】出力電圧が５［ＭＶ］のシェンケル形直流
高圧電源を例にとり、図３（Ｂ）の検出回路を用いて、
出力電圧に含まれるリップル電圧（周波数１［ＭＨ
ｚ］）を測定した場合の検証結果を以下に示す。

【００４５】図３（Ｂ）においてＲｓはシェンケル回路
２の出力端子側から見た等価内部抵抗であり、出力電圧
が５［ＭＶ］の電源の場合、この抵抗Ｒｓは７００［Ｍ
Ω］程度の値をとる。また５［ＭＶ］の電源の場合、Ｃ
ＰＵ電極と高電圧ターミナル３０との間の静電容量Ｃａ
は例えば４０［ｐＦ］、ＣＰＵ電極３０とタンク３０と
の間の静電容量Ｃｂは２４０［ｐＦ］程度である。

【００４６】図３（Ｂ）において、抵抗３４及び３７の
それぞれの抵抗値は１０［ＫΩ］とし、コンデンサ３５
としては静電容量が０．０１５［μＦ］のものを２個並
列に接続したものを用いた。またコンデンサ３６及び３
８のそれぞれの静電容量は０．１［μＦ］とした。この
ように回路定数を設定した検出回路を用いて、変化幅
（ピークトゥピーク）が２０［ＫＶ］のリップル電圧
（１［ＭＨｚ］）を検出した場合、増幅器３９に入力さ
れるリップル電圧の検出信号の変化幅は５．０［Ｖ］で
あり、十分な感度が得られることが確認された。またリ
ップル電圧検出の応答時間は１［μｓｅｃ］以下である
ことが望ましいが、図３（Ｂ）に示した検出回路を用い
た場合の応答時間は４００［ｐｓｅｃ］であり、何等問
題がないことが確認された。

【００４７】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ＣＰＵ
電極としてＲＦ電極と径寸法が等しい円筒状の電極を用
いて、該ＣＰＵ電極を高電圧ターミナルと同心的に配置
したので、高電圧ターミナルとＣＰＵ電極との間の静電
容量を大きくして電圧の検出感度を高めることができる
利点がある。

【００４８】また本発明によれば、円筒状のＣＰＵ電極
を用いたことにより、中心軸に対して対称に配置されて
いるＲＦ電極に逆位相で印加される高周波電圧によりＣ
ＰＵ電極に与えられる高周波ノイズをキャンセルして高
周波ノイズの影響を無くし、電源の出力電圧に含まれる
真のリップル電圧のみを測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明が対象とするシェンケル形直流高圧電源
を用いた加速器と本発明に係わる電圧検出装置とを示し
た構成図である。

【図２】図１の要部の構成を概略的に示した斜視図であ
る。

【図３】（Ａ）は本発明に係わる電圧測定装置の原理を
説明するための説明図、（Ｂ）はＣＰＵ電に接続される
検出回路の構成の一例を示した回路図である。

【図４】シェンケル形直流高圧電源の要部の構成例を、
従来の電圧測定装置とともに示した断面図である。

【図５】図４の電源で用いられているシェンケル電極列
の構成を示した側面図である。

【図６】図４の直流高圧電源で用いているシェンケル回
路の構成を示した構成図である。

【図７】シェンケル形直流電源を用いて構成したシング
ルエンド加速器の一例を従来の電圧測定装置とともに示
した構成図である。

【図８】シェンケル形直流電源を用いて構成したシング
ルエンド加速器の一例を従来の他の電圧測定装置ととも
に示した構成図である。

【符号の説明】

１ 容器 １Ａ タンク本体 １Ｂ タンクベース ２ シェンケル回路 ２００ 絶縁板 ２０１ａ 第１の単位電極 ２０１Ａ 第１の単位電極列 ２０１ｂ 第２の単位電極 ２０１Ｂ 第２の単位電極列 ２０２ シェンケル電極列 ２０３Ａ 第１のＲＦ電極 ２０３Ｂ 第２のＲＦ電極 ２０４，２０４´ 整流器 ２０７ 昇圧コイル ３ 絶縁支持物 ６ ＲＦ電源

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円筒状のタンクと、多数の円弧状の第１
   の単位電極の周方向の両端を同じ方向に向け、かつそれ
   ぞれの円弧の中心軸線を前記タンクの中心軸線と一致さ
   せた状態で前記タンク内に整列配置してなる第１の単位
   電極列と周方向の両端を前記第１の単位電極と反対の方
   向に向けた多数の円弧状の第２の単位電極をそれぞれの
   円弧の中心軸線を前記タンクの中心軸線と一致させた状
   態で前記タンク内に整列配置してなる第２の単位電極列
   とからなるシェンケル電極列と、軸線を前記タンクの中
   心軸線と一致させた状態で前記タンクの内側に配置され
   て、前記第１の単位電極列及び第２の単位電極列にそれ
   ぞれ対向させられたほぼ半円筒状の第１及び第２の交流
   高周波電圧供給用電極と、前記シェンケル電極列の高電
   位側の端部に前記タンクと軸線を共有した状態で隣接配
   置された円筒状の高電圧ターミナルとを備えたシェンケ
   ル形直流高圧電源の前記高電圧ターミナルに対向するコ
   ンデンサピックアップ電極を備えて、前記コンデンサピ
   ックアップ電極と前記高電圧ターミナルとの間の静電容
   量を通して前記直流高圧電源の出力電圧を測定するシェ
   ンケル形直流高圧電源の電圧測定装置において、 前記コンデンサピックアップ電極は、前記第１及び第２
   の交流高周波電圧供給用電極と同一の径寸法を有して前
   記高電圧ターミナルと同心的に配置された円筒状の電極
   からなっていて、接地電位部に対して絶縁された状態で
   設けられていることを特徴とするシェンケル形直流高圧
   電源の電圧測定装置。