JP2001013118A

JP2001013118A - 電磁超音波探触子

Info

Publication number: JP2001013118A
Application number: JP11184892A
Authority: JP
Inventors: Riichi Murayama; 理一村山
Original assignee: Sumitomo Metal Industries Ltd
Current assignee: Nippon Steel Corp
Priority date: 1999-06-30
Filing date: 1999-06-30
Publication date: 2001-01-19

Abstract

(57)【要約】【課題】欠陥の深さ情報や欠陥の種類を弁別すること
ができると共に、検出能力の向上が図れ、かつ金属板表
面上の広い範囲で検査を行うことができる電磁超音波探
触子を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の電磁超音波探触子１は、磁場を
発生させる磁石２と、渦電流を発生させるセンサコイル
３とからなり、被検査材料に超音波を発生させ、被検査
材料の欠陥などで反射した超音波の反射波を受信するも
のであり、磁石２を被検査材料の表裏面を挟むように配
置し、この磁石２の磁極面Ｎと磁極面Ｓの各々にセンサ
コイル３Ｕ，３Ｄをそれぞれ設け、さらに、周波数を可
変とされたトーンバースト型送信信号を同時に、同位相
あるいは異なった位相でそれぞれのセンサコイル３Ｕ，
３Ｄに出力する超音波発生器（超音波発生部）４ＢＵ，
４ＢＤを備えたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、欠陥の深さ情報や
欠陥の種類を弁別することができると共に、検出能力の
向上が図れ、かつ金属板表面上の広い範囲で検査を行う
ことができる電磁超音波探触子に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】鋼板、ステンレス鋼板等に代表される金
属板の製造ラインで金属板表面及び内部の欠陥を検査す
る際には、従来、板波探傷法を用いた超音波オンライン
探傷が実施されてきた。板波探傷法は、圧延鋼板、冷延
鋼板等の板厚が比較的薄い金属板に対して用いられてお
り、オンライン探傷を実施する際には、主としてタイヤ
探触子が用いられている。

【０００３】図８（ａ）は、タイヤ探触子の縦断面図を
示しており、タイヤ探触子５１は、長手方向に搬送され
る金属板Ｐの幅方向に設けた固定軸５２の外側にベアリ
ング５３を介して回転可能なゴムタイヤ５４を取付け、
該ゴムタイヤ５４内に接触媒質５５を充填し、金属板Ｐ
の幅方向へ所定の入射角で超音波が入射されるよう固定
軸５２に圧電振動子５６を金属板Ｐの表面に対して傾斜
させて取付けた構造とされている。

【０００４】このタイヤ探触子５１において圧電振動子
５６と金属板Ｐとは、ゴムタイヤ５４内の接触媒質５
５、ゴムタイヤ５４の表面及び金属板Ｐ上に塗布してあ
る接触媒質を介して音響的な接触がなされている。

【０００５】超音波探傷法では、上記したタイヤ探触子
５１を金属板Ｐのエッジ部に転接させ、金属板Ｐの搬送
方向と直交する方向に板波超音波を伝播させる。すなわ
ち、圧電振動子５６から送信された超音波は、図８
（ｂ）に示すように金属板Ｐに所定の入射角で入射した
後、金属板Ｐの板厚及び超音波周波数に応じた振動モー
ドの板波超音波に変換され、金属板Ｐ中を伝播する。

【０００６】金属板Ｐの表面及び内部に欠陥があれば、
図８（ｃ）に示すようにその欠陥によって板波超音波が
反射するため、欠陥によって反射した板波超音波を、圧
電振動子５６にて受信することで欠陥が検出される。

【０００７】上記した板波探傷法において、ゴムタイヤ
５４内の圧電振動子５６から送信された超音波は金属板
Ｐに入射した後、金属板Ｐ内を板波超音波として伝播す
るが、同時にゴムタイヤ５４内の接触媒質５５とゴムタ
イヤ５４との界面、もしくはゴムタイヤ５４と金属板Ｐ
との界面にてその一部が反射し、ゴムタイヤ５４内で乱
反射を起こす。

【０００８】また、金属板Ｐを伝播する板波は、伝播速
度の異なる複数の振動モードの板波が重合した波である
ため、各振動モードの板波毎に金属板Ｐのエッジからの
反射波がゴムタイヤ５４内の板波探触子に受信されるま
でに要する時間が異なる。このため、金属板Ｐのエッジ
部からの反射信号が幅広いものとなる。

【０００９】図８（ｂ）（ｃ）は、板波探傷法における
受信信号の典型例を示しており、ゴムタイヤ５４内の乱
反射信号は、金属板Ｐのエッジ部からの反射信号、及び
欠陥があった場合の反射信号から構成されている。

【００１０】通常、板波探傷では、乱反射信号と、金属
板Ｐのエッジ部からの反射信号との間に、欠陥監視領域
となるゲートを設定し、予め設定したしきい値以上の信
号が、ゲート内に出現した際に、その信号を欠陥信号と
して金属板Ｐの欠陥検出を行う。

【００１１】欠陥の大きさは、反射信号の強度から評価
される。また板幅方向の欠陥存在位置は、板波探触子よ
り超音波が送信されてから欠陥による反射信号が板波探
触子に受信されるまでの時間差の１／２と、予め求めら
れている板波超音波の伝播速度との積から算出される。

【００１２】また、鋼板、ステンレス鋼板等に代表され
る金属板の製造ラインで金属板表面及び内部の欠陥を検
査する方法として、電磁気力によって金属板内に直接、
板波を発生させる図９に示す構成の電磁超音波探触子を
用いた探傷方法も実施されている。

【００１３】電磁超音波探触子６１は、図９（ａ）に示
すように、磁石６２とコイル６３とから構成され、コイ
ル６３に流した電流により、金属板Ｐ表面に誘導渦電流
を生じさせ、これにバイアス磁場を重畳させ、ローレン
ツ力を発生させて板波を誘起するタイプと、図９（ｂ）
に示すように、コイル６３に流した電流により金属板Ｐ
表面に誘導磁場を生じさせ、これにバイアス磁場を重畳
させることで、バイアス磁場強度を変動させ、その変動
に起因して変動する磁わい変化により板波を誘起するタ
イプとがある。

【００１４】また、上記した電磁超音波探触子において
は、Ｓ／Ｎ比が低くゲインが大きくとれないといった問
題や、円筒状の被検査材料の表面や内部の疵、欠陥、結
晶粒界、組織変化などを計測できないといった問題があ
り、これらを解決するために、例えば特開平９−１６６
５８４号公報には、蛇行状に配置したコイルを電磁超音
波を発生する送信用と検知作用を有する受信用に分けて
設けた電磁超音波探触子が示されている。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たタイヤ探触子及び電磁超音波探触子は、いずれも被検
査材料の一表面から同位相の超音波を発生させていたの
で、欠陥の有無及び金属板上の平面位置の情報を得るこ
とはできるが、欠陥の深さの情報や欠陥の種類を弁別す
ることができないといった問題や、金属板の表面下の欠
陥で品質に影響がある小さい欠陥を検出することができ
ないといった問題があった。

【００１６】また、タイヤ探触子と電磁超音波探触子と
を個別に見ると、タイヤ探触子は、タイヤ近傍では寄生
反射のために検査を行うことができないといった問題が
あり、一方、電磁超音波探触子では、タイヤ探触子に較
べて検出感度が低いといった問題がある。さらに、上記
した特開平９−１６６５８４号公報では、被検査材料の
内面の疵の有無は検出することができるが、疵の深さ情
報を得るには至らないといった問題がある。

【００１７】本発明は、上記の問題を解決するものであ
り、欠陥の深さ情報や欠陥の種類を弁別することができ
ると共に、検出能力の向上が図れ、かつ金属板表面上の
広い範囲で検査を行うことができる電磁超音波探触子を
提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の電磁超音波探触子は、磁石を被検査材料
の表裏面を挟むように配置し、この磁石の磁極面の各々
にセンサコイルを設け、さらに、周波数を可変とされた
トーンバースト型送信信号を同時に、同位相あるいは異
なった位相でそれぞれのセンサコイルに出力する超音波
発生部を備えたものであり、また、上記構成において、
磁石の磁極面を、超音波伝播方向に平行で左右にセンサ
コイルを挟むように配置したのである。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明者は、駆動周波数１ＭＨｚ
で板厚３ｍｍの被検査材料である金属板の表裏面に同時
に、同位相でトーンバースト型送信信号を出力したと
き、後述する実施例で参照する図２に示すように、非対
称モードＡ０の板波で高い信号が発生することを、また
逆位相でトーンバースト型送信信号を出力した場合は、
同じく図２に示すように、対称モードＳ０の板波で高い
信号が発生することを知見した。

【００２０】また、本発明者は、同一の探傷条件で上記
した対称モードＳ０と非対称モードＡ０の２つのモード
が混在するとき、後述する実施例で参照する図５に示す
Ｂ領域において、混合モードで駆動させた場合と、対称
モードＳ０で駆動させた場合とを比較して次のことを知
見した。

【００２１】すなわち混合モードの場合、２つのモード
の板波が同時に発生して反射源から反射するので波数が
増えるのに対し、対称モードＳ０単独で駆動させた場合
はそうではないので、対称モードＳ０単独で駆動させた
場合の方が混合モードで駆動させた場合に較べ、Ｓ／Ｎ
比の向上だけでなく図６に示すように、従来の混合モー
ドと比較して、信号強度や位置分解能を１．２〜１．５
倍ほど向上させることができる。

【００２２】さらに、図７に示すように、対称モードＳ
０は、厚さ方向に対して信号強度が比較的一様で、若干
表面側の振幅が減少し、非対称モードＡ０は、板厚中央
部で振幅が増大する、といった各々の特徴を知見した。

【００２３】従って、本発明は、磁石を被検査材料の表
裏面を挟むように配置し、この磁石の磁極面の各々にセ
ンサコイルを設け、さらに、周波数を可変とされたトー
ンバースト型送信信号を同時に、同位相あるいは異なっ
た位相でそれぞれのセンサコイルに出力する超音波発生
部を備えた構成としたのである。

【００２４】つまり、板波はモードによって板厚方向の
位置で振動強度のピークの発生が異なるため、例えば、
板厚表面に振動ピークがあるモードと、板厚中央に振動
ピークがあるモードとを使えば、欠陥の板厚方向の位置
により、受信信号強度が変わり、この変化によって板厚
情報の位置を特定することができるのである。

【００２５】また、板波はモードによって横波振動成分
と縦波振動成分の構成比が異なっているので、欠陥によ
っては縦波に反射されやすい場合や横波に反射されやす
い場合が存在し、従って、複数モードの板波を同時に、
同位相あるいは異なった位相で出力すれば、板厚情報と
欠陥種類情報とを得ることができるのである。

【００２６】すなわち、例えば板厚方向の欠陥の深さ情
報は、対称モードＳ０では比較的振幅が小さく、非対称
モードＡ０では振幅が大きくなることから、板厚方向の
欠陥であることから、受信信号強度によって、欠陥の深
さ情報を得ることができる。

【００２７】ちなみに、例えば表面に欠陥がある場合、
対称モードＳ０では振幅が大きく、非対称モードＡ０で
は振幅が比較的小さくなることから、表面に欠陥がある
ことが判定できる。また、受信信号強度によって、欠陥
の大きさの情報を得ることができる。

【００２８】このように、本発明の構成とすることで、
本発明者の知見事項に基づく特性が欠陥探傷に反映され
ると共に再現可能となり、よって、欠陥の板厚方向にお
ける深さ情報や欠陥の種類を弁別することができると共
に、検出能力の向上が図れ、かつ金属板表面上の広い範
囲で検査を行うことができるのである。

【００２９】また、本発明は、磁石の磁極面を、超音波
伝播方向に平行で左右にセンサコイルを挟むように配置
したものであり、このようにすることで、欠陥の深さ情
報や欠陥の種類を、上記より顕著に同様に得ることがで
きる。

【００３０】

【実施例】以下に本発明の電磁超音波探触子の実施例に
ついて、図１乃至図５を参照して説明する。図１は電磁
超音波探触子の構成を示す。図２は上下センサコイルの
位相差と受信信号強度との関係を示す。図３は欠陥の種
別と各モードとの関係を示す。図４は欠陥番号と受信信
号強度との関係を示す。図５は板厚×周波数と音速との
関係を示す。

【００３１】本発明の電磁超音波探触子１は、以下のよ
うに構成されている。２は、磁極面Ｎと磁極面Ｓとを互
いに対向させたコ字状の鉄芯２ａにコイル２ｂを巻き付
け、励磁電源２ｃから電力を供給することで磁場を発生
させる磁石である。

【００３２】３は、金属板Ｐに対して超音波を送信した
り、金属板Ｐからの反射波を受信するためのセンサコイ
ルであり、このセンサコイル３は、磁石２の磁極面Ｎと
磁極面Ｓとの間で、磁極面Ｎの近傍に例えば金属板Ｐの
上側に位置するセンサコイル３Ｕが、磁極面Ｓの近傍に
例えば金属板Ｐの下側に位置するセンサコイル３Ｄが、
それぞれ金属板Ｐの表裏を挟むように設けられている。

【００３３】４は、超音波の送受信を行う送受信部であ
り、この送受信部４は、以下のように構成されている。
４Ａは、超音波及び反射波信号の送受制御と受信信号の
処理、金属板Ｐにおける欠陥の有無、及び欠陥の情報を
解析する制御装置である。

【００３４】４ＢＵ，４ＢＤは、センサコイル３Ｕ側及
びセンサコイル３Ｄ側に各々対応して制御装置４Ａに接
続され、トーンバースト型の正弦波信号を位相可変で出
力する超音波発生器である。４ＣＵ，４ＣＤは、超音波
発生器４ＢＵ及び超音波発生器４ＢＤに各々接続され、
該超音波発生器４Ｂからの超音波を増幅するパワーアン
プである。

【００３５】４ＤＵ，４ＤＤは、センサコイル３Ｕ側及
びセンサコイル３Ｄ側に各々対応して制御装置４Ａに接
続され、センサコイル３Ｕ側及びセンサコイル３Ｄ側で
受信した反射波を増幅する増幅器である。

【００３６】次に、上記構成の電磁超音波探触子１を用
いた金属板Ｐの欠陥探傷の手順について説明する。探傷
指令を制御装置４Ａに出力すると、制御装置４Ａは、探
傷指令を受信したときに、予め入力した板厚の情報か
ら、発生しうる板波が図５に示すＡ領域かＢ領域かを判
定する。

【００３７】板波の領域判定は、電磁超音波探触子１の
制作時に、発生させるラム波の波長が固定されているの
で、これに対して板厚情報を与えることで、基準駆動周
波数が決定し、この基準駆動周波数から板厚×周波数の
うちの周波数を求め、この周波数における対称モードＳ
０、非対称モードＡ０での板波速度と音速との違いが１
０％以内であればＡ領域、それ以上違っていればＢ領域
とする（図５参照）。

【００３８】発生し得る板波がＡ領域であれば、上側の
センサコイル３Ｕと下側のセンサコイル３Ｄに対して同
位相のトーンバースト型送信信号を、超音波発生器４Ｂ
Ｕ，４ＢＤから駆動基準周波数で出力する。超音波発生
器４ＢＵ，４ＢＤからトーンバースト型送信信号が出力
されると、上記した構成では金属板Ｐにローレンツ力が
発生して非対称ラム波が発生し、それを起点として非対
称ラム波が金属板Ｐの板幅方向に伝播する。

【００３９】このとき、電流が同位相なので、ローレン
ツ力で発生する力は上面が上なら、下面も上となり、発
生する板波は図２に示すように非対称モードＡ０とな
る。

【００４０】金属板Ｐの板幅方向に伝播する非対称ラム
波は、金属板Ｐにおいて欠陥があればその位置で、ま
た、欠陥がなければ板幅方向の反対側エッジで反射し
て、センサコイル３Ｕ，３Ｄに戻り、センサコイル３
Ｄ，３Ｕに電磁誘導現象によって電流が流れ、増幅器４
ＤＵ，４ＤＤで増幅されて、制御装置４Ａに入力され
る。

【００４１】続いて、超音波発生器４ＢＵ，４ＢＤから
１８０°逆位相のトーンバースト型送信信号をセンサコ
イル３Ｕ，３Ｄに対して駆動基準周波数で出力する。超
音波発生器４ＢＵ，４ＢＤからトーンバースト型送信信
号が出力されると、上記した構成では金属板Ｐにローレ
ンツ力が発生して対称ラム波が発生し、それを起点とし
て対称ラム波が金属板Ｐの板幅方向に伝播する。

【００４２】このとき、電流が逆位相なので、ローレン
ツ力で発生する力は上面が上なら、下面が下となり、発
生する板波は図２に示すように対称モードＳ０となる。

【００４３】金属板Ｐの板幅方向に伝播する対称ラム波
は、金属板Ｐにおいて欠陥があればその位置で、また、
欠陥がなければ板幅方向の反対側エッジで反射して、セ
ンサコイル３Ｕ，３Ｄに戻り、センサコイル３Ｄ，３Ｕ
に電磁誘導現象によって電流が流れ、増幅器４ＤＵ，４
ＤＤで増幅されて、制御装置４Ａに入力される。

【００４４】以上の動作を繰り返すことで、図３に示す
ように、対称モードＳ０と非対称モードＡ０とを用いた
場合、その反射比率を見ることで、欠陥の種別を判別す
ることができると共に、受信信号強度から深さ情報を得
ることができる。なお、図３において、左側は表面に欠
陥がある場合、右側が板厚方向に欠陥がある場合を示
す。また、図４に示すように、本発明によれば、従来の
混合モードに較べて検出能が向上し、従来見落とされて
いた微少な欠陥をも検出することができる。

【００４５】一方、発生しうる板波がＢ領域である場合
には、上側のセンサコイル３Ｕと下側のセンサコイル３
Ｄに対して同位相のトーンバースト型送信信号を、超音
波発生器４ＢＵ，４ＢＤから駆動基準周波数で出力す
る。超音波発生器４ＢＵ，４ＢＤからトーンバースト型
送信信号が出力されると、上記した構成では金属板Ｐに
ローレンツ力が発生して非対称ラム波が発生し、それを
起点として非対称ラム波が金属板Ｐの板幅方向に伝播す
る。

【００４６】このとき、電流が同位相なので、ローレン
ツ力で発生する力は上面が上なら、下面も上となり、発
生する板波は図２に示すように非対称モードＡ０とな
る。

【００４７】金属板Ｐの板幅方向に伝播した非対称ラム
波は、金属板Ｐにおいて欠陥があればその位置で、ま
た、欠陥がなければ板幅方向の反対側エッジで反射し
て、センサコイル３Ｕ，３Ｄに戻り、センサコイル３
Ｄ，３Ｕに電磁誘導現象によって電流が流れ、増幅器４
ＤＵ，４ＤＤで増幅されて、制御装置４Ａに入力され
る。

【００４８】続いて、超音波発生器４ＢＵ，４ＢＤから
１８０°逆位相のトーンバースト型送信信号を所定周波
数だけ変更して出力する。この周波数の変更の仕方は、
板波モード表の原点から、基準周波数での非対称モード
Ａ０での駆動点までを結び、それを対称モードＳ０の線
まで延長することで求められる。

【００４９】超音波発生器４ＢＵ，４ＢＤから１８０°
逆位相で所定周波数だけ変更したトーンバースト型送信
信号が出力されると、上記した構成では金属板Ｐにロー
レンツ力が発生して対称ラム波が発生し、それを起点と
して対称ラム波が金属板Ｐの板幅方向に伝播する。

【００５０】このとき、電流が逆位相なので、ローレン
ツ力で発生する力は上面が上なら、下面が下となり、発
生する板波は図２に示すように対称モードＳ０となる。

【００５１】金属板Ｐの板幅方向に伝播した対称ラム波
は、金属板Ｐにおいて欠陥が有ればその位置で、また、
欠陥がなければ板幅方向の反対側エッジで反射して、セ
ンサコイル３Ｕ，３Ｄに戻り、センサコイル３Ｄ，３Ｕ
に電磁誘導現象によって電流が流れ、増幅器４ＤＵ，４
ＤＤで増幅されて、制御装置４Ａに入力される。

【００５２】以上の動作を繰り返すことで、図３に示す
ように、対称モードＳ０と非対称モードＡ０とを用いた
場合、その反射比率を見ることで、欠陥の種別を判別す
ることができると共に、信号強度から深さ情報を得るこ
とができる。なお、図３において、左側は表面に欠陥が
ある場合、右側が板厚方向に欠陥がある場合を示す。ま
た、図４に示すように、従来の混合モードに較べて検出
能が向上し、従来見落とされていた微少な欠陥をも検出
することができる。

【００５３】すなわち、本発明の電磁超音波探触子１を
用いて上記のように探傷を行うことで、図３に示すよう
に、対称モードＳ０と非対称モードＡ０モードのラム波
の、欠陥からの反射信号の比から、表面疵か内面疵かの
相関関係が導かれるので欠陥の弁別が可能になった。ま
た、図４のように、従来例として示す混合モードと較べ
受信信号強度が高くなるので欠陥の検出能も向上する。

【００５４】また、本発明は、電磁超音波探触子１の構
成について、例えば磁石２の磁極面Ｎを、超音波伝播方
向に平行で左右にセンサコイル３Ｕを挟むように、磁極
面Ｓを、超音波伝播方向に平行で左右にセンサコイル３
Ｕを挟むように配置してもよい。

【００５５】このように構成すると、上側のセンサコイ
ル３Ｕと下側のセンサコイル３Ｄに対してトーンバース
ト型送信信号を超音波発生器４ＢＵ，４ＢＤから出力す
ると、上記した構成では金属板Ｐに磁わい力が発生す
る。この磁わい力は、上記したローレンツ力によって発
生したラム波より大きなラム波を発生させる。従って、
金属板Ｐの板幅方向に伝播し、センサコイル３Ｕ，３Ｄ
に戻ってきたラム波が大きいので、上記に較べより顕著
な作用効果を得ることができる。

【００５６】

【発明の効果】以上のように、本発明の電磁超音波探触
子は、磁石を被検査材料の表裏面を挟むように配置し、
この磁石の磁極面の各々にセンサコイルを設け、さら
に、周波数を可変とされたトーンバースト型送信信号を
同時に、同位相あるいは異なった位相でそれぞれのセン
サコイルに出力する超音波発生部を備えたので、又は、
上記構成において磁石の磁極面を、超音波伝播方向に平
行で左右にセンサコイルを挟むように配置したので、欠
陥の深さ情報や欠陥の種類を弁別することができると共
に、検出能力の向上が図れ、かつ金属板表面上の広い範
囲で検査を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電磁超音波探触子の構成を示す図であ
る。

【図２】本発明の電磁超音波探触子における上下のセン
サコイルの位相差と受信信号強度との関係を示す図であ
る。

【図３】本発明の電磁超音波探触子を用いた欠陥探傷の
結果を示し、欠陥の種別と各モードとの関係を示す図で
ある。

【図４】本発明の電磁超音波探触子を用いた欠陥探傷の
結果を示し、欠陥番号と受信信号強度との関係を示す図
である。

【図５】本発明の電磁超音波探触子を用いた欠陥探傷で
参照する板厚×周波数と音速との関係を示す図である。

【図６】本発明の電磁超音波探触子を用いた欠陥探傷に
おいて図５のＢ領域での信号強度及び分解能と向上率と
の関係を示す図である。

【図７】本発明の電磁超音波探触子を用いた欠陥探傷に
おいて厚さ方向と信号強度との関係を示す図である。

【図８】従来のタイヤ探触子の構成を示し、（ａ）はタ
イヤ探触子の構成を部分的に示す図、（ｂ）はタイヤ探
触子による信号状況を示す図である。

【図９】従来の電磁超音波探触子の構成を示し、（ａ）
はローレンツ力を発生させて板波を誘起するタイプの構
成を示す図、（ｂ）はバイアス磁場強度を変動させ、そ
の変動に起因して変動する磁わい変化により板波を誘起
するタイプの構成を示す図である。

【符号の説明】

１電磁超音波探触子２磁石３Ｕ（金属板の上側に位置する）センサコイル３Ｄ（金属板の下側に位置する）センサコイル４送受信部４Ａ制御装置４ＢＵ（金属板の上側に対応する）超音波発生器４ＢＤ（金属板の下側に対応する）超音波発生器Ｐ金属板（被検査材料）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁場を発生させる磁石と、渦電流を発生
させるセンサコイルとからなり、被検査材料に超音波を
発生させ、被検査材料の欠陥などで反射した前記超音波
の反射波を受信する電磁超音波探触子において、前記磁
石を被検査材料の表裏面を挟むように配置し、この磁石
の磁極面の各々に前記センサコイルを設け、さらに、周
波数を可変とされたトーンバースト型送信信号を同時
に、同位相あるいは異なった位相でそれぞれのセンサコ
イルに出力する超音波発生部を備えたことを特徴とする
電磁超音波探触子。
【請求項２】磁石の磁極面を、超音波伝播方向に平行
で左右にセンサコイルを挟むように配置したことを特徴
とする請求項１記載の電磁超音波探触子。