JP2001009400A - 円筒部材の洗浄方法およびその方法を用いた洗浄装置 - Google Patents

円筒部材の洗浄方法およびその方法を用いた洗浄装置

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JP2001009400A JP11183902A JP18390299A JP2001009400A JP 2001009400 A JP2001009400 A JP 2001009400A JP 11183902 A JP11183902 A JP 11183902A JP 18390299 A JP18390299 A JP 18390299A JP 2001009400 A JP2001009400 A JP 2001009400A
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博亮 堺
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Abstract

(57)【要約】 【課題】素管に付着した切削油や研磨紛を効率よく確実
に除去する洗浄装置を提供する。 【解決手段】洗浄液を噴射して円筒部材外周面を洗浄す
る方法であって、前記円筒部材は軸周りに所定の速度で
回転しており、円筒部材を軸方向に分割する複数の領域
を、前記洗浄液のそれぞれ別個の噴射によって円筒部材
の軸方向に相対的に移動させながら行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子写真複写機や
プリンタ、或いはファクシミリ装置等に用いられる感光
体ドラムの生産工程において、原材料としての素管を洗
浄する洗浄方法およびその方法を用いた洗浄装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、感光体ドラムの素管は外周面
に感光層を設ける目的から、その表面の幾何公差や表面
粗さを厳しく管理する必要があり、そのため外周面は予
め切削加工や研磨が施されている。感光体ドラムの生産
工程においては、最初に切削や研磨によって切削油や研
磨紛を除去する洗浄工程を設け、感光体の塗工工程でこ
れらの汚染物質が塗工液に洗い出されることにより起こ
る、感光体のピンホール欠陥や塗工ムラなどを防止する
ようにしている。
【0003】図5は、その洗浄工程の一例を模式的に示
した図である。洗浄に付される素管51は、一端をチャ
ック52に管内部から固定され、他端を支持部材53で
回転自在に支持されている。高圧ノズル54が素管近傍
に配置されており、モータ56の駆動によって素管51
が軸周りに回転すると、洗浄液55を噴出しながら素管
51の一端から他端まで素管51に平行に所定の速度で
移動する。以上のような洗浄工程を経ることにより、素
管51外周面の切削油や研磨紛が除去されることにな
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高圧ノ
ズルの送り速度に関しては、速くすると、前述の研磨紛
や切削油が残留して感光体のピンホールや塗工ムラが発
生することから、遅くする必要がある。そのため、例え
ばA2サイズ以上の広幅複写機に使用される長尺のドラ
ム素管を洗浄する場合には、洗浄時間が長時間となり、
感光体ドラムの生産効率を大きく低下させる原因になっ
ていた。
【0005】また上記のような構成においては、素管1
の表面に高圧の洗浄液55が強い衝撃力で吹き付けられ
るので、素管1のチャック52側を洗浄する場合はその
衝撃力を受け止められるが、素管1の支持部材53側を
洗浄する場合は受け止めきれなくなる。そして、振動の
発生や、最悪の場合には支持部材から離脱してしまう不
具合が生じ、これにより洗浄ムラができる。特に素管1
が長尺であれば、この傾向が顕著となる。
【0006】本発明は、このような問題点に鑑み、素管
に付着した切削粉を効率よく確実に除去する洗浄方法お
よびその方法を用いた洗浄装置を提供する事を目的とす
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の第1の本発明では、洗浄液を噴射して円筒部材外周面
を洗浄する方法であって、前記円筒部材は軸周りに所定
の速度で回転しており、円筒部材を軸方向に分割する複
数の領域を、前記洗浄液のそれぞれ別個の噴射によって
円筒部材の軸方向に相対的に移動させながら行うように
している。
【0008】上記目的を達成するための第2の本発明で
は、洗浄液を噴射して円筒部材外周面を洗浄する方法で
あって、前記円筒部材は軸周りに所定の速度で回転して
おり、円筒部材の外周の複数位置に前記洗浄液をそれぞ
れ別個に噴射しながら円筒部材の軸方向に相対移動させ
るようにしている。
【0009】上記目的を達成するための第3の本発明で
は、軸周りに回転する円筒部材の外周面に向かって、所
定の相対速度で前記円筒部材の長さ方向に移動しながら
高圧ノズルより洗浄液を噴射する洗浄装置であって、複
数の高圧ノズルを、前記円筒部材の長さ方向に分割する
領域の各々を洗浄するような間隔に配置するような構成
とする。
【0010】上記目的を達成するための第4の本発明で
は、軸周りに回転する円筒部材の外周面に向かって、所
定の相対速度で前記円筒部材の長さ方向に移動しながら
高圧ノズルより洗浄液を噴射する洗浄装置であって、複
数の高圧ノズルを前記円筒部材の円周周りに配置するよ
うな構成とする。
【0011】また、前記円筒部材は感光体ドラムの原材
料としての素管である構成とする。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。尚、本実施例に使用
される洗浄液は高圧水であるが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、洗剤溶液あるいは有機溶剤を使用す
ることももちろん可能である。
【0013】図1は、第1の本発明における一実施形態
を模式的に示す図である。同図はA0サイズ用複写機に
使用する感光体ドラムの素管の洗浄装置を示している。
前述の図4の装置と同様、素管1は、チャックを含む取
付部材2と支持部材3によって両端部が挟み込まれ、素
管1の近傍には4aから4dまでの4本の高圧ノズル
が、素管1の長さ方向に対して平行、且つ素管1を4等
分した長さと等しい間隔で配置されている。素管1外周
面に付着した切削油や研磨紛を、高圧水の水圧で完全に
剥ぎ取り、弾き飛ばすには、水圧としては、約150〜
250kgf/cm2の範囲で設定することにより、高
い洗浄効果が得られている。水圧がこれ以下だと切削紛
が残留してしまい、逆にこれ以上の水圧だと素管1の内
周面を傷つけてしまう。また、この範囲の水圧では、素
管1は軸が水平方向でも垂直方向でもよく、垂直方向に
おいては下から上への洗浄でも、或いはその逆でも、汚
染物が完全に吹き飛ばされて残留しないことにより、十
分可能である。
【0014】モータ6の駆動に伴い素管1が軸周りに回
転すると、4本の高圧ノズル4a〜4dから同時に高圧
水5a〜dが噴出し、すべての高圧ノズルは、素管1の
長さ方向で同じ向き、且つ所定の同じ速度で、素管1に
対して相対的に移動する。各々のノズルが,素管1の長
さの丁度1/4を洗浄しながら移動した時点で、洗浄液
の噴出、高圧ノズルの移動、モータ6の回転が停止す
る。
【0015】前述の洗浄動作によって、高圧ノズル4a
は素管1の外周面のうちaの部分を洗浄し、高圧ノズル
4aはbの部分を、4cはcを、4dはdを洗浄したこ
とになる。a〜dは同じ長さであるから、所定の送り速
度で1本の高圧ノズルを使用した場合と比較すれば、7
5%の時間短縮となる。素管の長さL、送り速度v、使
用するノズルの本数nとして、短縮される時間を下式に
示す。 短縮される時間t={1−(1/n)}(L/v) ちなみに、長さ1000mmのA0用ドラム素管を、4
本のノズルを用いて、例えば5mm/secの送り速度
で洗浄すれば、150秒の時間短縮となる。
【0016】図2は本洗浄装置全体を示す。本洗浄装置
は、大まかには、洗浄する各種寸法の素管を固定し洗浄
時に軸周りに素管を回転させる取付部10、洗浄時に素
管を上下方向に移動する移動部20、取付けた素管の近
傍に高圧ノズルを配置し高圧水を噴射する洗浄部30に
より構成される。
【0017】本装置の側面図である図2(a)を用い
て、取付部10および移動部20を説明する。取付部1
0は、支柱11の上部にL字型に張り出す取付板12
と、支柱11下部の軸受13に軸14が固定されて支持
される支持台15の間に素管1を立設する構造になって
いる。図1同様、モータ6により回転する取付部材2に
素管1上端を取り付け、下端は、支持台15の高さを調
節してその上の支持部材3にあてがい、軸受13の固定
ねじ16で軸14を固定することで、種種の長さの素管
に適合させる仕組みである。支柱11の近傍には、素管
1と同方向にボールねじ23が設けてある。このボール
ねじ23は、上部のモータ21と下部の軸受22の間に
差し渡され、モータ21によって軸周りに回転するよう
になっている。取付部10の支柱11からは移動子24
が突出してボールねじ23に螺合した形で設けてある。
取付部10は、図示されないレールで軸周りに回転しな
いよう支持されながら、ボールねじ23の回転により全
体が上下するようになっている。
【0018】本装置の正面図である図2(b)により洗
浄部30を説明する。立設した素管1の左近傍には、上
下の方向に移動可能に複数の高圧ノズルが素管1に向け
て取り付けられるレール31が設けてある。素管1の長
さを2等分した下端の各々に高圧ノズル4aおよび4c
が、ホルダー32a、32cによりレール31に固定さ
れている。また、素管1を挟んだ右側には、レール31
がもう1本設けられ、素管の軸を対象軸とした位置に、
高圧ノズル4b、4dがホルダー32b、32dにて同
様に素管1に向けて固定してある。高圧ノズル4a〜4
dは、導管33a〜33dを経由して図示しない高圧ポ
ンプにつながり、同圧力の高圧水5a〜5dが素管1に
噴射するようになっている。
【0019】図2の洗浄装置は、素管1の長さ方向に2
本の高圧ノズルを、素管を挟んだ左右2組装着してい
る。片側1組の高圧ノズルから噴出する高圧水の圧力を
他の組の高圧水の圧力によって押し返すことになり、素
管1が振動したり、支持部材3から素管1の下端が逸脱
するようなことは無くなる。そのため洗浄ムラの発生が
無くなる。
【0020】また同図を用いて、素管1の内周面を洗浄
する内側洗浄部40を説明する。素管1は、例えばアル
ミ等の金属引抜管を規定の長さにカットして製作され、
その時端部のバリを除去する際発生する切削紛が素管内
周面Sにも付着残存する。また、素管1両端にフランジ
を取り付けるための切削加工を素管内周面Sの管端部分
に施すため、切削紛や切削油が素管内周面Sを汚染して
いる。この内側洗浄部40は、素管内周面Sに付着した
これらの汚染物を洗浄するためのものである。
【0021】内側洗浄部40は、高圧水43を両側に噴
射する高圧ノズル40、および高圧水を高圧ノズル40
に導く導管42により構成され、導管42は、高圧水を
プログラムされたタイミングで供給する図示しない高圧
ポンプにつながっている。高圧ノズル40は、素管1の
軸芯位置に支持部材3および支持台15の穴(図2
(b)断面部分)を通して上向きに差し込まれる形で配
置されている。汚染物を含む洗浄後の高圧水は、これら
の穴から下へ流出する。
【0022】図2を用いて、素管1を洗浄する実際の手
順を説明する。素管1を装着した状態では、素管の位置
は、下端が高圧ノズル4a、4bの高さ(図の実線)で
ある。モータ6と図示しない高圧ポンプが始動すること
により、素管1が軸周りに回転し、4本の高圧ノズル4
a〜4dから高圧水5a〜5dが素管1に向けて噴出す
る。モータ21の始動でボールねじ23が回転し、移動
子24の降下に伴い素管1が矢印Aの向きにゆっくり下
降し始める。高圧水5a〜5dは、切削油や研磨紛を表
面から剥ぎ取って、弾き飛ばしながら、素管1外周面を
細かなピッチの螺旋を描いて洗浄してゆく。高圧ノズル
4a、4bが素管1の長さの丁度半分にあたる高圧ノズ
ル4b、4dのスタート位置に到達すると、モータ21
が停止して素管1の下降が止まると同時に、高圧ポンプ
が停止して高圧水5a〜5dの噴出が止まる。
【0023】次に別の高圧ポンプが始動して、高圧ノズ
ル41から高圧水43が噴出する。この時点の素管1の
位置(図2の破線)は、内包する高圧ノズル41が丁度
中央となる位置である。モータ21が逆転して素管1が
上昇し始め、素管内周面Sは高圧ノズル41によって中
央から下に向かって洗浄されてゆく。素管1が最初の位
置(図2の実線)に到達すると、素管内周面Sの半分の
洗浄が終了する。その後素管1の上下を付け替えて、同
様の操作を行えば、素管内周面S全体の洗浄が終了す
る。
【0024】図2の実施形態においては、素管の軸方向
に2本の高圧ノズルを併設すると同時に、素管1の軸対
象位置にさらに1組の高圧ノズルを設けている。これに
より素管の振動や逸脱を防止し、その結果ムラの無い洗
浄が達成される。それ以外の効果として、素管軸方向の
同じ部位の洗浄に供されるノズル数が増えたことにより
洗浄効率が上がり、その分素管の送り速度を速めること
ができる。図2の例では、素管外周面に描く洗浄螺旋の
ピッチが、ノズルが片側のみのときと比較して半分にな
るため、送り速度は片側のみの場合の倍にできる。素管
軸方向のノズル設置数n1、軸周り方向の設置数n2とす
れば、それによって短縮される洗浄時間は、下式で計算
される。 短縮される時間t=[1−{1/(n1×n2)}](L
/v) 図2の場合、前記図1と同様にノズルが片側1本で送り
速度が5mm/secの場合と比較すれば、長さ100
0mmのA0用ドラム素管で、計150秒の時間短縮と
なる。
【0025】本発明においては、図3、図4に示すよう
な種種の変形例が存在する。素管軸方向の複数のノズル
を、図3(a)のように螺旋状に配置したり、図3
(b)のように互い違いに配置することで、洗浄時間短
縮効果と素管振動の防止効果を併せ持つことができる。
また、洗浄する素管が短くて、軸方向に複数ノズルを設
置できない場合には、図4のごとく素管軸周りに更に多
くのノズルを配置することで、更なる洗浄時間短縮を振
動防止と併せて実施できる。
【0026】本実施形態における代表的な数値条件を述
べる。高圧水の吐出圧は前に述べたように、150〜2
50kgf/cm2が最適であるが、ノズル先端と素管
表面の距離によっては、30〜300kgf/cm2
範囲から選択することが可能である。通常、ノズル先端
と素管表面の距離は、100mmを中心に、10〜20
0mmの範囲で設定する。距離が短いと吐出圧を小さ
く、距離が長いと吐出圧を大きく設定する。素管の回転
速度は、素管軸方向の送り速度に依存するため一概には
いえないが、送り速度が5〜20mm/secに対して
50〜200rpmが使いやすい範囲である。本実施例
では送り速度を1〜40mm/sec,回転速度を10
〜300mm/secの範囲で変更が可能である。
【0027】また、ノズルの吐出口数には制限が無く。
素管軸方向に多数の穴を並べた素管長のパイプを固定設
置しておき、そこから洗浄液を吐出して、素管の短時間
回転のみで洗浄を達成したり、リング状パイプの内径側
に多数の穴を並べたものの内側に素管を立て、穴から洗
浄液を吐出しながら、素管を回転させずに単に上下させ
るのみで洗浄することもできる。
【0028】尚、本実施形態では、以下のような副次的
効果が得られている。つまり、洗浄液として高圧水を使
用するだけで強い洗浄力が得られ、洗剤液を使用する場
合に必須であるすすぎ工程を省けるため、洗浄時間の短
縮が可能となっている。また、有機溶剤も洗剤も使用し
ないので、人体に無害で環境に優しい。そして、洗浄の
ための複雑な工程及びそのための付属装置、例えば上記
すすぎ工程及びそのための装置等が不用であるので、装
置の小型化が可能である。
【0029】また、図2に示す実施形態では、素管外周
面と内周面を同時に洗浄でき、洗浄工程全体の所要時間
を大幅に短縮できるものである。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
素管に付着した切削粉を効率よく確実に除去する洗浄方
法およびその方法を用いた洗浄装置を提供する事ができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の本発明による一実施形態の主要部を模式
的に示す図。
【図2】第1と第2の本発明による一実施形態の全体
図。
【図3】第1の本発明による変形例を示す図。
【図4】第2の本発明による変形例を示す図。
【図5】従来例を模式的に示す図。
【符号の説明】
1 素管 2 取付部材 3 支持部材 4 高圧ノズル 5 高圧水

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 洗浄液を噴射して円筒部材外周面を洗浄
    する方法であって、前記円筒部材は軸周りに所定の速度
    で回転しており、円筒部材を軸方向に分割する複数の領
    域を、前記洗浄液のそれぞれ別個の噴射によって円筒部
    材の軸方向に相対的に移動させながら行うことを特徴と
    する円筒部材の洗浄方法。
  2. 【請求項2】 洗浄液を噴射して円筒部材外周面を洗浄
    する方法であって、前記円筒部材は軸周りに所定の速度
    で回転しており、円筒部材の外周の複数位置に前記洗浄
    液をそれぞれ別個に噴射しながら円筒部材の軸方向に相
    対移動させることを特徴とする円筒部材の洗浄方法。
  3. 【請求項3】 軸周りに回転する円筒部材の外周面に向
    かって、所定の相対速度で前記円筒部材の長さ方向に移
    動しながら高圧ノズルより洗浄液を噴射する洗浄装置で
    あって、複数の高圧ノズルを、前記円筒部材の長さ方向
    に分割する領域の各々を洗浄するような間隔に配置した
    ことを特徴とする洗浄装置。
  4. 【請求項4】 軸周りに回転する円筒部材の外周面に向
    かって、所定の相対速度で前記円筒部材の長さ方向に移
    動しながら高圧ノズルより洗浄液を噴射する洗浄装置で
    あって、複数の高圧ノズルを前記円筒部材の円周周りに
    配置したことを特徴とする洗浄装置。
  5. 【請求項5】 前記円筒部材が感光体ドラムの原材料と
    しての素管であることを特徴とする請求項3又は4に記
    載の洗浄装置。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103157633A (zh) * 2013-03-29 2013-06-19 天津柏瑞特机电设备有限公司 海上平台油管连续清洗装置
CN103316871A (zh) * 2013-04-27 2013-09-25 兖矿东华建设有限公司 输送泵管自动清理机
CN103934228A (zh) * 2014-05-08 2014-07-23 湖州吉昌丝绸有限公司 一种锭子清洗机用锭子装夹转动机构
CN103934227A (zh) * 2014-05-08 2014-07-23 湖州吉昌丝绸有限公司 一种锭子清洗机用履带式锭子装夹转动机构
RU2654623C1 (ru) * 2017-06-23 2018-05-21 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение Федеральный научный агроинженерный центр ВИМ (ФГБНУ ФНАЦ ВИМ) Устройство очистки и контроля чистоты молочных линий
CN109968476A (zh) * 2019-04-21 2019-07-05 南京林业大学 基于水射流的毛竹竹筒高效去竹青装置
CN112354979A (zh) * 2020-10-19 2021-02-12 徐茂坤 一种工地钢管表面清理设备
JP6900085B1 (ja) * 2020-10-23 2021-07-07 株式会社ワールドエンジニアリング パイプ状部材の洗浄装置
JP7028496B1 (ja) * 2021-10-15 2022-03-02 株式会社ワールドエンジニアリング パイプ状部材の洗浄装置

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103157633A (zh) * 2013-03-29 2013-06-19 天津柏瑞特机电设备有限公司 海上平台油管连续清洗装置
CN103316871A (zh) * 2013-04-27 2013-09-25 兖矿东华建设有限公司 输送泵管自动清理机
CN103934228A (zh) * 2014-05-08 2014-07-23 湖州吉昌丝绸有限公司 一种锭子清洗机用锭子装夹转动机构
CN103934227A (zh) * 2014-05-08 2014-07-23 湖州吉昌丝绸有限公司 一种锭子清洗机用履带式锭子装夹转动机构
RU2654623C1 (ru) * 2017-06-23 2018-05-21 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение Федеральный научный агроинженерный центр ВИМ (ФГБНУ ФНАЦ ВИМ) Устройство очистки и контроля чистоты молочных линий
CN109968476A (zh) * 2019-04-21 2019-07-05 南京林业大学 基于水射流的毛竹竹筒高效去竹青装置
CN109968476B (zh) * 2019-04-21 2024-01-30 南京林业大学 基于水射流的毛竹竹筒高效去竹青装置
CN112354979A (zh) * 2020-10-19 2021-02-12 徐茂坤 一种工地钢管表面清理设备
CN112354979B (zh) * 2020-10-19 2023-08-18 巢湖市鼎力铁塔有限公司 一种工地钢管表面清理设备
JP6900085B1 (ja) * 2020-10-23 2021-07-07 株式会社ワールドエンジニアリング パイプ状部材の洗浄装置
JP2022069174A (ja) * 2020-10-23 2022-05-11 株式会社ワールドエンジニアリング パイプ状部材の洗浄装置
JP7028496B1 (ja) * 2021-10-15 2022-03-02 株式会社ワールドエンジニアリング パイプ状部材の洗浄装置

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