JP2001007175A - 金属配線のエレクトロマイグレーション評価方法及び評価装置 - Google Patents
金属配線のエレクトロマイグレーション評価方法及び評価装置Info
- Publication number
- JP2001007175A JP2001007175A JP11173522A JP17352299A JP2001007175A JP 2001007175 A JP2001007175 A JP 2001007175A JP 11173522 A JP11173522 A JP 11173522A JP 17352299 A JP17352299 A JP 17352299A JP 2001007175 A JP2001007175 A JP 2001007175A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- electromigration
- applied current
- current density
- test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 集積回路における金属配線のエレクトロマイ
グレーション評価において、高精度の定数Ａ、電流密度
係数ｎ及び活性化エネルギーＥａを、低コストかつ短時
間に求める。 【解決手段】 ３種類の印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ
３）を、Ｊ１＞Ｊ２＞Ｊ３でかつ、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／
Ｊ３となる関係に設定し、その３種類の印加電流密度で
のエレクトロマイグレーション試験を行い、各印加電流
密度における配線抵抗と故障時間を求め、それらから関
係式を用いて、定数Ａ、電流密度係数ｎ及び活性化エネ
ルギーＥａの値を算出する。
グレーション評価において、高精度の定数Ａ、電流密度
係数ｎ及び活性化エネルギーＥａを、低コストかつ短時
間に求める。 【解決手段】 ３種類の印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ
３）を、Ｊ１＞Ｊ２＞Ｊ３でかつ、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／
Ｊ３となる関係に設定し、その３種類の印加電流密度で
のエレクトロマイグレーション試験を行い、各印加電流
密度における配線抵抗と故障時間を求め、それらから関
係式を用いて、定数Ａ、電流密度係数ｎ及び活性化エネ
ルギーＥａの値を算出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩ配線で使用
される金属配線のエレクトロマイグレーション評価方法
及び評価装置に関するものである。
される金属配線のエレクトロマイグレーション評価方法
及び評価装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、エレクトロマイグレーションの試
験装置は、半導体装置における導体の信頼性を評価する
ために用いられている。半導体装置において、薄い導体
およびサブミクロン幅の金属配線を流れる電流は、導体
材料のマイグレーションを引き起こし、動作を乱し半導
体装置を不良にする原因となる。
験装置は、半導体装置における導体の信頼性を評価する
ために用いられている。半導体装置において、薄い導体
およびサブミクロン幅の金属配線を流れる電流は、導体
材料のマイグレーションを引き起こし、動作を乱し半導
体装置を不良にする原因となる。
【０００３】このようなエレクトロマイグレーション現
象を調べるために用いられる試験装置としては、定電流
源、電圧計及びタイマーの機能を有する自動測定器が使
用される。この自動測定器により、試験配線（＝エレク
トロマイグレーション評価配線）に定電流を印加し、試
験配線の抵抗値をモニターして、抵抗値が急増する故障
時間を測定する。
象を調べるために用いられる試験装置としては、定電流
源、電圧計及びタイマーの機能を有する自動測定器が使
用される。この自動測定器により、試験配線（＝エレク
トロマイグレーション評価配線）に定電流を印加し、試
験配線の抵抗値をモニターして、抵抗値が急増する故障
時間を測定する。
【０００４】上記のエレクトロマイグレーション試験で
得られた実験データから試験配線の実回路使用に対し許
容できる電流密度を計算で求めている。
得られた実験データから試験配線の実回路使用に対し許
容できる電流密度を計算で求めている。
【０００５】エレクトロマイグレーション評価で重要な
のは、試験配線の寿命推定であるが、この寿命推定に
は、精度の高い定数Ａ、電流密度係数ｎ、活性化エネル
ギーＥａが必要となる。
のは、試験配線の寿命推定であるが、この寿命推定に
は、精度の高い定数Ａ、電流密度係数ｎ、活性化エネル
ギーＥａが必要となる。
【０００６】通常、『半導体デバイスの信頼性技術』：
日科技連によれば、この定数Ａ、電流密度係数ｎ、活性
化エネルギーＥａを得るには、まず、活性化エネルギー
Ｅａを求め、次に、電流密度係数ｎと定数Ａを求めてい
た。
日科技連によれば、この定数Ａ、電流密度係数ｎ、活性
化エネルギーＥａを得るには、まず、活性化エネルギー
Ｅａを求め、次に、電流密度係数ｎと定数Ａを求めてい
た。
【０００７】以下、従来のエレクトロマイグレーション
評価方法について、図面を参照しながら説明する。図３
は、従来の金属配線のエレクトロマイグレーション評価
方法の工程図を示す。
評価方法について、図面を参照しながら説明する。図３
は、従来の金属配線のエレクトロマイグレーション評価
方法の工程図を示す。
【０００８】従来の金属配線のエレクトロマイグレーシ
ョン評価方法は、活性化エネルギーＥａ値抽出工程３１
と、電流密度係数ｎ値抽出工程３２と、定数Ａ値抽出工
程３３とからなる。
ョン評価方法は、活性化エネルギーＥａ値抽出工程３１
と、電流密度係数ｎ値抽出工程３２と、定数Ａ値抽出工
程３３とからなる。
【０００９】活性化エネルギーＥａ値抽出工程３１で
は、印加電流密度一定下で、ホットチャックや恒温槽な
ど温度制御装置を利用して配線温度を変化させ、定電流
密度印加エレクトロマイグレーション試験を行い、故障
時間と配線温度のデータを収集する。印加電流密度一定
下でのエレクトロマイグレーション試験であり、未知数
は活性化エネルギーＥａのみのエレクトロマイグレーシ
ョン評価式となる。このエレクトロマイグレーション評
価式に、故障時間と配線温度のデータを代入して求め
る。計算式を数１に示す。
は、印加電流密度一定下で、ホットチャックや恒温槽な
ど温度制御装置を利用して配線温度を変化させ、定電流
密度印加エレクトロマイグレーション試験を行い、故障
時間と配線温度のデータを収集する。印加電流密度一定
下でのエレクトロマイグレーション試験であり、未知数
は活性化エネルギーＥａのみのエレクトロマイグレーシ
ョン評価式となる。このエレクトロマイグレーション評
価式に、故障時間と配線温度のデータを代入して求め
る。計算式を数１に示す。
【００１０】
【数１】
【００１１】数１において、ｋはボルツマン定数、τ１
はエレクトロマイグレーション試験１の故障時間、τ２
はエレクトロマイグレーション試験２の故障時間、Ｔ１
はエレクトロマイグレーション試験１の配線温度、Ｔ２
はエレクトロマイグレーション試験２の配線温度であ
る。
はエレクトロマイグレーション試験１の故障時間、τ２
はエレクトロマイグレーション試験２の故障時間、Ｔ１
はエレクトロマイグレーション試験１の配線温度、Ｔ２
はエレクトロマイグレーション試験２の配線温度であ
る。
【００１２】電流密度係数ｎ値抽出工程３２では、温度
一定下で、試験配線に対する印加電流密度を変化させる
が、ジュール発熱する試験配線の温度制御が難しい。通
常、印加電流密度を小さくしジュール発熱を抑える。各
試験配線は、印加電流密度の違いから、配線温度が違
う。この配線温度の違いは、ホットチャックや恒温槽な
どの温度制御装置を利用して配線温度を上昇させ、高温
状態で、配線温度一定条件を満たす様にする。
一定下で、試験配線に対する印加電流密度を変化させる
が、ジュール発熱する試験配線の温度制御が難しい。通
常、印加電流密度を小さくしジュール発熱を抑える。各
試験配線は、印加電流密度の違いから、配線温度が違
う。この配線温度の違いは、ホットチャックや恒温槽な
どの温度制御装置を利用して配線温度を上昇させ、高温
状態で、配線温度一定条件を満たす様にする。
【００１３】上記のような配線温度一定下でのエレクト
ロマイグレーション試験であるため、エレクトロマイグ
レーション評価式の未知数は電流密度係数ｎのみであ
る。このエレクトロマイグレーション評価式に、故障時
間と印加電流密度の測定データを、代入し電流密度係数
ｎ値を求める。計算式を数２に示す。
ロマイグレーション試験であるため、エレクトロマイグ
レーション評価式の未知数は電流密度係数ｎのみであ
る。このエレクトロマイグレーション評価式に、故障時
間と印加電流密度の測定データを、代入し電流密度係数
ｎ値を求める。計算式を数２に示す。
【００１４】
【数２】
【００１５】数２において、τ１はエレクトロマイグレ
ーション試験１の故障時間、τ２はエレクトロマイグレ
ーション試験２の故障時間、Ｊ１はエレクトロマイグレ
ーション試験１の印加電流密度、Ｊ２はエレクトロマイ
グレーション試験２の印加電流密度である。
ーション試験１の故障時間、τ２はエレクトロマイグレ
ーション試験２の故障時間、Ｊ１はエレクトロマイグレ
ーション試験１の印加電流密度、Ｊ２はエレクトロマイ
グレーション試験２の印加電流密度である。
【００１６】定数Ａ値抽出工程３３では、活性化エネル
ギーＥａ値抽出工程３１で求めた活性化エネルギーＥａ
と、電流密度係数ｎ値抽出工程３２で求めた電流密度係
数ｎを、エレクトロマイグレーション評価式に代入す
る。さらに、通常のエレクトロマイグレーション試験を
行い、印加電流密度、配線温度及び故障時間データをエ
レクトロマイグレーション評価式に代入して定数Ａを求
める。計算式を数３に示す。
ギーＥａ値抽出工程３１で求めた活性化エネルギーＥａ
と、電流密度係数ｎ値抽出工程３２で求めた電流密度係
数ｎを、エレクトロマイグレーション評価式に代入す
る。さらに、通常のエレクトロマイグレーション試験を
行い、印加電流密度、配線温度及び故障時間データをエ
レクトロマイグレーション評価式に代入して定数Ａを求
める。計算式を数３に示す。
【００１７】
【数３】
【００１８】数３において、τはエレクトロマイグレー
ション試験の故障時間、Ｊはエレクトロマイグレーショ
ン試験の印加電流密度、Ｔはエレクトロマイグレーショ
ン試験の配線温度である。
ション試験の故障時間、Ｊはエレクトロマイグレーショ
ン試験の印加電流密度、Ｔはエレクトロマイグレーショ
ン試験の配線温度である。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、金属配線のエレクトロマイグレーション評
価で、特に重要な試験配線評価の寿命推定に必要な、エ
レクトロマイグレーション評価式における定数Ａ、電流
密度係数ｎ及び活性化エネルギーＥａを求めるために、
ホットチャック、恒温槽などの温度制御装置を使用して
いるため、時間、コストが大きくなる。さらに、試験配
線の温度一定下で印加電流密度を変化させる場合、試験
配線自身がジュール発熱するために、温度一定条件が非
常に近似的になる。
の構成では、金属配線のエレクトロマイグレーション評
価で、特に重要な試験配線評価の寿命推定に必要な、エ
レクトロマイグレーション評価式における定数Ａ、電流
密度係数ｎ及び活性化エネルギーＥａを求めるために、
ホットチャック、恒温槽などの温度制御装置を使用して
いるため、時間、コストが大きくなる。さらに、試験配
線の温度一定下で印加電流密度を変化させる場合、試験
配線自身がジュール発熱するために、温度一定条件が非
常に近似的になる。
【００２０】また、電流密度係数ｎや、活性化エネルギ
ーＥａを求めるためのエレクトロマイグレーション試験
を別途に行う必要があり、使用される試験配線、試験環
境が違っている。このため、エレクトロマイグレーショ
ン試験に、多大の時間を要し、また、得られた定数Ａ、
電流密度係数ｎや、活性化エネルギーＥａの値は、必ず
しも高精度なものと言い難い。
ーＥａを求めるためのエレクトロマイグレーション試験
を別途に行う必要があり、使用される試験配線、試験環
境が違っている。このため、エレクトロマイグレーショ
ン試験に、多大の時間を要し、また、得られた定数Ａ、
電流密度係数ｎや、活性化エネルギーＥａの値は、必ず
しも高精度なものと言い難い。
【００２１】本発明の目的は、エレクトロマイグレーシ
ョン評価で行う試験配線の寿命推定で、試験配線、試験
環境及び試験時間を同一条件下で行うことを可能にし、
高精度な定数Ａ、電流密度係数ｎ及び活性化エネルギー
Ｅａを、低コスト、短時間で求めることが可能な金属配
線のエレクトロマイグレーション評価方法および評価装
置を提供することにある。
ョン評価で行う試験配線の寿命推定で、試験配線、試験
環境及び試験時間を同一条件下で行うことを可能にし、
高精度な定数Ａ、電流密度係数ｎ及び活性化エネルギー
Ｅａを、低コスト、短時間で求めることが可能な金属配
線のエレクトロマイグレーション評価方法および評価装
置を提供することにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】本発明の金属配線のエレ
クトロマイグレーション評価方法は、エレクトロマイグ
レーション評価配線への印加電流密度として３種類の印
加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）を、Ｊ１＞Ｊ２＞Ｊ３
でかつ、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／Ｊ３となる関係に設定する
印加電流密度設定工程と、３種類の印加電流密度でのエ
レクトロマイグレーション試験を行い、各印加電流密度
における配線抵抗と故障時間を求めるエレクトロマイグ
レーション試験工程と、各印加電流密度における配線抵
抗から各配線温度を算出する配線温度算出工程と、各配
線温度，各印加電流密度における故障時間及び印加電流
密度を用いて、金属配線の寿命推定に必要な定数，電流
密度係数及び活性化エネルギーの値を算出する主要値算
出工程とを含むことを特徴とする。
クトロマイグレーション評価方法は、エレクトロマイグ
レーション評価配線への印加電流密度として３種類の印
加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）を、Ｊ１＞Ｊ２＞Ｊ３
でかつ、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／Ｊ３となる関係に設定する
印加電流密度設定工程と、３種類の印加電流密度でのエ
レクトロマイグレーション試験を行い、各印加電流密度
における配線抵抗と故障時間を求めるエレクトロマイグ
レーション試験工程と、各印加電流密度における配線抵
抗から各配線温度を算出する配線温度算出工程と、各配
線温度，各印加電流密度における故障時間及び印加電流
密度を用いて、金属配線の寿命推定に必要な定数，電流
密度係数及び活性化エネルギーの値を算出する主要値算
出工程とを含むことを特徴とする。
【００２３】これにより、エレクトロマイグレーション
評価の寿命推定に必要な定数Ａ、電流密度係数ｎ、及び
活性化エネルギーＥａを、高精度かつ短時間かつ低コス
トに求めることが可能になる。これについて、以下詳し
く説明する。
評価の寿命推定に必要な定数Ａ、電流密度係数ｎ、及び
活性化エネルギーＥａを、高精度かつ短時間かつ低コス
トに求めることが可能になる。これについて、以下詳し
く説明する。
【００２４】エレクトロマイグレーション試験により、
設定した３種類の印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）の
それぞれにおける配線抵抗Ｒ（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３）と故
障時間（τ１、τ２、τ３）を求める。
設定した３種類の印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）の
それぞれにおける配線抵抗Ｒ（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３）と故
障時間（τ１、τ２、τ３）を求める。
【００２５】まず、エレクトロマイグレーション試験で
求めた３種類の印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）にお
ける配線抵抗Ｒ（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３）から、エレクトロ
マイグレーション評価配線の配線温度Ｔ（Ｔ１、Ｔ２、
Ｔ３）を、次の数４で算出する。
求めた３種類の印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）にお
ける配線抵抗Ｒ（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３）から、エレクトロ
マイグレーション評価配線の配線温度Ｔ（Ｔ１、Ｔ２、
Ｔ３）を、次の数４で算出する。
【００２６】
【数４】
【００２７】数４において、Ｔ0 は室温、Ｒ0 は温度Ｔ
0 時の配線抵抗、ＴＣＲは温度係数であり、Ｒに、各Ｒ
１、Ｒ２、Ｒ３を代入すると、それぞれに対応してＴ
１、Ｔ２、Ｔ３がＴとして算出される。数４により算出
したエレクトロマイグレーション評価配線の配線温度
（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３）と、エレクトロマイグレーション
試験で求めた故障時間（τ１、τ２、τ３）とから、活
性化エネルギーＥａは、次の数５で求めることができ
る。
0 時の配線抵抗、ＴＣＲは温度係数であり、Ｒに、各Ｒ
１、Ｒ２、Ｒ３を代入すると、それぞれに対応してＴ
１、Ｔ２、Ｔ３がＴとして算出される。数４により算出
したエレクトロマイグレーション評価配線の配線温度
（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３）と、エレクトロマイグレーション
試験で求めた故障時間（τ１、τ２、τ３）とから、活
性化エネルギーＥａは、次の数５で求めることができ
る。
【００２８】
【数５】
【００２９】ｋはボルツマン定数であり、数５では、電
流密度の変数がなく、３種類の電流密度（Ｊ１、Ｊ２、
Ｊ３）をＪ１＞Ｊ２＞Ｊ３でかつ、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／
Ｊ３とすることにより、エレクトロマイグレーション試
験で求めた配線抵抗から算出した配線温度と、エレクト
ロマイグレーション試験で求めた故障時間との値のみに
より、活性化エネルギーＥａを求めることができる。つ
まり、ホットチャックや恒温槽などの温度制御装置を必
要とせず、また、エレクトロマイグレーション評価配線
へ印加された電流密度値に全く依存しない。このため、
非常に簡便に、かつ高精度な活性化エネルギーＥａ値を
得ることができる。
流密度の変数がなく、３種類の電流密度（Ｊ１、Ｊ２、
Ｊ３）をＪ１＞Ｊ２＞Ｊ３でかつ、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／
Ｊ３とすることにより、エレクトロマイグレーション試
験で求めた配線抵抗から算出した配線温度と、エレクト
ロマイグレーション試験で求めた故障時間との値のみに
より、活性化エネルギーＥａを求めることができる。つ
まり、ホットチャックや恒温槽などの温度制御装置を必
要とせず、また、エレクトロマイグレーション評価配線
へ印加された電流密度値に全く依存しない。このため、
非常に簡便に、かつ高精度な活性化エネルギーＥａ値を
得ることができる。
【００３０】次に、電流密度係数ｎは、次の数６により
求める。
求める。
【００３１】
【数６】
【００３２】数６では、ln(J2/J3) 、ln(J1/J2) の値は
定数であり、エレクトロマイグレーション試験前に決め
られた値である。この電流密度係数ｎについても、活性
化エネルギーＥａと同様、３種類の電流密度（Ｊ１、Ｊ
２、Ｊ３）をＪ１＞Ｊ２＞Ｊ３で、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／
Ｊ３とすることにより、配線温度と故障時間の値のみに
より、電流密度係数ｎを求めることができる。つまり、
ホットチャックや恒温槽などの温度制御装置を必要とせ
ず、また、エレクトロマイグレーション評価配線へ印加
された電流密度値に全く依存しない。このため、非常に
簡便に、かつ高精度な電流密度係数ｎ値を得ることがで
きる。
定数であり、エレクトロマイグレーション試験前に決め
られた値である。この電流密度係数ｎについても、活性
化エネルギーＥａと同様、３種類の電流密度（Ｊ１、Ｊ
２、Ｊ３）をＪ１＞Ｊ２＞Ｊ３で、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／
Ｊ３とすることにより、配線温度と故障時間の値のみに
より、電流密度係数ｎを求めることができる。つまり、
ホットチャックや恒温槽などの温度制御装置を必要とせ
ず、また、エレクトロマイグレーション評価配線へ印加
された電流密度値に全く依存しない。このため、非常に
簡便に、かつ高精度な電流密度係数ｎ値を得ることがで
きる。
【００３３】最後に定数Ａは、次の数７により求める。
【００３４】
【数７】
【００３５】この定数Ａは、上記で求めた活性化エネル
ギーＥａと、電流密度係数ｎと、印加電流密度（Ｊ１、
Ｊ２、Ｊ３）でのエレクトロマイグレーション試験時の
配線抵抗から算出した配線温度（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３）
と、故障時間（τ１、τ２、τ３）とを、数７に代入し
て、定数Ａ値を求める。高精度な活性化エネルギーＥａ
値と電流密度係数ｎ値があれば、非常に簡単で、瞬時に
高精度な定数Ａ値を求めることができる。
ギーＥａと、電流密度係数ｎと、印加電流密度（Ｊ１、
Ｊ２、Ｊ３）でのエレクトロマイグレーション試験時の
配線抵抗から算出した配線温度（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３）
と、故障時間（τ１、τ２、τ３）とを、数７に代入し
て、定数Ａ値を求める。高精度な活性化エネルギーＥａ
値と電流密度係数ｎ値があれば、非常に簡単で、瞬時に
高精度な定数Ａ値を求めることができる。
【００３６】本発明の金属配線のエレクトロマイグレー
ション評価装置は、Ｄ１＜Ｄ２＜Ｄ３でかつ、Ｄ１／Ｄ
２＝Ｄ２／Ｄ３となる関係の３種類の断面積（Ｄ１、Ｄ
２、Ｄ３）のエレクトロマイグレーション評価配線に対
し単一の印加電流値を設定する印加電流設定部と、印加
電流設定部で設定された印加電流値によりエレクトロマ
イグレーション試験を行い、各断面積に対する配線抵抗
と故障時間を求めるエレクトロマイグレーション試験部
と、各断面積に対する配線抵抗から各配線温度を算出す
る配線温度算出部と、各配線温度，各断面積に対する故
障時間，断面積及び印加電流を用いて、金属配線の寿命
推定に必要な定数，電流密度係数及び活性化エネルギー
の値を算出する主要値算出部とを設けたことを特徴とす
る。
ション評価装置は、Ｄ１＜Ｄ２＜Ｄ３でかつ、Ｄ１／Ｄ
２＝Ｄ２／Ｄ３となる関係の３種類の断面積（Ｄ１、Ｄ
２、Ｄ３）のエレクトロマイグレーション評価配線に対
し単一の印加電流値を設定する印加電流設定部と、印加
電流設定部で設定された印加電流値によりエレクトロマ
イグレーション試験を行い、各断面積に対する配線抵抗
と故障時間を求めるエレクトロマイグレーション試験部
と、各断面積に対する配線抵抗から各配線温度を算出す
る配線温度算出部と、各配線温度，各断面積に対する故
障時間，断面積及び印加電流を用いて、金属配線の寿命
推定に必要な定数，電流密度係数及び活性化エネルギー
の値を算出する主要値算出部とを設けたことを特徴とす
る。
【００３７】この本発明の金属配線のエレクトロマイグ
レーション評価装置は、本発明の金属配線のエレクトロ
マイグレーション評価方法をより実用的に実施するため
のものであり、エレクトロマイグレーション評価配線の
３種類の断面積（Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３）を、Ｄ１＜Ｄ２＜
Ｄ３で、Ｄ１／Ｄ２＝Ｄ２／Ｄ３なる関係になるよう形
成した構造を有する。したがって、本発明の金属配線の
エレクトロマイグレーション評価装置を使用すれば、エ
レクトロマイグレーション試験での印加電流値を一つ決
めれば、おのずと、３種類の電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ
３）がＪ１＞Ｊ２＞Ｊ３で、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／Ｊ３な
る印加をすることができる。このため、エレクトロマイ
グレーション試験の作業内容が簡単化され、オンライン
での高精度なエレクトロマイグレーション試験をより効
率的に実施することができる。
レーション評価装置は、本発明の金属配線のエレクトロ
マイグレーション評価方法をより実用的に実施するため
のものであり、エレクトロマイグレーション評価配線の
３種類の断面積（Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３）を、Ｄ１＜Ｄ２＜
Ｄ３で、Ｄ１／Ｄ２＝Ｄ２／Ｄ３なる関係になるよう形
成した構造を有する。したがって、本発明の金属配線の
エレクトロマイグレーション評価装置を使用すれば、エ
レクトロマイグレーション試験での印加電流値を一つ決
めれば、おのずと、３種類の電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ
３）がＪ１＞Ｊ２＞Ｊ３で、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／Ｊ３な
る印加をすることができる。このため、エレクトロマイ
グレーション試験の作業内容が簡単化され、オンライン
での高精度なエレクトロマイグレーション試験をより効
率的に実施することができる。
【００３８】しかも、本発明の金属配線のエレクトロマ
イグレーション評価方法及び評価装置によれば、エレク
トロマイグレーション評価の寿命推定で必要な、定数
Ａ、電流密度係数ｎ及び活性化エネルギーＥａを求める
エレクトロマイグレーション試験を、定数Ａ、電流密度
係数ｎ及び活性化エネルギーＥａの３つ共、同一の試験
環境下で、かつ、同一の金属配線により行うため、より
高精度な定数Ａ、電流密度係数ｎ及び活性化エネルギー
Ｅａを求めることが可能である。
イグレーション評価方法及び評価装置によれば、エレク
トロマイグレーション評価の寿命推定で必要な、定数
Ａ、電流密度係数ｎ及び活性化エネルギーＥａを求める
エレクトロマイグレーション試験を、定数Ａ、電流密度
係数ｎ及び活性化エネルギーＥａの３つ共、同一の試験
環境下で、かつ、同一の金属配線により行うため、より
高精度な定数Ａ、電流密度係数ｎ及び活性化エネルギー
Ｅａを求めることが可能である。
【００３９】したがって従来のように、ホットチャック
や恒温槽などの温度制御機器や、印加電流密度を変化さ
せた場合の配線温度一定化のための試験条件の過酷な設
定の必要がなく、低コストかつ短時間で定数Ａ、電流密
度係数ｎ及び活性化エネルギーＥａを求めることが可能
なエレクトロマイグレーション評価方法及び評価装置を
実現することができる。
や恒温槽などの温度制御機器や、印加電流密度を変化さ
せた場合の配線温度一定化のための試験条件の過酷な設
定の必要がなく、低コストかつ短時間で定数Ａ、電流密
度係数ｎ及び活性化エネルギーＥａを求めることが可能
なエレクトロマイグレーション評価方法及び評価装置を
実現することができる。
【００４０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の実
施の形態における金属配線のエレクトロマイグレーショ
ン評価方法を示す工程図である。
て、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の実
施の形態における金属配線のエレクトロマイグレーショ
ン評価方法を示す工程図である。
【００４１】本発明の金属配線のエレクトロマイグレー
ション評価方法は、印加電流密度設定工程１１と、エレ
クトロマイグレーション試験工程１２と、試験配線の温
度算出工程１３（配線温度算出工程）と、定数Ａ値・電
流密度係数ｎ値・活性化エネルギーＥａ値求解工程１４
（主要値算出工程）とからなる。
ション評価方法は、印加電流密度設定工程１１と、エレ
クトロマイグレーション試験工程１２と、試験配線の温
度算出工程１３（配線温度算出工程）と、定数Ａ値・電
流密度係数ｎ値・活性化エネルギーＥａ値求解工程１４
（主要値算出工程）とからなる。
【００４２】印加電流密度設定工程１１は、エレクトロ
マイグレーション試験で用いる印加電流密度値を設定す
る工程である。３種類の印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ
３）を、Ｊ１＞Ｊ２＞Ｊ３で、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／Ｊ３
なる関係に設定する。
マイグレーション試験で用いる印加電流密度値を設定す
る工程である。３種類の印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ
３）を、Ｊ１＞Ｊ２＞Ｊ３で、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／Ｊ３
なる関係に設定する。
【００４３】エレクトロマイグレーション試験工程１２
は、印加電流密度設定工程１１で設定した印加電流密度
（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）によりエレクトロマイグレーショ
ン試験を行う工程である。このエレクトロマイグレーシ
ョン試験工程１２では、印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ
３）時のエレクトロマイグレーション試験を行い、試験
結果として、故障時間（τ１、τ２、τ３）及びエレク
トロマイグレーション試験中のエレクトロマイグレーシ
ョン評価配線の配線抵抗（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３）を得る。
は、印加電流密度設定工程１１で設定した印加電流密度
（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）によりエレクトロマイグレーショ
ン試験を行う工程である。このエレクトロマイグレーシ
ョン試験工程１２では、印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ
３）時のエレクトロマイグレーション試験を行い、試験
結果として、故障時間（τ１、τ２、τ３）及びエレク
トロマイグレーション試験中のエレクトロマイグレーシ
ョン評価配線の配線抵抗（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３）を得る。
【００４４】試験配線の温度算出工程１３は、エレクト
ロマイグレーション試験工程１２で得られたエレクトロ
マイグレーション評価配線の配線抵抗（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ
３）から、配線温度（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３）を求める工程
である。すなわち、各配線温度Ｔ（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３）
は、各配線抵抗Ｒ（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３）を数８に代入し
て求める。
ロマイグレーション試験工程１２で得られたエレクトロ
マイグレーション評価配線の配線抵抗（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ
３）から、配線温度（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３）を求める工程
である。すなわち、各配線温度Ｔ（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３）
は、各配線抵抗Ｒ（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３）を数８に代入し
て求める。
【００４５】
【数８】
【００４６】数８において、Ｔ0 は室温、Ｒ0 は温度Ｔ
0 時の配線抵抗、ＴＣＲは温度係数である。
0 時の配線抵抗、ＴＣＲは温度係数である。
【００４７】定数Ａ値・電流密度係数ｎ値・活性化エネ
ルギーＥａ値求解工程１４は、印加電流密度設定工程１
１で設定した印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）と、エ
レクトロマイグレーション試験工程１２で得られた故障
時間（τ１、τ２、τ３）と、試験配線の温度算出工程
１３で求めた配線温度（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３）とを用い
て、定数Ａ、電流密度係数ｎ及び活性化エネルギーＥａ
の値を求める工程である。課題を解決するための手段の
ところでも述べたように、活性化エネルギーＥａ値を下
記の数９により、電流密度係数ｎ値を下記の数１０によ
り、定数Ａ値を下記の数１１により求める。
ルギーＥａ値求解工程１４は、印加電流密度設定工程１
１で設定した印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）と、エ
レクトロマイグレーション試験工程１２で得られた故障
時間（τ１、τ２、τ３）と、試験配線の温度算出工程
１３で求めた配線温度（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３）とを用い
て、定数Ａ、電流密度係数ｎ及び活性化エネルギーＥａ
の値を求める工程である。課題を解決するための手段の
ところでも述べたように、活性化エネルギーＥａ値を下
記の数９により、電流密度係数ｎ値を下記の数１０によ
り、定数Ａ値を下記の数１１により求める。
【００４８】
【数９】
【００４９】
【数１０】
【００５０】
【数１１】
【００５１】以上のように本実施の形態の金属配線のエ
レクトロマイグレーション評価方法によれば、３種類の
印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）を、Ｊ１＞Ｊ２＞Ｊ
３でかつ、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／Ｊ３となる関係に設定
し、その３種類の印加電流密度でのエレクトロマイグレ
ーション試験を行い、各印加電流密度における配線抵抗
と故障時間を求め、上記の数８〜数１１により、定数
Ａ、電流密度係数ｎ及び活性化エネルギーＥａの値を算
出する。したがって従来のように、ホットチャックや恒
温槽などの温度制御機器や、印加電流密度を変化させた
場合の配線温度一定化のための試験条件の過酷な設定の
必要がなく、従来では達成できなかった低コスト、短時
間で、高精度なエレクトロマイグレーション評価式の未
知数である金属配線の定数Ａ、電流密度係数ｎ、活性化
エネルギーＥａを求めることができ、金属配線のエレク
トロマイグレーション故障による寿命推定がより高信頼
になった。
レクトロマイグレーション評価方法によれば、３種類の
印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）を、Ｊ１＞Ｊ２＞Ｊ
３でかつ、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／Ｊ３となる関係に設定
し、その３種類の印加電流密度でのエレクトロマイグレ
ーション試験を行い、各印加電流密度における配線抵抗
と故障時間を求め、上記の数８〜数１１により、定数
Ａ、電流密度係数ｎ及び活性化エネルギーＥａの値を算
出する。したがって従来のように、ホットチャックや恒
温槽などの温度制御機器や、印加電流密度を変化させた
場合の配線温度一定化のための試験条件の過酷な設定の
必要がなく、従来では達成できなかった低コスト、短時
間で、高精度なエレクトロマイグレーション評価式の未
知数である金属配線の定数Ａ、電流密度係数ｎ、活性化
エネルギーＥａを求めることができ、金属配線のエレク
トロマイグレーション故障による寿命推定がより高信頼
になった。
【００５２】図２は、本発明の実施の形態における金属
配線のエレクトロマイグレーション評価装置の構成図を
示す。
配線のエレクトロマイグレーション評価装置の構成図を
示す。
【００５３】本実施の形態の金属配線のエレクトロマイ
グレーション評価装置は、印加電流設定部２１と、エレ
クトロマイグレーション試験部２２と、試験配線の温度
算出部２３（配線温度算出部）と、定数Ａ値・電流密度
係数ｎ値・活性化エネルギーＥａ値求解部２４（主要値
算出部）とからなる。また、エレクトロマイグレーショ
ン評価配線として、予め、３種類の断面積（Ｄ１、Ｄ
２、Ｄ３）が、Ｄ１＜Ｄ２＜Ｄ３で、Ｄ１／Ｄ２＝Ｄ２
／Ｄ３なる関係になる配線を形成している。
グレーション評価装置は、印加電流設定部２１と、エレ
クトロマイグレーション試験部２２と、試験配線の温度
算出部２３（配線温度算出部）と、定数Ａ値・電流密度
係数ｎ値・活性化エネルギーＥａ値求解部２４（主要値
算出部）とからなる。また、エレクトロマイグレーショ
ン評価配線として、予め、３種類の断面積（Ｄ１、Ｄ
２、Ｄ３）が、Ｄ１＜Ｄ２＜Ｄ３で、Ｄ１／Ｄ２＝Ｄ２
／Ｄ３なる関係になる配線を形成している。
【００５４】印加電流設定部２１は、エレクトロマイグ
レーション試験で用いる印加電流値を設定する部分であ
る。エレクトロマイグレーション評価配線として３種類
の断面積（Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３）が、Ｄ１＜Ｄ２＜Ｄ３
で、Ｄ１／Ｄ２＝Ｄ２／Ｄ３なる関係になるような配線
を有するため、単一の印加電流値Ｉ0 を設定すれば、３
種類の印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）は、Ｊ１＝Ｉ
0 ／Ｄ１、Ｊ２＝Ｉ0 ／Ｄ２、Ｊ３＝Ｉ0 ／Ｄ３とな
り、おのずと、Ｊ１＞Ｊ２＞Ｊ３で、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２
／Ｊ３なる関係に設定される。
レーション試験で用いる印加電流値を設定する部分であ
る。エレクトロマイグレーション評価配線として３種類
の断面積（Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３）が、Ｄ１＜Ｄ２＜Ｄ３
で、Ｄ１／Ｄ２＝Ｄ２／Ｄ３なる関係になるような配線
を有するため、単一の印加電流値Ｉ0 を設定すれば、３
種類の印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）は、Ｊ１＝Ｉ
0 ／Ｄ１、Ｊ２＝Ｉ0 ／Ｄ２、Ｊ３＝Ｉ0 ／Ｄ３とな
り、おのずと、Ｊ１＞Ｊ２＞Ｊ３で、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２
／Ｊ３なる関係に設定される。
【００５５】エレクトロマイグレーション試験部２２で
は、印加電流設定部２１で設定した印加電流値Ｉ0 によ
り、エレクトロマイグレーション試験を行う。このエレ
クトロマイグレーション試験での印加電流密度は、上記
の（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）である。このエレクトロマイグ
レーション試験の試験結果として、故障時間（τ１、τ
２、τ３）及びエレクトロマイグレーション試験中のエ
レクトロマイグレーション評価配線の配線抵抗（Ｒ１、
Ｒ２、Ｒ３）を得る。
は、印加電流設定部２１で設定した印加電流値Ｉ0 によ
り、エレクトロマイグレーション試験を行う。このエレ
クトロマイグレーション試験での印加電流密度は、上記
の（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）である。このエレクトロマイグ
レーション試験の試験結果として、故障時間（τ１、τ
２、τ３）及びエレクトロマイグレーション試験中のエ
レクトロマイグレーション評価配線の配線抵抗（Ｒ１、
Ｒ２、Ｒ３）を得る。
【００５６】試験配線の温度算出部２３では、エレクト
ロマイグレーション試験部２２で得られたエレクトロマ
イグレーション評価配線の配線抵抗（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ
３）から、配線温度（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３）を、前述の数
８の演算により求める。
ロマイグレーション試験部２２で得られたエレクトロマ
イグレーション評価配線の配線抵抗（Ｒ１、Ｒ２、Ｒ
３）から、配線温度（Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３）を、前述の数
８の演算により求める。
【００５７】定数Ａ値・電流密度係数ｎ値・活性化エネ
ルギーＥａ値求解部２４では、印加電流設定部２１で設
定された印加電流値Ｉ0 に対応して得られる印加電流密
度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）と、エレクトロマイグレーショ
ン試験部２２で得られた故障時間（τ１、τ２、τ３）
と、試験配線の温度算出部２３で求めた配線温度（Ｔ
１、Ｔ２、Ｔ３）とを用いて、活性化エネルギーＥａ値
を前述の数９の演算により、電流密度係数ｎ値を前述の
数１０の演算により、定数Ａ値を前述の数１１の演算に
より求める。
ルギーＥａ値求解部２４では、印加電流設定部２１で設
定された印加電流値Ｉ0 に対応して得られる印加電流密
度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）と、エレクトロマイグレーショ
ン試験部２２で得られた故障時間（τ１、τ２、τ３）
と、試験配線の温度算出部２３で求めた配線温度（Ｔ
１、Ｔ２、Ｔ３）とを用いて、活性化エネルギーＥａ値
を前述の数９の演算により、電流密度係数ｎ値を前述の
数１０の演算により、定数Ａ値を前述の数１１の演算に
より求める。
【００５８】以上のように本実施の形態の金属配線のエ
レクトロマイグレーション評価装置によれば、エレクト
ロマイグレーション評価配線として３種類の断面積（Ｄ
１、Ｄ２、Ｄ３）が、Ｄ１＜Ｄ２＜Ｄ３で、Ｄ１／Ｄ２
＝Ｄ２／Ｄ３なる関係になる配線を有するため、エレク
トロマイグレーション試験での印加電流値を一つ決めれ
ば、おのずと、３種類の電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）
がＪ１＞Ｊ２＞Ｊ３で、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／Ｊ３なる印
加をすることができる。このため、エレクトロマイグレ
ーション試験の作業内容が簡単化され、評価装置の条件
設定を簡略化でき、条件変更が少ないことにより試験精
度も高くなり、図１に示したエレクトロマイグレーショ
ン評価方法をより効率的に実施することができる。
レクトロマイグレーション評価装置によれば、エレクト
ロマイグレーション評価配線として３種類の断面積（Ｄ
１、Ｄ２、Ｄ３）が、Ｄ１＜Ｄ２＜Ｄ３で、Ｄ１／Ｄ２
＝Ｄ２／Ｄ３なる関係になる配線を有するため、エレク
トロマイグレーション試験での印加電流値を一つ決めれ
ば、おのずと、３種類の電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）
がＪ１＞Ｊ２＞Ｊ３で、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／Ｊ３なる印
加をすることができる。このため、エレクトロマイグレ
ーション試験の作業内容が簡単化され、評価装置の条件
設定を簡略化でき、条件変更が少ないことにより試験精
度も高くなり、図１に示したエレクトロマイグレーショ
ン評価方法をより効率的に実施することができる。
【００５９】また、本実施の形態の金属配線のエレクト
ロマイグレーション評価装置によって、金属配線のエレ
クトロマイグレーション評価で特に重要な寿命推定がオ
ンラインで安定的でかつ高信頼に行うことが可能にな
る。
ロマイグレーション評価装置によって、金属配線のエレ
クトロマイグレーション評価で特に重要な寿命推定がオ
ンラインで安定的でかつ高信頼に行うことが可能にな
る。
【００６０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、エレクト
ロマイグレーション評価式の未知数である金属配線の定
数Ａ、電流密度係数ｎ、活性化エネルギーＥａを求める
ためのエレクトロマイグレーション試験を、従来では達
成できなかった低コスト、短時間で実施でき、高精度な
定数Ａ、電流密度係数ｎ、活性化エネルギーＥａを求め
ることができ、金属配線のエレクトロマイグレーション
故障による寿命推定がより高信頼になる。
ロマイグレーション評価式の未知数である金属配線の定
数Ａ、電流密度係数ｎ、活性化エネルギーＥａを求める
ためのエレクトロマイグレーション試験を、従来では達
成できなかった低コスト、短時間で実施でき、高精度な
定数Ａ、電流密度係数ｎ、活性化エネルギーＥａを求め
ることができ、金属配線のエレクトロマイグレーション
故障による寿命推定がより高信頼になる。
【００６１】さらに、従来になかったオンラインでの金
属配線のエレクトロマイグレーション寿命推定が可能に
なる。
属配線のエレクトロマイグレーション寿命推定が可能に
なる。
【図１】本発明の実施の形態における金属配線のエレク
トロマイグレーション評価方法を示す工程図。
トロマイグレーション評価方法を示す工程図。
【図２】本発明の実施の形態における金属配線のエレク
トロマイグレーション評価装置を示す構成図。
トロマイグレーション評価装置を示す構成図。
【図３】従来の金属配線のエレクトロマイグレーション
評価方法を示す工程図。
評価方法を示す工程図。
１１ 印加電流密度設定工程 １２ エレクトロマイグレーション試験工程 １３ 試験配線の温度算出工程 １４ 定数Ａ値・電流密度係数ｎ値・活性化エネルギー
Ｅａ値求解工程 ２１ 印加電流設定部 ２２ エレクトロマイグレーション試験部 ２３ 試験配線の温度算出部 ２４ 定数Ａ値・電流密度係数ｎ値・活性化エネルギー
Ｅａ値求解部
Ｅａ値求解工程 ２１ 印加電流設定部 ２２ エレクトロマイグレーション試験部 ２３ 試験配線の温度算出部 ２４ 定数Ａ値・電流密度係数ｎ値・活性化エネルギー
Ｅａ値求解部
Claims (2)
- 【請求項１】 金属配線のエレクトロマイグレーション
評価方法であって、 エレクトロマイグレーション評価配線への印加電流密度
として３種類の印加電流密度（Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３）を、
Ｊ１＞Ｊ２＞Ｊ３でかつ、Ｊ１／Ｊ２＝Ｊ２／Ｊ３とな
る関係に設定する印加電流密度設定工程と、 前記３種類の印加電流密度でのエレクトロマイグレーシ
ョン試験を行い、各印加電流密度における配線抵抗と故
障時間を求めるエレクトロマイグレーション試験工程
と、 前記各印加電流密度における配線抵抗から各配線温度を
算出する配線温度算出工程と、 前記各配線温度，前記各印加電流密度における故障時間
及び前記印加電流密度を用いて、前記金属配線の寿命推
定に必要な定数，電流密度係数及び活性化エネルギーの
値を算出する主要値算出工程とを含むことを特徴とする
金属配線のエレクトロマイグレーション評価方法。 - 【請求項２】 金属配線のエレクトロマイグレーション
評価装置であって、Ｄ１＜Ｄ２＜Ｄ３でかつ、Ｄ１／Ｄ
２＝Ｄ２／Ｄ３となる関係の３種類の断面積（Ｄ１、Ｄ
２、Ｄ３）のエレクトロマイグレーション評価配線に対
し単一の印加電流値を設定する印加電流設定部と、 前記印加電流設定部で設定された印加電流値によりエレ
クトロマイグレーション試験を行い、前記各断面積に対
する配線抵抗と故障時間を求めるエレクトロマイグレー
ション試験部と、 前記各断面積に対する配線抵抗から各配線温度を算出す
る配線温度算出部と、 前記各配線温度，前記各断面積に対する故障時間，前記
断面積及び前記印加電流を用いて、前記金属配線の寿命
推定に必要な定数，電流密度係数及び活性化エネルギー
の値を算出する主要値算出部とを設けたことを特徴とす
る金属配線のエレクトロマイグレーション評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17352299A JP3776257B2 (ja) | 1999-06-21 | 1999-06-21 | 金属配線のエレクトロマイグレーション評価方法及び評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17352299A JP3776257B2 (ja) | 1999-06-21 | 1999-06-21 | 金属配線のエレクトロマイグレーション評価方法及び評価装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001007175A true JP2001007175A (ja) | 2001-01-12 |
| JP3776257B2 JP3776257B2 (ja) | 2006-05-17 |
Family
ID=15962095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17352299A Expired - Fee Related JP3776257B2 (ja) | 1999-06-21 | 1999-06-21 | 金属配線のエレクトロマイグレーション評価方法及び評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3776257B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010232384A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Japan Science & Technology Agency | 金属配線評価用パターン、半導体装置及び評価方法 |
| JP2013207956A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 電線保護装置及び電線保護方法 |
| CN113782516A (zh) * | 2021-08-20 | 2021-12-10 | 长江存储科技有限责任公司 | 电迁移测试结构、系统、存储器、制造方法及测试方法 |
-
1999
- 1999-06-21 JP JP17352299A patent/JP3776257B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010232384A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Japan Science & Technology Agency | 金属配線評価用パターン、半導体装置及び評価方法 |
| JP2013207956A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 電線保護装置及び電線保護方法 |
| CN113782516A (zh) * | 2021-08-20 | 2021-12-10 | 长江存储科技有限责任公司 | 电迁移测试结构、系统、存储器、制造方法及测试方法 |
| CN113782516B (zh) * | 2021-08-20 | 2024-04-05 | 长江存储科技有限责任公司 | 电迁移测试结构、系统、存储器、制造方法及测试方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3776257B2 (ja) | 2006-05-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2135102B1 (en) | Electromigration testing and evaluation apparatus and methods | |
| US7268575B1 (en) | Method of NBTI prediction | |
| JP2000206176A (ja) | バ―イン装置 | |
| WO2005109018A1 (en) | Method for determining time to failure of submicron metal interconnects | |
| JP3776257B2 (ja) | 金属配線のエレクトロマイグレーション評価方法及び評価装置 | |
| US7512506B2 (en) | IC chip stress testing | |
| CN108181571B (zh) | 一种电迁移加速测试方法 | |
| US8232809B2 (en) | Determining critical current density for interconnect | |
| Rodriguez-Montanes et al. | Localization and electrical characterization of interconnect open defects | |
| US6770847B2 (en) | Method and system for Joule heating characterization | |
| JP3628849B2 (ja) | 集積回路における金属配線の評価方法及び評価装置 | |
| CN108981962B (zh) | 一种pcb孔链温度测试方法和装置 | |
| EP0219266B1 (en) | Method for evaluating the breakdown time of an insulating film | |
| JP2006170923A (ja) | 半導体装置評価装置、半導体装置の評価方法および半導体評価デバイスのシミュレータ | |
| RU2567016C1 (ru) | Способ оценки электромиграционных параметров металлических проводников | |
| JPH06342027A (ja) | 配線の評価方法及び評価装置 | |
| JP2002141388A (ja) | 半導体装置の評価方法及びその評価装置 | |
| JP3443127B2 (ja) | エレクトロマイグレーション評価方法 | |
| Anata et al. | Temperature-controlled wafer level Joule-heated constant-current EM tests of W/AlCuSi/W wires | |
| Baroncini et al. | Accurate extraction of the temperature of the heating element in micromachined gas sensors | |
| JPH07326647A (ja) | 配線特性の試験装置および試験方法 | |
| JPH06151537A (ja) | 配線寿命の評価方法 | |
| KR20040096399A (ko) | 셀프 비아 측정이 가능한 반도체 소자 및 이를 위한 비아측정 장치 그리고 그 방법 | |
| JPH09246269A (ja) | 半導体装置のシミュレーション評価方法 | |
| Sullivan et al. | Basic BEOL parameters from isothermal wafer level electromigration testing |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050125 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051206 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060118 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060214 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060222 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100303 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110303 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |