JP2001006545A - 光源装置、露光装置及び陰極線管パネル - Google Patents
光源装置、露光装置及び陰極線管パネルInfo
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
- H01J9/2272—Devices for carrying out the processes, e.g. light houses
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/86—Vessels; Containers; Vacuum locks
- H01J29/89—Optical or photographic arrangements structurally combined or co-operating with the vessel
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学窓押さえの開口壁面で生じる散乱光等の
重畳に起因した露光光の照度分布のムラの発生を抑制す
る。 【解決手段】 断面形状が矩形の開口2Hを有する遮蔽
板2を光学窓押さえ15の上方に配置する。即ち、開口
壁面2HSが光学窓14より利用角度θeで出射する光
の光路Zr(x)上に位置し、開口2Hの半幅Xuが同
板2の光学窓14からの高さuに対してXu=u/co
t(θe)+t×sin(θe)/sgrt(ng 2−s
in2(θe))+s(ngは光学窓14の材質の屈折
率)で与えられる様に、同板2を配置する。しかも、Z
h(x)=±(1×tan(θe)(x±Xu)+u
(+はx≦−Xuのとき、−はx≧Xuのとき)で与え
られる境界線及び光路Zr(x)の両外側領域に光学窓
押さえ15を配置する。
重畳に起因した露光光の照度分布のムラの発生を抑制す
る。 【解決手段】 断面形状が矩形の開口2Hを有する遮蔽
板2を光学窓押さえ15の上方に配置する。即ち、開口
壁面2HSが光学窓14より利用角度θeで出射する光
の光路Zr(x)上に位置し、開口2Hの半幅Xuが同
板2の光学窓14からの高さuに対してXu=u/co
t(θe)+t×sin(θe)/sgrt(ng 2−s
in2(θe))+s(ngは光学窓14の材質の屈折
率)で与えられる様に、同板2を配置する。しかも、Z
h(x)=±(1×tan(θe)(x±Xu)+u
(+はx≦−Xuのとき、−はx≧Xuのとき)で与え
られる境界線及び光路Zr(x)の両外側領域に光学窓
押さえ15を配置する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は陰極線管(以下、
CRTと記す)パネル製造に使用される露光装置に組み
込まれた光源装置に関しており、特に露光ムラを発生さ
せる反射光や散乱光などの光を遮蔽して露光ムラを低減
することで高品質な露光を行なえる光源装置に関するも
のである。
CRTと記す)パネル製造に使用される露光装置に組み
込まれた光源装置に関しており、特に露光ムラを発生さ
せる反射光や散乱光などの光を遮蔽して露光ムラを低減
することで高品質な露光を行なえる光源装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】ディスプレイモニタ等として使用される
CRTのパネル内面の蛍光面は、レジスト露光を利用し
て作成されるブラックマトリックス(以下、BMと記
す)と、直接露光を利用して作成される蛍光体の三色パ
ターンとから成っている。
CRTのパネル内面の蛍光面は、レジスト露光を利用し
て作成されるブラックマトリックス(以下、BMと記
す)と、直接露光を利用して作成される蛍光体の三色パ
ターンとから成っている。
【0003】図11は、露光装置を使用してCRTパネ
ル70上に形成された蛍光面の構造を説明する平面図
(一部、拡大部分のI−II線に関する縦断面図を含
む)である。図11において、701は蛍光体同士の分
離を明確にして画質を向上させるBM、702,70
3,704はそれぞれ赤(R),緑(G),青(B)の
蛍光体であり、BM701の開口部の所定の位置にスト
ライプ状に形成されている。
ル70上に形成された蛍光面の構造を説明する平面図
(一部、拡大部分のI−II線に関する縦断面図を含
む)である。図11において、701は蛍光体同士の分
離を明確にして画質を向上させるBM、702,70
3,704はそれぞれ赤(R),緑(G),青(B)の
蛍光体であり、BM701の開口部の所定の位置にスト
ライプ状に形成されている。
【0004】なお、図11に示した蛍光面は、レジスト
露光を利用したリフトオフ法によりBM701を形成す
る工程と、BM701が形成されたパネル内面に例えば
緑色の感光性の蛍光体を塗布しておき、直接露光と現像
プロセスとを経てBM701の開口部の所定の位置に緑
色蛍光体を残す作業を赤,緑,青の色を任意の順序で行
う工程とを経て形成される。
露光を利用したリフトオフ法によりBM701を形成す
る工程と、BM701が形成されたパネル内面に例えば
緑色の感光性の蛍光体を塗布しておき、直接露光と現像
プロセスとを経てBM701の開口部の所定の位置に緑
色蛍光体を残す作業を赤,緑,青の色を任意の順序で行
う工程とを経て形成される。
【0005】図12は、図11に示したCRTパネル7
0の製造用に用いる露光装置の構成を示す断面図であ
る。図12において、1は光源装置、20は調光フィル
タ、40はウェッジレンズ、50は補正レンズ、60は
マスクである。光源装置1から出射した光は調光フィル
タ20からウェッジレンズ40及び補正レンズ50を通
ってマスク60に照射され、その結果生じるマスク60
の影がCRTパネル70の内面上に投影されることによ
り、所定のパターンの露光が行なわれる。
0の製造用に用いる露光装置の構成を示す断面図であ
る。図12において、1は光源装置、20は調光フィル
タ、40はウェッジレンズ、50は補正レンズ、60は
マスクである。光源装置1から出射した光は調光フィル
タ20からウェッジレンズ40及び補正レンズ50を通
ってマスク60に照射され、その結果生じるマスク60
の影がCRTパネル70の内面上に投影されることによ
り、所定のパターンの露光が行なわれる。
【0006】図13は、図12中に円弧C1で示した部
分の拡大図であり、マスク60以降の光線の進路を詳細
に示している。同図13において、光源装置1から出射
された所定の色ないしは所定の波長の光は、マスク60
の開口部分に対応したストライプ状にCRTパネル70
の内面を照射している。
分の拡大図であり、マスク60以降の光線の進路を詳細
に示している。同図13において、光源装置1から出射
された所定の色ないしは所定の波長の光は、マスク60
の開口部分に対応したストライプ状にCRTパネル70
の内面を照射している。
【0007】又、図14は、図12に示す露光装置にお
いて用いられている従来の光源装置1の構造を示す縦断
面図である。図14において、11はx方向に線状に延
びた発光領域を持つ棒状の水銀光源であり、12は水銀
光源11から出射される光の一部を遮蔽して見かけの光
源形状を限定するための光源スリットであり、同スリッ
ト12の中心部分には光を透過させるための開口が設け
られている。又、13は水銀光源11をオーリング16
を介してその内部の空間内に保持する光源ハウスであ
り、水銀光源11の発光領域の周辺の光源ハウス13の
内部空間(上面側部分は開口を有する)には同光源11
を冷却するための冷却水17が充満している。又、14
は、開口のある光源ハウス13の上面側部分とオーリン
グ16を介してその下側表面が接触することで、同ハウ
ス13の内部空間内に冷却水17を閉じこめると共に、
水銀光源11からの光をその上側表面より大気中へ取り
出すための光学窓である。加えて、光源ハウス13には
冷却水17の図示しない入口と出口とが設けられてお
り、入口から大気圧以上の圧力で冷却水17を同ハウス
13の内部空間内に送り込みつつ、その出口から冷却水
17を排出することで、光源ハウス13内の冷却水17
の温度を一定に保つようになっている。従って、冷却水
17が充たされた光源ハウス13の内部空間内の圧力は
常に大気圧より高くなっているので、光学窓14は、オ
ーリング16を介して、光学窓押さえ15によって大気
側から光源ハウス13の上面側部分に向けて圧力を加え
られることによって保持されている。ここで、光学窓押
さえ15は、その中央部分に横断面(xy平面に平行な
断面)が円形状となる開口15Hを有しており、光源ハ
ウス13内に設けられた図示しないネジ溝を利用して同
ハウス13にネジ止めされている。
いて用いられている従来の光源装置1の構造を示す縦断
面図である。図14において、11はx方向に線状に延
びた発光領域を持つ棒状の水銀光源であり、12は水銀
光源11から出射される光の一部を遮蔽して見かけの光
源形状を限定するための光源スリットであり、同スリッ
ト12の中心部分には光を透過させるための開口が設け
られている。又、13は水銀光源11をオーリング16
を介してその内部の空間内に保持する光源ハウスであ
り、水銀光源11の発光領域の周辺の光源ハウス13の
内部空間(上面側部分は開口を有する)には同光源11
を冷却するための冷却水17が充満している。又、14
は、開口のある光源ハウス13の上面側部分とオーリン
グ16を介してその下側表面が接触することで、同ハウ
ス13の内部空間内に冷却水17を閉じこめると共に、
水銀光源11からの光をその上側表面より大気中へ取り
出すための光学窓である。加えて、光源ハウス13には
冷却水17の図示しない入口と出口とが設けられてお
り、入口から大気圧以上の圧力で冷却水17を同ハウス
13の内部空間内に送り込みつつ、その出口から冷却水
17を排出することで、光源ハウス13内の冷却水17
の温度を一定に保つようになっている。従って、冷却水
17が充たされた光源ハウス13の内部空間内の圧力は
常に大気圧より高くなっているので、光学窓14は、オ
ーリング16を介して、光学窓押さえ15によって大気
側から光源ハウス13の上面側部分に向けて圧力を加え
られることによって保持されている。ここで、光学窓押
さえ15は、その中央部分に横断面(xy平面に平行な
断面)が円形状となる開口15Hを有しており、光源ハ
ウス13内に設けられた図示しないネジ溝を利用して同
ハウス13にネジ止めされている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】従来の光源装置は以上
のように構成されているので、光学窓の大気側に光学窓
押さえを設置することが不可欠となっている。このた
め、次の様な問題点が生じている。
のように構成されているので、光学窓の大気側に光学窓
押さえを設置することが不可欠となっている。このた
め、次の様な問題点が生じている。
【0009】先ず、光源装置から出射された露光光をC
RTパネル内面に照射しているときの同パネル内面上に
おける光プロファイルの一つを詳細に考慮すると、図1
5に示すような分布となる。同図によれば、照度の強弱
によってパターン幅が変化することが理解される。言い
換えれば、露光光の照度分布に所定の光分布以外の成分
が重畳されるときには、パターン幅のパネル面内分布は
重畳された成分に対応したムラを生じさせることにな
る。
RTパネル内面に照射しているときの同パネル内面上に
おける光プロファイルの一つを詳細に考慮すると、図1
5に示すような分布となる。同図によれば、照度の強弱
によってパターン幅が変化することが理解される。言い
換えれば、露光光の照度分布に所定の光分布以外の成分
が重畳されるときには、パターン幅のパネル面内分布は
重畳された成分に対応したムラを生じさせることにな
る。
【0010】ここで、図14の水銀光源11から出射し
て冷却水17の内部を通過すると共に、光学窓14を通
って大気側へ至る光線の光路を追跡すると、図16に示
す様に光路が与えられる。同図に示す通り、水銀光源1
1の線状の発光領域111で発生し同領域111内を角
度θiで進行する光線91は、発光領域111を取り囲
む合成石英管112の管壁内を角度θjで通過した後、
冷却水17及び光学窓14内をそれぞれ角度θ0,θ1で
以て通過して、出射角度θで大気中に出射する。このと
き、各光線91〜95の角度θi,θj,θ0,θ1,θの
範囲を順に計算すると、次の通りとなる。先ず、発光領
域111を出射した光線91については、0度から90
度未満の角度成分の光線が合成石英管112を通過でき
るので、角度θiは最大±90度未満となる(数1参
照)。又、合成石英管内の光線92の角度θjの最大値
は±42.70度(数2参照)となり、冷却水17内の
光線93の角度θ0の最大値は±48.28度(数3参
照)となり、光学窓14内の光線94の角度θ1の最大
値は±42.70度(数4参照)となり、光学窓14の
外側の大気中内の光線95については、その光線角度θ
が発光領域111内での光線角度θiと同じであること
が計算されるので、最大値は±90度未満となっている
(数1参照)。即ち、最大±48.28度の角度で水銀
光源11を出射した光線93は、光学窓14の大気側で
は、その出射角度θが±90度近くになるまで広がるこ
とになる。
て冷却水17の内部を通過すると共に、光学窓14を通
って大気側へ至る光線の光路を追跡すると、図16に示
す様に光路が与えられる。同図に示す通り、水銀光源1
1の線状の発光領域111で発生し同領域111内を角
度θiで進行する光線91は、発光領域111を取り囲
む合成石英管112の管壁内を角度θjで通過した後、
冷却水17及び光学窓14内をそれぞれ角度θ0,θ1で
以て通過して、出射角度θで大気中に出射する。このと
き、各光線91〜95の角度θi,θj,θ0,θ1,θの
範囲を順に計算すると、次の通りとなる。先ず、発光領
域111を出射した光線91については、0度から90
度未満の角度成分の光線が合成石英管112を通過でき
るので、角度θiは最大±90度未満となる(数1参
照)。又、合成石英管内の光線92の角度θjの最大値
は±42.70度(数2参照)となり、冷却水17内の
光線93の角度θ0の最大値は±48.28度(数3参
照)となり、光学窓14内の光線94の角度θ1の最大
値は±42.70度(数4参照)となり、光学窓14の
外側の大気中内の光線95については、その光線角度θ
が発光領域111内での光線角度θiと同じであること
が計算されるので、最大値は±90度未満となっている
(数1参照)。即ち、最大±48.28度の角度で水銀
光源11を出射した光線93は、光学窓14の大気側で
は、その出射角度θが±90度近くになるまで広がるこ
とになる。
【0011】
【数1】
【0012】
【数2】
【0013】
【数3】
【0014】
【数4】
【0015】従来の光源装置における光路は以上のよう
になっているので、光学窓14より90度近くの出射角
度で出射する光線95は光学窓押さえ15の開口壁面1
5HSを照射することになり、この壁面15HSは二次
光源となって反射光・散乱光96を発生させる。そし
て、反射光・散乱光96は水銀光源11から直接CRT
パネルの内面上に到達する露光光に重畳されて照度分布
にムラを生じさせることとなり、このムラは図15に関
して述べた因果関係によりブラックマトリックス(B
M)のパターン幅のムラやその後に生成されるRGB各
色の蛍光体のパターン幅のムラを生じさせることになる
ので、蛍光面品質を低下させてしまうという問題点を発
生させている。
になっているので、光学窓14より90度近くの出射角
度で出射する光線95は光学窓押さえ15の開口壁面1
5HSを照射することになり、この壁面15HSは二次
光源となって反射光・散乱光96を発生させる。そし
て、反射光・散乱光96は水銀光源11から直接CRT
パネルの内面上に到達する露光光に重畳されて照度分布
にムラを生じさせることとなり、このムラは図15に関
して述べた因果関係によりブラックマトリックス(B
M)のパターン幅のムラやその後に生成されるRGB各
色の蛍光体のパターン幅のムラを生じさせることになる
ので、蛍光面品質を低下させてしまうという問題点を発
生させている。
【0016】本発明の目的は従来のCRTパネル内面露
光装置用光源装置で生じている問題点を克服すること、
即ち、光学窓押さえの開口壁面における反射光及び散乱
光に起因して生じる露光光の照度分布のムラを抑制する
ことにあり、その結果として、ブラックマトリックスや
蛍光体のパターン幅のムラの解消によって蛍光面品質の
向上を図ることにある。
光装置用光源装置で生じている問題点を克服すること、
即ち、光学窓押さえの開口壁面における反射光及び散乱
光に起因して生じる露光光の照度分布のムラを抑制する
ことにあり、その結果として、ブラックマトリックスや
蛍光体のパターン幅のムラの解消によって蛍光面品質の
向上を図ることにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
陰極線管パネルの製造に使用される露光装置内に組み込
まれた光源と、前記光源を内部に於いて保持する光源ハ
ウスと、前記光源からの光を大気中へ取り出す光学窓
と、前記光学窓を前記光源ハウスに固定する光学窓押さ
えとを備える光源装置において、前記光学窓及び前記光
学窓押さえの上方に設置され且つその開口壁面が前記光
学窓押さえの開口壁面よりも内側に突出して前記光学窓
の上方に位置する遮蔽板を更に備えており、前記遮蔽板
の前記開口壁面の上面側エッジ部分は前記光学窓より所
定の角度で大気中へ出射する出射光の光路上に又は当該
光路よりも外側近傍に位置しており、前記光学窓押さえ
は、前記遮蔽板の前記開口壁面の下面側エッジ部分の位
置を通り且つ前記出射光の前記光路と線対称な直線とし
て与えられる境界線を含めて当該境界線よりも外側とし
て規定される領域内に配設されていることを特徴とす
る。
陰極線管パネルの製造に使用される露光装置内に組み込
まれた光源と、前記光源を内部に於いて保持する光源ハ
ウスと、前記光源からの光を大気中へ取り出す光学窓
と、前記光学窓を前記光源ハウスに固定する光学窓押さ
えとを備える光源装置において、前記光学窓及び前記光
学窓押さえの上方に設置され且つその開口壁面が前記光
学窓押さえの開口壁面よりも内側に突出して前記光学窓
の上方に位置する遮蔽板を更に備えており、前記遮蔽板
の前記開口壁面の上面側エッジ部分は前記光学窓より所
定の角度で大気中へ出射する出射光の光路上に又は当該
光路よりも外側近傍に位置しており、前記光学窓押さえ
は、前記遮蔽板の前記開口壁面の下面側エッジ部分の位
置を通り且つ前記出射光の前記光路と線対称な直線とし
て与えられる境界線を含めて当該境界線よりも外側とし
て規定される領域内に配設されていることを特徴とす
る。
【0018】請求項2に係る発明は、陰極線管パネルの
製造に使用される露光装置内に組み込まれた光源と、前
記光源を内部に於いて保持する光源ハウスと、前記光源
からの光を大気中へ取り出す光学窓と、前記光学窓を前
記光源ハウスに固定する光学窓押さえとを有する光源装
置において、前記光学窓押さえの開口壁面の内で前記光
学窓の表面と接触する第1エッジ部分と反対側の第2エ
ッジ部分は前記光学窓より所定の角度で大気中へ出射す
る出射光の光路上に又は当該光路よりも外側近傍に位置
しており、しかも前記光学窓押さえは、前記第2エッジ
部分を通り且つ前記出射光の前記光路と線対称な直線と
して与えられる境界線を含めて当該境界線よりも外側と
して規定される領域内に配設されていることを特徴とす
る。
製造に使用される露光装置内に組み込まれた光源と、前
記光源を内部に於いて保持する光源ハウスと、前記光源
からの光を大気中へ取り出す光学窓と、前記光学窓を前
記光源ハウスに固定する光学窓押さえとを有する光源装
置において、前記光学窓押さえの開口壁面の内で前記光
学窓の表面と接触する第1エッジ部分と反対側の第2エ
ッジ部分は前記光学窓より所定の角度で大気中へ出射す
る出射光の光路上に又は当該光路よりも外側近傍に位置
しており、しかも前記光学窓押さえは、前記第2エッジ
部分を通り且つ前記出射光の前記光路と線対称な直線と
して与えられる境界線を含めて当該境界線よりも外側と
して規定される領域内に配設されていることを特徴とす
る。
【0019】請求項3に係る発明は、請求項1又は2に
記載の前記光源装置を有することを特徴とする。
記載の前記光源装置を有することを特徴とする。
【0020】請求項4に係る発明は、請求項3に記載の
前記露光装置を使用して製造されたことを特徴とする。
前記露光装置を使用して製造されたことを特徴とする。
【0021】
【発明の実施の形態】(実施の形態1)CRTパネル製
造用露光装置に組込まれる、本実施の形態に係る光源装
置では、光学窓押さえの上方に遮蔽板を設置し、かつ、
光学窓押さえと遮蔽板とを所定の計算式に基づき定まる
位置関係に配置することで、光学窓押さえの開口壁面で
反射ないしは散乱する光がCRTパネルの内面に到達し
ない様に改善している。以下、本実施の形態に係る光源
装置の特徴を図面に基づき説明する。尚、以下に述べる
光源装置を組込んだ露光装置自体の構成は従来技術と同
様である。
造用露光装置に組込まれる、本実施の形態に係る光源装
置では、光学窓押さえの上方に遮蔽板を設置し、かつ、
光学窓押さえと遮蔽板とを所定の計算式に基づき定まる
位置関係に配置することで、光学窓押さえの開口壁面で
反射ないしは散乱する光がCRTパネルの内面に到達し
ない様に改善している。以下、本実施の形態に係る光源
装置の特徴を図面に基づき説明する。尚、以下に述べる
光源装置を組込んだ露光装置自体の構成は従来技術と同
様である。
【0022】図1は、本実施の形態に係る光源装置1の
内部構成を模式的に示す縦断面図である。同図におい
て、本光源装置1の各構成要素の内、光源ハウス13,
水銀光源11,オーリング16,光源スリット12及び
光学窓14はいずれも図14で示した従来の光源装置の
構成要素の内の対応するものと同一構成であり、本光源
装置1においても、水銀光源11が配置され且つオーリ
ング16を介して光学窓14の下面によってその開口部
が密閉されている光源ハウス13の内部空間は、冷却水
17によって充満されている。尚、水銀光源11と光源
スリット12とを総称して「光源」と定義することがで
きる。これに対して、本光源装置1における特徴部分
は、光学窓押さえ15と、その上方に設置された遮蔽板
2とである。両部2,15の構造及び配置関係は次の通
りである。
内部構成を模式的に示す縦断面図である。同図におい
て、本光源装置1の各構成要素の内、光源ハウス13,
水銀光源11,オーリング16,光源スリット12及び
光学窓14はいずれも図14で示した従来の光源装置の
構成要素の内の対応するものと同一構成であり、本光源
装置1においても、水銀光源11が配置され且つオーリ
ング16を介して光学窓14の下面によってその開口部
が密閉されている光源ハウス13の内部空間は、冷却水
17によって充満されている。尚、水銀光源11と光源
スリット12とを総称して「光源」と定義することがで
きる。これに対して、本光源装置1における特徴部分
は、光学窓押さえ15と、その上方に設置された遮蔽板
2とである。両部2,15の構造及び配置関係は次の通
りである。
【0023】先ず、光学窓押さえ15の中央部分には、
横断面形状が例えば円形である開口15Hが設けられて
いる。ここで、「横断面」とは、図1の紙面に垂直で且
つ光学窓14の上面(表面)に平行な面(xy平面に平
行な面)で以て、開口15Hを切断した場合に生じる断
面を言う。尚、開口15Hの横断面の形状を円形とした
のは、オーリング16を介して光学窓14を光源ハウス
13に押し付けるためには便宜だからである。そして、
光学窓押さえ15の外側端部15E側はL字型に折り曲
げられた形状となっており、この端部15Eは図示しな
いネジによって光源ハウス13の上部にネジ止めされて
いる点は、従来技術と同様である。
横断面形状が例えば円形である開口15Hが設けられて
いる。ここで、「横断面」とは、図1の紙面に垂直で且
つ光学窓14の上面(表面)に平行な面(xy平面に平
行な面)で以て、開口15Hを切断した場合に生じる断
面を言う。尚、開口15Hの横断面の形状を円形とした
のは、オーリング16を介して光学窓14を光源ハウス
13に押し付けるためには便宜だからである。そして、
光学窓押さえ15の外側端部15E側はL字型に折り曲
げられた形状となっており、この端部15Eは図示しな
いネジによって光源ハウス13の上部にネジ止めされて
いる点は、従来技術と同様である。
【0024】他方、遮蔽板2の中央部には、開口15H
の直径よりもその横方向(x方向)の幅寸法が短い矩形
状の開口2Hが形成されており(縦方向は図1の紙面に
垂直なy方向である)、遮蔽板2のL字型の外側端部2
Eの一部は、同板2の中央部が光学窓押さえ15の上面
よりも所定量だけ上方に(z方向に)位置するように、
同押さえ15の端部15Eの外側面に図示しないネジに
よってネジ止めされている。
の直径よりもその横方向(x方向)の幅寸法が短い矩形
状の開口2Hが形成されており(縦方向は図1の紙面に
垂直なy方向である)、遮蔽板2のL字型の外側端部2
Eの一部は、同板2の中央部が光学窓押さえ15の上面
よりも所定量だけ上方に(z方向に)位置するように、
同押さえ15の端部15Eの外側面に図示しないネジに
よってネジ止めされている。
【0025】次に、光学窓押さえ15と遮蔽板2との配
置関係を、図1の拡大図にあたる図2の縦断面図に示
す。同図に示された両部2、15の位置関係の設定は、
次の観点から決定される。
置関係を、図1の拡大図にあたる図2の縦断面図に示
す。同図に示された両部2、15の位置関係の設定は、
次の観点から決定される。
【0026】先ず、光学窓押さえ15の上方に設置する
遮蔽板2は、光学窓押さえ15の開口壁面15HSによ
って生じる反射・散乱光を遮蔽すると同時に、露光に必
要な光(直接光)を通過させなければならない。そこ
で、図3に示すように、水銀光源11で生じて光学窓1
4より出射する直接光の内で露光に使用される光の最大
角度を光の利用角度(所定角度)θeと呼ぶことにする
と(従って、出射角度が利用角度θe以内で与えられる
領域とは、光学窓押さえ15の開口壁面15HSで生じ
る反射光や散乱光がそこへ進入してきては困る領域であ
り、且つ、光源からの露光用の光がそこへ届かなければ
ならない領域である)、利用角度θeを越える出射角度
を有して光学窓14から出射される直接光を遮蔽するよ
うに、遮蔽板2を設置すれば良いことになる。ここで、
遮蔽板2を設置すべき領域、即ち、直接光の利用角度θ
eの外側領域を特定するために、利用角度θeで光学窓
14より大気中に出射する光の光路Zr(x)を計算す
ると、図4に示すように、光路Zr(x)は次の数5と
して求められる。
遮蔽板2は、光学窓押さえ15の開口壁面15HSによ
って生じる反射・散乱光を遮蔽すると同時に、露光に必
要な光(直接光)を通過させなければならない。そこ
で、図3に示すように、水銀光源11で生じて光学窓1
4より出射する直接光の内で露光に使用される光の最大
角度を光の利用角度(所定角度)θeと呼ぶことにする
と(従って、出射角度が利用角度θe以内で与えられる
領域とは、光学窓押さえ15の開口壁面15HSで生じ
る反射光や散乱光がそこへ進入してきては困る領域であ
り、且つ、光源からの露光用の光がそこへ届かなければ
ならない領域である)、利用角度θeを越える出射角度
を有して光学窓14から出射される直接光を遮蔽するよ
うに、遮蔽板2を設置すれば良いことになる。ここで、
遮蔽板2を設置すべき領域、即ち、直接光の利用角度θ
eの外側領域を特定するために、利用角度θeで光学窓
14より大気中に出射する光の光路Zr(x)を計算す
ると、図4に示すように、光路Zr(x)は次の数5と
して求められる。
【0027】
【数5】
【0028】ここで、tは光学窓14の厚さ、ngは光
学窓14の材質の屈折率、sは光源スリット12の開口
の半幅である。
学窓14の材質の屈折率、sは光源スリット12の開口
の半幅である。
【0029】以上の様に、本光源装置1では、遮蔽板2
の開口壁面2HSは光学窓押さえ15の開口壁面15H
Sよりも光学窓14の中心軸へ(内側へ)向けて突出し
て光学窓14の上方に位置すると共に、開口壁面2HS
の上面側エッジ部分2UEは光学窓14より利用角度θ
eで大気中へ出射する出射光ないしは直接光の光路Zr
(x)上に位置している。
の開口壁面2HSは光学窓押さえ15の開口壁面15H
Sよりも光学窓14の中心軸へ(内側へ)向けて突出し
て光学窓14の上方に位置すると共に、開口壁面2HS
の上面側エッジ部分2UEは光学窓14より利用角度θ
eで大気中へ出射する出射光ないしは直接光の光路Zr
(x)上に位置している。
【0030】従って、遮蔽板2は、x方向(横方向)の
開口2Hの半幅をXuと表わしたとき、上面側エッジ部
分2UEの光学窓14の上面からの高さuに対して、次
の数6を満たす位置に配置される。
開口2Hの半幅をXuと表わしたとき、上面側エッジ部
分2UEの光学窓14の上面からの高さuに対して、次
の数6を満たす位置に配置される。
【0031】
【数6】
【0032】次に、光学窓押さえ15については、遮蔽
板2の開口壁面2HSの下面側エッジ部分2LEの位置
を通り且つ光路Zr(x)と線対称な直線として与えら
れる境界線、即ち、次の数7で表される境界線ないしは
軌跡Zh(x)の外側の領域(但し、当該領域は境界線
Zh(x)上を含み、z軸から離れる領域である)であ
って、且つ、数5で表される光路ないしは境界線Zr
(x)の外側の領域内に来るように、同押さえ15を製
作し設置する。
板2の開口壁面2HSの下面側エッジ部分2LEの位置
を通り且つ光路Zr(x)と線対称な直線として与えら
れる境界線、即ち、次の数7で表される境界線ないしは
軌跡Zh(x)の外側の領域(但し、当該領域は境界線
Zh(x)上を含み、z軸から離れる領域である)であ
って、且つ、数5で表される光路ないしは境界線Zr
(x)の外側の領域内に来るように、同押さえ15を製
作し設置する。
【0033】
【数7】
【0034】図1及び図2の例では、光学窓押さえ15
の開口壁面15HSは光学窓14の上面に垂直な面であ
り、しかも、光学窓14の上面と接触する同壁面15H
Sの(第1)エッジ部E1が境界線Zh(x)上の位置
(即ち、Zh(x)=0を与える位置)に設定されてい
る。
の開口壁面15HSは光学窓14の上面に垂直な面であ
り、しかも、光学窓14の上面と接触する同壁面15H
Sの(第1)エッジ部E1が境界線Zh(x)上の位置
(即ち、Zh(x)=0を与える位置)に設定されてい
る。
【0035】この様に両部2,15が製作,配置されて
いるので、光学窓押さえ15の開口壁面15HSで生じ
る散乱光の中で、散乱角度が利用角度θe以内のものは
同壁面15HS上方に位置する遮蔽板2によって遮蔽さ
れる一方、利用角度θeを超える角度で散乱された散乱
光の多くは同様に遮蔽板2によって遮蔽されるが、その
内の一部は、光源ハウス近傍では、光路Zr(x)で囲
まれた領域内を通過する。しかし、図5に模式的に示す
通り、本光源装置1とCRTパネル内面(蛍光面)とは
その間隔が十分な距離に設定されて離隔されており(例
えば、両者は300mm程度離れている)、しかも、遮
蔽板2の開口2Hの幅(例えば、幅寸法は10mm程
度)によって遮蔽板2の開口2Hを通り抜ける散乱光の
角度範囲が制限されているので、開口2Hを通り抜ける
散乱光はCRTパネル内面に到達する前に光路Zr
(x)で囲まれた領域の一部を横断するだけであり、当
該散乱光がCRTパネル内面に到達することはない。
いるので、光学窓押さえ15の開口壁面15HSで生じ
る散乱光の中で、散乱角度が利用角度θe以内のものは
同壁面15HS上方に位置する遮蔽板2によって遮蔽さ
れる一方、利用角度θeを超える角度で散乱された散乱
光の多くは同様に遮蔽板2によって遮蔽されるが、その
内の一部は、光源ハウス近傍では、光路Zr(x)で囲
まれた領域内を通過する。しかし、図5に模式的に示す
通り、本光源装置1とCRTパネル内面(蛍光面)とは
その間隔が十分な距離に設定されて離隔されており(例
えば、両者は300mm程度離れている)、しかも、遮
蔽板2の開口2Hの幅(例えば、幅寸法は10mm程
度)によって遮蔽板2の開口2Hを通り抜ける散乱光の
角度範囲が制限されているので、開口2Hを通り抜ける
散乱光はCRTパネル内面に到達する前に光路Zr
(x)で囲まれた領域の一部を横断するだけであり、当
該散乱光がCRTパネル内面に到達することはない。
【0036】ここで、利用角度θeは0度よりも大きく
90度未満の角度であり、任意の角度を利用角度θeの
値として認定可能である。
90度未満の角度であり、任意の角度を利用角度θeの
値として認定可能である。
【0037】今、図2において、利用角度θeを45
度、光学窓14の厚さtを2mm、光源スリット12の
開口の半幅sを4mmに設定する。このとき、遮蔽板2
の開口2Hの上面側エッジ部分2UE又は上面を光学窓
14及び光学窓押さえ15の上方7mmの位置(図2で
はz=u=7mmの位置)に設置すると、Xu=12.
1mmとなる(ここで、合成石英の屈折率ngを1.4
7454とした)。このとき、境界線Zh(x)は、
度、光学窓14の厚さtを2mm、光源スリット12の
開口の半幅sを4mmに設定する。このとき、遮蔽板2
の開口2Hの上面側エッジ部分2UE又は上面を光学窓
14及び光学窓押さえ15の上方7mmの位置(図2で
はz=u=7mmの位置)に設置すると、Xu=12.
1mmとなる(ここで、合成石英の屈折率ngを1.4
7454とした)。このとき、境界線Zh(x)は、
【0038】
【数8】
【0039】で与えられる。ここで、Xuは12.1
(mm)、uは7(mm)である。
(mm)、uは7(mm)である。
【0040】以上のように遮蔽板2と光学窓押さえ15
とを製作し設置することで、図2及び図5に示すよう
に、水銀光源11で生じた直接光の内で利用角度θe以
内で光学窓14より出射する直接光だけが遮蔽板2を通
過してCRTパネル内面に到達し得ることになり、それ
以外の角度で光学窓14より出射する直接光は遮蔽され
るようになる。しかも、光学窓押さえ15の開口壁面1
5HSに利用角度θeを越える角度で出射した直接光が
照射され反射光や散乱光が発生しても、反射光や散乱光
は光路Zr(x)で囲まれた領域内を通ってCRTパネ
ル内面にまで届くことはない。
とを製作し設置することで、図2及び図5に示すよう
に、水銀光源11で生じた直接光の内で利用角度θe以
内で光学窓14より出射する直接光だけが遮蔽板2を通
過してCRTパネル内面に到達し得ることになり、それ
以外の角度で光学窓14より出射する直接光は遮蔽され
るようになる。しかも、光学窓押さえ15の開口壁面1
5HSに利用角度θeを越える角度で出射した直接光が
照射され反射光や散乱光が発生しても、反射光や散乱光
は光路Zr(x)で囲まれた領域内を通ってCRTパネ
ル内面にまで届くことはない。
【0041】(実施の形態1の変形例) (1)実施の形態1(図2)では、遮蔽板2の開口壁面
2HSの上面側エッジ部分2UEが光路Zr(x)上に
位置する様に同板2を配置しているが、同板2の開口壁
面2HSの上面側エッジ部分2UEの位置が光路Zr
(x)の外側近傍領域に来る様に、同板2の開口寸法
(x方向の寸法)を変えても良い。その場合の一例を図
6に示す。
2HSの上面側エッジ部分2UEが光路Zr(x)上に
位置する様に同板2を配置しているが、同板2の開口壁
面2HSの上面側エッジ部分2UEの位置が光路Zr
(x)の外側近傍領域に来る様に、同板2の開口寸法
(x方向の寸法)を変えても良い。その場合の一例を図
6に示す。
【0042】同図6では、遮蔽板2の開口2Hの半幅X
uを実施の形態1の場合(図2)よりも大きく設定した
上で設置している。但し、光学窓押さえ15の形状・配
置関係は、図2の場合と同様である。例えば、遮蔽板2
の開口2Hの半幅Xuを13mmとすると、関数式Zh
(x)は、
uを実施の形態1の場合(図2)よりも大きく設定した
上で設置している。但し、光学窓押さえ15の形状・配
置関係は、図2の場合と同様である。例えば、遮蔽板2
の開口2Hの半幅Xuを13mmとすると、関数式Zh
(x)は、
【0043】
【数9】
【0044】となるので、図6では、光学窓押さえ15
を数9で表わされる境界線の外側の領域(境界線上も含
む)内に来るように製作し設置すればよい。
を数9で表わされる境界線の外側の領域(境界線上も含
む)内に来るように製作し設置すればよい。
【0045】図6の様に半幅Xuを設定する理由ないし
は利点は、次の点にある。即ち、実施の形態1(図2)
の様に利用角度以外の(直接)光を遮蔽板2で完全に遮
蔽し得るように同板2を製作してしまうと、もし遮蔽板
2の設置位置がずれた場合には、露光に必要な光をも遮
ってしまうことになる。そこで、この様なずれの発生を
も考慮するならば、実際の遮蔽板2の開口2Hの幅を大
きめに作成しておくのが望ましいと言える。この様な考
慮を基に作成された遮蔽板2を有する場合の適用例が本
変形例(1)である。勿論、この場合にも、開口壁面1
5HSで生じた散乱光等が、光路Zr(x)で囲まれた
領域内に進入し且つCRTパネル内面に到達してしまう
事態は生じない。
は利点は、次の点にある。即ち、実施の形態1(図2)
の様に利用角度以外の(直接)光を遮蔽板2で完全に遮
蔽し得るように同板2を製作してしまうと、もし遮蔽板
2の設置位置がずれた場合には、露光に必要な光をも遮
ってしまうことになる。そこで、この様なずれの発生を
も考慮するならば、実際の遮蔽板2の開口2Hの幅を大
きめに作成しておくのが望ましいと言える。この様な考
慮を基に作成された遮蔽板2を有する場合の適用例が本
変形例(1)である。勿論、この場合にも、開口壁面1
5HSで生じた散乱光等が、光路Zr(x)で囲まれた
領域内に進入し且つCRTパネル内面に到達してしまう
事態は生じない。
【0046】(2)光学窓押さえ15の開口壁面15H
Sの形状については、同押さえ15が光路Zr(x)の
外側領域であって且つ関数式Zh(x)の境界線の外側
領域内にある限りは、どの様な形状であっても、同様の
作用効果が得られる。
Sの形状については、同押さえ15が光路Zr(x)の
外側領域であって且つ関数式Zh(x)の境界線の外側
領域内にある限りは、どの様な形状であっても、同様の
作用効果が得られる。
【0047】例えば、図7は、図2の実施の形態1の光
学窓押さえ15に代えて、本変形例の光学窓押さえ15
を適用した例を示しており、同押さえ15の開口壁面1
5HSは境界線Zh(x)上に沿ってテーパー状に形成
されている。
学窓押さえ15に代えて、本変形例の光学窓押さえ15
を適用した例を示しており、同押さえ15の開口壁面1
5HSは境界線Zh(x)上に沿ってテーパー状に形成
されている。
【0048】(実施の形態2)実施の形態1及びその変
形例(1),(2)においては遮蔽板と光学窓押さえと
を別々に作成しているが、遮蔽板を光学窓押さえに統合
して一体の形状としても同一の作用効果が得られる。こ
の点を利用したのが、実施の形態2である。
形例(1),(2)においては遮蔽板と光学窓押さえと
を別々に作成しているが、遮蔽板を光学窓押さえに統合
して一体の形状としても同一の作用効果が得られる。こ
の点を利用したのが、実施の形態2である。
【0049】図8は実施の形態2に係る光源装置1の内
部構成を模式的に示した縦断面図である。又、図9は図
8に示す光学窓14及び光学窓押さえ15の開口15H
を拡大して示した縦断面図であり、同押さえ15の配置
関係を示している。両図8,9より明らかな通り、本実
施の形態に係る光学窓押さえ15は、図1及び図2に示
した遮蔽板2と光学窓押さえ15とを統合して光学窓押
さえとして一体化したものに相当している。即ち、光学
窓押さえ15の開口壁面15HSは実施の形態1の説明
において述べた関数式Zh(x)で与えられる境界線に
沿ってテーパー状に形成されており、しかも、同壁面1
5Hと光学窓14の上面との接触部分である第1エッジ
部分E1の反対側の第2エッジ部分E2は、同じく実施
の形態1で説明した光路Zr(x)上に位置する。よっ
て、光学窓14の上面から大気中へ出射する直接光の内
で出射角度が利用角度θe以内のものだけが露光に寄与
し得ると共に、出射角度が利用角度θeよりも大きい直
接光が開口壁面15HSで反射ないしは散乱されて生じ
る反射・散乱光が光路Zr(x)で囲まれる領域を通っ
てCRTパネル内面にまで到達することは無く、従っ
て、露光光に重畳されることは無い。しかも、本実施の
形態では、実施の形態1の様に遮蔽板を製作してその位
置合わせを行うことが不要となり、部品点数の削減とい
う利点も得られる。
部構成を模式的に示した縦断面図である。又、図9は図
8に示す光学窓14及び光学窓押さえ15の開口15H
を拡大して示した縦断面図であり、同押さえ15の配置
関係を示している。両図8,9より明らかな通り、本実
施の形態に係る光学窓押さえ15は、図1及び図2に示
した遮蔽板2と光学窓押さえ15とを統合して光学窓押
さえとして一体化したものに相当している。即ち、光学
窓押さえ15の開口壁面15HSは実施の形態1の説明
において述べた関数式Zh(x)で与えられる境界線に
沿ってテーパー状に形成されており、しかも、同壁面1
5Hと光学窓14の上面との接触部分である第1エッジ
部分E1の反対側の第2エッジ部分E2は、同じく実施
の形態1で説明した光路Zr(x)上に位置する。よっ
て、光学窓14の上面から大気中へ出射する直接光の内
で出射角度が利用角度θe以内のものだけが露光に寄与
し得ると共に、出射角度が利用角度θeよりも大きい直
接光が開口壁面15HSで反射ないしは散乱されて生じ
る反射・散乱光が光路Zr(x)で囲まれる領域を通っ
てCRTパネル内面にまで到達することは無く、従っ
て、露光光に重畳されることは無い。しかも、本実施の
形態では、実施の形態1の様に遮蔽板を製作してその位
置合わせを行うことが不要となり、部品点数の削減とい
う利点も得られる。
【0050】(実施の形態2の変形例) (1)実施の形態1の変形例(1)の様に遮蔽板2の開
口壁面2HSを光路Zr(x)で与えられる境界線より
も若干外側に離している場合についても、遮蔽板2と光
学窓押さえ15とを一体の形状としてもよい。この場合
の一例を図10に示す。図10においても、図6で示さ
れる光源装置1と同一の作用効果が得られる。
口壁面2HSを光路Zr(x)で与えられる境界線より
も若干外側に離している場合についても、遮蔽板2と光
学窓押さえ15とを一体の形状としてもよい。この場合
の一例を図10に示す。図10においても、図6で示さ
れる光源装置1と同一の作用効果が得られる。
【0051】(2)実施の形態2およびその変形例
(1)では光学窓押さえ15の開口壁面15HSはテー
パー形状であったが、開口壁面15HSが関数式Zh
(x)で与えられる境界線よりも内側領域に入らない条
件であれば、光学窓押さえ15の開口壁面15HSの形
状はどのような形状であってもよい。要は、開口壁面1
5HSの第2エッジ部分E2が光路Zr(x)上に又は
その外側近傍に位置し、且つ、光路Zr(x)と線対称
な直線である関数式Zh(x)の境界線を含めてそれよ
りも外側として規定される領域内に光学窓押さえ15が
配設されていれば良い。
(1)では光学窓押さえ15の開口壁面15HSはテー
パー形状であったが、開口壁面15HSが関数式Zh
(x)で与えられる境界線よりも内側領域に入らない条
件であれば、光学窓押さえ15の開口壁面15HSの形
状はどのような形状であってもよい。要は、開口壁面1
5HSの第2エッジ部分E2が光路Zr(x)上に又は
その外側近傍に位置し、且つ、光路Zr(x)と線対称
な直線である関数式Zh(x)の境界線を含めてそれよ
りも外側として規定される領域内に光学窓押さえ15が
配設されていれば良い。
【0052】(付記)実施の形態1及び2並びにそれら
の各変形例ではx方向に線状に延長された水銀ランプ1
1を光源として用いる場合であったが、これに代えて、
x方向に垂直なy方向に線状に延長された水銀ランプを
光源として用いても良いし、任意の断面形状を有するラ
ンプを光源として用いても良い。又、蛍光体の種類によ
っては、水銀ランプに代えて他の波長の光を出射するラ
ンプを用いることができる。そして、この様な各種のラ
ンプを用いた光源装置に本発明を適用すれば、実施の形
態1,2と同様の効果を奏する光源装置を得ることがで
きる。
の各変形例ではx方向に線状に延長された水銀ランプ1
1を光源として用いる場合であったが、これに代えて、
x方向に垂直なy方向に線状に延長された水銀ランプを
光源として用いても良いし、任意の断面形状を有するラ
ンプを光源として用いても良い。又、蛍光体の種類によ
っては、水銀ランプに代えて他の波長の光を出射するラ
ンプを用いることができる。そして、この様な各種のラ
ンプを用いた光源装置に本発明を適用すれば、実施の形
態1,2と同様の効果を奏する光源装置を得ることがで
きる。
【0053】
【発明の効果】(1)請求項1,3及び4の各発明によ
れば、CRT露光装置における光源装置に関し、光学窓
押さえの開口壁面で生じる反射光や散乱光がCRTパネ
ル内面上に到達しないように、光学窓の外側に所定の光
学計算により定まる寸法の遮蔽板を設置し、且つ所定の
光学計算で定まる位置に光学窓押さえを配置しているの
で、露光光の照度分布のムラが無くなり、ブラックマト
リックス等のパターン幅のムラをなくすことができ、こ
れによりCRT蛍光面の品質を向上することができると
いう効果が得られる。
れば、CRT露光装置における光源装置に関し、光学窓
押さえの開口壁面で生じる反射光や散乱光がCRTパネ
ル内面上に到達しないように、光学窓の外側に所定の光
学計算により定まる寸法の遮蔽板を設置し、且つ所定の
光学計算で定まる位置に光学窓押さえを配置しているの
で、露光光の照度分布のムラが無くなり、ブラックマト
リックス等のパターン幅のムラをなくすことができ、こ
れによりCRT蛍光面の品質を向上することができると
いう効果が得られる。
【0054】(2)請求項2、3及び4に係る各発明に
よれば、光学窓押さえの形状を所定の光学計算に基づき
与えられる形状に設定して光学窓押さえによる反射散乱
光がCRTパネル内面上に到達しないようにしたので、
上記(1)と同様にCRT内面に形成される蛍光面の品
質を向上することができるという効果がある。
よれば、光学窓押さえの形状を所定の光学計算に基づき
与えられる形状に設定して光学窓押さえによる反射散乱
光がCRTパネル内面上に到達しないようにしたので、
上記(1)と同様にCRT内面に形成される蛍光面の品
質を向上することができるという効果がある。
【図1】 この発明の実施の形態1に係る光源装置の構
成を示す縦断面図である。
成を示す縦断面図である。
【図2】 この発明の実施の形態1に係る光源装置にお
ける遮蔽板および光学窓押さえの基本構成を示す縦断面
図である。
ける遮蔽板および光学窓押さえの基本構成を示す縦断面
図である。
【図3】 この発明の説明で使用する利用角度の定義を
示す図である。
示す図である。
【図4】 この発明の光源装置の遮蔽板および光学窓押
さえの設計に使用する関数を説明するための縦断面図で
ある。
さえの設計に使用する関数を説明するための縦断面図で
ある。
【図5】 散乱光の角度範囲を模式的に示す図である。
【図6】 この発明の実施の形態1の変形例に係る光源
装置の遮蔽板および光学窓押さえの基本構成を示す縦断
面図である。
装置の遮蔽板および光学窓押さえの基本構成を示す縦断
面図である。
【図7】 この発明の実施の形態1の変形例に係る光源
装置の遮蔽板および光学窓押さえの基本構成を示す縦断
面図である。
装置の遮蔽板および光学窓押さえの基本構成を示す縦断
面図である。
【図8】 この発明の実施の形態2に係る光源装置の構
成を示す縦断面図である。
成を示す縦断面図である。
【図9】 この発明の実施の形態2に係る光源装置にお
ける光学窓押さえの配置を示す縦断面図である。
ける光学窓押さえの配置を示す縦断面図である。
【図10】 この発明の実施の形態2の変形例に係る光
源装置の光学窓押さえの配置を示す縦断面図である。
源装置の光学窓押さえの配置を示す縦断面図である。
【図11】 CRTパネルの構造を模式的に説明する図
である。
である。
【図12】 露光装置の基本構成を模式的に説明する図
である。
である。
【図13】 三色の露光方法を模式的に説明する図であ
る。
る。
【図14】 従来の光源装置を説明する縦断面図であ
る。
る。
【図15】 露光パターン幅の照度依存性を説明する図
である。
である。
【図16】 従来例の問題点を説明する説明図である。
1 光源装置、2 遮蔽板、2HS 壁面、11 水銀
光源、111 発光領域、112 合成石英管、12
光源スリット、13 光源ハウス、14 光学窓、15
光学窓押さえ、15HS 壁面、16 Oリング、1
7 冷却水、20 調光フィルタ、40 ウェッジレン
ズ、50 補正レンズ、60 マスク、70 CRTパ
ネル、701 ブラックマトリックス、702 赤色蛍
光体、703 緑色蛍光体、704 青色蛍光体、91
〜95 光線、96 反射・散乱光、θe 利用角度、
2H,15H 開口、Zh(x) 境界線。
光源、111 発光領域、112 合成石英管、12
光源スリット、13 光源ハウス、14 光学窓、15
光学窓押さえ、15HS 壁面、16 Oリング、1
7 冷却水、20 調光フィルタ、40 ウェッジレン
ズ、50 補正レンズ、60 マスク、70 CRTパ
ネル、701 ブラックマトリックス、702 赤色蛍
光体、703 緑色蛍光体、704 青色蛍光体、91
〜95 光線、96 反射・散乱光、θe 利用角度、
2H,15H 開口、Zh(x) 境界線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西本 茂 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 Fターム(参考) 2H097 AA16 BB03 EA01 EA02 FA02 FA09 LA11 5C028 GG04 GG16
Claims (4)
- 【請求項1】 陰極線管パネルの製造に使用される露光
装置内に組み込まれた光源と、前記光源を内部に於いて
保持する光源ハウスと、前記光源からの光を大気中へ取
り出す光学窓と、前記光学窓を前記光源ハウスに固定す
る光学窓押さえとを備える光源装置において、 前記光学窓及び前記光学窓押さえの上方に設置され且つ
その開口壁面が前記光学窓押さえの開口壁面よりも内側
に突出して前記光学窓の上方に位置する遮蔽板を更に備
えており、 前記遮蔽板の前記開口壁面の上面側エッジ部分は前記光
学窓より所定の角度で大気中へ出射する出射光の光路上
に又は当該光路よりも外側近傍に位置しており、 前記光学窓押さえは、前記遮蔽板の前記開口壁面の下面
側エッジ部分の位置を通り且つ前記出射光の前記光路と
線対称な直線として与えられる境界線を含めて当該境界
線よりも外側として規定される領域内に配設されている
ことを特徴とする、光源装置。 - 【請求項2】 陰極線管パネルの製造に使用される露光
装置内に組み込まれた光源と、前記光源を内部に於いて
保持する光源ハウスと、前記光源からの光を大気中へ取
り出す光学窓と、前記光学窓を前記光源ハウスに固定す
る光学窓押さえとを有する光源装置において、 前記光学窓押さえの開口壁面の内で前記光学窓の表面と
接触する第1エッジ部分と反対側の第2エッジ部分は前
記光学窓より所定の角度で大気中へ出射する出射光の光
路上に又は当該光路よりも外側近傍に位置しており、 しかも前記光学窓押さえは、前記第2エッジ部分を通り
且つ前記出射光の前記光路と線対称な直線として与えら
れる境界線を含めて当該境界線よりも外側として規定さ
れる領域内に配設されていることを特徴とする、光源装
置。 - 【請求項3】 請求項1又は2に記載の前記光源装置を
有することを特徴とする、露光装置。 - 【請求項4】 請求項3に記載の前記露光装置を使用し
て製造されたことを特徴とする、陰極線管パネル。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11178136A JP2001006545A (ja) | 1999-06-24 | 1999-06-24 | 光源装置、露光装置及び陰極線管パネル |
US09/599,876 US6472810B1 (en) | 1999-06-24 | 2000-06-23 | Light source device, exposure apparatus and cathode ray tube panel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11178136A JP2001006545A (ja) | 1999-06-24 | 1999-06-24 | 光源装置、露光装置及び陰極線管パネル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001006545A true JP2001006545A (ja) | 2001-01-12 |
Family
ID=16043290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11178136A Pending JP2001006545A (ja) | 1999-06-24 | 1999-06-24 | 光源装置、露光装置及び陰極線管パネル |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6472810B1 (ja) |
JP (1) | JP2001006545A (ja) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1435596A (en) * | 1972-08-21 | 1976-05-12 | Tokyo Shibaura Electric Co | Method and apparatus for making colour cathode-ray tubes |
ATE142047T1 (de) * | 1991-03-08 | 1996-09-15 | Philips Electronics Nv | Farbbildwiedergaberöhre mit innerer magnetischer abschirmkappe |
-
1999
- 1999-06-24 JP JP11178136A patent/JP2001006545A/ja active Pending
-
2000
- 2000-06-23 US US09/599,876 patent/US6472810B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6472810B1 (en) | 2002-10-29 |
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