JP2001006194A

JP2001006194A - サスペンション機構

Info

Publication number: JP2001006194A
Application number: JP21982099A
Authority: JP
Inventors: Takao Terajima; 隆雄寺嶌
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1999-04-22
Filing date: 1999-08-03
Publication date: 2001-01-12

Abstract

(57)【要約】【課題】可動部をＺ軸方向へ平行移動自在に、Ｚ軸と
直交する軸周りに回転自在に支持し、効率よく駆動させ
て、フォーカシング，トラッキング，チルト補正を行
う。【解決手段】基台１と第１可動部２とは２本のサスペ
ンションアーム３，４により連結され、２本のサスペン
ションアームは、Ｙ−Ｚ投影面では平行、Ｘ−Ｙ投影面
では角度θを成している。Ｚ軸と直交する軸８は、基台
１のサスペンションアームとの接続点３ｂ，４ｂの中点
と、第１可動部２の接続点３ａ，４ａの中点を結ぶ線分
で、Ｙ軸と平行である。第１可動部２は基台１に対し、
Ｚ軸方向へ平行移動可能であり、Ｙ軸方向への自由度は
なく、Ｚ軸と直交する軸８周りに回転可能である。ま
た、Ｘ−Ｙ投影面でサスペンションアーム３，４を交差
させＸ軸方向への平行移動を規制して、Ｙ軸方向および
Ｘ軸方向への自由度を規制する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクドライ
ブ等の対物レンズアクチュエータに用いられるサスペン
ション機構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のサスペンション機構は、
例えば、特開平６−２５１４０５号公報の光ディスク装
置に記載されるように、４本の支持材（板ばね）でフォ
ーカシング方向とトラッキング方向への平行移動自在に
支持する支持機構により、ディスク一周中のそり量の変
化に対してビーム光軸のディスク記録面に対する傾きを
高速に補正することができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成のサスペンション機構における、４本の支持材
（板ばね）で支持する支持機構は、ばねの軸と平行な軸
周りの回転の自由度があるものの、その剛性は高く、回
転駆動する推力が大きくなるという欠点がある。

【０００４】また、トラッキング方向の推力により回転
軸周りのトルクが発生してしまうため、回転動作に悪影
響を及ぼすという問題があった。

【０００５】本発明は、前記従来技術の問題を解決する
ことに指向するものであり、可動部をＺ軸方向へ平行移
動自在に支持すると共に、Ｚ軸と直交する軸周りに回転
自在に支持し、効率よく駆動させる、フォーカシング，
トラッキング，チルト補正を行う対物レンズアクチュエ
ータのサスペンション機構を提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明に係るサスペンション機構は、基台に対して
第１可動部を少なくとも１軸（以下、Ｚ軸という）方向
へ平行移動自在に支持するサスペンション機構におい
て、基台と第１可動部とを連結する弾性を有する線材あ
るいは薄板材から成る２本のサスペンションアームを備
え、２本のサスペンションアームは、共にＺ軸に対し略
垂直で、Ｚ軸方向へ互いに距離をおいており、Ｚ軸と垂
直な面に投影してできる直線が互いに角度を成している
ことを特徴とする。

【０００７】また、前記サスペンション機構は、Ｚ軸と
平行な軸周りに回動自在に曲がる連結部材と、連結部材
により第１可動部と連結される第２可動部とを備えたこ
とを特徴とする。

【０００８】また、前記２本のサスペンションアーム
は、Ｚ軸と垂直な面に投影してできる線分が交差するこ
とを特徴とする。

【０００９】また、前記基台または第１可動部は、その
いずれか一方と２本のサスペンションアームとの接続点
の各々がＺ軸と平行な軸の同一線上に位置することを特
徴とする。

【００１０】また、前記２本のサスペンションアームと
基台は、２本のサスペンションアームと基台とをＺ軸と
垂直な面に投影してできる三角形の内角において、サス
ペンションアーム同士が成す角をサスペンションアーム
と基台とが成す角よりも小さくしたことを特徴とする。

【００１１】また、前記サスペンション機構は、２本の
サスペンションアームをＺ軸と垂直な面に投影してでき
る直線の交点を通ると共に、Ｚ軸と平行な軸を第１軸と
したとき、第１の可動部に第１軸と直交する線上の点で
第１軸を中心とする円の接線方向の第１推力を作用させ
る第１駆動手段を備えたことを特徴とする。

【００１２】また、前記第１駆動手段は、２本のサスペ
ンションアームの第１可動部との接続点の各々を結ぶ線
分を二等分する点と、２本のサスペンションアームの基
台との接続点の各々を結ぶ線分を二等分する点を結ぶ線
分を第２軸としたとき、第１推力の作用方向を第２軸と
平行になるように第１推力の作用点を設定したことを特
徴とする。

【００１３】また、前記サスペンション機構は、第１可
動部に第１軸と第２軸とが成す平面を挟んだ両側で第１
可動部に第１軸と平行な第２推力を作用させる第２駆動
手段を備えたことを特徴とする。

【００１４】また、前記サスペンション機構は、第１可
動部と第２可動部を回動自在に連結する連結部材の回動
軸を第３軸としたとき、第２可動部に第３軸と直交する
線上の点で第３軸を中心とする円の接線方向の第３推力
を作用させる第３駆動手段を備えたことを特徴とする。

【００１５】また、前記第３駆動手段は、２本のサスペ
ンションアームの第１可動部との接続点の各々を結ぶ線
分を二等分する点と、２本のサスペンションアームの基
台との接続点の各々を結ぶ線分を二等分する点を結ぶ線
分を第２軸としたとき、第３推力の作用方向を第２軸と
平行になるように第３推力の作用点を設定したことを特
徴とする。

【００１６】また、前記サスペンション機構は、第２可
動部に第３軸と第２軸とが成す平面を挟んだ両面で第２
可動部に第３軸と平行な第４推力を作用させる第４駆動
手段を備えたことを特徴とする。

【００１７】また、前記サスペンション機構は、第１可
動部に作用させる第２推力、または第２可動部に作用す
る第４推力の作用点を第２軸と直交する線上に設定した
ことを特徴とする。

【００１８】また、前記サスペンション機構は、第１駆
動手段または第２駆動手段または第３駆動手段または第
４駆動手段がコイルと磁石との組であり、コイルまたは
磁石の外形が第２軸を中心とする円に沿った形状である
ことを特徴とする。

【００１９】また、前記２本のサスペンションアーム
は、連結されていることを特徴とする。

【００２０】また、前記サスペンション機構は、第１軸
または第３軸と離れたＺ軸と平行な軸を光軸とする対物
レンズを、第１可動部または第２可動部に固定して構成
したものである。

【００２１】前記構成によれば、第１可動部を１軸（Ｚ
軸）方向へ平行移動自在に支持する互いにねじれの位置
関係にある２本のサスペンションアームにより、Ｚ軸と
直交する軸周りの回転も自在となり、さらに、Ｚ軸と平
行な軸周りに回動自在に曲がる連結部材で連結した第２
可動部が、Ｚ軸周りの回動の自由度が得ることができ
る。

【００２２】また、２本のサスペンションアームを交差
させＺ軸周りの回動に伴う回動軸の平行移動を規制し、
さらに、２本のサスペンションアームの第１可動部との
接続点をＺ軸と平行な軸と同一線上に配置し、可動部を
分割することなしにＺ軸周りの自由度を付加することが
できる。

【００２３】また、２本のサスペンションアームの交差
角度を小さくし、Ｚ軸と直交する軸回りの回転に伴うそ
の軸方向への平行移動を低減できる。

【００２４】また、Ｚ軸と平行な第１軸を中心とする円
の接線方向へ推力を作用させ、推力を効率良く第１軸周
りの回動力へ変換できる。

【００２５】また、第１軸周りに回動駆動する推力をＺ
軸と直交する第２軸と平行にし、第２軸周りの回転運動
への影響を抑えることができる。

【００２６】また、可動部を第１軸方向へ平行移動する
駆動手段を第２軸を挟んで両側に設け、この駆動手段に
よって第２軸周りの回転駆動も行うことができる。

【００２７】また、第２軸を中心とする円の接線方向へ
推力を作用させ、推力を効率良く第２軸周りの回転力へ
変換できる。

【００２８】また、磁石とコイルの組の駆動手段外形を
第２軸中心の円に沿った形状とし、可動部が第２軸周り
に回転しても磁石とコイルの間隔に変動なく、推力の変
動を小さくでき、間隔を狭めて効率を向上できる。

【００２９】また、２本のサスペンションアームを連結
させ、２本のサスペンションアーム間の曲げモーメント
差を低減でき、曲げモーメント差に起因する支持制御誤
差を抑制できる。

【００３０】また、対物レンズを第１軸と平行にオフセ
ットさせて可動部に固定し、このサスペンション機構に
より可動部の第１軸方向への平行移動でフォーカシング
を、第１軸周りの回動でトラッキングを、第２軸周りの
回転でラジアルチルト補正ができる。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明にお
ける実施の形態を詳細に説明する。

【００３２】（実施の形態１）図１は本発明における実
施の形態１のサスペンション機構の概略構成を示す斜視
図である。図１において、１は基台、２は第１可動部、
３，４はサスペンションアーム、３ａ，３ｂ，４ａ，４
ｂは接続点、５は第２可動部、６は連結部材、７はＺ軸
と平行な軸、８はＺ軸と直交する軸である。また、図２
（ａ），（ｂ）はＸ軸と垂直な面（Ｙ−Ｚ投影面）から
見たサスペンション機構の側面図、図３（ａ），
（ｂ），（ｃ）はＺ軸に垂直な面（Ｘ−Ｙ投影面）から
見たサスペンション機構の上面図である。

【００３３】図１に示すように、基台１と第１可動部２
とは２本のサスペンションアーム３，４により連結され
ている。また、２本のサスペンションアームは、図２
（ａ）に示すようにＹ−Ｚ投影面において平行であり、
図３（ａ）に示すようにＸ−Ｙ投影面において角度θを
成している。Ｚ軸と直交する軸８は、基台１におけるサ
スペンションアームとの接続点３ｂ，４ｂの中点と、第
１可動部２における接続点３ａ，４ａの中点とを結ぶ線
分で、Ｙ軸と平行である。

【００３４】以上のように構成されるサスペンション機
構において、第１可動部２は基台１に対し、図２（ｂ）
に示すようにＺ軸方向へ自在に平行移動可能であり、Ｙ
軸方向への平行移動の自由度は無い。また、図３
（ｂ），（ｃ）に示すようにＺ軸と直交する軸８周りに
自在に回転可能である。

【００３５】そして、第２可動部５はＺ軸と平行な軸７
周りにのみ回動自在に曲がる連結部材６により第１可動
部２と接続されている。この構成により第２可動部５は
基台１に対し、Ｚ軸方向への平行移動，Ｚ軸と直交する
軸８周りの回転，Ｚ軸と平行な軸７周りの回動に自由度
がある。

【００３６】また、図４（ａ），（ｂ）に示すように、
Ｘ−Ｙ投影面において２本のサスペンションアーム３，
４を交差させることで第１可動部２のＸ軸方向への平行
移動を規制している。これにより、第１可動部２はＺ軸
方向へのみ自在に平行移動可能となり、Ｙ軸方向および
Ｘ軸方向への平行移動の自由度は規制できる。交差させ
ない場合は図４（ｃ），（ｄ）に示すように、第１可動
部２のＸ軸方向への剛性が低く、第２可動部５のＺ軸と
平行な軸７周りの回動に伴い第１可動部２も回動しなが
らＸ軸方向へ移動してしまう。

【００３７】（実施の形態２）図５は本発明における実
施の形態２のサスペンション機構の概略構成を示す斜視
図である。本実施の形態２の図５と前記実施の形態１を
示す図１とのサスペンション機構を比べた差異点は、第
２可動部５と連結部材６が無いことと、サスペンション
アーム３，４と第１可動部２との接続点３ａ，４ａの各
々がＺ軸と平行な線９の同一線上にあることであり、図
１に示した構成と同様に第１可動部２はＺ軸方向への平
行移動とＺ軸と直交する軸８周りの回転の自由度があ
る。また、図６に示すように、Ｚ軸と平行な線９周りに
回動可能であり、回動に伴って回動軸がＸ軸方向へ移動
することはない。

【００３８】以上の構成により、本実施の形態２によれ
ば、第１可動部２はＸ軸方向のみの平行移動とＺ軸と平
行な線９周りの回動とＺ軸と直交する軸８周りの回転の
自由度があり、前記図１に示す第２可動部５と同様の動
作を簡易な構成で実現することができる。

【００３９】（実施の形態３）図７は本発明における実
施の形態３のサスペンション機構の概略構成を示す斜視
図である。本実施の形態３は、前記実施の形態２を示す
図５で説明したＺ軸と平行な線９を基台１側に設けたも
のである。本実施の形態３によれば、図８に示すよう
に、基台１側のＺ軸と平行な線９を中心に第１可動部２
は回動する。

【００４０】（実施の形態４）本発明の実施の形態４と
して、第１可動部２が図３（ａ），（ｂ），（ｃ）に示
すように、サスペンションアーム３，４同士が成す角θ
によって、Ｚ軸と直交する軸８周りの回転に伴ってＹ軸
方向への平行移動が若干発生することを減少させる。こ
のサスペンションアーム３，４同士が成す角θによりＺ
軸と直交する軸８周りの回転に伴い、Ｙ軸方向への平行
移動が発生する副作用は、Ｘ−Ｙ投影面におけるサスペ
ンションアーム３，４と基台１とが成す三角形の内角の
うち、サスペンションアーム３，４同士が成す角をサス
ペンションアーム３，４と基台１とが成す角に比べ小さ
くすることで減少させることができる。また、サスペン
ションアーム３，４同士の成す角θ１が小さい場合を図
９（ａ），（ｂ）に、角θ２の大きい場合を図９
（ｃ），（ｄ）に示す。

【００４１】（実施の形態５）図１０は本発明における
実施の形態５のサスペンション機構である第１可動部の
概略を示す分解斜視図である。図１０において、１は基
台、２は第１可動部、３，４はサスペンションアーム、
１０はベース、１１ａ，１１ｂは磁石、１２ａ，１２ｂ
は第１コイル、１３ａ，１３ｂは第２コイル、１４は対
物レンズである。

【００４２】図１０の第１可動部２やサスペンションア
ーム３，４の構成および動作は、前記実施の形態２を示
す図５の説明と同様である。そして、第１可動部２の側
面には第２コイル１３ａ，１３ｂが固定されており、第
２コイル１３ａ，１３ｂの外側には第１コイル１２ａ，
１２ｂが固定されている。第１コイル１２ａ，１２ｂお
よび第２コイル１３ａ，１３ｂと対向した位置には磁石
１１ａ，１１ｂが設けられており、ベース１０には基台
１と磁石１１ａ，１１ｂとを固定している。また、図１
１は本実施の形態５のサスペンション機構を示す上面図
である。

【００４３】次に、図１０を参照しながら本実施の形態
５における駆動動作を説明する。いま、第１コイル１２
ａ，１２ｂ（第１駆動手段）は磁石１１ａ，１１ｂによ
る磁界中にあり、電流を流すとＹ軸方向の推力（第１推
力）を発生する。第１可動部２は、前記図６で説明した
ように第１軸（Ｚ軸と平行な線９）周りの回動の自由度
があり、第１軸対称に第１推力を受けることで回動駆動
される。さらに、図１１に示すように、第１軸を中心と
する円の接線方向へ推力が発生するように第１コイル１
２ａ，１２ｂを設置することで第１推力を効率良く回動
力へ変換できる。また、第１推力の作用方向がＹ軸と平
行であるため、Ｙ軸と平行な第２軸（Ｚ軸と直交する軸
８）周りの回転運動への影響を低減できる。

【００４４】図６に示すような構成で、第１軸（Ｚ軸と
平行な線９）周りに回動駆動するための推力ＦがＹ軸と
平行でない場合、推力作用点の推力作用方向への延長線
上に第２軸（Ｚ軸と直交する軸８）があれば、図１２
（ａ）に示すように第２軸周りの回転力は発生しない
が、第１可動部２がＺ軸方向へ移動させられると、図１
２（ｂ）に示すように推力Ｆの作用点がずれてしまい回
転力Ｍが発生してしまう。本実施の形態５では、図１２
（ｃ）に示すように推力作用方向がＹ軸と平行であるの
で、推力作用点がずれても回転力は発生しない。

【００４５】また、第２コイル１３ａ，１３ｂ（第２駆
動手段）も磁石１１ａ，１１ｂによる磁界中にあり、電
流を流すとＺ軸方向の推力（第２推力）を発生する。第
１可動部２は前記図２で説明したようにＺ軸方向へ平行
移動自在に支持されており、Ｚ軸方向への推力を受けて
支持の自由度に従いＺ軸方向へ平行駆動される。さらに
第１可動部２には、Ｚ軸に直交する軸８周りの回転の自
由度もあり、Ｚ軸に直交する軸８を挟んで両側に設置さ
れている第２コイル１３ａ，１３ｂの推力差によりＺ軸
に直交する軸８周りに回転駆動される。このように、Ｚ
軸方向への平行移動する駆動手段とＺ軸に直交する軸８
周りに回転させる駆動手段とを共通化することができ
る。

【００４６】（実施の形態６）図１３は本発明における
実施の形態６のサスペンション機構である第２可動部の
概略を示す分解斜視図である。ここで、前記実施の形態
５の図１０にて説明した同一の構成部材には同一符号を
付してこれを示す。図１３において、１は基台、２は第
１可動部、３，４はサスペンションアーム、５は第２可
動部、６は連結部材、１３ａ，１３ｂは第２コイル、１
２ａ，１２ｂは第１コイル、１４は対物レンズである。

【００４７】図１３に示すように、前記実施の形態５に
おける第１可動部２を第２可動部５と置き換え、連結部
材６によりそれらを連結したものであり、第１コイル１
２ａ，１２ｂ及び第２コイル１３ａ，１３ｂは図１０の
実施の形態５と同様な位置関係で第２可動部５へ固定さ
れている。また、図示しないベース１０が図１０と同様
に基台１と磁石１１ａ，１１ｂとを固定している。

【００４８】前記したように、第２可動部５には図５で
説明した第１可動部２と同様な移動の自由度があり、第
１コイル１２ａ，１２ｂと第２コイル１３ａ，１３ｂと
を第１可動部２の代わりに第２可動部５へ固定したこと
で、図１０と同様な動作が可能となり、同様な効果が得
られる。

【００４９】また、前記の実施の形態５，６において、
図１４（ａ），（ｂ）に示すように、第１コイル１２
ａ，１２ｂの推力作用点中心を第２軸（Ｚ軸と直交する
軸８）との直交する線上に設定することで、回転駆動の
際に、Ｚ軸方向への推力を効率良く第２軸周りの回転力
へ変換できる。また、図１４（ａ），（ｂ）に示すよう
に、第２コイル１３ａ，１３ｂの磁石１１ａ，１１ｂと
対向する面を第２軸を中心とした円に沿った形状とする
ことにより、第１可動部２が第２軸周りに回転した際に
も第２コイル１３ａ，１３ｂと磁石１１ａ，１１ｂとの
距離が変動せず、安定した推力が得られる。

【００５０】図１５は２本のサスペンションアーム３，
４の構成の一例で、連結部１５により２本のサスペンシ
ョンアーム３，４が連結されている。部品誤差や組付け
誤差がない場合、前記した図６（ｂ）に示す状態におい
て、第１のサスペンションアーム３と第２のサスペンシ
ョンアーム４とは第１可動部２との接続点３ａ，４ａで
の曲げモーメントが等しいが、実際には誤差により曲げ
モーメントに差が生じ、第１可動部２の姿勢制御に悪影
響を及ぼすことになる。

【００５１】しかし、図１５に示す構成によれば、２本
のサスペンションアーム３，４が連結部１５により連結
されているため、サスペンションアーム３，４に生じる
曲げモーメントが連結部１５を伝達して、曲げモーメン
トの差を緩和することができる。

【００５２】また、図１６は図１５に示した２本のサス
ペンションアーム３，４の変形例で、図１７は取付け例
である。ダンピング部材１６のダンピング効果を向上さ
せるために連結部１５付近の形状を複雑にしている。

【００５３】対物レンズ１４は、前記した実施の形態５
を示す図１０では第１可動部２に、実施の形態６を示す
図１３では第２可動部５に固定している。この対物レン
ズ１４の光軸は図５に示す第１軸（Ｚ軸と平行な線９）
と平行で、Ｙ軸方向へオフセットした位置に設定されて
いる。

【００５４】以上のように構成されるサスペンション機
構を用いた対物レンズアクチュエータを光ディスク装置
に採用することにより、第１可動部２の第１軸方向への
平行移動でフォーカシングを、第１軸周りの回転でトラ
ッキングを、第２軸周りの回転でラジアルチルト補正を
行うことができる。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１可動部を１軸（Ｚ軸）方向へ平行移動自在に支持す
る支持機構を互いにねじれの位置関係にある２本のサス
ペンションアームとしたので、Ｚ軸と直交する軸周りの
回転も自在となり、Ｚ軸と平行な軸周りに回動自在に曲
がる連結部材で連結した第２可動部により、Ｚ軸周りの
回動の自由度も得ることができる。

【００５６】また、２本のサスペンションアームを交差
させＺ軸周りの回動に伴う回動軸の平行移動を規制し、
さらに、２本のサスペンションアームの第１可動部との
接続点をＺ軸と平行な軸と同一線上に配置したことで、
可動部を分割することなしにＺ軸周りの回動の自由度を
付加することができる。

【００５７】また、２本のサスペンションアームの交差
角度を小さくして、Ｚ軸と直交する軸回りの回転に伴う
その軸方向への平行移動を低減することができる。

【００５８】また、Ｚ軸と平行な第１軸を中心とする円
の接線方向へ推力を作用させているので、推力を効率良
く第１軸周りの回動力へ変換することができる。

【００５９】また、第１軸周りに回動駆動するための推
力をＺ軸と直交する第２軸と平行にしたため、第２軸周
りの回転運動への影響を抑えることができる。

【００６０】また、可動部を第１軸方向へ平行移動する
駆動手段を第２軸を挟んで両側に設けることで、この駆
動手段によって第２軸周りの回転駆動も行うことができ
る。

【００６１】また、第２軸を中心とする円の接線方向へ
推力を作用させることで、推力を効率良く第２軸周りの
回転力へ変換することができる。

【００６２】また、磁石とコイルの組から成る駆動手段
の外形を第２軸中心の円に沿った形状としたことで、可
動部が第２軸周りに回転しても磁石とコイルとの間隔に
変動がなく、推力の変動を小さくすることができ、ま
た、間隔を狭めて効率を向上させることができる。

【００６３】また、２本のサスペンションアームを連結
させることにより、２本のサスペンションアーム間の曲
げモーメント差を低減することができ、曲げモーメント
差に起因する支持制御誤差を抑制できる。

【００６４】また、対物レンズを第１軸と平行にオフセ
ットさせて可動部に固定したので、可動部の第１軸方向
への平行移動でフォーカシングを、第１軸周りの回動で
トラッキングを、第２軸周りの回転でラジアルチルト補
正を行うことができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における実施の形態１のサスペンション
機構の概略構成を示す斜視図

【図２】（ａ）は実施の形態１におけるＸ軸と垂直な面
（Ｙ−Ｚ投影面）から見たサスペンション機構、（ｂ）
は可動部の平行移動の自由度を示す側面図

【図３】（ａ）は実施の形態１におけるＺ軸に垂直な面
（Ｘ−Ｙ投影面）から見たサスペンション機構、
（ｂ），（ｃ）は可動部の回転移動の自由度を示す上面
図

【図４】（ａ）はＸ−Ｙ投影面から見た交差させた２本
のサスペンションアーム、（ｂ）は可動部のＺ軸周りの
回動によるＸ軸方向への平行移動を規制した状態、
（ｃ）は交差していない２本のサスペンションアーム、
（ｄ）は可動部のＺ軸周りの回動によるＸ軸方向への平
行移動した状態を示す図

【図５】本発明における実施の形態２のサスペンション
機構の概略を示す斜視図

【図６】（ａ）は実施の形態２におけるＸ−Ｙ投影面か
ら見たサスペンション機構、（ｂ）は可動部の回転移動
の自由度を示す上面図

【図７】本発明における実施の形態３のサスペンション
機構の概略を示す斜視図

【図８】（ａ）は実施の形態３におけるＸ−Ｙ投影面か
ら見たサスペンション機構、（ｂ）は可動部の回転移動
の自由度を示す上面図

【図９】（ａ）は本発明における実施の形態４のＸ−Ｙ
投影面から見たサスペンションアーム同士の成す角が小
さいサスペンション機構、（ｂ）はＺ軸と直交する軸周
りに回転したＹ軸方向の平行移動量、（ｃ）はサスペン
ションアーム同士の成す角が大きいサスペンション機
構、（ｄ）はＺ軸と直交する軸周りに回転したＹ軸方向
の平行移動量を示す図

【図１０】本発明における実施の形態５のサスペンショ
ン機構である第１可動部の概略を示す分解斜視図

【図１１】本発明における実施の形態５のサスペンショ
ン機構を示す上面図

【図１２】（ａ）は可動部に加わる推力作用点の推力作
用方向がＺ軸と直交する軸の延長線上のとき、（ｂ）は
Ｚ軸と直交する軸の延長線上からずれたとき、（ｃ）は
Ｙ軸と平行のときを示す図

【図１３】本発明における実施の形態６のサスペンショ
ン機構である第２可動部の概略を示す分解斜視図

【図１４】（ａ）は可動部の第２コイルと磁石の関係、
（ｂ）はＺ軸と直交する軸周りに回転した状態を示す図

【図１５】本発明に用いられるサスペンションアームの
構成を示す図

【図１６】本発明に用いられるサスペンションアームの
別の構成を示す図

【図１７】本発明におけるサスペンションアームの取付
け例を示す図

【符号の説明】

１基台２第１可動部３，４サスペンションアーム３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂ接続点５第２可動部６連結部材７Ｚ軸と平行な軸８Ｚ軸と直交する軸９Ｚ軸と平行な線１０ベース１１ａ，１１ｂ磁石１２ａ，１２ｂ第１コイル１３ａ，１３ｂ第２コイル１４対物レンズ１５連結部１６ダンピング部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基台に対して第１可動部を少なくとも１
軸（以下、Ｚ軸という）方向へ平行移動自在に支持する
サスペンション機構において、前記基台と前記第１可動
部とを連結する弾性を有する線材あるいは薄板材から成
る２本のサスペンションアームを備え、前記２本のサス
ペンションアームは、共に前記Ｚ軸に対し略垂直で、前
記Ｚ軸方向へ互いに距離をおいており、前記Ｚ軸と垂直
な面に投影してできる直線が互いに角度を成しているこ
とを特徴とするサスペンション機構。
【請求項２】前記サスペンション機構は、Ｚ軸と平行
な軸周りに回動自在に曲がる連結部材と、該連結部材に
より第１可動部と連結される第２可動部とを備えたこと
を特徴とする請求項１記載のサスペンション機構。
【請求項３】前記２本のサスペンションアームは、Ｚ
軸と垂直な面に投影してできる線分が交差することを特
徴とする請求項１記載のサスペンション機構。
【請求項４】前記基台または第１可動部は、そのいず
れか一方と２本のサスペンションアームとの接続点の各
々がＺ軸と平行な軸の同一線上に位置することを特徴と
する請求項１記載のサスペンション機構。
【請求項５】前記２本のサスペンションアームと基台
は、該２本のサスペンションアームと基台とをＺ軸と垂
直な面に投影してできる三角形の内角において、サスペ
ンションアーム同士が成す角をサスペンションアームと
基台とが成す角よりも小さくしたことを特徴とする請求
項１記載のサスペンション機構。
【請求項６】前記サスペンション機構は、２本のサス
ペンションアームをＺ軸と垂直な面に投影してできる直
線の交点を通ると共に、前記Ｚ軸と平行な軸を第１軸と
したとき、第１の可動部に前記第１軸と直交する線上の
点で前記第１軸を中心とする円の接線方向の第１推力を
作用させる第１駆動手段を備えたことを特徴とする請求
項１記載のサスペンション機構。
【請求項７】前記第１駆動手段は、２本のサスペンシ
ョンアームの第１可動部との接続点の各々を結ぶ線分を
二等分する点と、前記２本のサスペンションアームの基
台との接続点の各々を結ぶ線分を二等分する点を結ぶ線
分を第２軸としたとき、第１推力の作用方向を前記第２
軸と平行になるように前記第１推力の作用点を設定した
ことを特徴とする請求項６記載のサスペンション機構。
【請求項８】前記サスペンション機構は、第１可動部
に第１軸と第２軸とが成す平面を挟んだ両側で第１可動
部に前記第１軸と平行な第２推力を作用させる第２駆動
手段を備えたことを特徴とする請求項１記載のサスペン
ション機構。
【請求項９】前記サスペンション機構は、第１可動部
と第２可動部を回動自在に連結する連結部材の回動軸を
第３軸としたとき、前記第２可動部に前記第３軸と直交
する線上の点で前記第３軸を中心とする円の接線方向の
第３推力を作用させる第３駆動手段を備えたことを特徴
とする請求項２記載のサスペンション機構。
【請求項１０】前記第３駆動手段は、２本のサスペン
ションアームの第一可動部との接続点の各々を結ぶ線分
を二等分する点と、前記２本のサスペンションアームの
基台との接続点の各々を結ぶ線分を二等分する点を結ぶ
線分を第２軸としたとき、第３推力の作用方向を前記第
２軸と平行になるように前記第３推力の作用点を設定し
たことを特徴とする請求項９記載のサスペンション機
構。
【請求項１１】前記サスペンション機構は、第２可動
部に第３軸と第２軸とが成す平面を挟んだ両面で第２可
動部に前記第３軸と平行な第４推力を作用させる第４駆
動手段を備えたことを特徴とする請求項２記載のサスペ
ンション機構。
【請求項１２】前記サスペンション機構は、第１可動
部に作用させる第２推力、または第２可動部に作用する
第４推力の作用点を第２軸と直交する線上に設定したこ
とを特徴とする請求項８または１１記載のサスペンショ
ン機構。
【請求項１３】前記サスペンション機構は、第１駆動
手段または第２駆動手段または第３駆動手段または第４
駆動手段がコイルと磁石との組であり、前記コイルまた
は前記磁石の外形が第２軸を中心とする円に沿った形状
であることを特徴とする請求項６，７，８，９，１０，
１１または１２記載のサスペンション機構。
【請求項１４】前記２本のサスペンションアームは、
連結されていることを特徴とする請求項１記載のサスペ
ンション機構。
【請求項１５】前記サスペンション機構は、第１軸ま
たは第３軸と離れたＺ軸と平行な軸を光軸とする対物レ
ンズを、第１可動部または第２可動部に固定したことを
特徴とする請求項１ないし１４のいずれかに記載のサス
ペンション機構。