JP2001004421A - 排ガス用流量計のクリーニング装置 - Google Patents
排ガス用流量計のクリーニング装置Info
- Publication number
- JP2001004421A JP2001004421A JP11175625A JP17562599A JP2001004421A JP 2001004421 A JP2001004421 A JP 2001004421A JP 11175625 A JP11175625 A JP 11175625A JP 17562599 A JP17562599 A JP 17562599A JP 2001004421 A JP2001004421 A JP 2001004421A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- purge gas
- exhaust gas
- discharge port
- sensor
- outer periphery
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Incineration Of Waste (AREA)
Abstract
ダスト・ミストを十分に除去できて流量計の測定精度を
維持することのできる排ガス用流量計のクリーニング装
置を提供する。 【解決手段】排ガス流路3内にセンサ部17が設けられ
る排ガス用流量計の前記センサ部外周辺に、排ガス流路
の外部から供給されるパージガスを前記センサ部外周に
吹き付けるパージガス吐出口21、23を設け、かつ、
前記センサ部とパージガス吐出口とを囲み、これらセン
サ部とパージガス吐出口との外周にパージガスを吐出し
てエアカーテンを形成するエアカーテン用吐出口19を
設けた。
Description
ラ等の排ガスの流量を測定する排ガス用流量計のセンサ
部外周に付着するダスト・ミストを自動的に除去するク
リーニング装置に関する。
などから排出される排ガスの流量測定には、例えば、ピ
トー管式流量計、挿入型タービン流量計、カルマン渦流
量計等の流量計が用いられている。
ンサ部に排ガス中のダスト・ミストが付着し易く、ダス
ト・ミストが付着するとセンサの感度が低下して流量を
正確に計測できなくなる。
ス流路の外部からセンサ部内にパージガスを供給し、流
量計の構造的な隙間、例えば圧力検出孔や軸受の隙間な
どから排ガス流路内へパージガスを噴出させ、圧力検出
孔や軸受の隙間などに付着したダスト・ミストを吹き飛
ばして除去するクリーニング機構を設けたものがある。
グ機構では流量計のセンサ部外周に付着したダスト・ミ
ストを除去することができず、したがって、定期的に排
ガスの流れを止めて流量計を取り外し、センサ部を洗浄
しなければならない。
用いることができれば、排ガスの質量流量を測定できる
とともに、流量計の構造を簡単なものとすることができ
るのであるが、熱式流量計にはパージガスを吐出させる
ための構造的な隙間がなく、前述した従来のクリーニン
グ機構を適用することができなかった。
を解消し、流量計を取り外さなくてもセンサ部に付着し
たダスト・ミストを十分に除去できて流量計の測定精度
を維持でき、また、排ガスの質量流量を測定できる排ガ
ス用流量計のクリーニング装置を提供することにある。
請求項1に係るクリーニング装置は、排ガス流路内にセ
ンサ部が設けられる排ガス用流量計の前記センサ部外周
辺に、排ガス流路の外部から供給されるパージガスを前
記センサ部外周に吹き付けるパージガス吐出口を設けた
構成のものとしてある。
は、排ガス流路内にセンサ部が設けられる排ガス用流量
計の前記センサ部外周辺に、排ガス流路の外部から供給
されるパージガスを前記センサ部外周に吹き付けるパー
ジガス吐出口を設け、かつ、前記センサ部とパージガス
吐出口とを囲み、これらセンサ部とパージガス吐出口と
の外周にパージガスを吐出してエアカーテンを形成する
エアカーテン用吐出口を設けた構成のものとしてある。
は、排ガス流路内に、排ガスの流れ方向に対して略直交
するように2本の金属細管よりなる熱式流量計のセンサ
部を配設し、同センサ部の外周辺に、排ガス流路の外部
から供給されるパージガスを前記センサ部外周に吹き付
けるパージガス吐出口を設けた構成のものとしてある。
は、排ガス流路内に、排ガスの流れ方向に対して略直交
するように2本の金属細管よりなる熱式流量計のセンサ
部を配設し、同センサ部の外周辺に、排ガス流路の外部
から供給されるパージガスを前記センサ部外周に吹き付
けるパージガス吐出口を設け、かつ、前記センサ部とパ
ージガス吐出口とを囲み、これらセンサ部とパージガス
吐出口との外周にパージガスを吐出してエアカーテンを
形成するエアカーテン用吐出口を設けた構成のものとし
てある。
は、前記パージガス吐出口を前記2本の金属細管の各両
端部外周に設け、かつ、2本の金属細管の外周に、金属
細管に沿って同金属細管の長手方向に摺動可能な摺動体
を設け、前記各金属細管の両端に設けたパージガス吐出
口から交互にパージガスを吹き出すことにより、前記摺
動体を各金属細管に沿って往復動せしめるようにした構
成のものとしてある。
ニング装置の実施例を添付図1〜4に示す具体例に基づ
いて説明する。排ガス1が流れる流路管3に対し、流量
計取付用の短い枝管5が概略直角に取り付けられ、この
枝管5のフランジ7の蓋たる取付板9に対し、排ガス流
量計11及びクリーニング装置13が取り付けられる。
れるもので、流量計本体15の先端にセンサ部を構成す
る2本の棒状のセンサ17が設けられ、各センサ17は
金属細管内に図示省略の温度検知用の熱電対が配設され
たものとしてある。
管にだけ電流を供給して発熱させ、このセンサで検知さ
れる温度と他方のセンサで検知される温度との差から流
体により奪われる熱量を検出し、この熱量から流体の質
量流量を測定するものとしてある。
口19と、2つのパージガス吐出口21、23を設けて
あって、エアカーテン吐出口19は排ガス1の流路中
に、パージガス25によるエアカーテンを形成するもの
としてある。
サ17の上下端部に設けられていて、各吹出口21、2
3は互いに吹出方向が対向するように設けられ、センサ
の外周にパージガス25を直接に吹き付けることができ
るようになっている。
のパージガス室27、29が形成されていて、外側の円
筒状のパージガス室27には、下端に形成した円形の隙
間に整流体20を取り付けてエアカーテン吐出口19と
してあり、また、内側のパージガス室29には、センサ
17及び支持杆31が貫通する孔が形成され、このうち
センサ17が貫通する孔は、センサ17の外径よりも大
径に形成して隙間をあけてあり、この隙間を一方のパー
ジガス吐出口21としてある。
33を設けてあり、同パージガス室の上部にはセンサ1
7の下部が貫通する孔が形成され、この孔はセンサ17
の外径よりも大径に形成して隙間をあけてあり、この隙
間を他方のパージガス吐出口23としてある。
述するパージガス供給装置41からパージガス25が供
給されるためのパージガス流路管35a、35b、35
cがそれぞれ接続されている。
沿って摺動可能な摺動体37をそれぞれ設けてあり、摺
動体37の中央にあけた縦孔37aをセンサの外周に嵌
めてある。前記摺動体37の縦孔37aの内径は、セン
サの外径よりも若干大径にして縦孔の内面がセンサの外
周面に摺接しながら摺動体が上下に移動するようにして
あり、縦孔の内面に不織布やブラシ等の拭き取りあるい
は掻き取り材を設けてこれら拭き取りあるいは掻き取り
材をセンサの外周面に摺接せしめるようにする場合もあ
る。
コンプレッサよりなり、パージガスとして圧縮空気を供
給するものとしてあって、図4に示すように減圧弁4
3、圧力計45、ミストセパレータ47、フィルタ49
および流量調整バルブ51を途中に備えるパージガス供
給管42により、3つの分岐管53a、53b、53c
にの一端に接続され、各分岐管にはそれぞれ減圧弁5
5、圧力計57および開閉弁59a、59b、59cを
設けてあり、各分岐管の他端は各パージガス室27、2
9、33へ連通されている。
され、コントローラ61により開閉制御されるものとし
てあり、パージガス吐出口21、23を有する2つのパ
ージガス室29、33に連通する分岐管53b、53c
のクリーニング用開閉弁59b、59cは交互に吐出を
行うように制御され、エアカーテン吐出口19を有する
パージガス室27に連通する分岐管53aのエアカーテ
ン用開閉弁59aは、クリーニング動作中は常に開かれ
て、連続して吐出を行うように制御される。
ーラ61によりエアカーテン用の開閉弁59aが開か
れ、パージガス25が外側の円筒状のパージガス室27
の下端に設けられたエアカーテン吐出口19から下方へ
向かって吐出され、センサ17の周囲にパージガス25
による円筒状のエアカーテンが形成され、このエアカー
テンにより、センサ17まわににおける排ガス1の流れ
が遮断される。
b、59cが交互に開閉を繰り返し、この開閉動作によ
り、例えば上下のパージガス吐出口21、23から吐出
されたパージガス25は直接にセンサ17の外周へ上下
から交互に吹き付けられ、センサ17の外周に付着した
ダスト・ミストがパージガスにより吹き飛ばされて除去
される。
まわりはエアカーテンに囲まれているので、パージガス
25が排ガスの流れによって吹き流されるおそれがな
く、したがって、パージガスは十分にセンサ外周に吹き
付けられ、例えばセンサの排ガスの流れ方向下流側に付
着したダスト・ミストに対しても、パージガスが十分に
吹き付けられ、確実にダスト・ミストの除去が行われ
る。
21、23からのパージガスが上下の面に交互に吹き付
けられて上下方向に往復動させられ、摺動体の中央孔内
面がセンサの外周面に摺接してダスト・ミストが掻き落
とされる。
ダスト・ミストの除去に止まらず、摺動体37がセンサ
17の長手方向に沿って往復動することで、センサ17
に付着したダスト・ミストがより確実に除去される。
パージガス吐出口のまわりにエアカーテン吐出口を設け
てあるが、エアカーテン吐出口を設けない場合もあり、
この場合にはパージガス吐出口21、23から吐出され
たパージガス25が十分にはセンサに吹き付けられない
こともあるが、摺動体37が往復動することで、センサ
17に付着したダスト・ミストを掻き落し、十分に除去
することが可能である。
として熱式流量計を用いているが、ピトー管式流量計や
タービン流量計あるいはカルマン渦流量計等の他の流量
計を用いて、これらのセンサ部の外周にパージガスを吹
き付けるようにする場合もある。
11と自動クリーニング装置13を一体構造のものとし
てあるが、排ガスの温度とパージガスの温度差によりパ
ージガス中の水分が結露するおそれがあるので、水との
反応で腐食性成分を発生する物質が排ガス中に含まれる
場合には、クリーニング装置のパージガス供給経路を流
量計11から独立した構造とし、流量計の腐食を防止す
る。
ば、流量計のセンサ部に外周からパージガスが吹き付け
てセンサ部外周のダスト・ミストを除去するので、従来
のもののように定期的に排ガス流路から流量計を取りは
ずして洗浄しなければならないというような手間が不要
である。
わりにエアカーテンを形成するものとしてあるので、こ
のエアカーテンによりセンサおよびパージガス吐出口ま
わりにおける排ガスの流れを遮断することができ、パー
ジガスを確実にセンサ外周へ吹き付けてダスト・ミスト
を除去することができる。
けてあり、この摺動体にパージガスをセンサの両端側か
ら交互に吹き付けて摺動体をセンサの長手方向に沿って
往復動させるようにしてあるので、摺動体によりセンサ
外周のダスト・ミストをより確実に掻き落すことができ
る。
出口 21、23 パージガス吐出口 25 パージガス 27、29 パージガ
ス室 31 支持杆 33 パージガス室 35a、35b、35c パージガス流路管 37 摺動体 41 パージガス供給
装置 42 パージガス供給管 43 減圧弁 45 圧力計 47 ミストセパレー
タ 49 フィルタ 51 流量調整弁 53a、53b、53c 分岐管 55 減圧弁 57 圧力計 59a、59b、59c 開閉弁 61 コントローラ
Claims (5)
- 【請求項1】排ガス流路内にセンサ部が設けられる排ガ
ス用流量計の前記センサ部外周辺に、排ガス流路の外部
から供給されるパージガスを前記センサ部外周に吹き付
けるパージガス吐出口を設けてなる排ガス用流量計のク
リーニング装置。 - 【請求項2】排ガス流路内にセンサ部が設けられる排ガ
ス用流量計の前記センサ部外周辺に、排ガス流路の外部
から供給されるパージガスを前記センサ部外周に吹き付
けるパージガス吐出口を設け、かつ、前記センサ部とパ
ージガス吐出口とを囲み、これらセンサ部とパージガス
吐出口との外周にパージガスを吐出してエアカーテンを
形成するエアカーテン用吐出口を設けてなる排ガス用流
量計のクリーニング装置。 - 【請求項3】排ガス流路内に、排ガスの流れ方向に対し
て略直交するように2本の金属細管よりなる熱式流量計
のセンサ部を配設し、同センサ部の外周辺に、排ガス流
路の外部から供給されるパージガスを前記センサ部外周
に吹き付けるパージガス吐出口を設けてなる排ガス用流
量計のクリーニング装置。 - 【請求項4】排ガス流路内に、排ガスの流れ方向に対し
て略直交するように2本の金属細管よりなる熱式流量計
のセンサ部を配設し、同センサ部の外周辺に、排ガス流
路の外部から供給されるパージガスを前記センサ部外周
に吹き付けるパージガス吐出口を設け、かつ、前記セン
サ部とパージガス吐出口とを囲み、これらセンサ部とパ
ージガス吐出口との外周にパージガスを吐出してエアカ
ーテンを形成するエアカーテン用吐出口を設けてなる排
ガス用流量計のクリーニング装置。 - 【請求項5】前記パージガス吐出口を前記2本の金属細
管の各両端部外周に設け、かつ、2本の金属細管の外周
に、金属細管に沿って同金属細管の長手方向に摺動可能
な摺動体を設け、前記各金属細管の両端に設けたパージ
ガス吐出口から交互にパージガスを吹き出すことによ
り、前記摺動体を各金属細管に沿って往復動せしめるよ
うにした請求項3、4に記載の流量計用クリーニング装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17562599A JP3338664B2 (ja) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 排ガス用流量計のクリーニング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17562599A JP3338664B2 (ja) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 排ガス用流量計のクリーニング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001004421A true JP2001004421A (ja) | 2001-01-12 |
JP3338664B2 JP3338664B2 (ja) | 2002-10-28 |
Family
ID=15999367
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17562599A Expired - Lifetime JP3338664B2 (ja) | 1999-06-22 | 1999-06-22 | 排ガス用流量計のクリーニング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3338664B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014178174A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 漏水測定装置 |
WO2019181061A1 (ja) * | 2018-03-23 | 2019-09-26 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置用のピトー管式流量計、基板処理装置、および基板処理方法 |
CN110998246A (zh) * | 2017-08-30 | 2020-04-10 | 施耐德电子系统美国股份有限公司 | 具有注入清洁口的旋涡流量计 |
-
1999
- 1999-06-22 JP JP17562599A patent/JP3338664B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014178174A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Chugoku Electric Power Co Inc:The | 漏水測定装置 |
CN110998246A (zh) * | 2017-08-30 | 2020-04-10 | 施耐德电子系统美国股份有限公司 | 具有注入清洁口的旋涡流量计 |
WO2019181061A1 (ja) * | 2018-03-23 | 2019-09-26 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置用のピトー管式流量計、基板処理装置、および基板処理方法 |
JP2019169642A (ja) * | 2018-03-23 | 2019-10-03 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置用のピトー管式流量計、基板処理装置、および基板処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3338664B2 (ja) | 2002-10-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8146445B2 (en) | Extractive probe for hot flue gas and process measurement | |
JP2006512545A (ja) | 薬品配送システム中に高純度流体を配送するためのマイクロ電子機器システム | |
JP2001271187A (ja) | 酸洗い液または洗浄液を金属処理材料に噴射する装置 | |
JP5194493B2 (ja) | サンプリングプローブおよびその設置構造、セメント製造プロセス | |
JP3338664B2 (ja) | 排ガス用流量計のクリーニング装置 | |
JP5833266B1 (ja) | スチームトラップ用ノズル | |
US20240246124A1 (en) | Apparatus and methods for exhaust cleaning | |
JP6048519B2 (ja) | ガス流速測定装置およびガス流速測定装置の洗浄方法 | |
CN201058347Y (zh) | 横式压缩空气逆吹气刀 | |
JPH0527466B2 (ja) | ||
KR20080099138A (ko) | 기판 처리 장치 | |
US4545260A (en) | Apparatus for measuring fluid flow rate in a two-phase fluid stream | |
EP1330316A1 (en) | Method and apparatus for purging a spray nozzle | |
JP5008343B2 (ja) | 圧力検出管の清掃装置及び清掃方法 | |
JP4575637B2 (ja) | 配管クリーニング装置 | |
JPH0868734A (ja) | ガスサンプリング用プローブ管 | |
JP7123962B2 (ja) | ガス分析システムのためのランス | |
JP2001021393A (ja) | 排ガス用流量計のクリーニング装置 | |
EP3781929B1 (en) | Gas analysis system and method | |
JP2011124424A (ja) | バルブおよびこれを用いた半導体製造装置 | |
FI102518B (fi) | Märkäpuhdistin, erityisesti kaasumaisten ja/tai nestemäisten ja/tai ki inteiden epäpuhtauksien erottamiseksi kaasuvirroista | |
JPS647831B2 (ja) | ||
JPS6021398Y2 (ja) | 溶融紡糸装置 | |
JP7391261B1 (ja) | 灰押出装置 | |
JP3263224B2 (ja) | 酸素分析装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3338664 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080809 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080809 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090809 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100809 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100809 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110809 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110809 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120809 Year of fee payment: 10 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130809 Year of fee payment: 11 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |