JP2000357332A - 二軸アクチュエータ - Google Patents

二軸アクチュエータ

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JP2000357332A
JP2000357332A JP11166539A JP16653999A JP2000357332A JP 2000357332 A JP2000357332 A JP 2000357332A JP 11166539 A JP11166539 A JP 11166539A JP 16653999 A JP16653999 A JP 16653999A JP 2000357332 A JP2000357332 A JP 2000357332A
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JP
Japan
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base plate
objective lens
fixed
yoke
lens holder
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JP11166539A
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Shigeyuki Kamata
重幸 鎌田
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Alps Electric Co Ltd
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    • GPHYSICS
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ベース板を堅固に保持し、構造が簡単であ
り、組立工程が簡素化され、調整がし易く、コストも低
減され、対物レンズの光軸調整ができる二軸アクチュエ
ータを提供する。 【解決手段】 対物レンズ11が固着されたレンズホル
ダ12と、レンズホルダ12をサスペンションワイヤ1
3を介してフォーカシング方向(F)及びトラッキング
方向(T)の二軸方向に可動支持する固定部材15と、
レンズホルダ12を駆動するフォーカシングコイル17
とトラッキングコイル18とヨーク14cとヨーク14
cに固着されたマグネット19a、19bからなる駆動
部と、を少なくともベース板14に配設するとともに、
ベース板14の対物レンズ11側で前記トラッキング方
向(T)に沿った一方の端部はネジ21、21によりピ
ックアップシャーシ22に片持ち梁状に支持され、他方
の端部の両側はネジ23a、23bによって可動支持さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、光ディス
クに対して信号を記録または再生するために用いられる
光ピックアップ用の二軸アクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、CD(コンパクト・ディスク)や
DVD(デジタル・ビデオ・ディスクまたはデジタル・
バーサタイル・ディスク)等の光ディスクに情報信号の
記録または再生を行うために光ピックアップが用いられ
ている。光ピックアップは、レーザビームを発光する発
光素子、レーザビームを受光する受光素子、レーザビー
ムが導かれる光学系、レーザビームを集光する対物レン
ズを有している。
【0003】発光素子から出射したレーザビームは光学
系により対物レンズに導かれ、対物レンズによって集光
される。この集光ビームが光ディスクの面振れに対して
光ディスクの情報記録面に常に合焦するように、対物レ
ンズの光軸方向(フォーカシング方向)に対物レンズが
駆動され、また、情報記録トラックに追従するように光
ディスクの半径方向(トラッキング方向)に対物レンズ
が駆動されることによって、光ディスクの情報記録面か
ら情報信号に応じて変化したレーザビームの反射光であ
る戻り光が再度対物レンズと光学系を通り受光素子によ
って受光され、出力信号に変換されて情報信号が再生さ
れたり、または、情報信号の記録が行われる。
【0004】上記した対物レンズの駆動装置として、電
磁駆動型のフォーカシング方向とトラッキング方向の二
軸に駆動するアクチュエータすなわち二軸アクチュエー
タが使用される。二軸アクチュエータは、対物レンズが
取り付けられるレンズホルダと、可動部となるレンズホ
ルダを支持するための固定部となる固定部材と、駆動力
を発生させるための駆動部とを含んでいる。
【0005】以下、従来の二軸アクチュエータの一例
を、図5、図6、図7にそれぞれ示す二軸アクチュエー
タ100の、平面図、一部断面側面図、図5のS2方向
から見た一部断面正面図、により説明する。図5、図6
において、対物レンズ101が固着されたレンズホルダ
102の両側の腕部102a、102aには、それぞれ
2本のサスペンションワイヤ103、103の一端が固
定されている。さらに、サスペンションワイヤ103の
それぞれの他端はベース板104に固定された固定部材
105に片持ち梁状に支持されることにより、レンズホ
ルダ102はトラッキング方向Tとフォーカシング方向
Fの二軸に移動可能に支持されている。
【0006】また、レンズホルダ102には、フォーカ
シングコイル106と、このフォーカシングコイル10
6と対物レンズ101側に隣接した2つのトラッキング
コイル107、107と、が固着されている。さらに、
ベース板104には、図6に示すように略U字状に上部
が開放しているヨーク108が、その折曲片108aが
レンズホルダ102に設けられた孔部102bに挿入さ
れ、また、マグネット109が折曲片108aに対向す
るように固着された折曲片108bがフォーカシングコ
イル106の空芯孔106aに挿入されることによっ
て、折曲片108aと108bがトラッキングコイル1
07、107と、フォーカシングコイル106の一側面
を挟むように取付固定されている。また、図6に示すよ
うに、ヨーク108の開放部を閉じるように、トップヨ
ーク115がヨーク108に固定されている(図5では
省略した)。
【0007】これによって、トラッキングコイル10
7、107に通電すると、このコイルに発生した磁界
が、ヨーク108とその折曲片108bに固着したマグ
ネット109により発生する磁界と、が相互に作用する
ことにより、各コイルを固着してあるレンズホルダ10
2は図5中T方向に駆動される。同様に、フォーカシン
グコイル106に通電すると、レンズホルダ102は図
6中F方向に駆動される。したがって、レンズホルダ1
02に固着した対物レンズ101は、トラッキング方向
T及びフォーカシング方向Fへ駆動されることになる。
【0008】一方、ベース板104には、球面状の突出
部104aがピックアップシャーシ110側に設けてあ
り、その突出部104aがピックアップシャーシ110
に形成した球面状の凹部110aに摺接するようになっ
ている。なお、上記球面状の突出部104aの代わり
に、図8に示すように、円錐台状の突出部114がベー
ス板104に形成されている場合もある。
【0009】また、ベース板104の対物レンズ101
側のT方向に沿った一端部の片側には折曲部104bが
折り曲げ形成してあり、その1つの面である押え面10
4cは、ピックアップシャーシ110に一端部がネジ1
11により固定された板バネ112、の他端部によって
図6に示すA方向に弾性的に付勢されている。
【0010】また、ベース板104の対物レンズ101
とは反対側の他端部の両側には、支持部104d、10
4eが設けてあり、図6に示すように、ピックアップシ
ャーシ110の下方から上方に挿通させたネジ部材11
3a、113bの先端部が、それぞれ支持部104d、
104eに設けたネジ孔104f、104gに係合する
ことによって、ベース板104の他端部が支持されてい
る。
【0011】このような構成により、ベース板104が
図6、図7に示す光ディスク(図示せず)の接線方向す
なわちタンジェンシャル(TAN)方向、及び同半径方
向すなわちラジアル(RAD)方向に回動調整されるこ
とによって、対物レンズ101の光軸Bが光ディスク面
に対して略垂直となり最適な記録又は再生ができるよう
に光軸合わせが行われる。具体的には、図6に示すネジ
部材113aと113bを回動させ、支持部104dと
104eを図中C方向のどちらか同じ向きに同じ距離だ
け移動させることにより、TAN方向の調整ができる。
【0012】また、図7において、ネジ部材113aを
回動させずに、ネジ部材113bのみを回動させ、支持
部104eを図中D方向に移動させることにより、RA
D方向の調整ができる。これとは逆に、ネジ部材113
bを回動させずに、ネジ部材113aのみを回動させた
り、あるいは、ネジ部材113aと113bを互いに逆
向きに回動させることによりRAD方向の調整ができ
る。
【0013】以上のようにして、ピックアップシャーシ
110に対してのベース板104の回動調整によって、
対物レンズ101の光軸合わせが行われ、ピックアップ
シャーシ110への二軸アクチュエータ100の取付け
が完了する。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の二軸アクチュエータ100では、ベース部材1
04を押さえるための板バネ112や、球面状あるいは
円錐台状の突出部104a、114が必要でありコスト
が増大する。また、構造も複雑なものとなる。一方、ベ
ース部材104の押え面104cを板バネ112によっ
て弾性的に付勢しているので、対物レンズ101から出
射される集光ビームが光ディスクの情報記録面に追従す
るように二軸アクチュエータ100をサーボ制御すると
きに、上記板バネ112の弾性成分が外乱となって、不
要共振が発生し、情報記録面の面振れや情報記録トラッ
クのうねりに追従するための、あるいは光ディスク面の
汚れ、傷などがあっても情報記録トラックに追従するた
めの二軸アクチュエータの周波数特性が悪化し、情報信
号を読み出せなくなることがあった。
【0015】これを防ぐために、ベース板104の押え
面104c上で、板バネ112を接着剤等により固着す
る方法があったが、板バネ112の一部を固着するの
で、ベース板104をピックアップシャーシ110に対
して堅固に固定できず、上記周波数特性の改善は不十分
であり、また、接着のための組立工程の追加が必要とな
った。
【0016】また、上記押え面104cを含め板バネ1
12全体を接着固定することにより、ベース板104を
ピックアップシャーシ110に対して堅固に固定する方
法が考えられるが、板バネ112を包囲するように接着
するための治具等が必要となり、また、作業時間も長く
必要であるなど、実用的な方法ではない。
【0017】また、図6に示すように、ベース板104
の支持部104d、104eに設けたネジ孔104f、
104gにネジ部材113aと113bをねじ込む時
に、支持部104d、104eの調整方向Cの初期位置
として、通常はベース部材104とピックアップシャー
シ110とを概略平行となるように設定しておくのであ
るが、概略平行である確認を例えば肉眼で行おうとして
もベース部材104がピックアップシャーシ110の底
に近いところにあるので難しくなる。したがって、調整
方向Cの初期位置がわかるための検出手段を設けない限
り、光軸調整はその範囲が曖昧となるため困難なものと
なっていた。上記検出手段を設けることは、コストアッ
プに繋がるため実用的な方法ではない。
【0018】本発明の目的は、ベース板を堅固に保持
し、構造が簡単であり、組立工程が簡素化され、調整が
し易く、コストも低減され、対物レンズの光軸調整がで
きる二軸アクチュエータを提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の第1の解決手段として、対物レンズが固着されたレン
ズホルダと、該レンズホルダをフォーカシング方向及び
トラッキング方向の二軸方向に可動支持する固定部材
と、前記レンズホルダを駆動するフォーカシングコイル
とトラッキングコイルとヨークと該ヨークに固着された
マグネットからなる駆動部と、を少なくともベース部材
に配設するとともに、該ベース部材の前記トラッキング
方向に沿った一方の端部は片持ち梁状に固定的に支持さ
れ、他方の端部は前記フォーカシング方向に可動支持さ
れることを特徴とするものである。
【0020】さらに、第2の解決手段として、前記ベー
ス部材の一方の端部はシャーシの載置面に載置され第1
のネジ部材により該載置面に固定され、他方の端部の両
側はそれぞれ第2のネジ部材によって支持されるととも
に、前記対物レンズは一方の端部側に配設され、前記固
定部材は他方の端部側に配設されることを特徴とするも
のである。
【0021】さらに、第3の解決手段として、前記載置
面は傾斜面であることを特徴とするものである。
【0022】さらに、第4の解決手段として、前記ベー
ス部材は鋼板であるとともに、前記ヨークは前記ベース
部材の一部を折り曲げて一体形成されていることを特徴
とするものである。
【0023】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態である二軸ア
クチュエータ10について、図1、図2、図3、図4に
それぞれ示す、斜視図、平面図、一部断面側面図、図2
のS1方向から見た正面図、を用いて以下に説明する。
【0024】図1乃至図3に示すように、対物レンズ1
1が固着されたレンズホルダ12の図中T方向の両側に
設けた支持部12a、12aには、サスペンションワイ
ヤ13、13の一端がそれぞれ固定されている。さら
に、各サスペンションワイヤ13の他端は、ベース部材
であるベース板14に取付けた固定部材15の対物レン
ズ11側とは反対側に取付けた基板16に、ハンダ付け
されることによって、レンズホルダ12は固定部材15
に対してトラッキング方向Tとフォーカシング方向Fの
二軸方向に移動可能に支持されている。なお、ベース板
14は鋼板で形成している。
【0025】また、レンズホルダ12には、フォーカシ
ングコイル17と、このフォーカシングコイル17の巻
線方向と直交する方向に巻線して形成しフォーカシング
コイル17の対物レンズ11側に隣接させた2つのトラ
ッキングコイル18、18と、が固着されている。さら
に、ベース板14には、図3に示すようにベース板14
の一部を折り曲げた折曲片14aと14bを形成し、U
字状に上部が開放しているヨーク14cを構成してい
る。また、折曲片14aと14bには、互いに異極対向
するように、それぞれマグネット19a、19bが固着
されている。さらに、ヨーク14cの開放した上部を閉
じるようにトップヨーク20が固着されている。
【0026】マグネット19aが固着された折曲片14
aはレンズホルダ12に設けられた孔部12bに挿入さ
れ、また、マグネット19bが固着された折曲片14b
はフォーカシングコイル17の空芯孔に挿入されること
によって、マグネット19a、19bがトラッキングコ
イル18、18と、フォーカシングコイル17の一側面
を挟むようにヨーク14cが配置される。
【0027】これによって、トラッキングコイル18、
18に通電すると、このコイルに発生した磁界が、ヨー
ク14cとその折曲片14a、14bにそれぞれ固着し
たマグネット19a、19bにより発生する磁界と、が
相互に作用することにより、各コイルを固着してあるレ
ンズホルダ12は図2中T方向に駆動される。同様に、
フォーカシングコイル17に通電すると、レンズホルダ
12は図3中F方向に駆動される。したがって、レンズ
ホルダ12に固着した対物レンズ11は、トラッキング
方向T及びフォーカシング方向Fへ駆動されることにな
る。
【0028】以上の構成により、光ピックアップ(図示
せず)の発光素子から出射したレーザビームが、対物レ
ンズ11を介して光ディスクの情報記録面に結像され
る。そして、上記光ディスクの情報記録面からの戻り光
が、再び対物レンズ11を通過して、光ピックアップの
光検出器に入射することにより、情報記録面に記録され
た情報が読み出される。その時、レンズホルダ12に固
着されたフォーカシングコイル17及びトラッキングコ
イル18,18への通電が適宜制御されることにより、
対物レンズ11のフォーカシング及びトラッキング動作
が行われるようになっている。
【0029】一方、図2に示すように、ベース板14の
対物レンズ11側でT方向に沿った一方の端部の両側に
は取付部14d、14dが形成してある。そして、その
取付部14d、14dが第1のネジ部材であるネジ2
1、21により、シャーシであるピックアップシャーシ
22の載置面である傾斜面22a(図3参照)に固定さ
れることで、ベース板14はピックアップシャーシ22
に対して片持ち梁状に堅固に支持されている。
【0030】また、ベース板14の他方の端部の両側に
設けた支持部14e、14fには、それぞれネジ孔14
g、14hが設けてあり、図3に示すように、ピックア
ップシャーシ22の下方から上方に挿通させた第2のネ
ジ部材であるネジ23a、23bの先端部が、それぞれ
ネジ孔14g、14hに係合することによって、ベース
板14の他方の端部が支持されている。
【0031】このような構成により、ベース板14が図
3、図4にそれぞれ示す光ディスク30の接線方向すな
わちタンジェンシャル(TAN)方向、及び同半径方向
すなわちラジアル(RAD)方向に回動調整されること
によって、対物レンズ11の光軸Bが光ディスク30面
に対して略垂直となり、最適な集光ビームによる記録又
は再生ができるように光軸合わせが行われる。
【0032】次に、光軸合わせの具体的な方法ついて説
明する。まず、図3に示すように、水平線Hに対して角
度θだけ支持部14e、14fがピックアップシャーシ
22と離間する方向へ傾けられたベース板14におい
て、ネジ部材23aと23bを回動させ、傾斜面22a
の固定部材15方向の端部におけるベース部材14の根
本部14i、14i(図2参照)を弾性変形させるよう
に、支持部14eと14fを位置PからQまで同方向
に、同じ距離だけ移動させることにより、ベース板14
の略2θの回動角度を確保できるようにしておく。な
お、ベース板14は弾性変形可能であるものでなくても
よく、塑性変形可能なものであっても良い。
【0033】このとき、固定部材15はベース板14の
支持部14e、14f側に近接配置されているので、ベ
ース板14の回動に伴って固定部材15の底面15aも
ほぼ同角度ととなるように回動する。したがって、固定
部材15とサスペンションワイヤ13を介して連結され
るレンズホルダ12に固着された対物レンズ11の光軸
Bも同様に、ベース板14の位置PからQへの角度2θ
の回動に伴って、ほぼ同角度であるθ´となるように位
置P´からQ´へ回動する。このように、TAN方向の
調整範囲が確保できる。なお、上記角度θ´は予め二軸
アクチュエータ10を構成する部材などの寸法公差など
による光軸Bの初期の角度ばらつきを考慮して所定の値
を定めておけばよい。また、ベース部材14の調整範囲
を2θとしたが、これに限らず、必要に応じて変更して
もよい。また、上記角度2θは図3では、わかりやすく
するために極端に大きく描いたが、実際はわずかな角度
であるので、上記調整範囲ではトラッキングコイル1
8、18やフォーカシングコイル17などがマグネット
19a、19bに接触することはない。
【0034】そして、例えば光ピックアップで光ディス
ク30を再生しながら、ネジ23aと23bを回動さ
せ、支持部14eと14fを位置PからQに向かって、
同方向に同じ距離だけ徐々に移動させ、再生信号が最も
良好となるように調整することにより、TAN方向にお
ける対物レンズ11の光軸合わせが可能となる。
【0035】次に、図4に示すように、ネジ23aを回
動させずに、ネジ部材23bのみを回動させて支持部1
4fを図中M方向に移動させることにより、あるいは、
ネジ23bを回動させずに、ネジ23aのみを回動させ
て支持部14eを図中N方向に移動させることにより、
RAD方向の光軸合わせができる。
【0036】以上のようにして、ピックアップシャーシ
22に対してのベース板14の回動調整によって、対物
レンズ11の光軸合わせが行われ、ピックアップシャー
シ22への二軸アクチュエータ10の取付け固定が完了
する。
【0037】以上のように、本実施の形態の二軸アクチ
ュエータ10によれば、ベース板14をピックアップシ
ャーシ22に片持ち梁状に固定的に支持するので、ピッ
クアップシャーシ22に対して、ベース板14を堅固に
保持することができ、したがって、弾性成分である外乱
を大幅に低減でき、光ディスクの面振れや情報記録トラ
ックのうねりに追従するための、あるいは光ディスク面
の汚れ、傷などがあっても情報記録トラックに追従する
ための二軸アクチュエータの周波数特性が向上し、光デ
ィスクの情報信号をエラーがなく読み出すことが可能と
なる。また、ベース板14を片持ち梁状に固定的に支持
したので、板バネや、ベース部材に球面状あるいは円錐
台状の突出部を設ける必要がなく、構造がシンプルにな
る。また、それに伴ってコストダウンができる。
【0038】また、ベース板14をネジ21、21によ
ってピックアップシャーシ22にネジ止めするだけでよ
いので、接着工程が不要となり、組み立て工程が簡素化
される。
【0039】また、図3に示すように、対物レンズ11
の光軸B調整をする場合に、ベース板14の支持部14
e又は14fを位置PからQまで徐々に一方向に移動さ
せるだけでよく、また、初期位置である位置Pはピック
アップシャーシ22の傾斜面22aにベース板14の取
付部14d、14dをネジ21、21により固定した時
点で決まるので、光軸調整がし易い効果がある。
【0040】また、ベース板14を鋼板としたので材料
が安価であり、また、ベース板14の一部を折り曲げた
折曲片14a、14bによって一体にヨーク14cを形
成したので、ベース板に別個にヨークを取付け固定する
必要がなく、また、ベース板14の加工時に折曲片14
a、14bを同時加工できるのでコストダウンができ
る。
【0041】さらには、本実施の形態では、ピックアッ
プシャーシ22の傾斜面22aに対して、ベース板14
を取り付けるための取付部14d、14dを図2に示す
ようにベース板14に一体形成したヨーク14cの両側
に設けることができるため、従来の二軸アクチュエータ
100(図5参照)におけるベース板110の長さL2
に比べて、本実施の形態のベース板14の長さL1を短
くできるので、同じ板厚であり剛性がほぼ同じであれば
ベース板の端部に荷重がかかった場合に端部での撓み量
を小さくできるので、ベース板の有する弾性成分をより
低減でき二軸アクチュエータの周波数特性をより向上さ
せることができる。
【0042】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る二軸
アクチュエータは、対物レンズが固着されたレンズホル
ダと、該レンズホルダをフォーカシング方向及びトラッ
キング方向の二軸方向に可動支持する固定部材と、前記
レンズホルダを駆動するフォーカシングコイルとトラッ
キングコイルとヨークと該ヨークに固着されたマグネッ
トからなる駆動部と、を少なくともベース部材に配設す
るとともに、該ベース部材の前記トラッキング方向に沿
った一方の端部は片持ち梁状に固定的に支持され、他方
の端部は前記フォーカシング方向に可動支持されるの
で、板バネ等の介在がなくなりベース部材を堅固に保持
することができ、また、ベース部材を付勢する板バネ
や、ベース部材に形成する球面状あるいは円錐台状の突
出部を設ける必要もないため構造を簡単にでき、それに
伴ってコストも低減できる。
【0043】さらに、ベース部材の一方の端部はシャー
シの載置面に載置され第1のネジ部材により該載置面に
固定され、他方の端部の両側はそれぞれ第2のネジ部材
によって支持されるとともに、対物レンズは一方の端部
側に配設され、固定部材は他方の端部側に配設されるの
で、接着工程が不要となり、組み立て工程が簡素化でき
る。
【0044】さらに、載置面は傾斜面であるので、対物
レンズの光軸調整をする場合に、ベース部材の他方の端
部の両側を一方向に徐々に移動させるだけでよく、ま
た、ベース部材の他方の端部の初期位置はシャーシの載
置面にベース部材の一方の端部を固定した時点で決まる
ので、光軸調整がし易い効果がある。
【0045】さらに、ベース部材は鋼板であるととも
に、ヨークは前記ベース部材の一部を折り曲げて一体形
成されているので、材料が安価であるとともに、ベース
部材に別個にヨークを取付け固定する必要がなくなり、
ベース部材の加工時にヨークを同時加工できるので、コ
ストの低減ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の二軸アクチュエータの斜
視図である。
【図2】本発明の実施の形態の二軸アクチュエータの平
面図である。
【図3】本発明の実施の形態の二軸アクチュエータの一
部断面側面図である。
【図4】本発明の実施の形態の二軸アクチュエータに係
り、図2のS1方向から見た正面図である。
【図5】従来の二軸アクチュエータの平面図である。
【図6】従来の二軸アクチュエータの一部断面側面図で
ある。
【図7】従来の二軸アクチュエータに係り、図5のS2
方向から見た一部断面正面図である。
【図8】従来の他の例である二軸アクチュエータの一部
断面側面図である。
【符号の説明】
10 二軸アクチュエータ 11 対物レンズ 12 レンズホルダ 13 サスペンションワイヤ 14 ベース板 14c ヨーク 15 固定部材 16 基板 21、23a、23b ネジ 22 ピックアップシャーシ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 対物レンズが固着されたレンズホルダ
    と、該レンズホルダをフォーカシング方向及びトラッキ
    ング方向の二軸方向に可動支持する固定部材と、前記レ
    ンズホルダを駆動するフォーカシングコイルとトラッキ
    ングコイルとヨークと該ヨークに固着されたマグネット
    からなる駆動部と、を少なくともベース部材に配設する
    とともに、該ベース部材の前記トラッキング方向に沿っ
    た一方の端部は片持ち梁状に固定的に支持され、他方の
    端部は前記フォーカシング方向に可動支持されることを
    特徴とする二軸アクチュエータ。
  2. 【請求項2】 前記ベース部材の一方の端部はシャーシ
    の載置面に載置され第1のネジ部材により該載置面に固
    定され、他方の端部の両側はそれぞれ第2のネジ部材に
    よって支持されるとともに、前記対物レンズは一方の端
    部側に配設され、前記固定部材は他方の端部側に配設さ
    れることを特徴とする請求項1に記載の二軸アクチュエ
    ータ。
  3. 【請求項3】 前記載置面は傾斜面であることを特徴と
    する請求項2に記載の二軸アクチュエータ。
  4. 【請求項4】 前記ベース部材は鋼板であるとともに、
    前記ヨークは前記ベース部材の一部を折り曲げて一体形
    成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3の
    いずれかに記載の二軸アクチュエータ。
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