JP2000352540A - 圧力センサを圧力センサケーシングに組み付ける方法、および、圧力センサケーシングに収容された圧力センサ装置 - Google Patents
圧力センサを圧力センサケーシングに組み付ける方法、および、圧力センサケーシングに収容された圧力センサ装置Info
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- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
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- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧力センサを低廉に組み付け可能にする。
【解決手段】 ケーシング１に結合しようとする、圧力
センサ９のベース９．２にテンプレート１３を設け、テ
ンプレート１３の開口１４の横断面積を、チップエレメ
ント９．１の寸法よりも小さくする。
センサ９のベース９．２にテンプレート１３を設け、テ
ンプレート１３の開口１４の横断面積を、チップエレメ
ント９．１の寸法よりも小さくする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、有利には圧力セン
サのろう接時に用いられるような、圧力センサを接合す
る装置および方法に関するものである。
サのろう接時に用いられるような、圧力センサを接合す
る装置および方法に関するものである。
【０００２】本発明は、チップエレメントならびにベー
スを有する圧力センサを圧力センサケーシングに組み付
ける方法に関する。
スを有する圧力センサを圧力センサケーシングに組み付
ける方法に関する。
【０００３】
【従来の技術】従来技術に基づき公知の、気密に閉鎖さ
れた圧力センサは、ひずみに対して敏感な測定ストリッ
プをカバーエレメントに有している。測定ストリップの
端部は評価ユニットに接続されている。この評価ユニッ
トはカバーエレメントの変形に関連した電気的な出力信
号を生ぜしめる。カバーエレメントは中間ベースに結合
されている。この中間ベースは別のベースに結合されて
おり、この別のベースにはガラス封じ部から成る結合部
を介して固定されている。この公知の圧力センサ装置の
場合、中間ベースと、ベースが挿入されている鍔とは、
誘導された熱応力(induzierte thermische Spannung)を
できる限り補償し、このことから生じる測定エラーをで
きる限り小さく抑えるために、適合された熱膨張係数を
有している。
れた圧力センサは、ひずみに対して敏感な測定ストリッ
プをカバーエレメントに有している。測定ストリップの
端部は評価ユニットに接続されている。この評価ユニッ
トはカバーエレメントの変形に関連した電気的な出力信
号を生ぜしめる。カバーエレメントは中間ベースに結合
されている。この中間ベースは別のベースに結合されて
おり、この別のベースにはガラス封じ部から成る結合部
を介して固定されている。この公知の圧力センサ装置の
場合、中間ベースと、ベースが挿入されている鍔とは、
誘導された熱応力(induzierte thermische Spannung)を
できる限り補償し、このことから生じる測定エラーをで
きる限り小さく抑えるために、適合された熱膨張係数を
有している。
【０００４】カバーエレメント、ベース装置ならびに測
定ストリップはケーシングによって取り囲まれている。
このケーシングは、構成部分を外部の影響から保護す
る。さらに、ケーシングにはねじ込みエレメントが設け
られている。このねじ込みエレメントを介してケーシン
グが流体で負荷可能である。
定ストリップはケーシングによって取り囲まれている。
このケーシングは、構成部分を外部の影響から保護す
る。さらに、ケーシングにはねじ込みエレメントが設け
られている。このねじ込みエレメントを介してケーシン
グが流体で負荷可能である。
【０００５】圧力センサを組み付けるための従来の組み
付け方法の場合、何度も使用可能な組み付け用のテンプ
レート(Schablone)が使用される。これらのテンプレー
トはセンサチップの縁部を案内し、センサチップのため
の少なからぬ損傷リスクを呈している。比較的高価なリ
ターナブルテンプレート(Mehrwegschablone)において
は、このリターナブルテンプレートは、センサケーシン
グ内への圧力センサのろう接時にセンサに載置され、こ
のセンサを取り囲み、圧力センサのろう接が行われた後
に再び取り出されなければならなくなる。圧力センサに
対するリターナブルテンプレートの載置および取り出し
がたとえ機械的に、たとえば操作ロボットによって行わ
れたとしても、センサチップの外寸およびリターナブル
テンプレートの孔のトレランスが小さいので、センサチ
ップの縁部領域の損傷を完全には排除することはできな
い。これにより、このような圧力センサは通常の場合に
は役に立たない。このことにより、このような製作法の
適用時には、あまり望ましくない歩留まり損失が発生す
る。
付け方法の場合、何度も使用可能な組み付け用のテンプ
レート(Schablone)が使用される。これらのテンプレー
トはセンサチップの縁部を案内し、センサチップのため
の少なからぬ損傷リスクを呈している。比較的高価なリ
ターナブルテンプレート(Mehrwegschablone)において
は、このリターナブルテンプレートは、センサケーシン
グ内への圧力センサのろう接時にセンサに載置され、こ
のセンサを取り囲み、圧力センサのろう接が行われた後
に再び取り出されなければならなくなる。圧力センサに
対するリターナブルテンプレートの載置および取り出し
がたとえ機械的に、たとえば操作ロボットによって行わ
れたとしても、センサチップの外寸およびリターナブル
テンプレートの孔のトレランスが小さいので、センサチ
ップの縁部領域の損傷を完全には排除することはできな
い。これにより、このような圧力センサは通常の場合に
は役に立たない。このことにより、このような製作法の
適用時には、あまり望ましくない歩留まり損失が発生す
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、上記
欠点を取り除き、圧力センサを低廉に組み付け可能にす
ることである。
欠点を取り除き、圧力センサを低廉に組み付け可能にす
ることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の方法では、ケーシングに結合しようとする、
圧力センサのベースにテンプレートを設け、テンプレー
トの開口の横断面積を、チップエレメントの寸法よりも
小さくするようにした。
に本発明の方法では、ケーシングに結合しようとする、
圧力センサのベースにテンプレートを設け、テンプレー
トの開口の横断面積を、チップエレメントの寸法よりも
小さくするようにした。
【０００８】
【発明の効果】圧力センサの組み付けのための本発明に
よる方法の利点は、テンプレートがベースに残されるこ
とによって、センサチップに対する損傷のおそれが排除
されることである。本発明による組み付け法は著しく低
廉になる。それというのは、センサチップが損傷を受け
ることによる歩留まり損失および品質損害がもはや発生
することはないからである。このことは主として、本発
明による方法においてリターナブルテンプレートと、セ
ンサチップへの載置もしくはセンサチップからの取り出
しが省かれることによりもたらされる。
よる方法の利点は、テンプレートがベースに残されるこ
とによって、センサチップに対する損傷のおそれが排除
されることである。本発明による組み付け法は著しく低
廉になる。それというのは、センサチップが損傷を受け
ることによる歩留まり損失および品質損害がもはや発生
することはないからである。このことは主として、本発
明による方法においてリターナブルテンプレートと、セ
ンサチップへの載置もしくはセンサチップからの取り出
しが省かれることによりもたらされる。
【０００９】本発明による方法の有利な構成において
は、テンプレートは、ベースとケーシングとの結合時
に、ベースに残され、このベースをほぼ真ん中で支持す
る。テンプレートがベースの半分の高さに位置してお
り、このベースをろう接時に傾動防止するようになって
いると特に有利である。組み付けられた状態において
は、テンプレートはケーシング底部に載置されており、
ピンによって案内される。テンプレートの開口は、この
開口がまさにベースを案内はするものの、しかしセンサ
チップはもはやテンプレートの開口を通って通過するこ
とはないように構成されている。
は、テンプレートは、ベースとケーシングとの結合時
に、ベースに残され、このベースをほぼ真ん中で支持す
る。テンプレートがベースの半分の高さに位置してお
り、このベースをろう接時に傾動防止するようになって
いると特に有利である。組み付けられた状態において
は、テンプレートはケーシング底部に載置されており、
ピンによって案内される。テンプレートの開口は、この
開口がまさにベースを案内はするものの、しかしセンサ
チップはもはやテンプレートの開口を通って通過するこ
とはないように構成されている。
【００１０】ベースが溝状の切欠き内でケーシング底部
にろう接されると有利である。これにより、テンプレー
トがベースをほぼ半分の高さで簡単に支持することがで
きる。
にろう接されると有利である。これにより、テンプレー
トがベースをほぼ半分の高さで簡単に支持することがで
きる。
【００１１】さらに本発明は、圧力センサケーシングに
収容された圧力センサ装置であって、圧力センサがベー
スに結合されたセンサチップを有している形式のものに
関する。本発明の構成では、圧力センサのベースがテン
プレートによって取り囲まれており、該テンプレートの
開口横断面積がチップエレメントの寸法よりも小さく寸
法設定されている。
収容された圧力センサ装置であって、圧力センサがベー
スに結合されたセンサチップを有している形式のものに
関する。本発明の構成では、圧力センサのベースがテン
プレートによって取り囲まれており、該テンプレートの
開口横断面積がチップエレメントの寸法よりも小さく寸
法設定されている。
【００１２】本発明による圧力センサ装置の場合、ベー
スがケーシング底部に、たとえばろう接により結合され
ており、テンプレートがベースを、ベースのほぼ半分の
高さで取り囲んでいる。別の有利な構成の可能性として
は、テンプレートに設けられた開口の方形または正方形
の形状がある。方形の開口はコーナにコーナ穴を備えて
いてよい。これにより、テンプレートの開口を通ってベ
ースが簡単に通過するのが保証される。テンプレートに
設けられた方形または正方形の構成の可能性は、テンプ
レートに、開口を取り囲む上側のウェブと下側のウェブ
とを設けることである。テンプレートの大きさに応じて
種々様々な高さに構成されていてよいウェブによって、
「取り残し式」つまり「残留式」(verloren)のテンプレ
ート、つまり圧力センサ装置内に取り残されたテンプレ
ートがベースを取り囲み、ベースの傾動を阻止するよう
な高さを規定することができる。この場合、テンプレー
トは、ケーシング底部とのろう接個所から所定の間隔を
置いてベースを取り囲み、ベースはテンプレートの開口
内で案内される。
スがケーシング底部に、たとえばろう接により結合され
ており、テンプレートがベースを、ベースのほぼ半分の
高さで取り囲んでいる。別の有利な構成の可能性として
は、テンプレートに設けられた開口の方形または正方形
の形状がある。方形の開口はコーナにコーナ穴を備えて
いてよい。これにより、テンプレートの開口を通ってベ
ースが簡単に通過するのが保証される。テンプレートに
設けられた方形または正方形の構成の可能性は、テンプ
レートに、開口を取り囲む上側のウェブと下側のウェブ
とを設けることである。テンプレートの大きさに応じて
種々様々な高さに構成されていてよいウェブによって、
「取り残し式」つまり「残留式」(verloren)のテンプレ
ート、つまり圧力センサ装置内に取り残されたテンプレ
ートがベースを取り囲み、ベースの傾動を阻止するよう
な高さを規定することができる。この場合、テンプレー
トは、ケーシング底部とのろう接個所から所定の間隔を
置いてベースを取り囲み、ベースはテンプレートの開口
内で案内される。
【００１３】センサチップを支持するベースはガラスか
ら製作されていてよい。ベースとケーシング底部との間
の結合はろう接結合部として構成されていると有利であ
る。
ら製作されていてよい。ベースとケーシング底部との間
の結合はろう接結合部として構成されていると有利であ
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面につき
詳しく説明する。
詳しく説明する。
【００１５】従来技術に基づいて示した図１について、
圧力センサの原理的な構成をさらに詳しく説明する。圧
力センサケーシング１は、ケーシング底部２とケーシン
グカバー３とから成っている。ケーシング底部２には、
ピン４が挿入され、さらに、別のピン５がスリーブ６に
並んで挿入されている。このスリーブ６は下方から、ケ
ーシング底部２内に延びている。スリーブ６は中央孔７
を有している。この中央孔７は、ベース９．２の孔と整
合合致している。このベースの上側にはセンサチップ
９．１が固定されている。このベース９．２はケーシン
グ底部２の溝状の切欠き１２で、このケーシング底部２
に結合されている。この結合はろう接結合であると有利
である。
圧力センサの原理的な構成をさらに詳しく説明する。圧
力センサケーシング１は、ケーシング底部２とケーシン
グカバー３とから成っている。ケーシング底部２には、
ピン４が挿入され、さらに、別のピン５がスリーブ６に
並んで挿入されている。このスリーブ６は下方から、ケ
ーシング底部２内に延びている。スリーブ６は中央孔７
を有している。この中央孔７は、ベース９．２の孔と整
合合致している。このベースの上側にはセンサチップ
９．１が固定されている。このベース９．２はケーシン
グ底部２の溝状の切欠き１２で、このケーシング底部２
に結合されている。この結合はろう接結合であると有利
である。
【００１６】図１に示したように、何度も使用可能なリ
ターナブルテンプレート１７がセンサチップ９．１を取
り囲んでおり、センサチップ９．１から完全に取り出す
時に、センサチップの縁部領域を損傷するおそれがあ
る。このリターナブルテンプレート１７によって、セン
サチップ９．１は案内されるが、しかしベース９．２は
案内されない。センサチップ９．１に対するリターナブ
ルテンプレート１７の相対運動が、センサチップ９．１
の縁部領域の損傷を招くことは回避できない。これによ
り、図１に示した方法およびリターナブルテンプレート
１７の利用における歩留まり損失はほとんど避けられな
い。
ターナブルテンプレート１７がセンサチップ９．１を取
り囲んでおり、センサチップ９．１から完全に取り出す
時に、センサチップの縁部領域を損傷するおそれがあ
る。このリターナブルテンプレート１７によって、セン
サチップ９．１は案内されるが、しかしベース９．２は
案内されない。センサチップ９．１に対するリターナブ
ルテンプレート１７の相対運動が、センサチップ９．１
の縁部領域の損傷を招くことは回避できない。これによ
り、図１に示した方法およびリターナブルテンプレート
１７の利用における歩留まり損失はほとんど避けられな
い。
【００１７】図２に基づいて、圧力センサを組み付ける
ための、本発明による方法をより正確に説明する。ケー
シング底部２およびケーシング３を有する圧力センサケ
ーシング１は圧力センサ９を収容している。センサチッ
プ９．１の上面には測定ストリップ１１が固定されてい
る。これらの測定ストリップは線路を介してピン４に接
続されていてよい。これらの測定ストリップ１１によっ
て、孔１０を通ってセンサチップ９．１に伝達された圧
力を、電気的な信号に変換することができる。
ための、本発明による方法をより正確に説明する。ケー
シング底部２およびケーシング３を有する圧力センサケ
ーシング１は圧力センサ９を収容している。センサチッ
プ９．１の上面には測定ストリップ１１が固定されてい
る。これらの測定ストリップは線路を介してピン４に接
続されていてよい。これらの測定ストリップ１１によっ
て、孔１０を通ってセンサチップ９．１に伝達された圧
力を、電気的な信号に変換することができる。
【００１８】ベース９．２が溝状の切欠き１２内でケー
シング底部２にろう接される前に、ベース９．２にとど
まる「残留式」のテンプレート１３がケーシング底部２
に載置される。ベース９．２は、テンプレート１３の開
口１４を通って案内され、その下面が、溝状の切欠き１
２のケーシング底部２にろう接される。ケーシング底部
２の溝状の切欠き１２内でベース９．２をろう接すると
きには、ベース９．２はテンプレート１３を通って側方
で案内され、傾動を阻止される。テンプレート１３の縁
部はケーシング底部２に載置されている。開口１４は、
テンプレート１３が、ベース９．２の上面に位置するセ
ンサチップ９．１を超えては運動できないように寸法設
定されている。従って、テンプレート１３は「残留式」
のテンプレートとして、圧力センサ装置９に残される。
テンプレート１３によるベース９．２の案内は、ベース
９．２がろう接中に鉛直方向に自由に運動できるように
構成されている。このことにより、ろう接個所１５にお
ける均一のろう接分布が可能になる。
シング底部２にろう接される前に、ベース９．２にとど
まる「残留式」のテンプレート１３がケーシング底部２
に載置される。ベース９．２は、テンプレート１３の開
口１４を通って案内され、その下面が、溝状の切欠き１
２のケーシング底部２にろう接される。ケーシング底部
２の溝状の切欠き１２内でベース９．２をろう接すると
きには、ベース９．２はテンプレート１３を通って側方
で案内され、傾動を阻止される。テンプレート１３の縁
部はケーシング底部２に載置されている。開口１４は、
テンプレート１３が、ベース９．２の上面に位置するセ
ンサチップ９．１を超えては運動できないように寸法設
定されている。従って、テンプレート１３は「残留式」
のテンプレートとして、圧力センサ装置９に残される。
テンプレート１３によるベース９．２の案内は、ベース
９．２がろう接中に鉛直方向に自由に運動できるように
構成されている。このことにより、ろう接個所１５にお
ける均一のろう接分布が可能になる。
【００１９】テンプレート１３はケーシング底部２の、
ピン４を嵌め込んだ部分の縁部領域に載置されている。
図示のテンプレート１３は、垂直な壁を備えた打ち抜き
部分であり、簡単かつ低廉に製造可能である。このテン
プレートはセンサチップ９．１とベース９．２とから成
るセンサ装置９を、有利にはこの装置の共通の重心の上
方またはベース９．２の真ん中の個所にわたって取り囲
んでいる。
ピン４を嵌め込んだ部分の縁部領域に載置されている。
図示のテンプレート１３は、垂直な壁を備えた打ち抜き
部分であり、簡単かつ低廉に製造可能である。このテン
プレートはセンサチップ９．１とベース９．２とから成
るセンサ装置９を、有利にはこの装置の共通の重心の上
方またはベース９．２の真ん中の個所にわたって取り囲
んでいる。
【００２０】本発明に基づき製作された、「残留式」の
テンプレート１３を備えた圧力センサ装置９はセンサチ
ップ９．１を有している。このセンサチップの上面には
測定ストリップ１が取り付けられている。測定ストリッ
プ１１はたとえば線路を介してピン４に接続されていて
よい。これらのピンの、ケーシング底部２への嵌め込み
部分は、ケーシング底部に対して絶縁されている。汚れ
や他の環境からの影響を回避するために、圧力センサ９
はケーシングカバー３によってシールドされている。ケ
ーシングカバー３とケーシング底部２との間には中空室
８が形成されている。センサチップ９．１の下面はベー
ス９．２の孔１０を介して、スリーブ６の中央孔７に接
続されている。このスリーブはケーシング底部２の下面
に取り付けられている。ケーシング底部２には、たとえ
ば８個のピン４，５がガラス封じされていてよい。孔
（７，１０）を通して、流体の圧力がセンサチップ９．
１に伝達され、電気的な信号に変換され得る。
テンプレート１３を備えた圧力センサ装置９はセンサチ
ップ９．１を有している。このセンサチップの上面には
測定ストリップ１が取り付けられている。測定ストリッ
プ１１はたとえば線路を介してピン４に接続されていて
よい。これらのピンの、ケーシング底部２への嵌め込み
部分は、ケーシング底部に対して絶縁されている。汚れ
や他の環境からの影響を回避するために、圧力センサ９
はケーシングカバー３によってシールドされている。ケ
ーシングカバー３とケーシング底部２との間には中空室
８が形成されている。センサチップ９．１の下面はベー
ス９．２の孔１０を介して、スリーブ６の中央孔７に接
続されている。このスリーブはケーシング底部２の下面
に取り付けられている。ケーシング底部２には、たとえ
ば８個のピン４，５がガラス封じされていてよい。孔
（７，１０）を通して、流体の圧力がセンサチップ９．
１に伝達され、電気的な信号に変換され得る。
【００２１】図３ａ，３ｂは「残留式」のテンプレート
の上面および側面を示したものである。これらのテンプ
レートは方形の開口を備えており、この開口のコーナが
コーナ穴によって穿孔されている。
の上面および側面を示したものである。これらのテンプ
レートは方形の開口を備えており、この開口のコーナが
コーナ穴によって穿孔されている。
【００２２】図３ａに示した平面図から明らかなよう
に、「残留式」のテンプレート１３は開口１４と同様に
方形の形状を有している。開口１４はその４つのコーナ
でそれぞれコーナ穴１６によって拡開されて、ベース
９．２が開口１４よりも僅かに小さな寸法を持つように
構成されている。これによりベース９．２は自由に開口
１４を通って運動することができるので、ベース９．２
はろう接中に鉛直方向に運動することができる。
に、「残留式」のテンプレート１３は開口１４と同様に
方形の形状を有している。開口１４はその４つのコーナ
でそれぞれコーナ穴１６によって拡開されて、ベース
９．２が開口１４よりも僅かに小さな寸法を持つように
構成されている。これによりベース９．２は自由に開口
１４を通って運動することができるので、ベース９．２
はろう接中に鉛直方向に運動することができる。
【００２３】図３ｂに示したように、テンプレート１３
は極めて扁平に形成されている。図３ａおよび図３ｂに
示した「残留式」のテンプレート１３はたとえばプラス
チックから製作されていてよい。
は極めて扁平に形成されている。図３ａおよび図３ｂに
示した「残留式」のテンプレート１３はたとえばプラス
チックから製作されていてよい。
【００２４】図４ａおよび４ｂは「残留式」のテンプレ
ート１３の上面および横断面を示している。このテンプ
レート１３は射出成形部分またはプレス成形部分として
構成されている。
ート１３の上面および横断面を示している。このテンプ
レート１３は射出成形部分またはプレス成形部分として
構成されている。
【００２５】テンプレート１３を上面に向かって見た状
態で示した図４ａの平面図によれば、このテンプレート
は方形または正方形の開口１４を備えている。図４ａに
示した断面線に基づいて、図４ｂに示したテンプレート
のプロフィールが形成される。
態で示した図４ａの平面図によれば、このテンプレート
は方形または正方形の開口１４を備えている。図４ａに
示した断面線に基づいて、図４ｂに示したテンプレート
のプロフィールが形成される。
【００２６】射出成形部分またはプレス成形部分として
のテンプレート１３の形状は、導入斜面２０を設けるこ
とを可能にする。これらの導入斜面は、テンプレート１
３の上側領域１８と下側領域１９とに設けることができ
る。導入斜面２０はより簡単な組付けを可能にする。テ
ンプレートの高さに関連してテンプレートに上側領域１
８もしくは下側領域１９を形成することにより、そして
導入斜面２０の傾斜により、テンプレート１３の開口１
４がセンサ装置９のベース９．２を取り囲むガイド高さ
に影響を与えることができるので、センサ装置９の傾動
を予防することができる。
のテンプレート１３の形状は、導入斜面２０を設けるこ
とを可能にする。これらの導入斜面は、テンプレート１
３の上側領域１８と下側領域１９とに設けることができ
る。導入斜面２０はより簡単な組付けを可能にする。テ
ンプレートの高さに関連してテンプレートに上側領域１
８もしくは下側領域１９を形成することにより、そして
導入斜面２０の傾斜により、テンプレート１３の開口１
４がセンサ装置９のベース９．２を取り囲むガイド高さ
に影響を与えることができるので、センサ装置９の傾動
を予防することができる。
【００２７】図４ａおよび図４ｂに示した「残留式」の
テンプレート１３は絶縁性の表面を備えた金属材料、プ
ラスチックまたはセラミックスから製作されていてよ
い。
テンプレート１３は絶縁性の表面を備えた金属材料、プ
ラスチックまたはセラミックスから製作されていてよ
い。
【００２８】圧力センサを組み付けるための本発明に基
づく方法によって、センサチップ９．１の縁部の損傷を
有効に阻止することができる。それというのは、何度も
使用可能なリターナブルテンプレート１７と異なり、
「残留式」のテンプレート１３が圧力センサ装置に規定
通りに残されるからである。さらに、「残留式」のテン
プレート１３によって、ベース９．２の一層好適な案内
を達成することができる。この場合、ベースは特に傾動
を阻止される。したがってこのことは有意義である。そ
れというのは、ろう接部１５によって、ケーシング底部
２におけるスリーブ６の中央孔７からベース９．２の孔
１０への申し分のない移行部が形成されるからである。
本発明による方法によって、歩留まり損失を回避するこ
とができ、チップの損傷によって品質を損なうことも有
効に排除される。高価なリターナブルテンプレート１７
を使用しないですみ、さらに、圧力センサ９におけるリ
ターナブルテンプレート１７の取り付けもしくは取り出
しに伴う損傷のおそれをはらむ作業工程も省略すること
ができる。
づく方法によって、センサチップ９．１の縁部の損傷を
有効に阻止することができる。それというのは、何度も
使用可能なリターナブルテンプレート１７と異なり、
「残留式」のテンプレート１３が圧力センサ装置に規定
通りに残されるからである。さらに、「残留式」のテン
プレート１３によって、ベース９．２の一層好適な案内
を達成することができる。この場合、ベースは特に傾動
を阻止される。したがってこのことは有意義である。そ
れというのは、ろう接部１５によって、ケーシング底部
２におけるスリーブ６の中央孔７からベース９．２の孔
１０への申し分のない移行部が形成されるからである。
本発明による方法によって、歩留まり損失を回避するこ
とができ、チップの損傷によって品質を損なうことも有
効に排除される。高価なリターナブルテンプレート１７
を使用しないですみ、さらに、圧力センサ９におけるリ
ターナブルテンプレート１７の取り付けもしくは取り出
しに伴う損傷のおそれをはらむ作業工程も省略すること
ができる。
【図１】センサチップの寸法にほぼ相当する孔を有す
る、従来技術に基づき公知の、何度も使用可能なテンプ
レートを示す図である。
る、従来技術に基づき公知の、何度も使用可能なテンプ
レートを示す図である。
【図２】センサ装置を重心位置の上方で取り囲む「残留
式」のテンプレートを備えた本発明によるセンサ装置を
示す図である。
式」のテンプレートを備えた本発明によるセンサ装置を
示す図である。
【図３】コーナ穴によって拡開されたコーナを有する方
形の開口を備えたテンプレートを示す平面図ａおよび側
面図ｂである。
形の開口を備えたテンプレートを示す平面図ａおよび側
面図ｂである。
【図４】ウェブによって仕切られた方形の開口を備えた
「残留式」のテンプレートを示す平面図ａ、および、該
平面図ａの「残留式」のテンプレートを、このテンプレ
ートに下側のウェブもしくは上側のウェブがスペーサ部
材として形成されている状態で示す横断面図ｂである。
「残留式」のテンプレートを示す平面図ａ、および、該
平面図ａの「残留式」のテンプレートを、このテンプレ
ートに下側のウェブもしくは上側のウェブがスペーサ部
材として形成されている状態で示す横断面図ｂである。
1 圧力センサケーシング、 ２ ケーシング底部、
３ ケーシングカバー、 ４，５ ピン、 ６ スリー
ブ、 ７ 中央孔、 ８ 中空室、 ９ 圧力センサ、
９．１ センサチップ、 ９．２ ベース、 １０
孔、 １１ 測定ストリップ、 １２ 溝状の切欠き、
１３ 「残留式」のテンプレート、１４ 開口、 １
５ ろう接個所、 １６ コーナ穴、 １７ リターナ
ブルテンプレート、 １８ 上側領域、 １９ 下側領
域、 ２０ 導入斜面
３ ケーシングカバー、 ４，５ ピン、 ６ スリー
ブ、 ７ 中央孔、 ８ 中空室、 ９ 圧力センサ、
９．１ センサチップ、 ９．２ ベース、 １０
孔、 １１ 測定ストリップ、 １２ 溝状の切欠き、
１３ 「残留式」のテンプレート、１４ 開口、 １
５ ろう接個所、 １６ コーナ穴、 １７ リターナ
ブルテンプレート、 １８ 上側領域、 １９ 下側領
域、 ２０ 導入斜面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ローラント ギュンシェル ドイツ連邦共和国 ロイトリンゲン ゴッ トフリート−ケラー−シュトラーセ 32
Claims (15)
- 【請求項１】 チップエレメント（９．１）ならびにベ
ース（９．２）を有する圧力センサ（９）を圧力センサ
ケーシング（１）に組み付ける方法において、 ケーシング（１）に結合しようとする、圧力センサ
（９）のベース（９．２）にテンプレート（１３）を設
け、テンプレート（１３）の開口（１４）の横断面積
を、チップエレメント（９．１）の寸法よりも小さくす
ることを特徴とする、圧力センサを圧力センサケーシン
グに組み付ける方法。 - 【請求項２】 ケーシング（１）にベース（９．２）を
結合するときに、テンプレート（１３）をベース（９．
２）に残す、請求項１記載の圧力センサを組み付ける方
法。 - 【請求項３】 圧力センサ（９）のベース（９．２）
を、該ベースの長手方向延在長さのほぼ半分のところで
テンプレート（１３）によって取り囲む、請求項２記載
の圧力センサを組み付ける方法。 - 【請求項４】 テンプレート（１３）を、組み付けた状
態で、ピン（４，５）とケーシング底部（２）との間に
収容する、請求項２記載の圧力センサを組み付ける方
法。 - 【請求項５】 ベース（９．２）を、ケーシング（１）
内に組み付けている間、テンプレート（１３）によって
案内する、請求項１記載の圧力センサを組み付ける方
法。 - 【請求項６】 ベース（９．２）を溝状の切欠き（１
２）内で、ケーシング底部（２）にろう接する、請求項
２記載の圧力センサを組み付ける方法。 - 【請求項７】 圧力センサケーシング（１）に収容され
た圧力センサ装置であって、圧力センサ（９）がベース
（９．２）に結合されたセンサチップ（９．１）を有し
ている形式のものにおいて、 圧力センサ（９）のベース（９．２）がテンプレート
（１３）によって取り囲まれており、該テンプレートの
開口横断面積（１４）がチップエレメント（９．１）の
寸法よりも小さく寸法設定されていることを特徴とす
る、圧力センサケーシングに収容された圧力センサ装
置。 - 【請求項８】 ベース（９．２）を取り囲むテンプレー
ト（１３）が開口（１４）を有している、請求項７記載
の圧力センサ装置。 - 【請求項９】 テンプレート（１３）の開口（１４）が
方形または正方形の形状を有している、請求項８記載の
圧力センサ装置。 - 【請求項１０】 テンプレート（１３）が圧力センサケ
ーシング（１）のケーシング底部（２）に載置されてい
る、請求項７記載の圧力センサ装置。 - 【請求項１１】 テンプレート（１３）が圧力センサ
（９）のベース（９．２）を該ベースのほぼ半分の高さ
のところで取り囲んでいる、請求項７記載の圧力センサ
装置。 - 【請求項１２】 テンプレート（１３）の方形の開口
（１４）がコーナ穴（１６）を備えている、請求項９記
載の圧力センサ装置。 - 【請求項１３】 テンプレートの開口（１４）が上側領
域（１８）と下側領域（１９）との間に設けられてい
る、請求項８または９記載の圧力センサ装置。 - 【請求項１４】 前記上側領域（１８）および下側領域
（１９）が導入斜面（２０）を有している、請求項１３
記載の圧力センサ装置。 - 【請求項１５】 ベース（９．２）がガラスから成って
いる、請求項７記載の圧力センサ装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19919112.3 | 1999-04-27 | ||
| DE19919112A DE19919112A1 (de) | 1999-04-27 | 1999-04-27 | Vorrichtung und Verfahren zum Fügen von Drucksensoren |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000352540A true JP2000352540A (ja) | 2000-12-19 |
Family
ID=7906030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000126386A Pending JP2000352540A (ja) | 1999-04-27 | 2000-04-26 | 圧力センサを圧力センサケーシングに組み付ける方法、および、圧力センサケーシングに収容された圧力センサ装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000352540A (ja) |
| DE (1) | DE19919112A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7930944B2 (en) | 2008-05-14 | 2011-04-26 | Honeywell International Inc. | ASIC compensated pressure sensor with soldered sense die attach |
| US8371176B2 (en) | 2011-01-06 | 2013-02-12 | Honeywell International Inc. | Media isolated pressure sensor |
| US8516897B1 (en) | 2012-02-21 | 2013-08-27 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10107813A1 (de) * | 2001-02-20 | 2002-09-05 | Bosch Gmbh Robert | Drucksensormodul |
| DE10324220A1 (de) | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Robert Bosch Gmbh | Sockeldesign zur Selbstzentrierung |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3315266C2 (de) * | 1983-04-27 | 1993-10-21 | Fuji Electric Co Ltd | Halbleiter-Drucksensor |
| JP2595829B2 (ja) * | 1991-04-22 | 1997-04-02 | 株式会社日立製作所 | 差圧センサ、及び複合機能形差圧センサ |
| DE29618047U1 (de) * | 1996-10-17 | 1996-11-28 | Keller AG für Druckmeßtechnik, Winterthur | Drucksensor |
-
1999
- 1999-04-27 DE DE19919112A patent/DE19919112A1/de not_active Ceased
-
2000
- 2000-04-26 JP JP2000126386A patent/JP2000352540A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7930944B2 (en) | 2008-05-14 | 2011-04-26 | Honeywell International Inc. | ASIC compensated pressure sensor with soldered sense die attach |
| US8371176B2 (en) | 2011-01-06 | 2013-02-12 | Honeywell International Inc. | Media isolated pressure sensor |
| US8516897B1 (en) | 2012-02-21 | 2013-08-27 | Honeywell International Inc. | Pressure sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19919112A1 (de) | 2000-11-09 |
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