JP2000347890A - 半導体装置のテストパタン生成方法およびテストパタン生成装置 - Google Patents

半導体装置のテストパタン生成方法およびテストパタン生成装置

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JP2000347890A
JP2000347890A JP11155764A JP15576499A JP2000347890A JP 2000347890 A JP2000347890 A JP 2000347890A JP 11155764 A JP11155764 A JP 11155764A JP 15576499 A JP15576499 A JP 15576499A JP 2000347890 A JP2000347890 A JP 2000347890A
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test
semiconductor device
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Shigekazu Otsuka
重和 大塚
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 テストパタン作成の手間および時間を大幅に
削減することができる半導体装置のテストパターン生成
方法およびテストパターン生成装置を提供する。 【解決手段】 記憶部21は、マクロ共通テストパタン
が書き込まれる記憶部、記憶部22はCPUシリーズ用
変換ライブラリが予め記憶される記憶部、記憶部23は
製品用パラメータファイルが記憶される記憶部である。
テストパタンコンバータ26は、操作部25から入力さ
れたCPUシリーズ名に基づいてCPUシリーズ用変換
ライブラリから変換用データを読み出し、また、操作部
25から入力された型番に基づいて、製品用パラメータ
ファイルから変換用データを読み出す。次に、マクロ共
通テストパタンを記憶部21から順次読み出し、読み出
したパタンを、上述した変換用データによって変換して
製品用マクロテストパタンを作成し、記憶部27に書き
込む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、テストパタン作
成の手間および作成時間の削減を図った半導体装置のテ
ストパタン生成方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】周知のように、1チップ・マイクロコン
ピュータには、チップ上に、CPU(中央処理装置)、
メモリと共に、表示制御用のマクロ(回路ブロック)や
通信制御用のマクロ、タイママクロ等が搭載される。そ
して、この1チップマイクロコンピュータの生産工程に
おいては、CPU、メモリと共にこれらのマクロの動作
テストが不可欠である。
【0003】ところで、CPUには複数のシリーズがあ
り、シリーズ毎にビット数、命令コード等が異なってい
る。このため、従来のマクロテストにおいては、たとえ
マクロの構成が全く同一でも、そのマクロが搭載されて
いるチップのCPUのシリーズが異なると、外部から加
えるべきテストパターンも異なることになり、新たなテ
ストパターンを作成する必要があった。なお、マクロに
直結するテスト用のバスをチップ内に設けることも考え
られるが、この場合、テスト端子が増加してしまう問題
が生じ、実用的ではない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のマクロテストにおいては、CPUシリーズ毎にテスト
パターンを作成しなければならず、このための手間およ
び時間が膨大になる問題があった。この発明はこのよう
な事情を考慮してなされたもので、その目的は、テスト
パタン作成の手間および時間を大幅に削減することがで
きる半導体装置のテストパターン生成方法およびテスト
パターン生成装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、1チップに制御回路ブロックと、該制御回路ブロッ
クに接続された回路ブロックとを有する半導体装置の前
記回路ブロックの動作をテストするためのテストパタン
を生成するテストパタン生成方法であって、前記制御回
路ブロックの特性に対応するデータ変換ライブラリを参
照しながら、前記回路ブロックのテストのための共通パ
タンを変換して製品用テストパタンを生成することを特
徴とする半導体装置のテストパタン生成方法である。
【0006】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の半導体装置のテストパタン生成方法において、前記半
導体装置は前記制御回路ブロック以外に1または複数の
回路ブロックを有し、前記各回路ブロックが共通周辺バ
スを介して前記制御回路ブロックに接続されていること
を特徴とする。
【0007】請求項3に記載の発明は、1つのチップ
に、中央処理装置と該中央処理装置に接続された少なく
とも1つの回路ブロックとを有する半導体装置の、前記
回路ブロックの動作をテストするテストパタンを生成す
るテストパタン生成方法であって、前記中央処理装置の
特性に対応するデータ変換ライブラリを参照しながら、
前記回路ブロックのテストのための共通パタンを変換し
て製品用テストパタンを生成することを特徴とする半導
体装置のテストパタン生成方法である。
【0008】請求項4に記載の発明は、請求項3に記載
の半導体装置のテストパタン生成方法において、前記半
導体装置は共通周辺バスを有し、前記回路ブロックが前
記共通周辺バスを介して前記中央処理装置に接続されて
いることを特徴とする。請求項5に記載の発明は、請求
項2または請求項4に記載の半導体装置のテストパタン
生成方法において、前記データ変換ライブラリを参照し
ながら前記共通パタンを変換する際に、前記共通周辺バ
ス仕様の共通パタンを外部端子仕様のテストパタンへ変
換することを特徴とする。
【0009】請求項6に記載の発明は、請求項1〜請求
項5のいずれかの項に記載の半導体装置のテストパタン
生成方法において、前記製品用テストパタンを生成する
際に、製品固有の機能パラメータをも参照して生成する
ことを特徴とする。請求項7に記載の発明は、請求項1
〜請求項6のいずれかの項に記載の半導体装置のテスト
パタン生成方法において、前記製品固有の機能パラメー
タを参照して前記製品用マクロテストパタンを生成する
際に、前記共通パタンに含まれるアドレスを製品仕様の
アドレスに変換することを特徴とする。
【0010】請求項8に記載の発明は、請求項1〜請求
項7のいずれかの項に記載の半導体装置のテストパタン
生成方法において、前記製品固有の機能パラメータを参
照して前記製品用マクロテストパタンを生成する際に、
前記共通パタンに含まれる端子情報を製品仕様の端子情
報に変換することを特徴とする。
【0011】請求項9に記載の発明は、1チップに制御
回路ブロックと、該制御回路ブロックに接続された回路
ブロックとを有する半導体装置の前記回路ブロックの動
作をテストするためのテストパタンを生成するテストパ
タン生成装置であって、前記制御回路ブロックの特性に
対応するデータ変換ライブラリを参照しながら、前記回
路ブロックのテストのための共通パタンを変換して製品
用テストパタンを生成するテストパタン生成手段を有す
ることを特徴とする半導体装置のテストパタン生成装置
である。
【0012】請求項10に記載の発明は、1つのチップ
に、中央処理装置と該中央処理装置に接続された少なく
とも1つの回路ブロックとを有する半導体装置の前記回
路ブロックの動作をテストするテストパタンを生成する
テストパタン生成装置であって、前記中央処理装置の特
性に対応するデータ変換ライブラリを参照しながら、前
記回路ブロックのテストのための共通パタンを変換して
製品用テストパタンを生成するテストパタン生成手段を
有することを特徴とする半導体装置のテストパタン生成
装置である。
【0013】請求項11に記載の発明は、請求項9また
は請求項10に記載の半導体装置のテストパタン生成装
置において、前記テストパタン生成手段は、前記データ
変換ライブラリを参照しながら前記共通パタンを変換す
る際に、前記共通周辺バス仕様のテストパタンを外部端
子仕様のテストパタンへ変換することを特徴とする。請
求項12に記載の発明は、請求項9〜請求項11のいず
れかの項に記載の半導体装置のテストパタン生成装置に
おいて、前記テストパタン生成手段は、前記製品用テス
トパタンを生成する際に、製品固有の機能パラメータを
も参照して生成することを特徴とする。
【0014】請求項13に記載の発明は、請求項1〜請
求項8に記載の半導体装置のテストパタン生成方法によ
って生成したテストパタンを被試験半導体装置の所定の
テスト端子へ印加して前記被試験半導体装置内の回路ブ
ロックのテストを行うことを特徴とする半導体装置のテ
スト方法である。請求項14に記載の発明は、請求項1
〜請求項8に記載の半導体装置のテストパタン生成方法
によって生成したテストパタンを被試験半導体装置内の
制御回路ブロックまたは中央処理装置へ印加して前記被
試験半導体装置内の回路ブロックのテストを行うことを
特徴とする半導体装置のテスト方法である。
【0015】請求項15に記載の発明は、請求項1〜請
求項8に記載の半導体装置のテストパタン生成方法によ
って生成したテストパタンが印加されるテスト端子と、
前記テスト端子へ印加されたテストパタンをチップ内部
の制御回路ブロックまたは中央処理装置に応じた仕様で
変換する変換手段とを具備し、前記変換手段の出力をテ
スト用データとして被試験回路ブロックへ供給すること
を特徴とする半導体装置のテスト回路である。
【0016】請求項16に記載の発明は、請求項1〜請
求項8に記載の半導体装置のテストパタン生成方法によ
って生成したテストパタンが印加される端子と、前記端
子へ印加されたテストパタンをテスト用データに変換す
る制御回路ブロックまたは中央処理装置とを具備し、前
記テスト用データが被試験回路ブロックへ供給されるこ
とを特徴とする半導体装置のテスト回路である。
【0017】
【発明の実施の形態】図1は、この発明の一実施の形態
によるテストパタン生成装置の構成を示すブロック図で
あり、図2は同テストパタン生成装置で生成されたテス
トパタンが適用される1チップマイクロコンピュータの
構成例を示すブロック図である。最初に、1チップマイ
クロコンピュータの構成を説明する。図2において、符
号1はCPU、2はテスト回路である。このテスト回路
2は、CPU1を通さずに周辺マクロ6〜8のテストを
行うためのもので、テストデータ端子TDへ印加される
テストデータをコード変換してバスブリッジ3へ出力
し、また、バスブリッジ3からのデータをコード変換し
てテストデータ端子TDへ出力する。このテスト回路2
の構成は、CPU1のシリーズによって異なり、また、
テストに使用できる端子数によっても異なる。
【0018】バスブリッジ3は、CPU1のシステムバ
ス4と周辺バス5とを接続するための回路である。すな
わち、CPU1のシステムバス4は非常に高速であり、
一方、周辺バス5は低速バスである。また、システムバ
ス4のビット数と周辺バス5のビット数は異なっている
場合が多い。バスブリッジ3はこれらのバス間の特性の
相違を調整するためのものである。また、このバスブリ
ッジ3は、テスト回路2の出力と周辺バス5との間を同
様に調整する。
【0019】周辺バス5は、アドレスバス、コントロー
ルバス、データバスによって構成されている。周辺マク
ロ6〜8は、例えば、表示制御用のマクロ、通信制御用
のマクロ、タイママクロであり、CPU1から出力され
るアドレスAD、コントロールC、データDによって制
御される。デコーダ11〜13は各々、アドレスADの
上位ビットをデコードして周辺マクロ6〜8のチップセ
レクト端子CSへ出力する。
【0020】次に、上述した周辺マクロ6〜8のテスト
のため、テストデータ端子TDへ印加すべきテストパタ
ンについて説明する。いま、テストデータ端子TDのビ
ット数を8、テスト回路2の出力ビット数(=システム
バス4のビット数)を32、周辺バス5のアドレスバス
のビット数を16、コントロールバスのビット数および
データバスのビット数を各々8とする。
【0021】この場合において、テストのために周辺バ
ス5へ与えるべきアドレスAD、コントロールC、デー
タDを各々、例えば、 AD C D 5500H 0BH 06H ・・・データA (Hは16進数を示し、「0BH」はライト命令である
ことを示す。)とすれば、テスト回路2は、 FFFF5500H 0BH 00000006H ・・・データB なるデータをバスブリッジ3へ出力することが必要とな
る。そして、このデータBをテスト回路2が出力するた
めには、テストデータ端子TDへ、 FFH FFH 55H 00H 0AH 00H 00H 00H 06H ・・・データC なるデータを与えることが必要となる。なお、「0A
H」はシングルバイトライト命令を示す。すなわち、予
め上記データCを製品用マクロテストパタンとして用意
し、このデータCをテストデータ端子TDへ印加すれ
ば、このデータCがテスト回路2においてデータBに変
換され、さらに、バスブリッジ3においてデータAに変
換され、周辺バス5へ印加される。
【0022】上述したように、図2に示す1チップマイ
コンの場合、周辺バス5へ上記テストデータAを印加す
るためには、テストデータ端子TDへ上記データCを印
加することが必要である。
【0023】次に、周辺マクロ6〜8は同じで、CPU
1としてシリーズが異なるCPUを搭載したチップの場
合、テスト回路2、バスブリッジ3が図2のものとは異
なり、この結果、テストデータ端子TDへ印加すべきテ
ストパタンも異なるパタンとなる。また、CPUのシリ
ーズが同じでも、チップの構成が異なる場合、例えば、
図2の回路にさらに別の回路が追加されており、このた
め、外部端子の割り当てが異なる場合、あるいはテスト
データ端子が4ビットしか使えない場合等においても、
データAを周辺バス5へ印加するためのテストデータ端
子TDへ印加するテストパタンは上記データCとは異な
ってくる。
【0024】このように、周辺マクロのテストパタン
は、テストすべき周辺マクロが同じであっても、CPU
のシリーズによって、また、個々の製品によって異なっ
てくる。この点を考慮して構成されたものが図1に示す
テストパターン生成装置である。すなわち、図1におい
て、21はマクロ共通テストパタンが書き込まれる記憶
部である。ここで、マクロ共通テストパタンとは、周辺
バス5へ印加されるテストパタン(上述したデータA)
であり、CPUのシリーズあるいは製品毎の外部端子の
違い等に影響されない、被テストマクロのみによって決
まるパタンである。22はCPUシリーズ用変換ライブ
ラリが予め記憶される記憶部である。この場合、CPU
シリーズ用変換ライブラリとは、上述したマクロ共通テ
ストパタンをCPUのシリーズに応じて変換するための
データである。CPUのシリーズによる相違点には、例
えば、 ビット数(8ビット、16ビット、32ビット) 命令コード 信号の並び順(コントロール−アドレス−データ) がある。CPUシリーズ用変換ライブラリには、これら
の相違点がシリーズ名に対応して記録されている。
【0025】23は製品用パラメータファイルが記憶さ
れた記憶部である。ここで、製品用パラメータファイル
とは、上述したマクロ共通テストパタンを製品の型番に
応じて変換するためのデータである。製品の型番による
相違点には、例えば、 端子割り当て CS(チップセレクト)アドレス がある。製品用パラメータファイルには、これらの相違
点が型番に対応して記録されている。
【0026】25はキーボード等の操作部であり、この
操作部によって操作者がCPUのシリーズ名、製品の型
番等を入力する。26はテストパタンコンバータであ
る。このテストパタンコンバータ26は、操作部25か
ら入力されたCPUシリーズ名に基づいて記憶部22の
CPUシリーズ用変換ライブラリから変換用データを読
み出し、また、操作部25から入力された型番に基づい
て、記憶部23の製品用パラメータファイルから変換用
データを読み出す。次に、マクロ共通テストパタンを記
憶部21から順次読み出し、読み出したパタンを、上述
した変換用データによって変換する。例えば、前述した
データAがマクロ共通パタンとして読み出された場合、
変換用データが、「CPU=32ビット」、「テストデ
ータ端子=8ビット」を指示していることから、このデ
ータをデータCに変換する。次いで、この変換後のデー
タに端子情報、入出力情報、MASK/CARE情報等
を付加して製品用マクロテストパタンを作成し、記憶部
27に書き込む。
【0027】このようにして、製品用マクロテストパタ
ンが作成される。このテストパタンを被テストチップの
テストデータ端子TD(図2参照)へ順次印加すること
により、周辺マクロ6〜8のテストを行うことができ
る。なお、図1において、記憶部21〜23は、図では
別々の記憶部として描いているが、これらを1個の記憶
部によって兼用させてよいことは勿論である。
【0028】上述した実施の形態においては、チップの
構成を、テストデータ端子TDを別途テスト用に設ける
と共にテスト回路2を設け、テスト回路2の出力をバス
ブリッジ3に入力するようにしているが、製品によって
は、テストデータ端子、テスト回路を設けず、CPUを
通して周辺マクロのテストを行うものもある。図3は、
この場合の1チップマイクロコンピュータの構成例を示
すブロック図であり、この図において、図2の各部と対
応する部分には同一の符号が付してある。そして、この
場合にも、図1に示すテストパタン生成装置を用いて作
成したテストパタンを適用することができる。すなわ
ち、この回路の場合、記憶部21のマクロ共通テストパ
タ1は、CPU1のプログラム(アセンブラコード)と
なり、テストパタンコンバータ26は、このプログラム
をCPUシリーズ用変換ライブラリおよび製品用パラメ
ータファイルにしたがって変換して製品用マクロテスト
パタンを生成する。
【0029】また、図4に示すように、テスト回路2a
の出力端をCPU1のシステムバス4に接続する構成の
チップも作成されており、この場合においても、図1の
テストパタン生成装置を用いてマクロテストパタンを生
成することができる。この場合、マクロ共通テストパタ
ンは、テストのためシステムバス5へ印加すべきパタン
となり、図1のテストパタンコンバータ26は、このパ
タンをCPUシリーズ用変換ライブラリおよび製品用パ
ラメータファイルにしたがって変換して製品用マクロテ
ストパタンを生成する。
【0030】また、製品によっては、同じ図4に示すよ
うに、周辺マクロ6〜8がテスト入力端子TIおよびテ
スト出力端子TOを有しており、これらの端子が共通接
続されて外部テスト入力端子GI1,GI2、外部テス
ト出力端子GO1,GO2にそれぞれ接続されているも
のがある。この場合、記憶部21のマクロ共通テストパ
タンには、外部テスト入力端子GI1,GI2へ印加す
るテストデータが含まれ、また、このテストデータを外
部テスト入力端子GN1,GN2へ印加するタイミング
がCPUシリーズ用変換ライブラリ22および製品用パ
ラメータファイルによって変換される。
【0031】なお、上記実施の形態においては、チップ
がCPU1を搭載していたが、この発明は、CPUを搭
載していない半導体装置にも適用することができる。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、制御回路ブロックまたはCPUの特性に対応するデ
ータ変換ライブラリを予め用意し、該ライブラリを参照
しながら共通パタンを変換して製品用テストパタンを生
成するので、CPUのシリーズ毎にテストパタンを作成
しなおす必要がなく、この結果、テストパタン作成の手
間および時間を大幅に削減することができる効果が得ら
れる。また、製品固有の機能パラメータをも参照しなが
ら製品用テストパタンを生成すれば、テストパタン生成
に際し、製品毎の違いをも考慮する必要がなく、これに
より、テストパタン生成の効率をさらに上げることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施形態によるテストパタン生
成装置の構成を示すブロック図である。
【図2】 同実施形態によるテストパタン生成装置によ
って生成されたテストパタンが適用される半導体装置の
第1の構成例を示すブロック図である。
【図3】 同実施形態によるテストパタン生成装置によ
って生成されたテストパタンが適用される半導体装置の
第2の構成例を示すブロック図である。
【図4】 同実施形態によるテストパタン生成装置によ
って生成されたテストパタンが適用される半導体装置の
第3の構成例を示すブロック図である。
【符号の説明】
1…CPU、2,2a…テスト回路、3…バスブリッ
ジ、4…システムバス、5…周辺バス、6〜8周辺マク
ロ、21,22,23,27…記憶部、25…操作部、
26…テストパタンコンバータ。

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 1チップに制御回路ブロックと、該制御
    回路ブロックに接続された回路ブロックとを有する半導
    体装置の前記回路ブロックの動作をテストするためのテ
    ストパタンを生成するテストパタン生成方法であって、 前記制御回路ブロックの特性に対応するデータ変換ライ
    ブラリを参照しながら、前記回路ブロックのテストのた
    めの共通パタンを変換して製品用テストパタンを生成す
    ることを特徴とする半導体装置のテストパタン生成方
    法。
  2. 【請求項2】 前記半導体装置は前記制御回路ブロック
    以外に1または複数の回路ブロックを有し、前記各回路
    ブロックが共通周辺バスを介して前記制御回路ブロック
    に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半
    導体装置のテストパタン生成方法。
  3. 【請求項3】 1つのチップに、中央処理装置と該中央
    処理装置に接続された少なくとも1つの回路ブロックと
    を有する半導体装置の、前記回路ブロックの動作をテス
    トするテストパタンを生成するテストパタン生成方法で
    あって、前記中央処理装置の特性に対応するデータ変換
    ライブラリを参照しながら、前記回路ブロックのテスト
    のための共通パタンを変換して製品用テストパタンを生
    成することを特徴とする半導体装置のテストパタン生成
    方法。
  4. 【請求項4】 前記半導体装置は共通周辺バスを有し、
    前記回路ブロックが前記共通周辺バスを介して前記中央
    処理装置に接続されていることを特徴とする請求項3に
    記載の半導体装置のテストパタン生成方法。
  5. 【請求項5】 前記データ変換ライブラリを参照しなが
    ら前記共通パタンを変換する際に、前記共通周辺バス仕
    様の共通パタンを外部端子仕様のテストパタンへ変換す
    ることを特徴とする請求項2または請求項4に記載の半
    導体装置のテストパタン生成方法。
  6. 【請求項6】 前記製品用テストパタンを生成する際
    に、製品固有の機能パラメータをも参照して生成するこ
    とを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかの項に記
    載の半導体装置のテストパタン生成方法。
  7. 【請求項7】 前記製品固有の機能パラメータを参照し
    て前記製品用マクロテストパタンを生成する際に、前記
    共通パタンに含まれるアドレスを製品仕様のアドレスに
    変換することを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれ
    かの項に記載の半導体装置のテストパタン生成方法。
  8. 【請求項8】 前記製品固有の機能パラメータを参照し
    て前記製品用マクロテストパタンを生成する際に、前記
    共通パタンに含まれる端子情報を製品仕様の端子情報に
    変換することを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれ
    かの項に記載の半導体装置のテストパタン生成方法。
  9. 【請求項9】 1チップに制御回路ブロックと、該制御
    回路ブロックに接続された回路ブロックとを有する半導
    体装置の前記回路ブロックの動作をテストするためのテ
    ストパタンを生成するテストパタン生成装置であって、
    前記制御回路ブロックの特性に対応するデータ変換ライ
    ブラリを参照しながら、前記回路ブロックのテストのた
    めの共通パタンを変換して製品用テストパタンを生成す
    るテストパタン生成手段を有することを特徴とする半導
    体装置のテストパタン生成装置。
  10. 【請求項10】 1つのチップに、中央処理装置と該中
    央処理装置に接続された少なくとも1つの回路ブロック
    とを有する半導体装置の前記回路ブロックの動作をテス
    トするテストパタンを生成するテストパタン生成装置で
    あって、前記中央処理装置の特性に対応するデータ変換
    ライブラリを参照しながら、前記回路ブロックのテスト
    のための共通パタンを変換して製品用テストパタンを生
    成するテストパタン生成手段を有することを特徴とする
    半導体装置のテストパタン生成装置。
  11. 【請求項11】 前記テストパタン生成手段は、前記デ
    ータ変換ライブラリを参照しながら前記共通パタンを変
    換する際に、前記共通周辺バス仕様のテストパタンを外
    部端子仕様のテストパタンへ変換することを特徴とする
    請求項9または請求項10に記載の半導体装置のテスト
    パタン生成装置。
  12. 【請求項12】 前記テストパタン生成手段は、前記製
    品用テストパタンを生成する際に、製品固有の機能パラ
    メータをも参照して生成することを特徴とする請求項9
    〜請求項11のいずれかの項に記載の半導体装置のテス
    トパタン生成装置。
  13. 【請求項13】 請求項1〜請求項8に記載の半導体装
    置のテストパタン生成方法によって生成したテストパタ
    ンを被試験半導体装置の所定のテスト端子へ印加して前
    記被試験半導体装置内の回路ブロックのテストを行うこ
    とを特徴とする半導体装置のテスト方法。
  14. 【請求項14】 請求項1〜請求項8に記載の半導体装
    置のテストパタン生成方法によって生成したテストパタ
    ンを被試験半導体装置内の制御回路ブロックまたは中央
    処理装置へ印加して前記被試験半導体装置内の回路ブロ
    ックのテストを行うことを特徴とする半導体装置のテス
    ト方法。
  15. 【請求項15】 請求項1〜請求項8に記載の半導体装
    置のテストパタン生成方法によって生成したテストパタ
    ンが印加されるテスト端子と、前記テスト端子へ印加さ
    れたテストパタンをチップ内部の制御回路ブロックまた
    は中央処理装置に応じた仕様で変換する変換手段と、 を具備し、前記変換手段の出力をテスト用データとして
    被試験回路ブロックへ供給することを特徴とする半導体
    装置のテスト回路。
  16. 【請求項16】 請求項1〜請求項8に記載の半導体装
    置のテストパタン生成方法によって生成したテストパタ
    ンが印加される端子と、 前記端子へ印加されたテストパタンをテスト用データに
    変換する制御回路ブロックまたは中央処理装置と、 を具備し、前記テスト用データが被試験回路ブロックへ
    供給されることを特徴とする半導体装置のテスト回路。
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