JP2000340728A - ヒートシンクおよびその製造方法 - Google Patents

ヒートシンクおよびその製造方法

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JP2000340728A JP14726999A JP14726999A JP2000340728A JP 2000340728 A JP2000340728 A JP 2000340728A JP 14726999 A JP14726999 A JP 14726999A JP 14726999 A JP14726999 A JP 14726999A JP 2000340728 A JP2000340728 A JP 2000340728A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 漏水に対する信頼性が高く、かつ製造コスト
が安価で、高性能のヒートシンク、およびその製造方法
を提供する。 【解決手段】 冷却水が流れる流路を構成するパイプ2
7を中子として使用して、パイプ27の周りにダイキャ
スト成形によりヒートシンク本体26を一体成形し、さ
らにパイプ27の端部に継手としてニップル30を接合
してヒートシンクを構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば大型回転
機の回転制御に使用されるゲートターンオフサイリスタ
(GTO)等の半導体素子や抵抗体を冷却する冷却装置
の部品であるヒートシンク、およびその製造方法に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】まず、冷却装置の役割を図を用いて説明
する。図18は例えば大型回転機の回転数制御に用いら
れるゲートターンオフサイリスタの主回路部(サイリス
タ)と水冷抵抗器の構成、及び冷却水循環系統を模式的
に示す構成図である。図において、1は半導体で形成さ
れた半導体素子、2は半導体素子1に圧接された陽極、
3は陽極2と対抗する側に圧接された陰極、4はセラミ
ックスで形成された絶縁碍子、5は半導体素子1からの
発熱を冷却する主回路用ヒートシンク、6はボルト、7
はナット、8は主回路締付用上板、9は主回路締付用下
板、10はフッ素樹脂(ポリテトラフルオロエチレン:
商品名 テフロン)よりなるチューブである。
【0003】半導体素子1は陽極2及び陰極3を介して
主回路用ヒートシンク5に挟まれて積層され、さらに主
回路締付用上板8と主回路締付用下板9により挟まれて
ボルト6及びナット7によって締め付けることで軸方向
に圧力が加えられ、主回路用ヒートシンク5と陽極2及
び陰極3との表面の間で生じる接触熱抵抗を低減させて
いる。
【0004】また、11〜14は水冷抵抗器部であり、
11は抵抗用ヒートシンク、12は金属製の抵抗体、1
3は抵抗締付用上板、14は抵抗締付用下板である。水
冷抵抗器部は上記主回路部と同様に抵抗体12と抵抗用
ヒートシンク11を交互に挟んでボルト6及びナット7
により締め付けることで軸方向に圧力を加えスタック
(積層)構造としている。
【0005】この他図示は省略するが本装置内の半導体
素子として回路内に電流が逆流した際これを迂回させて
他の回路の破壊を防止する回生回路があり、同様にヒー
トシンクが回生回路用半導体素子を挟んで圧接するスタ
ック構造の抵抗器を構成している。このようにヒートシ
ンクは素子および抵抗器の発熱による破壊を防止するこ
とを目的として設置されている。
【0006】次に動作について説明する。冷却水が流入
口より主回路用ヒートシンク5に流入すると、冷却水は
スタック構造内の他の主回路用ヒートシンク5を通過し
て半導体素子1からの発熱を奪った後、チューブ10を
介して抵抗器の抵抗用ヒートシンク11へ流入する。抵
抗器では主回路と同様に、他の抵抗用ヒートシンク11
を通過し、抵抗体からの発熱を奪って流出する。
【0007】次に従来のヒートシンクの構造について説
明する。図19は、特願平9−239681号明細書に
より発明者らが提案した従来のヒートシンクの構造を分
解して示す図である。図において、100はヒートシン
ク本体、15はアルミブレージングシートからなる上
板、16は同じくアルミブレージングシートからなる下
板、17は冷媒流路、18は冷媒流路17が形成された
アルミブレージングシートからなる流路板である。上板
15,下板16、および複数枚積層した流路板18によ
りヒートシンク本体100を構成している。19は冷媒
出入口である。
【0008】次に上記のような従来のヒートシンクの製
造方法について説明する。図20は従来のヒートシンク
の構造および製造方法を示す図であり、図において、2
0は配管継手、21は配管側嵌合部、22は配管嵌合
部、23はねじ、24は継手用ナット、25は配管であ
る。まず、図20に示すように、接合される側にろう材
がクラッドされているアルミブレージングシ−トを、タ
ーレットパンチプレスなどにより打ち抜き加工して冷媒
流路17および冷媒出入口19を形成した流路板18を
作成する。次に、この流路板18を複数枚積層し、さら
にこの積層体の蓋となるように上板15、下板16を重
ねる。次に、上記アルミブレージングシートのろう材と
同じ成分の線状ろう材を配管継手20の外周に巻いて、
配管側嵌合部21を冷媒出入口19に挿入する。この冷
媒出入口19は、あらかじめ打ち抜き加工により冷媒出
入口19が形成されたアルミブレージングシートの積層
により出現するので、おのずと四角形状となる。従っ
て、冷媒出入口19に挿入、嵌合される配管側嵌合部2
1も四角形状となる。また、配管継手20の材料は、ア
ルミニウムより硬度が高く、冷媒である冷却水に対して
耐食性を有するオーステナイト系ステンレス鋼(例えば
SUS304など)を用いる。
【0009】このようにして、上板15、下板16、流
路板18、配管継手20を仮組立した後、雰囲気炉など
を用いて、窒素ガス雰囲気中で600℃まで昇温し、一
括してろう付を行う。ここで、ろう材に混入するフラッ
クスは、KAlF4やK3AlF6の化合物を主成分とし
た非腐食性のフッ化物系フラックスを用いる。
【0010】さらに、配管継手20と配管25との接続
は、配管嵌合部22に配管25を挿入し、嵌合して、ね
じ部23に適合する継手用ナット24で締め付けて行
う。また、配管25の先端部を塑性変形させることで、
水密性を保つことができる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】従来のヒートシンクは
以上のように構成されているので、接合部が多く、一ヶ
所でも接合部に欠陥があると冷却水が高電圧部に漏れ、
致命的な事故につながる可能性があるため、検査工程で
高圧をかけ、長時間水没させて検査する必要があり、検
査コストが高くなるという問題点があった。また、継手
を同時にろう付するため、継手の位置決めを治具によっ
て行わねばならず、仮組時間が長くかかり、ろう付もN
2雰囲気のトンネル炉を使用しているため、ろう付完了
までの時間が長くかかり、スループットが長くなるとい
う問題点があった。一方、上記のようなヒートシンクの
製造方法に比べ接合部の少ない製造方法として、砂型を
用い、パイプを中に入れて砂型内にアルミニウムを流し
込む通常の鋳造方法が考えられる。しかしながら、この
ような方法でヒートシンクを製造した場合には、ヒート
シンク本体となるアルミニウムに「鬆」が多く発生し、
そのためアルミニウムとパイプとの密着性が充分でな
く、ヒートシンクとしての性能が発揮できないという問
題がある。また、金型を用い、パイプを中に入れて金型
内に高速・高圧で溶融したアルミニウムを流し込む製造
方法(ダイキャスト成形)も考えられるが、このような
方法でヒートシンクを製造した場合には、パイプがつぶ
れたり、変形してしまうことが多く、所望の流路形状を
有するヒートシンクが効率よく得られないという問題が
ある。
【0012】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、漏水に対する信頼性が高く、か
つ製造コストが安価で、高性能のヒートシンクを提供す
ることを目的としている。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の構成によ
るヒートシンクは、冷却水が流れる流路を構成するパイ
プ、このパイプの周りに上記パイプと一体成形されたヒ
ートシンク本体、および上記パイプの端部に継手として
接合されたニップルを備えたものである。
【0014】また、本発明の第1の方法によるヒートシ
ンクの製造方法は、冷却水が流れる流路をパイプで構成
し、上記パイプの端部に継手となるニップルを接合した
後に、上記パイプと上記ニップルを中子にして、上記パ
イプの周りにダイキャスト成形によりヒートシンク本体
を一体成形するものである。
【0015】また、本発明の第2の方法によるヒートシ
ンクの製造方法は、冷却水が流れる流路をパイプで構成
し、上記パイプを中子にし、ダイキャスト成形時に加熱
されたパイプ材の熱膨張を吸収する熱吸収手段を備えた
ホルダーに上記パイプを固定して、上記パイプの周りに
ダイキャスト成形によりヒートシンク本体を一体成形す
るものである。
【0016】また、本発明の第3の方法によるヒートシ
ンクの製造方法は、第2の方法において、熱吸収手段が
バネ機構であるものである。
【0017】また、本発明の第4の方法によるヒートシ
ンクの製造方法は、冷却水が流れる流路をパイプで構成
し、上記パイプを中子にし、ダイキャスト金型内へ溶融
したヒートシンク本体材料を流入する際に、上記ヒート
シンク本体材料の主流が上記パイプとぶつからないよう
にして、上記パイプの周りにダイキャスト成形によりヒ
ートシンク本体を一体成形するものである。
【0018】また、本発明の第5の方法によるヒートシ
ンクの製造方法は、第1ないし第4のいずれかの方法に
おいて、ダイキャスト成形時にパイプの傾きを固定する
ものである。
【0019】また、本発明の第6の方法によるヒートシ
ンクの製造方法は、第1ないし第4のいずれかの方法に
おいて、ダイキャスト金型にパイプの傾きを抑えるスペ
ーサを設け、上記スペーサごと鋳込んでヒートシンク本
体を一体成形したものである。
【0020】また、本発明の第7の方法によるヒートシ
ンクの製造方法は、第1ないし第6のいずれかの方法に
おいて、パイプがステンレス鋼またはアルミニウムで構
成されているものである。
【0021】また、本発明の第8の方法によるヒートシ
ンクの製造方法は、第1ないし第7のいずれかの方法に
おいて、パイプの外周面に、ダイキャスト成形時にヒー
トシンク本体材料と反応するメッキを行ったものであ
る。
【0022】
【発明の実施の形態】実施の形態1.以下、本発明の実
施の形態1を説明する。図1はこの発明の実施の形態1
による大型回転機の回転数制御に用いられる水冷抵抗器
用のヒートシンクを示す図である。図において、26は
アルミニウムによりダイキャスト成形されたヒートシン
ク本体、27は流路となるパイプ、30はパイプ27の
端部に継手として接合されたニップルであり、流路とな
るフッ素樹脂(ポリテトラフルオロエチレン:商品名
テフロン)よりなるチューブ(図示せず)に接続され
る。
【0023】次に、上記ヒートシンクの製造方法を説明
する。図2に示すように、パイプ27を流路形状に対応
するように曲げておく。この場合、本実施の形態ではパ
イプ材にステンレス鋼(SUS304)または純アルミ
ニウム材(A1100)を用い、外径12mm、肉厚
1.0〜1.6mmのものを使用している。次に、図2
(a)に示すように、パイプ27の両端に、パイプ27
内に溶融したアルミニウムが流れ込まないためのホルダ
ー50を差し込み、これらを図2(b)に示すように、
ダイキャスト固定金型81内に中子として入れ、同様な
形状の可動金型82(図3参照)で型を閉じて、図3に
示すように、溶融したアルミニウム(本実施の形態では
ADC12)を高速・高圧でダイキャスト金型内80に
流し込む。ここで、図3はダイキャスト金型80を側面
方向から見た断面図であり、図2(b)において、矢印
A方向より見た、B−B線での断面図である。81は固
定金型、82は可動金型、27はパイプ、50はホルダ
ーである。この時、パイプ27はホルダー50を介して
ダイキャスト金型80に保持され、パイプ27の内部に
溶融したアルミ溶湯が流入する前に、ホルダー50部分
で流れ込んだアルミ溶湯が凝固し、パイプ内部をアルミ
溶湯で塞ぐ不良は発生しない。これによって図4に示す
ような形状で、パイプ27がアルミニウムのヒートシン
ク本体26に鋳込まれたヒートシンクができあがる。次
に、図1に示すような継手となるニップル30を接合す
る。ニップル30は、本実施の形態ではオーステナイト
系ステンレス鋼(例えばSUS303やSUS304)
または鉄系の材料を用いている。ニップル30の接合後
に、両面をフライスなどにより仕上げ加工を行い、図1
に示す水冷抵抗器用ヒートシンクとして完成させる。
【0024】動作としては、冷却水が流れるチューブ
(図示せず)を、ニップル30に接続し、冷却水がパイ
プ27内を流れ、熱伝達と熱伝導によりヒートシンク本
体26の両面に挟み込まれた抵抗体(図示せず)を冷却
する。冷却により加熱された冷却水は他方のニップル3
0よりチューブを介して流出する。
【0025】以上のように本実施の形態によれば、流路
が完全に独立しているので、ニップルとパイプとの接合
部の漏れだけを検査すればよい。また、パイプとヒート
シンク本体とを一体成形する高効率な加工法であるダイ
キャスト成形を行うため、組立が不要になり、従来のろ
う付タイプに比べて著しく加工時間を短縮できる。ま
た、ホルダーを用いてダイキャスト成形を行うため、パ
イプ内部をアルミ溶湯で塞ぐ不良が発生しない。
【0026】実施の形態2.実施の形態1では、図2
(a)に示すようにパイプ27をホルダー50を介し
て、ダイキャスト固定金型81に固定したが、パイプ2
7内に溶融したアルミニウムが流れ込まないように、固
定金型81と可動金型82との隙間が十分に管理でき、
さらにパイプ部に金型割り面のバリが出るのが問題ない
ようであれば、図5に示すように、パイプ27を直接ダ
イキャスト固定金型83に固定してもよい。
【0027】実施の形態3.次に本発明の実施の形態3
を説明する。図6は本発明の実施の形態3に係わるパイ
プを示す図である。本実施の形態では最終的にヒートシ
ンクとなった状態では、実施の形態1および実施の形態
2と外観上は同じであるが、製造方法が異なる。図6
(a)に示すように、継手となるニップル30を、流路
となるパイプ27に、あらかじめ溶接やろう付などで接
合しておき、図6(b)の状態に仕上げておく。このよ
うにしてダイキャスト成形前に流路を完成させておき、
次に、ニップル30のネジ部にホルダー(図示せず)を
取り付け、実施の形態1と同様にして、上記パイプ2
7、ニップル30およびホルダーをダイキャスト金型内
に中子として入れ、溶融したアルミニウム(本実施の形
態ではADC12)を高速・高圧で流し込む。これによ
って図1に示すように、ニップル30が接合された状態
のパイプ27がアルミニウムよりなるヒートシンク本体
26に鋳込まれた構成のヒートシンクができあがる。
【0028】このように、本実施の形態3によれば、ニ
ップル30を先に接合するので、パイプ20とニップル
30を接合した段階で漏れ試験を実施でき、この段階で
漏れが発生したものを除けば、ダイキャスト成形後にで
きてくるヒートシンクの歩留まりは、100%に近くな
る。また、ダイキャスト成形後にニップル30を接合す
る場合に比べて、漏れが起こったときに無駄にする材料
も少なくて済むので、歩留まりが向上する。
【0029】なお、本実施の形態では、ニップル30の
ネジ部にホルダーを取り付けたものを示したが、実施の
形態2と同様に、固定金型と可動金型との隙間が十分に
管理できれば、ホルダーはなくてもよい。
【0030】実施の形態4.次に本発明の実施の形態4
を説明する。図7は本発明の実施の形態4によるヒート
シンクの製造方法を説明する図であり、ダイキャスト金
型にパイプ28を中子として入れ、鋳込む時のパイプ周
辺の構造を示す図である。図において、28はステンレ
ス鋼、例えばSUS304からなる材料で構成され、曲
げ加工が施されたパイプ、50はこのパイプ28を中子
として使用してダイキャスト成形する際に、ダイキャス
ト金型内でパイプ28を固定するホルダーであり、この
ホルダー50は金型材(SKD)と同じぐらいの線膨張
係数からなる材料(本実施の形態ではSKD11)で作
られている。60はこのホルダー50内に設けられるス
プリングワッシャーであり、ダイキャスト成形時に加熱
されたパイプ28材の熱膨張を吸収するバネ機構の働き
をする。70はホルダー50の隙間から流れ込んだ溶湯
アルミが、パイプ28内部に侵入しないようにするため
の仕切り板である。この仕切り板70は、本実施の形態
では示しているが、パイプ28内に溶融したアルミニウ
ムが流れ込まなければ必ずしも必要でなく、省略しても
本質的な問題にはならない。
【0031】ダイキャスト成型時には、高温のアルミ溶
湯が金型内に注入され、中子となるパイプ28は高温の
アルミ溶湯にふれ、瞬時に熱くなる。一方、金型は大き
な熱容量を持つため瞬時に熱くなれず、パイプ28は膨
張して伸びるが、金型はほとんど伸びず、このときに、
パイプ28に大きな熱応力が発生する。スプリングワッ
シャー60がないと、上記熱応力により、パイプ28は
座屈して変形してしまう。本実施の形態のようにスプリ
ングワッシャー60があると、上記スプリングワッシャ
ー60の変位により、パイプの伸びを吸収し、パイプが
座屈して変形を起こさないようにできる。
【0032】本実施の形態では、ステンレス製パイプ2
8による例を示したが、アルミニウム製パイプでも同様
な作用をおよぼす。
【0033】このように、ダイキャスト成型時のパイプ
28の伸びを吸収するスプリングワッシャー60を設
け、このスプリングワッシャー60を納めて、パイプ2
8を保持できるホルダー50を設けることにより、パイ
プの座屈による変形が起こらないようにでき、所望の流
路形状を有するヒートシンクが得られる。
【0034】実施の形態5.次に本発明の実施の形態5
を説明する。図8は本発明の実施の形態5によるヒート
シンクの製造方法を説明する図であり、ダイキャスト金
型にパイプ28を中子として入れ、鋳込む時のパイプ周
辺の構造を示す図である。図において、28はステンレ
ス鋼で構成され、曲げ加工が施されたパイプ、50はこ
のパイプ28を中子として使用してダイキャスト成形す
る際に、ダイキャスト金型内でパイプ28を固定するホ
ルダーであり、このホルダー50は金型材(SKD)と
同じぐらいの線膨張係数からなる材料(本実施の形態で
はSKD11)で作られている。61はこのホルダー5
0内に設けられる弦巻バネであり、ダイキャスト成形時
に加熱されたパイプ28材の熱膨張を吸収するバネ機構
の働きをする。70はホルダー50の隙間から流れ込ん
だ溶湯アルミが、パイプ28内部に侵入しないようにす
るための仕切り板である。この仕切り板70は、本実施
の形態では示しているが、パイプ28内に溶融したアル
ミニウムが流れ込まなければ必ずしも必要でなく、省略
しても問題ない。
【0035】このような構成にしても、前述のスプリン
グワッシャ60を用いた時と同じ効果を発揮する。つま
り、ホルダー50内に内蔵される伸びを吸収する部品
は、バネ機構であれば、この他に皿バネでもよく、これ
を規定するものではない。
【0036】なお、上記実施の形態4、5においても、
実施の形態3と同様、ニップルを先にパイプに接合して
から、ニップル端部にスプリングワッシャー60または
弦巻バネを納めて、ニップルを保持できるホルダーを設
けるようにしてもよい。
【0037】実施の形態6.次に本発明の実施の形態6
を説明する。図9は本発明の実施の形態6によるヒート
シンクの製造方法を説明する図であり、ダイキャスト金
型にパイプ28を中子として入れ、鋳込む時のパイプ周
辺の構造を示す図である。図において、28はステンレ
ス鋼、例えばSUS304からなる材料で構成され、曲
げ加工が施されたパイプ、51はこのパイプ28を中子
として使用してダイキャスト成形する際に、ダイキャス
ト金型内でパイプ28を保持して固定するホルダーであ
り、このホルダーは耐熱性のある樹脂材(本実施の形態
ではポリサルフォン:PPS)で作られている。
【0038】ダイキャスト成型時には、高温のアルミ溶
湯が金型内に注入され、中子となるパイプ28は高温の
アルミ溶湯にふれ、瞬時に熱くなる。一方、金型は大き
な熱容量を持つため瞬時に熱くなれず、パイプ28は膨
張して伸びるが、金型はほとんど伸びず、このときに、
パイプ28に大きな熱応力が発生する。通常はこの熱応
力により、パイプ28は座屈して変形してしまうが、本
実施の形態ではホルダー51が耐熱性のある樹脂材で作
られているので、ホルダー51自身がある程度熱くなる
ことにより、軟化して変形し、この変形によりパイプ2
8の伸びを吸収するため、パイプ28が座屈して変形を
起こさない。
【0039】このように、ダイキャスト成型時のパイプ
28の熱による伸びを吸収するホルダーを設けることに
より、パイプの座屈による変形が起こらないようにで
き、所望の流路形状を有するヒートシンクが得られる。
【0040】なお、上記実施の形態6においても、実施
の形態3と同様、ニップルを先にパイプに接合してか
ら、熱膨張を吸収できる樹脂材で作られたホルダーによ
り、ニップルを保持するようにしてもよい。
【0041】実施の形態7.次に本発明の実施の形態7
を説明する。図10は本発明の実施の形態7によるヒー
トシンクの製造方法に係わるダイキャスト金型を側面方
向から見た断面図である。図において、84はダイキャ
スト固定金型、85はダイキャスト可動金型、86はダ
イキャスト金型、87は溶融したアルミニウムが流入す
るダイキャスト金型86のゲートであり、アルミニウム
の流入方向(射出方向)の延長線上にパイプが存在しな
いゲート形状となっている。ヒートシンクとなった状態
では、実施の形態1〜6と外観上は同じであるが、本実
施の形態では製造方法が異なる。
【0042】実施の形態5のヒートシンクの製造方法と
同様に、流路形状に対応するように曲げたパイプ28の
両端を各々弦巻バネ61とともにホルダー50内に差し
込み、これらを図10に示すようにダイキャスト固定金
型84内に中子として入れ、同様な形状の可動金型85
で型を閉じて、溶融したアルミニウム(本実施の形態で
はADC12)を高速・高圧でダイキャスト金型内86
に流し込む。この時、金型のゲート87をパイプ28に
直接アルミ溶湯の主流がぶつからない形状にしているた
め、アルミ溶湯の流速が早くてもパイプ28がアルミ溶
湯の流体慣性力により変形することがない。これによっ
て図4と同様の形状で、かつパイプが変形せずにアルミ
ニウムのヒートシンク本体に鋳込まれた、所望の流路形
状のヒートシンクが得られる。以下は、パイプの端部に
継手となるニップルを接合してヒートシンクを完成す
る。
【0043】以上のように、本実施の形態によれば、ゲ
ート流路形状を、溶融したアルミニウムの主流が直接パ
イプにぶつからないような形状にしたため、パイプが変
形することがなくなる。これによってヒートシンクの歩
留まりが向上する。
【0044】なお、本実施の形態では実施の形態5にお
いて示した製造方法に対して、さらにダイキャスト金型
のゲート流路形状を、溶融したアルミニウムの主流が直
接パイプにぶつからないようにしたが、実施の形態1〜
4、6において示した製造方法に対しても、同様のゲー
ト流路形状としてヒートシンクを製造してもよい。
【0045】実施の形態8.次に本発明の実施の形態8
を説明する。図11は本発明の実施の形態8によるヒー
トシンクの製造方法を説明する図であり、図において、
88はダイキャスト固定金型、89はダイキャスト可動
金型、90、91は傾き防止用の突起である。本実施の
形態におけるダイキャスト金型は、実施の形態7におい
て示したものと同様に、ゲート流路形状を、パイプに直
接アルミ溶湯の主流がぶつからない形状とし、さらにダ
イキャスト固定金型内にパイプの傾き防止用の突起が設
けられ、同様な形状の可動金型にも、傾き防止用の突起
が設けられており、このような金型を用いて、同様な方
法でヒートシンクを製造する。実施の形態7において
は、ゲート流路形状を、パイプに直接アルミ溶湯の主流
がぶつからない形状としているため、パイプが変形する
ことはないが、アルミ溶湯が斜めからパイプに沿って流
れるため、パイプが傾くおそれがあった。本実施の形態
では、図11に示すように、ダイキャスト金型内に傾き
防止用の突起90、91を設けたので、パイプ28が傾
くことなく、変形も防止できる。また、これにより、完
成したヒートシンクには、中心部に突起90、91に対
応した凹穴があくが、本実施の形態ではこれを、ヒート
シンクで挟み込む抵抗器(図示せず)の位置決め用の穴
として使用している。
【0046】以上のように、本実施の形態によれば、固
定金型88、および可動金型89内に、傾き防止用の突
起90、91を設けたため、パイプ28が傾くことはな
くなる。これによって上下面均等な熱特性のヒートシン
クが得られ、ヒートシンクの歩留まりが向上し、損失コ
ストを低減できる。また、ヒートシンクで挟み込む抵抗
器(図示せず)の位置決め用の穴加工が不要になり、加
工コストを削減できる。
【0047】なお、本実施の形態では実施の形態7にお
いて示したダイキャスト金型に対して、さらにダイキャ
スト金型内に傾き防止用の突起を設けたが、実施の形態
1〜6において用いるダイキャスト金型に対して、ダイ
キャスト金型内に本実施の形態と同様の傾き防止用の突
起を設けてもよい。
【0048】実施の形態9.次に本発明の実施の形態9
を説明する。図12は本発明の実施の形態9によるヒー
トシンクの製造方法を説明する図であり、図において、
92はパイプ固定用スペーサであり、例えばアルミニウ
ム材(本実施の形態ではA1100)からなる。本実施
の形態におけるダイキャスト金型は、実施の形態8にお
いて示したものと同様に、ダイキャスト金型内にパイプ
の傾き防止用の突起90、91が設けられ、さらに図1
2に示すように、ダイキャスト固定金型88内にパイプ
固定用スペーサ92が、固定金型内の突起90に固定し
て設けられている。ここでは図示していないが、可動金
型89にも、同様なスペーサが設けられており、このよ
うな金型を用い、スペーサ92ごと鋳込んで、ヒートシ
ンク本体とパイプとを一体成形する。実施の形態8にお
いては、金型内に突起90、91を設けても、ヒートシ
ンクの大きさによっては、パイプ28を支えるのに十分
でなく、傾く可能性があった。本実施の形態では、図1
2に示すように、ダイキャスト固定金型88内に設けら
れた突起90に、パイプ固定用スペーサ92を固定する
ようにしたので、大きなヒートシンクであっても、パイ
プ28が傾くことなく、変形も防止できる。
【0049】以上のように、本実施の形態によれば、固
定金型88、および可動金型89内に、傾き防止用のス
ペーサ92を設け、スペーサ92ごと鋳込むため、パイ
プ28が傾くことはなくなる。これによって上下面均等
な熱特性のヒートシンクが得られ、ヒートシンクの歩留
まりが向上し、損失コストを低減できる。
【0050】なお、本実施の形態では実施の形態8にお
いて示したダイキャスト金型に対して、さらにダイキャ
スト金型内にパイプ固定用スペーサを設けたが、実施の
形態1〜7において用いるダイキャスト金型に対して、
ダイキャスト金型内に本実施の形態と同様のパイプ固定
用スペーサを設けてもよい。
【0051】実施の形態10.次に本発明の実施の形態
10を説明する。図13は本発明の実施の形態10に係
わるヒートシンクを示す図である。図において、26は
アルミダイキャストで成形されたヒートシンク本体、2
8はステンレス鋼、例えばオーステナイト系ステンレス
鋼であるSUS304からなり、曲げ加工が施されたパ
イプ、31はオーステナイト系ステンレス鋼、例えば本
実施の形態ではSUS303からなるニップルである。
本実施の形態では、流路形状に対応するように曲げたパ
イプ材をダイキャスト金型内に中子として入れ、溶融し
たアルミニウム(本実施の形態ではADC12)を高速
・高圧で流し込み、パイプ28がアルミニウムのヒート
シンク本体26に鋳込まれたヒートシンク形状に成形し
た後、ニップル31を前記ヒートシンク本体26から飛
び出たパイプ部にTIG溶接により接合している。
【0052】本実施の形態では、パイプ28材にステン
レス鋼を用いることを特徴としており、従って本実施の
形態のパイプは熱伝導が悪いため、ニップル31をTI
G溶接する時に、パイプ28からヒートシンク本体26
への伝熱量が削減でき、アルミニウムのヒートシンク本
体26が溶融したり、変形することが防げる。また、本
実施の形態のパイプは剛性の高いステンレス鋼であるた
め、高速・高圧でアルミ溶湯が金型内に流入してもパイ
プの変形が起こり難い。また、継手となるニップル31
材と流路となるパイプ材28が同系素材のため、電食電
位差がなく、電食が起こりにくいため、耐腐食性のある
ものとなる。また、パイプ28素材、ニップル31素材
も耐食的に強い材料なため、使用中の冷却水による腐食
が防止でき、水漏れが回避できる。
【0053】実施の形態11.次に本発明の実施の形態
11を説明する。図14は本発明の実施の形態11によ
るヒートシンクを示す図である。図において、26はア
ルミダイキャストで成形されたヒートシンク本体、29
はアルミニウム材、例えばA1100からなる材料から
なり、曲げ加工が施されたパイプ、32は鉄系材料材、
例えば本実施の形態ではSKD11やSUS304から
なる材料でできたニップルである。このニップル32
は、ろう付時に位置決めがしやすいように、ニップル3
2の外周32aにろう材がはまりこむような形状をして
いる。40は線状アルミろう材である。本実施の形態で
は、流路形状に対応するように曲げたパイプ材をダイキ
ャスト金型内に中子として入れ、溶融したアルミニウム
(本実施の形態ではADC12)を高速・高圧で流し込
み、パイプ29がヒートシンク本体26に鋳込まれたヒ
ートシンク形状に成形した後、ニップル32を前記ヒー
トシンク本体26から飛び出たパイプ部に挿入後、線状
アルミろう材40をニップル32の外周に巻き、フッ化
物系フラックスを用いてろう付して接合している。ろう
付の際、ヒートシンク本体26を溶融させたり、変形さ
せないように気をつけて、加熱・接合を行う。
【0054】本実施の形態では、パイプ29材にアルミ
ニウムを用いることを特徴としており、従って本実施の
形態のパイプは熱伝導率が良いため、シートシンクとし
ての性能がよい。但し、パイプの変形が起こらない程度
の肉厚が必要となる。また、パイプ29材としてアルミ
ニウム材を用いることにより、ニップル32を外せば、
ヒートシンク本体26とパイプ材29は同素材となり、
リサイクルが容易になる。また、パイプ29とヒートシ
ンク本体26との間には、電食電位差がなくなり、隙間
腐食などにより、パイプ外周面にクラックが走ることを
防止できる。
【0055】なお、上記実施の形態において、図15に
示すように、アルミニウム材(A1100)でできてい
るパイプ29と鉄系材料材でできたニップル32との重
なり部分に線状アルミろう材40を巻き、フッ化物系フ
ラックスを用いてろう付して接合した後、ダイキャスト
成形により、アルミニウム材のヒートシンク本体26を
成形してもよい。ダイキャスト成形するとき、アルミろ
う付部が再溶融しないように、ニップル32をダイキャ
スト金型に触れさせておき、ろう付部の温度が溶融温度
以上に上がらないように管理する。
【0056】実施の形態12.次に本発明の実施の形態
12を説明する。図16は本発明の実施の形態12に係
わるパイプを示す図である。本実施の形態では流路形状
に対応するように曲げたパイプ27の外周部に、アルミ
ニウムと親和性のよい金属皮膜41をメッキプロセス等
により、例えば10μmの厚さに被せ、このメッキを施
したパイプ27をダイキャスト金型内に中子として入
れ、金型内に溶融したアルミニウム(本実施の形態では
ADC12)を高速・高圧で流し込むことにより、パイ
プ27がヒートシンク本体に鋳込まれたヒートシンク形
状に成形する。その後、前記ヒートシンク本体から飛び
出たパイプ部にニップルを挿入後、実施の形態10と同
様、TIG溶接を行い、接合する。また、この際、実施
の形態11のようにアルミろう付により、ニップルを接
合してもよい。
【0057】このように、本実施の形態では、パイプ2
7材の外周に、アルミニウムと親和性のよい金属皮膜4
1をメッキプロセス等により被せているので、溶融した
熱いアルミニウムが高速・高圧で金型内に流れ込んだ
時、流れ込んだアルミニウムとメッキ層の間に金属間化
合物などの反応層や拡散層が瞬時に形成され、密着強度
が高くなり、パイプとヒートシンク本体間の接触熱抵抗
が小さくなり、ヒートシンクの熱交換能力が向上する。
【0058】図17(a)はSUS304よりなるパイ
プの外周にメッキを施さずに、アルミニウム(ADC1
2)を鋳込んだワークを切断してその断面(SUS30
4パイプとアルミADC12との界面)をSEMで観察
した写真である。図17(a)に示すように、界面のあ
ちこちで割れ(クラック)が発生しており、熱的接触が
よくないことがわかる。図17(b)はSUS304よ
りなるパイプの外周部にスズ(Sn)メッキを施したも
のをアルミニウム(ADC12)で鋳込んで製造したヒ
ートシンクを、切断してその断面(SUS304パイプ
とアルミADC12との界面)をSEMで観察した写真
である。図17(b)に示すように、アルミADC12
とSnメッキを施したSUS304パイプとの間に反応
層ができている様子が分かる。また、図示はしないが、
亜鉛(Zn)メッキでも同様な効果が得られている。こ
の場合は、アルミニウムより融点が低く、比較的酸化し
にくい亜鉛メッキ膜がパイプの外周部にある場合、高温
のアルミ溶湯との接触により短時間に一部が溶融して反
応層ができ、これにより熱的接触が向上するものと考え
られる。
【0059】このように、パイプ材の外周に、ヒートシ
ンク本体の材料であるアルミニウムと親和性のよい、ス
ズメッキあるいは亜鉛メッキを被せているので、溶融し
た熱いアルミニウムが高速・高圧で流れ込んだ時、メッ
キ層の一部が溶解し、金属間化合物などの反応層が瞬時
に形成され、密着強度が高くなり、パイプとヒートシン
ク本体間の接触熱抵抗が小さくなって、結果的に、ヒー
トシンクの熱交換能力が向上する効果がある。
【0060】
【発明の効果】以上のように、この発明の第1の構成に
よれば、冷却水が流れる流路を構成するパイプ、このパ
イプの周りに上記パイプと一体成形されたヒートシンク
本体、および上記パイプの端部に継手として接合された
ニップルによりヒートシンクを構成したので、流路が完
全に独立しているため、継手部分の漏れだけを検査すれ
ばよい。また、パイプとヒートシンク本体とが一体加工
されているため、組立が不要になり、従来のろう付タイ
プに比べて著しく加工時間を短縮できる。
【0061】また、この発明の第1の方法によれば、冷
却水が内部を循環するヒートシンクの製造方法におい
て、上記冷却水が流れる流路をパイプで構成し、上記パ
イプの端部に継手となるニップルを接合した後に、上記
パイプと上記ニップルを中子にして、上記パイプの周り
にダイキャスト成形によりヒートシンク本体を一体成形
するので、ダイキャスト成形前に漏れが発生したパイプ
とニップルを除けば、ダイキャスト成形後にできてくる
ヒートシンクの歩留まりが向上し、100%に近くな
る。また、漏れが起こったときも無駄にする材料も少な
くて済むので、損失コストを低減できる。
【0062】また、この発明の第2の方法によれば、冷
却水が内部を循環するヒートシンクの製造方法におい
て、上記冷却水が流れる流路をパイプで構成し、上記パ
イプを中子にし、ダイキャスト成形時に加熱されたパイ
プ材の熱膨張を吸収する熱吸収手段を備えたホルダーに
上記パイプを固定して、上記パイプの周りにダイキャス
ト成形によりヒートシンク本体を一体成形するので、パ
イプが座屈により変形することが防げるため、所望の流
路形状のヒートシンクが得られる。
【0063】また、この発明の第3の方法によれば、第
2の方法において、上記熱吸収手段がバネ機構であるの
で、容易にパイプ材の熱膨張を吸収することができ、座
屈による変形を防止できる。
【0064】また、この発明の第4の方法によれば、冷
却水が内部を循環するヒートシンクの製造方法におい
て、上記冷却水が流れる流路をパイプで構成し、上記パ
イプを中子にし、ダイキャスト金型内へ溶融したヒート
シンク本体材料を流入する際に、上記ヒートシンク本体
材料の主流が上記パイプにぶつからないようにして、上
記パイプの周りにダイキャスト成形によりヒートシンク
本体を一体成形するので、上記材料が直接パイプにぶつ
かりパイプの変形を起こすことが防げるため、所望の流
路形状のヒートシンクが得られる。
【0065】また、この発明の第5の方法によれば、第
1ないし第4のいずれかの方法において、ダイキャスト
成形時にパイプの傾きを固定するので、パイプの傾きが
防止できるため、所望の流路形状のヒートシンクが得ら
れる。
【0066】また、この発明の第6の方法によれば、第
1ないし第4のいずれかの方法において、ダイキャスト
金型にパイプの傾きを抑えるスペーサを設け、上記スペ
ーサごと鋳込んでヒートシンク本体を一体成形したの
で、パイプの傾きを防止できるため、所望の流路形状の
ヒートシンクが得られる。
【0067】また、この発明の第7の方法によれば、第
1ないし第6のいずれかの方法において、パイプをステ
ンレス鋼またはアルミニウムで構成したので、パイプが
ステンレス鋼の場合は、パイプの変形が起こり難く、か
つニップル溶接時のヒートシンク本体の溶融、変形が防
止できる効果がある。また、パイプをアルミニウムで構
成した場合は、熱伝導性がよく、高性能のシートシンク
が得られる。また、ニップルを外せば、ヒートシンク本
体とパイプ材は同素材となり、リサイクルが容易になる
効果がある。
【0068】また、この発明の第8の方法によれば、第
1ないし第7のいずれかの方法において、パイプの外周
面に、ダイキャスト成形時にヒートシンク本体材料と反
応するメッキを行ったので、パイプとヒートシンク本体
との間の接触熱抵抗が小さくなり、ヒートシンクの熱交
換能力が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1によるヒートシンク
を示す斜視図である。
【図2】 この発明の実施の形態1によるヒートシンク
の製造方法を示す図である。
【図3】 この発明の実施の形態1によるヒートシンク
の製造方法を示す図である。
【図4】 この発明の実施の形態1に係わるダイキャス
ト成形により、パイプを鋳込んだヒートシンク本体を示
す斜視図である。
【図5】 この発明の実施の形態2によるヒートシンク
の製造方法を示す図である。
【図6】 この発明の実施の形態3によるヒートシンク
の製造方法を示す図である。
【図7】 この発明の実施の形態4によるヒートシンク
の製造方法を示す図である。
【図8】 この発明の実施の形態5によるヒートシンク
の製造方法を示す図である。
【図9】 この発明の実施の形態6によるヒートシンク
の製造方法を示す図である。
【図10】 この発明の実施の形態7によるヒートシン
クの製造方法を示す図である。
【図11】 この発明の実施の形態8によるヒートシン
クの製造方法を示す図である。
【図12】 この発明の実施の形態9によるヒートシン
クの製造方法を示す図である。
【図13】 この発明の実施の形態10によるヒートシ
ンクの製造方法を示す図である。
【図14】 この発明の実施の形態11によるヒートシ
ンクの製造方法を示す図である。
【図15】 この発明の実施の形態11による他のヒー
トシンクの製造方法を示す図である。
【図16】 この発明の実施の形態12に係わるパイプ
を示す図である。
【図17】 ステンレス鋼よりなるパイプの外周面にス
ズメッキを施した場合とスズメッキを施さない場合にお
ける、パイプとアルミヒートシンク本体との界面を顕微
鏡で観察した写真である。
【図18】 大型回転機の回転数制御に用いられるゲー
トターンオフサイリスタの主回路部(サイリスタ)と水
冷抵抗器の構成、及び冷却水循環系統を模式的に示す構
成図である。
【図19】 従来のヒートシンクの構造を分解して示す
図である。
【図20】 従来のヒートシンクの構造と製造方法を示
す図である。
【符号の説明】
1 半導体素子、2 陽極、3 陰極、4 絶縁碍子、
5 主回路用ヒートシンク、6 ボルト、7 ナット、
8 主回路締付用上板、9 主回路締付用下板、10
チューブ、11 抵抗用ヒートシンク、12 抵抗体、
13 抵抗締付用上板、14 抵抗締付用下板、15
上板、16 下板、17 冷媒流路、18 流路板、1
9 冷媒出入口、20 配管継手、21 配管側嵌合
部、22配管嵌合部、23 ねじ、24 継手用ナッ
ト、25 配管、26 ヒートシンク本体、27,2
8,29 パイプ、30,31,32 ニップル、32
a ニップルの外周、40 アルミろう材、41 メッ
キ層、50 ホルダー、51樹脂製ホルダー、60 ス
プリングワッシャー、61 弦巻バネ、70 仕切り
板、80,86 ダイキャスト金型、81,83,8
4,88 固定金型、82,85,89 可動金型、8
7 ゲート、90,91 突起、92 スペーサ、10
0 ヒートシンク本体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松本 泰典 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 加柴 良裕 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 森安 雅治 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 Fターム(参考) 5F036 AA01 BA10 BB01 BB41 BB43 BD01 BD03 BE06

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 冷却水が流れる流路を構成するパイプ、
    このパイプの周りに上記パイプと一体成形されたヒート
    シンク本体、および上記パイプの端部に継手として接合
    されたニップルを備えたヒートシンク。
  2. 【請求項2】 冷却水が内部を循環するヒートシンクの
    製造方法において、上記冷却水が流れる流路をパイプで
    構成し、上記パイプの端部に継手となるニップルを接合
    した後に、上記パイプと上記ニップルを中子にして、上
    記パイプの周りにダイキャスト成形によりヒートシンク
    本体を一体成形することを特徴とするヒートシンクの製
    造方法。
  3. 【請求項3】 冷却水が内部を循環するヒートシンクの
    製造方法において、上記冷却水が流れる流路をパイプで
    構成し、上記パイプを中子にし、ダイキャスト成形時に
    加熱されたパイプ材の熱膨張を吸収する熱吸収手段を備
    えたホルダーに上記パイプを固定して、上記パイプの周
    りにダイキャスト成形によりヒートシンク本体を一体成
    形することを特徴とするヒートシンクの製造方法。
  4. 【請求項4】 熱吸収手段は、バネ機構であることを特
    徴とする請求項3記載のヒートシンクの製造方法。
  5. 【請求項5】 冷却水が内部を循環するヒートシンクの
    製造方法において、上記冷却水が流れる流路をパイプで
    構成し、上記パイプを中子にし、ダイキャスト金型内へ
    溶融したヒートシンク本体材料を流入する際に、上記ヒ
    ートシンク本体材料の主流が上記パイプとぶつからない
    ようにして、上記パイプの周りにダイキャスト成形によ
    りヒートシンク本体を一体成形することを特徴とするヒ
    ートシンクの製造方法。
  6. 【請求項6】 ダイキャスト成形時にパイプの傾きを固
    定することを特徴とする請求項2ないし5のいずれかに
    記載のヒートシンクの製造方法。
  7. 【請求項7】 ダイキャスト金型にパイプの傾きを抑え
    るスペーサを設け、上記スペーサごと鋳込んでヒートシ
    ンク本体を一体成形したことを特徴とする請求項2ない
    し5のいずれかに記載のヒートシンクの製造方法。
  8. 【請求項8】 パイプはステンレス鋼またはアルミニウ
    ムで構成されていることを特徴とする請求項2ないし7
    のいずれかに記載のヒートシンクの製造方法。
  9. 【請求項9】 パイプの外周面に、ダイキャスト成形時
    にヒートシンク本体材料と反応するメッキを行ったこと
    を特徴とする請求項2ないし8のいずれかに記載のヒー
    トシンクの製造方法。
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